KR102411538B1 - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되며, 상기 마스크 조립체로 증착물질을 분사하여 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 소스부와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 마스크 조립체에 전자기력을 가하여 상기 마스크 조립체를 상기 디스플레이 기판 측으로 밀착시키는 마그넷부와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 디스플레이 기판, 상기 마스크 조립체 및 상기 마그넷부에 레이저를 조사하는 레이저조사부와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 디스플레이 기판, 상기 마스크 조립체 및 상기 마그넷부로부터 반사된 레이저를 감지하는 레이저감지부를 포함하고, 상기 마그넷부는 상기 레이저감지부에서 감지된 결과를 근거로 상기 마스크 조립체에 가해지는 전자기력을 조절한다.

Description

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
일반적으로 표시 장치를 제조하는 경우 마스크 조립체를 통하여 증착물질을 증착할 수 있다. 이러한 경우 마스크 조립체가 외력 또는 자중으로 인하여 변형되는 경우 정밀한 패턴을 증착하지 못함으로써 품질이 저하될 수 있으므로 이러한 문제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예들은 정밀한 패턴으로 증착이 가능한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되며, 상기 마스크 조립체로 증착물질을 분사하여 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 소스부와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 마스크 조립체에 전자기력을 가하여 상기 마스크 조립체를 상기 디스플레이 기판 측으로 밀착시키는 마그넷부와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 디스플레이 기판, 상기 마스크 조립체 및 상기 마그넷부에 레이저를 조사하는 레이저조사부와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 디스플레이 기판, 상기 마스크 조립체 및 상기 마그넷부로부터 반사된 레이저를 감지하는 레이저감지부를 포함하고, 상기 마그넷부는 상기 레이저감지부에서 감지된 결과를 근거로 상기 마스크 조립체에 가해지는 전자기력을 조절하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 마그넷부는 상기 레이저감지부에서 감지된 결과를 근거로 상기 마스크 조립체에 가해지는 전자기력 중 일부만을 조절할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마그넷부와 상기 디스플레이 기판 사이에 배치되는 쿨링플레이트를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 레이저조사부는 상기 쿨링플레이트에 레어저를 조사하고, 상기 레이저감지부는 상기 쿨링플레이트로부터 반사되는 레이저를 감지할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 레이저감지부에서 감지된 레이저를 근거로 상기 마스크 조립체, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마그넷부에 대응되는 주파수를 분리하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 마스크 조립체에 대응되는 주파수를 통하여 상기 마스크 조립체의 변형 여부를 판별할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 마스크 조립체의 변형 여부에 따라 상기 마그넷부의 전자기력을 제어할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 레이저감지부에서 감지된 레이저를 푸리에 변환(Fourier transform)하여 상기 마스크 조립체, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마그넷부에 대응되는 주파수를 분리할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 마스크 조립체의 변형 여부에 따라 상기 마그넷부의 위치를 조절할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 배치되어 서로 연결되는 복수개의 마스크 시트를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 마스크 조립체가 배치된 챔버 내부로 디스플레이 기판을 삽입하는 단계와, 마그넷부, 쿨링플레이트를 선형 운동시켜 상기 디스플레이 기판에 근접시키고, 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계와, 레이저조사부로 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체에 레이저를 조사하는 단계와, 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 마스크 조립체로부터 반사된 레이저를 감지하여 감지된 레이저를 근거로 상기 마스크 조립체의 변형 여부를 판별하는 단계와, 상기 마스크 조립체의 변형 여부에 따라 상기 마그넷부의 전자기력을 제어하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 감지된 레이저를 근거로 상기 마스크 조립체, 상기 디스플레이 기판, 상기 마그넷부 및 상기 쿨링플레이트에 대응되는 주파수를 분리하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 주파수의 분리는 감지된 레이저를 푸리에 변환하여 분리할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체에 대응되는 주파수가 상기 마스크 조립체의 고유주파수와 상이하면 상기 마스크 조립체가 변형된 것으로 판단할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마그넷부 및 상기 쿨링플레이트가 선형 운동하여 상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 밀착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마그넷부의 전자기력은 상기 마스크 조립체에서 변형된 부분만 제어될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 배치되어 서로 연결되는 복수개의 마스크 시트를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체를 얼라인하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 조립체가 배치된 챔버 내부로 디스플레이 기판을 삽입하는 단계와, 마그넷부, 쿨링플레이트를 선형 운동시켜 상기 디스플레이 기판에 근접시키고, 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계와, 레이저조사부로 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체에 레이저를 조사하는 단계와, 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 마스크 조립체로부터 반사된 레이저를 감지하여 감지된 레이저를 근거로 상기 마스크 조립체의 변형 여부를 판별하는 단계와, 상기 마스크 조립체의 변형 여부에 따라 상기 마그넷부의 위치를 제어하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 패턴의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 균일한 패턴으로 증착물질을 증착하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 마스크 조립체(1), 기판지지부(120), 소스부(130), 마그넷부(140), 쿨링플레이트(150), 레이저조사부(161), 레이저감지부(162), 비젼부(170), 마스크 안착부(181), 압력조절부(182), 선형구동부(183) 및 제어부(190)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개구되도록 형성될 수 있다. 이때, 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트밸브(110A) 등이 배치되어 챔버(110)의 개구된 부분을 선택적으로 개방하거나 폐쇄할 수 있다.
