KR102048051B1

KR102048051B1 - 증착 환경 검사용 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 설비

Info

Publication number: KR102048051B1
Application number: KR1020120097799A
Authority: KR
Inventors: 김민호; 차유민; 박석환
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2012-09-04
Filing date: 2012-09-04
Publication date: 2019-11-25
Also published as: US20140065293A1; TW201411299A; US10151022B2; US20180021802A1; CN103668046B; CN103668046A; TWI516881B; EP2703518B1; JP5860002B2; KR20140030965A; US9795983B2; JP2014051733A; EP2703518A1

Abstract

증착설비는 복수 개의 증착원들, 증착 챔버, 증착 환경 검사용 마스크 조립체, 이송부를 포함한다. 증착 환경 검사용 마스크 조립체는 지지부재, 셔터부재, 및 구동부재를 포함한다. 상기 지지부재는 증착물질들이 순차적으로 진입하는 제1 개구부를 구비하고, 상기 증착물질들이 증착되는 베이스 기판을 지지한다. 상기 지지부재는 제1 방향으로 이동한다. 상기 셔터부재는 상기 제1 개구부보다 작은 면적의 제2 개구부를 구비하고, 상기 지지부재에 수용된다. 상기 구동부재는 상기 지지부재의 이동에 따라 상기 베이스 기판에 대한 상기 제2 개구부의 위치는 변경시킨다.

Description

증착 환경 검사용 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 설비{MASK ASSEMBLY FOR TESTING DEPOSITION CONDITION AND DEPOSITION APPARATUS HAVING THE SAME}

본 발명은 증착 환경의 검사가 가능한 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 설비에 관한 것이다.

평판 디스플레이나 반도체 디바이스는 베이스 기판 상에 유기물들 및 무기물들 중 적어도 하나 이상이 증착되어 제조된다. 증착 공정은 증착 설비 내에서 진행된다. 상기 증착 설비는 진공 챔버, 진공 챔버 내에 배치된 적어도 하나의 증착원, 마스크 및 상기 베이스 기판을 이동시키는 이송 장치를 포함한다.

상기 증착 공정을 진행하기 전에, 증착 설비 내의 증착 환경이 평판 디스플레이나 반도체 디바이스의 제조 조건에 적합한지 검사한다. 상기 증착 환경의 검사를 위해 검사용 베이스 기판(이하, 검사용 기판)이 사용된다. 상기 검사용 기판에 증착된 증착 물질의 두께 및 균일도를 측정한다. 상기 측정된 두께 및 균일도는 기준 두께 및 기준 균일도에 부합하는지 비교된다.

복수 개의 증착원들을 구비한 증착 설비의 증착 환경 검사는 복수 개의 검사용 기판들이 사용된다. 복수 개의 검사용 기판들은 상기 증착 설비에 순차적으로 투입된다. 서로 다른 증착물질들이 상기 복수 개의 검사용 기판들에 각각 증착된다. 상기 복수 개의 검사용 기판들에 증착된 증착물질들의 두께 및 균일도가 각각 측정된다.

본 발명의 목적은 하나의 검사용 기판으로 복수 개의 증착원들의 증착 환경들을 검사할 수 있는 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 설비를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체는 지지부재, 셔터부재, 및 구동부재를 포함한다. 상기 지지부재는 증착물질들이 순차적으로 진입하는 제1 개구부를 구비하고, 상기 증착물질들이 증착되는 베이스 기판을 지지한다. 상기 지지부재는 제1 방향으로 이동한다. 상기 셔터부재는 상기 제1 개구부보다 작은 면적의 제2 개구부를 구비하고, 상기 지지부재에 수용된다. 상기 구동부재는 상기 지지부재의 이동에 따라 상기 베이스 기판에 대한 상기 제2 개구부의 위치는 변경시킨다.

상기 지지부재는 상기 제1 개구부가 형성된 바닥부 및 상기 바닥부로부터 절곡되고, 상기 베이스 기판을 지지하는 측벽부들을 포함한다.

상기 지지부재가 이동함에 따라, 상기 제2 개구부는 상기 지지부재와 반대방향으로 이동한다. 또한, 상기 지지부재의 이동에 따라, 상기 제2 개구부는 회전할 수 있다.

상기 구동부재는 상기 지지부재가 이동함에 따라 회전하고, 상기 제2 개구부의 위치는 상기 구동부재의 회전에 의해 변경된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체는 지지부재, 적어도 하나의 셔터부재, 및 구동부재를 포함한다. 상기 지지부재는 증착물질들이 순차적으로 진입하는 적어도 하나의 제1 개구부를 구비하고, 상기 증착물질들이 증착되는 베이스 기판을 지지하며, 이동한다.

상기 적어도 하나의 셔터부재는 상기 적어도 하나의 제1 개구부보다 작은 면적의 제2 개구부를 구비하고, 상기 지지부재에 수용된다. 상기 구동부재는 상기 지지부재의 이동에 따라 상기 적어도 하나의 셔터부재를 회전시키고, 상기 베이스 기판에 대한 상기 제2 개구부의 위치를 변경시킨다.

상기 적어도 하나의 셔터부재는 시계방향으로 회전하는 좌측 셔터부재 및 반시계방향으로 회전하는 우측 셔터부재를 포함한다. 상기 적어도 하나의 제1 개구부는 상기 좌측 셔터부재에 중첩하는 좌원용 제1 개구부와 상기 우측 셔터부재에 중첩하는 우원용 제1 개구부를 포함한다.

