JP7044542B2

JP7044542B2 - 有機薄膜製造装置、蒸発源

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Description

本発明は、有機薄膜を形成する技術に関し、特に、有機薄膜を形成するための有機材料蒸気を生成する技術に関する。

有機薄膜に電流を流すと発光し、表示装置として適していることから、粉体の有機薄膜材料を蒸発させ、ガラス基板から成る成膜対象物の表面に、表示装置用の有機薄膜を形成する技術が用いられている。

近年では、大型のガラス基板に均一に有機薄膜を形成する技術が求められているが、粉体を容器に配置して容器を加熱し、有機薄膜材料の蒸気を生成する技術では、ガラス基板の大型化に伴って容器を大型化しても、粉体を均一に加熱することは困難であり、均一な蒸気を発生させることができなかった。

加熱された蒸発台上に粉体を少量ずつ落下させて蒸発させる有機薄膜形成方法もあるが、大型のガラス基板に成膜するために、落下させる粉体の量が多くなると蒸発台上で粉体が重なり合って均一に加熱されなくなり、均一な蒸気の発生が困難になる。

特開２００９－８４６７４号公報

本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作された発明であり、その課題は、多量の有機蒸着材料の粉体を均一に加熱することができる技術を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明は、成膜槽と、前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、前記蒸発源は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する台用ヒータ装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記蒸発面は、平面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、成膜槽と、前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、前記蒸発源は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する有機薄膜製造装置である。
本発明は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は平面である蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である蒸発源である。
本発明は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた蒸発源である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される蒸発源である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する蒸発源である。

蒸発台に落下する有機蒸着材料の粉体を構成する粒子それぞれを蒸発台と接触させることができるので、各粒子は蒸発台からの熱伝導によって均一に加熱される。

(ａ)、(ｂ)：第一例の有機薄膜製造装置を説明するための図面 (ａ)、(ｂ)：第二例の有機薄膜製造装置を説明するための図面 (ａ)、(ｂ)：第三例の有機薄膜製造装置を説明するための図面 (ａ)、(ｂ)：第四例の有機薄膜製造装置を説明するための図面 (ａ)、(ｂ)：第五例の有機薄膜製造装置を説明するための図面

図１の符号２₁は、本発明の第一例の有機薄膜製造装置であり、成膜槽としての真空槽５と、蒸発源６₁と、蒸気輸送装置７と、蒸気放出装置２９とを有している。

蒸発源６₁は、有機材料供給装置１５ａと蒸気生成装置１０₁とを有しており、有機材料供給装置１５ａは真空槽５の内部に配置された材料容器１１と、下端が真空槽５の内部に配置され、上部が真空槽５の外部に気密に導出された供給ロッド３０とを有している。蒸気輸送装置７と蒸気放出装置２９とは真空槽５の内部に配置されている。

真空槽５の外部にはモータ等のロッド回転装置２３が配置されており、供給ロッド３０の上端はロッド回転装置２３に接続されている。ロッド回転装置２３は制御装置４３に取り付けられており、制御装置４３から入力される制御信号によってロッド回転装置２３が動作すると、供給ロッド３０は中心軸線を中心として回転するようにされている。

蒸気生成装置１０₁は蒸発槽１３を有している。材料容器１１の底面は中心が下方に位置する傾斜面に形成されており、底面の中心には管状の供給管４５に形成されている。従って、材料容器１１の底面は漏斗形形状にされている。

材料容器１１は、上部が真空槽５の内部であって蒸発槽１３の上部の位置に配置されている。供給管４５は蒸発槽１３の天井を通って蒸発槽１３の内部に挿入されており、供給管４５の下端の開口である落下孔２０は蒸発槽１３の内部に配置されている。
蒸発槽１３の内部には、蒸発台１４₁が配置されており、落下孔２０は蒸発台１４₁の上方に位置されている。

真空槽５の外部にはモータ等の台回転装置４２が配置されている。蒸発台１４₁の表面である蒸発面１６₁は平坦に形成され、水平に配置されており、蒸発台１４₁の下方には回転軸３５が配置されている。回転軸３５の上端は蒸発台１４₁の裏面に固定されており、回転軸３５の下部は真空槽５の外部に気密に導出され、台回転装置４２に接続されている。

台回転装置４２は制御装置４３に接続されており、台回転装置４２は制御装置４３から入力される制御信号によって動作する。回転動作を開始すると、回転軸３５は回転軸３５の中心軸線を中心として蒸発台１４₁と共に回転される。蒸発面１６₁は水平に配置されており、蒸発面１６₁は水平面内で回転する。

