JP2009084663A - 蒸気発生装置、蒸着源、蒸着装置、蒸気発生方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸気発生装置22は内側突部22aが回転軸35の先端と対面するように配置されており、回転軸35の先端は内側突部22aが放出する輻射熱で有機材料39の蒸発温度以上に加熱されるから、有機材料39の蒸気が回転軸35の先端に析出しない。落下孔48は内側突部22aと外周突部22bの間の供給部29上に位置するから、落下孔48から落下する有機材料39は外周突部22bで堰き止められ、供給部29から零れ落ちない。
【選択図】図3
Description
ホール輸送層、発光層、電子輸送層等は一般に有機材料で構成されており、このような有機材料の膜の成膜には蒸着装置が広く用いられる。
蒸着容器212の側面と底面にはヒータ223が配置されており、真空槽211内を真空排気し、ヒータ223が発熱すると蒸着容器212が昇温し、蒸着容器212内の有機蒸着材料200が加熱される。
放出口224の上方にはホルダ210が配置されており、ホルダ210に基板205を保持させておけば、放出口224から放出された有機材料蒸気が基板205表面に到達し、ホール注入層やホール輸送層や発光層等の有機薄膜が形成される。
その結果、初期状態に比べて有機蒸着材料200が劣化し、有機薄膜の膜質が悪くなる。
本発明は蒸気発生装置であって、前記加熱板の表面に、前記内側突部を取り囲むように配置された外周突部を有し、前記供給部は、前記内側突部と前記外周突部と間に位置する蒸気発生装置である。
本発明は蒸気発生装置であって、前記内側突部と、前記外周突部と、前記加熱板は、それぞれ金属で構成された蒸気発生装置である。
本発明は蒸着源であって、前記蒸気発生装置と、供給装置とを有し、前記供給装置は、前記有機材料を収容する収容部と、前記収容部に収容された前記有機材料を前記供給装置の外部に移動させる移動装置とを有し、前記移動装置が有する落下孔は、前記蒸気発生装置の上方に配置され、前記収容部内の前記有機材料は、前記移動装置の落下孔から前記蒸気発生装置上に落下するように構成された蒸着源である。
本発明は蒸着源であって、前記蒸気発生装置は、前記内側突部が配置された側の面を上側に向けて配置され、前記落下孔は前記供給部上に位置する蒸着源である。
本発明は蒸着源であって、前記移動装置は、前記収容部の底面に設けられた開口と、一端が前記収容部の前記開口に接続され、他端が前記収容部の外部に接続された接続管と、前記接続管に挿通された回転軸とを有し、前記回転軸と前記接続管の内壁面との間の隙間の下端で、前記落下孔が構成された蒸着源である。
本発明は蒸着源であって、前記回転軸の下端は前記内側突部の先端上に位置する蒸着源である。
本発明は蒸着源であって、前記回転軸は、軸本体と、前記軸本体の先端に配置された断熱部材とを有し、前記回転軸は、前記断熱部材が配置された側の端部を下方に向けて、前記接続管に挿通された蒸着源である。
本発明は蒸着源であって、前記断熱部材はSi3N4を主成分とするセラミック材料で構成された蒸着源である。
本発明は、真空槽と、放出装置と、前記蒸着源とを有し、前記蒸着源の前記蒸気発生装置が配置された空間が、前記放出装置の内部空間に接続され、前記放出装置には、前記真空槽の内部空間と前記放出装置の内部空間とを接続する放出口が形成された蒸着装置である。
本発明は蒸気発生方法であって、前記蒸気発生装置を、真空雰囲気中で前記有機材料の蒸発温度以上にし、前記供給部に前記有機材料を供給する蒸気発生方法である。
本発明は蒸気発生方法であって、前記蒸気発生装置を、前記内側突部が形成された側の面を上側に向けて配置した状態で、前記供給部の上方から前記有機材料を落下させて、前記供給部に前記有機材料を供給する蒸気発生方法である。
成膜装置1は複数の蒸着装置10a〜10cを有しており、ここでは、各蒸着装置10a〜10cは搬送室2に接続され、蒸着装置10a〜10cが接続された搬送室2には、搬入室3aと、搬出室3bと、処理室6と、スパッタ室7と、マスク収容室8とが接続されている。マスク収容室8内部には複数のマスクが収容されており、蒸着装置10a〜10cやスパッタ室7内部に配置されたマスクと定期的に交換される。
接続管33の構成は特に限定されないが、ここでは、装置本体31が収容部32の底面よりも下方に伸ばされ、その伸ばされた下部分に、収容部32の開口と連通する貫通孔が形成され、該下部分からなる外筒43と、外筒43に挿通された金属製の直管(内筒)42とで構成されており、接続管33の内部空間は内筒42の内部空間で構成され、接続管33の内壁面は内筒42の内壁面で構成されている。
本発明に用いられる有機材料39は粉体である。突条36先端から接続管33の内壁面までの距離は、有機材料39の粒径(例えば粒径100μm以上200μm以下)よりも小さく、有機材料39は突条36先端と接続管33内壁面との間には落ちない。
露出部材のうち、回転軸35の先端は、上述したように内側突部22a先端と対面しているから、他の露出部材に比べて蒸気発生装置22との間の距離が短く、蒸気発生装置22からの輻射熱を多量に受ける。従って、回転軸35を加熱ヒーター等で加熱しなくても、回転軸35の先端が有機材料39の蒸発温度以上になり、蒸気が析出しない。
供給管52には噴出口53が形成されており、供給管52に供給された蒸気は噴出口53から放出容器51内部に放出される。
成膜部70は、真空槽11と、真空槽11の内部に配置された放出装置50とを有しており、真空槽11には真空排気系9が接続されている。図2では真空槽11は省略されている。
上記加熱温度に昇温した蒸気発生装置22に有機材料39を落下させた場合に、有機材料39が供給部29に溜まらずに蒸発する単位時間当たりの落下量(供給速度)を求めておく。
必要落下量と供給速度からは必要落下量の有機材料39を落下させるのに要する必要落下時間が分かる。
蒸気が放出口55から放出される前には、上述したように基板81は放出装置50上に配置され、マスク16と基板81の位置合わせも終了している。従って、放出口55から放出される蒸気は基板81表面の所定領域に到達して有機材料39の薄膜(有機薄膜)が成長する。
また、先の有機薄膜の成膜を終了後、マスク16を交換するか、マスク16を基板81に対して移動させ、有機薄膜が形成された領域をマスク16の遮蔽部18で多い、マスク16の開口17を有機薄膜が形成されていない領域と対面させてから、次の有機材料39の蒸気の放出すれば、有機薄膜は積層されず、別々の領域に有機薄膜が形成される。
マスクの交換又は移動と、着色層の形成とを繰り返せば、3色以上の着色層からなる発光層を形成することができる。
例えば、1台の放出装置50に複数の蒸着源20a〜20cを接続しておき、ホストとドーパントを、1台の放出装置50に接続した異なる蒸着源20a〜20cの収容部32にそれぞれ収容しておく。
冷却板57の放出口55上の位置に、放出口55が露出する開口(蒸気放出口)を設けておき、該開口の大きさを、放出口55から放出される蒸気が接触しない程度に大きくすれば、蒸気が冷却板57に析出しない。
