JP2019116646A - 有機薄膜製造装置、蒸発源 - Google Patents
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Description
本発明は、前記蒸発面は、平面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、成膜槽と、前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、前記蒸発源は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する有機薄膜製造装置である。
本発明は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は平面である蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である蒸発源である。
本発明は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた蒸発源である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される蒸発源である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する蒸発源である。
蒸発槽13の内部には、蒸発台141が配置されており、落下孔20は蒸発台141の上方に位置されている。
5……真空槽
61〜65……蒸発源
46……平坦化部材
13……蒸発槽
141〜143……蒸発台
161〜163……蒸発面
221……母材落下孔
222……添加材用落下孔
29……蒸気放出装置
31、321、322……有機蒸着材料
42……台回転装置
471〜473……回転中心
Claims (14)
- 成膜槽と、
前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、
前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、
前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、
前記蒸発源は、蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する台用ヒータ装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、
前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた有機薄膜製造装置。 - 前記蒸発面は、平面である請求項1記載の有機薄膜製造装置。
- 前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である請求項1記載の有機薄膜製造装置。
- 前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である請求項1記載の有機薄膜製造装置。
- 成膜槽と、
前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、
前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、
前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、
前記蒸発源は、蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、
前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、
前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた有機薄膜製造装置。 - 前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の有機薄膜製造装置。 - 前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の有機薄膜製造装置。 - 蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、
前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた蒸発源。 - 前記蒸発面は平面である請求項8記載の蒸発源。
- 前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である請求項8記載の蒸発源。
- 前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である請求項8記載の蒸発源。
- 蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、
前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、
前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた蒸発源。 - 前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される請求項8乃至請求項12のいずれか1項記載の蒸発源。 - 前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する請求項8乃至請求項12のいずれか1項記載の蒸発源。
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JP2006307239A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着材料の蒸発装置 |
JP2009084663A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 蒸気発生装置、蒸着源、蒸着装置、蒸気発生方法 |
JP2013072122A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Fujifilm Corp | 有機材料の蒸着装置および蒸着方法 |
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