상기 구동부재는 상기 지지부재가 이동함에 따라 반시계방향으로 회전하는 제1 구동부재 및 시계방향으로 회전하는 제2 구동부재를 포함한다. 상기 좌측 셔터부재의 상기 제2 개구부의 위치는 상기 제1 구동부재의 회전에 의해 변경되고, 상기 우측 셔터부재의 상기 제2 개구부의 위치는 상기 제2 구동부재의 회전에 의해 변경된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착설비는 상술한 증착 환경 검사용 마스크 조립체, 복수 개의 증착원들, 증착 챔버, 이송부를 포함한다. 상기 복수 개의 증착원들은 상기 증착 챔버에 수용된다. 상기 복수 개의 증착원들은 증착물질들을 각각 제공하고, 일 방향으로 나열되어 배치된다. 상기 이송부는 상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체를 이동시킨다.

상술한 바에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체는 하나의 검사용 기판으로 복수 개의 증착원들의 증착 환경들을 검사할 수 있다. 상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체는 하나의 검사용 기판의 서로 다른 영역들에 복수 개의 증착물질들을 증착시킨다. 증착 환경 검사에 필요한 검사용 기판 개수가 감소됨으로써 검사비용이 절약된다. 또한, 검사시간이 감소된다.

상기 증착 설비에 따르면, 상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체가 이동함에 따라 상기 셔터부재의 상기 제2 개구부의 위치가 변동된다. 상기 증착 설비는 상기 제2 개위한 별도의 동력원을 필요로 하지 않는다. 상기 검사용 기판에 대한 상기 제2 개구부의 위치는 상기 복수 개의 증착원들에 따라 다르다.. 상기 복수 개의 증착물질이 상기 검사용 기판의 서로 다른 영역들에 증착된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 증착 설비의 일부분에 대한 제1 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 증착 설비의 일부분에 대한 제2 단면도이다.
도 4a는 일 실시예에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 사시도이다.
도 4b는 일 실시예에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 분해사시도이다.
도 5a는 일 실시예에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 사시도이다.
도 5b는 일 실시예에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 분해사시도이다.
도 6a는 일 실시예에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 사시도이다.
도 6b는 일 실시예에 따른 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 분해사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 일부분에 대한 제1 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 일부분에 대한 제2 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 일부를 확대한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 일부분에 대한 사시도이다.
도 11은 도 10의 일부를 확대한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 평면도이다.
도 13은 도 12에 도시된 증착 설비의 일부분에 대한 제1 단면도이다.
도 14는 도 13에 도시된 증착 설비의 일부분에 대한 제2 단면도이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 증착 설비의 일부분에 대한 제1 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 증착 설비의 일부분에 대한 제2 단면도이다.

도 1 내지 도 3에 도시된 것과 같이, 증착 설비는 증착 챔버(CB), 복수 개의 증착원들(S1~S4), 증착 환경 검사용 마스크 조립체(MA, 이하 마스크 조립체), 및 이송부(TP)를 포함한다. 도 1 내지 3에는 4개의 증착원들(S1~S4)이 예시적으로 도시되었다.

상기 증착 챔버(CB)는 증착 공정의 진행방향(D1: 이하 제1 방향)을 따라 연장된 형상이다. 상기 증착 챔버(CB)는 상기 제1 방향(D1)과 직교하는 제2 방향(D2)에서 서로 마주하는 제1 측벽(SW1) 및 제2 측벽(SW2), 상기 제1 측벽(SW1)과 상기 제2 측벽(SW2)을 연결하는 바닥부(BP), 및 천장부(CP)를 포함한다.

상기 증착 챔버(CB)는 기능에 따라 복수 개의 영역들로 구분된다. 상기 증착 챔버(CB)는 로딩영역(100), 증착영역(200), 및 언로딩영역(300)을 포함할 수 있다.

상기 로딩영역(100)에서 베이스 기판(SUB)이 상기 마스크 조립체(MA)에 로딩된다. 상기 베이스 기판(SUB)은 표시패널의 제조에 앞서, 표시패널의 제조에 적합한 증착 환경인지를 검사하기 위한 검사용 기판일 수 있다. 상기 표시패널을 구성하는 기판이 상기 베이스 기판으로 사용될 수 있다. 예컨대, 상기 표시패널은 유기발광 표시패널일 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 베이스 기판(SUB)은 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 기판일 수도 있다. 상기 베이스 기판(SUB)은 유리, 실리콘, 금속, 플라스틱으로 구성될 수 있다.

상기 증착영역(200)에 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4)이 배치된다. 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4)은 상기 제1 방향(D1)을 따라 서로 이격되어 배열된다.

상기 복수 개의 증착원들(S1~S4)은 서로 다른 증착물질들(M1~M4)을 제공한다. 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4)은 유기물 및/또는 무기물을 제공한다. 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4) 각각은 상기 증착물질들(M1~M4)을 저장하기 위한 용기와 상기 증차물질들(M1~M4)을 증발시키기 위한 가열장치를 포함할 수 있다.

상기 증착영역(200)은 복수 개의 개별 증착영역들(210~240)로 구분될 수 있다. 복수 개의 개별 증착영역들(210~240)에 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4)이 각각 배치된다. 상기 복수 개의 개별 증착영역들(210~240)은 복수 개의 격벽들(B1~B3)로 구분될 수 있다.

상기 언로딩영역(300)에서 상기 베이스 기판(SUB)이 상기 마스크 조립체(MA)로부터 언로딩된다. 상기 로딩영역(100)과 상기 증착영역(200) 및 상기 증착영역(200)과 상기 언로딩영역(300) 사이들 각각에는 도어들이 설치될 수 있다. 또한, 상기 로딩영역(100), 상기 증착영역(200), 및 상기 언로딩영역(300)의 기압들은 서로 다를 수 있다. 상기 증착영역(200)은 진공을 유지하는 것이 바람직하다.