内側突部22aと外周突部22bと加熱板22cを金属のような熱伝導性材料で構成すれば、誘導加熱で加熱する場合もヒーターからの熱伝導で加熱する場合も、蒸気発生装置22の一部を加熱するだけで全体が昇温するので、加熱効率が高い。
断熱部材46の構成材料は特に限定されないが、Si3N4を主成分とするセラミック材料は、断熱性だけでなく、絶縁性、機械的強度に優れているので特に好ましい。
蒸着源20a〜20cの設置場所は特に限定されず、蒸着源20a〜20cの一部又は全部を、放出装置50と同じ真空槽11内部に設定してもよい。
Claims (12)
- 粉体の有機材料を加熱して、前記有機材料の蒸気を発生させ、有機薄膜を形成させる蒸気発生装置であって、
加熱板と、前記加熱板の表面に配置された内側突部とを有し、
前記加熱板と前記内側突部とが前記有機材料の蒸発温度以上にされた状態で、前記内側突部の周囲の供給部に、前記有機材料が供給されると、前記有機材料の蒸気が発生する蒸気発生装置。 - 前記加熱板の表面に、前記内側突部を取り囲むように配置された外周突部を有し、
前記供給部は、前記内側突部と前記外周突部と間に位置する請求項1記載の蒸気発生装置。 - 前記内側突部と、前記外周突部と、前記加熱板は、それぞれ金属で構成された請求項2記載の蒸気発生装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の蒸気発生装置と、供給装置とを有し、
前記供給装置は、前記有機材料を収容する収容部と、前記収容部に収容された前記有機材料を前記供給装置の外部に移動させる移動装置とを有し、
前記移動装置が有する落下孔は、前記蒸気発生装置の上方に配置され、前記収容部内の前記有機材料は、前記移動装置の落下孔から前記蒸気発生装置上に落下するように構成された蒸着源。 - 前記蒸気発生装置は、前記内側突部が配置された側の面を上側に向けて配置され、前記落下孔は前記供給部上に位置する請求項4記載の蒸着源。
- 前記移動装置は、前記収容部の底面に設けられた開口と、一端が前記収容部の前記開口に接続され、他端が前記収容部の外部に接続された接続管と、前記接続管に挿通された回転軸とを有し、
前記回転軸と前記接続管の内壁面との間の隙間の下端で、前記落下孔が構成された請求項4又は請求項5のいずれか1項記載の蒸着源。 - 前記回転軸の下端は前記内側突部の先端上に位置する請求項6記載の蒸着源。
- 前記回転軸は、軸本体と、前記軸本体の先端に配置された断熱部材とを有し、
前記回転軸は、前記断熱部材が配置された側の端部を下方に向けて、前記接続管に挿通された請求項6又は請求項7のいずれか1項記載の蒸着源。 - 前記断熱部材はSi3N4を主成分とするセラミック材料で構成された請求項8記載の蒸着源。
- 真空槽と、放出装置と、請求項4乃至請求項9のいずれか1項記載の蒸着源とを有し、
前記蒸着源の前記蒸気発生装置が配置された空間が、前記放出装置の内部空間に接続され、
前記放出装置には、前記真空槽の内部空間と前記放出装置の内部空間とを接続する放出口が形成された蒸着装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の蒸気発生装置を、真空雰囲気中で前記有機材料の蒸発温度以上にし、前記供給部に前記有機材料を供給する蒸気発生方法。
- 前記蒸気発生装置を、前記内側突部が形成された側の面を上側に向けて配置した状態で、前記供給部の上方から前記有機材料を落下させて、前記供給部に前記有機材料を供給する請求項11記載の蒸気発生方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009087869A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 供給装置、蒸着装置 |
JP2011108552A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | 有機el装置の製造方法 |
JP2011179073A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Ulvac Japan Ltd | 薄膜形成装置 |
KR101134951B1 (ko) | 2009-09-28 | 2012-04-10 | 주식회사 선익시스템 | 증착장치의 증발원 및 이의 제어방법 |
JP2019116646A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-18 | 株式会社アルバック | 有機薄膜製造装置、蒸発源 |
Families Citing this family (77)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010123027A1 (ja) * | 2009-04-24 | 2010-10-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 蒸着処理装置および蒸着処理方法 |
KR101069842B1 (ko) | 2009-05-11 | 2011-10-04 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 기판 처리 시스템 |
JP5623786B2 (ja) | 2009-05-22 | 2014-11-12 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 薄膜蒸着装置 |
TWI472639B (zh) | 2009-05-22 | 2015-02-11 | Samsung Display Co Ltd | 薄膜沉積設備 |
US8882920B2 (en) | 2009-06-05 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8882921B2 (en) | 2009-06-08 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8802200B2 (en) | 2009-06-09 | 2014-08-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning organic deposition materials |
US9174250B2 (en) | 2009-06-09 | 2015-11-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning organic deposition materials |
KR101097311B1 (ko) | 2009-06-24 | 2011-12-21 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 및 이를 제조하기 위한 유기막 증착 장치 |
KR101117720B1 (ko) | 2009-06-25 | 2012-03-08 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법 |
