JP2019508571A - 材料堆積装置、真空堆積システム、及び真空堆積を行う方法 - Google Patents
材料堆積装置、真空堆積システム、及び真空堆積を行う方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019508571A JP2019508571A JP2017537292A JP2017537292A JP2019508571A JP 2019508571 A JP2019508571 A JP 2019508571A JP 2017537292 A JP2017537292 A JP 2017537292A JP 2017537292 A JP2017537292 A JP 2017537292A JP 2019508571 A JP2019508571 A JP 2019508571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- deposition
- deposition apparatus
- substrate
- evaporated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
- C23C14/543—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on the vapor source
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
- H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (15)
- 真空堆積チャンバにおいて基板に材料を堆積させるための材料堆積装置(100)であって、
少なくとも1つの材料堆積源を備え、前記少なくとも1つの材料堆積源は、
前記材料を蒸発させるように構成されたるつぼ(110)と、
前記るつぼに接続され、前記蒸発させた材料を前記基板へ供給するように構成された分配アセンブリ(120)と、
前記るつぼ(110)から前記分配アセンブリ(120)への前記蒸発させた材料の流れを制御するように構成されたバルブ(130)と
を有する、材料堆積装置(100)。 - 前記バルブは、アクチュエータ装置(140)に接続されたシャッター(131)を備え、
前記アクチュエータ装置は、前記分配アセンブリ(120)の内部空間(125)に少なくとも部分的に配置される、請求項1に記載の材料堆積装置(100)。 - 前記アクチュエータ装置(140)は、アクチュエータ(141)と可動要素(142)を備え、前記可動要素(142)は前記分配アセンブリ(120)の前記内部空間(125)を通って延在する、請求項2に記載の材料堆積装置(100)。
- 前記可動要素(142)は、少なくともバルブケーシング(133)から少なくとも前記分配アセンブリ(120)の前記内部空間(125)の上壁(151)まで延在する細長い要素である、請求項3に記載の材料堆積装置(100)。
- 前記バルブは、前記蒸発させた材料が前記アクチュエータ装置(140)に侵入するのを防ぐように構成されるベロー(134)を備える、請求項3又は4に記載の材料堆積装置(100)。
- 前記可動要素(142)は、断熱要素(161)を備える連結装置(160)を介して前記アクチュエータに連結される、請求項3から5のいずれか一項に記載の材料堆積装置(100)。
- 前記連結装置(160)は、連結要素(165)の受容部(162)内に配設されたバネ(163)を備える、請求項6に記載の材料堆積装置(100)。
- 前記分配アセンブリ(120)は分配管を備え、前記分配管は、前記分配管の長さに沿って配設された一又は複数の排出口(126)を有する、請求項1から7のいずれか一項に記載の材料堆積装置(100)。
- 前記一又は複数の排出口は、蒸発方向に沿って延在するノズルであり、前記蒸発方向は基本的に水平である、請求項8に記載の材料堆積装置(100)。
- 前記アクチュエータ(141)は、前記分配アセンブリ(120)のハウジング(150)の外面に接続される、請求項3から9のいずれか一項に記載の材料堆積装置(100)。
- 前記少なくとも1つの材料堆積源は、第1の堆積源(101)と、第2の堆積源(102)と、第3の堆積源(103)とを含む、請求項1から10のいずれか一項に記載の材料堆積装置(100)。
- 真空チャンバにおいて基板に材料を堆積させるための材料堆積装置(100)であって、
第1の堆積源(101)であって、
第1の材料を蒸発させるように構成された第1のるつぼ(110A)と、
蒸発させた前記第1の材料を前記基板へ供給するように構成された第1の分配アセンブリ(120A)と、
前記第1のるつぼ(110A)から前記第1の分配アセンブリ(120A)への前記蒸発させた材料の流れを制御するように構成された第1のバルブ(130A)と
を有する第1の堆積源(101)と、
第2の堆積源(102)であって、
第2の材料を蒸発させるように構成された第2のるつぼ(110B)と、
蒸発させた前記第2の材料を前記基板へ供給するように構成された第2の分配アセンブリ(120B)と、
前記第2のるつぼ(110B)から前記第2の分配アセンブリ(120B)への前記蒸発させた材料の流れを制御するように構成された第2のバルブ(130B)と
を有する第2の堆積源(102)と
を備える、材料堆積装置(100)。 - 真空堆積システム(200)であって、
真空堆積チャンバ(210)と、
前記真空堆積チャンバ(210)内の、請求項1から12のいずれか一項に記載の材料堆積装置(100)と、
材料の堆積中に基板を支持するように構成された基板支持体(220)と
を備える、真空堆積システム(200)。 - 真空堆積チャンバにおいて基板に材料を堆積させるように構成された材料堆積装置を操作する方法(300)であって、
分配アセンブリ(120)に接続されたるつぼ(110)において堆積させる材料を蒸発させることと、
前記るつぼ(110)から前記分配アセンブリ(120)へ前記蒸発させた材料を供給することと
を含み、前記るつぼ(110)から前記分配アセンブリ(120)へ前記蒸発させた材料を供給することは、前記るつぼから少なくとも1つの前記分配アセンブリへの前記蒸発させた材料の流れを制御することを含む方法(300)。 - 前記方法が更に、請求項1から12のいずれか一項に記載の材料堆積装置(100)を用いることを含む、請求項14に記載の方法(300)。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/EP2017/052048 WO2018141365A1 (en) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | Material deposition arrangement, vacuum deposition system and method therefor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019508571A true JP2019508571A (ja) | 2019-03-28 |
Family
