JP6147163B2 - 蒸発装置、成膜装置 - Google Patents

Description

本発明は、有機材料の蒸気を生成する技術分野に係り、特に、有機材料を少量ずつ加熱して蒸気を放出させる蒸発装置と、その蒸気によって有機薄膜を形成する成膜装置に関する。

有機材料を真空雰囲気中で蒸発させ、放出装置から蒸気を放出して有機薄膜を形成する成膜装置には、放出装置の中に有機材料を配置して蒸気を生成する成膜装置と、放出装置とは別の蒸発装置内で蒸気を発生させ、放出装置から放出させる成膜装置がある。

蒸発装置を用いる成膜装置は「輸送式」、と呼ばれており、図４は、輸送式の成膜装置１２０を示しており、蒸発槽１２２を有している。
蒸発槽１２２の上部には、開口１２９が形成されており蒸発槽１２２よりも上方に位置する供給装置から、この開口１２９を通って蒸発槽１２２の内部に粉体の有機材料が供給される。

蒸発槽１２２の底面には、蒸発皿１２１が配置されており、開口１２９を通過して供給された有機材料は、蒸発皿１２１上に落下する。図中の符号１１１は、落下して蒸発皿１２１上に配置された有機材料を示している。
蒸発皿１２１と蒸発槽１２２との外周には、導電線１２５が巻き回され、蒸発皿１２１と蒸発槽１２２とは、導電線１２５によって形成されたコイルの内部に配置されている。

蒸発皿１２１と蒸発槽１２２とはステンレス鋼によって構成されており、導電線１２５に交流電流が流されると、電磁誘導による起電力が蒸発皿１２１の内部と蒸発槽１２２の内部とに発生し、蒸発槽１２２と蒸発皿１２１とのうち、導電線１２５に近い部分に電流が流れ、発熱する。
蒸発槽１２２の内部空間である蒸発空間１２７は真空雰囲気にされており、有機材料１１１は真空雰囲気中で発熱する蒸発皿１２１と蒸発槽１２２とで加熱され、蒸発又は昇華し、蒸気が生成される。

蒸発槽１２２には配管１４９が接続されており、蒸発槽１２２内で生成された蒸気は蒸発空間１２７に充満し、配管１４９を通って放出装置に移動する。放出装置は、成膜対象物が配置される真空槽の内部に設けられており、放出装置から真空槽の内部に蒸気が放出され、蒸気が成膜対象物の表面に到達すると、成膜対象物の表面に有機材料の薄膜が形成される。
蒸発皿に工夫が成された技術は、例えば下記文献に記載されている。

特開２０１０−１５９４５４号公報

しかしながら上記従来技術の成膜装置１２０では、有機材料１１１が蒸発した後の蒸発皿１２１の表面に、有機材料の焦げや蒸発残渣が発生し、また、焦げの発生により、生成する蒸気の純度が低下する問題がある。
そのため、蒸発皿１２１を交換するために、成膜装置１２０を停止させる必要が生じる場合があった。

本発明は、焦げや蒸発残渣のない蒸発装置と成膜装置を提供することにある。

焦げについては、蒸発皿１２１の面内で大きな温度分布が発生し、部分的に過熱されることが原因であると考えられる。
焦げを観察すると、焦げは蒸発皿１２１の表面で同心状に発生している。このことは、蒸発皿１２１の面内に生じた温度分布のために、有機材料１１１の蒸着面積が蒸発皿１２１より小さくなることにより、一定の成膜速度を得るためには有機材料１１１が過剰に加熱されるためだと考えられる。またステンレス鋼（４３０材）で構成された蒸発皿１２１の底面の加工痕の形状（同心円状）に焦げが発生しており、蒸発皿１２１の底面の凹凸が材料付着の足がかりになっていると考えられる。