상기 베이스 기판(SUB)을 로딩한 상기 마스크 조립체(MA)는 상기 증착 챔버(CB)를 통과한다. 상기 마스크 조립체(MA)는 이송부(TP)에 의해 이동된다. 상기 마스크 조립체(MA)는 지지부재(10), 셔터부재(20) 및 구동부재(30)를 포함한다.

상기 지지부재(10)는 상기 증착물질들(M1~M4)이 진입하는 제1 개구부(OP1)를 구비한다. 상기 지지부재(10)는 상기 베이스 기판(SUB)을 지지한다.

상기 셔터부재(20)는 상기 지지부재(10)에 수용된다. 상기 셔터부재(20)는 상기 제1 개구부(OP1)보다 작은 면적의 제2 개구부(OP2)를 구비한다. 상기 제1 개구부(OP1)를 통과한 상기 증착물질들(M1~M4)은 상기 제2 개구부(OP2)를 통과하여 상기 베이스 기판(SUB)에 도달한다.

상기 구동부재(30)는 상기 마스크 조립체(MA)의 이동에 따라 상기 베이스 기판(SUB)에 대한 상기 제2 개구부(OP2)의 위치를 변경시킨다. 다시 말해, 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4) 중 제1 증착원(S1) 상에 상기 마스크 조립체(MA)가 배치되었을 때의 상기 제2 개구부(OP2)의 위치와 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4) 중 제4 증착원(S4) 상에 상기 마스크 조립체(MA)가 배치되었을 때의 상기 제2 개구부(OP2)의 위치는 다르다.

상기 이송부(TP)는 복수 개의 롤러들을 포함한다. 상기 복수 개의 롤러들은 상기 제1 측벽(SW1) 및 상기 제2 측벽(SW2)에 각각 설치될 수 있다. 상기 복수 개의 롤러들은 상기 지지부재(10)와 접촉한다. 상기 지지부재(10)는 상기 복수 개의 롤러들의 회전에 따라 상기 제1 방향(D1)으로 이동된다.

상기 복수 개의 롤러들은 상기 증착 챔버(CB)의 외부에 배치된 모터 등에 의해서 구동될 수 있다. 상기 복수 개의 롤러들의 동작은 상기 모터의 온/오프로 제어될 수 있다. 복수 개의 롤러들은 상기 이송부(TP)의 하나의 예시에 불과하고, 상기 이송부(TP)는 컨베이어 밸트 등으로 대체될 수도 있다.

도 4a는 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이고, 도 4b는 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 분해사시도이다. 이하, 도 4a 및 도 4b를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 마스크 조립체(MA)에 대해 상세히 검토한다.

도 4a 및 도 4b에 도시된 것과 같이, 상기 지지부재(10)는 바닥부(10-BP)와 측벽부들(10-SW)를 포함한다. 상기 바닥부(10-BP)에 상기 제1 개구부(OP1)가 형성된다. 상기 측벽부들(10-SW)은 상기 바닥부(10-BP)로부터 절곡된다.

예컨대, 평면상에서 상기 바닥부(10-BP)의 형상은 직사각형일 수 있다. 상기 측벽부들(10-SW)은 상기 직사각형의 상기 바닥부(10-BP)의 4개의 변들로부터 각각 절곡된다. 예컨대, 상기 측벽부들(10-SW)은 상기 바닥부(10-BP)의 4개의 변들에 연결된 수직부들 및 상기 수직부들과 연결되며 상기 베이스 기판(SUB)에 접촉하는 수평부들을 포함할 수 있다.

상기 셔터부재(20)는 상기 제1 개구부(OP1)에 중첩하게 상기 바닥부(10-BP) 상에 배치된다. 상기 셔터부재(20)는 상기 측벽부들(10-SW)에 의해 에워싸인다. 상기 셔터부재(20)는 직사각형상일 수 있다. 상기 셔터부재(20)는 상기 제1 개구부(OP1)보다 큰 면적을 갖는다.

상기 제2 개구부(OP2)는 상기 제1 방향(D1)에 직교하는 제2 방향(D2)으로 연장된 형상이다. 예컨대, 상기 제2 개구부(OP2)는 상기 제1 방향(D1)의 너비보다 상기 제2 방향(D2)의 길이가 상대적으로 긴 슬릿일 수 있다.

상기 구동부재(30)는 상기 마스크 조립체(MA)가 이동함에 따라 회전하는 부재일 수 있다. 상기 구동부재(30)의 회전력은 상기 셔터부재(20)에 전달되고, 상기 셔터부재(20)는 상기 회전력에 의해 이동된다. 상기 구동부재(30)의 회전을 일으키는 동력원은 외부와의 마찰 또는 모터와 같은 기계적 수단일 수 있다.

도 4a 및 도 4b에 도시된 것과 같이, 상기 구동부재(30)는 서로 반대방향으로 회전하는 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R)을 포함한다. 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R)은 상기 측벽부들(10-SW) 중 제2 방향(D2)에서 마주하는 측벽부들에 각각 장착될 수 있다. 한편, 다른 실시예에서 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R) 중 하나는 생략될 수 있다.

상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R) 각각은 제1 피니언(30-P1), 제2 피니언(30-P2), 제3 피니언(30-P3), 제1 회전축(30-RA1), 및 제2 회전축(30-RA2)을 포함한다. 상기 제1 피니언(30-P1)은 외부로부터 동력을 전달받는다.

상기 제1 회전축(30-RA1)은 상기 제1 피니언(30-P1)과 제2 피니언(30-P2)을 연결한다. 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R)의 상기 제1 회전축들(30-RA1)은 상기 제2 방향(D2)에서 마주하는 측벽부들에 형성된 관통홀들(TH-L, TH-R)에 삽입될 수 있다.

