KR20190107244A - 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 인장된 상태로 배치되며, 증착물질이 통과하도록 적어도 하나 이상의 개구부가 형성된 마스크 시트와, 상기 마스크 시트와 상기 마스크 프레임 사이에 인장된 상태로 배치되며, 상기 마스크 시트의 증착 영역을 정의하는 차단부를 포함하고, 상기 차단부는, 메인바디부와, 상기 메인바디부로부터 돌출된 돌출부를 포함하며, 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나는 상기 메인바디부의 길이 방향과 수직한 방향인 폭이 다른 부분과 상이하다.

Description

마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법{Mask assembly, method for manufacturing the mask assembly and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
일반적으로 표시 장치의 제조 시 표시 영역에 정확하게 증착 물질을 증착하는 것이 필요하다. 이러한 경우 표시 장치를 제조하기 위하여 사용하는 마스크 조립체를 설계치와 동일하거나 최대한 유사하게 제조하는 것이 필요하다. 본 발명의 실시예들은 증착물질을 정밀하게 증착 가능한 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 인장된 상태로 배치되며, 증착물질이 통과하도록 적어도 하나 이상의 개구부가 형성된 마스크 시트와, 상기 마스크 시트와 상기 마스크 프레임 사이에 인장된 상태로 배치되며, 상기 마스크 시트의 증착 영역을 정의하는 차단부를 포함하고, 상기 차단부는, 메인바디부와, 상기 메인바디부로부터 돌출된 돌출부를 포함하며, 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나는 상기 메인바디부의 길이 방향과 수직한 방향인 폭이 다른 부분과 상이한 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나의 폭은 상기 메인바디부의 중앙 부분으로부터 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나 측으로 갈수록 작아질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차단부는, 상기 메인바디부에 배치되는 기준선을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 마스크 프레임에 차단부를 부착하는 단계와, 상기 차단부의 변형 여부를 측정한 후 상기 차단부의 양단 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 단계와, 상기 차단부 상에 마스크 시트를 배치하고, 상기 차단부에 상기 마스크 시트를 부착하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차단부는, 메인바디부와, 상기 메인바디부로부터 돌출된 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차단부의 양단 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 단계는, 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나의 일부를 제거할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 일부가 제거된 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나는 상기 메인바디부의 길이 방향과 수직한 방향인 폭이 다른 부분과 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 일부가 제거된 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나의 폭은 상기 메인바디부의 중앙 부분으로부터 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나 측으로 갈수록 작아질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차단부의 변형 여부는 상기 차단부의 기준선의 위치 변화를 근거로 판별할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차단부를 인장시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트를 인장시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 모재에 상기 차단부를 표시하는 단계와, 표시된 상기 차단부를 절단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차단부에 기준선을 표시하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 모재를 인장시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차단부 및 상기 마스크 시트 중 적어도 일부를 절단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계와, 상기 마스크 조립체 및 기판을 챔버 내부에 장입하고, 소스부로 증착물질을 상기 디스플레이 기판으로 공급하여 증착물질을 상기 디스플레이 기판에 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계는, 마스크 프레임에 차단부를 부착하는 단계와, 상기 차단부의 변형 여부를 측정한 후 상기 차단부의 양단 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 단계와, 상기 차단부 상에 마스크 시트를 배치하고, 상기 차단부에 상기 마스크 시트를 부착하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 일부가 제거된 상기 차단부의 양단 중 적어도 하나의 폭은 상기 메인바디부의 중앙 부분으로부터 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나 측으로 갈수록 작아질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계는, 상기 차단부 및 상기 마스크 시트 중 적어도 하나를 인장시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계는, 모재에 상기 차단부를 표시하는 단계와, 표시된 상기 차단부를 절단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계는, 상기 모재를 인장시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체는 차단부의 변형을 보정하는 것이 가능하다.
본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체의 제조방법은 설계치에 최대한 근접한 증착 영역을 형성하는 것이 가능하다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조방법은 정밀한 발광 영역을 갖는 표시 장치의 제조가 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 시트와 차단부에 배열에 따른 증착 영역을 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크 조립체의 제조순서를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 마스크 조립체의 제조순서를 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 1에 도시된 마스크 조립체의 제조순서를 보여주는 사시도이다.