そこで、ステンレス鋼を使用していた蒸発皿１２１の材料を変更し、又、表面に被膜を形成する比較実験を行ったところ、Ｃｕ材にＮｉメッキを施した蒸発皿が、焦げが無く、安定して蒸気を生成できることを見出した。
材料を銅(Ｃｕ材)にして均熱性を向上させたことと、Ｎｉメッキによって蒸発皿の表面が滑らかになったことが寄与している。また、蒸発皿を加熱するキャップの形状も、均熱性に寄与していると考えられる。

なお、銅は誘電加熱では加熱され難いが熱伝導率が高いので、誘電加熱されて発熱している部材（キャップや蒸着槽）からの熱伝導で蒸発皿が加熱されるようにすると、過熱部分を無くし、蒸発皿面内の温度分布を均一化させることができる。

本発明は、上記知見に基づいて創作されたものであり、従来技術の問題を解決するために、本発明は、蒸発槽と、前記蒸発槽の内部で底部に有機材料が配置される蒸発皿と、前記蒸発皿を昇温させる加熱装置と、を有する蒸発装置であって、前記蒸発皿は、前記蒸発槽と密着部材を介して密着して前記蒸発槽に形成された開口を塞いで前記蒸発槽に取り付けられ、前記蒸発皿は、前記蒸発皿の形状に成形されている蒸発皿本体と、前記蒸発皿本体上に形成され、前記蒸発皿本体とは異なる組成の平坦化膜とを有し、前記蒸発皿の前記蒸発槽内に露出される部分には、前記平坦化膜が配置された蒸発装置である。
本発明は蒸発装置であって、前記平坦化膜はＮｉ被膜である蒸発装置である。
本発明は蒸発装置であって、前記蒸発皿本体は、銅で形成された蒸発装置である。
本発明は蒸発装置であって、前記蒸発皿は、前記底部の外周でキャップと螺合して前記キャップに接触され、前記キャップは前記蒸発槽と螺合して前記蒸発槽に接触され、前記蒸発皿は、前記キャップと螺合した部分での、前記キャップから前記底部への熱伝導によって昇温するように構成され、前記Ｎｉ被膜が形成された部分には前記底部の表面が含まれており、前記底部の裏面には、前記キャップとの間の隙間が設けられた蒸発装置である。
本発明は蒸発装置であって、前記加熱装置は、前記蒸発槽と前記キャップに誘導電流を流し、発熱させる蒸発装置である。
本発明は、真空槽と、前記真空槽内に配置された放出装置とを有し、前記放出装置から有機材料の蒸気を放出させ、前記真空槽内に搬入された成膜対象物の表面に薄膜を形成する成膜装置であって、前記放出装置は、上記いずれかの蒸発装置を有し、前記放出装置は、前記蒸発装置に接続された成膜装置である。

焦げがなく、生成する蒸気の中に変質したガスが含まれないので、高純度の有機薄膜を形成することができる。
また、蒸発皿に対する焦げが解消されたので、蒸発皿の交換頻度が減少する。

本発明の蒸発装置と成膜装置 成膜装置中の蒸発装置の部分の拡大図 蒸発装置中の蒸発皿とキャップの拡大図 従来技術の蒸発装置

図１の符号１０は本発明の成膜装置を示している。
この成膜装置１０は真空槽１１を有しており、真空槽１１の内部には、本発明の蒸発装置１２が配置されている。また、真空槽１１の内部には、有機材料(有機化合物)の蒸気を生成する本発明の蒸発装置１２に有機材料を供給する供給装置３０と、蒸発装置１２から蒸気が供給される蒸気放出装置５０とが配置されている。符号１３で示された蒸発装置については後述する。

供給装置３０は、容器３１と、供給筒体３４とを有しており、符号３６は、容器３１に配置された有機材料である第一の材料を示している。
供給筒体３４は、内部中空であり、供給筒体３４の側面と容器３１の側面とには、挿入孔が形成されている。

供給筒体３４は、筒体の中心軸線が鉛直にされ、側面の挿入孔が連通するように、供給筒体３４の側面が、容器３１の側面に接触して配置されている。挿入孔の内部には、オーガ４１が横設されており、オーガ４１は、容器３１の底面上から供給筒体３４の内部に亘って位置している。

