KR101098230B1 - 기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치 - Google Patents

기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101098230B1
KR101098230B1 KR1020090044362A KR20090044362A KR101098230B1 KR 101098230 B1 KR101098230 B1 KR 101098230B1 KR 1020090044362 A KR1020090044362 A KR 1020090044362A KR 20090044362 A KR20090044362 A KR 20090044362A KR 101098230 B1 KR101098230 B1 KR 101098230B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
power transmission
guide
transmission shaft
motor
Prior art date
Application number
KR1020090044362A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100125583A (ko
Inventor
최병길
Original Assignee
아셈텍(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아셈텍(주) filed Critical 아셈텍(주)
Priority to KR1020090044362A priority Critical patent/KR101098230B1/ko
Publication of KR20100125583A publication Critical patent/KR20100125583A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101098230B1 publication Critical patent/KR101098230B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 처리되는 기판의 크기에 따라 구조의 자동 변환이 가능한 기판 처리장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 처리조; 상기 처리조 상으로 기판을 반입하고 반출하는 기판 반송부; 상기 기판 반송부의 양 측부에 각각 구비되어, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판의 위치를 한정하는 한쌍의 기판 가이드부; 상기 한쌍의 기판 가이드부 사이의 간격을 처리되는 기판 크기에 따라 조정하는 가이드부 간격 조정부;를 포함한다.
기판 처리, 처리 장치, 기판 크기, 자동 변환

