KR102218656B1 - 마스크 조립체 및 이의 제조 방법 - Google Patents

마스크 조립체 및 이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

마스크 조립체 및 이의 제조 방법이 제공된다.
일례로, 마스크 조립체는 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및 상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되, 상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고, 상기 복수의 단위 마스크 중 적어도 하나는 양 단부에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 향해 일측으로 돌출된 일측 돌출부 및 타측으로 돌출된 타측 돌출부 중 적어도 하나를 포함한다.

Description

마스크 조립체 및 이의 제조 방법{MASK ASSEMBLY AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}
본 발명은 마스크 조립체 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
평판 표시 장치로서 액정 표시 장치(LCD)와 유기 발광 표시 장치(OLED)가 널리 사용되고 있다. 평판 표시 장치는 특정 패턴의 금속층을 포함하며, 유기 발광 표시 장치의 경우 화소마다 특정 패턴의 유기 발광층을 형성하고 있다. 금속층과 유기 발광층을 형성하는 방법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
마스크 조립체는 금속층 또는 유기 발광층의 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 마스크와, 마스크를 지지하는 마스크 프레임으로 구성된다. 분할 마스크 방식에서, 마스크는 띠 모양으로 이루어진 복수의 단위 마스크로 분할되고, 각각의 단위 마스크는 길이 방향으로 인장된 상태에서 마스크 프레임에 용접으로 고정된다. 분할 마스크 방식은 양품을 선별하여 사용할 수 있고 수리가 용이하다는 장점이 있다.
단위 마스크는 길이 방향으로 인장되어 마스크 프레임에 고정될 수 있다. 그런데, 이 경우 인장 방향과 직교하는 방향, 즉 폭 방향으로 수축 현상이 발생하여 마스크 전체에 주름이 발생할 수 있다. 이렇게 마스크에 발생하는 주름, 즉 웨이브는 단위 마스크의 폭이 커질수록 심해진다.
또한, 단위 마스크의 양측 단부는 클램프에 고정되어 인장되는데, 단위 마스크 자체는 얇은 금속 판재로 형성되므로 클램프가 잡아당기는 힘을 단위 마스크가 견디지 못해 클램프에 고정된 단부를 중심으로 웨이브가 발생할 수 있다. 단위 마스크의 단부에 생긴 웨이브는 개구부가 형성된 단위 마스크의 중심부까지 확장되어 증착 불량을 유발할 수 있다.
또한, 단위 마스크는 마스크 프레임에 용접 등을 이용하여 고정되는데, 이때 용접 포인트 주위로 단위 마스크를 부분적으로 당기는 힘이 발생하여 용접 포인트 주위로 단위 마스크에 웨이브가 발생할 수 있다. 단위 마스크의 용접 포인트 주위에 생긴 웨이브는 단위 마스크의 중심부까지 확장되어 증착 불량을 유발할 수 있다.
이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 단위 마스크에 웨이브가 발생하는 것을 억제하여 박막의 증착 품질을 높일 수 있는 마스크 조립체를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 및 단위 마스크에 웨이브가 발생하는 것을 억제하여 박막의 증착 품질을 높일 수 있는 마스크 조립체의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및 상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되, 상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고, 상기 복수의 단위 마스크 중 적어도 하나는 양 단부에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 향해 일측으로 돌출된 일측 돌출부 및 타측으로 돌출된 타측 돌출부 중 적어도 하나를 포함한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체는 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및 상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되, 상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에서 가장 외측 부분의 폭이 중앙 부분의 폭보다 크다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조 방법은 복수의 인장 유닛이 설치되는 마스크 프레임과, 양 단부에서 제1 방향으로 돌출되는 클램핑부가 형성되고 상기 양 단부에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 돌출되는 돌출부가 형성되는 복수의 단위 마스크를 준비하는 마스크 프레임 및 복수의 단위 마스크 준비 단계; 상기 마스크 프레임 상에서 상기 복수의 단위 마스크 중 어느 한 단위 마스크의 클램핑부를 상기 제1 방향으로 인장시키는 클램핑부 인장 단계; 상기 제1 방향으로 인장시킨 단위 마스크의 돌출부를 상기 인장 유닛의 이동 부재에 고정시키는 돌출부 고정 단계; 상기 제2 방향을 따라 상기 이동 부재를 이동시켜 상기 단위 마스크의 돌출부를 상기 제2 방향으로 인장시키는 돌출부 인장 단계; 상기 제2 방향으로 인장시킨 단위 마스크의 양 단부를 상기 마스크 프레임에 고정하는 양 단부 고정 단계; 및 상기 양 단부가 고정된 단위 마스크의 클램핑부를 제거하는 분리 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 제1 방향으로 인장함에 의해 웨이브가 발생된 복수의 단위 마스크 각각을 제2 방향으로 인장시킴으로써 웨이브를 효과적으로 제거할 수 있다. 이에 따라 웨이브에 의한 복수의 단위 마스크 각각의 패턴 개구부 변형을 억제하여 박막의 증착 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 복수의 단위 마스크 중 적어도 어느 하나의 양 단부에서 제2 방향으로 돌출되는 돌출부를 인장 유닛에 고정시킴으로써, 마스크 조립체의 형성이 완료된 이후에도 단위 마스크가 제2 방향으로 인장된 상태를 안정적으로 유지시킬 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 2는 도 1의 마스크 조립체를 형성하기 위해 준비되는 마스크 프레임과 복수의 단위 마스크의 사시도이다.
도 3은 도 1의 'A' 부분을 나타낸 확대 사시도이다.
도 4는 도 1의 'B' 부분을 나타낸 확대 사시도이다.
