KR20200106589A - 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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KR20200106589A
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Abstract

본 발명의 실시예들은 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은 외광을 반사시키지 않을 수 있으며, 정확하면서 정밀한 패턴의 부화소를 갖는 표시 장치를 구현하는 것이 가능하다.

Description

표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Carrier, apparatus for manufacturing a display apparatus having the same and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
종래의 표시 장치가 차량 등에 배치되는 경우 표시 장치에서 외광 반사 등으로 인하여 눈부심 현상이 발생할 수 있다. 또한, 종래의 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 개구부의 패턴에 따라 마스크 시트가 인장 시 변형이 예상 범위를 벗어남으로써 증착물질이 설계와 다른 패턴으로 기판에 증착되었다. 본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 실시예들은 외광 반사를 최소화하면서 정밀한 패턴을 갖는 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예는 정사각형 형태인 제1 부화소와, 상기 제1 부화소의 제1 변 및 제2 변을 각각 바라보도록 배치되며, 직사각형 형태인 제2 부화소와, 상기 제1 부화소의 제1 변 및 제2 변을 각각 바라보도록 배치되며, 상기 제2 부화소로부터 이격되며, 직사각형 형태인 제3 부화소를 포함하고, 상기 제1 변과 상기 제2 변은 일정 각도로 서로 연결되며, 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소는 서로 상이한 색의 빛을 발광하는 표시 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 부화소의 적어도 일부분과 상기 제3 부화소의 적어도 일부분은 상기 제1 변 또는 상기 제2 변 중 하나의 길이 범위 내에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 부화소의 단변은 상기 제1 변 또는 상기 제2 변과 평행할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제3 부화소의 단변은 상기 제1 변 또는 상기 제2 변과 평행할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소는 복수개 구비되며, 상기 각 제1 부화소의 중심은 일진선 상에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있엇, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소 각각은 복수개 구비되며, 상기 복수개의 제2 부화소 또는 상기 복수개의 제3 부화소 중 하나의 일부의 중심은 일방향으로 일직선 상에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소 각각은 복수개 구비되며, 상기 복수개의 제2 부화소 또는 상기 복수개의 제3 부화소 중 하나의 일부의 중심은 일방향으로 서펜타인(serpentine) 형태로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소는 제1 방향으로 복수개가 배열되며, 상기 제1 변을 바라보는 상기 제2 부화소와 상기 제2 변을 바라보는 상기 제2 부화소 또는 상기 제3 부화소는 상기 제1 방향으로 배열된 상기 각 제1 부화소의 중심을 연결한 임의의 직선에 대해서 서로 대칭되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소의 테두리로부터 상기 제2 부화소까지의 최단 거리인 제1 거리와 상기 제1 부화소의 테두리로부터 상기 제3 부화소까지의 최단 거리인 제2 거리는 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소의 테두리로부터 상기 제2 부화소까지의 최단 거리인 제1 거리와 상기 제1 부화소의 테두리로부터 상기 제3 부화소까지의 최단 거리인 제2 거리는 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 하나의 상기 제1 부화소를 마주보도록 배치된 상기 제2 부화소는 상기 제1 부화소의 테두리로부터 서로 다른 상기 제2 부화소까지의 최단 거리가 서로 상이하거나 하나의 상기 제1 부화소를 마주보도록 배치된 상기 제3 부화소는 상기 제1 부화소의 테두리로부터 서로 다른 상기 제3 부화소까지의 최단거리가 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소는 제1 방향으로 복수개가 배열되며, 상기 제2 부화소의 장변 또는 상기 제3 부화소의 장변은 상기 제1 방향으로 배열된 상기 각 제1 부화소의 중심을 연결한 임의의 직선에 대해서 45도를 형성할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소의 면적은 상기 제2 부화소의 면적 및 상기 제3 부화소의 면적 중 적어도 하나보다 클 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 부화소의 면적과 상기 제3 부화소의 면적은 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 부화소의 테두리 중 일부와 상기 제3 부화소의 테두리 중 일부를 연결하는 임의의 외곽선은 정사각형일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소 중 적어도 하나의 꼭지점은 모따기될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소는 파란색을 발광하고, 상기 제2 부화소 또는 상기 제3 부화소 중 하나는 적색을 발광하며, 상기 제2 부화소 또는 상기 제3 부화소 중 다른 하나는 녹색을 발광할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소 중 적어도 하나의 영역을 정의하는 화소정의막과, 상기 화소정의막으로부터 돌출되는 스페이서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 정사각형 형태이면서 서로 이격되도록 배치된 복수개의 제1 중간층과, 상기 각 제1 중간층을 바라보도록 배치되며, 직사각형 형태이면서 서로 이격되도록 배치된 복수개의 제2 중간층과, 상기 각 제1 중간층을 바라보도록 배치되며, 상기 제2 중간층으로부터 이격되며, 직사각형 형태이면서 서로 이격되도록 배치된 복수개의 제3 중간층을 포함하고, 상기 복수개의 제2 중간층 중 일부의 장변의 연장선과 상기 복수개의 제2 중간층 중 다른 일부의 장변의 연장선은 서로 교차하도록 상기 복수개의 제2 중간층이 배치되며, 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은 전원 인가 시 서로 상이한 색의 빛을 발광하는 물질을 포함하는 표시 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제3 중간층 중 일부의 장변의 연장선과 상기 복수개의 제3 중간층 중 다른 일부의 장변의 연장선은 서로 교차하도록 상기 복수개의 제3 중간층이 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 제2 중간층과 상기 각 제3 중간층은 서로 