KR101958991B1 - 프레임 및 이를 포함하는 마스크 조립체 - Google Patents

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    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask

Abstract

제1 방향으로 인장력이 가해진 단위 마스크의 양 단부를 지지하는 프레임은 상기 단위 마스크를 노출시키는 개구부를 형성하는 프레임 본체부, 및 상기 프레임 본체부에 설치되며 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 단위 마스크의 단부를 인장하는 단부 인장 유닛을 포함한다.

Description

프레임 및 이를 포함하는 마스크 조립체{FRAME AND MASK ASSEMBLY HAVING THE SAME}
본 발명은 프레임 및 이를 포함하는 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 발광층의 증착 시 이용되는 단위 마스크를 지지하는 프레임 및 이를 포함하는 마스크 조립체에 관한 것이다.
표시 장치는 이미지를 표시하는 장치로서, 최근 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display)가 주목 받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 자체 발광 특성을 가지며, 액정 표시 장치(liquid crystal display device)와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께와 무게를 줄일 수 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 고품위 특성을 나타낸다.
유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 유기 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
보다 상세하게, 유기 발광 표시 장치는 기판에 화상 표현의 기본 단위인 화소(pixel)가 매트릭스 형태로 배열되고, 각각의 화소마다 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue), 및 백색(White) 등의 빛을 발광하는 각각의 유기 발광층을 사이에 두고 양극의 제1 전극과 음극의 제2 전극이 순차적으로 형성된 유기 발광 소자가 배치되는 구성을 갖는다. 여기서, 유기 발광층을 이루는 유기 물질은 수분 및 산소 등에 매우 취약하여 유기 발광층을 형성하는 공정 및 유기 발광층을 형성한 후에도 수분으로부터 철저히 격리시켜야 하므로 통상의 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝을 수행하기가 어렵다. 따라서, 유기 발광층은 주로 각 패턴에 대응되는 부분으로만 증착 물질이 관통하기 위한 개구된 패턴부가 형성되어 있는 마스크를 이용하여 형성한다.
최근, 개구부를 구비하는 프레임, 개구부에 대응하여 양 단부가 프레임에 고정되는 밴드 모양의 복수의 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체가 사용되고 있었다.
이러한 종래의 마스크 조립체는 단위 마스크의 길이 방향으로 인장력이 가해져 프레임에 지지되기 때문에, 단위 마스크에 길이 방향으로 가해지는 인장력에 의해 의도치 않게 단위 마스크의 폭 방향으로 주름(wave)이 발생되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단위 마스크의 길이 방향으로 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크의 폭 방향으로 주름이 발생되는 것을 억제하는 프레임 및 이를 포함하는 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 제1 방향으로 인장력이 가해진 단위 마스크의 양 단부를 지지하는 프레임에 있어서, 상기 단위 마스크를 노출시키는 개구부를 형성하는 프레임 본체부, 및 상기 프레임 본체부에 설치되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 단위 마스크의 단부를 인장하는 단부 인장 유닛을 포함하는 프레임을 제공한다.
상기 단위 마스크는 복수개이고, 상기 복수개의 단위 마스크는 상호 이웃하여 상기 제2 방향으로 배치되며, 상기 단위 마스크의 단부의 상기 제2 방향 상의 중앙 영역은 상기 프레임 본체부의 표면에 용접되고, 상기 단위 마스크의 단부의 상기 제2 방향 상의 외곽 영역은 상기 단부 인장 유닛에 용접될 수 있다.
상기 프레임 본체부는 상기 프레임 본체부의 표면으로부터 함몰 형성되어 상기 복수개의 단위 마스크 각각의 사이에 위치하는 그루브(groove)를 포함하며, 상기 단부 인장 유닛은 상기 그루브 내부에 위치할 수 있다.
상기 단부 인장 유닛은, 상기 그루브의 표면으로부터 함몰 형성되어, 상기 제2 방향으로 연장된 슬라이드 가이드부, 및 상기 슬라이드 가이드부에 장착되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩하며, 상기 단위 마스크의 단부의 상기 제2 방향 상의 외곽 영역이 표면에 용접된 슬라이드부를 포함할 수 있다.