도 6은 도 1에 도시된 마스크 조립체의 제조순서를 보여주는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 8의 A-A선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 마스크 시트와 차단부에 배열에 따른 증착 영역을 보여주는 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152), 차단부(153) 및 지지프레임(154)을 포함할 수 있다.
마스크 조립체(150)는 내부에 공간이 형성되도록 복수개의 프레임이 서로 연결될 수 있다. 일 실시예로써 마스크 조립체(150)는 중앙에 하나의 개구부가 형성된 액자 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(150)는 복수개의 개구부를 포함하는 창틀과 같은 격자 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(150)가 중앙에 하나의 개구부가 형성된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(152)는 적어도 2개 이상 구비될 수 있으며, 적어도 2개 이상의 마스크 시트(152)는 서로 이격되도록 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 제1 방향(예를 들면, 도 1의 Y축 방향)으로 배열될 수 있다.
마스크 시트(152)는 적어도 하나 이상의 개구부(152-1)를 포함할 수 있다. 특히 마스크 시트(152)에는 길이 방향으로 복수개의 개구부(152-1)가 형성될 수 있다. 이때, 복수개의 개구부(152-1)는 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있으며, 마스크 시트(152)의 전면에 형성될 수 있다.
차단부(153)는 마스크 프레임(151)과 마스크 시트(152) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 차단부(153)는 복수개 구비될 수 있으며, 마스크 프레임(151)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 복수개의 차단부(153)는 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 또한, 각 차단부(153)는 마스크 시트(152)의 길이 방향과 수직한 방향으로 배열될 수 있다.
이러한 차단부(153)는 서로 이격되도록 배치된 차단부(153) 사이는 증착 영역(S)이 정의될 수 있다. 특히 상기와 같은 증착 영역(S)은 직사각형 또는 정사각형을 제외한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 증착 영역(S)은 삼각형, 다각형, 타원, 원 등의 형상을 가질 수 있다.
상기와 같은 차단부(153)는 비대칭 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 차단부(153)는 일측면은 평평하게 형성될 수 있으며, 다른 측면은 돌출되도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 차단부(153)은 마스크 프레임(151)에 설치되는 메인바디부(153-1)와, 메인바디부(153-1)로부터 돌출되는 돌출부(153-2)를 포함할 수 있다.
메인바디부(153-1)는 직선 형태의 플레이트로 형성될 수 있다. 이때, 메인바디부(153-1)는 마스크 시트(152)의 길이 방향(예를 들면, 도 1의 X축방향)과 수직한 방향(또는 제1 방향)으로 배열될 수 있다. 이러한 메인바디부(153-1)의 양단 중 적어도 하나는 메인바디부(153-1)의 길이 방향에 대해서 수직한 방향으로 측정되는 메인바디부(153-1)의 폭이 메인바디부(153-1)의 다른 부분의 폭과 상이할 수 있다. 예를 들면, 메인바디부(153-1)의 양단 중 적어도 하나의 폭은 메인바디부(153-1)의 다른 부분의 폭보다 작게 형성될 수 있다. 이러한 경우 메인바디부(153-1)의 양단 중 적어도 하나의 폭은 메인바디부(153-1)의 중앙으로부터 메인바디부(153-1)의 양단 중 적어도 하나 측으로 갈수록 작아질 수 있다. 즉, 메인바디부(153-1)의 양단 중 적어도 하나의 모서리는 모따기된 상태일 수 있다. 이러한 메인바디부(153-1)의 양단 중 적어도 하나는 마스크 프레임(151)에 부착 후 제거될 수 있다. 이에 대해서는 하기에서 상세히 설명하기로 한다.
돌출부(153-2)는 메인바디부(153-1)로부터 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다. 이때, 돌출부(153-2)는 메인바디부(153-1)와 함께 증착 영역(S)의 형상의 테두리를 정의할 수 있다. 특히 돌출부(153-2)는 증착 영역(S)의 테두리 중 메인바디부(153-1)와 일정 각도를 형성하는 부분, 곡률지게 형성된 부분 등을 정의할 수 있다.
