JP4599727B2

JP4599727B2 - 蒸着装置

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Publication number: JP4599727B2
Application number: JP2001045296A
Authority: JP
Inventors: 川井　　正一; 裕人林; 晴視鈴木
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2001-02-21
Filing date: 2001-02-21
Publication date: 2010-12-15
Anticipated expiration: 2021-02-21
Also published as: JP2002249868A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内部が減圧されたチャンバ内にて、蒸発した蒸着物質を物理蒸着法（ＰＶＤ）により被蒸着板に蒸着させる蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８に示す従来の蒸着装置は、内部が減圧されたチャンバ２０内に、蒸発源となる蒸着物質１００を有する坩堝３０と、坩堝３０の上方に水平に保持された被蒸着板２００とを備えている。そして、坩堝３０にて加熱されて蒸発した蒸着物質１００を、坩堝３０上部に開口する放出口３０ｂからそのままチャンバ２０内に放出させて被蒸着板２００に蒸着させるようになっている。
【０００３】
そして、被蒸着板２００と坩堝３０とを大きく引き離して配置して、蒸着物質１００が水平方向に十分拡散するようにしており、被蒸着板２００への蒸着の均一化を図っている。なお、一般的には、被蒸着板２００と放出口３０ｂとの間隔Ｌ１を、被蒸着板２００の一辺の長さＬ２の約３倍の大きさにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来装置のように被蒸着板２００と放出口３０ｂとの間隔Ｌ１を大きくすると、蒸着物質１００の多くは被蒸着板２００に付着せず、チャンバ２０の内面に付着してしまうという問題があった。特に、チャンバ２０の内面を頻繁に清掃しなければならないことが作業効率を大きく低下させていた。因みに、Ｌ１の大きさがＬ２の３倍の場合には、坩堝３０内の蒸着物質１００が蒸着する割合（蒸着率）は約６％である。
【０００５】
また、被蒸着板２００と放出口３０ｂとの間隔Ｌ１を大きくすると、チャンバ２０が大型化してしまい、チャンバ２０内を真空にするための時間が長くなるとともに真空にするためのエネルギー消費が大きくなるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記点に鑑み、被蒸着板への蒸着の均一性を保ちつつ、被蒸着板と放出口との間隔を小さくして、蒸着率の向上およびチャンバの小型化を図ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、内部が減圧されたチャンバ（２０）内にて蒸着物質（１００）を物理蒸着法により被蒸着板（２００）に蒸着させる蒸着装置において、蒸着物質（１００）を加熱して蒸発させる蒸発室（３０ａ）と、蒸発室（３０ａ）と連通し、蒸発室（３０ａ）から被蒸着板（２００）の蒸着面（２００ａ）近傍へ蒸着物質（１００）を移送する移送管（６０）とを備え、移送管（６０）のうち蒸着面（２００ａ）に相対する部分である放出部（６２）には、蒸着面（２００ａ）に向けて蒸着物質（１００）を放出する複数の放出口（６２ａ）が形成されており、
移送管（６０）として第１、第２の２本の移送管（６０）を備え、
第１、第２の移送管（６０）は、それぞれ放出部（６２）が蒸着面（２００ａ）と平行な面上に複数本並列配置された櫛歯状の形態とし、
櫛歯状の第１の移送管（６０）と、櫛歯状の第２の移送管（６０）は、蒸着面（２００ａ）と平行な面上においてそれぞれの放出部（６２）が交互に配置され、
さらに、第１の移送管（６０）には蒸着物質（１００）として有機金属が供給され、第２の移送管（６０）には蒸着物質（１００）として有機金属中に混入するための添加物が供給され、