상기 단부 인장 유닛은, 상기 슬라이드부를 관통하여 상기 그루브를 형성하는 상기 프레임 본체부의 양 측벽 사이를 상기 제2 방향으로 연결하는 이탈 방지축을 더 포함할 수 있다.
상기 단부 인장 유닛은, 상기 슬라이드부의 상기 제2 방향으로의 슬라이딩 정도를 조절하는 조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 조절부는, 상기 그루브를 형성하는 상기 프레임 본체부의 측벽에 설치되어 상기 슬라이드부 방향으로 돌출되어 있으며, 내부에 제1 톱니가 형성된 제1 결합부,상기 제1 결합부와 중첩되도록 상기 프레임 본체부의 측벽과 대향하는 상기 슬라이드부의 측벽에 설치되어 상기 프레임 본체부의 측벽 방향으로 돌출되어 있으며, 내부에 상기 제1 톱니와 대응하는 제2 톱니가 형성된 제2 결합부, 상기 제1 톱니와 상기 제2 톱니 사이에서 상기 제1 톱니 및 상기 제2 톱니와 결합하는 톱니바퀴, 및 상기 톱니바퀴의 중앙에 결합되어 상기 프레임 본체부 외부로 돌출된 회전축을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 상기 프레임, 및 상기 제1 방향으로 인장력이 가해져 상기 양 단부가 상기 프레임에 지지된 하나 이상의 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 단위 마스크의 길이 방향으로 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크의 폭 방향으로 주름이 발생되는 것을 억제하는 프레임 및 이를 포함하는 마스크 조립체가 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 A부분을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체의 일 부분을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ를 따른 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체는 복수의 단위 마스크(100) 및 프레임(200)을 포함한다.
단위 마스크(100)는 길이 방향인 제1 방향으로 연장된 밴드 형태이며, 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부(100a)가 프레임(200)에 지지된다. 단위 마스크(100)는 복수며, 복수의 단위 마스크(100)는 제1 방향과 교차하는 단위 마스크(100)의 폭 방향인 제2 방향을 따라 상호 이웃하여 프레임(200)에 배치된다. 단위 마스크(100)의 양 단부(100a)는 플랫(flat)한 형태로 형성되나, 이에 한정되지 않고 중앙 영역이 함몰된 말굽과 같은 형태 등 다양한 형태로 형성될 수 있다.
단위 마스크(100)는 패턴부(110)를 포함한다.
패턴부(110)는 하나의 단위 마스크(100)에 제1 방향으로 복수가 배치되어 있다. 패턴부(110)는 하나의 유기 발광 표시 장치에 대응될 수 있으며, 이 경우 단위 마스크(100)를 통해 단일 공정으로 여러 개의 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들을 유기 발광 표시 장치가 제조될 마더 기판에 동시에 형성할 수 있다. 즉, 패턴부(110)는 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들의 증착 영역에 대응하여 단위 마스크(100)에 배치된다. 패턴부(110)는 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들이 패턴부(110)를 통하여 마더 기판에 형성될 수 있도록 단위 마스크(100)를 관통하는 오픈 패턴 형태를 가진다. 패턴부(110)의 형태는 스트라이프(stripe) 타입의 복수의 슬릿(slit)을 포함한다.
프레임(200)은 제1 방향으로 인장력이 가해진 복수의 단위 마스크(100) 각각의 양 단부(100a)를 고정 및 지지한다. 프레임(200)에 고정되는 단위 마스크(100)는 제1 방향으로 인장력이 인가된 상태로 단위 마스크(100)에 지지되는데, 이로 인해 단위 마스크(100)의 연장 방향인 제1 방향을 따라 압축력이 작용하기 때문에, 프레임(200) 단위 마스크(100)의 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 스테인리스강(stainless steel) 등과 같은 금속 재료로 형성될 수 있다.