도 5는 도 1에 도시된 인장 유닛의 단면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 인장 유닛의 부분 사시도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 마스크 프레임의 평면도들이다.
도 9는 도 1의 마스크 조립체의 제조 방법을 나타내는 순서도이다
도 10은 도 9의 돌출부 고정 단계를 나타낸 부분 사시도이다.
도 11은 도 9의 돌출부 인장 단계를 나타낸 부분 사시도이다.
도 12는 도 9의 양 단부 고정 단계를 나타낸 부분 사시도이다.
도 13은 도 9의 분리 단계를 나타낸 부분 사시도이다.
도 14는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 15는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이고, 도 2는 도 1의 마스크 조립체를 형성하기 위해 준비되는 마스크 프레임과 복수의 단위 마스크의 사시도이고, 도 3은 도 1의 'A' 부분을 나타낸 확대 사시도이고, 도 4는 도 1의 'B' 부분을 나타낸 확대 사시도이고, 도 5는 도 1에 도시된 인장 유닛의 단면도이고, 도 6은 도 1에 도시된 인장 유닛의 부분 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(100)는 마스크 프레임(110), 복수의 단위 마스크(120), 복수의 인장 유닛(130) 및 복수의 용접부(140)를 포함한다.
마스크 프레임(110)은 마스크 조립체(100)의 외곽 틀을 형성하는 것으로, 중앙에 프레임 개구(111)가 형성된 사각띠 형상을 가질 수 있다. 이러한 마스크 프레임(110)은 복수의 단위 마스크(120)를 지지하며, 용접에 의해 복수의 단위 마스크(120)와 결합할 수 있다. 또한, 도 2를 참조하면 마스크 프레임(110)은 복수의 단위 마스크(120)가 용접되는 변에 형성되는 복수의 오목 홈(112)을 포함할 수 있다. 오목 홈(112)은 인장 유닛(130)이 설치되는 공간을 제공한다. 여기서, 마스크 프레임(110) 중 오목 홈(112)이 형성되지 않는 표면(113)에는 복수의 단위 마스크(120)가 용접에 의해 고정된다. 마스크 프레임(110)은 강성이 큰 금속 재료, 예를 들어 스테인리스 강 등의 금속으로 형성될 수 있다.
복수의 단위 마스크(120) 각각은 띠 모양으로서 소정의 길이와 폭을 가진다. 본 명세서에서, 복수의 단위 마스크(120) 각각의 길이 방향을 제1 방향(X)이라 정의하고, 복수의 단위 마스크(120) 각각의 폭 방향을 제2 방향(Y)으로 정의하기로 한다. 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)이 이루는 각은 수직일 수 있다. 복수의 단위 마스크(120)는 제1 방향(X)으로 연장된 형상을 갖는다. 복수의 단위 마스크(120) 각각은 양 단부가 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)을 따라 인장력이 가해진 상태에서 마스크 프레임(110)에 용접으로 고정되어 마스크 프레임(110)에 지지된다. 즉, 복수의 단위 마스크(120)는 제1 방향(X)뿐만 아니라 제2 방향(Y)으로도 인장된다. 따라서, 제1 방향(X) 인장에 의해 유발될 수 있는 웨이브가 제2 방향(Y)으로의 인장으로 방지되거나 완화될 수 있다. 복수의 단위 마스크(120)는 제2 방향(Y)을 따라 마스크 프레임(110) 상에 나란히 배열된다.
복수의 단위 마스크(120) 각각은 복수의 패턴 개구부(OP)를 포함한다. 복수의 패턴 개구부(OP)는 제1 방향(X)을 따라 서로간 거리를 두고 나란히 위치한다. 복수의 패턴 개구부들(OP)은 프레임 개구(111)에 배치될 수 있다. 각 패턴 개구부(OP)는 복수의 미세 개구로 이루어지며, 복수의 미세 개구 각각은 복수의 단위 마스크(120) 상에 배치되는 기판(미도시)에 증착하고자 하는 박막 형상에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 증착 공정에서 증착 물질이 패턴 개구부(OP)를 통해 기판 상에 증착되어 원하는 모양의 박막(예를 들어, 유기 발광층 또는 금속층 등)이 형성될 수 있다.
하나의 패턴 개구부(OP)는 하나의 평판 표시 장치(예를 들어 유기 발광 표시 장치)에 대응할 수 있다. 이 경우 하나의 마스크 조립체(100)를 이용한 단일 공정으로 복수의 평판 표시 장치에 해당하는 패턴들을 동시에 증착할 수 있다. 즉, 마스크 조립체(100)는 하나의 원장 기판(마더 기판)에 대응하며, 원장 기판 상에 복수의 평판 표시 장치에 해당하는 패턴들을 동시에 형성할 수 있다.
복수의 단위 마스크(120)는 제1 단위 마스크(121), 제2 단위 마스크(122), 제3 단위 마스크(123), 제4 단위 마스크(124), 제5 단위 마스크(125) 및 제 6 단위 마스크(125)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 복수의 단위 마스크(120)가 6개인 것으로 도시되었으나 6개보다 적거나 많을 수 있으며, 이에 복수의 단위 마스크(120)의 개수에 대해 한정하는 것은 아니다.
마스크 프레임(110)에 설치되기 이전, 각 단위 마스크(121-126)의 양 단부에는 도 2에 도시된 바와 같이 제1 방향(X)으로 인장력을 가하는 클램프(미도시)에 결합되기 위해 제1 방향(X)으로 돌출된 클램핑부(C)가 형성될 수 있다. 각 단위 마스크(121-126)를 마스크 프레임(110)에 설치한 후, 클램핑부(C)는 절단되어 제거될 수 있다.