상기 제3 피니언(30-P3)은 상기 제2 피니언(30-P2)과 맞물려 상기 제2 피니언(30-P2)으로부터 동력을 전달받는다. 상기 제3 피니언(30-P3)은 상기 제2 피니언(30-P2)으로부터 전달받은 동력으로 상기 셔터부재(20)를 이동시킨다. 상기 제3 피니언(30-P3)에 연결된 상기 제2 회전축(30-RA2)은 상기 바닥부(10-BP)에 고정된다.

한편, 다른 실시예에서 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R) 각각의 제1 피니언(30-P1), 제2 피니언(30-P2), 및 제3 피니언(30-P3)은 톱니가 없는 원반형 회전부재로 대체될 수도 있다. 또 다른 실시예에서 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R) 각각의 상기 제3 피니언(30-P3)은 생략되고, 상기 셔터부재(20)에 접촉하는 제2 피니언(30-P2)을 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R) 각각의 상기 제1 피니언(30-P1)은 생략되고, 상기 제1 회전축(30-RA1)은 모터와 같은 기계적 수단에 의해 연결될 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R) 각각은 적어도 하나의 피니언을 포함하면 충분하고 다른 실시예에서 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R)에 포함된 피니언의 개수는 변경될 수 있다.

상기 셔터부재(20)는 복수 개의 측면들을 포함한다. 상기 복수 개의 측면들 중 상기 제2 방향(D2)에서 마주하는 2개의 측면들은 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R)의 상기 제3 피니언들(30-P3)에 각각 접촉한다. 상기 제2 방향(D2)에서 마주하는 2개의 측면들은 상기 제3 피니언들(30-P3)의 톱니들에 맞물리는 톱니들을 포함할 수 있다.

상기 제3 피니언들(30-P3)과 상기 제2 방향(D2)에서 마주하는 2개의 측면들의 맞물림에 의해, 상기 셔터부재(20)의 위치는 변경된다. 상기 셔터부재(20)의 위치가 변경됨에 따라, 상기 베이스 기판(SUB)에 대한 상기 제2 개구부(OP2)의 위치는 변경된다. 한편, 다른 실시예에서 상기 제2 방향(D2)에서 마주하는 2개의 측면들의 톱니들은 생략될 수 있다.

상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R)의 상기 제1 피니언들(30-P1)이 회전함에 따라 상기 셔터부재(20)의 위치는 변경된다. 상기 제1 회전부재(30-L)의 상기 제1 피니언(30-P1)이 반시계방향으로 회전하고, 상기 제2 회전부재(30-R)의 상기 제1 피니언(30-P1)이 시계방향으로 회전하면, 상기 셔터부재(20)는 상기 제1 방향과 반대방향으로 이동한다.

도 5a는 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이고, 도 5b는 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 분해사시도이다. 도 4a 내지 도 4b를 참조하여 설명한 마스크 조립체의 구성과 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

마스크 조립체(MA10)는 상기 지지부재(10)의 상기 바닥부(10-BP) 상에 배치된 레일부(RP-L, RP-R)를 더 포함한다. 도 5a 및 도 5b에 도시된 것과 같이 상기 레일부(RP-L, RP-R)는 서로 이격되어 배치된 제1 레일(RP-L)과 제2 레일(RP-R)을 포함할 수 있다. 상기 제1 레일(RP1)과 상기 제2 레일(RP2)은 상기 제1 방향(D1)으로 연장된 형상이다.

또한, 상기 마스크 조립체(MA10)는 상기 레일부(RP-L, RP-R)에 결합하는 결합부(CM-L, CM-R)를 포함한다. 상기 결합부(CM-L, CM-R)는 상기 레일부(RP-L, RP-R)에 이동가능하게 삽입된다. 상기 결합부(CM-L, CM-R)는 상기 제1 레일(RP-L)에 결합하는 제1 결합블럭(CM-L)과 상기 제2 레일(RP-R)에 결합하는 제2 결합블럭(CM-R)을 포함한다. 도 5b에는 2개의 제1 결합블럭들(CM-L)과 2개의 제2 결합블럭들(CM-R)이 예시적으로 도시되었다.

상기 제1 결합블럭(CM-L)과 상기 제2 결합블럭(CM-R)은 상기 셔터부재(20)의 밑면에 부착된다. 상기 제1 결합블럭(CM-L) 및 상기 제2 결합블럭(CM-R)과 제1 레일(RP-L) 및 제2 레일(RP-R)의 결합으로 상기 셔터부재(20)는 안정적으로 이동된다. 즉, 상기 셔터부재(20)는 상기 구동부재(30)로부터 이탈되지 않는다.

도 6a는 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이고, 도 6b는 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 분해사시도이다. 도 4a 내지 도 4b를 참조하여 설명한 마스크 조립체의 구성과 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 6a 및 도 6b에 도시된 마스크 조립체(MA20)는 지지부재(10), 적어도 하나의 셔터부재(20L, 20R) 및 구동부재(30)를 포함한다.

상기 지지부재(10)는 적어도 하나의 제1 개구부(OP1)를 구비한다. 도 6a 및 도 6b에 도시된 것과 같이, 상기 지지부재(10)는 4개의 제1 개구부들(OP1)를 구비할 수 있다.

상기 마스크 조립체(MA)는 복수 개의 셔터부재들(20L, 20R)을 포함할 수 있다. 상기 셔터부재(20L, 20R)의 개수는 상기 제1 개구부들(OP1)의 개수와 동일할 수 있다. 도 6a 및 도 6b에 도시된 것과 같이, 상기 4개의 제1 개구부들(OP1)에 대응하게 4개의 셔터부재들(20L, 20R)이 배치될 수 있다. 상기 4개의 셔터부재들(20L, 20R)은 2개의 좌측 셔터부재들(20L)과 2개의 우측 셔터부재들(20R)을 포함한다.

