KR101686057B1 - 마스크 척킹 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 척킹 구조에 의하여 마스크(M)를 기판(S)에 밀착고정시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 마스크 척킹 구조에 있어서, 기판(S)의 표면에 마스크(M)가 밀착된 상태를 유지하도록 기판(S)의 이면 쪽에서 마스크(M)에 대하여 자력을 가하는 자력발생수단(200)과, 상기 마스크(M)를 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 척킹되도록 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 상기 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키는 자력제어수단(300)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조를 제시함으로써 마스크(M) 및 기판(S)의 정렬 및 밀착 후에 자석에 의한 흡착고정시 마스크(M)에 대하여 기판(S)의 표면방향을 따라서 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키면서 마스크(M)를 척킹함으로써 마스크척킹시 마스크(M) 및 기판(S)에 들뜸이 발생되는 것을 방지하여 정밀한 마스크 척킹이 가능하다.

Description

마스크 척킹 구조 {Mask chucking apparatus}
본 발명은 OLED 증착에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 OLED 기판(S)에 증착공정을 수행하기 위하여 기판(S)에 밀착되는 마스크를 척킹하는 마스크 척킹 구조에 관한 것이다.
IT기술의 비약적인 발전과 스마트폰 등 디스플레이 시장이 성장하면서 평판디스플레이(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. 이러한 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이(Plasma Display Panel), 유기발광디스플레이(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
그 중에서 유기발광디스플레이는 빠른 응답속도, 기존의 액정디스플레이보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light)장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점이 있어서 차세대 디스플레이 소자로서 각광받고 있다.
이러한 유기발광디스플레이는 기판(S)에 양극, 유기막, 음극을 순차적으로 형성하고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 스스로 발광하는 원리를 이용한 것이다.
유기발광디스플레이는 도시하지 않았지만 기판(S)에 양극(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 음극(cathode)이 순차적으로 형성된다. 여기에서 양극은 면저항이 작고 빛의 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 사용된다.
그리고 유기막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 유기막 등을 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.
한편, 유기발광디스플레이의 제조를 위하여 양극, 음극, 유기막, 봉지막 등은 진공증착법에 형성됨이 일반적이다.
여기서 진공증착법이란 진공챔버에 증착물질을 가열하여 증발시키는 소스를 설치하고, 소스로부터 증발되는 증착물질을 기판(S)표면에 증착하는 방법을 말한다.
그리고 유기발광디스플레이를 제조함에 있어서 도 1에 도시된 바와 같이 소정의 패턴을 가지는 양극, 음극, 유기막 등은 기판(S)에 마스크(M)를 결합시켜 형성된다. 도 1에서 F는 자력 등에 의하여 얼라인된 마스크(M) 및 기판(S)를 밀착시키는 지지부재를 가리킨다.
이때, 도 2에 도시된 바와 같이 미리 설계된 패턴과 일치시키기 위하여 기판(S) 및 마스크(M)의 정렬될 필요가 있으며 이를 위하여 카메라로 인식하면서 이동수단에 의하여 기판(S) 및 마스크(M) 각각에 형성된 마크(m1, m2)가 서로 일치되도록 마스크(M)를 이동시킨 후 마스크 척킹 구조(F)를 이용하여 마스크(M)를 기판(S)에 밀착한다.
종래의 마스크 척킹 구조로서 한국 등록특허 제10-06672971호가 있다.
그런데 기판(S)의 생산성 및 정밀도 향상을 위하여 기판(S)에 밀착되는 마스크의 크기가 커지거나 두께가 얇아져 처짐 등이 발생하여, 기판(S) 및 마스크의 정렬 및 밀착 후 자석을 이용하여 기판(S) 및 마스크를 합착 고정할 때 마스크의 들뜸이 발생되어 기판(S) 및 마스크가 완전히 밀착되지 않아 기판처리의 불량의 원인으로 작용하는 문제점이 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 마스크 및 기판(S)의 정렬 및 밀착 후에 자석에 의한 흡착고정시 마스크의 들뜸을 방지할 수 있는 마스크 척킹 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 마스크 척킹 구조에 의하여 마스크(M)를 기판(S)에 밀착고정시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 마스크 척킹 구조에 있어서, 기판(S)의 표면에 마스크(M)가 밀착된 상태를 유지하도록 기판(S)의 이면 쪽에서 마스크(M)에 대하여 자력을 가하는 자력발생수단(200)과, 상기 마스크(M)를 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 척킹되도록 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 상기 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키는 자력제어수단(300)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조를 제시한다.