또한, 마스크 프레임(110)에 설치되기 이전, 각 단위 마스크(121-126)는 양 단부에서 제2 방향(Y)의 일측 및 타측으로 돌출된 돌출부(P)를 포함할 수 있다. 각 단위 마스크(121-126)의 양 단부에서 제2 방향(Y)을 향해 일측으로 돌출된 돌출부를 일측 돌출부(P)라 정의하고, 타측으로 돌출된 돌출부를 타측 돌출부(P)라 정의하기로 한다. 마스크 프레임(110)에 설치된 이후, 복수의 단위 마스크(120) 중 적어도 하나는 양 단부에 일측 돌출부(P) 및 타측 돌출부(P) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 돌출부(P)는 인장 유닛(130)에 고정되어, 마스크 조립체(100)의 형성이 완료된 이후에도 단위 마스크(120)가 제2 방향(Y)으로 인장된 상태를 안정적으로 유지시킬 수 있다.
각 단위 마스크(121-126)의 돌출부(P)의 일부는 각 단위 마스크(121-126)가 마스크 프레임(110)에 설치된 이후, 제거될 수 있다. 예를 들어, 이웃하는 제3 단위 마스크(123) 및 제4 단위 마스크(124)가 마스크 프레임(110)에 설치될 경우, 제3 단위 마스크(123)의 양 단부에서 제2 방향(Y)의 타측(제4 단위 마스크 방향)으로 돌출된 돌출부(P)와 제4 단위 마스크(124)의 양 단부에서 제2 방향(Y)의 일측(제3 단위 마스크 방향)으로 돌출된 돌출부(P)가 상호 중첩될 수 있다. 이들은 하나의 인장 유닛(130)을 공통적으로 이용하여 인장되기 때문에, 서로 이웃하는 단위 마스크들 사이의 돌출부들(P) 중 적어도 어느 하나는 인장 유닛(130)에 의해 인장된 후에 절단될 수 있다. 도 1에서는 제1 내지 제5 단위 마스크(121-125)의 일측 돌출부(P)가 남아 있고, 타측 돌출부(P)가 제거된 경우가 예시되어 있다. 예를 들어, 제3 단위 마스크(123)가 일 단부에 일측 돌출부(P)를 포함하는 경우 제4 단위 마스크(124)는 일 단부에 타측 돌출부(P)를 비포함하고, 제3 단위 마스크(123)가 일 단부에 타측 돌출부(P)를 포함하는 경우 제4 단위 마스크(124)는 일측 돌출부(P)를 비포함할 수 있다. 한편, 최외곽에 위치하는 제1 단위 마스크(121)(또는 제1 최외곽 단위 마스크라 함) 및 제6 단위 마스크(122)(또는 제2 최외곽 단위 마스크라 함) 중 적어도 하나는 일 단부에 일측 돌출부(P) 및 타측 돌출부(P)를 모두 포함할 수 있다. 예를 들어, 제6 단위 마스크(126)는 타측 돌출부(P)가 다른 단위 마스크의 돌출부와 중첩되지 않기 때문에, 마스크 프레임(110)에 설치된 이후에도 일측 돌출부(P)뿐만 아니라, 타측 돌출부(P)도 잔류할 수 있다. 돌출부의 돌출 거리는 이웃하는 단위 마스크의 이격거리와 같거나 작을 수 있다.
복수의 인장 유닛(130)은 복수의 단위 마스크(120)의 양 단부가 고정되는 마스크 프레임(110)의 두변에 설치되며, 제2 방향(Y)을 따라 서로간 거리를 두고 위치한다. 복수의 인장 유닛(130) 각각은 정해진 공간 안에서 제2 방향(Y)을 따라 이동하여 복수의 단위 마스크(120)의 양 단부, 구체적으로 도 2에 도시된 복수의 단위 마스크(120) 각각의 돌출부(P)를 제2 방향(Y)으로 인장시켜 복수의 단위 마스크(120) 각각이 제1 방향(Y)으로 인장함으로써 유발되는 웨이브를 완화할 수 있다. 복수의 인장 유닛(130) 각각은 복수의 단위 마스크(120) 각각의 돌출부(P)와 용접에 의해 고정될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 복수의 인장 유닛(130) 각각은 정해진 공간 안에서 제2 방향(Y)을 따라 이동하는 이동 부재(131)를 포함할 수 있다. 이동 부재(131)는 복수의 단위 마스크(120) 각각의 돌출부(P)에 실질적으로 고정되어 복수의 단위 마스크(120) 각각의 돌출부(P)를 제2 방향(Y)으로 인장시켜 복수의 단위 마스크(120) 각각에 발생된 웨이브를 제거시킨다. 제2 방향(Y) 인장 후 돌출부(P)의 일부는 복수의 단위 마스크(120)로부터 제거될 수 있다. 돌출부(P) 및 복수의 인장 유닛(130)을 이용한 복수의 단위 마스크(120)의 웨이브 제거 과정에 대해서는 후술하는 마스크 조립체(100)의 제조 방법에서 상세하게 설명한다.
복수의 인장 유닛(130)은 복수의 단위 마스크(120) 각각의 양측(좌우측)에 위치한다. 이때, 서로 이웃한 두 개의 단위 마스크들(예를 들어, 121, 122)이 하나의 인장 유닛(130)에 순차적으로 고정될 수 있으므로, 서로 이웃한 두 개의 단위 마스크들(예를 들어 121, 122) 사이에 하나의 인장 유닛(130)이 위치한다.
