KR102354385B1

KR102354385B1 - 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 장치

Info

Publication number: KR102354385B1
Application number: KR1020150053137A
Authority: KR
Inventors: 한정원
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2015-04-15
Filing date: 2015-04-15
Publication date: 2022-01-24
Also published as: KR20160123435A

Abstract

본 발명은 마스크 조립체 및 증착 장치를 개시한다. 본 발명은, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 길이 방향으로 인장된 상태로 설치되는 복수개의 마스크와, 서로 인접하는 상기 복수개의 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 각 마스크를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 서로 인접하는 상기 각 마스크의 측면이 고정되는 이동부와, 상기 지지부에 설치되고, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 운동시키는 위치조절부를 포함한다.

Description

마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 장치{Mask assembly and deposit apparatus having the same}

본 발명의 실시예들은 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 장치에 관한 것이다.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시부를 포함한다. 최근, 표시부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.

이러한 표시부를 제조하기 위하여는 다양한 장치들이 필요하다. 특히 표시부의 다양한 층을 형성하기 위하여 마스크를 사용할 수 있다. 이때, 이러한 마스크는 용도에 따라 다양한 방법으로 제작될 수 있다. 예를 들면, 마스크는 제1 기판의 크기와 거의 유사하게 제작될 수 있다. 또한, 마스크는 제1 기판의 크기보다 작게 제작되어 복수개 구비되어 서로 인접하도록 배열될 수 있다.

본 발명의 실시예들은 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시예는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 길이 방향으로 인장된 상태로 설치되는 복수개의 마스크와, 서로 인접하는 상기 복수개의 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 각 마스크를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 서로 인접하는 상기 각 마스크의 측면이 고정되는 이동부와, 상기 지지부에 설치되고, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 운동시키는 위치조절부를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.

본 실시예에 있어서, 상기 위치조절부는 복수개 구비되며, 상기 복수개의 위치조절부는 상기 이동부의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 이동부는 길이 방향으로 곡선을 형성할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 이동부는 길이 방향으로 직선을 형성할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 이동부는 복수개를 구비하며, 상기 복수개의 이동부 및 상기 복수개의 위치조절부는 각각 서로 이격되도록 배치되어, 상기 각 이동부 및 상기 각 위치조절부는 서로 연결될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 이동부는 곡선을 형성하도록 배열될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 이동부는 직선을 형성하도록 배열될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 위치조절부는, 상기 지지부 및 상기 이동부에 회전 가능하도록 설치되는 회전부와, 상기 지지부 및 상기 이동부 중 적어도 하나에 고정되도록 설치되며, 상기 회전부가 삽입되는 고정부를 포함할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크는 상기 이동부에 용접을 통하여 고정될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부는, 상기 이동부의 이동을 가이드하는 가이드부를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예는, 제1 기판에 대향하도록 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체가 안착되는 안착부와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 마스크 조립체로 증착 물질을 분사하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 길이 방향으로 인장된 상태로 설치되는 복수개의 마스크와, 서로 인접하는 상기 복수개의 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 각 마스크를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 서로 인접하는 상기 각 마스크의 측면이 고정되는 이동부와, 상기 지지부에 설치되고, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 운동시키는 위치조절부를 포함하는 증착 장치를 제공할 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착장치는 마스크 사이의 간격을 일정하게 유지시킴으로써 정밀한 표시 장치의 제조가 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 취한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이동부, 지지부 및 위치조절부를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 사용한 증착 장치를 보여주는 개념도이다.
도 5은 도 4에 도시된 증착 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 일부를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 마스크 조립체의 일부를 보여주는 단면도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 사시도이다. 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 취한 단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 이동부, 지지부 및 위치조절부를 보여주는 평면도이다.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 마스크 조립체(100)는 마스크 프레임(110), 마스크(120), 지지부(130), 이동부(140) 및 위치조절부(150)를 포함할 수 있다.

마스크 프레임(110)은 다양한 형태로 형성되어 마스크(120)를 고정시킬 수 있다. 예를 들면, 마스크 프레임(110)은 사각형 형태로 형성될 수 있으며, 중앙 부분은 개구되도록 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 프레임(110)은 원형 형태로 형성될 수 있으며, 중앙 부분이 개구되도록 형성될 수 있다. 이때, 마스크 프레임(110)의 형태는 상기에 한정되는 것은 아니며, 중앙 부분이 개구되도록 형성되는 모든 형태를 포함할 수 있다.