オーガ４１は回転モータ３２に接続されており、回転モータ３２が動作すると、中心軸線を中心として、挿入孔の内部で回転する。
オーガ４１の側面には、溝が螺旋状に形成されており、オーガ４１の側面が、容器３１の底面上で第一の材料３６に接触した状態で回転すると、容器３１に蓄積された第一の材料３６のオーガ４１と接触する部分は、溝の内部を通って供給筒体３４側に移動する。

供給筒体３４内の内部中空部分３７には、回転軸４２が挿入されており、供給筒体３４の内周面と回転軸４２の外周面との間には隙間が形成されている。昇降モータ４７と回転モータ４８とによって、回転軸４２は、供給筒体３４の中で、回転と昇降とが可能なように構成されている。

供給筒体３４の下方には、筒状の断熱部３５が配置され、断熱部３５の下方には、蒸発槽２２が配置されている。
蒸発槽２２の上部には、貫通孔２９が設けられており、蒸発槽２２の内部空間である蒸発空間２７は、貫通孔２９と、断熱部３５の内部中空部分４５とを介して、供給筒体３４の内部中空部分３７に接続されている。

回転軸４２は、下端に位置する栓部４４を有しており、回転軸４２は、断熱部３５の内部空間と貫通孔２９とを通って蒸発空間２７内に下端が位置するように延びており、栓部４４の下部は蒸発空間２７内に位置し、上部の少なくとも一部は貫通孔２９内に位置するようにされている。

ところで、真空槽１１には、真空ポンプ８が接続されており、真空槽１１の内部は真空排気されている。供給装置３０と、蒸発装置１２とは、真空槽１１の内部に配置されており、供給装置３０と蒸発装置１２の内部も、真空ポンプ８によって真空排気され、蒸発槽２２の内部空間である蒸発空間２７は真空雰囲気にされている。

供給筒体３４の内部中空部分３７も真空雰囲気にされており、容器３１側から供給筒体３４側に移動し、内部中空部分３７に到達した第一の材料３６は、真空雰囲気にされた内部中空部分３７内を落下する。

回転軸４２の外周には、回転軸４２と一緒に回転する攪拌板４３が設けられている。ここでは、攪拌板４３は、断熱部３５の内部中空部分４５に配置され、回転されている。
攪拌板４３の表面は、傾斜して回転軸４２に取り付けられており、落下して断熱部３５内に入った第一の材料３６が攪拌板４３の傾斜した表面と衝突すると、第一の材料３６は回転軸４２の周囲に散布された状態で落下するようになる。

栓部４４の外径は、下方の方が上方よりも大径の円錐台形状である。
貫通孔２９は円形であり、栓部４４の底面の直径は、貫通孔２９の直径よりも大径にされており、昇降モータ４７によって回転軸４２が上方に移動することで栓部４４が上方に移動すると、貫通孔２９の開口周囲と栓部４４の外周面とが密着し、貫通孔２９が閉塞される。

その状態から回転軸４２と栓部４４とが下方に移動し、貫通孔２９の開口周囲から栓部４４が離間すると、貫通孔２９は開栓され、内部中空部分３７、４５と貫通孔２９とを落下した第一の材料３６は、貫通孔２９を通過して、蒸発槽２２の蒸発空間２７に入る。

蒸発装置１２の拡大図を、図２に示す。
蒸発槽２２の底部には開口２０が形成されており、蒸発槽２２よりも下方から見ると、開口２０にはキャップ２１が被せられている。

キャップ２１の拡大図を図３に示す。
キャップ２１は、有底の円筒形状であり、筒形状の取付部６４と、筒形状の取付部６４の底面となる板状の底面部６８とを有しており、底面部６８は、筒形状の取付部６４の一端を塞いでいることになる。