第１、第２の移送管（６０）における隣り合う放出部（６２）を有機金属と添加物が互いに対向する向きに流れるように構成されていることを特徴とする。
【０００８】
これにより、蒸発した蒸着物質（１００）は、第１、第２の移送管（６０）により強制的に蒸着面（２００ａ）近傍へ移送され、その後、蒸着面（２００ａ）に相対する位置に形成された複数の放出口（６２ａ）から蒸着面（２００ａ）に向けて放出されることとなる。よって、従来の蒸着装置による坩堝（３０）上部に開口する放出口（３０ｂ）からそのままチャンバ（２０）内に放出させる場合に比べて、蒸着面（２００ａ）と放出口（６２ａ）との間隔を小さくしても、蒸着面（２００ａ）への蒸着の均一性を保つことができる。従って、被蒸着板（２００）への蒸着の均一性を保ちつつ、蒸着率の向上およびチャンバ（２０）の小型化を図ることができる。
これに加え、請求項１に記載の発明では、櫛歯状の形態からなる第１、第２の２本の移送管（６０）を備え、この櫛歯状の第１、第２の移送管（６０）ではそれぞれの放出部（６２）を交互に配置し、第１、第２の移送管（６０）における隣り合う放出部（６２）を蒸着物質としての有機金属と添加物が互いに対向する向きに流れるようになっている。このため、蒸着面（２００ａ）に対して蒸着物質としての有機金属と添加物を２次元的に放出でき、蒸着面（２００ａ）への蒸着の均一性を向上できる。しかも、有機金属の蒸着工程と同時に、有機金属に対する添加物の添加を行うことができる。
【０００９】
ところで、移送管（６０）が所定温度以下の低温であると、蒸発した蒸着物質（１００）が移送管（６０）内面に付着し易くなり、特に、放出口（６２ａ）にて蒸着物質（１００）が目詰まりし易くなってしまう。これに対し、請求項２に記載の発明では、移送管（６０）を加熱する加熱手段（７０）を備えることを特徴とするので、蒸着物質（１００）の移送管（６０）内面への付着および放出口（６２ａ）の目詰まりを抑制できる。
【００１０】
請求項３に記載の発明では、チャンバ（２０）内に、被蒸着板（２００）を保持する保持部材（５０）を備え、保持部材（５０）および放出部（６２）の少なくとも一方が、蒸着面（２００ａ）に対して平行に可動であることを特徴とするので、蒸着面（２００ａ）と放出口（６２ａ）との間隔を大きくすることなく、蒸着面（２００ａ）への蒸着の均一性を向上できる。
【００１２】
ところで、放出部（６２）内の下流部分における蒸着物質（１００）の圧力は、上流部分の放出口（６２ａ）からの放出により低くなるため、下流部分の放出口（６２ａ）の放出量は上流部分の放出口（６２ａ）の放出量に比べて少なくなり、ひいては、蒸着面（２００ａ）への蒸着の均一性が損なわれてしまう。これに対し、請求項４に記載の発明では、放出部（６２）のうち蒸着物質（１００）の移送方向の下流側部分を加熱する下流側加熱手段（７１）および上流側部分を加熱する上流側加熱手段（７２）を備え、下流側および上流側加熱手段（７１、７２）による加熱度合をそれぞれ個別に調節可能にしたことを特徴とする。
【００１３】
これにより、下流側加熱手段（７１）による加熱度合を上流側加熱手段（７２）による加熱度合より大きくして、下流側の蒸着物質（１００）の温度を上昇させれば、放出部（６２）内の下流部分の圧力低下を抑制でき、下流部分の放出口（６２ａ）の放出量が上流部分の放出口（６２ａ）の放出量に比べて少なくなることを抑制できる。
【００１４】
請求項５に記載の発明では、複数の放出口（６２ａ）のうち、蒸着物質（１００）の移送方向の下流側に位置する放出口（６２ａ）を、上流側に位置する放出口（６２ａ）よりも大きい開口面積に形成したことを特徴とするので、下流部分の放出口（６２ａ）の放出量が上流部分の放出口（６２ａ）の放出量に比べて少なくなることを抑制できる。
【００１５】
請求項６に記載の発明では、蒸着物質（１００）の移送方向の下流側に位置する放出口（６２ａ）の間隔（Ｐ２）を、上流側に位置する放出口（６２ａ）の間隔（Ｐ３）より狭くしたことを特徴とするので、放出部（６２）の下流部分からの放出量が上流部分からの放出量に比べて少なくなることを抑制できる。
【００１６】
請求項７に記載の発明では、放出口（６２ａ）のうち蒸着物質（１００）の移送方向の最も下流に位置する最下流位置放出口（６２ａ）と放出部（６２）の先端との距離（Ｌ３）は、最下流位置放出口（６２ａ）と最下流位置放出口（６２ａ）の隣に位置する放出口（６２ａ）との距離（Ｐ４）より長いことを特徴とする。