供給ロッド３０の下部には螺旋３３が形成されており、供給ロッド３０の下部は、供給管４５に挿入されている。

材料容器１１の内部には、有機蒸着材料の微少な多数の粒子から成る粉体が材料容器１１の上方から投入されており、投入された粉体の有機蒸着材料は材料容器１１の傾斜された底面を滑落し、供給管４５の内部に落下する。落下した粉体は供給管４５に挿入された螺旋３３によって落下が停止される。

その結果、材料容器１１の内部に有機蒸着材料が蓄積される。図１(ａ)の符号３１は材料容器１１の内部に蓄積された有機蒸着材料を示している。

供給ロッド３０の回転は制御装置４３によって制御されており、回転数に応じた体積の粉体が落下孔２０から落下するので、蒸発面１６₁に落下する量は、制御装置４３によって制御される。

落下孔２０の鉛直下方の位置には蒸発面１６₁の一部分が位置しており、有機蒸着材料３１は、落下孔２０から落下孔２０の真下位置に向けて落下し、蒸発面１６₁上に乗せられる。

図１(ｂ)では、蒸発面１６₁の落下孔２０の真下位置の部分を、同じ符号２０を付して示してある。

なお、第一例の有機薄膜製造装置２₁では、有機蒸着材料３１は、有機薄膜の母材の粒子と発色の色を決定する添加剤の粒子とが混合された粉体である。

図１(ｂ)の符号４７₁は、蒸発面１６₁の回転中心であり、この有機薄膜製造装置２₁の落下孔２０及び後述する各有機薄膜製造装置２₂～２₅の落下孔２０は、回転中心４７₁～４７₃の真上位置から離間した場所に配置されており、落下孔２０から落下する有機蒸着材料は、回転中心４７₁に近い場所であって、且つ回転中心４７₁を含まない場所に配置される。各有機薄膜製造装置２₁～２₅の回転中心４７₁～４７₃は蒸発面１６₁～１６₃の所定の位置に配置されており、例えば、蒸発面１６₁～１６₃の中央位置に回転中心４７₁～４７₃を配置することができる。

有機蒸着材料３１が落下孔２０から落下する際には、蒸発台１４₁は回転され、落下した有機蒸着材料の粉体は蒸発面１６₁によって転がされるから、粉体同士は重ならずに広がるようになっている。また、落下孔２０の真下位置には、表面が露出され、移動中の蒸発面１６₁が到着しており、広がった各粉体は、それぞれ蒸発面１６₁と直接接触して蒸発面１６₁上に配置される。

真空槽５には、真空排気装置１８が接続されており、このように蒸発面１６₁に有機蒸着材料が配置される前に、真空排気装置１８によって真空槽５の内部は真空排気され、真空槽５が真空排気されると蒸発槽１３の内部も真空排気される。その結果、真空槽５の内部と蒸発槽１３の内部とは真空雰囲気に置かれている。

蒸発台１４₁の内部には台用ヒータ２５が配置されており、蒸発槽１３の周囲には補助用ヒータ１７が配置されている。

真空槽５の外部には加熱電源が配置されており、加熱電源の動作によって台用ヒータ２５と補助用ヒータ１７とに電力が供給され、台用ヒータ２５と補助用ヒータ１７とは発熱する。

台用ヒータ２５と補助用ヒータ１７とが蒸発台１４₁を加熱する加熱装置となり、蒸発面１６₁上に落下した有機蒸着材料の粉体は加熱装置によって加熱される。蒸発槽１３は補助用ヒータ１７によって加熱されている。

蒸発台１４₁と蒸発槽１３は、有機蒸着材料の気体が凝集する温度よりも高い温度、つまり、有機蒸着材料の昇華温度又は液化した場合の有機蒸着材料の沸点よりも高い温度に昇温されている。

蒸発面１６₁上に落下し、蒸発面１６₁と接触した有機蒸着材料の粉体は蒸発面１６₁からの輻射と熱伝導によって加熱され、その結果、均一に昇華し、蒸発する。粉体が重なっていた場合も蒸発面１６₁の回転によって粉体の重なりは崩れるため、各粉体は蒸発面１６₁と接触しやすく、均一に加熱される。

蒸発槽１３には供給孔１９が設けられており、供給孔１９には蒸気輸送装置７が接続されている。

蒸気放出装置２９は、放出容器４と、放出容器４の開口を塞ぐ放出板３６と、放出板３６に形成された放出孔３９とを有している。蒸気輸送装置７は蒸気放出装置２９の放出容器４に接続され、蒸発槽１３の内部で生成された有機蒸着材料の気体は、蒸気輸送装置７を通って蒸気放出装置２９に供給され、放出容器４から放出孔３９を通って放出容器４の外部であって真空槽５の内部に放出される。