마스크 조립체(1)는 마스크 프레임(30), 마스크 시트(10) 및 지지프레임(40)을 포함할 수 있다.
마스크 프레임(30)은 복수개의 프레임이 연결되어 형성될 수 있으며, 중앙 부분이 관통되도록 형성될 수 있다. 이때, 마스크 프레임(30)의 내부는 격자 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 마스크 프레임(30)은 창틀과 유사하게 형성될 수 있다.
마스크 시트(10)는 마스크 프레임(30)에 인장된 상태로 설치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(10)는 하나가 구비되어 마스크 프레임(30)에 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 시트(10)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 마스크 시트(10)는 마스크 프레임(30)의 일변을 따라 배열될 수 있다. 각 마스크 시트(10)에는 복수개의 개구부(10A)가 형성될 수 있다. 이때, 복수개의 개구부(10A)는 서로 이격되도록 각 마스크 시트(10)에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 시트(10)가 복수개 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
지지프레임(40)은 마스크 프레임(30)에 배치될 수 있다. 이때, 지지프레임(40)은 마스크 프레임(30)의 중앙 부분에 배치될 수 있다. 지지프레임(40)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 지지프레임(40)은 마스크 프레임(30)의 장변 및 단변 방향 중 적어도 하나의 방향으로 배치될 수 있다. 이때, 마스크 프레임(30)의 장변은 복수개의 마스크 시트(10)가 배열되는 방향이며, 마스크 프레임(30)의 단변은 각 마스크 시트(10)의 길이 방향일 수 있다. 상기와 같은 복수개의 지지프레임(40) 중 마스크 프레임(30)의 장변 방향으로 배치되는 지지프레임(40)은 마스크 시트(10)의 복수개의 개구부(10A)를 복수개의 영역으로 구획하는 것이 가능하다. 또한, 복수개의 지지프레임(40) 중 마스크 프레임(30)의 단변 방향으로 배치되는 지지프레임(40)은 서로 인접하는 마스크 시트(10) 사이에 배치될 수 있다.