도 2는 도 1의 A부분을 나타낸 도면이다. 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 프레임(200)은 프레임 본체부(210) 및 단부 인장 유닛(220)을 포함한다.
프레임 본체부(210)는 단위 마스크(100)의 패턴부(110)를 노출시키는 개구부(OA)를 형성하며, 복수의 단위 마스크(100) 각각의 양 단부(100a)를 따라 폐루프(closed loop) 형태로 연장되어 있다. 프레임 본체부(210)의 표면(210a)에는 단위 마스크(100) 단부(100a)의 제2 방향 상의 중앙 영역(CA)이 용접되어 있다. 프레임 본체부(210)는 그루브(groove)(211)를 포함한다.
그루브(211)는 프레임 본체부(210)의 표면(210a)으로부터 함몰 형성되어 있다. 그루브(211)는 프레임 본체부(210)의 표면(210a)으로부터 함몰 형성되어 복수의 단위 마스크(100) 각각의 사이에 위치하고 있다. 그루브(211)의 내부에는 단부 인장 유닛(220)이 위치하고 있다.
단부 인장 유닛(220)은 그루브(211) 내부에 위치하여 프레임 본체부(210)에 설치되며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 단위 마스크(100)의 단부(100a)를 인장한다. 단위 마스크(100)의 단부(100a)의 제2 방향 상의 외곽 영역(EA)이 용접되어 있다. 단부 인장 유닛(220)은 슬라이드 가이드부(221), 슬라이드부(222) 및 조절부(223)를 포함한다.
슬라이드 가이드부(221)는 그루브(211)의 표면으로부터 함몰 형성되어 제2 방향으로 연장되어 있다. 슬라이드 가이드부(221)에는 슬라이드부(222)가 장착되어 있다.
슬라이드부(222)는 슬라이드 가이드부(221)에 장착되어 제2 방향으로 슬라이딩(sliding)하며, 슬라이드부(222)의 표면(222a)에는 단위 마스크(100)의 단부(100a)의 제2 방향 상의 외곽 영역(EA)이 용접되어 있다. 이로 인해, 슬라이드부(222)가 제2 방향으로 슬라이딩하면 단위 마스크(100)의 단부(100a)에는 제2 방향으로 인장력이 발생한다.
조절부(223)는 슬라이드부(222)의 제2 방향으로의 슬라이딩 정도를 조절한다. 조절부(223)에 의해 단위 마스크(100)의 단부(100a)에 발생하는 제2 방향으로의 인장력이 조절된다. 조절부(223)는 제1 결합부(223a), 제2 결합부(223b), 톱니바퀴(223c) 및 회전축(223d)을 포함한다. 제1 결합부(223a)는 제2 결합부(223b)와 중첩되어 있다.
제1 결합부(223a)는 그루브(211)를 형성하는 프레임 본체부(210)의 측벽(210b)에 설치되어 슬라이드부(222)의 측벽(222b) 방향으로 돌출되어 있으며, 내부에 제1 톱니(S1)가 형성되어 있다. 제1 결합부(223a)는 'ㄷ'자 형태를 가지고 있으나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 결합부는 'ㅡ', 'ㅜ', 'ㅗ' 등의 다양한 형태를 가질 수 있다.
제1 결합부(223a)는 제2 결합부(223b)와 일부가 중첩되어 있다.
제2 결합부(223b)는 제1 결합부(223a)와 중첩되도록 프레임 본체부(210)의 측벽(210b)과 대향하는 슬라이드부(222)의 측벽(222b)에 설치되어 프레임 본체부(210)의 측벽(210b) 방향으로 돌출되어 있다. 제2 결합부(223b)의 내부에는 제1 톱니(S1)와 대응하는 제2 톱니(S2)가 형성되어 있다. 제2 결합부(223b)는 'ㄷ'자 형태를 가지고 있으나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 결합부는 'ㅡ', 'ㅜ', 'ㅗ' 등의 다양한 형태를 가질 수 있다.
