KR102591646B1 - 증착 장치 및 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법 - Google Patents

증착 장치 및 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법 Download PDF

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Abstract

증착 장치는 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하고, 상기 제1 및 제2 방향들에 의해 정의되는 평면에 수직한 제3 방향에 평행한 회전축을 중심으로 회전하는 구동부, 상기 제3 방향으로 상기 구동부의 하단에 연결된 제1 지지 부재, 상기 제1 지지 부재 하부에 배치되어 상기 제1 지지 부재에 연결된 마그넷 플레이트, 상기 마그넷 플레이트 하부에 배치된 제2 지지 부재, 및 상기 제1 지지 부재 상에 배치되고, 상기 제3 방향으로 연장하여 상기 제1 지지 부재 및 상기 마그넷 플레이트를 관통하여 상기 제2 지지 부재에 연결된 복수 개의 제1 연결 유닛들을 포함한다.

Description

증착 장치 및 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법{DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF ALIGNING MAGNET PLATE OF DEPOSITION APPARATUS}
본 발명은 증착 장치 및 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마그넷 플레이트를 마스크에 용이하게 얼라인할 수 있는 증착 장치 및 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법에 관한 것이다.
휘도 특성 및 시야각 특성이 우수하고, 액정표시장치와 달리 별도의 광원부를 요구하지 않는 유기발광 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display: OLED)가 차세대 평판표시장치로 주목받고 있다. 유기발광 표시장치는 별도의 광원을 필요로 하지 않아, 경량화 및 박형으로 제작될 수 있다. 또한, 유기발광 표시장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 특성을 갖는다.
유기 발광 표시 장치는 애노드, 유기 발광층, 및 캐소드를 각각 포함하는 복수 개의 유기 발광 소자들을 포함한다. 애노드와 캐소드로부터 각각 정공 및 전자가 유기 발광층에 주입되어 여기자(exciton)가 형성되고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서 유기 발광 소자가 발광된다.
유기 발광 소자들의 제조시 마스크가 기판 상에 배치되고, 마스크의 오픈부들을 통해 유기 발광층들을 형성하기 위한 유기 물질이 기판 상에 제공된다. 마스크는 금속을 포함하고 매우 얇게 제조되므로, 평평하게 유지되지 않을 수 있다. 마스크를 평평하게 하기 위해 마스크를 고정하는 고정 프레임 및 마스크를 기판에 평평하게 흡착 시키기 위한 마그넷 플레이트가 사용된다.
그러나, 반복적으로 복수 개의 기판들을 처리할 경우, 마스크가 마그넷 플레이트에 정상적으로 얼라인되지 않고 틀어질 수 있다. 이러한 경우, 마스크가 정상적으로 기판에 평평하게 흡착되지 않을 수 있다.
본 발명의 목적은 마그넷 플레이트를 마스크에 용이하게 얼라인할 수 있는 증착 장치 및 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하고, 상기 제1 및 제2 방향들에 의해 정의되는 평면에 수직한 제3 방향에 평행한 회전축을 중심으로 회전하는 구동부, 상기 제3 방향으로 상기 구동부의 하단에 연결된 제1 지지 부재, 상기 제1 지지 부재 하부에 배치되어 상기 제1 지지 부재에 연결된 마그넷 플레이트, 상기 마그넷 플레이트 하부에 배치된 제2 지지 부재, 및 상기 제1 지지 부재 상에 배치되고, 상기 제3 방향으로 연장하여 상기 제1 지지 부재 및 상기 마그넷 플레이트를 관통하여 상기 제2 지지 부재에 연결된 복수 개의 제1 연결 유닛들을 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법은 구동부, 상기 구동부의 하단에 연결된 제1 지지 부재, 상기 제1 지지 부재 하부에 배치되어 상기 제1 지지 부재에 연결된 마그넷 플레이트, 및 상기 마그넷 플레이트 하부에 배치된 제2 지지 부재를 준비하는 단계, 상기 제2 지지 부재 하부에 마스크 및 상기 마스크 상에 배치된 기판을 제공하는 단계, 상기 기판을 상기 마스크에 얼라인 시키는 단계, 상기 구동부를 통해 상기 마그넷 플레이트를 이동시켜, 상기 마그넷 플레이트를 상기 마스크와 얼라인시키는 단계, 상기 제2 지지 부재를 하부 방향으로 이동시켜, 상기 제2 지지 부재를 상기 기판에 접촉시키는 단계, 및 상기 마그넷 플레이트를 상기 제2 지지 부재에 인접하게 이동시켜, 상기 마스크를 상기 기판에 접촉시키는 단계를 포함하고, 상기 구동부는 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하고, 상기 제1 및 제2 방향들에 의해 정의되는 평면에 수직한 제3 방향에 평행한 회전축을 중심으로 회전한다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 제1 방향 및 제2 방향으로 이동하고, 제3 방향에 평행한 회전축을 중심으로 회전하는 구동부를 통해 마그넷 플레이트를 이동시켜, 마그넷 플레이트를 마스크에 용이하게 얼라인할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 연결 유닛들이 배치된 제1 지지 부재의 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제3 지지 부재를 하부에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 홈이 정의된 제3 지지 부재의 단면을 예시적으로 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 제3 지지 부재에 배치되는 구동부의 구성을 도시한 도면이다.