상기 자력발생수단(200)은 전자석 또는 영구자석을 포함함이 바람직하다.
상기 자력제어수단(300)은 상기 마스크(M)에 대한 자력을 감소시키도록 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이에 설치되며, 상기 마스크(M) 척킹시에 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이를 개방하여 상기 자력발생수단(200)의 자력이 상기 마스크(M)에 작용하여 상기 마스크(M)를 척킹하는 것이 바람직하다.
상기 자력제어수단(300)은 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이에 설치되어 상기 마스크(M)에 대한 자력을 약화시키는 자력약화부재와, 상기 자력약화부재가 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이에 설치되어 상기 마스크(M)에 대한 자력의 약화 또는 개방하도록 하는 자력약화구동부를 포함할 수 있다.
상기 자력약화부재는 반자성 재질을 가지는 것이 바람직하다.
상기 자력약화부재는 감길 수 있는 시트로 형성되며, 상기 자력약화구동부는 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이에서 상기 자력약화부재를 펼쳐 상기 마스크(M)에 대한 자력을 약화시키며, 상기 자력약화부재를 감아 상기 자력약화부재를 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이를 개방하여 상기 자력발생수단(200)의 자력이 상기 마스크(M)에 가해지도록 할 수 있다.
상기 자력약화부재는 수평이동에 의하여 상기 마스크(M)에 대한 자력의 약화 또는 개방하도록 할 수 있다.
상기 자력발생수단(200)은 복수의 영구자석들이 설치된 하나 이상의 플레이트부재(220)를 포함하며, 상기 자력제어수단(300)은 상기 플레이트부재(220)의 상면과 평행하게 설치된 힌지축을 중심으로 상기 기판(S)의 저면에 대하여 상기 플레이트부재(220)를 회전시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.
상기 자력제어수단(300)은 상기 플레이트부재(220)를 상기 기판(S)에 대하여 상하로 이동시키는 상하구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 기판처리장치는 증발증착법을 수행하는 증발 증착 장치일 수 있다.
본 발명에 따른 마스크 척킹 구조는 마스크(M) 및 기판(S)의 정렬 및 밀착 후에 자석에 의한 흡착고정시 마스크(M)에 대하여 기판(S)의 표면방향을 따라서 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키면서 마스크(M)를 척킹함으로써 마스크척킹시 마스크(M) 및 기판(S)에 들뜸이 발생되는 것을 방지하여 정밀한 마스크 척킹이 가능하다.
상기와 같은 정밀한 마스크 척킹이 가능하여 마스크 척킹시 마스크 및 기판(S) 사이의 어긋남이 방지하여 마스크 및 기판(S)의 정렬시간을 단축시킬 수 있다.
또한 정밀한 마스크 척킹이 가능하여 섀도우 효과(shadow effect) 등과 같이 기판(S) 및 마스크 사이의 들뜸에 따른 기판처리의 불량을 방지할 수 있다.
도 1은 증착공정 수행을 위하여 증착기 내에서 기판(S) 및 마스크가 밀착된 상태를 보여주는 단면도,
도 2는 기판(S) 및 마스크의 정렬 과정을 보여주는 일부 평면도,
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제1실시예에 따른 마스크 척킹 구조에 의한 마스크 척킹 과정을 보여주는 단면도들,
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크 척킹 구조에 의한 마스크 척킹 과정을 보여주는 단면도,
도 5는 기판(S) 및 마스크 사이의 간격을 감지하기 위한 거리감지부의 실시예를 보여주는 단면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다. 도 1은 증착공정 수행을 위하여 증착기 내에서 기판(S) 및 마스크가 밀착된 상태를 보여주는 단면도, 도 2는 기판(S) 및 마스크의 정렬 과정을 보여주는 일부 평면도, 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제1실시예에 따른 마스크 척킹 구조에 의한 마스크 척킹 과정을 보여주는 단면도들, 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크 척킹 구조에 의한 마스크 척킹 과정을 보여주는 단면도, 도 5는 기판(S) 및 마스크 사이의 간격을 감지하기 위한 거리감지부의 실시예를 보여주는 단면도이다.