Description

기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING THE SUBSTRATE}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 처리되는 기판의 크기에 따라 구조의 자동 변환이 가능한 기판 처리장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 필수적으로 디스플레이 장치를 가진다. 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 적게 차지하는 평판 디스플레이(flat panel display)의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정표시소자(liquid crystal display)가 널리 사용되고 있다.
이들 액정 표시 소자를 제작하기 위해서는 대형 유리 기판 상에 패턴 형성을 위해 복수의 단위 공정들이 수행된다. 예를 들어 식각, 수세 또는 건조와 같은 공정을 진행하기 위하여 다수개의 처리실들을 갖는 기판 처리장치가 구비되며, 기판은 상기 복수의 처리실들을 포함하는 공정부를 순차적으로 이동하면서 기판의 처 리면에 소정의 공정이 이루어진다.
이러한 기판 처리 장치에는 별도의 이동 장치에 의하여 일정한 시간 간격을 가지고 자동으로 기판이 공급된다. 그리고 기판 처리 장치 내에서는 정확한 공정 진행을 위하여 기판이 정확한 위치를 지나도록 가이드하게 된다. 이하에서는 종래의 기판 처리장치를 도 1을 참조하여 간단하게 설명한다. 도 1은 종래의 기판 처리장치의 구조를 도시하는 단면도이다.
먼저 기판 처리장치에는 기판 처리조(10)가 구비된다. 이 기판 처리조(10)에는 기판 처리를 위한 처리장치(20)가 구비된다. 이 처리장치(20)는 처리 공정에 따라 다양하게 변화될 수 있다. 그리고 이 기판 처리조(10) 내로 기판을 반입하고 반출하는 기판 반송부(30)가 구비된다. 이 기판 반송부(30)는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 외력에 의하여 회전하는 회전 샤프트(32)와 상기 회전 샤프트(32)에 삽입되어 기판(S)과 접촉하여 기판을 이동시키는 다수개의 회전 롤러(34)로 구성될 수 있다. 이 회전 샤프트(32)와 이에 고정되어 있는 회전 롤러(34)의 회전에 의하여 상기 기판(S)이 이동된다.
그리고 기판 처리장치에는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 가이드부(40)가 더 구비된다. 이 기판 가이드부(40)는 상기 기판 반송부(30)에 의하여 반입되고, 반송되는 기판의 이동 및 통과 위치를 정확하게 안내하기 위한 장치이다. 이 기판 가이드부(40)는 상기 기판 처리조(10)의 일 측벽에 고정된 상태로 배치되는 고정축(42)와, 이 고정축(42)에 회전 가능하게 설치되는 아이들 롤러(44)로 구성될 수 있다. 상기 아이들 롤러(44)가 상기 기판의 측면과 접촉하면서 기판의 이동 구간 및 통과 위치를 정확하게 안내하게 된다.
그런데 종래의 기판 처리 장치에서는 전술한 바와 같이, 기판 가이드부(40)가 기판 처리조(10)에 고정되는 구조를 가지므로, 다양한 크기의 기판 처리에 부적합한 문제가 있다. 즉, 특정한 기판 크기의 처리에 맞도록 세팅된 기판 가이드부(40)는 다른 크기의 기판을 처리하기 위해서는 그 고정 위치가 변동되어야 하므로, 재설치하여야 하는 문제점이 있는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 처리되는 기판의 크기에 따라서 기판 가이드부의 위치를 자동으로 변경하여 처리되는 기판 크기를 자동변환할 수 있는 기판 처리장치를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 처리조; 상기 처리조 상으로 기판을 반입하고 반출하는 기판 반송부; 상기 기판 반송부의 양 측부에 각각 구비되어, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판의 위치를 한정하는 한쌍의 기판 가이드부; 상기 한쌍의 기판 가이드부 사이의 간격을 처리되는 기판 크기에 따라 조정하는 가이드부 간격 조정부;를 포함한다.
본 발명에서 상기 기판 가이드부는, 상기 기판 반송부의 양 측부에 각각 배치되는 한쌍의 롤러 플레이트; 상기 각 롤러 플레이트 상에 상기 롤러 플레이트에 수직하게 일렬로 배치되는 롤러 지지대; 상기 각 롤러 지지대에 자유회전 가능하게 설치되며, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판의 측면을 안내하는 다수개의 사이드 롤러;를 포함하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 가이드부 간격 조정부는, 상기 롤러 플레이트와 결합되며, 상기 롤러 플레이트를 상기 처리조 중앙 방향 및 그 역방향으로 이동시키는 이동부재; 상기 이동부재의 직선 이동 방향을 안내하는 안내부재; 상기 처리조 외부에 구비되 어 회전 구동력을 발생하는 모터; 상기 모터의 회전 구동력을 상기 처리조 내부로 전달하여 상기 이동부재를 직선이동시키는 동력 전달부; 상기 기판 처리장치에 의하여 처리되는 기판 크기에 대응하여 상기 기판 가이드부 사이의 간격을 조정하는 제어부;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 동력 전달부는, 상기 모터로부터 회전 구동력을 상기 처리조 내부로 전달하는 제1 동력 전달축; 상기 제1 동력 전달축 일단에 구비되는 제1 베벨기어; 일단에 상기 제1 베벨기어에 치합되는 제2 베벨기어를 가지고, 타단에는 상기 이동부재를 수평 이동시키는 스퍼 기어가 구비되며, 상기 동력 전달축의회전 방향과 수직되는 방향으로 회전하는 제2 동력 전달축;을 포함하며, 상기 이동부재의 상면에는 상기 스퍼 기어와 치합되는 랙기어가 구비되는 것이 바람직하다.
