KR102575483B1 - 표시 장치의 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표시 장치의 제조장치를 개시한다. 본 발명은, 스테이지와, 상기 스테이지의 상면에 배치되는 헤드지지부와, 상기 헤드지지부에 선형 운동 가능하도록 연결되는 헤드바디부와, 상기 헤드바디부에 설치되는 제1 헤드부와, 상기 제1 헤드부와 인접하도록 상기 헤드바디부에 설치되는 제2 헤드부와, 상기 헤드바디부에 설치되며, 상기 제1 헤드부와 연결되어 상기 제1 헤드부를 회전 및 상기 제1 헤드부를 선형 운동시키는 제1 위치조절부와, 상기 헤드바디부에 설치되며, 상기 제2 헤드부와 연결되어 상기 제2 헤드부를 회전시키는 제2 위치조절부를 포함한다.

Description

표시 장치의 제조장치{Apparatus for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
일반적으로 표시 장치를 제조시 사용되는 잉크젯 프린팅 장치는 헤드부가 고정되도록 형성됨으로써 헤드부에서 토출되는 액적의 경로를 바꾸는 것이 불가능하고 액적의 토출 후 부재에 형성되는 액적이 설계값과 상이한 곳에 형성되는 경우가 발생하는 문제가 있어 본 발명의 실시예들은 헤드부의 위치 얼라인이 가능한 표시 장치의 제조장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 스테이지와, 상기 스테이지의 상면에 배치되는 헤드지지부와, 상기 헤드지지부에 선형 운동 가능하도록 연결되는 헤드바디부와, 상기 헤드바디부에 설치되는 제1 헤드부와, 상기 제1 헤드부와 인접하도록 상기 헤드바디부에 설치되는 제2 헤드부와, 상기 헤드바디부에 설치되며, 상기 제1 헤드부와 연결되어 상기 제1 헤드부를 회전 및 상기 제1 헤드부를 선형 운동시키는 제1 위치조절부와, 상기 헤드바디부에 설치되며, 상기 제2 헤드부와 연결되어 상기 제2 헤드부를 회전시키는 제2 위치조절부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 스테이지로부터 이격되어 배치되어 상기 제1 헤드부의 토출홀 및 상기 제2 헤드부의 토출홀을 촬영하는 제1 촬상부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 촬상부로부터 촬영된 이미지를 근거로 상기 제1 헤드부 및 상기 제2 헤드부 중 적어도 하나를 얼라인하도록 상기 제1 위치조절부와 상기 제2 위치조절부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 기 설정된 상기 제1 헤드부의 설정위치와 상기 제1 촬상부로부터 획득한 이미지를 근거로 산출된 상기 제1 헤드부의 실제위치가 일치하도록 상기 제1 위치조절부를 제어할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 제1 헤드부의 위치를 근거로 상기 제2 헤드부의 위치를 조절하도록 상기 제2 위치조절부를 제어할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 헤드바디부에 설치되어 상기 제1 헤드부 및 상기 제2 헤드부에서 부재에 토출된 액적을 촬영하는 제2 촬상부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 촬상부에서 촬영된 이미지를 근거로 상기 제1 헤드부 및 상기 제2 헤드부 중 적어도 하나를 얼라인하도록 상기 제1 위치조절부 및 상기 제2 위치조절부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 기 설정된 상기 제1 헤드부의 설정위치와 상기 제2 촬상부로부터 획득한 이미지를 근거로 산출된 상기 제1 헤드부의 실제위치가 일치하도록 상기 제1 위치조절부를 제어할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 제1 헤드부의 위치를 근거로 상기 제2 헤드부의 위치를 조절하도록 상기 제2 위치조절부를 제어할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 제1 헤드부와 제2 헤드부를 정밀 얼라인하는 것이 가능하므로 도포물질을 디스플레이 기판에 균일하게 도포하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명의 실시예들은 제1 헤드부와 제2 헤드부를 공정 중에 얼라인하는 것이 가능하므로 제1 헤드부 및 제2 헤드부의 설계 오차, 설치 오차 등으로 인한 오류를 보정하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 헤드부, 제1 위치조절부, 제2 헤드부 및 제2 위치조절부를 보여주는 저면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 제1 헤드부와 제2 헤드부의 위치관계를 파악하기 위한 저면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 제1 헤드부 및 제2 헤드부에서 디스플레이 기판으로 토출된 액적을 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 정면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 제1 헤드부, 제1 위치조절부, 제2 헤드부 및 제2 위치조절부를 보여주는 저면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 제1 헤드부와 제2 헤드부의 위치관계를 파악하기 위한 저면도이다. 도 5는 도 1에 도시된 제1 헤드부 및 제2 헤드부에서 디스플레이 기판으로 토출된 액적을 보여주는 평면도이다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 스테이지(120), 기판이송부(130), 헤드지지부(150), 헤드바디부(141), 제1 헤드부(142), 제2 헤드부(143), 제1 위치조절부(161), 제2 위치조절부(162), 제1 촬상부(163), 제2 촬상부(165) 및 제어부(190)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 구비될 수 있으며, 일부가 개구되도록 형성될 수 있다. 개구된 챔버(110) 부분에는 게이트밸브(110A)가 설치되어 챔버(110)의 개구된 부분을 선택적으로 개폐할 수 있다.