キャップ２１の底面部６８の上には、第一の材料３６が配置される容器状の蒸発皿２３が配置されている。
蒸発皿２３は、蒸発皿２３の形状に成形された蒸発皿本体１９を有している。蒸発皿本体１９は金属材料で形成されており、同じ金属材料から成る平板状の底部１８と、底部１８の周囲に設けられた環状の側壁部６３と、底部１８の下方の一部に設けられた脚部６６とを有している。脚部６６と、底部１８と、側壁部６３の金属材料は同一組成であり、単一金属であっても合金であってもよい。

キャップ２１の取付部６４の内周面と、蒸発皿２３の少なくとも底部１８の外周面とは円形であり、それぞれネジが設けられている。
取付部６４の内周面と底部１８の外周面とは、ねじ込み可能な等しい大きさにされており、蒸発皿２３の側壁部６３がキャップ２１の取付部６４に対して一方向に回転されてネジ込まれており、取付部６４の内周面と底部１８の外周面とが螺合して密着されて、キャップ２１に取り付けられている。図３の符号Ａが示す一点鎖線で囲んだ部分は、螺合して互いに密着された取付部６４の内周面と底部１８の外周面の部分を示している。
キャップ２１の取付部６４が発熱したときに、螺合した部分で、キャップ２１から蒸発皿２３に熱が伝達されるようになっている。

蒸発皿２３がキャップ２１に取り付けられた状態では、蒸発皿２３は脚部６６がキャップ２１の底面部６８上に乗せられ、蒸発皿２３の底部１８とキャップ２１の底面部６８とは接触しておらず、間に隙間６７が設けられており、蒸発皿２３の底部１８は、外周でキャップ２１と接触するが、隙間６７により、底面の中央部分は接触しないようになっている。
蒸発皿２３がキャップ２１に対して反対方向に回転されると、蒸発皿２３をキャップ２１から分離させることができる。

次に、キャップ２１の取付部６４の外周面と、蒸発槽２２の筒部分の内周面の下部とも円形であり、それぞれネジが設けられている。
取付部６４の外周面と、蒸発槽２２の内周面とは、ねじ込める程の等しい大きさであり、キャップ２１に取り付けられた蒸発皿２３を蒸発空間２７に向けた状態で一方向に回転させると、キャップ２１の取付部６４を蒸発槽２２の内周面の下部にねじ込むことができる。逆方向に回転させると、キャップ２１及び蒸発皿２３とを、蒸発槽２２から取り外すことができる。

蒸発槽２２は、環状のリング突起部６１を有している。このリング突起部６１は、蒸発槽２２の内周面の、ネジが設けられた部分よりも上方位置に設けられており、蒸発槽２２の内周面から、蒸発空間２７に向けて突き出されている。

キャップ２１を蒸発槽２２にねじ込む際には、蒸発皿２３の側壁部６３の上部と、リング突起部６１の底面とが対面するようになっており、従って、蒸発皿２３の側壁部６３の上部の上に環状の密着部材(ガスケット)６２を乗せ、キャップ２１に蒸発皿２３を取り付けた状態で、キャップ２１を一方向に回転させて蒸発槽２２にねじ込むときには、回転に従って、側壁部６３の上部とリング突起部６１とが近づき、密着部材６２が、側壁部６３とリング突起部６１とで挟まれ、側壁部６３とリング突起部６１とは密着部材６２にそれぞれ接触する。

側壁部６３とリング突起部６１の、密着部材６２に接触する部分には、凸部又は凹部が設けられており、密着部材６２の、少なくとも、側壁部６３に接触する部分とリング突起部６１に接触する部分は、蒸発皿２３や蒸発槽２２が密着部材６２に接触する部分の材料よりも軟質にされている。
ここでは、蒸発槽２２とキャップ２１の材料はステンレス鋼であり、密着部材６２の少なくとも表面の材料は黒鉛である。

従って、更に回転させてねじ込むと密着部材６２は側壁部６３とリング突起部６１とで挟まれて押圧され、変形し、その結果、側壁部６３とリング突起部６１との間は変形した密着部材６２によって気密に密着する。

このとき、取付部６４と蒸発槽２２とは螺合し、キャップ２１と蒸発皿２３とが、蒸発槽２２に取り付けられており、密着部材６２の変形により、リング突起部６１と蒸発槽２２の筒部分との間は気密になっている。