【００１７】
これにより、放出部（６２）内のうち最下流位置放出口（６２ａ）と放出部（６２）の先端との間には所定長さ（Ｌ３）の空間（６２ｂ）が形成される。従って、上流側から最下流位置放出口（６２ａ）へ移送される蒸着物質（１００）の圧力の脈動を、前記空間（６２ｂ）内の蒸着物質（１００）により吸収でき、前記空間（６２ｂ）がいわゆるサージタンクとして機能するので、前記脈動による最下流位置放出口（６２ａ）の放出圧力が一時的に低下してしまうことを抑制できる。よって、最下流位置放出口（６２ａ）の一時的な放出量の減少を抑制できる。
【００２０】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
本実施形態は、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子と呼ぶ）の製造工程のうち、発光層を形成する有機金属（蒸着物質）をガラス基板（被蒸着板）上に成膜する蒸着装置に本発明の蒸着装置を用いた場合を示している。因みに、この有機ＥＬ素子は、ガラス基板上に、第１電極層、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第２電極層が順次積層されてなる周知の有機ＥＬ素子である。
【００２２】
図１は、本実施形態の蒸着装置の全体構成を示す図であり、真空ポンプ１０により内部が減圧（例えば約１．３３×１０^-4Ｐａ（約１×１０^-6ｔｏｒｒ））された成膜チャンバ２０内にて、蒸発した有機金属１００を物理蒸着法（ＰＶＤ）によりガラス基板２００に蒸着させて成膜するようになっている。また、成膜チャンバ２０は分割して組立解体できるように形成されており、成膜チャンバ２０内部への有機金属１００の供給作業およびガラス基板２００の脱着作業は、成膜チャンバ２０を分割解体して行われるようになっている。
【００２３】
成膜チャンバ２０内の下方部分には、蒸発源となる固体の有機金属（例えばＡｌｑ３（アルミキノリール）、ＣｕＰＣ（銅フタロシアニン）等）１００を貯蔵する坩堝３０が配置され、坩堝３０の外周面には通電により発熱するシーズヒータ（加熱手段）４０が巻き付けられている。そして、坩堝３０内の蒸発室３０ａには、シーズヒータ４０により加熱されて蒸発した有機金属１００が充満するようになっている。なお、本実施形態では約３２０℃で加熱するようになっている。
【００２４】
一方、成膜チャンバ２０内の上方部分には、板状のガラス基板２００を水平に保持する保持部材（例えばサセプタ）５０が備えられており、この保持部材５０は成膜チャンバ２０に回転可能に取り付けられている。そして、坩堝３０の上部には、蒸発室３０ａと連通し、蒸発室３０ａからガラス板２００の蒸着面２００ａ近傍へ蒸発した有機金属１００を移送するとともに、蒸着面２００ａに向けて成膜チャンバ２０内に蒸発した有機金属１００を放出する円筒形状の移送管６０が備えられている。
【００２５】
この移送管６０は、坩堝３０の上部から上方に延びた後に略９０度曲がるエルボ形状の移送部６１と、蒸着面２００ａの下方部分にて蒸着面２００ａに対向して略平行に延びるように形成されて、蒸発した有機金属１００を蒸着面２００ａに対して平行に拡がるように移送する放出部６２とから構成されている。そして、放出部６２のうち蒸着面２００ａと対向する部分には蒸発した有機金属１００を上方に放出する複数の放出口６２ａが形成されている。
【００２６】
なお、本実施形態では、放出部６２は図１の左右方向にガラス基板２００の一辺とほぼ同一の長さＬ２に延びる配管形状であり、その長手方向に９個の放出口６２ａが等間隔（Ｐ１＝約３３ｍｍ）に一列に形成されている。そして、放出口６２ａの開口形状は直径約０．５ｍｍの円形である。
【００２７】
また、ガラス着板２００と放出口６２ａとの間隔Ｌ１は、少なくともガラス基板２００の一辺の長さＬ２よりも小さく設定されており、本実施形態では、ガラス着板２００と放出口６２ａとの間隔Ｌ１（例えば約９０ｍｍ）がガラス基板２００の一辺の長さＬ２（例えば約２００ｍｍ）の約０．４５倍の大きさになるように設定されている。
【００２８】
また、移送管６０の外周面には、通電により発熱するシーズヒータ（加熱手段）７０が巻き付けられており、移送管６０は加熱されて所定温度（例えば３００℃）に保温されている。これにより、蒸発した有機金属１００の移送管６０内面への付着および放出口６２ａの目詰まりを防止している。