스테이지(120)는 챔버(110)를 가로지르도록 설치될 수 있다. 이때, 스테이지(120)는 부재(미도시)로 기체를 분사하면서 상기 부재와 스테이지(120) 사이의 기체를 흡입함으로써 디스플레이 기판(P)을 부양시킬 수 있다. 이때, 상기 부재는 유기 발광 디스플레이 장치에 사용되는 필름, 기판, 디스플레이 기판(P)을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 부재가 디스플레이 기판(P)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 있다. 또한, 디스플레이 기판(P)은 하기에서 설명한 표시 장치의 일부일 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판(P)에 중간층, 또는 박막 봉지층 중 유기층을 형성할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판(P)에 박막 봉지층 중 유기층을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판이송부(130)는 스테이지(120)의 측면에 각각 설치될 수 있다. 기판이송부(130)는 디스플레이 기판(P)를 지지하는 기판지지부(131) 및 기판지지부(131)와 연결되어 기판지지부(131)를 구동시키는 구동부(132)를 포함할 수 있다.
기판지지부(131)는 디스플레이 기판(P)을 파지하거나 디스플레이 기판(P)이 안착하여 디스플레이 기판(P)을 고정시킬 수 있다. 이때, 기판지지부(131)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판지지부(131)는 점착척, 정전척 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써, 기판지지부(131)는 홀이 형성되고, 홀을 통하여 기체를 흡입함으로써 디스플레이 기판(P)의 일부를 흡착하는 구조도 가능하다. 또 다른 실시예로써 기판지지부(131)는 클램프 형태로 형성되어 디스플레이 기판(P)의 일부를 파지하는 것도 가능하다. 이때, 기판지지부(131)는 상기에 한정되는 것은 아니며 디스플레이 기판(P)을 지지하는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
구동부(132)는 기판지지부(131)와 연결되어 기판지지부(131)를 스테이지(120)의 길이 방향으로 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 구동부(132)는 기판지지부(131)와 연결되는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 구동부(132)는 기판지지부(131)와 연결되는 볼스크류와, 볼스크류와 연결되는 모터를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로써 구동부(132)는 기판지지부(131)와 연결되어 기판지지부(131)를 선형운동시키는 실린더와, 기판지지부(131)와 연결되어 기판지지부(131)의 선형 운동을 가이드하는 가이드를 포함할 수 있다. 상기와 같은 구동부(132)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 기판지지부(131)와 연결되어 기판지지부(131)를 선형 운동시킬 수 있는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
헤드지지부(150)는 스테이지(120)로부터 이격되도록 설치될 수 있다. 이때, 헤드지지부(150)는 챔버(110) 내부의 별도의 구조물에 고정되도록 설치될 수 있다. 또한, 헤드지지부(150)의 일부는 스테이지(120)의 측면에 배치될 수 있으며, 헤드지지부(150)의 다른 일부는 헤드지지부(150)의 일부로부터 절곡되어 스테이지(120)의 상면에 배치될 수 있다.