그리고 본 발명의 기판 처리 장치에는, 상기 제1 동력 전달축의 상기 모터 측 일단에 구비되는 제1 마그네틱 기어; 상기 모터의 회전축에 결합되며, 상기 제1 마그네틱 기어와 마주보는 제2 마그네틱 기어; 상기 제1 마그네틱 기어와 제2 마그네틱 기어 사이에 설치되며, 상기 처리조 내부와 외부를 차단하는 차단벽;을 더 구비하는 것이 기판 처리조 내의 처리액이나 증기가 외부로 유출되지 않고, 외부의 파티클이 처리 중인 기판이나 처리조에 유입되지 않아서 바람직하다.
본 발명에 따르면 미리 입력된 프로그램 및 기판 크기에 대한 정보에 의하여 처리되는 기판 크기에 따라 자동으로 기판 가이드부의 폭이 변환되므로, 다양한 크 기의 기판에 대하여 신속하고 정확하게 대응할 수 있는 효과가 있다. 따라서 하나의 기판 처리장치로 다양한 크기의 기판을 처리할 수 있고, 기판 크기에 따라 여러가지 장치를 구비할 필요가 없어서 장비 활용도가 높아지고 경비가 절감되는 효과가 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 기판 처리장치는 처리조, 기판 반송부, 기판 가이드부 및 가이드부 간격 조정부를 포함하여 구성된다. 여기에서 처리조와 기판 반송부는 종래의 그것과 실질적으로 동일하므로 반복하여 설명하지 않는다. 이하에서는 본 실시예에 따른 기판 처리장치에서 특징적인 부분인 기판 가이드부(110, 120)와 가이드부 간격 조정부(130)에 대하여 도 2 내지 4를 참조하여 상세하게 설명한다.
먼저 기판 가이드부(110, 120)는 상기 기판 반송부의 양 측부에 각각 구비되어, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판의 위치를 한정하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 기판 가이드부(110, 120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 롤러 플레이트(111, 121), 롤러 지지대(112, 122), 사이드 롤러(114, 124)를 포함하여 구성된다. 이 기판 가이드부(110, 120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 한쌍으로 구비되지만, 여기에서는 편의를 위하여 일 측(110)만을 설명한다.
먼저 롤러 플레이트(111)는 상기 기판 반송부의 양 측부에 각각 배치되는 한쌍의 봉이다. 이 롤러 플레이트(111)는 긴 봉 형상을 가지며, 다각봉 또는 원형 봉 등 다양한 형상으로 구성될 수 있다. 본 실시예에서는 4각봉 형상을 가지도록 한다. 이 롤러 플레이트(111)는 상기 기판 반송부 및 이 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판(S) 이동 방향과 평행하게 배치된다. 이 롤러 플레이트(111)는 그 일단 또는 양단이 후술하는 이동부재(131)의 상면에 고정된다.
다음으로 롤러 지지대(112)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 각 롤러 플레이트(111) 상에, 상기 롤러 플레이트(111)와 수직하게 일렬로 배치되는 구성요소이다. 이 롤러 지지대(112)는 다수개가 일정한 간격으로 가지도록 이격되어 상기 롤러 플레이트(111)의 전 부분에 대하여 고르게 설치된다.
그리고 사이드 롤러(114)는 상기 각 롤러 지지대(112)에 자유회전 가능하게 설치되며, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판(S)의 측면을 안내하는 구성요소이다. 이 사이드 롤러(114)는 다수개의 롤러 지지대(112)에 각각 하나씩 설치되며, 처리되는 기판(S)의 측면과 실제로 접촉하며, 기판의 이동 위치를 제한한다. 이 사이드 롤러(114)는 기판(S)과 실제로 접촉하므로, 접촉 과정에서 기판을 손상시키지 않도록 기판 보다 작은 경도를 가지는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한 기판이 도입되는 부분에서 기판 모서리 부분과 충돌하더라도 기판을 원활하게 안내하고 기판을 손상시키지 않도록 신축성이 있는 소재로 이루어질 수도 있다.
한편 본 실시예에 따른 가이드부 간격 조정부(130)는 상기 한쌍의 기판 가이 드부(110, 120) 사이의 간격을 처리되는 기판 크기에 따라 조정하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 간격 조정부(130)를 도 2에 도시된 바와 같이, 이동부재(131), 안내부재(132), 모터(134), 동력 전달부(136) 및 제어부(135)를 포함하여 구성한다.
먼저 이동부재(131)는 상기 롤러 플레이트(111)와 결합되며, 상기 롤러 플레이트(111)를 상기 처리조 중앙 방향 및 그 역방향으로 이동시키는 구성요소이다. 이 이동부재(131)도 긴 사각 봉 형태를 가지며, 그 상면에 일단에 상기 롤러 플레이트(111)가 결합된다.