도 6은 도 1에 도시된 증착 장치를 제2 방향에서 바라본 증착 장치의 측면도이다.
도 7은 도 7에 도시된 제1 연결 유닛들 중 하나의 단면을 도시한 도면이다.
도 8 내지 도 12는 도 6에 도시된 증착 장치의 마그넷 플레이트의 얼라인 동작을 설명하기 위한 도면이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의됩니다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들이 상세히 설명될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 제1 연결 유닛들이 배치된 제1 지지 부재의 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 증착 장치(100)는 제1 지지 부재(SM1), 제2 지지 부재(SM2), 제3 지지 부재(SM3), 구동부(DU), 마그넷 플레이트(MP), 및 복수 개의 제1 연결 유닛들(CU1)을 포함할 수 있다.
제1, 제2, 및 제3 지지 부재들(SM1,SM2,SM3) 및 마그넷 플레이트(MP)는 제1 방향(DR1)으로 연장하는 장변들 및 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 연장하는 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다.
이하 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면과 실질적으로 수직하게 교차하는 방향은 제3 방향(DR3)으로 정의된다. 제1, 제2, 및 제3 방향들(DR1,DR2,DR3) 각각은 양방향으로 정의될 수 있다.
제1 지지 부재(SM1)는 구동부(DU)의 하단에 연결될 수 있다. 마그넷 플레이트(MP)는 제1 지지 부재(SM1) 하부에 배치될 수 있다. 제2 지지 부재(SM2)는 마그넷 플레이트(MP) 하부에 배치될 수 있다. 따라서 마그넷 플레이트(MP)는 제1 지지 부재(SM1) 및 제2 지지 부재(SM2) 사이에 배치될 수 있다. 마그넷 플레이트(MP)는 자력을 갖는 자석 물질을 포함할 수 있다.
구동부(DU)는 제1 지지 부재(SM1)에 연결될 수 있다. 제3 방향(DR3)을 기준으로 제1 지지 부재(SM1)의 두께는 마그넷 플레이트(MP) 및 제2 지지 부재(SM2) 각각의 두께보다 클 수 있다. 제3 방향(DR3)을 기준으로 제3 지지 부재(SM3)의 두께는 제1 지지 부재(SM1)의 두께보다 클 수 있다.
제1 연결 유닛들(CU1)은 제1 지지 부재(SM1) 상에 배치될 수 있다. 제1 연결 유닛들(CU1)은 제3 방향(DR3)으로 연장하고 제1 지지 부재(SM1) 및 마그넷 플레이트(MP)를 관통하여 제2 지지 부재(SM2)에 연결될 수 있다. 이러한 구성은 이하 상세히 설명될 것이다.
본 발명의 실시 예에서, 도 2에 도시된 바와 같이, 4개의 제1 연결 유닛들(CU1)이 제1 지지 부재(SM1) 상에 배치될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 적어도 2개 이상의 제1 연결 유닛들(CU1)이 제1 지지 부재(SM1) 상에 배치될 수 있다. 제1 연결 유닛들(CU1)은 제1 지지 부재(SM1)의 모서리들에 각각 인접하게 배치될 수 있다.
제2 지지 부재(SM2) 하부에 기판(SUB) 및 마스크(MK)가 배치될 수 있다. 기판(SUB) 및 마스크(MK)는 제1 방향(DR1)으로 연장하는 장변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장하는 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 기판(SUB)은 증착 공정을 수행하기 위한 기판으로서 유기 기판 또는 플라스틱 기판일 수 있다. 마스크(MK)는 금속을 포함하는 파인 메탈 마스크(FMM: Fine Metal Mask)일 수 있다.