放出孔３９から放出された有機蒸着材料の気体の進行方向には、ホルダ８が配置されており、ホルダ８の蒸気放出装置２９に対面する位置には、成膜対象物３が配置されている。

放出孔３９から放出された有機蒸着材料の気体は成膜対象物３の表面に到達し、到達した気体によって有機蒸着材料の薄膜が成長する。

ここでは、成膜対象物３は、蒸気放出装置２９に対面する位置で静止されていたが、成膜対象物３は、蒸気放出装置２９に対面する位置を通過するように構成されていてもよい。

薄膜が所定膜厚に形成された成膜対象物３は真空槽５の外部に搬出され、未成膜の成膜対象物３が真空槽５の内部に搬入され、薄膜が形成される。

なお、放出容器４と蒸気輸送装置７とには凝縮防止用ヒータ４１が巻回されており、通電によって凝縮防止用ヒータ４１が発熱すると、放出容器４と蒸気輸送装置７とは有機蒸着材料が析出しない温度に昇温される。

蒸気輸送装置７には三方弁２８が設けられており、成膜対象物３に薄膜を形成しないときには、供給孔１９から蒸気輸送装置７に流入した有機蒸着材料の気体を蒸気放出装置２９に供給せず、蒸気回収容器４４に回収する。

上記の有機薄膜製造装置２₁の蒸気生成装置１０₁は、水平配置された平面形形状の蒸発面１６₁が設けられた蒸発台１４₁を有していたが、図２(ａ)、(ｂ)に示す第二例の有機薄膜製造装置２₂のように、蒸発源６₂の蒸気生成装置１０₂は、回転中心４７₂の位置が最も高く、周辺が回転中心４７₂よりも低くなる「コーン形」形状の蒸発面１６₂が設けられた蒸発台１４₂を有していても良い。

この蒸気生成装置１０₂では、蒸発面１６₂上に落下した有機蒸着材料の粉体は、蒸発面１６₂の傾斜と回転とによって、蒸発面１６₂の周辺方向に転がりやすく、粉体の積層物が生成されにくくなっている。

また、図３(ａ)、(ｂ)に示す第三例の有機薄膜製造装置２₃のように、蒸発源６₃の蒸気生成装置１０₃は、回転中心４７₃の位置が最も低く、周辺が回転中心４７₃よりも高い「すり鉢形」形状の蒸発面１６₃が設けられた蒸発台１４₃を有していてもよい。

この蒸気生成装置２₃では、蒸発面１６₃上に落下した有機蒸着材料の粉体は、蒸発面１６₃の傾斜によって、蒸発面１６₃の回転中心４７₃方向に転がりやすく、特に、粉体又は粉体の熔融物が蒸発面１６₃上から落下しないようになっている。

以上説明した有機薄膜製造装置２₁～２₃では、材料容器１１に配置された有機蒸着材料３１は、有機薄膜の母材となる母材化合物と、放射光の色を決定する添加化合物とが混合されているが、図４(ａ)、(ｂ)に示す第四例の有機薄膜製造装置２₄の蒸着源６₄のように、蒸気生成装置１０₄に、母材を配置する母材容器１１₁と添加材を配置する添加材容器１１₂とを有する有機材料供給装置１５ｂを設け、供給ロッド３０₁、３０₂に接続されたロッド回転装置２３、２４を動作させ、供給ロッド３０₁、３０₂と共に螺旋３３_1、３３₂を回転させる。母材容器１１₁の供給管４５₁の開口を母材落下孔２２₁として母材落下孔２２₁から蒸発面１６₁に母材の有機蒸着材料３２₁を落下させ、添加材容器１１₂の供給管４５₂の開口を添加材用落下孔２２₂として添加材用落下孔２２₂から添加材の有機蒸着材料３２₂を蒸発面１６₁に落下させるようにすることができる。

この場合、母材落下孔２２₁と添加材用落下孔２２₂とは回転中心４７₁の真上位置から離間した場所に配置されており、回転中心４７₁よりも周辺に近い位置に母材と添加材とは落下し、母材と添加材とは加熱装置によって加熱された蒸発台１４₁からの熱伝導によって加熱され、有機化合物の蒸気が生成され、蒸発槽１３の内部で混合されて母材の蒸気と添加剤の蒸気とから成る有機蒸着材料の蒸気が生成される。

従って、母材落下孔２２₁と添加材用落下孔２２₂とによって蒸発台１４₁に有機蒸着材料を供給する落下孔２１が構成されており、この例でも、台用ヒータ２５と補助用ヒータ１７とが、蒸発台１４₁を加熱して有機蒸着材料の蒸気を発生させる加熱装置になっている。