돌출부(153-2)는 증착 영역(S)에 배치된 복수개의 개구부(152-1) 중 일부를 차폐할 수 있다. 예를 들면, 돌출부(153-2)는 증착 영역(S)의 테두리(또는 경계)에 배열된 개구부(152-1)의 일부를 차폐할 수 있다. 이러한 경우 증착물질은 개구부(152-1)의 일부만을 통과할 수 있다.
상기와 같은 차단부(153)와 마스크 시트(152)는 서로 상이한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 차단부(153)은 오스테나이트계 스테인리스강(Austenitic Stainless Steels)을 포함할 수 있으며, 마스크 시트(152)는 니켈-철 합금(Invar)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 차단부(153)와 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)에 인장된 상태로 고정될 수 있다. 이때, 차단부(153)와 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)에 용접을 통하여 고정될 수 있다.
지지프레임(154)은 서로 인접하는 마스크 시트(152) 사이에 배치될 수 있다. 지지프레임(154)은 양단이 마스크 프레임(151)에 삽입되도록 설치될 수 있다. 이때, 지지프레임(154)은 마스크 시트(152) 사이의 간격을 차폐하고, 마스크 시트(152)를 지지함으로써 마스크 시트(152)의 쳐짐을 방지할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크 조립체의 제조순서를 보여주는 평면도이다. 도 4는 도 1에 도시된 마스크 조립체의 제조순서를 보여주는 사시도이다. 도 5는 도 1에 도시된 마스크 조립체의 제조순서를 보여주는 사시도이다. 도 6은 도 1에 도시된 마스크 조립체의 제조순서를 보여주는 사시도이다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152), 차단부(153) 및 지지프레임(154)을 제조하여 준비할 수 있다. 이때, 마스크 프레임(151)은 상기에 설명한 바와 같이 복수개의 프레임을 서로 연결하여 복수개의 프레임을 용접함으로써 제조할 수 있다.
마스크 시트(152)는 적어도 한 개 이상의 개구부(152-1)를 관통하도록 형성할 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 박판 형태로 형성될 수 있으며, 개구부(152-1)는 마스크 시트(152)의 중앙 부분에 배치될 수 있다. 특히 개구부(152-1)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 개구부(152-1)는 마스크 시트(152)의 길이 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있으며, 복수개의 개구부(152-1)는 서로 이격되도록 배열될 수 있다.
차단부(153)는 모재(1)를 통하여 제조할 수 있다. 구체적으로 차단부(153)는 모재(1)를 인장시킨 상태에서 모재(1)에 차단부(153)의 외곽선을 표시할 수 있다. 또한, 차단부(153) 내부에 기준선(153-3)을 표시할 수 있다. 이때, 차단부(153)의 외곽선 및 기준선(153-3)의 표시는 모재(1)에 레이저, 잉크 등을 통하여 수행될 수 있다.
상기와 같이 차단부(153) 및 기준선(153-3)을 그리는 것이 완료되면, 차단부(153)의 외곽선을 따라 모재(1)로부터 차단부(153)를 분리할 수 있다. 이러한 경우 모재(1)에 가해지는 인장력으로 인하여 모재(1)와 차단부(153)가 변형될 수 있다. 특히 차단부(153)는 돌출부(153-2)로 인하여 전체 형상이 비대칭 형상이 됨으로써 차단부(153)의 적어도 일부분이 일측으로 돌출되도록 변형될 수 있다. 이러한 경우 모재(1)로부터 차단부(153)가 분리되면, 모재(1)에 가해지는 인장력으로 인하여 차단부(153)에는 잔류응력이 남음으로써 차단부(153)가 일직선이 되지 않고 일부가 변형될 수 있다. 이때, 차단부(153)의 변형된 부분은 차단부(153)의 길이 방향에 대해서 수직한 방향으로 돌출될 수 있다. 특히 이러한 경우 기준선(153-3)이 일직선을 형성하지 않을 수 있다. 즉, 기준선(153-3) 중 차단부(153)의 차단부(153)의 변형된 부분에 배치된 기준선(153-3) 부분이 다른 부분보다 돌출될 수 있다.