마스크(120)는 슬릿 형태로 형성될 수 있다. 이때, 마스크(120)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 마스크(120)는 서로 일정 간격 이격된 상태로 배열될 수 있다. 각 마스크(120)는 마스크 프레임(110)에 용접을 통하여 고정될 수 있다. 이때, 각 마스크(120)는 길이 방향으로 인장된 상태로 마스크 프레임(110)에 고정될 수 있다. 이러한 경우 마스크(120)는 길이 방향으로 늘어남으로써 마스크(120)의 측면의 중앙 부분은 오목하게 들어갈 수 있다. 특히 마스크(120)의 양 측면은 곡선을 형성할 수 있다.

상기와 같은 마스크(120)에는 제1 기판(미도시)에 증착 물질을 도포하도록 일정 영역(S)이 형성될 수 있다. 이러한 영역(S)은 적어도 한 개 이상의 개구부(미표기)가 형성됨으로써 증착 물질이 통과할 수 있다. 또한, 이러한 영역(S)은 증착 물질이 도포되는 상기 제1 기판의 영역과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.

복수개의 마스크(120)는 서로 인접하도록 배치되는 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)는 서로 동일 또는 유사하게 형성될 수 있으며, 상기에서 설명한 바와 같이 슬릿 형태로 형성되어 서로 인접하도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)는 마스크 프레임(110)에 서로 교번하도록 배치되어 마스크 프레임(110)에 고정될 수 있다.

마스크(120)를 길이 방향으로 인장하여 마스크 프레임(110)에 고정시키는 경우 마스크(120)가 변형됨으로써 마스크(120)에 형성된 영역(S)의 형태가 초기와 상이해질 수 있다. 특히 마스크(120)에 형성된 영역(S)의 형태가 초기와 상이해지는 경우 마스크(120)에 형성된 영역(S)이 상기 제1 기판에 증착되어야 할 영역과 상이해짐으로써 증착 물질이 정확한 위치에 증착되지 못할 수 있다. 구체적으로 마스크(120)에 형성된 영역(S)은 마스크(120)의 변형과 같이 측면 부분이 오목하게 변함으로써 상기 제1 기판에 증착되어야 할 영역의 측면 부분에 증착 물질이 도포되지 않을 수 있다. 또한, 상기 제1 기판에 증착되어야 할 영역의 중심 부분으로부터 측면 부분으로 갈수록 증착 물질이 증착되는 위치가 변화는 현상이 발생할 수 있다. 이러한 경우 증착 물질이 정확한 위치에 증착되지 않음으로써 특정 부위에서 색이 구현되지 않거나 표시 장치(미도시)에서 구현되는 이미지 자체가 선명하지 못하는 문제가 발생할 수 있다.

뿐만 아니라 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)를 상기와 같이 마스크 프레임(110)에 고정시키는 경우 제1 마스크(121)의 측면과 상기 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리는 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 길이 방향을 따라 중심으로부터 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 양끝단으로 갈수록 커질 수 있다. 이러한 경우 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 길이 방향으로 볼 때, 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 중앙 부분으로부터 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 양끝단으로 갈수록 제1 마스크(121)에 의하여 상기 제1 기판에 증착되는 증착물질과 제2 마스크(122)에 의하여 상기 제1 기판에 증착되는 증착물질 사이의 거리가 좁아질 수 있다. 따라서 상기 제1 기판 상에 증착되는 증착물질 사이의 거리는 상기 제1 기판 전체에서 상이해질 수 있다.

한편, 지지부(130)는 서로 인접하는 마스크(120) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 지지부(130)는 복수개 구비될 수 있으며, 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 구체적으로 복수개의 지지부(130)는 서로 인접하는 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122) 사이에 배치되는 제1 지지부(131)와, 서로 인접하는 제2 마스크(122)와 제1 마스크(121) 사이에 배치되는 제2 지지부(132)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 지지부(131)와 제2 지지부(132)는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 지지부(131)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제1 지지부(131)는 이동부(140)가 이동하도록 공간이 형성되는 제1 지지바디부(131a)와, 제1 지지바디부(131a)와 연결되어 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)가 각각 안착되는 제1 마스크안착부(131b)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 마스크안착부(131b)와 제1 지지바디부(131a)는 절곡되도록 연결될 수 있다. 또한, 제1 마스크안착부(131b)는 서로 대향하도록 한쌍이 구비될 수 있다.