기판지지부(120)는 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있다. 이때, 기판지지부(120)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 일 실시예로써 기판지지부(120)는 챔버(110)의 상측에 배치되어 디스플레이 기판(D)을 지지하는 정전척 또는 점착척을 포함할 수 있다. 이때, 기판지지부(120)는 챔버(110) 내부에서 선형 운동(또는 승하강 운동)을 수행할 수 있다. 다른 실시예로써 기판지지부(120)는 디스플레이 기판(D)의 하면을 지지하는 프레임 또는 별도의 장치(예를 들면, 셔틀, 로봇암 등)를 포함하는 것도 가능하다. 이러한 경우 기판지지부(120)는 디스플레이 기판(D)의 위치를 미세하게 조절하는 것이 가능하다. 또 다른 실시예로써 기판지지부(120)는 디스플레이 기판(D)의 측면을 파지하거나 디스플레이 기판(D)의 측면에 접촉하여 디스플레이 기판(D)을 지지하는 클램프, 프레임 또는 별도의 장치(예를 들면, 셔틀, 로봇암, 실린더 등)를 포함하는 것도 가능하다. 이때, 기판지지부(120)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 디스플레이 기판(D)과 접촉하거나 디스플레이 기판(D)을 파지하여 디스플레이 기판(D)의 위치를 고정시키는 모든 구조 및 모든 장치를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판지지부(120)는 디스플레이 기판(D)의 측면을 파지하는 클램프 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
소스부(130)는 점 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 소스부(130)는 선형으로 형성될 수 있다. 이러한 경우 소스부(130)는 마스크 조립체(1)의 장변방향 또는 단변 방향 중 하나의 방향으로 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 소스부(130)가 선형으로 형성되어 마스크 조립체(1)의 장변방향으로 배열되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
소스부(130)는 챔버(110)의 저면에 배치될 수 있다. 이때, 소스부(130)는 마스크 조립체(1)와 대향하도록 배치될 수 있다. 소스부(130)는 증착물질을 증발시키거나 승화시켜 마스크 조립체(1)로 공급할 수 있다. 증착물질은 마스크 조립체(1)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 소스부(130)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 배치되거나 챔버(110) 내부에 선형 운동 가능하도록 배치될 수 있다. 이때, 소스부(130)가 챔버(110) 내부에서 선형 운동하는 경우 소스부(130)는 마스크 조립체(1)의 장변 또는 단변 방향 중 하나의 방향으로 선형 운동할 수 있다. 특히 소스부(130)는 챔버(110) 저면에 배치되는 리니어 모터 등과 같은 장치에 연결되어 이러한 장치의 작동에 따라 선형 운동할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 소스부(130)는 챔버(110)의 저면에 고정되도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 소스부(130)는 증착물질이 수납되는 도가니(131) 및 도가니(131)에 배치되어 도가니(131)를 가열하는 히터(132)를 포함할 수 있다. 이때, 도가니(131)는 일측이 개구되도록 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 도가니(131)는 개구된 일측에 노즐을 구비하는 커버가 설치되는 것도 가능하다.
마그넷부(140)는 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 마그넷부(140)는 전자석 형태로 형성될 수 있다. 특히 마그넷부(140)는 각 영역 또는 특정 부분의 전자기력를 조절하는 것이 가능하다. 예를 들면, 일 실시예로써 마그넷부(140)는 중앙 부분만 전자기력의 세기를 마그넷부(140)의 다른 부분의 전자기력보다 크게 유지하거나 작게 유지하는 것이 가능하다. 다른 실시예로써 마그넷부(140)는 중앙 부분만 전자기력을 초기의 전자기력과 동일하도록 유지하고 마그넷부(140)의 다른 부분의 전자기력을 초기의 전자기력보다 크게 유지하거나 작게 유지하는 것이 가능하다. 또 다른 실시예로써 마그넷부(140)의 다른 부분의 전자기력은 초기의 전자기력과 동일하도록 유지하고, 마그넷부(140)의 중앙 부분의 전자기력은 마그넷부(140)의 다른 부분의 전자기력의 세기보다 크게 유지하거나 작게 유지하는 것도 가능하다. 이때, 마그넷부(140)는 상기에 한정되는 것은 아니며 다양한 부분에서 전자기력을 개별적으로 제어하는 것이 가능하다. 이러한 경우 마그넷부(140)는 서로 인접하도록 배열되어 서로 독립적으로 작동하는 복수개의 전자석을 포함할 수 있다.
쿨링플레이트(150)는 마그넷부(140)와 일체로 형성되거나 마그넷부(140)와 연결될 수 있다. 다른 실시예로써 쿨링플레이트(150)는 마그넷부(140)와 이격되어 인접되도록 배치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 쿨링플레이트(150)는 마그넷부(140)와 별도로 형성되어 마그넷부(140)에 연결되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
쿨링플레이트(150)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 쿨링플레이트(150)는 열전 소자를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 쿨링플레이트(150)는 플레이트와 플레이트 내부에 배치되어 냉매가 순환하는 배관을 포함하는 것도 가능하다. 이때, 쿨링플레이트(150)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 디스플레이 기판(D)을 냉각시킬 수 있는 모든 형태 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
레이저조사부(161)는 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 레이저조사부(161)는 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 마그넷부(140), 쿨링플레이트(150)에 레이저를 조사할 수 있다. 레이저조사부(161)는 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 마그넷부(140), 쿨링플레이트(150)에 라인 형태의 레이저를 조사할 수 있다. 특히 레이저조사부(161)는 마스크 조립체(1)의 하면을 일방향으로 레이저를 조사할 수 있다. 예를 들면, 레이저조사부(161)는 마스크 프레임(30)의 장변 방향 또는 단변 방향으로 마스크 조립체(1)의 하면에 순차적으로 레이저를 조사할 수 있다.