상기 좌측 셔터부재들(20L) 각각은 좌원용 제2 개구부(20-LOP)를 구비한 좌측 셔터기판(20-L) 및 좌측 회전축(20-RAL)을 포함한다. 상기 좌측 회전축(20-RAL)은 상기 좌측 셔터기판(20-L)이 회전되도록 상기 좌측 셔터기판(20-L)에 결합된다.

상기 좌측 셔터부재들(20R) 각각은 우원용 제2 개구부(20-ROP)를 구비한 우측 셔터기판(20-R) 및 우측 회전축(20-RAR)을 포함한다. 상기 우측 회전축(20-RAR)은 상기 우측 셔터기판(20-R)이 회전되도록 상기 우측 셔터기판(20-R)에 결합된다. 상기 좌측 회전축(20-RAL)과 상기 우측 회전축(20-RAR)은 상기 바닥부(10-BP)에 결합된다.

상기 좌측 셔터기판(20-L)과 상기 우측 셔터기판(20-R)은 상기 마스크 조립체(MA)의 이동에 따라 회전한다. 상기 좌측 셔터기판(20-L)과 상기 우측 셔터기판(20-R)은 서로 반대방향으로 회전될 수 있다. 한편, 상기 마스크 조립체(MA)는 상기 좌측 셔터부재(20L)와 상기 좌측 셔터부재(20L) 중 어느 하나만을 구비할 수 있다.

상기 제1 회전부재(30-L)의 상기 제1 피니언(30-P1)이 반시계방향으로 회전하면, 상기 좌측 셔터기판(20-L)은 반시계방향으로 회전된다. 상기 제2 회전부재(30-R)의 상기 제1 피니언(30-P1)이 시계방향으로 회전하면, 상기 우측 셔터기판(20-R)은 시계방향으로 회전된다. 상기 좌측 셔터기판(20-L)이 회전함에 따라 상기 베이스 기판(SUB)에 대한 상기 좌원용 제2 개구부(20-LOP)의 위치는 변경된다. 또한, 상기 우측 셔터기판(20-R)이 회전함에 따라 상기 베이스 기판(SUB)에 대한 상기 우원용 제2 개구부(20-ROP)의 위치는 변경된다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 일부분에 대한 제1 단면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 일부분에 대한 제2 단면도이다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 일부를 확대한 도면이다.

도 1 내지 도 6b를 참조하여 설명한 구성과 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 도 7 내지 도 9에는 도 5a 및 도 5b에 도시된 마스크 조립체(MA10)가 예시적으로 도시되었다. 상기 이송부(TP)는 복수 개의 롤러들이 예시적으로 도시되었다.

상기 마스크 조립체(MA10)는 상기 제1 측벽(SW1) 및 상기 제2 측벽(SW2)에 설치된 상기 복수 개의 롤러들(TP)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동된다. 특히, 상기 마스크 조립체(MA10)의 상기 지지부재(10)가 상기 복수 개의 롤러들(TP)에 접촉된다. 상기 복수 개의 롤러들(TP)의 동작이 중단되면, 상기 마스크 조립체(MA10)는 정지된다.

상기 증착 챔버(CB)를 통과하는 동안에, 상기 마스크 조립체(MA10)는 상기 개별 증착영역들(210~240)에서 각각 정지된다. 상기 마스크 조립체(MA10)가 정지된 동안에 대응하는 증착물질이 상기 베이스 기판(SUB)에 증착된다. 따라서, 상기 증착 챔버(CB)를 통과한 상기 베이스 기판(SUB)에는 복수 개의 증착물질들(M1~M4)이 서로 다른 영역들에 증착된다.

먼저, 상기 마스크 조립체(MA10)는 제1 증착원(S1) 상에서 정지한다. 이때, 상기 베이스 기판(SUB)에 대한 상기 제2 개구부(OP2)의 위치는 제1 위치로 정의된다. 상기 제1 증착원(S1)으로부터 증발된 제1 증착물질(M1)은 상기 제1 개구부(OP1) 및 제2 개구부(OP2)를 통해 상기 베이스 기판(SUB)의 일 영역에 증착된다.

상기 제1 증착원(S1) 상에서 일정한 시간 동안(이하, 증착 시간) 정지해 있던 상기 마스크 조립체(MA10)는 다시 상기 제1 방향(D1)으로 이동한다. 이때, 상기 셔터부재(20)는 상기 제1 방향(D1)과 반대방향으로 이동한다.

상기 마스크 조립체(MA10)는 제2 증착원(S2) 상에서 다시 정지한다. 이때, 상기 베이스 기판(SUB)에 대한 상기 제2 개구부(OP2)의 위치는 제2 위치로 정의된다. 상기 제2 증착원(S2)으로부터 증발된 제2 증착물질(M2)은 상기 증착 시간 동안 상기 제1 개구부(OP1) 및 제2 개구부(OP2)를 통해 상기 베이스 기판(SUB)의 다른 영역에 증착된다. 상기 제2 위치는 상기 제1 위치보다 상기 제1 방향(D1)의 반대방향으로 더 이동한 지점이다.

이후, 상기 마스크 조립체(MA10)는 제3 증착원(S3)과 제4 증착원(S4) 상에서 각각 다시 정지한다. 상기 마스크 조립체(MA10)가 상기 증착 챔버(CB)를 완전히 통과되면, 제1 내지 제4 증착물질들(M1~M4)은 상기 베이스 기판(SUB)의 서로 다른 영역들에 각각 증착된다. 상기 증착된 상기 제1 내지 제4 증착물질들(M1~M4)의 두께 및 균일도가 측정된다. 상기 측정된 두께 및 균일도는 기준 두께 및 기준 균일도에 부합하는지 비교되고, 그 결과에 따라 상기 증착 챔버(CB) 내의 증착 환경이 표시장치 등의 제조에 적합한지 판단된다.