제1 지지부(131)는 제1 지지바디부(131a)에 형성되어 이동부(140)의 운동 시 이동부(140)를 가이드하는 제1 가이드부(131c)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 가이드부(131c)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 가이드부(131c)는 제1 지지바디부(131a)의 저면으로부터 인입되도록 형성되는 홈을 구비할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 가이드부(131c)는 제1 지지바디부(131a)의 저면으로부터 돌출되도록 형성되는 돌기를 구비할 수 있다. 이때, 돌기는 하나가 형성되어 이동부(140)에 일부가 삽입될 수 있으며, 한쌍으로 형성되어 한쌍의 돌기 사이에 이동부(140)의 일부가 삽입되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 가이드부(131c)가 홈을 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

이동부(140)는 제1 지지바디부(131a) 내부에 삽입되어 선형 운동할 수 있다. 이때, 이동부(140)는 바 형태로 형성될 수 있다. 또한, 이동부(140)는 각 마스크(120)에 개별적으로 연결될 수 있다. 예를 들면, 이동부(140)는 제1 마스크(121)가 고정되는 제1 이동부(141)와, 제2 마스크(122)가 고정되는 제2 이동부(142)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 이동부(141)와 제2 이동부(142)는 서로 이격되도록 배치될 수 있으며, 제1 이동부(141)와 제2 이동부(142) 사이의 거리는 조절될 수 있다.

이동부(140)는 제2 지지부(132)에 운동 가능하도록 설치되는 제3 이동부(143)와 제4 이동부(144)를 포함할 수 있다. 이때, 제3 이동부(143)와 제4 이동부(144)는 각각 제2 이동부(142)와 제1 이동부(141)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)는 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 이동부(141)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)는 다양한 방법을 통하여 결합할 수 있다. 예를 들면, 제1 이동부(141) 또는 제1 마스크(121) 중 하나에 돌기가 형성되고, 제1 이동부(141)와 제2 마스크(122) 중 다른 하나에 삽입홈이 형성되어 돌기가 삽입홈에 삽입됨으로써 제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)가 결합할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)는 용접을 통하여 결합할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)는 볼트, 나사 등과 같은 결합부재를 통하여 결합되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)는 용접을 통하여 결합하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제1 이동부(141)는 곡선 또는 직선으로 형성될 수 있다. 구체적으로 도 3의 (c)와 같이 제1 이동부(141)는 곡선 형태로 형성될 수 있다. 이때, 제1 이동부(141)의 곡선의 곡률반경은 제1 마스크(121)를 인장하여 마스크 프레임(110)에 고정시키는 경우 제1 마스크(121)의 측면이 형성하는 곡선의 곡률반경과 동일 또는 유사할 수 있다. 다른 실시예로써 도 3의 (a)와 같이 제1 이동부(141)는 직선 형태로 형성될 수 있다.

위치조절부(150)는 지지부(130)에 설치될 수 있다. 위치조절부(150)는 제1 이동부(141)와 연결되는 제1 위치조절부(151), 제2 이동부(142)와 연결되는 제2 위치조절부(152), 제3 이동부(143)와 연결되는 제3 위치조절부(153) 및 제4 이동부(144)와 연결되는 제4 위치조절부(154)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(151) 내지 제4 위치조절부(154)는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

제1 위치조절부(151)는 제1 지지부(131)에 설치될 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(151)는 제1 이동부(141)와 연결되어 제1 이동부(141)를 운동시킬 수 있다. 특히 제1 위치조절부(151)는 제1 이동부(141)를 선형 운동시킬 수 있다.

제1 위치조절부(151)는 제1 지지부(131)에 회전 가능하도록 설치되는 제1 회전부(151a)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 회전부(151a)는 볼 스크류 형태로 형성되어 제1 지지부(131)의 측면을 관통하도록 설치되어 제1 이동부(141)에 일부가 삽입될 수 있다.

제1 위치조절부(151)는 제1 지지부(131) 및 제1 이동부(141) 중 적어도 하나에 고정되도록 설치되는 제1 고정부(151b)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 고정부(151b)는 제1 회전부(151a)의 회전이 완료된 후 제1 회전부(151a)의 위치를 고정시킬 수 있다.

상기와 같은 제1 고정부(151b)는 다양한 위치에 설치될 수 있다. 예를 들면, 제1 고정부(151b)는 제1 지지부(131)에만 고정되도록 설치될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 고정부(151b)는 제1 이동부(141)에만 고정되도록 설치될 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 고정부(151b)는 제1 지지부(131)와 제1 이동부(141)에 고정되도록 설치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 고정부(151b)가 제1 지지부(131)에만 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제1 위치조절부(151)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제1 위치조절부(151)는 제1 마스크(121)의 길이 방향을 따라 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있다.

한편, 상기와 같은 마스크 조립체(100)를 제조하는 방법을 살펴보면, 마스크 프레임(110)을 제조하여 준비한 후 마스크 프레임(110)에 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)를 인장하여 각각 마스크 프레임(110)에 고정시킬 수 있다. 이때, 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)는 마스크 프레임(110)에 용접을 통하여 고정시킬 수 있다.