상기와 같은 레이저조사부(161)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 설치되거나 회동 가능하게 설치될 수 있다. 다른 실시예로써 레이저조사부(161)는 챔버(110) 내부에서 선형 운동 가능하도록 배치되는 것도 가능하다. 이러한 경우 레이저조사부(161)는 챔버(110) 내부에 배치되는 리니어 모터 등과 같은 구동부(163)에 연결될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 레이저조사부(161)가 리니어 모터에 연결되어 챔버(110) 내부에서 선형 운동하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
레이저감지부(162)는 레이저조사부(161)에서 방출된 레이저가 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150) 중 적어도 하나에 충돌하여 반사되면 반사된 레이저를 감지할 수 있다.
상기와 같은 레이저감지부(162)는 챔버(110) 내부에 고정되거나 회동 가능하게 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 레이저감지부(162)는 레이저조사부(161)와 함께 선형 운동 가능하도록 챔버(110) 내부에 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 레이저감지부(162)가 레이저조사부(161)와 함께 선형운동 하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
비젼부(170)는 챔버(110)에 내부에 배치될 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 마스크 조립체(1)와 디스플레이 기판(D)의 위치를 감지할 수 있다. 이러한 경우 비젼부(170)는 카메라를 포함할 수 있다.
마스크 안착부(181)는 마스크 조립체(1)가 안착할 수 있다. 이때, 마스크 안착부(181)는 마스크 조립체(1)를 서로 상이한 3가지 방향으로 미세 조정하는 것이 가능하다.
압력조절부(182)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 이때, 압력조절부(182)는 챔버(110)에 연결되는 연결배관(182A)과 연결배관(182A)에 배치되는 펌프(182B)를 포함할 수 있다.
선형구동부(183)는 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150)와 연결되어 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150)를 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 선형구동부(183)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 일 실시에로써 선형구동부(183)는 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150)와 연결되는 실린더를 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 선형구동부(183)는 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150)와 연결되는 랙기어와, 랙기어와 연결되는 기어 및 기어와 연결되는 모터를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로써 선형구동부(183)는 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150)와 연결되는 리니어 모터를 포함하는 것도 가능하다. 이때, 선형구동부(183)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150)와 연결되어 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150)를 선형 운동시키는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 선형구동부(183)가 마그넷부(140) 및 쿨링플레이트(150)와 연결되는 실린더를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제어부(190)는 챔버(110)에 구비되거나 챔버(110)로부터 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 제어부(190)는 표시 장치의 제조장치(100)의 작동을 제어할 수 있다. 이러한 제어부(190)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제어부(190)는 회로디스플레이 기판, 퍼스널 컴퓨터, 노트북, 휴대폰, PDA, 휴대용 단말기 등을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제어부(190)는 챔버(110)에 구비되는 회로디스플레이 기판을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)의 작동을 살펴보면, 마스크 조립체(1)를 챔버(110) 내부로 삽입되어 마스크 안착부(181)에 안착될 수 있다. 이때, 마스크 조립체(1)는 초기에 챔버(110) 내부에 배치된 후 증착이 복수번 수행되는 동안 챔버(110) 내부에 계속해서 배치된 상태일 수 있다.
챔버(110) 내부에 디스플레이 기판(D)을 배치할 수 있다. 이때, 챔버(110) 내부의 압력은 대기압 상태일 수 있다. 구체적으로 펌프(182B)가 작동하여 연결배관(182A)을 통하여 기체를 챔버(110) 내부로 주입할 수 있다. 이후 게이트밸브(110A)가 개방되어 챔버(110)의 개구부를 개방하여 디스플레이 기판(D)을 챔버(110) 내부로 삽입할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 챔버(110) 외부에 배치되는 로봇암 등에 의해 이동할 수 있다.