헤드바디부(141)는 헤드지지부(150)와 선형 운동 가능하도록 연결될 수 있다. 이때, 헤드지지부(150)와 헤드바디부(141) 중 적어도 하나에는 헤드바디부(141)를 선형 운동시키는 선형구동부(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 선형구동부는 상기에서 설명한 구동부(132)와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있으므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143)는 헤드바디부(141)에 안착될 수 있다. 이때, 제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143)는 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. 구체적으로 제1 헤드부(142)의 끝단은 제2 헤드부(143)의 끝단과 서로 상이한 위치에 있을 수 있다. 상기와 같은 제1 헤드부(142)와 제1 헤드부(142)는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 헤드부(142)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 헤드부(142)는 적어도 한 개 이상의 제1 헤드(142a)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 헤드(142a)는 도포물질이 저장되도록 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 하면에는 내부의 공간과 연통되도록 제1 토출홀(142b)이 형성될 수 있다. 제1 헤드(142a)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 제1 헤드(142a)는 서로 일렬로 배열될 수 있다.
제1 헤드부(142)는 제1 헤드(142a)와 연결되며, 도포물질을 일시적으로 저장한 후 제1 헤드(142a)에 공급하는 제1 저장부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 저장부는 하나의 제1 헤드(142a)와 연결되거나 복수개의 제1 헤드(142a)와 연결될 수 있다.
제1 위치조절부(161)는 헤드바디부(141)에 설치되어 제1 헤드부(142)와 연결될 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(161)는 제1 헤드부(142)의 선형 운동 및 제1 헤드부(142)의 회전 운동 중 적어도 하나의 운동을 구현할 수 있다. 구체적으로 제1 위치조절부(161)는 제1 헤드부(142)와 연결되어 제1 헤드부(142)를 회전 운동시키는 제1 헤드회전구동부(161a) 및 제1 헤드부(142)와 연결되어 제1 헤드부(142)를 선형 운동시키는 제1 헤드선형구동부(161b)를 포함할 수 있다.
제1 헤드회전구동부(161a)는 스테이지(120)의 상면과 평행한 평면 상에서 제1 헤드부(142)를 회전시킬 수 있다. 이때, 제1 헤드회전구동부(161a)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 헤드회전구동부(161a)는 제1 헤드부(142)와 연결되는 모터를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 헤드회전구동부(161a)는 제1 헤드부(142)와 연결되는 제1 기어유닛(161a-1)과 제1 기어유닛(161a-1)과 연결되는 제1 회전모터(161a-2)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 기어유닛(161a-1)은 베벨기어 형태로 형성될 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 헤드회전구동부(161a)는 제1 헤드부(142)와 연결되며, 헤드바디부(141)에 회전 가능하도록 설치되는 링크와, 상기 링크의 끝단에 연결되는 실린더를 포함하는 것도 가능하다. 이때, 제1 헤드회전구동부(161a)는 상기에 한정되는 것은 아니며 제1 헤드부(142)와 연결되어 제1 헤드부(142)를 회전시키는 운동을 구현하는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 헤드회전구동부(161a)는 제1 기어유닛(161a-1)과 제1 회전모터(161a-2)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 헤드선형구동부(161b)는 제1 헤드부(142)를 일 방향으로 선형 운동시킬 수 있다. 특히 제1 헤드선형구동부(161b)는 서로 인접하는 제1 헤드부(142)의 일변 및 제2 헤드부(143)의 일변과 평행한 방향으로 제1 헤드부(142)를 이동시킬 수 있다. 이때, 제1 헤드선형구동부(161b)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 헤드선형구동부(161b)는 제1 헤드부(142)와 연결되는 제1 실린더(미표기)를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 헤드선형구동부(161b)는 제1 헤드부(142)와 연결되는 제1 선형기어유닛 및 제1 선형기어유닛과 연결되는 제1 선형모터를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 선형기어유닛은 랙기어 및 랙기어와 연결되는 스퍼기어를 포함할 수 있다. 상기와 같은 제1 헤드선형구동부(161b)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 제1 헤드부(142)와 연결되어 제1 헤드부(142)를 선형 운동시키는 모든 구조 및 모든 장치를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 헤드선형구동부(161b)가 제1 실런더(미표기)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1 헤드선형구동부(161b)는 제1 헤드부(142)와 직접 연결되거나 제1 헤드회전구동부(161a)를 매개로 제1 헤드부(142)와 연결될 수 있다. 이때, 제1 헤드선형구동부(161b)가 제1 헤드부(142)와 직접 연결되는 경우 제1 헤드회전구동부(161a)는 제1 헤드부(142)와 함께 선형 운동할 수 있다. 또한, 제1 헤드선형구동부(161b)와 제1 헤드회전구동부(161a)가 연결되는 경우 제1 헤드회전구동부(161a)는 제1 헤드선형구동부(161b)의 작동에 따라 제1 헤드부(142)와 함께 선형 운동할 수 있다.