JP4758513B2 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-08-31 | 富士フイルム株式会社 | 容器のスクリーニング方法 |
KR20110014442A (ko) | 2009-08-05 | 2011-02-11 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR101127575B1 (ko) | 2009-08-10 | 2012-03-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치 |
KR101127578B1 (ko) | 2009-08-24 | 2012-03-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
JP5676175B2 (ja) | 2009-08-24 | 2015-02-25 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 |
JP5328726B2 (ja) | 2009-08-25 | 2013-10-30 | 三星ディスプレイ株式會社 | 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法 |
US8486737B2 (en) | 2009-08-25 | 2013-07-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
JP5677785B2 (ja) | 2009-08-27 | 2015-02-25 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 |
US8696815B2 (en) | 2009-09-01 | 2014-04-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US20110097495A1 (en) * | 2009-09-03 | 2011-04-28 | Universal Display Corporation | Organic vapor jet printing with chiller plate |
US8876975B2 (en) | 2009-10-19 | 2014-11-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
KR101146982B1 (ko) | 2009-11-20 | 2012-05-22 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 및 유기 발광 디스플레이 장치 제조 방법 |
JP5437395B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-03-12 | 株式会社アルバック | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
KR101172275B1 (ko) * | 2009-12-31 | 2012-08-08 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 기화 장치 및 이의 제어 방법 |
KR101174874B1 (ko) * | 2010-01-06 | 2012-08-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 소스, 박막 증착 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
KR101084184B1 (ko) | 2010-01-11 | 2011-11-17 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 |
KR101174875B1 (ko) | 2010-01-14 | 2012-08-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101193186B1 (ko) | 2010-02-01 | 2012-10-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101156441B1 (ko) | 2010-03-11 | 2012-06-18 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 |
KR101202348B1 (ko) | 2010-04-06 | 2012-11-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
JP5520678B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2014-06-11 | 株式会社アルバック | 蒸着装置及び蒸着方法 |
US8894458B2 (en) | 2010-04-28 | 2014-11-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
KR101223723B1 (ko) | 2010-07-07 | 2013-01-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101673017B1 (ko) | 2010-07-30 | 2016-11-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조 방법 |
JP2012052187A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Kaneka Corp | 蒸着装置、成膜方法及び有機el装置の製造方法 |
KR101479528B1 (ko) | 2010-09-03 | 2015-01-07 | 울박, 인크 | 보호막 형성 방법, 표면 평탄화 방법 |
JP5530874B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2014-06-25 | 株式会社カネカ | 蒸着装置 |
KR20120029166A (ko) | 2010-09-16 | 2012-03-26 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101678056B1 (ko) | 2010-09-16 | 2016-11-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101738531B1 (ko) | 2010-10-22 | 2017-05-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101723506B1 (ko) | 2010-10-22 | 2017-04-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR20120045865A (ko) | 2010-11-01 | 2012-05-09 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기층 증착 장치 |