도시하지 않았으나, 마스크(MK) 하부에 증작 물질이 수용된 도가니가 배치될 수 있다. 도가니가 가열되어 증착 물질이 기화되고, 기화된 증착 물질은 마스크(MK)의 오픈부들을 통해 기판(SUB)에 제공될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 제3 지지 부재를 하부에서 바라본 도면이다. 도 4는 도 3에 도시된 홈이 정의된 제3 지지 부재의 단면을 예시적으로 보여주는 도면이다. 도 5는 도 3에 도시된 제3 지지 부재에 배치되는 구동부의 구성을 도시한 도면이다.
설명의 편의를 위해, 도 5에서 제3 지지 부재(SM3)는 생략되고, 제1, 제2, 및 제3 구동부들(DU1,DU2,DU3)이 도시되었으며, 홈(G)은 점선으로 도시되었다.
도 3, 도 4, 및 도 5를 참조하면, 제3 지지 부재(SM3)에 구동부(DU)가 연결될 수 있다. 제3 지지 부재(SM3)의 하면(LS)의 중심부에 홈(G)이 정의되고, 구동부(DU)는 홈(G)을 통해 노출될 수 있다. 홈(G)은 제3 지지 부재(SM3)의 하면(LS)에서 제3 지지 부재(SM3)의 내부로 함몰되어 정의될 수 있다. 홈(G)은 직사각형 형상을 가질 수 있으나, 홈(G)의 형상은 이에 한정되지 않는다.
구동부(DU)는 제1 구동부(DU1), 제2 구동부(DU2), 및 제3 구동부(DU3)를 포함할 수 있다. 제1 구동부(DU1)는 제3 방향(DR3)으로 연장하고, 제3 방향(DR3)에 평행한 회전축(RX)을 중심으로 회전할 수 있다. 제1 구동부(DU1)는 회전축(RX)을 중심으로 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전할 수 있다. 제1 구동부(DU1)는 홈(G)을 통해 제1 지지 부재(SM1)의 하부에서 노출될 수 있다.
제2 구동부(DU2)는 제1 구동부(DU1)에 연결되고, 제1 방향(DR1)으로 연장할 수 있다. 제1 구동부(DU1)에 연결된 제2 구동부(DU2)의 소정의 부분은 홈(G)을 통해 노출되고, 제2 구동부(DU2)의 다른 부분은 제3 지지 부재(SM3) 내에 배치될 수 있다. 제2 구동부(DU2)는 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다.
제3 구동부(DU3)는 제2 구동부(DU2)에 연결되고, 제2 방향(DR2)으로 연장할 수 있다. 제2 구동부(DU2)는 제1 구동부(DU1)와 제3 구동부(DU3) 사이에 배치되고, 제2 구동부(DU2)의 끝단이 제3 구동부(DU3)의 중심부에 연결될 수 있다. 제3 구동부(DU3)는 제3 지지 부재(SM3) 내에 배치될 수 있다. 제3 구동부(DU3)는 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다.
제1 구동부(DU1)에 연결된 제2 구동부(DU2)가 제1 방향(DR1)으로 이동하므로, 제1 구동부(DU1)는 제2 구동부(DU2)에 의해 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 제1 구동부(DU1)가 제2 구동부(DU2)에 연결되고, 제2 구동부(DU2)가 제3 구동부(DU3)에 연결되고, 제3 구동부(DU3)가 제2 방향(DR2)으로 이동하므로, 제1 구동부(DU1)는 제3 구동부(DU3)에 의해 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다.
따라서, 제1 구동부(DU1)는 제2 및 제3 구동부들(DU2,DU3)에 의해 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다. 제1 구동부(DU1)는 홈(G) 내에서 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다.
도 6은 도 1에 도시된 증착 장치를 제2 방향에서 바라본 증착 장치의 측면도이다. 도 7은 도 6에 도시된 제1 연결 유닛들 중 하나의 단면을 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 제1 연결 유닛들(CU1)은 제1 지지 부재(SM1) 상에 배치될 수 있다. 제1 연결 유닛들(CU1)은 제3 방향(DR3)으로 연장하여 제1 지지 부재(SM1) 및 마그넷 플레이트(MP)를 관통하여 제2 지지 부재(SM2)에 연결될 수 있다.
제3 방향(DR3)으로 연장하는 제1 연결 유닛들(CU1)은 제1 지지 부재(SM1)에 정의된 복수 개의 제1 홀들(H1) 및 마그넷 플레이트(MP)에 정의된 복수 개의 제2 홀들(H2)을 통해 제2 지지 부재(SM2)에 연결될 수 있다. 제1 홀들(H1)은 제2 홀들(H2)에 오버랩할 수 있다. 설명의 편의를 위해, 도 7에서 제1 및 제2 홀들(H1,H2)은 점선으로 도시되었다.