다음으로 안내 부재(132)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 이동부재(131)를 감싸도록 구비되어, 상기 이동부재(131)의 직선 이동 방향을 안내하는 구성요소이다. 구체적으로 상기 이동부재(131)는 상기 안내부재(132)에 슬라이딩 가능하게 결합되어 상기 안내부재(132)가 제공하는 경로 내에서 이동하게 되는 것이다. 이를 위하여 상기 이동부재(131)와 안내 부재(132) 사이에는 슬라이등 과정에서 마찰력을 최소화하기 위하여 베어링 등 마찰력 감소 부재가 더 구비될 수 있다.
그리고 모터(134)는 상기 처리조 외부에 구비되어 회전 구동력을 발생하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 모터(134)의 회전과정에서 발생될 수 있는 파티클 등이 처리되는 기판 및 처리조에 영향을 미치지 못하도록 처리조 외부에 모터(134)를 구비한다. 본 실시예에서는 이 모터(134)를 정밀한 구동 제어를 위하여 서보(servo) 모터로 구성하는 것이 바람직하다.
다음으로 동력 전달부(136)는 상기 모터(134)의 회전 구동력을 상기 처리조 내부로 전달하여 상기 이동부재(131)를 직선이동시키는 구성요소이다. 이 동력 전달부(136)는 도 2에 도시된 바와 같이, 처리조 외부에 배치되는 모터(134)의 회전 동력을 직선 운동으로 전환하여 상기 이동부재(131)를 직선 이동시킨다. 이 동력 전달부(136)는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 이를 위하여 본 실시예에서는 이 동력 전달부(136)를 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 동력 전달축(136a)과 제1 베벨 기어(136b) 및 제2 동력 전달축(136d)을 포함하도록 구성한다. 먼저 제1 동력 전달축(136a)은 상기 모터(134)로부터 회전 구동력을 상기 처리조 내부로 전달하는 구성요소이다. 이 제1 동력 전달축(136a)은 모터(134)와 같은 방향 및 속도로 회전운동한다. 다음으로 제1 베벨기어(136b)는 상기 제1 동력 전달축(136a) 일단에 구비되는 구성요소이다. 이 제1 베벨기어(136b)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 동력 전달축(136a)의 모터(134) 측 말단과 반대 방향에 구비되며, 상기 제1 동력 전달축(136a)의 회전 방향을 90°전환하는 역할을 한다. 이를 위하여 이 제1 베벨기어(136b)는 후술하는 제2, 제3 베벨기어(136c, 136f)와 치합된다.
다음으로 제2 동력 전달축(136d)은 도 2에 도시된 바와 같이, 일단에 상기 제1 베벨기어(136b)에 치합되는 제2 베벨기어(136c)를 가지고, 타단에는 상기 이동부재(131)를 수평 이동시키는 스퍼 기어(136e)가 구비되는 회전축이다. 이 제2 동력 전달축(136d)은 제1, 2 베벨기어(136b, 136c)에 의하여 상기 제1 동력 전달축(136a)의 회전 방향과 수직되는 방향으로 회전하게 된다.
그리고 이 제2 동력 전달축(136d)의 회전에 의하여 함께 회전되는 상기 스퍼 기어(136e)에 의하여 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 이동부재(131)의 상면에 구비 되어 있는 랙기어(133)가 이동하면서 상기 이동부재(131)가 직선이동하게 된다. 따라서 상기 모터(134)의 회전 운동이 상기 이동부재(131)의 직선 운동으로 변환되는 것이다.
또한 제3 동력 전달축(136g)는 제2 동력 전달축(136d)와 반대 방향으로 동력을 전달하지만, 그 구조는 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 동력 전달축(136d)의 그것과 동일하므로 그 설명은 생략한다.
다음으로 제어부(135)는 상기 기판 처리장치에 의하여 처리되는 기판 크기에 대응하여 상기 기판 가이드부(110, 120) 사이의 간격을 조정하는 구성요소이다. 이 제어부(135)에는 다양한 크기의 기판에 대한 데이타가 저장되어 있을 수 있으며, 각 기판 크기에 따라 상기 기판 가이드부 사이의 간격, 보다 구체적으로는 서로 다른 기판 가이드부에 설치되어 있는 상기 사이드 롤러(114, 124) 사이의 간격을 미리 결정하여 저장하고 있다. 그리고 처리될 기판 크기가 입력되면, 미리 입력된 정보에 의하여 상기 사이드 롤러(114, 124) 사이의 간격이 결정되고, 상기 모터(134)를 구동시켜 이를 실행한다.
한편 본 실시예에서는 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 동력 전달과정에서 모터(134)와 처리조를 차단하기 위하여 제1 마그네틱 기어(137), 제2 마그네틱 기어(138) 및 차단벽((139)을 더 구비하는 것이 바람직하다. 제1, 2 마그네틱 기어(137, 138)를 이용하여 이격된 상태에서도 회전 동력이 전달되도록 하고, 상기 제1, 2 마그네틱 기어(137, 138) 사이의 공간에 차단벽(139)을 설치하는 것이다. 이 차단벽(139)에 의하여 상기 처리조의 처리액 증기나 파티클이 외부로 유출되지 않고, 상기 모터(134)의 회전 과정 등에서 발생할 수 있는 외부 오염 물질이 처리조나 기판을 오염시키지 않게 된다.
도 1은 종래의 기판 처리장치의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리장치 중 일부에 대한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 가이드부의 구동 모습을 도시하는 작동도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 동력 전달부의 구조를 도시하는 도면이다.