EP2652167B1 (en) * | 2010-12-13 | 2015-04-08 | Posco | Continuous coating apparatus |
KR20120065789A (ko) | 2010-12-13 | 2012-06-21 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기층 증착 장치 |
KR101760897B1 (ko) | 2011-01-12 | 2017-07-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착원 및 이를 구비하는 유기막 증착 장치 |
KR101923174B1 (ko) | 2011-05-11 | 2018-11-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 정전 척, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR101320434B1 (ko) | 2011-05-12 | 2013-10-23 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 원료물질 공급 제어장치 |
KR101840654B1 (ko) | 2011-05-25 | 2018-03-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR101852517B1 (ko) | 2011-05-25 | 2018-04-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR101857992B1 (ko) | 2011-05-25 | 2018-05-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 패터닝 슬릿 시트 어셈블리, 유기막 증착 장치, 유기 발광 표시 장치 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR101857249B1 (ko) | 2011-05-27 | 2018-05-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 패터닝 슬릿 시트 어셈블리, 유기막 증착 장치, 유기 발광 표시장치제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR101826068B1 (ko) | 2011-07-04 | 2018-02-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 |
KR20130004830A (ko) | 2011-07-04 | 2013-01-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR20130010730A (ko) | 2011-07-19 | 2013-01-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치 |
KR20130015144A (ko) | 2011-08-02 | 2013-02-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착원어셈블리, 유기층증착장치 및 이를 이용한 유기발광표시장치의 제조 방법 |
KR20130069037A (ko) | 2011-12-16 | 2013-06-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR102015872B1 (ko) | 2012-06-22 | 2019-10-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
US9461277B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-10-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display apparatus |
CN103545460B (zh) | 2012-07-10 | 2017-04-12 | 三星显示有限公司 | 有机发光显示装置、有机发光显示设备及其制造方法 |
KR102013315B1 (ko) | 2012-07-10 | 2019-08-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101959974B1 (ko) | 2012-07-10 | 2019-07-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101632298B1 (ko) | 2012-07-16 | 2016-06-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 평판 표시장치 및 그 제조방법 |
JP5985302B2 (ja) * | 2012-08-13 | 2016-09-06 | 株式会社カネカ | 真空蒸着装置及び有機el装置の製造方法 |
KR102048051B1 (ko) * | 2012-09-04 | 2019-11-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 환경 검사용 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 설비 |
KR102013318B1 (ko) | 2012-09-20 | 2019-08-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR101994838B1 (ko) | 2012-09-24 | 2019-10-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR20140050994A (ko) | 2012-10-22 | 2014-04-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조 방법 |