제1 마스크(121)와 제2 마스크(122) 사이 및 제2 마스크(122)와 제1 마스크(121) 사이에 각각 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)를 설치할 수 있다. 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)는 끝단을 마스크 프레임(110)에 고정시킬 수 있다. 이때, 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)는 마스크 프레임(110)에 용접을 통하여 고정시키거나 나사, 볼트 등과 같은 별도의 결합부재를 통하여 고정시키는 것도 가능하다.

상기와 같은 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)에는 각각 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)가 각각 설치된 상태일 수 있다. 또한, 제1 위치조절부(151) 내지 제4 위치조절부(154)로 각각 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)에 설치된 상태일 수 있다. 특히 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)는 미리 도 3의 (a)와 같이 곡선 형태로 형성되어 제1 지지부(131) 내지 제2 지지부(132)에 각각 설치될 수 있다. 이러한 경우 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)의 곡률 반경은 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 곡률반경과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 구체적으로 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)가 마스크 프레임(110)에 설치되면 별도로 구비된 카메라 등과 같은 비젼부(미도시)를 통하여 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 곡률 반경을 측정할 수 있다. 이후 측정된 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 곡률 반경을 근거로 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)의 곡률반경을 결정하고 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)를 제조할 수 있다. 상기와 같이 제조된 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)는 각각 제1 지지부(131)의 제1 가이드부(131c)와 제2 지지부(132)의 제2 가이드부(132c)에 각각 설치될 수 있다. 또한, 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)가 상기와 같이 설치되는 경우 제1 지지부(131)의 내측으로부터 제1 이동부(141) 까지의 제1 회전부(151a) 거리는 제1 이동부(141)의 길이 방향을 따라 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 지지부(131)의 내측으로부터 제1 이동부(141) 까지의 제1 회전부(151a) 거리는 제1 이동부(141)의 중심 부분에서 가장 짧고, 제1 이동부(141)의 중심으로부터 끝단으로 갈수록 점점 커질 수 있다. 이때, 제2 회전부(미표기) 내지 제4 회전부(미표기)도 제1 회전부(151a)와 유사하게 배치될 수 있다.

상기와 같이 제1 이동부(141) 내제 제4 이동부(144)가 배치된 후 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부를 조절하여 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 제1 마스크(121)의 길이 방향에 대해서 일정하게 조절할 수 있다.

구체적으로 별도로 마련된 비젼부(240)에서 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 인지하면서 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부를 회전시킴으로써 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)를 이동시켜 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 일정하게 가변시킬 수 있다.

상기와 같이 제1 회전부(151a) 상기 내지 제4 회전부를 회전시키는 경우 제1 고정부(151b) 내지 제4 고정부(미표기)는 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)에서 고정되어 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부가 회전하여 선형 운동 할 때 운동 방향의 반대방향으로 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부가 밀리는 것을 방지할 수 있다.

상기와 같이 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)가 움직이는 경우 제1 이동부(141)와 제2 이동부(142)는 거의 직선을 형성할 수 있다. 따라서 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면은 도 3의 (b)와 같이 직선을 형성할 수 있으며, 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리는 일정해질 수 있다.

도 3의 (c)와 같이 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)가 직선으로 형성되는 경우 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부를 회전시킬 때, 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)는 곡선으로 형상이 가변할 수 있다. 이때, 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)는 중앙부분이 다른 부분보다 돌출되록 형성될 수 있으며, 특히 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)는 활과 같이 휘어질 수 있다.

이러한 경우 제1 지지부(131)와 제1 이동부(141) 사이의 제1 회전부(151a)의 길이는 제1 이동부(141)의 길이 방향을 따라 제1 이동부(141)의 중심으로부터 제1 이동부(141)의 끝단으로 갈수록 짧아질 수 있다.

따라서 마스크 조립체(100)는 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)를 마스크 프레임(110)에 인장하여 설치한 후 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이가 벌어지는 것을 방지할 수 있다.

마스크 조립체(100)는 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)를 인장시키기 전의 형상과 최대한 동일하게 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 형상을 제어함으로써 상기 제1 기판에 증착 물질을 정확한 패턴으로 증착시킬 수 있다.

도 4는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 사용한 증착 장치를 보여주는 개념도이다. 도 5은 도 4에 도시된 증착 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.

도 4 및 도 5를 참고하면, 증착 장치(200)는 마스크 조립체(100), 챔버(210), 안착부(220), 증착원(230), 비젼부(240) 및 흡입부(250)를 포함할 수 있다.

마스크 조립체(100)는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

챔버(210)는 일부가 개구되도록 형성될 수 있으며, 개구된 부분에는 게이트밸브(210a) 등이 설치되어 개구된 부분을 개폐할 수 있다.

안착부(220)는 마스크 조립체(100)가 안착할 수 있다. 이때, 안착부(220)는 승하강 가능하도록 챔버(210)에 설치될 수 있다. 또한, 안착부(220)는 마스크 조립체(100)를 일 평면 상에서 선형 운동시키는 것도 가능하다.