제2 결합부(223b)와 제1 결합부(223a) 사이에는 톱니바퀴(223c) 및 회전축(223d)이 위치하고 있다.
톱니바퀴(223c)는 제1 톱니(S1)와 제2 톱니(S2) 사이에서 제1 톱니(S1) 및 제2 톱니(S2)와 결합하고 있다.
회전축(223d)은 톱니바퀴(223c)의 중앙에 결합되어 프레임 본체부(210)의 외부로 돌출되어 있다. 회전축(223d)은 프레임 본체부(210)에 지지된 상태에서 회전할 수 있다. 회전축(223d)을 회전시키면 톱니바퀴(223c)가 회전하게 되며, 회전축(223d)이 프레임 본체부(210)의 외부로 돌출됨에 따라 회전축(223d)을 회전시켜 톱니바퀴(223c)의 회전을 용이하게 수행할 수 있다.
이와 같이, 조절부(223)의 회전축(223d)을 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시켜 톱니바퀴(223c)를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시키면 톱니바퀴(223c)에 결합된 제1 톱니(S1)가 형성된 제1 결합부(223a) 및 제2 톱니(S2)가 형성된 제2 결합부(223b) 각각이 제2 방향 상에서 서로 반대 방향으로 이동함으로써, 슬라이드부(222)의 제2 방향으로의 슬라이딩 정도가 조절되기 때문에, 단위 마스크(100)의 단부(100a)에 발생되는 제2 방향으로 인장력을 조절할 수 있다.
상술한 슬라이드부(222)는 조절부(223)에 의해 제2 방향으로의 슬라이딩 정도가 조절되나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이드부는 다양한 구조에 의해 제2 방향으로의 슬라이딩 정도가 조절될 수 있다.
또한, 상술한 단부 인장 유닛(220)은 슬라이드 가이드부(221), 슬라이드부(222) 및 조절부(223)를 포함하나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 단부 연장 유닛은 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 단위 마스크의 단부를 인장할 수 있다면 다양한 구성 요소를 포함할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체는 단위 마스크(100)의 길이 방향인 제1 방향으로 인장된 복수개의 단위 마스크(100) 각각의 양 단부(100a)가 지지된 프레임(200)이 단위 마스크(100)의 단부(100a)를 단위 마스크(100)의 폭 방향인 제2 방향으로 인장하는 단부 인장 유닛(220)을 포함함으로써, 단위 마스크(100)의 길이 방향인 제1 방향으로 가해지는 인장력에 의해 의도치 않게 단위 마스크(100)의 폭 방향인 제2 방향으로 단위 마스크(100)에 주름(wave)이 발생되는 것이 억제된다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체는 단부 인장 유닛(220)의 슬라이드부(222)의 제2 방향의 슬라이딩 정도를 조절부(223)를 이용해 조절할 수 있기 때문에, 단위 마스크(100)에 제2 방향으로 주름이 발생되더라도 조절부(223)를 이용해 슬라이드부(222)의 슬라이딩 정도를 조절하여 단위 마스크(100)에 발생된 주름을 제거할 수 있다. 이는 마스크 조립체를 이용하는 현장에서 발생되는 예기치 않은 문제들로 인해 발생되는 단위 마스크(100)의 주름을 해결할 수 있는 요인으로서 작용된다.
이하, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제2 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체의 일 부분을 나타낸 도면이다. 도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ를 따른 단면도이다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임(202)의 단부 인장 유닛(220)은 슬라이드 가이드부(221), 슬라이드부(222), 조절부(223) 및 이탈 방지축(224)을 포함한다.
이탈 방지축(224)은 프레임 본체부(210)의 양 측벽(210b) 사이를 제2 방향으로 연결하고 있다. 이탈 방지축(224)은 슬라이드부(222)를 관통하고 있으며, 이탈 방지축(224)이 프레임 본체부(210)의 양 측벽(210b) 사이를 연결하고 있는 상태에서 슬라이드부(222)를 관통함으로써, 슬라이드부(222)가 제2 방향으로 슬라이딩할 때, 슬라이드부(222)가 슬라이드 가이드부(221)로부터 이탈되는 것이 방지된다.