이에 따라, 복수의 인장 유닛(130)은 복수의 단위 마스크(120) 사이 공간들과 최외곽 단위 마스크(121, 126)의 외측 공간에 대응하여 위치한다. 즉 복수의 단위 마스크(120)의 개수를 n이라 할 때, 마스크 프레임(110)의 한 변에는 n+1개의 인장 유닛(30)이 제공된다. 이웃한 두 개의 단위 마스크들(예를 들어 121, 122) 사이에 하나의 인장 유닛(130)이 위치함으로써 불필요한 공간 확대를 최소화하고, 복수의 단위 마스크(120) 사이의 간격을 줄일 수 있다. 이에 따라, 하나의 마스크 조립체(100)에 구비되는 패턴 개구부(OP)의 개수를 늘려 하나의 원장 기판(마더 기판)에 형성할 수 있는 패턴 수를 늘릴 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 복수의 인장 유닛(130) 각각은 오목 홈(112)에 형성된 가이드 레일(132)과, 가이드 레일(132)에 결합된 이동 부재(131)와, 이동 부재(131)의 움직임을 제어하는 이동 제어부(133)를 포함할 수 있다.
가이드 레일(132)은 오목 홈(112)의 바닥에서 제2 방향(Y)과 나란하게 형성되며, 홈 또는 돌기의 형태로 제공된다. 도 5에서는 오목 홈(112)의 바닥에 홈으로 이루어진 두 개의 가이드 레일(132)이 형성된 경우를 예로 들어 도시하였으나, 가이드 레일(132)의 개수와 형태는 도시한 예로 한정되지 않는다.
이동 부재(131)는 가이드 레일(132)에 결합되어 오목 홈(112) 내에서 제2 방향(Y)을 따라 슬라이딩한다. 이동 부재(131)는 가이드 레일(132)과 돌기-홈의 결합 구조를 가질 수 있다. 이동 부재(131)의 폭은 오목 홈(112)의 폭보다 작게 형성되어 이동 부재(131)가 오목 홈(112) 내에서 좌우로 이동하도록 한다. 그리고 이동 부재(131)의 표면은 마스크 프레임(110)의 표면(113)과 같은 높이를 유지한다.
이동 제어부(133)는 이동 부재(131)와 결합되어 제2 방향(Y)에 따른 이동 부재(131)의 움직임을 제어한다. 이동 제어부(133)는 이동 부재(131)의 측벽에 설치되며 랙(rack)(134a)을 구비한 랙 결합부(134)와, 랙(134a)에 맞물리는 피니언(pinion)(135a)을 구비한 구동축(135)을 포함할 수 있다. 구동축(135)은 오목 홈(112)의 한쪽 측벽과 이동 부재(131) 사이에 위치하며, 마스크 프레임(110)에 지지된 상태에서 외부 동력원(도시하지 않음)에 결합되어 회전할 수 있다.
도 5를 기준으로 구동축(135)이 시계 방향으로 회전하면, 랙 결합부(134)가 오목 홈(112)의 측벽으로부터 밀려나면서 이동 부재(131)가 우측으로 이동한다. 반대로 구동축(135)이 반시계 방향으로 회전하면, 랙 결합부(134)가 오목 홈(112)의 측벽을 향해 당겨지면서 이동 부재(131)가 좌측으로 이동한다. 이동 부재(131) 이동량은 구동축(135)의 회전량에 비례한다. 구동축(135)의 회전 방향과 회전량에 따라 이동 부재(131)의 이동 방향과 이동량을 정밀하게 제어할 수 있다.
이동 제어부(133)는 오목 홈(112)의 측벽에 설치된 가이드 결합부(136)를 더 포함할 수 있다. 가이드 결합부(136)는 제2 방향(Y)을 따라 랙 결합부(134)와 면 접촉을 하여 랙 결합부(134)의 이동을 가이드한다. 예를 들어, 랙 결합부(134)는 구동축(135)을 향해 돌출된 적어도 하나의 제1 수평부(134b)를 포함할 수 있고, 가이드 결합부(136)는 제2 방향(Y)을 따라 제1 수평부(134b)와 면 접촉을 하는 적어도 하나의 제2 수평부(136a)를 포함할 수 있다.
제1 수평부(134b)와 제2 수평부(136a)는 각각 한 쌍으로 구비될 수 있다. 이 경우 어느 한 제1 수평부(134b)의 내측에 랙(134a)이 형성될 수 있다. 그리고 한 쌍의 제2 수평부(136a) 중 어느 하나의 제2 수평부(136a)는 제1 수평부(134b)의 외측에서 제1 수평부(134b)와 면 접촉을 하고, 다른 하나의 제2 수평부(136a)는 제1 수평부(134b)의 내측에서 제1 수평부(134b)와 면 접촉을 할 수 있다.
이동 제어부(133)의 구성은 전술한 예로 한정되지 않으며, 오목 홈(112) 내에서 제2 방향(Y)을 따라 이동 부재(131)를 슬라이딩할 수 있는 구성이면 모두 적용 가능하다.
복수의 용접부(140) 각각은 제1 용접부(141) 및 제2 용접부(142)를 포함할 수 있으며, 스폿 용접 또는 레이저 용접 등에 의해 형성될 수 있다. 제1 용접부(141)는 복수의 단위 마스크(120) 각각의 돌출부(P)와 복수의 인장 유닛(130) 각각의 이동 부재(131)를 고정하며, 제2 용접부(142)는 복수의 단위 마스크(120) 각각의 양 단부와 마스크 프레임(110)의 표면(113)을 고정한다.