도 7 내지 도 9에 도시된 것과 같이, 본 실시예에 따른 증착 설비는 상기 증착 챔버(CB)의 측벽들(SW1, SW2)에 배치된 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)을 포함한다. 상기 제1 및 제2 측벽들(SW1, SW2) 각각에 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)이 배치될 수 있다. 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)은 상기 증착영역(200)에 배치된다.

도 7에는 제1 측벽(SW1)에 배치된 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)과 상기 제1 회전부재(30-L)의 제1 피니언(30-P1)이 도시되었다. 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)은 서로 이격되어 배치된다. 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)은 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4)에 일대일 대응하게 배치된다. 상기 제1 방향을 기준으로 하였을 때, 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)은 상기 복수 개의 증착원들(S1~S4)보다 상기 로딩영역(100)에 근접하게 배치된다.

상기 마스크 조립체(MA10)가 상기 제1 방향(D1)으로 이동함에 따라, 상기 제1 회전부재(30-L)의 상기 제1 피니언(30-P1)은 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)에 순차적으로 맞물린다. 예컨대, 상기 제1 피니언(30-P1)이 제1 이송 래크(TR1)에 맞물리면, 상기 제2 개구부(OP2)는 상기 제1 위치에 배치되고, 상기 제1 피니언(30-P1)이 제2 이송 래크(TR2)에 맞물리면, 상기 제2 개구부(OP2)는 상기 제2 위치에 배치된다.

도 9에 도시된 것과 같이, 상기 제1 피니언(30-P1)이 제2 이송 래크(TR2)에 맞물리면, 상기 셔터부재(20)는 상기 제2 이송 래크(TR2)의 길이만큼 상기 제1 방향(D1)과 반대방향으로 이동한다.

한편, 도 6a 및 도 6b에 도시된 마스크 조립체(MA30)의 상기 제1 셔터기판(20-L)은 상기 제1 회전부재(30-L)의 상기 제1 피니언(30-P1)과 상기 제1 측벽(SW1)에 배치된 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)의 맞물림에 의해 반시계방향으로 회전될 수 있다. 상기 제2 회전부재(30-R)의 상기 제1 피니언(30-P1)과 상기 제2 측벽(SW2)에 배치된 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)의 맞물림에 의해 상기 제2 셔터기판(20-R)은 시계방향으로 회전될 수 있다.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 일부분에 대한 사시도이다. 도 11는 도 10의 일부를 확대한 도면이다. 도 1 내지 도 9를 참조하여 설명한 구성과 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 10 및 도 11에 도시된 것과 같이, 본 실시예에 따른 증착 설비는 상기 증착 챔버(CB)의 측벽들(SW1, SW2)에 배치된 복수 개의 마그네틱 이송부재들(TM1~TM3)을 포함한다. 상기 복수 개의 마그네틱 이송부재들(TM1~TM3) 각각은 N극 부분과 S극 부분이 교번하게 배열된다. 상기 복수 개의 마그네틱 이송부재들(TM1~TM3) 각각은 상기 제1 방향(D1)으로 연장된 형상을 갖는다. 상기 복수 개의 마그네틱 이송부재들(TM1~TM3)은 도 9에 도시된 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)을 대체한다.

도 10 및 도 11에 도시된 것과 같이, 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R)은 원반형 마그네틱 부재(30-M1)를 각각 포함한다. 상기 원반형 마그네틱 부재(30-M1)는 원주를 따라 N극 부분과 S극 부분이 교번하게 배열된다. 상기 원반형 마그네틱 부재(30-M1)는 도 9에 도시된 제1 피니언(30-P1)을 대체한다.

상기 마스크 조립체(MA30)가 상기 제1 방향(D1)으로 이동함에 따라, 상기 제1 회전부재(30-L)의 상기 원반형 마그네틱 부재(30-M1)는 복수 개의 마그네틱 이송부재들(TM1~TM3)에 대응하게 배치된다. 상기 원반형 마그네틱 부재(30-M1)는 복수 개의 마그네틱 이송부재들(TM1~TM3)에 간격을 두고 이격되어 배치될 수 있다. 상기 원반형 마그네틱 부재(30-M1)와 상기 복수 개의 마그네틱 이송부재들(TM1~TM3) 사이의 자기력, 즉 척력에 의해 상기 원반형 마그네틱 부재(30-M1)가 회전된다.

예컨대, 상기 원반형 마그네틱 부재(30-M1)가 2번째 마그네틱 이송부재들(TM2)를 통과하면, 상기 셔터부재(20)는 상기 2번째 마그네틱 이송부재들(TM2)의 길이만큼 상기 제1 방향(D1)과 반대방향으로 이동된다. 본 실시예에 따르면, 상기 원반형 마그네틱 부재(30-M1)와 상기 복수 개의 마그네틱 이송부재들(TM1~TM3) 사이에 마찰이 발생하지 않기 때문에 상기 증착영역(200)에 이물질이 발생하지 않는다. 한편, 별도로 도시되지는 않았으나, 상기 제2 피니언(30-P2), 및 상기 제3 피니언(30-P3) 역시 원반형 마그네틱 부재로 대체될 수 있다.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 평면도이다. 도 13은 도 12에 도시된 증착 설비의 일부분에 대한 제1 단면도이고, 도 14는 도 13에 도시된 증착 설비의 일부분에 대한 제2 단면도이다. 도 1 내지 도 11를 참조하여 설명한 구성과 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 12 내지 도 14에 도시된 것과 같이, 본 실시예에 따른 증착 설비는 증착 챔버(CB), 복수 개의 증착원들(S1~S4), 마스크 조립체(MA), 및 이송부(TP)를 포함한다.