상기와 같이 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152), 차단부(153) 및 지지프레임(154)이 준비되면, 마스크 프레임(151) 상에 차단부(153)를 배치한 후 차단부(153)를 인장시킨 상태로 배열할 수 있다. 이때, 차단부(153)의 기준선(153-3)의 위치가 변한 곳이 있는지 확인할 수 있다.
구체적으로 별도로 구비된 검사비젼부(V) 또는 센서(미도시)를 통하여 기준선(153-3)을 감지할 수 있다. 이때, 검사비젼부(V) 또는 상기 센서를 통하여 감지된 기준선(153-3)이 기 설정된 설정기준선(미도시)과 동일한지 여부, 상기 설정기준선으로부터 기준선(153-3)이 돌출된 거리 등을 판별할 수 있다. 이러한 경우 상기 설정기준선은 일직선일 수 있다.
상기와 같이 기준선(153-3)과 상기 설정기준선을 비교한 후 상기 설정기준선으로부터 돌출된 기준선(153-3)까지의 거리를 차단부(153) 일부의 변형정도로 판단할 수 있다. 이때, 기준선(153-3)이 상기 설정기준선으로부터 돌출된 방향도 판단할 수 있다. 예를 들면, 기준선(153-3)이 차단부(153)의 길이 방향을 기준으로 우측 또는 좌측으로 돌출될 수 있다. 이러한 경우 차단부(153)는 기준선(153-3)이 돌출된 부분에서 기준선(153-3)이 돌출된 방향으로 변형된 것으로 판단할 수 있다.
상기와 같이 차단부(153)의 변형을 판단한 후 변형이 발생한 부분과 반대 방향의 메인바디부(153-1)의 모서리 일부를 제거할 수 있다. 예를 들면, 차단부(153)는 기준선(153-3)을 기준으로 두개의 영역으로 구분될 수 있다. 구체적으로 차단부(153)는 기준선(153-3)으로 구획되며, 서로 대향하는 제1 영역(S1)과 제2 영역(S2)을 포함할 수 있다. 이때, 차단부(153)의 변형된 부분이 기준선(153-3)으로부터 제1 영역(S1)으로 변형된 경우 제2 영역(S2)에 존재하는 메인바디부(153-1)의 모서리 일부를 제거할 수 있다. 다른 실시예로써 차단부(153)의 변형된 부분이 제2 영역으로 돌출된 경우 제1 영역(S1)에 존재하는 메인바디부(153-1)의 모시리 일부를 제거할 수 있다. 이러한 경우 모서리가 제거된 메인바디부(153-1) 부분과 변형된 차단부(153) 부분은 기준선(153-3)을 기준으로 서로 반대 영역에 존재할 수 있다. 이때, 모서리가 제거된 메인바디부(153-1) 부분의 폭은 메인바디부(153-1)의 중앙으로부터 메인바디부(153-1)의 양단 중 하나로 갈수록 상이해질 수 있다. 구체적으로 모서리가 제거된 메인바디부(153-1) 부분의 폭은 메인바디부(153-1)의 중앙으로부터 메인바디부(153-1)의 양단 중 하나로 갈수록 순차적으로 작아질 수 있다. 이러한 경우 제거된 메인바디부(153-1)의 모서리 부분은 삼각형 형상을 가질 수 있다.