본 발명에 따른 마스크 척킹 구조는 도 3a 내지 도 4에 도시된 바와 같이 마스크 척킹 구조에 의하여 마스크(M)를 기판(S)에 밀착고정시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 마스크 척킹 구조에 있어서, 기판(S)의 표면에 마스크(M)가 밀착된 상태를 유지하도록 기판(S)의 이면 쪽에서 마스크(M)에 대하여 자력을 가하는 자력발생수단(200)과, 마스크(M)를 기판(S)의 표면방향을 따라서 척킹되도록 기판(S)의 표면방향을 따라서 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키는 자력제어수단(300)을 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 척킹 구조는 마스크(M) 및 기판(S)의 정렬 및 밀착 후에 기판(S)을 사이에 두고 자력에 의하여 마스크(M)를 척킹하기 위한 구성요소로서 다양한 구성이 가능하며, 증발 증착법에 의하여 기판(S)에 증착을 수행하는 증착기에 사용되는 등 자력에 의하여 마스크(M)의 척킹이 필요한 장치 어디에도 적용이 가능하다.
또한 본 발명에 따른 마스크 척킹 구조는 도 1에 도시된 증착기, 내부 즉 진공챔버에 설치되거나, 마스크(M) 및 기판(S)이 합착된 상태로 함께 이동될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 마스크 척킹 구조에 의하여 마스크(M)를 척킹하기 전에 얼라이너에 의하여 마스크(M) 및 기판(S)에 대한 정렬을 수행한다.
또한 기판(S)은 별도의 지지수단(100)에 의하여 지지되며, 지지수단(100)은 기판(S)을 지지한 상태로 함께 이동되는 캐리어 또는 진공챔버에 설치된 서셉터 등이 될 수 있다.
그리고 후술하는 자력발생수단(200)은 지지수단(100)을 기준으로 기판(S)에 대향되는 위치에 위치된다.
예를 들면, 기판(S)이 지지수단(100)의 상면에서 지지된 경우 자력발생수단(200)은 지지수단(100)의 하측에 위치되며, 기판(S)이 지지수단(100)의 저면에서 지지된 경우 자력발생수단(200)은 지지수단(100)의 상측에 위치된다.
그리고 지지수단(100)은 도 5에 도시된 바와 같이 마스크(M)가 기판(S)으로 밀착될 때 기판(S)에 대한 과도한 충격을 방지하기 위하여 하나 이상의 댐핑부재(120)이 설치될 수 있다.
댐핑부재(120)는 고무 등의 신축성 있는 재질이 사용될 수 있다.
또한 지지수단(100)은 기판(S) 및 마스크(M) 사이의 얼라인, 즉 정렬시 기판(S) 및 마스크(M) 사이의 거리를 감지하기 위한 감지센서(150)가 추가로 설치될 수 있다.
감지센서(150)는 거리를 측정하기 위한 초음파센서 등으로서 기판(S) 및 마스크(M) 사이의 거리를 감지하여 장치의 제어부(도시하지 않음)가 기판(S) 및 마스크(M)의 접촉여부, 얼라인 가능한 거리를 가지는지 여부를 판단할 수 있도록 한다.
이러한 감지센서(150)는 장치의 제어부로 신호를 전달함에 있어서 무선통신으로 또는 별도로 설치된 신호전달부재(130) 등에 의하여 유선으로 장치의 제어부로 신호를 전달할 수 있다.
자력발생수단(200)은 기판(S)의 표면에 마스크(M)가 밀착된 상태를 유지하도록 기판(S)의 이면 쪽에서 마스크(M)에 대하여 자력을 가하는 구성요소이다.
자력발생수단(200)은 자력을 발생시킬 수 있는 구조 및 장치이면 모두 가능하며, 하나 이상의 영구자석, 전자석 등을 포함할 수 있다.
일실시예에 따른 자력발생수단(200)은 도 3a 내지 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 영구자석들(210)이 설치된 하나 이상의 플레이트부재(220)를 포함할 수 있다.
자력제어수단(300)은 마스크(M)를 기판(S)의 표면방향을 따라서 척킹되도록 기판(S)의 표면방향을 따라서 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키는 구성요소이다.
자력제어수단(300)은 기판(S)의 표면방향을 따라서 마스크(M)에 대한 자력을 변화시킴으로써 마스크(M)의 척킹시 마스크(M) 및 기판(S) 사이의 들뜸 현상을 방지하여 마스크(M) 및 기판(S)의 안정적인 합착을 목적으로 한다.
그리고 자력제어수단(300)은 기판(S)의 표면방향을 따른 마스크(M)에 대한 자력 변화 방식에 따라서 다양한 실시예가 가능하다.