また、側壁部６３は、底部１８に対して隙間無く気密に設けられており、リング突起部６１と、蒸発皿２３には貫通孔は形成されていないから、蒸発槽２２の開口２０は、蒸発皿２３と密着部材６２とによって蓋がされており、蒸発空間２７に充満した蒸気が、開口２０から、蒸発槽２２の外部に漏出しないようにされている。

図３の符号Ｂが示す一点鎖線で囲んだ部分は、螺合して互いに密着された取付部６４の外周面と蒸発槽２２の筒部分の内周面の下部の部分を示している。底部１８の上方の空間は、密着部材６２によって囲われている。

図３の符号Ｃが示す一点鎖線で囲んだ部分は、密着部材６２を挟んで密着した側壁部６３とリング突起部６１の部分である。
蒸発空間２７には、蒸発槽２２の内周面の他、栓部４４の表面と、蒸発皿２３の表面とが露出されている。

蒸発皿２３は銅を材料として構成されており、底部１８と側壁部６３の蒸発空間２７に対面する部分の表面には、蒸発皿本体１９とは異なる組成の金属材料から成る平坦化膜１７が形成されている。ここでは、平坦化膜１７は、Ｎｉ被膜である。
従って、蒸発空間２７には、蒸発皿２３の銅材料は露出されずに、蒸発皿２３の表面の平坦化膜１７が露出するようにされており、キャップ２１は全く露出しないようにされている。

蒸発空間２７に入った第一の材料３６は、蒸発皿２３の平坦化膜１７上に落下する。所望量が落下したところで、貫通孔２９は閉栓される。
蒸発槽２２の外部には、加熱装置２６が配置されている。ここでは、蒸発槽２２の外周は、導電線２５が巻き回されており、蒸発槽２２は、巻き回された導電線２５によって形成されたコイルから成る加熱装置２６の内部に配置されている。導電線２５は、交流電源に接続されており、交流電源が起動して導電線２５に交流電流が流されると、導電線２５の近くに位置するステンレス鋼の内部に誘導起電力が発生し、誘導電流が流れて発熱する。

キャップ２１は、蒸発槽２２が位置する方向とは逆方向に延びる発熱部６５を有している。発熱部６５もステンレス鋼で構成されており、蒸発槽２２の外周を巻き回した導電線２５は、発熱部６５の周囲にも巻き回されている。従って、導電線２５に交流電流が流れると、蒸発槽２２と発熱部６５とに誘導電流が流れ、発熱する。

このように、加熱装置２６は、少なくとも蒸発槽２２と発熱部６５とを発熱させると、蒸発装置１２が昇温し、蒸発皿２３の底部１８には、底部１８の外周で螺合している蒸発装置１２の取付部６４から熱が伝導される。

蒸発皿２３は銅材料で構成されており、銅材料はステンレス鋼よりも熱伝導率が高いので、蒸発皿２３の底部１８は、外周からの熱伝導によって、ステンレス鋼の蒸発皿よりも、均一な温度分布で昇温する。

他方、蒸発皿２３の底部１８とキャップ２１の底面部６８との間の隙間６７により、蒸発皿２３の中央には熱は伝達されず、底部１８は、外周部分から伝達される熱によって昇温するようになっている。従って、底部１８の中央部分は、外周部分よりも高温にならない。

底部１８が第一の材料３６の蒸発温度(昇華温度を含む)以下の温度に昇温した状態で、第一の材料３６が底部１８上に落下して、第一の材料３６が底部１８上に所望量の散布がされた後、閉栓された状態で底部１８からの熱伝導によって、第一の材料３６が、その蒸発温度以上の温度に昇温すると、蒸発(昇華を含む）し、第一の材料３６の蒸気が蒸発空間２７に充満する。底部１８は均一に加熱されているので、底部１８上の第一の材料３６に焦げが生じることはない。