상기와 같은 제1 헤드선형구동부(161b)는 복수개 구비되는 것도 가능하다. 이때, 복수개의 제1 헤드선형구동부(161b)는 서로 직교하도록 제1 헤드부(142)에 연결될 수 있다. 특히 복수개의 제1 헤드선형구동부(161b)는 제1 헤드부(142)를 일 방향과 일 방향과 수직한 다른 방향으로 이동시킬 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 헤드선형구동부(161b)는 하나가 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2 위치조절부(162)는 제2 헤드부(143)와 연결되어 제2 헤드부(143)를 회전 운동시킬 수 있다. 이때, 제2 위치조절부(162)는 제1 헤드회전구동부(161a)와 동일 또는 유사하게 형성되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 제2 헤드부(143)는 제1 헤드부(142)가 배치되는 평면 상에서 제1 헤드부(142)와 동일 또는 유사하게 회전할 수 있다.
제2 위치조절부(162)는 제1 위치조절부(161)와 유사하게 제2 헤드회전구동부(미표기) 및 제2 헤드선형구동부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 헤드선형구동부는 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 상기 제2 헤드회전구동부 및 상기 제2 헤드선형구동부는 상기에서 설명한 제1 헤드회전구동부(161a) 및 제1 헤드선형구동부(161b)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 위치조절부(162)는 상기 제2 헤드회전구동부만 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 촬상부(163)는 스테이지(120)의 측면에 배치될 수 있다. 이때, 제1 촬상부(163)는 제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143)의 토출홀을 촬영하는 CCD 카메라를 포함할 수 있다. 또한, 제1 촬상부(163)는 단수개 구비될 수 있으며, 복수개 구비되는 것도 가능하다. 일 실시예로써 하나의 제1 촬상부(163)가 구비되는 경우 제1 촬상부(163)는 선형 운동할 수 있다. 이때, 제1 촬상부(163)는 제1 헤드부(142)의 길이 방향 및 폭 방향 중 적어도 하나의 방향으로 선형 운동할 수 있다. 이러한 경우 제1 촬상부(163)는 제1 촬상선형구동부(164)에 설치될 수 있다. 제1 촬상선형구동부(164)는 상기에서 설명한 제1 헤드선형구동부(161b)와 동일 또는 유사하게 구성될 수 있으므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명은 생략하기로 한다.
다른 실시예로써 하나의 제1 촬상부(163)가 구비되는 경우 제1 촬상부(163)는 고정되도록 배치되며, 헤드바디부(141)가 헤드지지부(150)를 선형 운동함으로써 제1 촬상부(163)가 제1 헤드부(142)의 토출홀을 촬영할 수 있다.
또 다른 실시예로써 제1 촬상부(163)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 제1 촬상부(163)는 서로 이격되도록 배치되어 제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143) 중 적어도 하나의 복수개의 토출홀을 각각 촬영할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)의 위치 얼라인을 위하여 수행하는 방법은 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 촬상부(163)는 하나만 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 또한, 이하에서는 제1 촬상선형구동부(164)가 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2 촬상부(165)는 헤드바디부(141)에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 제2 촬상부(165)는 제1 헤드부(142)에서 토출되어 디스플레이 기판(P)에 도포된 도포물질의 액적 및 제2 헤드부(143)에서 토출되어 디스플레이 기판(P)에 도포된 도물질의 액적을 촬영할 수 있다. 이러한 경우 제2 촬상부(165)는 헤드바디부(141)와 함께 헤드지지부(150)를 선형 운동할 수 있다. 또한, 제2 촬상부(165)는 제1 촬상부(163)와 동일 또는 유사하게 CCD 카메라를 포함할 수 있다.