증착원(230)은 증착 물질을 기화시키거나 승화시킬 수 있다. 이때, 증착원(230)은 증착 물질의 종류에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착 물질이 중간층(18b)을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

증착원(230)은 제1 기판(11)과 상대 운동할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(11)이 챔버(210) 내부에서 선형 운동할 수 있으며, 증착원(230)은 고정될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 기판(11)이 고정되고 증착원(230)이 선형 운동하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 증착원(230)과 제1 기판(11) 모두 선형 운동하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 기판(11)이 선형 운동하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

비젼부(240)는 마스크 조립체(100)와 제1 기판(11)의 위치를 촬영할 수 있다. 안착부(220)는 마스크 조립체(100)가 안착하며, 비젼부(240)에서 촬영된 결과를 근거로 마스크 조립체(100)의 위치를 조절할 수 있다. 이때, 비젼부(240)는 마스크 조립체(100)를 일정 범위 내에서 선형 운동시킴으로써 마스크 조립체(100)와 제1 기판(11)의 위치를 정렬할 수 있다.

흡입부(250)는 챔버(210)와 연결되어 챔버(210) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 흡입부(250)는 챔버(210)와 연결되는 연결배관(251)과, 연결배관(251)에 설치되는 펌프(252)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(252)의 작동에 따라서 연결배관(251)을 통하여 챔버(210) 내부의 기체를 외부로 배출할 수 있다. 또한, 펌프(252)를 통하여 외부의 기체를 챔버(210) 내부로 공급하는 것도 가능하다.

한편, 상기와 같은 증착 장치(200)의 작동을 살펴보면, 외부로부터 제1 기판(11) 및 마스크 조립체(100)가 챔버(210) 내부로 진입한 후 증착원(230)을 통하여 제1 기판(11)에 증착물질을 증착할 수 있다.

이때, 마스크 조립체(100)는 상기에서 설명한 바와 같이 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122) 사이의 거리를 조절한 상태로 설치될 수 있다. 구체적으로 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)를 마스크 프레임(110)에 인장하여 용접하는 경우 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면은 서로 상이한 거리를 유지할 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(151)와 제2 위치조절부(152)를 통하여 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 일정하게 조절할 수 있다. 조절하는 방법은 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

제1 위치조절부(151)와 제2 위치조절부(152)는 상기에서 설명한 바와 같이 조절함으로써 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 조절할 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(151)와 제2 위치조절부(152)는 마스크 조립체(100)를 챔버(210)에 제공하기 전에 조절될 수 있으며, 다른 실시예로써 챔버(210) 외부에서 조절될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 위치조절부(151) 및 제2 위치조절부(152)를 챔버(210)의 외부에서 조절하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.(도 1 내지 도 3 참고)

한편, 상기와 같이 증착물질이 증착된 표시 장치(10)를 살펴보면, 제1 기판(11) 및 발광부(미표기)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(10)는 상기 발광부의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 또는 제2 기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 기판은 일반적인 표시 장치에 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(10)가 박막 봉지층(E)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

상기 발광부는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(17)이 형성되며, 이 패시베이션막(17) 상에 유기 발광 소자(18)가 형성될 수 있다.

제1 기판(11)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 제1 기판(11)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 기판(11)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제1 기판(11)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(12)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.

이 버퍼층(12) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(13)이 형성된 후, 활성층(13)이 게이트 절연층(14)에 의해 매립된다. 활성층(13)은 소스 영역(13a)과 드레인 영역(13c)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(13b)을 더 포함한다.

이러한 활성층(13)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(13)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(13)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(13)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(13)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

이러한 활성층(13)은 버퍼층(12) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(13)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(13a) 및 드레인 영역(13c)이 불순물에 의해 도핑된다.

게이트 절연층(14)의 상면에는 활성층(13)과 대응되는 게이트 전극(15)과 이를 매립하는 층간 절연층(16)이 형성된다.

그리고, 층간 절연층(16)과 게이트 절연층(14)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(16) 상에 소스 전극(17a) 및 드레인 전극(17b)을 각각 소스 영역(13a) 및 드레인 영역(13c)에 콘택되도록 형성한다.

이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(17)이 형성되고, 이 패시베이션막(17) 상부에 유기 발광 소자(18, OLED)의 화소 전극(18a)이 형성된다. 이 화소 전극(18a)은 패시베이션막(17)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(17b)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(17)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(17)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.

패시베이션막(17) 상에 화소 전극(18a)을 형성한 후에는 이 화소 전극(18a) 및 패시베이션막(17)을 덮도록 화소정의막(19)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(18a)이 노출되도록 개구된다.