KR102052069B1 (ko) | 2012-11-09 | 2019-12-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR102075525B1 (ko) | 2013-03-20 | 2020-02-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR20140118551A (ko) | 2013-03-29 | 2014-10-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치, 유기 발광 표시 장치 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR102037376B1 (ko) | 2013-04-18 | 2019-10-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 패터닝 슬릿 시트, 이를 구비하는 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 유기발광 디스플레이 장치 |
KR102081284B1 (ko) | 2013-04-18 | 2020-02-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치 |
KR102107104B1 (ko) | 2013-06-17 | 2020-05-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR102108361B1 (ko) | 2013-06-24 | 2020-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착률 모니터링 장치, 이를 구비하는 유기층 증착 장치, 증착률 모니터링 방법, 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR102162797B1 (ko) | 2013-12-23 | 2020-10-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
JP2016040789A (ja) * | 2015-12-28 | 2016-03-24 | 日東電工株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス発光層の製造方法 |
CN114585770A (zh) * | 2019-11-29 | 2022-06-03 | Lg电子株式会社 | 沉积装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63171874A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Fuji Electric Co Ltd | フラツシユ蒸着蒸発源 |
JPH01279749A (ja) * | 1988-05-07 | 1989-11-10 | Fuji Electric Co Ltd | 電子写真用感光体製造装置 |
JPH0949072A (ja) * | 1995-08-10 | 1997-02-18 | Ulvac Japan Ltd | 有機化合物用蒸発源 |
JP2000068055A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Tdk Corp | 有機el素子用蒸発源、この有機el素子用蒸発源を用いた有機el素子の製造装置および製造方法 |
WO2006083734A2 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Eastman Kodak Company | Controllably feeding organic material in making oleds |
WO2006119403A2 (en) * | 2005-05-03 | 2006-11-09 | Eastman Kodak Company | Metering material to promote rapid vaporization |
WO2007053532A2 (en) * | 2005-10-31 | 2007-05-10 | Eastman Kodak Company | Vapor deposition apparatus and method |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60237638A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-26 | Sony Corp | 薄膜型磁気記録媒体の製法 |
JPH10195641A (ja) * | 1997-01-09 | 1998-07-28 | Ulvac Japan Ltd | 有機薄膜形成装置 |
JP3485297B2 (ja) * | 1997-03-17 | 2004-01-13 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜の製造方法及び製造装置 |
JP2001308082A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-11-02 | Nec Corp | 液体有機原料の気化方法及び絶縁膜の成長方法 |
JP4599727B2 (ja) * | 2001-02-21 | 2010-12-15 | 株式会社デンソー | 蒸着装置 |
JP2003160856A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸着装置と薄膜形成方法およびそれらを用いた表示装置 |
JP2003268552A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Watanabe Shoko:Kk | 気化器及びそれを用いた各種装置並びに気化方法 |
JP2003293121A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-15 | Cluster Ion Beam Technology Kk | 蒸着材料供給手段を備えた蒸着用坩堝 |
JP2003321765A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Sanyo Shinku Kogyo Kk | 有機物の蒸着方法及びこの方法に用いられる蒸着装置ならびに蒸発源 |
JP2004131768A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 樹脂薄膜の蒸着装置 |
JP4380319B2 (ja) * | 2002-12-19 | 2009-12-09 | ソニー株式会社 | 蒸着装置および有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP2004346371A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 成膜方法及び装置 |
JP4387775B2 (ja) * | 2003-11-25 | 2009-12-24 | 株式会社リコー | 有機薄膜の形成方法及びその形成装置 |
JP4454387B2 (ja) * | 2004-05-20 | 2010-04-21 | 日立造船株式会社 | 蒸着装置 |