상기와 같이 메인바디부(153-1)의 모서리 일부가 제거되는 경우 메인바디부(153-1)는 길이 방향으로 인장력이 가해지면, 메인바디부(153-1)의 제1 영역(S1)과 제2 영역(S2)은 서로 상이하게 변형될 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(S1)은 제2 영역(S2)보다 변형이 많이 발생할 수 있다. 특히 제1 영역(S1)의 양단은 제2 영역(S2)의 양단보다 인장력을 위하여 사용하는 클램프(C)에 더 많은 부분이 파지될 수 있다. 이러한 경우 제1 영역(S1)은 제2 영역(S2)보다 인장력이 더 많이 가해질 수 있다. 이러한 인장력의 차이로 인하여 제1 영역(S1)과 제2 영역(S2)의 변형이 서로 상이해질 수 있다. 이때, 제1 영역(S1)과 제2 영역(S2)의 변형 차이로 인하여 메인바디부(153-1)는 상기와 반대로 변형될 수 있다. 구체적으로 메인바디부(153-1)의 변형된 부분은 상기에서와 반대로 제2 영역(S2) 측으로 변형될 수 있다. 따라서 메인바디부(153-1)는 모재(1)의 인장 시 발생하였던 변형을 상쇄하도록 변형됨으로써 최초 설계된 형상과 유사해질 수 있다. 즉, 기준선(153-3)이 거의 일직선이 될 수 있으며, 상기 설정기준선과 동일 또는 유사해질 수 있다.
상기와 같이 차단부(153)가 준비되면, 차단부(153)를 마스크 프레임(151)에 고정시킬 수 있다. 이때, 차단부(153)는 용접 등을 통하여 마스크 프레임(151)에 고정될 수 있다.
차단부(153) 상에 마스크 시트(152)를 인장시킨 상태에서 배열시킬 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 마스크 시트(152)는 차단부(153)의 길이 방향으로 일렬로 배열될 수 있다. 또한, 각 마스크 시트(152)는 각 차단부(153)와 직각을 형성하도록 배열될 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151) 및 차단부(153) 중 적어도 하나에 용접시킬 수 있다. 또한, 인접하는 마스크 시트(152) 사이에 지지프레임(154)을 배치한 후 지지프레임(154)을 마스크 프레임(151)에 고정시킬 수 있다.
이후 메인바디부(153-1)의 일부와 마스크 시트(152)의 일부를 절단하여 제거할 수 있다. 예를 들면, 모서리 부분이 제거된 메인바디부(153-1)의 양단을 절단할 수 있으며, 마스크 시트(152)의 양단을 제거할 수 있다. 이러한 경우 메인바디부(153-1)이 양단 및 마스크 시트(152)의 양단은 마스크 프레임(151)의 테두리와 동일하거나 마스크 프레임(151) 상에 배치될 수 있다.
상기와 같이 마스크 조립체(150)가 제조하는 경우 차단부(153)는 인접하는 차단부(153)와 함께 마스크 시트(152)의 개구부(152-1) 중 일부를 차폐시킴으로써 증착 영역(미도시)을 형성할 수 있다.
따라서 마스크 조립체(150)는 차단부(153)의 제조 시 발생할 수 있는 차단부(153)의 변형을 상쇄시킴으로써 차단부(153)의 변형을 최소화시킬 수 있다. 또한, 마스크 조립체(150)는 상기 증착 영역이 설계된 것과 동일 또는 유사하게 형성하는 것이 가능하다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 7을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 제1 지지부(120), 제2 지지부(130), 마스크 조립체(150), 소스부(140), 자기력부(160), 비젼부(170) 및 압력조절부(180)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개구될 수 있다. 이때, 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트밸브(110-1)가 설치될 수 있다. 이러한 경우 게이트밸브(110-1)의 작동에 따라서 챔버(110)의 개구된 부분은 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
제1 지지부(120)는 디스플레이 기판(D)을 안착하여 지지할 수 있다. 이때, 제1 지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정된 브라켓 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 제1 지지부(120)는 디스플레이 기판(D)이 안착되며, 챔버(110) 내부에서 선형 운동 가능한 셔틀 형태인 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정되는 브라켓 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)가 안착될 수 있다. 이때, 제2 지지부(130)는 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이때, 제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인유닛 등을 구비할 수 있다.
소스부(140)는 마스크 조립체(150)와 대향하도록 배치될 수 있다. 이때, 소스부(140)에는 증착 물질이 수납될 수 있으며, 증착 물질에 열을 가함으로써 증착 물질을 증발시키거나 승화시킬 수 있다.