蒸発槽１３の内部で混合された母材の蒸気と添加材の蒸気とは、供給孔１９から蒸気放出装置２９に供給され、有機蒸着材料の薄膜が形成される。

次に、図５の第五例の有機薄膜製造装置２₅では、蒸発源６₅の蒸気生成装置１０₅は回転軸３５とは別個に回転される副回転軸４８を有している。

副回転軸４８の中心軸線は、回転軸３５の中心軸線と一致するように配置されており、副回転軸４８の蒸発台１４₁の上方に突き出された部分には、平坦化部材４６が取り付けられている。

副回転軸４８は台回転装置４２に取り付けられており、副回転軸４８と蒸発台１４₁とは、同一の中心軸線を回転軸線として相対的に回転するようにされており、蒸発台１４₁と副回転軸４８とのうち、いずれか一方が静止し、他方が回転するようにされていてもよいし、相対的に回転する限り、両方が同方向又は逆方向に回転してもよい。この例では、平坦化部材４６は、副回転軸４８の回転によって副回転軸４８と同じ方向であって同じ回転速度で回転するようにされている。

平坦化部材４６は棒形状にされ、互いに非接触にされた状態で平坦化部材４６は蒸発面１６₁上で水平に横設されており、平坦化部材４６と蒸発面１６₁との間には、有機蒸着材料３１の粉体の大きさよりも大きな隙間が形成されている。

蒸発面１６₁上に有機蒸着材料の粉体が配置され、平坦化部材４６と蒸発台１４₁とが相対的に回転すると蒸発面１６₁上の有機蒸着材料は回転移動し、有機蒸着材料のうち、蒸発台１４₁上で山となった部分が平坦化部材４６とが接触し、有機蒸着材料の山が崩される。

このように、蒸発面１６₁上に有機蒸着材料の山ができる場合には、有機蒸着材料の粒子が重なって配置されており重なった粒子は平坦化部材４６と接触して粉体の山が崩され、重なっていた粉体中の粒子が蒸発面１６₁と接触する。

従って、短時間で多量の粉体を落下孔２０から供給することができるので、蒸気の生成速度が大きくなり、大型の成膜対象物３に薄膜を形成することができる。「コーン形」形状の蒸発面１６₂が設けられた蒸発台１４₂や「すり鉢形」形状の蒸発面１６₃が設けられた蒸発台１４₃に、蒸発面１６₂、１６₃と非接触に平坦化部材４６を設け、相対回転させてもよい。

なお、図１～５中で、符号３７は膜厚センサであり、膜厚測定装置３８によって有機薄膜の膜厚が測定され、三方弁２８が制御される。

２₁～２₅……有機薄膜製造装置
５……真空槽
６₁～６₅……蒸発源
４６……平坦化部材
１３……蒸発槽
１４₁～１４₃……蒸発台
１６₁～１６₃……蒸発面
２２₁……母材落下孔
２２₂……添加材用落下孔
２９……蒸気放出装置
３１、３２₁、３２₂……有機蒸着材料
４２……台回転装置
４７₁～４７₃……回転中心

Claims

成膜槽と、
前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、
前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、
前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、
前記蒸発源は、
蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔を下端に有する供給管が形成された漏斗形状の底面を有する材料容器と、前記供給管に挿入されるとともに前記供給管に挿入される部位に螺旋が形成された供給ロッドとを有し、前記供給ロッドの軸まわりの回転により前記落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する台用ヒータ装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、
前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられ、前記回転中心の真上位置から水平方向に離間した場所に前記落下孔が配置された有機薄膜製造装置。
前記蒸発面は、平面である請求項１記載の有機薄膜製造装置。
前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である請求項１記載の有機薄膜製造装置。
前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である請求項１記載の有機薄膜製造装置。
成膜槽と、
前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、
前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、
前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、
前記蒸発源は、蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、
前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、
前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた有機薄膜製造装置。
前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の有機薄膜製造装置。
前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の有機薄膜製造装置。
蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔を下端に有する供給管が形成された漏斗形状の底面を有する材料容器と、前記供給管に挿入されるとともに前記供給管に挿入される部位に螺旋が形成された供給ロッドとを有し、前記供給ロッドの軸まわりの回転により前記落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、
前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられ、前記回転中心の真上位置から水平方向に離間した場所に前記落下孔が配置された蒸発源。
前記蒸発面は平面である請求項８記載の蒸発源。
前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である請求項８記載の蒸発源。
前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である請求
項８記載の蒸発源。
蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、
前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、
前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた蒸発源。
前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される請求項８乃至請求項１２のいずれか１項記載の蒸発源。
前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する請求項８乃至請求項１２のいずれか１項記載の蒸発源。