ID=57944431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017537292A Ceased JP2019508571A (ja) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | 材料堆積装置、真空堆積システム、及び真空堆積を行う方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190338412A1 (ja) |
EP (1) | EP3374540A1 (ja) |
JP (1) | JP2019508571A (ja) |
KR (1) | KR102030683B1 (ja) |
CN (1) | CN110199050A (ja) |
TW (1) | TWI660057B (ja) |
WO (1) | WO2018141365A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021013326A1 (en) * | 2019-07-19 | 2021-01-28 | Applied Materials, Inc. | Evaporation source, vacuum deposition system, valve assembly, and method therefor |
WO2021013328A1 (en) * | 2019-07-19 | 2021-01-28 | Applied Materials, Inc. | Evaporation source for depositing an evaporated material on a substrate, vacuum deposition system, and method therefor |
WO2021085685A1 (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | Applied Materials, Inc | Material deposition arrangement, vacuum deposition system, and method for manufacturing a material deposition arrangement |
CN113957389B (zh) * | 2020-07-21 | 2023-08-11 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012092373A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Hitachi Displays Ltd | 真空蒸着装置 |
JP2012248486A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着装置および真空蒸着方法 |
JP2014005478A (ja) * | 2010-10-08 | 2014-01-16 | Kaneka Corp | 蒸着装置 |
JP2014136804A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着装置 |
JP2014234549A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | 日東電工株式会社 | 成膜装置及び有機elデバイスの製造方法 |
WO2016070942A1 (en) * | 2014-11-07 | 2016-05-12 | Applied Materials, Inc. | Material deposition arrangement and material distribution arrangement for vacuum deposition |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004105095A2 (en) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Svt Associates Inc. | Thin-film deposition evaporator |
FR2878863B1 (fr) * | 2004-12-07 | 2007-11-23 | Addon Sa | Dispositif de depot sous vide a reservoir de recharge et procede de depot sous vide correspondant. |
JP4673190B2 (ja) * | 2005-11-01 | 2011-04-20 | 長州産業株式会社 | 薄膜堆積用分子線源とその分子線量制御方法 |
GB0619163D0 (en) * | 2006-09-28 | 2006-11-08 | Oxford Instr Plasma Technology | Effusion and cracking cell |
JP5328134B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 蒸着装置及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
US8327845B2 (en) * | 2008-07-30 | 2012-12-11 | Hydrate, Inc. | Inline vaporizer |
EP2186920A1 (en) * | 2008-10-22 | 2010-05-19 | Applied Materials, Inc. | Arrangement and method for regulating a gas stream or the like |
KR20110138259A (ko) * | 2009-03-25 | 2011-12-26 | 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 고증기압재료의 증착 |
JP5840055B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-01-06 | 日立造船株式会社 | 蒸着装置 |
EP2747122B1 (en) * | 2012-12-20 | 2019-07-03 | Applied Materials, Inc. | Plasma enhanced deposition arrangement for evaporation of dielectric materials, deposition apparatus and methods of operating thereof |
GB201307073D0 (en) * | 2013-04-19 | 2013-05-29 | Fernandez Ivan | Pulsed valve cracker effusion cell |
KR102152147B1 (ko) * | 2013-07-26 | 2020-09-04 | 주식회사 선익시스템 | 증발유닛 및 이를 구비한 증착장치 |
JP6207319B2 (ja) * | 2013-09-25 | 2017-10-04 | 日立造船株式会社 | 真空蒸着装置 |