제1 연결 유닛들(CU1) 각각은 제1 지지 유닛(SU1), 제2 지지 유닛(SU2), 및 연장 유닛(EU)을 포함할 수 있다. 제1 지지 유닛(SU1)은 제1 지지 부재(SM1) 상에 배치되고, 제1 및 제2 홀들(H1,H2) 각각보다 큰 면적을 가질 수 있다. 제1 지지 유닛(SU1)의 면적은 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의되는 평면을 기준으로 정의되는 면적일 수 있다.
제2 지지 유닛(SU2)은 제1 지지 유닛(SU1) 상에 배치되고, 제1 지지 유닛(SU1) 보다 큰 면적을 가질 수 있다. 제2 지지 유닛(SU2)의 면적 역시 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의되는 평면을 기준으로 정의되는 면적일 수 있다. 예시적으로, 제1 및 제2 지지 유닛들(SU1,SU2)은 직사각형 형상을 가질 수 있으나, 제1 및 제2 지지 유닛들(SU1,SU2)의 형상은 이에 한정되지 않는다.
연장 유닛(EU)은 제1 지지 유닛(SU1)의 하부에 연결되고, 제3 방향(DR3)으로 연장할 수 있다. 연장 유닛(EU)은 제1 및 제2 홀들(H1,H2)을 통과하여 제2 지지 부재(SM2)에 연결될 수 있다. 연장 유닛(EU)은 제1 지지 부재(SM1) 및 마그넷 플레이트(MP)에 연결되지 않을 수 있다. 따라서, 제1 지지 부재(SM1) 및 마그넷 플레이트(MP)는 연장 유닛(EU)을 따라 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있다.
제1 지지 부재(SM1) 및 마그넷 플레이트(MP) 사이에 복수 개의 제2 연결 유닛들(CU2)이 배치될 수 있다. 제2 연결 유닛들(CU2)은 제3 방향(DR3)으로 연장하고 제1 지지 부재(SM1) 및 마그넷 플레이트(MP)를 연결할 수 있다. 예를 들어, 제2 연결 유닛들(CU2) 각각의 상단은 제1 지지 부재(SM1)에 연결되고, 제2 연결 유닛들(CU2) 각각의 하단은 마그넷 플레이트(MP)에 연결될 수 있다.
제2 연결 유닛들(CU2)은 제1 지지 부재(SM1)의 테두리 및 마그넷 플레이트(MP)의 테두리에 인접하게 배치된 복수 개의 제1 서브 연결 유닛들(SCU1) 및 제1 지지 부재(SM1)의 중심부 및 마그넷 플레이트(MP)의 중심부에 배치된 제2 서브 연결 유닛(SCU2)을 포함할 수 있다. 제2 서브 연결 유닛(SCU2)은 생략될 수 있다.
구동부(DU)는 제1 지지 부재(SM1)에 연결되고, 제1 지지 부재(SM1)는 제2 연결 유닛들(CU2)을 통해 마그넷 플레이트(MP)에 연결될 수 있다. 따라서, 구동부(DU)가 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동하고, 회전축(RX)을 중심으로 회전할 때, 제1 지지 부재(SM1) 및 마그넷 플레이트(MP)도 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동하고, 회전축(RX)을 중심으로 회전할 수 있다.
본 발명의 실시 예에서, 제1 서브 연결 유닛들(SCU1)은 제1 연결 유닛들(CU1)보다 제1 지지 부재(SM1)의 테두리에 더 인접할 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 제1 연결 유닛들(CU1)이 제1 서브 연결 유닛들(SCU1)보다 제1 지지 부재(SM1)의 테두리에 더 인접할 수 있다.
마스크(MK) 상에 기판(SUB)이 배치되고, 마스크(MK)의 테두리는 고정 프레임(FM)에 연결될 수 있다. 마스크(MK)는 매우 얇게 제조되므로, 평평하게 유지되지 않고, 도 6에 도시된 바와 같이 하부로 쳐질 수 있다.
도 8 내지 도 12는 도 6에 도시된 증착 장치의 마그넷 플레이트의 얼라인 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 내지 도 10은 구동부(DU)의 동작에 의한 마그넷 플레이트(MP)의 이동을 설명하기 위한 도면들이다. 도 11 및 도 12는 마스크(MK)를 향해 하부 방향으로 이동하는 마그넷 플레이트(MP)의 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
도 8 내지 도 10을 참조하면, 마스크(MK)는 마스크(MK)의 소정의 영역들에 배치된 복수 개의 제1 얼라인 마크들(AM1)을 포함할 수 있다. 예시적으로 제1 얼라인 마크들(AM1)은 마스크(MK)의 모서리들에 각각 인접하게 배치될 수 있다.