제어부(190)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 일 실시예로써 제어부(190)는 회로 기판 형태로 형성되어 챔버(110)에 설치될 수 있다. 다른 실시예로써 제어부(190)는 퍼스널 컴퓨터, 노트북 등을 포함하여 챔버(110) 외부에 설치되어 다른 구성요소와 유선 또는 무선으로 연결될 수 있다. 또 다른 실시예로써 제어부(190)는 PDA, 휴대폰 등과 같은 휴대용 단말기를 포함하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제어부(190)가 회로 기판 형태로 형성되어 챔버(110)에 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)의 작동을 살펴보면, 게이트밸브(110A)가 챔버(110)의 개구된 부분을 개방하면 챔버(110)의 외부 또는 내부에 배치된 로봇암, 셔틀 등을 통하여 디스플레이 기판(P)을 챔버(110) 내부로 장입시킬 수 있다.
이후 디스플레이 기판(P)은 기판지지부(131)에 배치될 수 있다. 이때, 제어부(190)는 스테이지(120)를 통하여 디스플레이 기판(P)을 부양시킬 수 있다. 이러한 경우 제어부(190)는 스테이지(120)로 기체를 공급하면서 일부 기체를 흡입하도록 스테이지(120)와 연결된 스테이지압력조절부(170)를 제어할 수 있다.
상기와 같이 디스플레이 기판(P)이 부양되는 경우 제어부(190)는 기판지지부(131)를 이동시켜 디스플레이 기판(P)을 헤드지지부(150)의 하측에 배치시키도록 구동부(132)를 제어할 수 있다.
상기와 같이 디스플레이 기판(P)이 헤드지지부(150)의 하측에 배치되는 경우 또는 디스플레이 기판(P)이 헤드지지부(150)의 하측으로 이동하는 동안, 디스플레이 기판(P)이 챔버(110)로 장입되는 경우 등에 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)의 위치를 얼라인할 수 있다.
예를 들면, 일 실시예로써 제1 촬상부(163)가 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)를 촬영할 수 있다. 이때, 제1 촬상부(163)는 제1 헤드부(142)의 제1 토출홀(142b)의 위치를 촬영할 수 있다. 또한, 제어부(190)는 제1 촬상부(163)를 선형 운동시키도록 제1 촬상선형구동부(164)를 제어한 후 제1 촬상부(163)는 제1 토출홀(142b)으로부터 이격되도록 배치된 제1 헤드부(142)의 제2 토출홀(142c)을 촬영할 수 있다. 상기와 같은 경우 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)은 제1 헤드부(142)의 길이 방향 또는 폭 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)은 일진선을 형성할 수 있다. 특히 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)은 제1 헤드부(142)의 복수개의 토출홀 중 하나의 열 또는 하나의 행을 형성하는 토출홀 중에서 선택될 수 있다.
제1 촬상부(163)는 촬영된 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)의 이미지를 제어부(190)로 전송할 수 있으며, 제어부(190)는 상기의 이미지를 근거로 제1 헤드부(142)의 실제 위치를 산출할 수 있다.
구체적으로 표시 장치의 제조장치(100)의 제조 시 또는 설치 시 등의 경우 제어부(190)에는 제1 헤드부(142)가 위치하여야 하는 가상의 제1 설정위치가 결정될 수 있다. 특히 상기 제1 설정위치는 제1 촬상부(163)에서 촬영된 영상에서 특정범위 또는 특정 위치에 해당하는 부분으로 설정될 수 있다.
제1 촬상부(163)에서 촬영이 완료되면, 제어부(190)는 제1 촬상부(163)에서 획득한 이미지를 근거로 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)이 기 설정된 제1 설정위치로부터 어느 정도 이격되었는지 계산할 수 있다. 상기와 같이 계산된 값은 제1 토출홀(142b)이 기 설정된 제1 설정위치로부터 벗어난 값과 제2 토출홀(142c)이 기 설정된 설정위치로부터 벗어난 값을 서로 더하여 산출될 수 있다. 다른 실시예로써 상기와 같이 계산된 값은 제1 토출홀(142b)이 기 설정된 제1 설정위치로부터 벗어난 값과 제2 토출홀(142c)이 기 설정된 설정위치로부터 벗어난 값을 서로 더한 후 2로 나누어 산출되는 것도 가능하다. 이때, 제1 설정위치와 일 방향(예를 들면, +X방향 또는 +Y방향)으로 이격된 값을 양의 값으로 하는 경우 일 방향과 반대 방향으로 제1 설정위치와 이격된 값은 음의 값으로 설정하여 상기와 같이 계산할 수 있다.