EP3080327A1 (en) * | 2013-12-10 | 2016-10-19 | Applied Materials, Inc. | Evaporation source for organic material, apparatus having an evaporation source for organic material, system having an evaporation deposition apparatus with an evaporation source for organic materials, and method for operating an evaporation source for organic material |
WO2016095997A1 (en) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | Applied Materials, Inc. | Material deposition arrangement, a vacuum deposition system and method for depositing material |
-
2017
- 2017-01-31 WO PCT/EP2017/052048 patent/WO2018141365A1/en active Application Filing
- 2017-01-31 US US15/544,891 patent/US20190338412A1/en not_active Abandoned
- 2017-01-31 EP EP17702372.8A patent/EP3374540A1/en not_active Withdrawn
- 2017-01-31 CN CN201780000734.1A patent/CN110199050A/zh active Pending
- 2017-01-31 JP JP2017537292A patent/JP2019508571A/ja not_active Ceased
- 2017-01-31 KR KR1020177021826A patent/KR102030683B1/ko active IP Right Grant
- 2017-08-08 TW TW106126782A patent/TWI660057B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014005478A (ja) * | 2010-10-08 | 2014-01-16 | Kaneka Corp | 蒸着装置 |
JP2012092373A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Hitachi Displays Ltd | 真空蒸着装置 |
JP2012248486A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着装置および真空蒸着方法 |
JP2014136804A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着装置 |
JP2014234549A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | 日東電工株式会社 | 成膜装置及び有機elデバイスの製造方法 |
WO2016070942A1 (en) * | 2014-11-07 | 2016-05-12 | Applied Materials, Inc. | Material deposition arrangement and material distribution arrangement for vacuum deposition |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3374540A1 (en) | 2018-09-19 |
CN110199050A (zh) | 2019-09-03 |
TW201829814A (zh) | 2018-08-16 |
WO2018141365A1 (en) | 2018-08-09 |
KR102030683B1 (ko) | 2019-10-10 |
US20190338412A1 (en) | 2019-11-07 |
KR20180117027A (ko) | 2018-10-26 |
TWI660057B (zh) | 2019-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109477204B (zh) | 操作沉积设备的方法和沉积设备 | |
KR102220321B1 (ko) | 재료 증착 어레인지먼트, 진공 증착 시스템 및 이를 위한 방법들 | |
JP6466469B2 (ja) | 有機材料用の蒸発源 | |
KR101877908B1 (ko) | 유기 재료를 위한 증발 소스, 유기 재료를 위한 증발 소스를 갖는 장치, 및 유기 재료를 증착시키기 위한 방법 | |
JP2017509794A (ja) | 有機材料用の蒸発源 | |
CN107002221B (zh) | 用于真空沉积的材料沉积布置和材料分配布置 | |
JP2019508571A (ja) | 材料堆積装置、真空堆積システム、及び真空堆積を行う方法 | |
JP2017509796A5 (ja) | ||
WO2017054890A1 (en) | Variable shaper shield for evaporators and method for depositing an evaporated source material on a substrate | |
TWI625876B (zh) | 線性分佈管及使用其之材料沈積配置與真空沈積設備及提供材料沈積配置之方法 | |
KR101983009B1 (ko) | 증발원 및 이를 구비한 진공 증착 장치 | |
KR102018865B1 (ko) | 진공 증착을 위한 재료 소스 배열체 및 노즐 | |
TW201926418A (zh) | 材料沉積裝置、真空沉積系統及應用其之方法 | |
WO2016082874A1 (en) | Crucible assembly for evaporation purposes | |
US11795541B2 (en) | Method of cooling a deposition source, chamber for cooling a deposition source and deposition system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190607 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20191001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200203 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20200210 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200512 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20200923 |