상기 증착 설비는 반송 챔버(RCB)와 반송부(RTP)를 더 포함한다. 상기 반송부(RTP)는 상기 반송 챔버(RCB) 내에 설치되어 상기 마스크 조립체(MA)를 상기 언로딩영역(300)에서 상기 로딩영역(100)으로 반송시킨다.

상기 반송부(RTP)는 상기 이송부(TP)와 같이 컨베이어 벨트 또는 롤러 등으로 구성될 수 있다. 상기 반송부(RTP)는 상기 베이스 기판(SUB)이 분리된 상기 마스크 조립체(MA)를 이동시킨다.

상기 반송 챔버(RCB)는 상기 증착 챔버(CB)와 같이 상기 제2 방향(D2)에서 서로 마주하는 제1 측벽(RSW1) 및 제2 측벽(RSW2), 바닥부(RBP), 및 천장부(RCP)를 포함한다. 상기 반송부(RTP)는 상기 제1 측벽(RSW1) 및 상기 제2 측벽(RSW2)에 설치될 수 있다.

상기 반송 챔버(RCB)는 상기 반송 챔버의 측벽들(RSW1, RSW2) 중 적어도 하나에 배치된 반송 래크(RTR)를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 측벽들(RSW1, RSW2)에 반송 래크들(RTR)이 각각 배치될 수 있다.

상기 마스크 조립체(MA)는 상기 이송부(TP)에 진입하는 것과 반대로 상기 반송부(RTP)에 진입한다. 이는 상기 셔터부재(20)의 위치를 상기 마스크 조립체(MA)가 상기 이송부(TP)에 진입하기 이전으로 되돌리기 위함이다.

상기 반송 래크들(RTR) 각각의 길이는 상기 복수 개의 이송 래크들(TR1~TR4)의 길이의 합과 동일하다. 상기 마스크 조립체(MA)가 상기 제1 방향(D1)과 반대방향으로 이동함에 따라, 상기 회전부재(30)의 피니언들(30-P1, 30-P2)은 상기 제1 및 제2 측벽(RSW1, RSW2)에 배치된 상기 반송 래크들(RTR)에 각각 맞물린다.

상기 마스크 조립체(MA)가 상기 반송 래크(RTR)를 완전히 통과하면, 상기 셔터부재(20)는 상기 반송 래크(RTR)의 길이만큼 상기 제1 방향(D1)으로 이동한다. 즉, 상기 반송 래크(RTR)를 완전히 통과한 상기 셔터부재(20)의 위치는 상기 마스크 조립체(MA)가 상기 이송부(TP)에 진입하기 이전으로 복귀된다.

다른 실시예에서, 상기 제1 및 제2 회전부재들(30-L, 30-R)이 원반형 마그네틱 부재(30-M1: 도 10 및 도 11 참조)를 각각 포함할 때, 상기 반송 래크(RTR)는 N극 영역과 S극 영역이 교번하는 마그네틱 반송부재로 대채될 수 있다.

한편 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

CB: 증착 챔버 MA: 마스크 조립체
SUB: 베이스 기판 S1~S4: 증착원
B1~B3: 격벽 TR1~TR4: 이송 래크
10: 지지부재 20: 셔터부재
30: 구동부재 100: 로딩영역
200: 증착영역 300: 언로딩영역
RCB: 반송챔버 RTR: 반송 래크