일실시예에 따른 자력제어수단(300)은 마스크(M)에 대한 자력을 감소시키도록 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이에 설치되며, 마스크(M) 척킹시에 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이를 개방하여 자력발생수단(200)의 자력이 마스크(M)에 작용하여 마스크(M)를 척킹하도록 이루어질 수 있다.
그리고 자력제어수단(300)은 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이에 설치되어 마스크(M)에 대한 자력을 약화시키는 자력약화부재(310)와, 자력약화부재(310)가 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이에 설치되어 마스크(M)에 대한 자력의 약화 또는 개방하도록 하는 자력약화구동부(320)를 포함할 수 있다.
자력약화부재(310)는 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이에 설치되어 마스크(M)에 대한 자력을 약화시키는 구성요소이다.
일실시예에 따른 자력약화부재(310)는 Ni 등 반자성 재질을 가질 수 있다.
더욱 구체적으로 자력약화부재(310)는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 감길 수 있는 시트로 형성될 수 있다.
자력약화부재(310)를 구성하는 시트로는 Ni 재질의 시트, Ni, SUS 등의 자기장 차폐물질이 코팅된 폴리이미드 필름 등 자기장을 차폐, 즉 약화시킬 수 있는 재질이면 어떠한 재질도 가능하다.
자력약화구동부(320)는 자력약화부재(310)가 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이에 설치되어 마스크(M)에 대한 자력의 약화 또는 개방하도록 하는 구성요소이다.
구체적으로, 자력약화구동부(320)는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 감길 수 있는 시트로 형성되는 경우 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이에서 자력약화부재(310)를 펼쳐 마스크(M)에 대한 자력을 약화시키며, 자력약화부재(310)를 감아 자력약화부재(310)를 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이를 개방하여 자력발생수단(200)의 자력이 마스크(M)에 가해지도록 할 수 있다.
여기서 자력약화부재(210)는 감길 수 있도록 얇은 재질의 시트구조를 가지며, 진공챔버 내에 별도로 설치된 롤(320)에 의하여 감기거나 풀림으로써 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이를 개방 또는 차단하여 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이에서의 자력변화를 제어할 수 있다.
롤(320)은 자력약화구동부(320)로서 회전 및 선형이동에 의하여 시트구조의 자력약화부재(210)를 감거나 푸는 구성으로 다양한 실시예 가능하다.
그리고 시트구조의 자력약화부재(310)는 진공챔버 내에 설치되거나 자력발생수단(200)에 결합되어 설치될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 자력제어수단(300)은 자력차단 또는 약화가 필요한 경우 도 3a에 도시된 바와 같이 시트구조의 자력약화부재(310)가 롤(320)에 의하여 풀린 상태로 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이를 차단한다.
그리고 마스크(M) 척킹이 필요한 경우 도 3b에 도시된 바와 같이 롤(320)의 회전 및 선형이동에 의하여 시트구조의 자력약화부재(310)가 감김으로써 기판(S)의 일측에서 타측으로 가면서 자력이 마스크(M)에 가해져 마스크(M)가 기판(S)의 표면방향을 따라서 척킹된다.
자력약화구동부(320)의 다른 실시예로 자력발생수단(200) 및 기판(S) 사이에서 자력약화부재(310)가 자력을 차단하고 있다가 자력약화부재(310)를 수평이동에 의하여 마스크(M)에 대한 자력의 약화 또는 개방하도록 할 수 있다.
다른 실시예에 따른 자력제어수단(300)은 도 4에 도시된 바와 같이, 자력발생수단(200)이 복수의 영구자석들(210)이 설치된 하나 이상의 플레이트부재(220)를 포함한 경우, 플레이트부재(220)의 상면과 평행하게 설치된 힌지축을 중심으로 기판(S)의 저면에 대하여 플레이트부재(220)를 회전시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.
회전구동부는 플레이트부재(220)의 상면과 평행하게 설치된 힌지축을 중심으로 기판(S)의 저면에 대하여 플레이트부재(220)를 회전시키는 구성으로 다양한 실시예가 가능하다.
상기와 같이 복수의 영구자석들(210)이 설치된 하나 이상의 플레이트부재(220)가 플레이트부재(220)의 상면과 평행하게 설치된 힌지축을 중심으로 기판(S)의 저면에 대하여 플레이트부재(220)를 회전되면 기판(S)의 일측에서 타측으로 가면서 자력이 마스크(M)에 가해져 마스크(M)가 기판(S)의 표면방향을 따라서 척킹된다.