디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 내부에 배치되면, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1)의 위치를 감지할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1)에는 각각 얼라인 마크가 형성될 수 있다. 비젼부(170)는 상기와 같은 얼라인 마크를 촬영하여 제어부(190)로 전송할 수 있다. 제어부(190)는 디스플레이 기판(D)의 얼라인 마크와 마스크 조립체(1)의 얼라인 마크의 위치를 비교하여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1) 사이의 상대 위치를 판단할 수 있다.
제어부(190)는 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1) 사이의 상대 위치를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1)가 서로 대응되도록 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(1) 중 적어도 하나의 위치를 조절할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 기판지지부(120) 및 마스크 안착부(181) 중 적어도 하나를 통하여 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(1) 중 적어도 하나의 위치를 조절할 수 있다.
상기와 같은 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(1) 중 적어도 하나의 위치 조절을 통하여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1)를 얼라인할 수 있다.
제어부(190)는 마그넷부(140)와 쿨링플레이트(150)가 디스플레이 기판(D)에 근접하도록 선형구동부(183)를 작동시킬 수 있다. 마그넷부(140)와 쿨링플레이트(150)가 기 설정된 위치에 도달하면, 제어부(190)는 마그넷부(140)에 기 설정된 초기 전자기력을 생성하도록 마그넷부(140)를 제어할 수 있다.
마그넷부(140)가 상기와 같이 작동하는 경우 마그넷부(140)는 마스크 조립체(1)를 디스플레이 기판(D) 측으로 잡아당김으로써 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1)를 최대한 근접시킬 수 있다.
제어부(190)는 레이저조사부(161)를 통하여 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 쿨링플레이트(150) 및 마그넷부(140)에 레이저를 조사할 수 있다. 이때, 레이저는 선형 형태로 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 쿨링플레이트(150) 및 마그넷부(140)에 조사될 수 있다.
상기와 같은 경우 레이저의 일부는 마스크 조립체(1)에 충돌하고, 레이저의 다른 일부는 디스플레이 기판(D), 레이저의 또 다른 일부는 쿨링플레이트(150), 레이저의 또 다른 일부는 마그넷부(140)에 각각 충돌하여 반사될 수 있다.
레이저감지부(162)는 상기와 같이 반사된 레이저를 한번에 수광하여 제어부(190)로 전송할 수 있다.
제어부(190)는 레이저감지부(162)에서 감지된 레이저를 분석할 수 있다. 구체적으로 제어부(190)는 레이저감지부(162)에서 감지된 레이저를 푸리에 변환을 통하여 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 쿨링플레이트(150) 및 마그넷부(140)에 해당하는 주파수를 각각 분리할 수 있다.
제어부(190)는 상기와 같이 분리된 주파수를 제어부(190)에 기 설정된 고유주파수와 비교할 수 있다. 구체적으로 제어부(190)는 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 쿨링플레이트(150) 및 마그넷부(140) 각각의 고유주파수가 기 설정된 상태일 수 있다. 이때, 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 쿨링플레이트(150) 및 마그넷부(140) 각각의 고유주파수는 마스크 조립체(1), 디스플레이 기판(D), 쿨링플레이트(150) 및 마그넷부(140)이 각각 하나씩 존재하는 경우에 레이저를 조사하여 측정함으로써 획득할 수 있다.
제어부(190)는 푸리에 변환을 통하여 주파수를 분리한 후 분리된 주파수와 고유주파수를 비교하여 마스크 조립체(1)의 변형 여부를 판별할 수 있다. 예를 들면, 분리된 마스크 조립체(1)의 주파수가 마스크 조립체(1)의 고유주파수와 상이한 것으로 판단되면, 제어부(190)는 마스크 조립체(1)이 변형된 것으로 판단할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 마스크 조립체(1)의 각 영역(또는 부분)에 대해서 개별적으로 상기와 같은 작업을 진행하여 마스크 조립체(1)의 변형 여부를 판별할 수 있다.
제어부(190)는 마스크 조립체(1)의 특정 부분에서 분리된 주파수와 고유주파수를 비교할 수 있다. 예를 들면, 제어부(190)는 마스크 조립체(1)를 복수개의 영역으로 나누어 각 영역에서 마스크 조립체(1)의 변형 여부를 판별할 수 있다. 다른 실시예로써 제어부(190)는 레이저가 한번 조사될 때 라인 상에 마스크 조립체(1)이 변형된 부분을 판별하는 것도 가능하다.