이상과 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체는 단부 인장 유닛(220)이 이탈 방지축(224)을 포함함으로써, 슬라이드부(222)가 슬라이드 가이드부(221)로부터 이탈되는 것이 방지된다. 이로 인해 슬라이드부(222)를 제2 방향으로 슬라이딩할 때, 전체적인 기구의 신뢰성이 향상된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
단위 마스크(100), 프레임 본체부(210), 단부 인장 유닛(220)

Claims (8)

  1. 제1 방향으로 인장력이 가해진 단위 마스크의 상기 제1 방향 상의 양 단부를 지지하는 프레임에 있어서,
    상기 단위 마스크를 노출시키는 개구부를 형성하는 프레임 본체부; 및
    상기 프레임 본체부에 설치되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 단위 마스크의 상기 단부를 인장하는 단부 인장 유닛을 포함하고,
    상기 단위 마스크의 상기 단부는 제2 방향 상의 중앙 영역과 외곽 영역을 포함하고, 상기 중앙 영역은 상기 프레임 본체부의 표면에 용접되고, 상기 외곽 영역은 상기 단부 인장 유닛에 용접되고,
    상기 단위 마스크는 복수개이고,
    상기 프레임 본체부는 상기 프레임 본체부의 표면으로부터 함몰 형성되어 상기 복수개의 단위 마스크 각각의 사이에 위치하는 그루브(groove)를 포함하며,
    상기 단부 인장 유닛은 상기 그루브 내부에 위치하는 프레임.
  2. 제1항에서,
    상기 복수개의 단위 마스크는 상호 이웃하여 상기 제2 방향으로 배치되는 프레임.
  3. 삭제
  4. 제2항에서,
    상기 단부 인장 유닛은,
    상기 그루브의 표면으로부터 함몰 형성되어, 상기 제2 방향으로 연장된 슬라이드 가이드부; 및
    상기 슬라이드 가이드부에 장착되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩하며, 상기 단위 마스크의 상기 단부의 상기 제2 방향 상의 외곽 영역이 표면에 용접된 슬라이드부
    를 포함하는 프레임.
  5. 제4항에서,
    상기 단부 인장 유닛은,
    상기 슬라이드부를 관통하여 상기 그루브를 형성하는 상기 프레임 본체부의 양 측벽 사이를 상기 제2 방향으로 연결하는 이탈 방지축
    을 더 포함하는 프레임
  6. 제4항에서,
    상기 단부 인장 유닛은,
    상기 슬라이드부의 상기 제2 방향으로의 슬라이딩 정도를 조절하는 조절부
    를 더 포함하는 프레임.
  7. 제6항에서,
    상기 조절부는,
    상기 그루브를 형성하는 상기 프레임 본체부의 측벽에 설치되어 상기 슬라이드부 방향으로 돌출되어 있으며, 내부에 제1 톱니가 형성된 제1 결합부;
    상기 제1 결합부와 중첩되도록 상기 프레임 본체부의 측벽과 대향하는 상기 슬라이드부의 측벽에 설치되어 상기 프레임 본체부의 측벽 방향으로 돌출되어 있으며, 내부에 상기 제1 톱니와 대응하는 제2 톱니가 형성된 제2 결합부;
    상기 제1 톱니와 상기 제2 톱니 사이에서 상기 제1 톱니 및 상기 제2 톱니와 결합하는 톱니바퀴; 및
    상기 톱니바퀴의 중앙에 결합되어 상기 프레임 본체부 외부로 돌출된 회전축
    을 포함하는 프레임.
  8. 제1항, 제2항 및 제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 프레임; 및
    상기 제1 방향으로 인장력이 가해져 상기 양 단부가 상기 프레임에 지지된 하나 이상의 단위 마스크
    를 포함하는 마스크 조립체.
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