이하, 상술한 마스크 조립체(100)에 적용되는 다양한 배치 형상을 가지는 복수의 단위 마스크에 대해 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 마스크 프레임의 평면도들이다.
도 7은 복수의 단위 마스크(220)의 적어도 일부가 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 비포함하는 단위 마스크와, 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 포함하는 단위 마스크가 교대로 배열되는 형태를 가지는 것을 예시한다. 예를 들어, 복수의 단위 마스크(220)는 제1 단위 마스크(221), 제2 단위 마스크(222), 제3 단위 마스크(223), 제4 단위 마스크(224), 제5 단위 마스크(225) 및 제6 단위 마스크(226)를 포함하며, 이 경우 제2 단위 마스크(222)와 제4 단위 마스크(224)는 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 비포함하는 단위 마스크이고, 제3 단위 마스크(223)와 제5 단위 마스크(225)는 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 포함하는 단위 마스크일 수 있다. 이러한 배열은 제1 단위 마스크(221), 제2 단위 마스크(222), 제3 단위 마스크(223), 제4 단위 마스크(224), 제5 단위 마스크(225) 및 제6 단위 마스크(226)를 마스크 프레임(110)에 결합시키는 순서를 차례대로 하지 않고 어느 일정한 순서로 함에 따라 이루어질 수 있다. 도 7의 복수의 단위 마스크(220)는 예를 들어 제2 단위 마스크(222), 제4 단위 마스크(224), 제1 단위 마스크(221), 제6 단위 마스크(226), 제3 단위 마스크(223) 및 제5 단위 마스크(225)의 순서로 마스크 프레임(110)에 결합시켜 형성될 수 있다. 한편, 도 7에서 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 비포함하는 단위 마스크인 제2 단위 마스크(222)와 제4 단위 마스크(224)에 적용되는 용접부(140)는 제2 용접부(142)만 포함할 수 있다.
도 8은 복수의 단위 마스크(320)가 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 비포함하는 단위 마스크와, 일측 돌출부(P)를 포함하며 타측 돌출부(P)를 비포함하는 단위 마스크와, 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 포함하는 단위 마스크 중 적어도 두 개가 랜덤하게 배열되는 형태를 가지는 것을 예시한다. 예를 들어, 복수의 단위 마스크(320)는 제1 단위 마스크(321), 제2 단위 마스크(322), 제3 단위 마스크(323), 제4 단위 마스크(324), 제5 단위 마스크(325) 및 제6 단위 마스크(326)를 포함하며, 이 경우 제3 단위 마스크(323)와 제4 단위 마스크(324)는 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 비포함하는 단위 마스크이고, 제1 단위 마스크(321), 제2 단위 마스크(322), 제5 단위 마스크(325)는 일측 돌출부(P)를 포함하며 타측 돌출부(P)를 비포함하는 단위 마스크이며, 제6 단위 마스크(326)는 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 포함하는 단위 마스크일 수 있다. 이러한 배열은 제1 단위 마스크(321), 제2 단위 마스크(322), 제3 단위 마스크(323), 제4 단위 마스크(324), 제5 단위 마스크(325) 및 제6 단위 마스크(326)에 결합시키는 순서를 차례대로 하지 않고 어느 일정한 순서로 함에 따라 이루어질 수 있다. 도 8의 복수의 단위 마스크(320)는 예를 들어 제3 단위 마스크(323), 제4 단위 마스크(324), 제1 단위 마스크(321), 제2 단위 마스크(322), 제5 단위 마스크(325) 및 제6 단위 마스크(326)의 순서로 마스크 프레임(110)에 결합시켜 형성될 수 있다. 한편, 도 8에서 일측 돌출부(P)와 타측 돌출부(P)를 비포함하는 단위 마스크인 제3 단위 마스크(323)와 제4 단위 마스크(324)에 적용되는 용접부(140)는 제2 용접부(142)만 포함할 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(100)는 제1 방향(X) 인장에 의해 웨이브가 발생된 복수의 단위 마스크(120) 각각을 제2 방향(Y)으로 인장시킴으로써 웨이브를 효과적으로 제거할 수 있다. 이에 따라 웨이브에 의한 복수의 단위 마스크(120) 각각의 패턴 개구부(OP) 변형을 억제하여 박막의 증착 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(100)는 복수의 단위 마스크(120) 중 적어도 어느 하나의 양 단부에서 제2 방향(Y)으로 돌출되는 돌출부(P)를 인장 유닛(130)에 고정시킴으로써, 마스크 조립체(100)의 형성이 완료된 이후에도 단위 마스크(120)가 제2 방향(Y)으로 인장된 상태를 안정적으로 유지시킬 수 있다.
다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(100)의 제조 방법에 대해 설명한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조 방법을 나타낸 공정 순서도이고, 도 10은 도 9의 돌출부 고정 단계를 나타낸 부분 사시도이고, 도 11은 도 9의 돌출부 인장 단계를 나타낸 부분 사시도이고, 도 12는 도 9의 양 단부 고정 단계를 나타낸 부분 사시도이고, 도 13은 도 9의 분리 단계를 나타낸 부분 사시도이고, 도 14는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이고, 도 15는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(100)의 제조 방법은 마스크 프레임 및 복수의 단위 마스크 준비 단계(S10), 클램핑부 인장 단계(S20), 돌출부 고정 단계(S30), 돌출부 인장 단계(S40), 양 단부 고정 단계(S50) 및 분리 단계(S60)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임 및 복수의 단위 마스크 준비 단계(S10)는 마스크 프레임(도 2의 110) 및 복수의 단위 마스크(도 2의 120)를 준비하는 단계이다. 구체적으로, 프레임 개구(도 2의 111)가 형성되고 복수의 오목 홈(도 2의 112) 각각에 복수의 인장 유닛(도 2의 130) 각각이 설치되는 마스크 프레임(110)과, 양 단부에서 제1 방향(X)으로 돌출되는 클램핑부(도 2의 C)와 제2 방향(Y)으로 돌출되는 돌출부(도 2의 P), 및 양 단부 사이에 형성되는 복수의 패턴 개구부(도 2의 OP)를 포함하는 복수의 단위 마스크(120)를 준비한다.