このとき、底部１８上の第一の材料３６は、表面が平坦な平坦化膜１７に接触されており、平坦化膜１７の表面には、焦げの起点となる突起や突条は形成されていない。
従って底部１８上には、残渣が残ることや、第一の材料３６の蒸気が析出することがなく、底部１８上には、第一の材料３６の焦げが残ることはない。

蒸発槽２２は、配管４９によって蒸気放出装置５０に接続されており、蒸発空間２７に充満した蒸気は、配管４９を通って蒸気放出装置５０に移動し、真空槽１１の内部に放出されると、成膜対象物２の表面に薄膜を形成することができる。

但し、ここでは、蒸気放出装置５０の筺体５４内には、第一の混合容器５１ａと、第二の混合容器５１ｂとが配置されており、蒸発槽２２は、配管４９によって、第一の混合容器５１ａに接続されている。

第一、第二の混合容器５１ａ、５１ｂは、それぞれ円環状であり、第一の混合容器５１ａの内側に、第二の混合容器５１ｂが配置されている。
また、上述した蒸発装置１２を第一の蒸発装置と呼び、蒸発槽２２を第一の蒸発槽と呼ぶとすると、真空槽１１の中には、第二の蒸発装置１３が配置されており、第二の蒸発装置１３は、第二の蒸発槽８２を有している。

第二の蒸発槽８２の内部には、るつぼ８１が配置されている。符号８３は、るつぼ８１に配置された第二の材料を示している。第二の材料８３も有機材料である。
第二の混合容器５１ｂは、配管８９によって、第二の蒸発槽８２に接続されている。

第二の蒸発槽８２の外周には、導電線８５が巻き回されており、導電線８５に交流電流を流して、第二の蒸発槽８２に誘導電流を流して発熱させると、第二の材料８３が昇温し、第二の蒸発槽８２の内部で第二の材料８３の蒸気が生成される。

第一、第二の蒸発槽２２、８２の内部で生成された蒸気は、それぞれ配管４９、８９を通って、第一、第二の混合容器５１ａ、５１ｂに移動する。
第一、第二の混合容器５１ａ、５１ｂの内部空間５３ａ、５３ｂには、複数の分散板５２ａ、５２ｂがそれぞれ配置されており、第一、第二の混合容器５１ａ、５１ｂに移動した蒸気は、複数の分散板５２ａ、５２ｂによって第一、第二の混合容器５１ａ、５１ｂの内部空間５３ａ、５３ｂで拡散され、第一、第二の混合容器５１ａ、５１ｂに設けられた第一、第二の放出部５４ａ、５４ｂから、筺体５４の外部であって、真空槽１１の内部に放出される。

筺体５４には、発熱線５８が設けられており、通電された発熱線５８によって加熱され、筺体５４は、第一、第二の材料３６、８３の蒸発温度以上の温度に昇温されており、筺体５４に、蒸気が析出しないようになっている。

第一、第二の放出部５４ａ、５４ｂから別々に放出された第一、第二の材料３６、８３の蒸気は、筺体５４の外部で混合され、その状態で、成膜対象物２に到達すると、第一、第二の材料３６、８３が混合された有機薄膜が形成される。

なお、容器３１に配置された第一の材料３６から蒸発槽２２の内部には、第一の材料３６は、一枚の成膜対象物に薄膜を形成する量が、一枚の成膜対象物毎に供給される。容器３１は断熱部３５によって蒸発槽２２から断熱されており、加熱装置２６によって蒸発槽２２が加熱されたときに、蒸発槽２２の発熱が容器３１には伝達されず、容器３１内に配置された第一の材料３６は熱による劣化が無いようにされている。従って、第一の材料３６には、熱による変質が発生しやすい有機化合物でも用いることができる。

他方、第二の材料８３は、複数の成膜対象物に成膜可能な量がるつぼ８１に配置されており、装置構造が簡単で、長時間蒸気を発生し易くなっているが、昇温した後の時間が長いので、第二の材料８３には、熱による変質が発生しにくい有機材料を用いることが出来る。
蒸気放出装置５０に到達した第一、第二の材料３６、８３の蒸気は、蒸気放出装置５０から真空槽１１の内部に放出される。