Claims (5)

  1. 기판을 처리하는 처리조;
    상기 처리조 상으로 기판을 반입하고 반출하는 기판 반송부;
    상기 기판 반송부의 양 측부에 각각 구비되어, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판의 위치를 한정하는 한쌍의 기판 가이드부;
    상기 한쌍의 기판 가이드부 사이의 간격을 처리되는 기판 크기에 따라 조정하는 가이드부 간격 조정부;를 포함하며,
    상기 기판 가이드부는,
    상기 기판 반송부의 양 측부에 각각 배치되는 한쌍의 롤러 플레이트;
    상기 각 롤러 플레이트 상에 상기 롤러 플레이트에 수직하게 일렬로 배치되는 롤러 지지대;
    상기 각 롤러 지지대에 자유회전 가능하게 설치되며, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판의 측면을 안내하는 다수개의 사이드 롤러;를 포함하며,
    상기 가이드부 간격 조정부는,
    상기 롤러 플레이트와 결합되며, 상기 롤러 플레이트를 상기 처리조 중앙 방향 및 그 역방향으로 이동시키는 이동부재;
    상기 이동부재의 직선 이동 방향을 안내하는 안내부재;
    상기 처리조 외부에 구비되어 회전 구동력을 발생하는 모터;
    상기 모터의 회전 구동력을 상기 처리조 내부로 전달하여 상기 이동부재를 직선이동시키는 동력 전달부;
    상기 기판 처리장치에 의하여 처리되는 기판 크기에 대응하여 상기 기판 가이드부 사이의 간격을 조정하는 제어부;를 포함하며,
    상기 동력 전달부는,
    상기 모터로부터 회전 구동력을 상기 처리조 내부로 전달하는 제1 동력 전달축;
    상기 제1 동력 전달축 일단에 구비되는 제1 베벨기어;
    일단에 상기 제1 베벨기어에 치합되는 제2 베벨기어를 가지고, 타단에는 상기 이동부재를 수평 이동시키는 스퍼 기어가 구비되며, 상기 동력 전달축의회전 방향과 수직되는 방향으로 회전하는 제2 동력 전달축;을 포함하며,
    상기 이동부재의 상면에는 상기 스퍼 기어와 치합되는 랙기어가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 동력 전달축의 상기 모터 측 일단에 구비되는 제1 마그네틱 기어;
    상기 모터의 회전축에 결합되며, 상기 제1 마그네틱 기어와 마주보는 제2 마그네틱 기어;
    상기 제1 마그네틱 기어와 제2 마그네틱 기어 사이에 설치되며, 상기 처리조 내부와 외부를 차단하는 차단벽;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
KR1020090044362A 2009-05-21 2009-05-21 기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치 KR101098230B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090044362A KR101098230B1 (ko) 2009-05-21 2009-05-21 기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090044362A KR101098230B1 (ko) 2009-05-21 2009-05-21 기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100125583A KR20100125583A (ko) 2010-12-01
KR101098230B1 true KR101098230B1 (ko) 2011-12-27

Family

ID=43503663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090044362A KR101098230B1 (ko) 2009-05-21 2009-05-21 기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101098230B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101899387B1 (ko) * 2011-11-16 2018-09-17 주식회사 케이씨텍 대면적 기판의 이송장치
KR102095388B1 (ko) * 2018-11-13 2020-03-31 주식회사 쎄믹스 웨이퍼 검사 장치의 프로브 카드 교환 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003303807A (ja) * 2002-04-12 2003-10-24 Shibaura Mechatronics Corp 基板の処理装置及び処理方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003303807A (ja) * 2002-04-12 2003-10-24 Shibaura Mechatronics Corp 基板の処理装置及び処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100125583A (ko) 2010-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5745468B2 (ja) ウエハ型の被処理物を一時保管するための装置および方法
JP6862233B2 (ja) 産業用ロボット
KR102048051B1 (ko) 증착 환경 검사용 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 설비
JP5886259B2 (ja) 非接触基板移送反転機
US20130051967A1 (en) Substrate inverting apparatus, substrate handling method, and substrate processing apparatus
KR20090011381A (ko) 기판이송장치
KR101098230B1 (ko) 기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치
CN102645854A (zh) 显影液喷淋系统及方法、基板产品
KR20150090934A (ko) 기판 이송 장치
JP2005272061A (ja) 基板の搬送装置及び搬送方法
KR20100107692A (ko) 소형 평판 패널용 세정 장치
KR20080093824A (ko) 기판 제조 장치의 기판 이송 장치
KR101116654B1 (ko) 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US8777541B2 (en) Conveyor control apparatus of liquid crystal panel substrates and control method thereof
KR101071268B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20110056029A (ko) 기판 이송 장치
KR101427596B1 (ko) 기판이송장치
KR101040696B1 (ko) 기판 이송 장치
KR102222263B1 (ko) 기판 처리 장치
KR101899387B1 (ko) 대면적 기판의 이송장치
KR101904892B1 (ko) 대면적 기판의 이송장치
KR101040695B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20080047747A (ko) 기판 이송 장치
WO2014183378A1 (zh) 取向装置
KR20080058914A (ko) 기판이송용 컨베이어장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141007

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151008

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161110

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181210

Year of fee payment: 8