제어부(190)는 레이저감지부(162)에서 감지된 레이저를 푸리에 변환한 후 각 장치의 고유주파수와 비교할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 각 고유주파수와 분리된 주파수가 일차하거나 분리된 주파수 중 각 고유주파수와 주기가 동일한 주파수를 서로 대응시켜 각 장치의 주파수를 판별할 수 있다. 이중 제어부(190)는 분리된 마스크 조립체(1)의 주파수와 기 설정된 마스크 조립체(1)의 고유주파수를 비교하여 마스크 조립체(1)의 변형 여부를 판별할 수 있다. 특히 제어부(190)는 분리된 마스크 조립체(1)의 주파수의 진폭이 기 설정된 마스크 조립체(1)의 고유주파수의 진폭보다 크거나 작은 마스크 조립체(1)의 일부분이 변형된 것으로 판단할 수 있다. 또한, 제어부(190)는 분리된 마스크 조립체(1)의 주파수가 불연속 형태로 판단되는 경우 불연속 부분이 발생하는 마스크 조립체(1)의 일부분이 변형된 것으로 판단할 수 있다.
제어부(190)는 상기와 같이 마스크 조립체(1)의 변형 여부에 근거로 마그넷부(140)의 전자기력을 변화시킬 수 있다. 특히 제어부(190)는 마스크 조립체(1)의 특정 부분(또는 영역)에서 마그넷부(140)의 전자지력을 변화시키는 것이 가능하다. 예를 들면, 제어부(190)는 마그넷부(140)의 전자기력을 초기에 가해진 초기전자기력보다 크게 가변시키거나 작게 가변시킬 수 있다.
마스크 조립체(1)가 변형된 것으로 판단되면, 제어부(190)는 분리된 마스크 조립체(1)의 주파수 중 기 설정된 마스크 조립체(1)의 고유주파수와 상이한 부분의 마그넷부(140)의 전자기력을 변화시킬 수 있다. 즉, 제어부(190)는 분리된 마스크 조립체(1)의 주파수가 기 설정된 마스크 조립체(1)의 고유주파수와 동일해지도록 마그넷부(140)의 전자기력을 변화시킬 수 있다. 이러한 경우 마스크 조립체(1)에 가해지는 외력이 가변함으로써 하중, 외력 등에 의한 마스크 조립체(1)의 변형이 상쇄될 수 있다. 이때, 레이저조사부(161)는 지속적으로 마스크 조립체(1)에 레이저를 조사할 수 있으며, 레이저감지부(162)는 반사된 레이저를 감지할 수 있다. 또한, 제어부(190)는 레이저감지부(162)에서 감지된 레이저를 근거로 상기의 작업을 지속적으로 수행함으로써 분리된 주파수가 기 설정된 고유주파수와 동일해지도록 마그넷부(140)를 제어할 수 있다. 이러한 경우 마그넷부(140)의 자기력의 제어는 분리된 주파수와 고유주파수 사이의 진폭 차이, 분리된 주파수 중 고유주파수의 주기 상에 존재하지 않는 주파수 등에 따라 제어부(190)에 프로그램 또는 데이터 형태로 기 설정된 상태일 수 있다. 또한, 제어부(190)는 분리된 주파수 중 고유주파수의 주기 상에 존재하지 않는 주파수가 나타나도록 마그넷부(140)의 전자기력을 변경하도록 제어하는 것도 가능하다.
다른 실시예로써 제어부(190)는 분리된 주파수와 기 설정된 고유주파수가 동일해지도록 마그넷부(140)의 위치를 가변시키는 것도 가능하다. 이때, 선형구동부(183)는 작동 정도는 분리된 주파수와 기 설정된 고유주파수를 비교하여 분리된 주파수와 기 설정된 고유주파수의 진폭 차이, 분리된 주파수 중 고유주파수의 주기 상에 존재하지 않는 주파수 등에 따라 제어부(190)에 프로그램 또는 데이터 형태로 기 설정된 상태일 수 있다. 또한, 제어부(190)는 분리된 주파수 중 고유주파수의 주기 상에 존재하지 않는 주파수가 나타나도록 마그넷부(140)의 위치를 변경하도록 제어하는 것도 가능하다.