제어부(190)는 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)의 위치로부터 제1 헤드부(142)가 상기 제1 설정위치로부터 틀어진 각도를 산출할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 설정위치의 기준좌표를 근거로 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)의 좌표를 산출한 후 좌표값을 근거로 제1 헤드부(142)의 틀어진 각도를 산출할 수 있다. 다른 실시예로써 상기 제1 설정위치에서 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)과 대응되는 위치를 서로 연결한 선분과 실제 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)을 연결한 선분 사이의 각도를 비교하여 제1 헤드부(142)의 틀어진 각도를 산출하는 것도 가능하다.
상기와 같이 제1 헤드부(142)의 실제위치가 산출되면, 제어부(190)는 제1 헤드부(142)의 실제위치가 상기 제1 설정위치와 동일해지도록 제1 헤드회전구동부(161a) 및 제1 헤드선형구동부(161b)를 제어하여 제1 헤드부(142)를 선형 운동시키거나 회전 운동시킬 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 제어부(190)는 제1 촬상부(163)로 제2 헤드부(143)의 제3 토출홀(143b)과 제4 토출홀(143c)을 촬영하도록 제1 촬상부(163)를 제어할 수 있다. 이때, 제1 촬상부(163)를 통하여 제2 헤드부(143)를 촬영하는 방법은 상기에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 촬상부(163)는 제3 토출홀(143b)과 제4 토출홀(143c)을 촬영할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 제1 촬상부(163)에서 촬영한 이미지를 근거로 제2 헤드부(143)의 위치를 얼라인할 수 있다. 구체적으로 제어부(190)는 촬영된 제3 토출홀(143b)과 제4 토출홀(143c)을 기 설정된 제1 설정위치와 비교할 수 있다. 다른 실시예로써 제어부(190)는 제3 토출홀(143b)과 제4 토출홀(143c)을 얼라인이 완료된 제1 토출홀(142b)과 제2 토출홀(142c)의 위치와 비교할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제어부(190)는 제3 토출홀(143b)과 제4 토출홀(143c)을 기 설정된 제1 설정위치와 비교하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제어부(190)는 제3 토출홀(143b)과 제4 토출홀(143c)의 위치와 상기 제1 설정위치를 비교하여 제2 헤드부(143)의 틀어진 각도를 산출할 수 있다. 이때, 제2 헤드부(143)의 틀어진 각도를 산출하는 방법은 상기에서 설명한 제1 헤드부(142)의 틀어진 각도를 산출하는 방법과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
다른 실시예로써 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)의 위치 얼라인하는 방법은 제2 촬상부(165)로부터 촬영된 이미지를 근거로 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)의 위치를 얼라인하는 방법일 수 있다.
구체적으로 제어부(190)는 제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143)에서 디스플레이 기판(P)에 도포물질을 공급하여 액적을 만들도록 할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 제1 헤드부(142)에서 디스플레이 기판(P)에 도포물질을 공급하여 형성된 복수개의 액적 및 제2 헤드부(143)에서 디스플레이 기판(P)에 도포물질을 공급하여 형성된 복수개의 액적을 제2 촬상부(165)로 촬영하도록 제2 촬상부(165)를 제어할 수 있다.