마그넷 플레이트(MP)는 마그넷 플레이트(MP)의 소정의 영역들에 배치된 복수 개의 제2 얼라인 마크들(AM2)을 포함할 수 있다. 예시적으로 제2 얼라인 마크들(AM2)은 마그넷 플레이트(MP)의 모서리들에 각각 인접하게 배치될 수 있다.
기판(SUB)은 기판(SUB)의 소정의 영역들에 배치된 복수 개의 제3 얼라인 마크들(AM3)을 포함할 수 있다. 예시적으로 제3 얼라인 마크들(AM3)은 기판(SUB)의 모서리들에 각각 인접하게 배치될 수 있다.
설명의 편의를 위해, 도 9 및 도 10에서 마그넷 플레이트(MP) 및 제2 얼라인 마크들(AM2)은 점선으로 도시되었다. 예시적으로 제1, 제2, 및 제3 얼라인 마크들(AM1,AM2,AM3)은 십자가 형상으로 도시되었으나, 이에 한정되지 않고, 제1, 제2, 및 제3 얼라인 마크들(AM1,AM2,AM3) 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 8을 참조하면, 마스크(MK) 상에 기판(SUB)이 배치되고, 기판(SUB)의 제3 얼라인 마크들(AM3)을 마스크(MK)의 제1 얼라인 마크들(AM1)에 오버랩시켜, 기판(SUB)을 마스크(MK)에 얼라인 시킬 수 있다.
도 9를 참조하면, 마스크(MK)가 마그넷 플레이트(MP)에 정확하게 얼라인되지 않고, 틀어질 수 있다. 예를 들어, 마스크(MK)의 중심은 마그넷 플레이트(MP)의 중심에 얼라인되나, 마스크(MK)가 반 시계 방향으로 소정의 각도만큼 마그넷 플레이트(MP)와 틀어질 수 있다.
구동부(DU)는 마그넷 플레이트(MP)를 이동시키기 위해 구동될 수 있다. 예를 들어, 구동부(DU)는 마그넷 플레이트(MP)를 회전시킬 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이 마스크(MK)가 틀어져 있을 경우, 구동부(DU)는 마그넷 플레이트(MP)를 반 시계 방향으로 회전시켜, 마그넷 플레이트(MP)를 이동시킬 수 있다. 구동부(DU)의 제1 구동부(DU1)가 반 시계 방향으로 회전함으로써, 마그넷 플레이트(MP)가 반 시계 방향으로 회전할 수 있다.
구동부(DU)는 마그넷 플레이트(MP)를 이동시켜 마그넷 플레이트(MP)의 제2 얼라인 마크들(AM2)을 서로 오버랩하는 제1 및 제3 얼라인 마크들(AM1,AM3)에 오버랩시킬 수 있다. 따라서, 마그넷 플레이트(MP)가 마스크(MK) 및 기판(SUB)에 얼라인될 수 있다.
도시하지 않았으나, 마스크(MK)가 시계 방향으로 소정의 각도만큼 마그넷 플레이트(MP)와 틀어질 경우, 구동부(DU)는 제2 얼라인 마크들(AM2)을 제1 및 제3 얼라인 마크들(AM1,AM3)에 오버랩시키기 위해, 회전축(RX)을 중심으로 마그넷 플레이트(MP)를 시계 방향으로 회전시켜, 마그넷 플레이트(MP)를 이동시킬 수 있다.
도 10을 참조하면, 마스크(MK)가 제1 방향(DR1)으로 소정의 간격 및 제2 방향(DR2)으로 소정의 간격만큼 마그넷 플레이트(MP)와 틀어질 수 있다. 구동부(DU)는 마그넷 플레이트(MP)를 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동시킬 수 있다.
구동부(DU)의 제2 구동부(DU2)가 제1 방향(DR1)으로 이동함으로써 마그넷 플레이트(MP)가 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 구동부(DU)의 제3 구동부(DU3)가 제2 방향(DR2)으로 이동하여 마그넷 플레이트(MP)가 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다.
구동부(DU)는 마그넷 플레이트(MP)를 이동시켜 마그넷 플레이트(MP)의 제2 얼라인 마크들(AM2)을 서로 오버랩하는 제1 및 제3 얼라인 마크들(AM1,AM3)에 오버랩시킬 수 있다. 따라서, 마그넷 플레이트(MP)가 마스크(MK) 및 기판(SUB)에 얼라인될 수 있다.