그리고, 적어도 상기 화소 전극(18a) 상에 중간층(18b) 및 대향 전극(18c)이 형성된다.

화소 전극(18a)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(18c)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(18a)과 대향 전극(18c)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.

화소 전극(18a)과 대향 전극(18c)은 상기 중간층(18b)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(18b)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.

중간층(18b)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(18b)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 공통층(미표기)으로써 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다.

하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다.

한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.

박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.

박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.

박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.

박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.

박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.

다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제 3 무기층을 포함할 수 있다.

또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제 3 무기층, 제 3 유기층, 제 4 무기층을 포함할 수 있다.

유기 발광 소자(18, OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(18, OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제 3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.

상기와 같이 중간층(18b)을 형성하는 경우 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 형태, 위치 등에 의하여 중간층(18b)의 형성 위치가 상이해질 수 있다. 특히 상기에서 설명한 바와 같이 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)를 단순히 인장하여 마스크 프레임(110)에 고정한 후 중간층(18b)을 증착하는 경우 중간층(18b)의 위치기 설계 위치와 상이해질 수 있다. 이러한 경우 중간층(18b)에서 발광이 되지 않거나 중간층(18b) 사이의 거리가 제1 기판(11)의 전면에서 상이하게 형성됨으로써 표시 장치(10)가 구현하는 이미지 전체의 해상도가 낮아지거나 이미지가 왜곡될 수 있다.

그런 본 발명의 실시예들에 따른 증착 장치(200)를 사용하여 증착물질을 증착하는 경우 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 일정하게 유지하면서 증착물질의 증착이 가능함으로써 제1 기판(11) 전면에서 중간층(18b) 사이의 거리가 일정하게 유지될 수 있으며, 설계된 위치에 정확하게 증ㅊ가하는 것이 가능하다.

따라서 증착 장치(200)는 증착물질을 설계된 위치에 정확하게 증착함으로써 표시 장치(10)의 제조 시 표시 장치(10)의 불량율을 낮출 수 있다.

또한, 증착 장치(200)를 통하여 제조된 표시 장치(10)는 선명한 이미지를 구현할 수 있다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 일부를 보여주는 평면도이다. 도 7은 도 6에 도시된 마스크 조립체의 일부를 보여주는 단면도이다.

도 6 및 도 7을 참고하면, 마스크 조립체(300)는 마스크 프레임(미도시), 마스크(320), 지지부(330), 이동부(340) 및 위치조절부(350)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 마스크(320), 지지부(330) 및 위치조절부(350)는 상기 도 1 내지 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

이동부(340)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 이동부(340)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 복수개의 이동부(340)는 다양한 형태로 배열될 수 있다. 예를 들면, 복수개의 이동부(340)는 도 6의 (a)와 같이 곡선을 형성하도록 배열될 수 있다. 또한, 복수개의 이동부(340)는 도 6의 (b)와 같이 직선을 형성하도록 배열될 수 있다.

복수개의 이동부(340)는 제1 위치조절부(351)와 연결되는 제1 이동부(341)와, 제2 위치조절부(352)와 연결되는 제2 이동부(342)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 각각 복수개의 블록 형태로 형성될 수 있다. 또한, 복수개의 이동부(340)는 제3 위치조절부(미도시)와 연결되는 제3 이동부(미도시)와, 제4 위치조절부(미도시)와 연결되는 제4 이동부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제3 이동부 및 상기 제4 이동부는 제1 이동부(341) 및 제2 이동부(342)와 동일 또는 유사하므로 이하에서는 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 각각 상기에서 설명한 바와 같이 복수개 구비될 수 있으며, 각 제1 이동부(341)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 특히 복수개의 제1 이동부(341)는 제1 지지부(331)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다.

제2 이동부(342)는 제1 이동부(341)에 대향하도록 배치될 수 있다. 이때, 제2 이동부(342)도 제1 이동부(341)와 유사하게 복수개 구비되어 제1 지지부(331)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다.

제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 서로 독립적으로 운동할 수 있다. 이때, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 각각 제1 지지부(331)에 선형 운동하도록 설치될 수 있다. 제1 지지부(331)는 제1 이동부(341) 또는 제2 이동부(342)가 선형 운동할 때, 제1 이동부(341) 또는 제2 이동부(342)를 가이드하는 제1 가이드부(331c)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 가이드부(331c)는 돌기 또는 홈 형태로 형성될 수 있다.

한편, 상기와 같은 마스크 조립체(300)의 제조 방법을 살펴보면, 상기 마스크 프레임에 제1 마스크(321)와 제2 마스크(322)를 길이 방향으로 인장하여 설치할 수 있다. 이때, 제1 마스크(321)와 제2 마스크(322) 사이에는 제1 지지부(331)가 배치된 상태일 수 있다. 또한, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 각각 제1 마스크(321)와 제2 마스크(322)에 용접을 통하여 고정될 수 있다. 이때, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 제1 지지부(331)의 내부에 배치될 수 있다.