제어부(190)는 제2 촬상부(165)에서 촬영된 이미지를 근거로 제1 헤드부(142)의 실제위치 및 제2 헤드부(143)의 실제위치를 산출할 수 있다. 예를 들면, 제어부(190)는 제2 촬상부(165)에서 촬영된 이미지 중 제1 헤드부(142)에 의해 형성된 복수개의 액적 중 임의의 2개의 액적을 통하여 제1 헤드부(142)의 실제위치를 산출할 수 있다. 특히 제어부(190)는 기 설정된 액적의 제2 설정위치와 제2 촬상부(165)에서 촬영된 제1 헤드부(142)에 의해 형성된 복수개의 액적 중 임의의 2개의 액적을 비교하여 제1 헤드부(142)의 실제위치를 산출할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 기판(미도시)의 얼라인마크 등을 기준으로 기준좌표를 설정할 수 있으며, 상기 기준좌표를 기준으로 제1 헤드부(142)에 의해 형성된 복수개의 액적 중 임의의 2개의 액적의 좌표를 산출할 수 있다. 제어부(190)는 상기와 같이 산출된 제1 헤드부(142)에 의해 형성된 복수개의 액적 중 임의의 2개의 액적의 좌표와 상기 제2 설정위치의 좌표를 비교하여 상기 제2 설정위치로부터 제1 헤드부(142)가 일방향으로 얼마나 멀어져 있는지 어느 정도 틀어져 있는지 산출할 수 있다. 이때, 산출하는 방법은 상기에서 설명한 제1 토출홀(142b) 및 제2 토출홀(142c)과 상기 제1 설정위치를 비교하여 제1 헤드부(142)의 실제위치를 산출하는 방법과 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제어부(190)는 제2 촬상부(165)에서 촬영된 이미지 중 제2 헤드부(143)에 의해 형성된 복수개의 액적 중 임의의 2개의 액적을 선택하여 제2 헤드부(143)의 위치도 상기와 동일 또는 유사한 방법으로 산출할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 서로 인접하는 제1 헤드부(142)에 의해 형성된 복수개의 액적 중 하나와 제2 헤드부(143)에 의해 형성된 복수개의 액적 중 하나 사이의 거리를 통하여 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)가 얼마나 이격되었는지 산출하는 것도 가능하다.
제어부(190)는 상기와 같이 산출된 값을 근거로 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)의 위치를 얼라인할 수 있다. 구체적으로 제어부(190)는 제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143)의 위치가 제1 설정위치에 대응되도록 제1 위치조절부(161) 및 제2 위치조절부(162)를 제어할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 헤드부(142)에서 토출되는 액적 및 제2 헤드부(143)에서 토출되는 액적이 제2 설정위치에 형성되도록 제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143)의 위치를 조절하는 것도 가능하다.
상기와 같이 액적을 근거로 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)의 위치를 얼라인하는 방법은 반복하여 수행될 수 있다. 구체적으로 디스플레이 기판(P)에 한번 액적을 형성한 후 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)의 위치를 얼라인하고, 다시 디스플레이 기판(P)에 액적을 형성한 후 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)의 위치를 얼라인할 수 있다.
상기와 같이 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143) 위치 얼라인이 완료되면, 제어부(190)는 제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143)를 선형 운동시키면서 디스플레이 기판(P)에 도포물질을 도포시킬 수 있다. 또한, 제어부(190)는 디스플레이 기판(P)을 선형 운동시키면서 도포물질을 도포하도록 구동부(132)를 제어할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 디스플레이 기판(P)에 도포된 도포물질을 고르게 편 후 UV 또는 열에너지 등을 통하여 굳힐 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)를 정밀 얼라인하는 것이 가능하므로 도포물질을 디스플레이 기판(P)에 균일하게 도포하는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(100)는 제1 헤드부(142)와 제2 헤드부(143)를 공정 중에 얼라인하는 것이 가능하므로 제1 헤드부(142) 및 제2 헤드부(143)의 설계 오차, 설치 오차 등으로 인한 오류를 보정하는 것이 가능하다.
도 6은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 7은 도 6의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 취한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상의 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 표시부(미표기)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 기판(21), 상기 표시부 및 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(P)는 기판(21), 상기 표시부 및 박막 봉지층(E)의 일부를 포함할 수 있다.
기판(21) 상에 다양한 층이 적층되어 형성될 수 있다. 이때, 기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 표시부(D)가 형성될 수 있다. 이때, 표시부(D)는 박막 트랜지스터(TFT)가 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23a)과 드레인 영역(23b)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23b)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23b)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27a) 및 드레인 전극(27b)을 각각 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23b)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28a)이 형성된다. 이 화소 전극(28a)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27b)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28a)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28a) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소 정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28a)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28a) 상에 중간층(28b) 및 대향 전극(28c)이 형성된다.