【００２９】
次に、上記構成による蒸着装置の作動を説明する。
【００３０】
先ず、成膜チャンバ２０を分割解体した状態で、ガラス基板２００を保持部材５０に取り付ける。また、蒸発源となる固体の有機金属１００を坩堝３０内に供給する。その後、成膜チャンバ２０を組み立て、真空ポンプ１０により成膜チャンバ２０内を減圧する。そして、シーズヒータ４０に通電して個体の有機金属１００を加熱して蒸発させる。蒸発した有機金属１００は、移送管６０の移送部６１により強制的に蒸着面２００ａ近傍へ移送され、その後、放出部６２により、蒸着面２００ａに対して図１の左右方向に拡がるように移送される。そして、蒸発した有機金属１００は、放出部６２に開口する複数の放出口６２ａから蒸着面２００に向かって成膜チャンバ２０内に放出され、ガラス基板２００の蒸着面２００ａに付着して蒸着する。
【００３１】
このように、蒸発した有機金属１００は、蒸着面２００ａに相対する位置に形成された複数の放出口６２ａから放出されるので、蒸着面２００ａと放出口６２ａとの間隔Ｌ１をガラス基板２００の一辺の長さＬ２より小さくしても（本実施形態ではＬ１＝０．４５×Ｌ２）、蒸着面２００ａへの蒸着の均一性を保つことができ、ガラス着板２００への蒸着の均一性を保ちつつ、蒸着率の向上およびチャンバ２０の小型化を図ることができる。因みに、従来の蒸着装置による蒸着率が約６％であるのに対し、本実施形態では蒸着率を約３０％にすることができることが本発明の出願人らの実験により明らかになった。
【００３２】
また、移送管６０内の圧力は、有機金属１００が体積一定の条件下で加熱されることに伴い、成膜チャンバ２０内の圧力より高くなる。これにより、放出口６２ａから放出された有機金属１００は急激に減圧膨張して過冷却状態となりクラスター化する。そして、クラスター化した蒸着物質１００が被蒸着板２００に付着すると蒸着物質１００のマイグレーション、凝集が起こるため、蒸着物質１００の被蒸着板２００への密着性を向上させることができる。
【００３３】
（第２実施形態）
図２は本実施形態の蒸着装置のうち移送管６０および坩堝４０等の主要部分を示す斜視図であり、放出部６２のうち有機金属１００の移送方向の下流側部分（図２の左側部分）には下流側シーズヒータ（加熱手段）７１が巻き付けられている。また、上流側部分（図２の右側部分）には上流側シーズヒータ（加熱手段）７２が巻き付けられており、下流側および上流側シーズヒータ７１、７２に印可させる電圧をそれぞれ個別に調節することができるようになっている。
【００３４】
そして、ガラス基板２００のうち下流側シーズヒータ７１に対応する部分の有機金属１００の膜厚を計測する下流側膜厚モニター８１と、上流側シーズヒータ７２に対応する部分の有機金属１００の膜厚を計測する上流側膜厚モニター８２とが備えられている。また、下流側および上流側シーズヒータ７１、７２の各温度を計測する図示しない熱電対が備えられている。
【００３５】
そして、膜厚モニター８１により計測された膜厚に応じて熱電対による計測温度を変化させるように各シーズヒータ７１、７２への印加電圧を調節している。例えば、下流側の膜厚が薄くなれば下流側シーズヒータ７１に印可する電圧を高めて、下流側の有機金属１００の温度を上昇させれば、放出部６２内の下流部分の圧力低下を抑制でき、下流部分の放出口６２ａの放出量が上流部分の放出口６２ａの放出量に比べて少なくなることを抑制できる。
【００３６】
（第３実施形態）
第１実施形態では、複数の放出口６２ａの開口面積を全て同一に形成しているが、本実施形態では、図３に示すように、有機金属１００の移送方向の下流側（図３の左側）に位置する放出口６２ａを、上流側（図３の右側）に位置する放出口６２ａよりも大きい開口面積に形成している。これにより、下流部分の放出口６２ａの放出量が上流部分の放出口６２ａの放出量に比べて少なくなることを抑制できる。
【００３７】
（第４実施形態）
第１実施形態では、複数の放出口６２ａの間隔Ｐ１を全て同一に形成しているが、本実施形態では、図４に示すように、有機金属１００の移送方向の下流側に位置する放出口６２ａの間隔Ｐ２を、上流側に位置する放出口６２ａの間隔Ｐ３より狭くしている。これにより、放出部６２の下流部分からの放出量が上流部分からの放出量に比べて少なくなることを抑制できる。