복수개의 제1 이동부(341)와 복수개의 제2 이동부(342)는 도 6의 (a)와 같이 제1 지지부(331)에 설치되는 초기에 각각 곡선을 형성할 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(351)와 제2 위치조절부(352)를 통하여 각 제1 이동부(341)와 각 제2 이동부(342)를 각각 움직이는 경우 복수개의 제1 이동부(341)와 복수개의 제2 이동부(342)는 각각 직선을 형성할 수 있다. 특히 각 제1 이동부(341)와 각 제2 이동부(342)의 사이 거리가 일정하게 형성됨으로써 제1 마스크(321) 측면과 제2 마스크(322) 측면 사이의 거리는 제1 마스크(321)의 길이 방향에 대해서 일정해질 수 있다.

반면, 도 6의 (b)와 같이 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)가 배열되는 경우 복수개의 제1 이동부(341)와 복수개의 제2 이동부(342)는 제1 지지부(331)에 설치되는 초기에는 직선을 형성할 수 있다. 이후 각 제1 이동부(341)와 각 제2 이동부(342)의 위치를 가변시켜 제1 마스크(321)의 측면과 제2 마스크(322)의 측면 사이의 거리를 일정하게 하는 경우 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342) 사이의 거리는 제1 마스크(321)의 길이 방향을 따라 상이해질 수 있다. 예를 들면, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342) 사이의 거리는 제1 마스크(321)의 중심부분에서 가장 작고, 제1 마스크(321)의 중심부분으로부터 제1 마스크(321)의 양단으로 갈수록 커질 수 있다.

한편, 제1 위치조절부(351) 내지 상기 제4 위치조절부는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(351) 내지 상기 제4 위치조절부는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 위치조절부(351)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제1 위치조절부(351)는 제1 회전부(351a)와 제1 고정부(351b)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)는 상기에서 설명한 바와 같이 볼 스크류 형태로 형성될 수 있다. 제1 고정부(351b)는 제1 이동부(341) 및 제1 지지부(331) 중 적어도 하나에 설치될 수 있다. 특히 상기와 같은 제1 회전부(351a)와 제1 고정부(351b)는 다양한 방법으로 설치될 수 있다.

예를 들면, 일 실시예로써 도 7의 (a)와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 이동부(341)에 삽입되도록 설치되고, 제1 고정부(351b)는 제1 지지부(331)에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 이동부(341)가 제1 회전부(351a)의 표면을 따라 선형 운동할 수 있다.

다른 실시예로써 도 7의 (b)와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 지지부(331)에 설치되고, 제1 고정부(351b)는 제1 지지부(331)에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 회전부(351a)가 제1 지지부(331)를 따라 선형 운동하고, 제1 고정부(351b)는 제1 회전부(351a)의 위치가 변하는 것을 방지하도록 한다.

또 다른 실시예로써 도 7의 (c)에서와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 이동부(341)에 삽입되고, 제1 고정부(351b)는 제1 지지부(331) 및 제1 이동부(341)에 각각 설치될 수 있다. 이때, 제1 이동부(341)의 이동은 도 7의 (a)와 동일 또는 유사하게 수행될 수 있다.

또 다른 실시예로서 도 7의 (d)에서와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 지지부(331)에 삽입되고, 제1 고정부(351b)는 복수개 구비되어 복수개의 제1 고정부(351b) 중 적어도 하나 이상은 제1 지지부(331)에 설치되고, 복수개의 제1 고정부(351b) 중 다른 것들은 제1 이동부(341)에 설치될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 이동부(341)가 선형 운동할 수 있다.

또 다른 실시예로써 도 7의 (e)에서와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 이동부(341)에 삽입되고 제1 고정부(351b)는 복수개 구비되어 제1 지지부(331)에 고정될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 이동부(341)가 선형 운동할 수 있다.

또 다른 실시예로써 도 7의 (f)에서와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 지지부(331)에 설치되고, 제1 고정부(351b)는 복수개 구비되어 제1 이동부(341)에 고정될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 회전부(351a) 및 제1 이동부(341)가 선형 운동할 수 있다.

상기와 같이 제1 위치조절부(351) 내지 상기 제4 위치조절부를 통하여 제1 마스크(321) 측면과 제2 마스크(322) 측면 사이의 거리를 조절할 수 있다.