클램핑부 인장 단계(S20)는 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나의 클램핑부(도 2의 C)를 인장시키는 단계이다. 구체적으로 복수의 단위 마스크(120)의 제1 방향(X)으로 인장력을 가하는 클램프(미도시)에 의해 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)의 클램핑부(C)를 인장시킨다.
도 10을 참조하면, 돌출부 고정 단계(S30)는 제1 방향(X)으로 인장시킨 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)의 돌출부(P)를 인장 유닛(130), 구체적으로 이동 부재(131)에 용접에 의해 고정시키는 단계이다. 이때, 돌출부(P)는 용접에 의해 이동 부재(131)에 고정되어 제1 용접부(141)가 형성된다. 그리고, 이동 부재(131)는 오목 홈(112)에서 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)와 가장 가깝게 위치한다. 즉, 이동 제어부(도 5의 133)는 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)를 향한 오목 홈(112)의 한쪽 측벽과 이동 부재(131) 사이의 거리가 최소가 되도록 이동 부재(131)의 위치를 결정할 수 있다.
도 11을 참조하면, 돌출부 인장 단계(S40)는 제2 방향(Y)을 따라 이동 부재(131)를 이동시켜 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)의 돌출부(P)를 제2 방향(Y)으로 인장시키는 단계이다. 이에 따라, 클램핑부 인장 단계(S20)에서 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)에 발생될 수 있는 웨이브가 돌출부 인장 단계(S40)에서 제거될 수 있다.
도 5에 도시한 이동 제어부(133)의 구성에 기초하면 도 11을 기준으로 단위 마스크(121)의 우측에 위치하는 이동 부재(131)에 대해서는 구동축(135)을 시계 방향으로 회전시켜 이동 부재(131)를 우측으로 이동시킨다. 반대로 단위 마스크(121)의 좌측에 위치하는 이동 부재(131)에 대해서는 구동축(135)을 반시계 방향으로 회전시켜 이동 부재(131)를 좌측으로 이동시킨다.
이와 같이 단위 마스크(121)의 좌측과 우측에 위치하는 두 개의 이동 부재(131)를 서로에 대해 멀어지는 방향으로 슬라이딩함으로써 단위 마스크(121)의 단부를 제2 방향(Y)으로 인장시킨다. 구동축(135)의 회전 방향과 회전량에 따라 이동 부재(131)의 이동 방향과 이동량을 정밀하게 조절할 수 있으므로, 웨이브의 제거를 위한 단위 마스크(121)의 인장력을 세밀하게 제어할 수 있다.
도 12를 참조하면, 양 단부 고정 단계(S50)는 제2 방향(Y)으로 인장시킨 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)의 양 단부를 마스크 프레임(110)의 표면(113)에 용접에 의해 고정시키는 단계이다. 이때, 양 단부는 용접에 의해 마스크 프레임(110)의 표면(113)에 고정되어 제2 용접부(142)가 형성된다.
도 13을 참조하면, 분리 단계(S60)는 양 단부가 고정된 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)의 클램핑부(C)를 제거하는 단계이다. 클램핑부(C)의 제거는 나이프를 이용한 절단 공정에 의해 이루어질 수 있다. 또한, 분리 단계(S60)에서 복수의 단위 마스크(120) 중 어느 하나(예를 들어 121)의 적어도 하나의 돌출부(P)가 제거될 수도 있다. 돌출부(P)의 제거는 나이프를 이용한 절단 공정에 의해 이루어질 수 있다. 한편, 돌출부(P)의 제거는 완성되는 마스크 조립체(100) 중 복수 단위 마스크(120) 각각이 가지는 돌출부(P)의 패턴에 따라 수행될 수도 있고 생략될 수도 있다. 예를 들어 완성되는 마스크 조립체(100)에서 단위 마스크가 돌출부를 가지지 않거나 한 개의 돌출부를 가지면 돌출부(P)의 제거 공정이 수행될 수 있으며, 단위 마스크가 두 개의 돌출부를 가지면 돌출부(P)의 제거 공정이 생략될 수 있다. 이후 마스크 프레임(110)에 고정된 단위 마스크(121) 옆에 다른 단위 마스크(예를 들어 122)가 제공되며, 상술한 인장 단계(S20) 내지 분리 단계(S60)가 반복되면서 마스크 프레임(110)에 고정될 수 있다. 여기서, 단위 마스크(121)의 돌출부(P)를 제2 방향(Y)으로 인장시키는데 사용된 이동 부재(131)는 이후 단위 마스크(122)의 돌출부(P)를 제2 방향(Y)으로 인장시키는데 사용된다.
상기와 같이 클램핑부 인장 단계(S20) 내지 분리 단계(S60)를 거쳐 하나의 단위 마스크가 마스크 프레임에 고정된 후, 다른 단위 마스크가 클램핑부 인장 단계(S20) 내지 분리 단계(S60)를 거쳐 마스크 프레임에 고정되어 마스크 조립체(100)가 형성된다. 즉, 단위 마스크별로 클램핑부 인장 단계(S20) 내지 분리 단계(S60)가 반복되면서 마스크 프레임에 복수의 단위 마스크가 고정되어 마스크 조립체(100)가 형성된다.