도시하지 않았으나, 마스크(MK)가 시계 방향으로 소정의 각도만큼 마그넷 플레이트(MP)와 틀어지고, 또한, 마스크(MK)가 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 소정의 간격만큼 마그넷 플레이트(MP)와 틀어질 수 있다. 이러한 경우, 도 9 및 도 10에서 설명된 동작들이 수행될 수 있다. 예를 들어, 제1 구동부(DU1)의 동작에 의해 마그넷 플레이트(MP)가 회전되고, 제2 및 제3 구동부들(DU2,DU3)의 동작에 의해 마그넷 플레이트(MP)가 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다.
마스크(MK)가 틀어져 있을 경우, 마스크(MK)를 기준으로, 먼저 기판(SUB)이 마스크(MK)에 얼라인되고, 다음으로, 마그넷 플레이트(MP)가 마스크(MK)에 얼라인될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 기판(SUB)이 마스크(MK) 상에 배치되지 않은 상태에서, 마그넷 플레이트(MP)가 먼저 마스크(MK)에 얼라인될 수 있다. 다음으로, 기판(SUB)이 마스크(MK) 상에 배치되어 마스크(MK)에 얼라인될 수 있다.
도 11을 참조하면, 제3 지지 부재(SM3)는 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있다. 제3 지지 부재(SM3)가 하부 방향으로 이동할 경우, 구동부(DU), 제1 및 제2 지지 부재들(SM1,SM2), 및 마그넷 플레이트(MP)도 함께 하부 방향으로 이동할 수 있다.
도 12를 참조하면, 하부 방향으로 이동한 제2 지지 부재(SM2)는 기판(SUB)의 상면에 접촉할 수 있다. 제2 지지 부재(SM2)는 기판(SUB)에 접촉하여 기판(SUB)을 지지하는 역할을 할 수 있다.
제2 지지 부재(SM2)가 기판(SUB)의 상면에 접촉하더라도, 제1 지지 부재(SM1) 및 마그넷 플레이트(MP)는 제1 및 제2 홀들(H1,H2)에 삽입된 연장 유닛(EU)을 따라 하부로 이동할 수 있다. 마그넷 플레이트(MP)는 연장 유닛(EU)을 따라 하부 방향으로 이동하여 제2 지지 부재(SM2)에 인접하게 배치될 수 있다.
마그넷 플레이트(MP)가 제2 지지 부재(SM2)에 인접하게 배치됨으로써, 도 7에 도시된 위치보다 마스크(MK)에 더 인접할 수 있다. 마스크(MK)는 마그넷 플레이트(MP)의 자력에 의해 마그넷 플레이트(MP)가 배치된 상부로 당겨지고, 기판(SUB)의 하면에 접촉할 수 있다. 즉, 하부로 쳐진 마스크(MK)가 평평하게 펼쳐져 기판(SUB)에 접촉할 수 있다. 결과적으로, 증착 공정을 수행하기 위해 마그넷 플레이트(MP), 기판(SUB), 및 마스크(MK)가 서로 얼라인될 수 있다.
예시적으로, 마그넷 플레이트(MP)가 제2 지지 부재(SM2)에 인접하게 배치되었으나, 마그넷 플레이트(MP)의 위치는 다양하게 설정될 수 있다. 예를 들어, 마스크(MK)를 당기기 위해, 더 큰 힘이 요구될 경우, 마그넷 플레이트(MP)는 제2 지지 부재(SM2)에 접촉하기 위해 더 하부로 이동할 수 있다. 즉, 마그넷 플레이트(MP)는 도 12에 도시된 위치보다 마스크(MK)에 더 인접하게 이동할 수 있다.
또한, 마스크(MK)를 당기기 위해, 더 작은 힘이 요구될 경우, 마그넷 플레이트(MP)는 도 12에 도시된 위치보다 더 상부에 배치될 수도 있다. 즉, 마그넷 플레이트(MP)는 도 12에 도시된 위치보다 마스크(MK)와 더 멀어지게 이격될 수 있다.
마스크(MK)가 하부로 쳐질 경우, 마스크(MK)의 오픈부들이 증착 물질이 제공되어야 할 기판(SUB)의 부분들에 정확히 배치되지 않을 수 있다. 따라서, 증착 물질이 기판(SUB)에 정확하게 증착되지 않을 수 있다. 마스크(MK)가 평평하게 펼쳐져서 기판(SUB)에 접촉하므로, 마스크(MK)의 오픈부들이 증착 물질이 제공되어야 할 기판(SUB)의 부분들에 보다 정확하게 배치될 수 있다. 따라서, 증착 물질이 기판(SUB)에 보다 정확하게 증착될 수 있다.