한편 자력제어수단(300)은 회전구동부의 구성에 더하여 플레이트부재(220)를 기판(S)에 대하여 상하로 이동시키는 상하구동부를 더 포함할 수 있다.
상하구동부는 마스크(M) 척킹이 불필요한 경우 자력발생수단인 플레이트부재(220)가 마스크(M)와 충분한 거리를 두고 위치되었다가 마스크(M) 척킹이 필요한 경우 플레이트부재(220)를 상측으로 이동시킨 후 회전구동부에 의하여 플레이트부재(220)를 회전시킴으로써 마스크(M)가 기판(S)의 표면방향을 따라서 척킹되도록 한다.
S... 기판(S) M... 마스크
100... 1차얼라인부 200... 2차얼라인부

Claims (10)

  1. 마스크 척킹 구조에 의하여 마스크(M)를 기판(S)에 밀착고정시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 마스크 척킹 구조에 있어서,
    기판(S)의 표면에 마스크(M)가 밀착된 상태를 유지하도록 기판(S)의 이면 쪽에서 마스크(M)에 대하여 자력을 가하는 자력발생수단(200)과,
    상기 기판(S)의 표면방향을 기준으로 상기 기판(S)의 일측에서 타측으로 가면서 상기 기판(S)과 마스크(M)가 척킹되도록 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 상기 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키는 자력제어수단(300)을 포함하며,
    상기 자력제어수단(300)은,
    감길 수 있는 시트구조를 가지며, 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이에 설치되어 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이를 차단하여 상기 마스크(M)에 대한 자력을 약화시키는 자력약화부재와;
    상기 기판(S)의 표면방향을 기준으로 상기 기판(S)의 일측에서 타측으로 이동하며 회전하여 상기 자력약화부재를 감아 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이를 개방하는 롤을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조.
  2. 마스크 척킹 구조에 의하여 마스크(M)를 기판(S)에 밀착고정시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 마스크 척킹 구조에 있어서,
    기판(S)의 표면에 마스크(M)가 밀착된 상태를 유지하도록 기판(S)의 이면 쪽에서 마스크(M)에 대하여 자력을 가하는 자력발생수단(200)과,
    상기 기판(S)의 표면방향을 기준으로 상기 기판(S)의 일측에서 타측으로 가면서 상기 기판(S)과 마스크(M)가 척킹되도록 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 상기 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키는 자력제어수단(300)을 포함하며,
    상기 자력제어수단(300)은,
    상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이에 설치되어 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이를 차단하여 상기 마스크(M)에 대한 자력을 약화시키는 자력약화부재를 포함하며,
    상기 자력약화부재는, 상기 기판(S)의 표면방향을 기준으로 상기 기판(S)의 일측에서 타측으로 이동하여 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 상기 자력발생수단(200) 및 상기 기판(S) 사이를 개방하는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조.
  3. 마스크 척킹 구조에 의하여 마스크(M)를 기판(S)에 밀착고정시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 마스크 척킹 구조에 있어서,
    기판(S)의 표면에 마스크(M)가 밀착된 상태를 유지하도록 기판(S)의 이면 쪽에서 마스크(M)에 대하여 자력을 가하는 자력발생수단(200)과,
    상기 기판(S)의 표면방향을 기준으로 상기 기판(S)의 일측에서 타측으로 가면서 상기 기판(S)과 마스크(M)가 척킹되도록 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 상기 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키는 자력제어수단(300)을 포함하며,
    상기 자력발생수단(200)은,
    복수의 영구자석들이 설치된 하나 이상의 플레이트부재(220)를 포함하며,
    상기 자력제어수단(300)은,
    상기 기판(S)의 일측에서 상기 플레이트부재(220)의 상면과 평행하게 설치된 힌지축을 중심으로 상기 기판(S)의 저면에 대하여 상기 플레이트부재(220)를 회전시켜 상기 기판(S)의 타측에서 상기 기판(S)의 저면으로부터 상기 플레이트부재(220)의 상면까지의 거리를 조절하는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조.
  4. 제1항 내지 제2항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 자력발생수단(200)은 전자석 또는 영구자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조.
  5. 제1항 및 제2항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 자력약화부재는 반자성 재질을 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제3항에 있어서,
    상기 자력제어수단(300)은 상기 플레이트부재(220)를 상기 기판(S)에 대하여 상하로 이동시키는 상하구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조.
  10. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판처리장치는 증발증착법을 수행하는 증발 증착 장치인 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조.
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