따라서 마스크 조립체(300)는 제1 마스크(321) 및 제2 마스크(322)를 인장시키기 전의 형상과 최대한 동일하게 제1 마스크(321) 및 제2 마스크(322)의 형상을 제어함으로써 제1 기판(11)에 증착 물질을 정확한 패턴으로 증착시킬 수 있다.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

10: 표시 장치
11: 제1 기판
12: 버퍼층
13: 활성층
14: 게이트 절연층
15: 대응되는 게이트 전극
16: 층간 절연층
17: 패시베이션막
18: 상에 유기 발광 소자
19: 덮도록 화소정의막
100,300: 마스크 조립체
110: 마스크 프레임
120,320: 마스크
130,330: 지지부
140,340: 이동부
150,350: 위치조절부
200: 증착 장치
210: 챔버
220: 안착부
230: 증착원
240: 비젼부
250: 흡입부

Claims

마스크 프레임;
상기 마스크 프레임에 길이 방향으로 인장된 상태로 설치되는 복수개의 마스크;
서로 인접하는 상기 복수개의 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 각 마스크를 지지하는 지지부;
상기 지지부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 서로 인접하는 상기 각 마스크의 측면이 고정되는 이동부; 및
상기 지지부에 설치되고, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 운동시키는 위치조절부;를 포함하고,
상기 지지부는 상기 마스크의 길이 방향으로 배치되어 서로 인접하는 상기 마스크 사이의 공간 전체를 차폐하는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서,
상기 위치조절부는 복수개 구비되며,
상기 복수개의 위치조절부는 상기 이동부의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배치되는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서,
상기 이동부는 길이 방향으로 곡선을 형성하는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서,
상기 이동부는 길이 방향으로 직선을 형성하는 마스크 조립체.
제 2 항에 있어서,
상기 이동부는 복수개를 구비하며,
상기 복수개의 이동부 및 상기 복수개의 위치조절부는 각각 서로 이격되도록 배치되어, 상기 각 이동부 및 상기 각 위치조절부는 서로 연결되는 마스크 조립체.
제 5 항에 있어서,
상기 복수개의 이동부는 곡선을 형성하도록 배열되는 마스크 조립체.
제 5 항에 있어서,
상기 복수개의 이동부는 직선을 형성하도록 배열되는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서,
상기 위치조절부는,
상기 지지부 및 상기 이동부에 회전 가능하도록 설치되는 회전부;
상기 지지부 및 상기 이동부 중 적어도 하나에 고정되도록 설치되며, 상기 회전부가 삽입되는 고정부;를 포함하는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서,
상기 마스크는 상기 이동부에 용접을 통하여 고정되는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서,
상기 지지부는,
상기 이동부의 이동을 가이드하는 가이드부;를 포함하는 마스크 조립체.
제1 기판에 대향하도록 배치되는 마스크 조립체;
상기 마스크 조립체가 안착되는 안착부;
상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 마스크 조립체로 증착 물질을 분사하는 증착원;을 포함하고,
상기 마스크 조립체는,
마스크 프레임;
상기 마스크 프레임에 길이 방향으로 인장된 상태로 설치되는 복수개의 마스크;
서로 인접하는 상기 복수개의 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 각 마스크를 지지하는 지지부;
상기 지지부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 서로 인접하는 상기 각 마스크의 측면이 고정되는 이동부; 및
상기 지지부에 설치되고, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 운동시키는 위치조절부;를 포함하고,
상기 지지부는 상기 마스크의 길이 방향으로 배치되어 서로 인접하는 상기 마스크 사이의 공간 전체를 차폐하는 증착 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 위치조절부는 복수개 구비되며,
상기 복수개의 위치조절부는 상기 이동부의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배치되는 증착 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 이동부는 길이 방향으로 곡선을 형성하는 증착 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 이동부는 길이 방향으로 직선을 형성하는 증착 장치.
제 12 항에 있어서,
상기 이동부는 복수개를 구비하며,
상기 복수개의 이동부 및 상기 복수개의 위치조절부는 각각 서로 이격되도록 배치되어, 상기 각 이동부 및 상기 각 위치조절부는 서로 연결되는 증착 장치.
제 15 항에 있어서,
상기 복수개의 이동부는 곡선을 형성하도록 배열되는 증착 장치.
제 15 항에 있어서,
상기 복수개의 이동부는 직선을 형성하도록 배열되는 증착 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 위치조절부는,
상기 지지부 및 상기 이동부에 회전 가능하도록 설치되는 회전부;
상기 지지부 및 상기 이동부 중 적어도 하나에 고정되도록 설치되며, 상기 회전부가 삽입되는 고정부;를 포함하는 증착 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 마스크는 상기 이동부에 용접을 통하여 고정되는 증착 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 지지부는,
상기 이동부의 이동을 가이드하는 가이드부;를 포함하는 증착 장치.