기판(SUB)에 대한 증착 공정이 수행된 후, 구동부(DU), 제1 및 제2 지지 부재들(SM1,SM2), 및 마그넷 플레이트(MP)가 상부로 이동하여, 도 7에 도시된 바와 같이 배치될 수 있다. 이러한 경우, 마스크(MK)는 다시 하부로 쳐질 수 있다. 증착 공정이 완료된 기판(SUB)이 이송되고, 다른 기판이 마스크(MK) 상에 배치되어 전술한 동작이 다시 수행될 수 있다.
복수 개의 기판들에 대한 증착 공정이 반복적으로 수행될 때, 마그넷 플레이트(MP)가 반복해서 상하로 이동하고, 마스크(MK)도 상부로 당겨지고 다시 하부로 쳐질 수 있다. 이러한 경우, 반복적인 마스크(MK)의 유동으로 인해 마스크(MK)가 정상적인 위치에서 틀어질 수 있다.
마스크(MK)가 마그넷 플레이트(MP)에 얼라인되지 않을 경우, 마그넷 플레이트(MP)와 오버랩하지 않은 마스크(MK)의 부분이 상부로 당져지지 않아 평평하게 펼쳐지지 않을 수 있다. 따라서, 증착 물질이 기판(SUB)에 정상적으로 제공되지 않을수 있다.
그러나, 본 발명의 실시 예에서, 마스크(MK)가 틀어질 경우, 구동부(DU)가 마그넷 플레이트(MP)를 이동시켜, 마그넷 플레이트(MP)가 기판(SUB) 및 마스크(MK)에 용이하게 얼라인될 수 있다. 따라서, 마스크(MK)가 평평하게 펼쳐져서 기판(SUB)에 접촉할 수 있으므로, 증착 물질이 기판(SUB)에 보다 정확하게 제공될 수 있다.
이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 증착 장치 MP: 마그넷 플레이트
SM1,SM2,SM3: 제1, 제2, 및 제3 지지 부재
DU: 구동부 CU1: 제1 연결 유닛
DU1,DU2,DU3: 제1, 제2, 및 제3 구동 유닛
SUB: 기판 MK: 마스크
CU2: 제2 연결 유닛 SU1,SU2: 제1 및 제2 지지 유닛
EU: 연장 유닛 H1,H2: 제1 및 제2 홀

Claims (19)

  1. 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하고, 상기 제1 및 제2 방향들에 의해 정의되는 평면에 수직한 제3 방향에 평행한 회전축을 중심으로 회전하는 구동부;
    상기 제3 방향으로 상기 구동부의 하단에 연결된 제1 지지 부재;
    상기 제1 지지 부재 하부에 배치되어 상기 제1 지지 부재에 연결된 마그넷 플레이트;
    상기 마그넷 플레이트 하부에 배치된 제2 지지 부재; 및
    상기 제1 지지 부재 상에 배치되고, 상기 제3 방향으로 연장하여 상기 제1 지지 부재 및 상기 마그넷 플레이트를 관통하여 상기 제2 지지 부재에 연결된 복수 개의 제1 연결 유닛들을 포함하고,
    상기 제2 지지 부재의 하부에 기판 및 마스크가 순차적으로 배치되고,
    상기 마스크에 복수 개의 제1 얼라인 마크들이 정의되고,
    상기 마그넷 플레이트에 복수 개의 제2 얼라인 마크들이 정의되고,
    상기 기판에 상기 제1 얼라인 마크들과 각각 오버랩하는 복수 개의 제3 얼라인 마크들이 정의되고,
    상기 마그넷 플레이트는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동되거나 상기 회전축을 중심으로 회전되어, 상기 제2 얼라인 마크들을 상기 제1 및 제3 얼라인 마크들에 오버랩시키는 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 연결 유닛들은 상기 제1 지지 부재에 정의된 복수 개의 제1 홀들 및 상기 마그넷 플레이트에 정의되고 상기 제1 홀들에 오버랩하는 복수 개의 제2 홀들 통해 상기 제2 지지 부재에 연결되는 증착 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 연결 유닛들 각각은,
    상기 제1 지지 부재 상에 배치되고, 상기 평면을 기준으로 상기 제1 및 제2 홀들보다 큰 면적을 갖는 제1 지지 유닛;
    상기 제1 지지 유닛 상에 배치되고, 상기 평면을 기준으로 상기 제1 지지 유닛보다 큰 면적을 갖는 제2 지지 유닛; 및
    상기 제1 지지 유닛의 하부에 연결되어 상기 제3 방향으로 연장하고 상기 제1 및 제2 홀들을 통과하여 상기 제2 지지 부재에 연결된 연장 유닛을 포함하는 증착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 구동부가 하부 방향으로 이동할 때, 상기 제2 지지 부재는 상기 하부 방향으로 이동하여 상기 기판에 접촉하고, 상기 제1 지지 부재 및 상기 마그넷 플레이트는 상기 제1 및 제2 홀들에 삽입된 상기 연장 유닛을 따라 상기 하부 방향으로 이동하고, 상기 마그넷 플레이트는 상기 제2 지지 부재에 인접하게 배치되는 증착 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 지지 부재 및 상기 마그넷 플레이트 사이에 배치되어 상기 제1 지지 부재 및 상기 마그넷 플레이트를 연결하는 복수 개의 제2 연결 유닛들을 더 포함하는 증착 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 연결 유닛들은,