【００３８】
（第５実施形態）
図５に示すように、本実施形態では、放出口６２ａのうち有機金属１００の移送方向の最も下流（図５の最も左側）に位置する最下流位置放出口６２ａと放出部６２の先端との距離Ｌ３は、最下流位置放出口６２ａと最下流位置放出口６２ａの隣（図５の右側）に位置する放出口６２ａとの距離Ｐ４より長くなるように形成されている。
【００３９】
これにより、放出部６２内のうち最下流位置放出口６２ａと放出部６２の先端との間には所定長さＬ３の空間６２ｂが形成される。従って、上流側から最下流位置放出口６２ａへ移送される有機金属１００の圧力の脈動を、前記空間６２ｂ内の有機金属１００により吸収でき、空間６２ｂがいわゆるサージタンクとして機能するので、前記脈動による最下流位置放出口６２ａの放出圧力が一時的に低下してしまうことを抑制できる。
【００４０】
（第６実施形態）
第１実施形態の移送管６０は、１本の移送部６１に１本の放出部６２を連通させて構成されているが、本実施形態では、図６に示すように、１本の移送部６１に複数本の放出部６２を蒸着面２００ａと平行な面上に並列配置させて、櫛歯状に構成されている。これにより、放出部６２の延びる方向（図６の左右方向）および放出部６２の並列方向の２方向に放出口６２ａを並べて配置できるので、蒸着面２００ａに対して有機金属１００を２次元的に放出でき、蒸着面２００ａへの蒸着の均一性を向上できる。
【００４１】
（第７実施形態）
図７に示すように、本実施形態では、ガラス基板２００の左右両側に１つずつ坩堝３０が配置されており、それぞれの坩堝３０には第６実施形態の櫛歯状の移送管６０が連結されている。そして、左右両側からの放出部６２がそれぞれ交互に配置されており、隣り合う放出部６２内の有機金属１００が、互いに対向する向きに移送されるようになっている。これにより、下流部分の放出口６２ａの放出量が上流部分の放出口６２ａの放出量に比べて少なくなってしまう場合であっても、蒸着面２００ａへの蒸着の均一性を容易に確保できる。
【００４２】
また、２つの坩堝３０を備えるので、一方の坩堝３０に有機金属１００を供給し、他方の坩堝３０に有機金属中に混入させるための添加物を供給するようにすれば、有機金属１００の蒸着工程と同時に、添加物の添加を行うことができ、好適である。
【００４３】
（他の実施形態）
第１実施形態では、保持部材５０を放出部６２の上方に備え、放出口６２ａを上向きに開口するように形成しているが、保持部材５０を放出部６２の下方に備え、放出口６２ａを下向きに開口するように形成するようにしてもよい。これにより、蒸着面２００ａにマスク部材を設置する場合においては、マスク部材は蒸着面２００ａの上側に設置されることとなるので、マスク部材がガラス基板２００から重力で剥がれ落ちてしまうことを考慮する必要が無くなるため、マスク部材のガラス基板２００への設置を容易にできる。
【００４４】
また、第１実施形態の放出部６２および保持部材５０のうち少なくとも一方を、第６実施形態の複数本の放出部６２の並列方向と同じ方向に揺動させるようにすれば、第６実施形態と同様に２次元的に有機金属１００を放出することができ、好適である。
【００４５】
また、第１実施形態では、坩堝３０を成膜チャンバ２０内に配置しているが、成膜チャンバ２０の外方に配置するようにしてもよい。これにより、成膜チャンバ２０を分割して解体することなく、坩堝３０に有機金属１００を供給することができるので、蒸着装置による生産性を高めることができるとともに、成膜チャンバ２０のより一層の小型化を図ることができる。
【００４６】
また、第１実施形態では、加熱手段としてシーズヒータを用いた抵抗加熱蒸着法に本発明の蒸着装置を適用しているが、電子ビーム蒸着法、高周波蒸着法、レーザ蒸着法等の蒸着においても本発明を適用でき、さらに、本発明は有機金属の蒸着への適用に限られず、各種金属膜、半導体膜、絶縁体膜、高透電体膜等の薄膜を形成する際の蒸着にも適用できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る蒸着装置の全体構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る蒸着装置の主要部分を示す斜視図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係る蒸着装置の主要部分を示す上面図である。