화소 전극(28a)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28c)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)은 상기 중간층(28b)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28b)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28b)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28b)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28b)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기막들을 포함하거나, 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기막은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기막은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기막은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기막은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기막으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기막 사이에 적어도 하나의 유기막이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기막 사이에 적어도 하나의 무기막이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기막 사이에 적어도 하나의 유기막이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기막 사이에 적어도 하나의 무기막이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기막, 제1 유기막, 제2 무기막을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기막, 제1 유기막, 제2 무기막, 제2 유기막, 제3 무기막을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기막, 제1 유기막, 제2 무기막, 상기 제2 유기막, 제3 무기막, 제3 유기막, 제4 무기막을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기막 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기막을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기막은 제2 무기막 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기막도 제3 무기막 보다 면적이 좁을 수 있다.
상기와 같은 유기막을 형성하는 경우 도 1 내지 도 4에서 설명한 표시 장치의 제조장치를 사용할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(P)는 기판(21), 상기 표시부 및 박막 봉지층(E) 중 무기막을 포함할 수 있다. 또한, 경우에 따라서 디스플레이 기판(P)는 기판(21), 상기 표시부 및 박막 봉지층(E) 중 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 이러한 경우 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 표시 장치의 제조장치를 통하여 형성되는 유기막은 디스플레이 기판(P)의 최상층인 무기막 상에 배치될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
20: 표시 장치
100: 표시 장치의 제조장치
110: 챔버
120: 스테이지
130: 기판이송부
141: 헤드바디부
142: 제1 헤드부
143: 제2 헤드부
150: 헤드지지부
161: 제1 위치조절부
162: 제2 위치조절부
163: 제1 촬상부
164: 제1 촬상선형구동부
165: 제2 촬상부
170: 스테이지압력조절부
190: 제어부

Claims (9)

  1. 스테이지;
    상기 스테이지의 상면에 배치되는 헤드지지부;
    상기 헤드지지부에 선형 운동 가능하도록 연결되는 헤드바디부;
    상기 헤드바디부에 배치되는 제1 헤드부;
    상기 제1 헤드부와 인접하도록 상기 헤드바디부에 설치되는 제2 헤드부;
    상기 헤드바디부에 배치되며, 상기 제1 헤드부와 연결되어 상기 제1 헤드부를 회전 및 상기 제1 헤드부를 선형 운동시키는 제1 위치조절부; 및
    상기 헤드바디부에 배치되며, 상기 제2 헤드부와 연결되어 상기 제2 헤드부를 회전시키는 제2 위치조절부;를 포함하고,
    상기 제1 위치조절부와 상기 제2 위치조절부는 상기 헤드바디부의 선형 운동 시 상기 헤드바디부와 함께 선형 운동하는 표시 장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지로부터 이격되어 배치되어 상기 제1 헤드부의 토출홀 및 상기 제2 헤드부의 토출홀을 촬영하는 제1 촬상부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 촬상부로부터 촬영된 이미지를 근거로 상기 제1 헤드부 및 상기 제2 헤드부 중 적어도 하나를 얼라인하도록 상기 제1 위치조절부와 상기 제2 위치조절부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어부는 기 설정된 상기 제1 헤드부의 설정위치와 상기 제1 촬상부로부터 획득한 이미지를 근거로 산출된 상기 제1 헤드부의 실제위치가 일치하도록 상기 제1 위치조절부를 제어하는 표시장치의 제조장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 제1 헤드부의 위치를 근거로 상기 제2 헤드부의 위치를 조절하도록 상기 제2 위치조절부를 제어하는 표시장치의 제조장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 헤드바디부에 설치되어 상기 제1 헤드부 및 상기 제2 헤드부에서 부재에 토출된 액적을 촬영하는 제2 촬상부;를 더 포함하는 표시장치의 제조장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제2 촬상부에서 촬영된 이미지를 근거로 상기 제1 헤드부 및 상기 제2 헤드부 중 적어도 하나를 얼라인하도록 상기 제1 위치조절부 및 상기 제2 위치조절부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제어부는 기 설정된 상기 제1 헤드부의 설정위치와 상기 제2 촬상부로부터 획득한 이미지를 근거로 산출된 상기 제1 헤드부의 실제위치가 일치하도록 상기 제1 위치조절부를 제어하는 표시장치의 제조장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 제1 헤드부의 위치를 근거로 상기 제2 헤드부의 위치를 조절하도록 상기 제2 위치조절부를 제어하는 표시장치의 제조장치.
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