자기력부(160)는 디스플레이 기판(D)과 대향하도록 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 자기력부(160)는 마스크 시트(152)에 자기력을 가하여 디스플레이 기판(D) 측으로 마스크 조립체(150)를 가력할 수 있다. 특히 자기력부(160)는 마스크 시트(152)의 쳐짐을 방지할 뿐만 아니라 마스크 시트(152)를 디스플레이 기판(D)에 인접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(160)는 마스크 시트(152)와 디스플레이 기판(D) 사이의 간격을 마스크 시트(152)의 길이 방향에 대해서 균일하게 유지시킬 수 있다.
비젼부(170)는 챔버(110)에 설치되며, 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(170)에서 촬영된 이미지를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있으며, 상기 이미지를 근거로 제2 지지부(130)에서 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다.
압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되는 연결배관(181)과 연결배관(181)에 설치되는 펌프(182)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(182)의 작동에 따라서 연결배관(181)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(110) 내부의 기체를 연결배관(181)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)는 하기에서 설명할 표시 장치(미도시)를 제조하는데 사용될 수 있다. 구체적으로 압력조절부(180)가 챔버(110) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 만들면, 게이트밸브(110-1)가 작동하여 챔버(110)의 개구된 부분을 개방할 수 있다.
이후 외부에서 디스플레이 기판(D)을 챔버(110) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 다양한 방식으로 챔버(110)로 장입될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 기판(D)은 챔버(110) 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 지지부(120)가 셔틀 형태로 형성되는 경우 제1 지지부(120)가 챔버(110) 내부에서 챔버(110) 외부로 반출된 후 챔버(110) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 디스플레이 기판(D)을 제1 지지부(120)에 안착시키고 제1 지지부(120)가 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 챔버(110) 외부에 배치된 로봇암을 통하여 디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 외부로부터 챔버(110) 내부로 장입하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 조립체(150)는 상기와 같이 챔버(110) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(150)는 디스플레이 기판(D)과 동일 또는 유사하게 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(150)는 챔버(110) 내부에 배치된 상태에서 디스플레이 기판(D)만 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 내부로 장입되면, 디스플레이 기판(D)은 제1 지지부(120)에 안착할 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 특히 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)의 제1 얼라인마크 및 마스크 조립체(150)의 제2 얼라인마크를 촬영할 수 있다.
상기와 같이 촬영된 제1 얼라인마크와 제2 얼라인마크를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(100)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있다.
디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치 파악이 완료되면, 제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
이후 소스부(140)가 작동하여 증착 물질을 마스크 조립체(150) 측으로 공급하고, 복수개의 개구부(152-1)를 통과한 증착 물질은 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 펌프(182)는 챔버(110) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(110) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 증착 물질은 증착 영역(미도시)에 배치된 개구부를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 마스크 조립체(150)는 상기에서 설명한 바와 같이 설계된 증착 영역과 동일 또는 유사한 상기 증착 영역을 제공할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판(D)에 설계된 형태와 동일 또는 유사한 영역에 증착 물질을 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100)는 정밀한 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 8은 도 7에 도시된 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 9는 도 8의 A-A선을 따라 취한 단면도이다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D), 디스플레이 기판(D) 상에 배치된 중간층(28-2)과, 중간층(28-2) 상에 배치된 대향 전극(28-3)을 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(20)는 대향 전극(28-3)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 을 포함할 수 있다.
디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트렌지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28-1)을 포함할 수 있다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로써 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
이때, 상기와 같은 중간층(28-2)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다.