다음은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(400)에 대해 설명한다.
도 14는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 14를 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(400)는 도 1의 마스크 조립체(100)와 비교하여 복수의 단위 마스크(420) 각각의 형상이 다를뿐 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(400)에서는 복수의 단위 마스크(420)에 대해서만 중점적으로 설명하기로 한다.
복수의 단위 마스크(420)는 제1 단위 마스크(421), 제2 단위 마스크(422), 제3 단위 마스크(423), 제4 단위 마스크(424), 제5 단위 마스크(425) 및 제 6 단위 마스크(426)을 포함하며, 도 1의 복수의 단위 마스크(120)와 유사하다. 다만, 복수의 단위 마스크(420) 각각에서, 제1 방향(X)에서 가장 외측 부분의 폭(W1)이 중앙 부분의 폭(W2)보다 크다. 이는 복수의 단위 마스크(420) 각각의 클램핑부(도 2의 C 참조)가 클램프(미도시)에 의해 강하게 인장되는 경우일 수 있다. 또한, 복수의 단위 마스크(420) 각각에서, 제1 방향(X)의 변이 포물선 형태를 가질 수도 있다. 또한, 복수의 단위 마스크(420) 각각에서, 제2 방향(Y)에서 오목한 형상을 가질 수도 있다.
또한, 복수의 단위 마스크(420) 각각은, 제조 공정 중에 클램핑부(도 2의 C 참조)뿐만 아니라 돌출부(도 2의 P 참조) 모두가 절단되어 복수의 단위 마스크(420) 각각으로부터 분리되기 때문에, 마스크 조립체(400)로 완성된 경우에서는 어떠한 돌출부도 가지지 않는다.
상기와 같이 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(400)는 제1 방향(X) 인장에 의해 웨이브가 발생된 복수의 단위 마스크(420)를 제2 방향(Y)으로 인장시킴으로써 웨이브를 효과적으로 제거할 수 있다. 이에 따라 웨이브에 의한 복수의 단위 마스크(420) 각각의 패턴 개구부(OP) 변형을 억제하여 박막의 증착 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(400)의 제조 방법에는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 제조 방법과 동일한 단계가 적용된다.
다만, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(400)의 제조 방법 중 클램핑부 인장 단계에서 복수의 단위 마스크(420) 각각의 클램핑부(도 2의 C 참조)를 클램프(미도시)에 의해 강하게 인장시킨다. 또한, 분리 단계에서 복수의 단위 마스크(420) 각각의 클램핑부(도 2의 C 참조)뿐만 아니라 돌출부(도 2의 P 참조) 모두를 절단하여 복수의 단위 마스크(420) 각각으로부터 분리시킨다.
다음은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(500)에 대해 설명한다.
도 15는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 15를 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(500)는 도 1의 마스크 조립체(100)와 비교하여 복수의 단위 마스크(520) 각각의 형상이 다를뿐 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(500)에서는 복수의 단위 마스크(520)에 대해서만 중점적으로 설명하기로 한다.
복수의 단위 마스크(520)는 제1 단위 마스크(521), 제2 단위 마스크(522), 제3 단위 마스크(523), 제4 단위 마스크(524), 제5 단위 마스크(525) 및 제 6 단위 마스크(526)를 포함하며, 도 1의 복수의 단위 마스크(120)와 같이 복수의 단위 마스크(520) 중 적어도 어느 하나는 양 단부에서 제2 방향(Y)으로 돌출되는 적어도 어느 하나의 돌출부(P)를 포함할 수 있다. 다만, 복수의 단위 마스크(520) 각각에서, 제1 방향(X)에서 가장 외측 부분의 폭이 중앙 부분의 폭보다 크다. 이는 복수의 단위 마스크(520) 각각의 클램핑부(도 2의 C 참조)가 클램프(미도시)에 의해 강하게 인장되는 경우일 수 있다. 또한, 복수의 단위 마스크(520) 각각에서, 제1 방향(X)의 변이 포물선 형태를 가질 수도 있다. 또한, 복수의 단위 마스크(520) 각각에서, 제2 방향(Y)에서 오목한 형상을 가질 수도 있다.
상기와 같이 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(500)는 제1 방향(X) 인장에 의해 웨이브가 발생된 복수의 단위 마스크(520)를 제2 방향(Y)으로 인장시킴으로써 웨이브를 효과적으로 제거할 수 있다. 이에 따라 웨이브에 의한 복수의 단위 마스크(520) 각각의 패턴 개구부(OP) 변형을 억제하여 박막의 증착 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(500)는 복수의 단위 마스크(520) 중 적어도 어느 하나의 양 단부에서 제2 방향(Y)으로 돌출되는 돌출부(P)를 인장 유닛(130)에 고정시킴으로써, 마스크 조립체(100)의 형성이 완료된 이후에도 단위 마스크(520)가 제2 방향(Y)으로 인장된 상태를 안정적으로 유지시킬 수 있다.
한편, 도 15에서 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(500)의 돌출부(P)의 배열 패턴이 도 1의 마스크 조립체(100)의 돌출부(P)의 배열 패턴과 동일한 것으로 도시되었으나, 도 7 및 도 8 각각의 돌출부(P)의 배열 패턴과 동일할 수도 있다.
본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(500)의 제조 방법에는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 제조 방법과 동일한 단계가 적용된다.