JP4516499B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2010-08-04 | 三星モバイルディスプレイ株式會社 | 有機物蒸着装置 |
US7501152B2 (en) * | 2004-09-21 | 2009-03-10 | Eastman Kodak Company | Delivering particulate material to a vaporization zone |
JP4641417B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2011-03-02 | トッキ株式会社 | 有機el素子の製造装置並びに有機el素子 |
JP2007186750A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Noboru Naruo | 蒸発源と蒸発方法 |
JP2007224394A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着材料の蒸発方法および蒸発装置ならびに真空蒸着装置 |
JP4974832B2 (ja) * | 2007-09-10 | 2012-07-11 | 株式会社アルバック | 蒸着源、蒸着装置 |
-
2007
- 2007-10-02 JP JP2007259028A patent/JP4974832B2/ja active Active
- 2007-10-02 JP JP2007259049A patent/JP5201932B2/ja active Active
- 2007-10-02 JP JP2007259069A patent/JP4889607B2/ja active Active
- 2007-10-18 JP JP2007271252A patent/JP4871833B2/ja active Active
- 2007-10-29 JP JP2007280726A patent/JP5008527B2/ja active Active
- 2007-11-01 JP JP2007284697A patent/JP5140382B2/ja active Active
- 2007-11-19 JP JP2007299043A patent/JP4996430B2/ja active Active
-
2008
- 2008-02-25 JP JP2008043482A patent/JP5186243B2/ja active Active
- 2008-09-04 JP JP2008226966A patent/JP5008624B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63171874A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Fuji Electric Co Ltd | フラツシユ蒸着蒸発源 |
JPH01279749A (ja) * | 1988-05-07 | 1989-11-10 | Fuji Electric Co Ltd | 電子写真用感光体製造装置 |
JPH0949072A (ja) * | 1995-08-10 | 1997-02-18 | Ulvac Japan Ltd | 有機化合物用蒸発源 |
JP2000068055A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Tdk Corp | 有機el素子用蒸発源、この有機el素子用蒸発源を用いた有機el素子の製造装置および製造方法 |
WO2006083734A2 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Eastman Kodak Company | Controllably feeding organic material in making oleds |
WO2006119403A2 (en) * | 2005-05-03 | 2006-11-09 | Eastman Kodak Company | Metering material to promote rapid vaporization |
WO2007053532A2 (en) * | 2005-10-31 | 2007-05-10 | Eastman Kodak Company | Vapor deposition apparatus and method |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009087869A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 供給装置、蒸着装置 |
KR101134951B1 (ko) | 2009-09-28 | 2012-04-10 | 주식회사 선익시스템 | 증착장치의 증발원 및 이의 제어방법 |
JP2011108552A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | 有機el装置の製造方法 |
US8114703B2 (en) | 2009-11-19 | 2012-02-14 | Toshiba Mobile Display Co., Ltd. | Organic EL device |
US8202756B2 (en) | 2009-11-19 | 2012-06-19 | Toshiba Mobile Display Co., Ltd. | Organic EL device |
JP2011179073A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Ulvac Japan Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2019116646A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-18 | 株式会社アルバック | 有機薄膜製造装置、蒸発源 |
JP7044542B2 (ja) | 2017-12-26 | 2022-03-30 | 株式会社アルバック | 有機薄膜製造装置、蒸発源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5201932B2 (ja) | 2013-06-05 |
JP4974832B2 (ja) | 2012-07-11 |
JP2009087869A (ja) | 2009-04-23 |
JP4889607B2 (ja) | 2012-03-07 |
JP4996430B2 (ja) | 2012-08-08 |
JP2009084675A (ja) | 2009-04-23 |
JP5008624B2 (ja) | 2012-08-22 |
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