상기와 같은 중간층(28-2)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 특히 복수개의 중간층(28-2)은 직사각형 정사각형을 제외한 형상의 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
이러한 복수개의 중간층(28-2) 중 일부의 면적은 복수개의 중간층(28-2) 중 다른 일부의 면적과 상이해질 수 있다. 예를 들면, 복수개의 중간층(28-2) 중 일부의 면적은 복수개의 중간층(28-2)의 다른 일부의 면적보다 작게 형성될 수 있다. 이러한 복수개의 중간층(28-2) 중 다른 중간층(28-2)보다 면적이 작은 중간층(28-2)은 상기에서 설명한 차단부(미도시)의 경계에서 형성될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 부화소는 하나의 중간층(28-2)을 포함할 수 있다. 이때, 하나의 부화소를 형성하는 경우 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 중간층(28-2)을 형성할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 직사각형 및 정사각형을 제외한 형상을 갖는 표시 영역을 구현하는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치(20)는 설계된 표시 영역과 동일 또는 유사한 표시 영역이 구현될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 모재 152: 마스크 시트
20: 표시 장치 153: 차단부
100: 표시 장치의 제조장치 154: 지지프레임
110: 챔버 160: 자기력부
120: 제1 지지부 170: 비젼부
130: 제2 지지부 180: 압력조절부
140: 소스부 181: 연결배관
150: 마스크 조립체 182: 펌프
151: 마스크 프레임

Claims (20)

  1. 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 인장된 상태로 배치되며, 증착물질이 통과하도록 적어도 하나 이상의 개구부가 형성된 마스크 시트; 및
    상기 마스크 시트와 상기 마스크 프레임 사이에 인장된 상태로 배치되며, 상기 마스크 시트의 증착 영역을 정의하는 차단부;를 포함하고,
    상기 차단부는,
    메인바디부; 및
    상기 메인바디부로부터 돌출된 돌출부;를 포함하며,
    상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나는 상기 메인바디부의 길이 방향과 수직한 방향인 폭이 다른 부분과 상이한 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나의 폭은 상기 메인바디부의 중앙 부분으로부터 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나 측으로 갈수록 작아지는 마스크 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 차단부는,
    상기 메인바디부에 배치되는 기준선;을 더 포함하는 마스크 조립체.
  4. 마스크 프레임에 차단부를 부착하는 단계;
    상기 차단부의 변형 여부를 측정한 후 상기 차단부의 양단 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 단계; 및
    상기 차단부 상에 마스크 시트를 배치하고, 상기 차단부에 상기 마스크 시트를 부착하는 단계;를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 차단부는,
    메인바디부; 및
    상기 메인바디부로부터 돌출된 돌출부;를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 차단부의 양단 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 단계는,
    상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 마스크 조립체의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    일부가 제거된 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나는 상기 메인바디부의 길이 방향과 수직한 방향인 폭이 다른 부분과 상이한 마스크 조립체의 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    일부가 제거된 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나의 폭은 상기 메인바디부의 중앙 부분으로부터 상기 메인바디부의 양단 중 적어도 하나 측으로 갈수록 작아지는 마스크 조립체의 제조방법.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 차단부의 변형 여부는 상기 차단부의 기준선의 위치 변화를 근거로 판별하는 마스크 조립체의 제조방법.
  10. 제 4 항에 있어서,
    상기 차단부를 인장시키는 단계;를 더 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  11. 제 4 항에 있어서,
    상기 마스크 시트를 인장시키는 단계;를 더 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  12. 제 4 항에 있어서,
    모재에 상기 차단부를 표시하는 단계; 및
    표시된 상기 차단부를 절단하는 단계;를 더 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 차단부에 기준선을 표시하는 단계;를 더 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 모재를 인장시키는 단계;를 더 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  15. 제 4 항에 있어서,
    상기 차단부 및 상기 마스크 시트 중 적어도 일부를 절단하는 단계;를 더 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  16. 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체 및 디스플레이 기판을 챔버 내부에 장입하고, 소스부로 증착물질을 상기 디스플레이 기판으로 공급하여 증착물질을 상기 디스플레이 기판에 증착시키는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계는,
    마스크 프레임에 차단부를 부착하는 단계;
    상기 차단부의 변형 여부를 측정한 후 상기 차단부의 양단 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 단계; 및
    상기 차단부 상에 마스크 시트를 배치하고, 상기 차단부에 상기 마스크 시트를 부착하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    일부가 제거된 상기 차단부의 양단 중 적어도 하나의 폭은 상기 차단부의 중앙 부분으로부터 상기 차단부의 양단 중 적어도 하나 측으로 갈수록 작아지는 표시 장치의 제조방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계는,
    상기 차단부 및 상기 마스크 시트 중 적어도 하나를 인장시키는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계는,
    모재에 상기 차단부를 표시하는 단계; 및
    표시된 상기 차단부를 절단하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체를 제조하여 준비하는 단계는,
    상기 모재를 인장시키는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
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