다만, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 마스크 조립체(500)의 제조 방법 중 클램핑부 인장 단계에서 복수의 단위 마스크(520) 각각의 클램핑부(도 2의 C 참조)를 클램프(미도시)에 의해 강하게 인장시킨다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100, 400, 500: 마스크 조립체 110: 마스크 프레임
120, 220, 320, 420, 520: 복수의 단위 마스크
130: 복수의 인장 유닛 140: 복수의 용접부
C: 클램핑부 P: 돌출부

Claims (20)

  1. 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되,
    상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고,
    상기 복수의 단위 마스크 중 적어도 하나는 양 단부에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 향해 일측으로 돌출된 일측 돌출부 및 타측으로 돌출된 타측 돌출부 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 각 단위 마스크는 상기 제2 방향을 따라 상호 이격되어 배열되고,
    상기 돌출부의 돌출 길이는, 상기 프레임 개구와 중첩하는 영역에서 이웃하는 상기 단위 마스크간 이격 거리보다 작거나 같고,
    상기 돌출부는 상기 마스크 프레임에 고정된 마스크 조립체.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 단위 마스크는 제1 단위 마스크 및 상기 제1 단위 마스크에 이웃하여 배치된 제2 단위 마스크를 포함하되,
    상기 제1 단위 마스크가 일 단부에 일측 돌출부를 포함하는 경우, 상기 제2 단위 마스크는 일 단부에 타측 돌출부를 비포함하고,
    상기 제2 단위 마스크가 일 단부에 타측 돌출부를 포함하는 경우, 상기 제1 단위 마스크는 일 단부에 일측 돌출부를 비포함하는 마스크 조립체.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 단위 마스크는 최외곽 양측에 각각 배치되는 제1 최외곽 단위 마스크 및 제2 최외곽 단위 마스크를 포함하되,
    상기 제1 최외곽 단위 마스크 및 제2 최외곽 단위 마스크 중 적어도 하나는 일 단부에 일측 돌출부 및 타측 돌출부를 모두 포함하는 마스크 조립체.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 각 단위 마스크에서, 상기 제1 방향에서 가장 외측에 위치하고 상기 프레임 개구와 비중첩하는 부분의 폭이 중앙 부분의 폭보다 큰 마스크 조립체.
  6. 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되,
    상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고,
    상기 복수의 단위 마스크 중 적어도 하나는 양 단부에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 향해 일측으로 돌출된 일측 돌출부 및 타측으로 돌출된 타측 돌출부 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 각 단위 마스크에서, 상기 제1 방향에서 가장 외측에 위치하고 상기 프레임 개구와 비중첩하는 부분의 폭이 중앙 부분의 폭보다 크고,
    상기 각 단위 마스크에서, 상기 제1 방향의 변이 포물선 형태를 가지는 마스크 조립체.
  7. 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되,
    상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고,
    상기 복수의 단위 마스크 중 적어도 하나는 양 단부에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 향해 일측으로 돌출된 일측 돌출부 및 타측으로 돌출된 타측 돌출부 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 각 단위 마스크에서, 상기 제1 방향을 따라 가장 외측에 위치하고 상기 프레임 개구와 비중첩하는 부분의 폭이 상기 제1 방향을 따라 중앙에 위치하는 부분의 폭보다 크고,
    상기 각 단위 마스크는, 상기 제2 방향에서 오목한 형상을 가지는 마스크 조립체.
  8. 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되,
    상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고,
    상기 복수의 단위 마스크 중 적어도 하나는 양 단부에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 향해 일측으로 돌출된 일측 돌출부 및 타측으로 돌출된 타측 돌출부 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 마스크 프레임과 중첩하고, 상기 복수의 단위 마스크 중 이웃한 두 개의 마스크 사이에서 상기 제2 방향을 따라 이동하여 상기 제2 방향으로 상기 단위 마스크의 양 단부를 인장시키는 복수의 인장 유닛을 더 포함하는 마스크 조립체.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 돌출부와 상기 인장 유닛을 용접에 의해 고정시켜 형성되는 제1 용접부와, 상기 각 단위 마스크의 양 단부와 상기 마스크 프레임의 표면을 용접에 의해 고정시켜 형성되는 제2 용접부를 포함하는 용접부를 더 포함하는 마스크 조립체.
  10. 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되,
    상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고,
    상기 각 단위 마스크에서, 상기 제1 방향을 따라 가장 외측에 위치하고 상기 프레임 개구와 비중첩하는 부분의 폭이 상기 제1 방향을 따라 중앙에 위치하는 부분의 폭보다 크고,
    상기 각 단위 마스크에서, 상기 제1 방향의 변이 포물선 형태를 가지는 마스크 조립체.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 각 단위 마스크는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 상호 이격되어 배열되는 마스크 조립체.
  12. 삭제
  13. 프레임 개구가 형성된 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크를 포함하되,
    상기 각 단위 마스크는 제1 방향으로 연장되고,
    상기 각 단위 마스크에서, 상기 제1 방향을 따라 가장 외측에 위치하고 상기 프레임 개구와 비중첩하는 부분의 폭이 상기 제1 방향을 따라 중앙에 위치하는 부분의 폭보다 크고,
    상기 각 단위 마스크는, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에서 오목한 형상을 가지는 마스크 조립체.
  14. 제10 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 복수의 단위 마스크 중 이웃한 두 개의 마스크 사이에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 이동하여 상기 제2 방향으로 상기 단위 마스크의 양 단부를 인장시키는 복수의 인장 유닛을 더 포함하는 마스크 조립체.
  15. 제10 항에 있어서,
    상기 각 단위 마스크의 양 단부와 상기 마스크 프레임의 표면을 용접에 의해 고정시켜 형성되는 용접부를 더 포함하는 마스크 조립체.
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
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  20. 삭제
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