한편, 일반적인 경우 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치한 후 마그넷부를 통하여 전자기력을 가하는 경우 디스플레이 기판의 전면에 대해서 일정한 전자기력을 가할 수 있다. 이러한 경우 디스플레이 기판과 마스크 조립체 자체의 하중, 마스크 시트의 설치 시 인장력으로 인한 마스크 시트의 변형 및 외부의 온도 등의 영향으로 인하여 마스크 조립체의 일부분이 쳐지거나 변형되는 경우가 발생할 수 있다. 이러한 경우 마스크 조립체를 통과하여 디스플레이 기판에 증착되는 증착물질은 균일한 패턴을 형성하지 못할 수 있다. 이렇게 제조된 표시 장치의 경우 해상도가 낮을 수 있으며, 제대로 작동하지 않고 이미지가 왜곡되어 구현되는 문제가 발생할 수 있다.
그러나 상기와 같이 마스크 조립체(1)의 변형 여부를 판별하고 이에 대응하여 마그넷부(140)에서 발생하는 전자기력을 제어함으로써 마스크 조립체(1)의 변형을 최소화하는 것이 가능하다.
상기와 같은 작업은 디스플레이 기판(D)의 전면(全面) 또는 마스크 조립체(1)의 전면에서 수행될 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 소스부(130)에서 증착물질을 공급하여 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 이때, 압력조절부(182)는 챔버(110) 내부의 압력을 거의 진공 상태로 유지시킬 수 있다. 증착물질은 마스크 조립체(1)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 일정한 패턴을 형성하면서 증착될 수 있다.
증착이 완료된 제어부(190)는 챔버(110) 내부의 압력을 대기압 상태와 동일 또는 유사하게 유지하도록 압력조절부(182)를 제어할 수 있다. 이후 디스플레이 기판(D)은 챔버(110)의 외부로 반출되어 다른 공정을 수행함으로써 표시 장치를 제조할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 균일한 패턴을 갖는 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착이 가능하므로 고해상도의 표시 장치 제조가 가능하다.
도 3은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부(미표기)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D), 중간층(28B), 대향 전극(28C) 및 봉지층(미표기)을 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 버퍼층(22), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소 전극(28A) 및 화소 정의막(29)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 봉지층은 기판(21)과 동일 또는 유사한 봉지 기판(미도시) 또는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 봉지층이 상기 봉지 기판을 포함하는 경우 기판(21)과 상기 봉지 기판 사이에는 별도의 실링부재(미도시)가 배치될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 봉지층이 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 발광부(미표기)가 형성될 수 있다. 이때, 상기 발광부는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23C)과 드레인 영역(23A)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23B)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23C) 및 드레인 영역(23A)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27B) 및 드레인 전극(27A)을 각각 소스 영역(23C) 및 드레인 영역(23A)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28A)이 형성된다. 이 화소 전극(28A)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27A)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28A)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28A) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소 정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28A)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28A) 상에 중간층(28B) 및 대향 전극(28C)이 형성된다.