【図４】本発明の第４実施形態に係る蒸着装置の主要部分を示す斜視図である。
【図５】本発明の第５実施形態に係る蒸着装置の主要部分を示す斜視図である。
【図６】本発明の第６実施形態に係る蒸着装置の主要部分を示す斜視図である。
【図７】本発明の第７実施形態に係る蒸着装置の主要部分を示す斜視図である。
【図８】従来の蒸着装置を示す全体構成図である。
【符号の説明】
２０…成膜チャンバ、３０ａ…蒸発室、５０…保持部材、６０…移送管、
６２…放出部、６２ａ…放出口、７０…シーズヒータ、１００…有機金属、
２００…ガラス着板、２００ａ…蒸着面、
Ｌ１…ガラス着板と放出口との間隔、Ｌ２…ガラス基板の一辺の長さ。

Claims

内部が減圧されたチャンバ（２０）内にて蒸着物質（１００）を物理蒸着法により被蒸着板（２００）に蒸着させる蒸着装置において、
前記蒸着物質（１００）を加熱して蒸発させる蒸発室（３０ａ）と、
前記蒸発室（３０ａ）と連通し、前記蒸発室（３０ａ）から前記被蒸着板（２００）の蒸着面（２００ａ）近傍へ前記蒸着物質（１００）を移送する移送管（６０）とを備え、
前記移送管（６０）のうち前記蒸着面（２００ａ）に相対する部分である放出部（６２）には、前記蒸着面（２００ａ）に向けて前記蒸着物質（１００）を放出する複数の放出口（６２ａ）が形成されており、
前記移送管（６０）として第１、第２の２本の移送管（６０）を備え、
前記第１、第２の移送管（６０）は、それぞれ前記放出部（６２）が前記蒸着面（２００ａ）と平行な面上に複数本並列配置された櫛歯状の形態とし、
前記櫛歯状の第１の移送管（６０）と、前記櫛歯状の第２の移送管（６０）は、前記蒸着面（２００ａ）と平行な面上においてそれぞれの放出部（６２）が交互に配置され、
さらに、前記第１の移送管（６０）には前記蒸着物質（１００）として有機金属が供給され、前記第２の移送管（６０）には前記蒸着物質（１００）として前記有機金属中に混入するための添加物が供給され、
前記第１、第２の移送管（６０）における隣り合う前記放出部（６２）を前記有機金属と前記添加物が互いに対向する向きに流れるように構成されていることを特徴とする蒸着装置。
前記移送管（６０）を加熱する加熱手段（７０）を備えることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
前記チャンバ（２０）内に、前記被蒸着板（２００）を保持する保持部材（５０）を備え、
前記保持部材（５０）および前記放出部（６２）の少なくとも一方が、前記蒸着面（２００ａ）に対して平行に可動であることを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着装置。
前記放出部（６２）のうち前記蒸着物質（１００）の移送方向の下流側部分を加熱する下流側加熱手段（７１）および上流側部分を加熱する上流側加熱手段（７２）を備え、
前記下流側および上流側加熱手段（７１、７２）による加熱度合をそれぞれ個別に調節可能にしたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の蒸着装置。
前記複数の放出口（６２ａ）のうち、前記蒸着物質（１００）の移送方向の下流側に位置する放出口（６２ａ）を、上流側に位置する放出口（６２ａ）よりも大きい開口面積に形成したことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の蒸着装置。
前記蒸着物質（１００）の移送方向の下流側に位置する前記放出口（６２ａ）の間隔（Ｐ２）を、前記上流側に位置する前記放出口（６２ａ）の間隔（Ｐ３）より狭くしたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の蒸着装置。
前記放出口（６２ａ）のうち前記蒸着物質（１００）の移送方向の最も下流に位置する最下流位置放出口（６２ａ）と前記放出部（６２）の先端との距離（Ｌ３）は、前記最下流位置放出口（６２ａ）と前記最下流位置放出口（６２ａ）の隣に位置する放出口（６２ａ）との距離（Ｐ４）より長いことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の蒸着装置。