一枚の成膜対象物２の表面に所定膜厚の薄膜が形成されると、未成膜の成膜対象物が蒸気の到達位置に配置され、有機薄膜の形成が行われる。成膜対象物は、静止して有機薄膜を成長させてもよいし、移動しながら有機薄膜を成長させるようにしてもよい。

なお、蒸発装置１２の蒸発空間２７に露出する部分は、加熱装置２６により、第一の材料３６の蒸発温度以上の温度に昇温され、第一の材料３６が析出しないようにされているが、導電線２５は、キャップ２１よりも栓部４４に近い位置では粗に巻かれ、栓部４４よりもキャップ２１に近い部分では密に巻かれ、導電線２５の各部分には、同じ大きさの電流が流れるようにされているから、キャップ２１の温度が栓部４４に近い部分の蒸発槽２２の温度よりも高温になり、蒸発皿２３上の第一の材料３６が蒸発し易いようになっている。

なお、キャップ２１の底面部６８には、孔６９が設けられ、隙間６７と蒸発槽２２の周囲の雰囲気とは、孔６９によって繋がっている。
また、蒸発皿２３とキャップ２１の間の隙間６７や、キャップ２１と蒸発槽２２との間の隙間７２は、キャップ２１に設けられた孔(不図示)によって、蒸発槽２２の周囲の雰囲気に接続されており、真空槽１１の内部が真空排気されると、隙間６７、７１、７２も真空排気されるようになっている。

なお、理論的には、銅よりも熱伝導率が高い銀やダイヤモンドも、表面に平坦化膜を形成した蒸発皿として用いることができる。
上記平坦化膜１７は、電解メッキ法によって形成してもよいし、スパッタリング等の真空成膜法によって形成してもよい。

１０……成膜装置
１１……真空槽
１２……蒸発装置
２１……キャップ
２３……蒸発皿
２２……蒸発槽
１７……平坦化膜
２６……加熱装置
６２……密着部材
２０……開口
３０……供給装置

Claims (6)

1. 蒸発槽と、
   前記蒸発槽の内部で底部に有機材料が配置される蒸発皿と、
   前記蒸発皿を昇温させる加熱装置と、
   を有する蒸発装置であって、
   前記蒸発皿は、前記蒸発槽と密着部材を介して密着して前記蒸発槽に形成された開口を塞いで前記蒸発槽に取り付けられ、
   前記蒸発皿は、前記蒸発皿の形状に成形されている蒸発皿本体と、前記蒸発皿本体上に形成され、前記蒸発皿本体とは異なる組成の平坦化膜とを有し、
   前記蒸発皿の前記蒸発槽内に露出される部分には、前記平坦化膜が配置された蒸発装置。
2. 前記平坦化膜はＮｉ被膜である請求項１記載の蒸発装置。
3. 前記蒸発皿本体は、銅で形成された請求項２記載の蒸発装置。
4. 前記蒸発皿は、前記底部の外周でキャップと螺合して前記キャップに接触され、
   前記キャップは前記蒸発槽と螺合して前記蒸発槽に接触され、
   前記蒸発皿は、前記キャップと螺合した部分での、前記キャップから前記底部への熱伝導によって昇温するように構成され、
   前記平坦化膜が形成された部分には前記底部の表面が含まれており、
   前記底部の裏面には、前記キャップとの間の隙間が設けられた請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸発装置。
5. 前記加熱装置は、前記蒸発槽と前記キャップに誘導電流を流し、発熱させる請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の蒸発装置。
6. 真空槽と、
   前記真空槽内に配置された放出装置とを有し、
   前記放出装置から有機材料の蒸気を放出させ、前記真空槽内に搬入された成膜対象物の表面に薄膜を形成する成膜装置であって、
   前記放出装置は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載された蒸発装置を有し、
   前記放出装置は、前記蒸発装置に接続された成膜装置。

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