Claims

증착물질들이 진입하는 제1 개구부를 구비하고, 상기 증착물질들이 증착되는 베이스 기판을 지지하며, 제1 방향으로 이동하는 지지부재;
상기 제1 개구부보다 작은 면적의 제2 개구부를 구비하고, 상기 지지부재에 수용된 셔터부재; 및
상기 지지부재의 이동에 따라 상기 셔터부재를 이동시켜 상기 베이스 기판에 대한 상기 제2 개구부의 위치를 변경시키는 구동부재를 포함하고,
상기 구동부재는 상기 지지부재의 이동에 따라 회전하고, 상기 베이스 기판은 상기 구동부재의 회전에 의해 이동되는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 지지부재는,
상기 제1 개구부가 형성된 바닥부; 및
상기 바닥부로부터 절곡되고, 상기 베이스 기판을 지지하는 측벽부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제2 항에 있어서,
상기 지지부재의 이동에 따라, 상기 베이스 기판은 상기 지지부재와 반대방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제3 항에 있어서,
상기 제2 개구부는 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장된 형상인 것을 특징으로 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제2 항에 있어서,
상기 셔터부재의 면적은 상기 제1 개구부의 면적보다 크고, 상기 셔터부재는 상기 바닥부 상에 배치된 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제2 항에 있어서,
상기 바닥부 상에 배치된 레일부; 및
상기 셔터부재에 결합되며 상기 레일부에 이동가능하게 삽입된 결합부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
삭제
제1 항에 있어서,
상기 구동부재는 마찰력 의해 회전되는 제1 피니언을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제8 항에 있어서,
상기 구동부재는 상기 제1 피니언으로부터 동력을 전달받고, 상기 셔터부재의 측면에 접촉하는 제2 피니언을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제9 항에 있어서,
상기 셔터부재는 상기 측면에 형성되고, 상기 제2 피니언의 톱니들에 맞물리는 톱니들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 구동부재는 교번하게 배치된 N극 영역과 S극 영역을 포함하고, 자기력에 의해 회전되는 원반형 마그네틱 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
증착물질들이 진입하는 제1 개구부를 구비하고, 상기 증착물질들이 증착되는 베이스 기판을 지지하며, 이동하는 지지부재;
상기 제1 개구부보다 작은 면적의 제2 개구부가 구비된 셔터기판을 포함하고, 상기 지지부재에 수용된 셔터부재; 및
상기 지지부재의 이동에 따라 상기 셔터기판을 회전시킴으로써 상기 베이스 기판에 대한 상기 제2 개구부의 위치를 변경시키는 구동부재를 포함하고,
상기 구동부재는 상기 지지부재의 이동에 따라 회전하고, 상기 셔터부재의 상기 제2 개구부의 위치는 상기 구동부재의 회전에 의해 변경되는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제12 항에 있어서,
상기 지지부재는,
상기 제1 개구부가 형성된 바닥부; 및
상기 바닥부로부터 절곡되고, 상기 베이스 기판을 지지하는 측벽부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제12 항에 있어서,
상기 셔터부재는,
상기 셔터기판이 회전되도록 상기 셔터기판에 결합된 회전축을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제14 항에 있어서,
상기 제1 개구부는 좌원용 개구부와 우원용 개구부를 포함하고,
상기 셔터부재는 상기 좌원용 개구부에 중첩하게 배치된 좌측 셔터부재 및 상기 우원용 개구부에 중첩하게 배치된 우측 셔터부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제15 항에 있어서,
상기 구동부재는 상기 지지부재가 이동함에 따라 반시계방향으로 회전하는 제1 구동부재 및 시계방향으로 회전하는 제2 구동부재를 포함하고,
상기 베이스 기판에 대한 상기 좌측 셔터부재의 상기 제2 개구부의 위치는 상기 제1 구동부재의 회전에 의해 변경되고,
상기 베이스 기판에 대한 상기 우측 셔터부재의 상기 제2 개구부의 위치는 상기 제2 구동부재의 회전에 의해 변경되는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제16 항에 있어서,
상기 제1 구동부재 및 상기 제2 구동부재 각각은 마찰력 의해 회전되는 제1 피니언을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제17 항에 있어서,
상기 제1 구동부재 및 상기 제2 구동부재 각각은 상기 제1 피니언으로부터 동력을 전달받고, 상기 셔터기판의 측면에 접촉하는 제2 피니언을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
제16 항에 있어서,
상기 제1 구동부재 및 상기 제2 구동부재 각각은 교번하게 배치된 N극 영역과 S극 영역을 포함하고, 자기력에 의해 회전되는 원반형 마그네틱 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체.
증착물질들을 각각 제공하고, 일 방향으로 나열되어 배치된 복수 개의 증착원들;
상기 복수 개의 증착원들을 수용하는 증착 챔버;
상기 증착물질들이 증착되는 베이스 기판과 결합되며, 상기 증착 챔버를 통과하는 증착 환경 검사용 마스크 조립체; 및
상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체를 이동시키는 이송부를 포함하고,
상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체는,
상기 증착물질들이 진입하는 제1 개구부를 구비하고, 상기 베이스 기판을 지지하는 지지부재;
상기 제1 개구부보다 작은 면적의 제2 개구부를 구비하고, 상기 지지부재에 수용된 셔터부재; 및
상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 이동에 따라 상기 베이스 기판에 대한 상기 제2 개구부의 위치를 변경시키는 구동부재를 포함하고,
상기 구동부재는 상기 지지부재의 이동에 따라 회전하고, 상기 셔터부재의 상기 제2 개구부의 위치는 상기 구동부재의 회전에 의해 변경되는 증착 설비.
제20 항에 있어서,
상기 이송부는 상기 증착 챔버에 구비된 복수 개의 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제20 항에 있어서,
상기 구동부재는 상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 이동에 따라 회전하고,
상기 제2 개구부의 위치는 상기 구동부재의 회전에 의해 변경되는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제22 항에 있어서,
상기 증착 챔버는,
상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체에 상기 베이스 기판이 로딩되는 로딩영역;
상기 복수 개의 증착원들이 배치된 증착영역; 및
상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체로부터 상기 베이스 기판이 언로딩되는 언로딩영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제23 항에 있어서,
상기 구동부재는 복수 개의 피니언을 포함하고, 상기 복수 개의 피니언 중 어느 하나의 피니언은 상기 셔터부재의 측면에 접촉하여 상기 제2 개구부의 위치를 변경시키는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제24 항에 있어서,
상기 증착 챔버는 상기 증착영역의 측벽에 상기 복수 개의 증착원들에 대응하게 배치된 복수 개의 이송 래크들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제25 항에 있어서,
상기 복수 개의 피니언 중 다른 하나의 피니언은 상기 복수 개의 이송 래크들에 맞물리고, 상기 다른 하나의 피니언과 상기 복수 개의 이송 래크들의 맞물림에 따라 상기 제2 개구부의 위치는 변경되는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제26 항에 있어서,
상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체를 상기 언로딩영역에서 상기 로딩영역으로 반송시키는 반송부; 및
상기 반송부를 수용하는 반송 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제27 항에 있어서,
상기 반송 챔버는 상기 반송 챔버의 측벽에 배치된 반송 래크들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제23 항에 있어서,
상기 구동부재는 교번하게 배치된 N극 영역과 S극 영역을 포함하는 원반형 마그네틱 부재를 포함하고,
상기 증착 챔버는 각각이 교번하게 배치된 N극 영역과 S극 영역을 포함하고, 상기 증착영역의 측벽에 상기 복수 개의 증착원들에 대응하게 배치된 복수 개의 마그네틱 이송부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제23 항에 있어서,
상기 지지부재는,
상기 제1 개구부가 형성되고, 상기 셔터부재를 지지하는 바닥부; 및
상기 바닥부로부터 절곡되고, 상기 베이스 기판을 지지하는 측벽부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제30 항에 있어서,
상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 이동에 따라, 상기 셔터부재는 상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체와 반대방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제30 항에 있어서,
상기 증착 환경 검사용 마스크 조립체의 이동에 따라, 상기 셔터부재는 회전하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.