    상기 제1 지지 부재의 테두리 및 상기 마그넷 플레이트의 테두리에 인접하게 배치된 복수 개의 제1 서브 연결 유닛들; 및
    상기 제1 지지 부재의 중심부 및 상기 마그넷 플레이트의 중심부에 배치된 제2 서브 연결 유닛을 포함하는 증착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 서브 연결 유닛들은 상기 제1 연결 유닛들보다 상기 제1 지지 부재의 상기 테두리에 더 인접한 증착 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부의 상단에 연결되고 상기 제3 방향으로 이동하는 제3 지지 부재를 더 포함하고,
    상기 제3 방향을 기준으로, 상기 제1 지지 부재의 두께는 상기 마그넷 플레이트 및 상기 제2 지지 부재 각각의 두께보다 크고, 상기 제3 지지 부재의 두께는 상기 제2 지지 부재의 상기 두께보다 큰 증착 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 제3 방향으로 연장하여 상기 회전축을 중심으로 회전하는 제1 구동부;
    상기 제1 방향으로 연장하여 상기 제1 구동부에 연결되고, 상기 제1 방향으로 이동하는 제2 구동부; 및
    상기 제2 방향으로 연장하여 상기 제2 구동부에 연결되고, 상기 제2 방향으로 이동하는 제3 구동부를 포함하는 증착 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 구동부는 상기 제3 지지 부재의 하면의 중심부에 정의된 홈에 배치되고, 상기 홈 내에서 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동하는 증착 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 마그넷 플레이트를 상기 제2 지지 부재 하부에 배치된 기판 및 마스크와 얼라인시키기 위해 상기 마그넷 플레이트를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동시키고, 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 증착 장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 지지 부재는 금속을 포함하는 증착 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 마그넷 플레이트는 자력을 갖는 자석 물질을 포함하는 증착 장치.
  16. 구동부, 상기 구동부의 하단에 연결된 제1 지지 부재, 상기 제1 지지 부재 하부에 배치되어 상기 제1 지지 부재에 연결된 마그넷 플레이트, 및 상기 마그넷 플레이트 하부에 배치된 제2 지지 부재를 준비하는 단계;
    상기 제2 지지 부재 하부에 마스크 및 상기 마스크 상에 배치된 기판을 제공하는 단계;
    상기 마스크는 소정의 영역들에 정의된 복수 개의 제1 얼라인 마크들을 포함하고, 상기 기판은 상기 기판의 소정의 영역들에 정의된 복수 개의 제3 얼라인 마크들을 포함하고, 상기 제3 얼라인 마크들을 상기 제1 얼라인 마크들에 오버랩 시키는 단계;
    상기 마그넷 플레이트는 상기 마그넷 플레이트의 소정의 영역들에 정의된 복수 개의 제2 얼라인 마크들을 포함하고,
    상기 구동부는 상기 제2 얼라인 마크들을 서로 오버랩하는 상기 제1 및 제3 얼라인 마크들에 오버랩되도록 상기 마그넷 플레이트를 이동시키는 단계;
    상기 제2 지지 부재를 하부 방향으로 이동시켜, 상기 제2 지지 부재를 상기 기판에 접촉시키는 단계; 및
    상기 마그넷 플레이트를 상기 제2 지지 부재에 인접하게 이동시켜, 상기 마스크를 상기 기판에 접촉시키는 단계를 포함하고,
    상기 구동부는 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하고, 상기 제1 및 제2 방향들에 의해 정의되는 평면에 수직한 제3 방향에 평행한 회전축을 중심으로 회전하는 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법.
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 제3 방향으로 연장하여 상기 회전축을 중심으로 회전하는 제1 구동부;
    상기 제1 방향으로 연장하여 상기 제1 구동부에 연결되고, 상기 제1 방향으로 이동하는 제2 구동부; 및
    상기 제2 방향으로 연장하여 상기 제2 구동부에 연결되고, 상기 제2 방향으로 이동하는 제3 구동부를 포함하는 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법.
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