화소 전극(28A)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28C)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28A)과 대향 전극(28C)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28A)과 대향 전극(28C)은 상기 중간층(28B)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28B)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28B)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28B)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28B)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
이때, 상기와 같은 중간층(28B)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 정밀한 패턴을 형성하는 중간층(28B)을 구비하고, 중간층(28B)이 정확한 위치에 증착되어 형성됨으로써 정밀한 이미지 구현이 가능하다. 또한, 표시 장치(20)는 반복적으로 중간층(28B)을 증착하더라도 일정한 패턴을 형성함으로써 지속적인 생산에 따라 균일한 품질을 나타낸다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 마스크 조립체
10: 마스크 시트
20: 표시 장치
30: 마스크 프레임
40: 지지프레임
100: 표시 장치의 제조장치
110: 챔버
120: 기판지지부
130: 소스부
140: 마그넷부
150: 쿨링플레이트
161: 레이저조사부
162: 레이저감지부
170: 비젼부
181: 마스크 안착부
182: 압력조절부
183: 선형구동부
190: 제어부

Claims (19)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되는 마스크 조립체;
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되며, 상기 마스크 조립체로 증착물질을 분사하여 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 소스부;
    상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 마스크 조립체에 전자기력을 가하여 상기 마스크 조립체를 상기 디스플레이 기판 측으로 밀착시키는 마그넷부;
    상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 디스플레이 기판, 상기 마스크 조립체 및 상기 마그넷부에 레이저를 조사하는 레이저조사부; 및
    상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 디스플레이 기판, 상기 마스크 조립체 및 상기 마그넷부로부터 반사된 레이저를 감지하는 레이저감지부;를 포함하고,
    상기 마그넷부는 상기 레이저감지부에서 감지된 결과를 근거로 판별된 상기 마스크 조립체의 변형에 따라 상기 마스크 조립체에 가해지는 전자기력을 조절하는 표시 장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마그넷부는 상기 레이저감지부에서 감지된 결과를 근거로 상기 마스크 조립체에 가해지는 전자기력 중 일부만을 조절하는 표시 장치의 제조장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 마그넷부와 상기 디스플레이 기판 사이에 배치되는 쿨링플레이트;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 레이저조사부는 상기 쿨링플레이트에 레어저를 조사하고,
    상기 레이저감지부는 상기 쿨링플레이트로부터 반사되는 레이저를 감지하는 표시 장치의 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저감지부에서 감지된 레이저를 근거로 상기 마스크 조립체, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마그넷부에 대응되는 주파수를 분리하는 제어부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 마스크 조립체에 대응되는 주파수를 통하여 상기 마스크 조립체의 변형 여부를 판별하는 표시 장치의 제조장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 마스크 조립체의 변형 여부에 따라 상기 마그넷부의 전자기력을 제어하는 표시 장치의 제조장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 레이저감지부에서 감지된 레이저를 푸리에 변환(Fourier transform)하여 상기 마스크 조립체, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마그넷부에 대응되는 주파수를 분리하는 표시 장치의 제조장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 마스크 조립체의 변형 여부에 따라 상기 마그넷부의 위치를 조절하는 표시 장치의 제조장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임 상에 배치되어 서로 연결되는 복수개의 마스크 시트;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  11. 마스크 조립체가 배치된 챔버 내부로 디스플레이 기판을 삽입하는 단계;
    마그넷부, 쿨링플레이트를 선형 운동시켜 상기 디스플레이 기판에 근접시키고, 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계;
    레이저조사부로 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체에 레이저를 조사하는 단계;
    상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 마스크 조립체로부터 반사된 레이저를 감지하여 감지된 레이저를 근거로 상기 마스크 조립체의 변형 여부를 판별하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체의 변형 여부에 따라 상기 마그넷부의 전자기력을 제어하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    감지된 레이저를 근거로 상기 마스크 조립체, 상기 디스플레이 기판, 상기 마그넷부 및 상기 쿨링플레이트에 대응되는 주파수를 분리하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 주파수의 분리는 감지된 레이저를 푸리에 변환하여 분리하는 표시 장치의 제조방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체에 대응되는 주파수가 상기 마스크 조립체의 고유주파수와 상이하면 상기 마스크 조립체가 변형된 것으로 판단하는 표시 장치의 제조방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 마그넷부 및 상기 쿨링플레이트가 선형 운동하여 상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 밀착시키는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 마그넷부의 전자기력은 상기 마스크 조립체에서 변형된 부분만 제어되는 표시 장치의 제조방법.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임 상에 배치되어 서로 연결되는 복수개의 마스크 시트;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체를 얼라인하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  19. 마스크 조립체가 배치된 챔버 내부로 디스플레이 기판을 삽입하는 단계;
    마그넷부, 쿨링플레이트를 선형 운동시켜 상기 디스플레이 기판에 근접시키고, 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계;
    레이저조사부로 상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 디스플레이 기판 및 상기 마스크 조립체에 레이저를 조사하는 단계;
    상기 마그넷부, 상기 쿨링플레이트, 상기 마스크 조립체로부터 반사된 레이저를 감지하여 감지된 레이저를 근거로 상기 마스크 조립체의 변형 여부를 판별하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체의 변형 여부에 따라 상기 마그넷부의 위치를 제어하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
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