JP2023509077A - 蒸発方法、蒸発装置、及び蒸発源 - Google Patents
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Abstract
Description
ルツボの第1の部分空間を加熱するために特に配置された第1のヒータと、ルツボの第2の部分空間を加熱するために特に配置された第2のヒータと、を含みうる。幾つかの実施形態において、第1のヒータ及び/又は第2のヒータが、それぞれ幾つかの加熱要素を含みうる。コントローラが、所定の加熱シーケンスで第1のヒータ及び第2のヒータを制御するよう構成されている。例えば、第1の温度分布の形成のために、(第2のヒータではなく)第1のヒータが、ソース材料の第1の部分(のみ)を蒸発させるために作動されうる。例えば、第2の温度分布の形成のために、(第1のヒータに加えて又は第1のヒータの代わりに)第2のヒータが、ソース材料の第2の部分を選択的に蒸発させるために作動されうる。
Claims (18)
- 蒸発方法であって、
ルツボ内で蒸発させるソース材料を供給することと、
前記ルツボの第1の部分空間内に配置された前記ソース材料の第1の部分を蒸発させるために、前記ルツボ内で第1の温度分布を発生させることと、
前記ルツボの第2の部分空間内に配置された前記ソース材料の第2の部分を蒸発させるために、前記ルツボ内で、前記第1の温度分布とは異なる少なくとも第2の温度分布を発生させることと、
を含む、蒸発方法。 - 前記第1の温度分布が、前記第1の部分空間内に配置された前記ソース材料の前記第1の部分が実質的に蒸発するまで発生し、
その後、前記少なくとも第2の温度分布が、前記第2の部分空間内に配置された前記ソース材料の前記第2の部分が実質的に蒸発するまで発生する、請求項1に記載の蒸発方法。 - 前記第1の温度分布を発生させることが、
前記第1の部分空間内で、前記ソース材料の蒸発温度である又は当該蒸発温度を上回る第1の温度を提供するよう、前記第1の部分空間の隣に配置された第1のヒータを制御することと、
前記第2の部分空間内で、前記ソース材料の蒸発温度を下回る第2の温度を提供するよう、前記第2の部分空間の隣に配置された第2のヒータを制御することと、を含む、請求項1又は2に記載の蒸発方法。 - 前記少なくとも第2の温度分布を発生させることが、
前記第2の部分空間内で、前記ソース材料の前記蒸発温度である温度又は前記蒸発温度を上回る温度を提供するよう、前記第2のヒータを制御することを含む、請求項3に記載の蒸発方法。 - 前記第1の温度分布を発生させることで、前記ルツボからの蒸発した材料の第1の蒸発速度がもたらされ、
前記第2の温度分布を発生させることで、前記ルツボからの蒸発した材料の第2の蒸発速度がもたらされ、
前記第1の蒸発速度と前記第2の蒸発速度とが、20%以下だけ、特に1%以下だけ異なっている、請求項1から4のいずれか一項に記載の蒸発方法。 - 前記第2の部分空間が、前記第1の部分空間の下に配置される、請求項1から5のいずれ一項に記載の蒸発方法。
- 前記ルツボ内で、前記第1の温度分布及び前記第2の温度分布とは異なる少なくとも1つの更なる温度分布を、前記ルツボの少なくとも1つの更なる部分空間内に配置された前記ソース材料の少なくとも1つの更なる部分を蒸発させるために、発生させることを更に含み、
特に、前記少なくとも1つの更なる部分空間が、前記第1の部分空間及び前記第2の部分空間の下に配置される、請求項1から6のいずれか一項に記載の蒸発方法。 - 前記ルツボの異なる部分空間内に配置された前記ソース材料を順次蒸発させるために前記ルツボ内で異なる温度分布を連続的に発生させるために、複数のヒータを個別に制御することを含む、請求項1から7のいずれか一項に記載の蒸発方法。
- 前記ルツボが、隔壁によって分離された複数の区分、即ち、
前記複数の区分のうちの、前記第1の部分空間を画定する第1の区分と、
前記複数の区分のうちの、前記第2の部分空間を画定する第2の区分と、
任意選択的に、
前記複数の区分のうちの、第3の部分空間を画定する第3の区分と、を含む、請求項1から8のいずれか一項に記載の蒸発方法。 - 前記第1の区分が、前記第1の区分の隣の前記ルツボの外壁に配置された外側ヒータによって加熱され、
前記第2の区分が、前記第2の区分の隣の前記隔壁に配置され又は組み込まれた内側ヒータと、中央ヒータと、の少なくとも一方によって加熱される、請求項9に記載の蒸発方法。 - 蒸発装置であって、
蒸発させるソース材料を収容するためのルツボと、
前記ソース材料を加熱し蒸発させるための複数のヒータと、
前記ルツボ内で異なる温度分布を連続的に発生させるために、前記複数のヒータを個別に制御するよう構成されたコントローラと、
を備えた、蒸発装置。 - 前記複数のヒータが、
前記ルツボの第1の部分空間の隣に配置された、前記第1の部分空間を選択的に加熱するための第1のヒータと、
前記ルツボの前記第1の部分空間の下の第2の部分空間の隣に配置された、前記第2の部分空間を選択的に加熱するための第2のヒータと、
任意選択的に、
前記ルツボの前記第2の部分空間の下の第3の部分空間の隣に配置された、前記第3の部分空間を選択的に加熱するための第3のヒータと、
を含む、請求項11に記載の蒸発装置。 - 前記ルツボが、隔壁によって分離された複数の区分を含み、各区分が、前記ルツボの対応する部分空間を画定する、請求項11又は12に記載の蒸発装置。
- 前記隔壁が、
当該隔壁に配置され又は組み込まれた内部ヒータと、
熱を反射して返すための熱反射体と、
前記隔壁の第1の側を前記隔壁の第2の側から熱的に絶縁するための断熱材と、
を含む、請求項13に記載の蒸発装置。 - 前記複数のヒータが、
前記ルツボの外壁に配置された外部ヒータ、
前記ルツボの2つの区分の間の隔壁に配置され又は組み込まれた内側ヒータ、及び
前記ルツボの内部空間を加熱するための中央ヒータ
のうちの少なくとも1つ以上を含む、請求項11から14のいずれか一項に記載の蒸発装置。 - 前記複数のヒータが、
抵抗加熱器、
放射加熱器、
誘導加熱器、及び
前記ルツボの内部空間内へと突出する温度分散フィン
のうちの少なくとも1つ以上を含む、請求項11から15のいずれか一項に記載の蒸発装置。 - 蒸発源であって、
蒸発させるソース材料を収容するためのルツボと、
前記ソース材料を加熱し蒸発させるための複数のヒータと、
前記ルツボ内で異なる温度分布を連続的に発生させるために、前記複数のヒータを個別に制御するよう構成されたコントローラと、
前記ルツボと流体連結する蒸気分配アセンブリであって、蒸発したソース材料を基板へと方向付けるための複数の蒸気ノズルを含む蒸気分配アセンブリと、
を備えた、蒸発源。 - 前記ルツボの複数の部分空間のそれぞれが、前記蒸発したソース材料を前記複数の蒸気ノズルへと案内するための分配管と流体連結している、請求項17に記載の蒸発源。
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