평행하게 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제2 중간층 중 일부의 중심 및 상기 복수개의 제3 중간층 중 적어도 하나의 일부의 중심은 일직선 상에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제1 중간층 중 동일한 상기 제1 중간층과 마주보는 상기 제2 중간층과 상기 제3 중간층은 상기 제2 중간층과 상기 제3 중간층이 마주보는 상기 제1 중간층의 일변과 중첩되는 임의의 직선으로부터 상기 제2 중간층의 중심까지의 최단거리와 상기 직선으로부터 상기 제3 중간층의 중심까지의 최단거리가 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제1 중간층 중 동일한 상기 제1 중간층과 마주보는 상기 제2 중간층과 상기 제3 중간층은 상기 제2 중간층과 상기 제3 중간층이 마주보는 상기 제1 중간층의 일변과 중첩되는 임의의 직선으로부터 상기 제2 중간층의 중심까지의 최단거리와 상기 직선으로부터 상기 제3 중간층의 중심까지의 최단거리가 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제2 중간층 중 상기 복수개의 제1 중간층 중 동일한 상기 제1 중간층과 마주보는 상기 각 제2 중간층과 상기 제1 중간층 사이의 최단거리는 서로 상이할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 인장된 상태로 배치되며, 상기 마스크 프레임의 일변을 따라 순차적으로 배열된 복수개의 마스크 시트를 포함하고, 상기 각 마스크 시트는 복수개의 개구부를 포함하고, 상기 복수개의 개구부 중 일부는 상기 마스크 시트의 인장 방향에 대해서 일 방향으로 틸팅되어 배치되며, 상기 복수개의 개구부 중 다른 일부는 상기 복수개의 개구부 중 일부와 상이한 방향으로 틸팅되어 배치된 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 개구부는 상기 마스크 시트의 인장 방향에 대해서 45도로 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 개구부 중 상기 마스크 시트의 인장 "?향으?* 배열되는 상기 개구부의 중심은 일렬로 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 개구부 중 상기 마스크 시트의 인장 방향과 수직한 방향으로 배열되는 상기 개구부의 중심은 서펜타인 형태로 배열될 수 있ㄷ.
본 실시예에 있어서, 상기 각 개구부는 직사각형일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 개구부의 꼭지점은 모따기될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 기판이 배치되는 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하는 증착원과, 상기 증착원에 대향하도록 배치되어 상기 디스플레이 기판에 상기 증착물질을 패턴 형태로 통과시키는 마스크 어셈블리를 포함하고, 상기 마스크 어셈블리는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 인장된 상태로 배치되며, 상기 마스크 프레임의 일변을 따라 순차적으로 배열된 복수개의 마스크 시트를 포함하고, 상기 각 마스크 시트는 복수개의 개구부를 포함하고, 상기 복수개의 개구부 중 일부는 상기 마스크 시트의 인장 방향에 대해서 일 방향으로 틸팅되어 배치되며, 상기 복수개의 개구부 중 다른 일부는 상기 복수개의 개구부 중 일부와 상이한 방향으로 틸팅되어 배치된 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 개구부는 상기 인장 방향에 대해서 45도를 형성하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 개구부 중 상기 마스크 시트의 인장 "?향으?* 배열되는 상기 개구부의 중심은 일렬로 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 개구부 중 상기 마스크 시트의 인장 방향과 수직한 방향으로 배열되는 상기 개구부의 중심은 서펜타인 형태로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 개구부는 직사각형일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 개구부의 꼭지점은 모따기될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 기판에 복수개의 제1 중간층을 형성하는 제1 증착부와, 상기 제1 증착부와 연결되어 상기 디스플레이 기판에 복수개의 제2 중간층을 형성하는 제2 증착부와, 상기 제2 증착부에 연결되며, 상기 디스플레이 기판에 복수개의 제3 중간층을 형성하는 제3 증착부를 포함하고, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나는 정사각형이고, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 2개는 직사각형이며, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 2개는 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나와 마주보도록 배치되고, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 2개는 서로 평행한 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은 서로 상이한 유기 발광층을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 정사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 하나 중 일부는 제1 방향으로 일직선으로 배열되고, 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 2개 중 하나의 일부와 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 2개 중 하나의 다른 일부는 제1 방향을 기준으로 서로 다른 방향으로 틸팅될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 2개 중 하나의 일부의 중심은 일직선 또는 서펜타인 형태로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 직사각형이면서 서로 인접하여 배치되는 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 2개의 테두리를 연결한 임의의 외곽선은 정사각형일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 제1 중간층을 제1 부화소를 형성하고, 상기 각 제2 중간층은 제2 부화소를 형성하며, 상기 각 제3 중간층은 제3 부화소를 형성하고, 직사각형인 복수개의 상기 제1 부화소, 복수개의 상기 제2 부화소 또는 복수개의 상기 제3 부화소 중 2개 중 하나의 면적과 직사각형인 복수개의 상기 제1 부화소, 복수개의 상기 제2 부화소 또는 복수개의 상기 제3 부화소 중 2개 중 다른 하나의 면적은 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 및 상기 각 제3 중간층 중 적어도 하나의 꼭지점은 모따기될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 증착부는 상기 각 제1 중간층에 대응되도록 복수개의 제1 개구부가 형성된 제1 마스크 시트를 포함한 제1 마스크 조립체를 포함하고, 상기 제2 증착부는 상기 각 제2 중간층에 대응되도록 복수개의 제2 개구부가 형성된 제2 마스크 시트를 포함한 제2 마스크 조립체를 포함하고, 상기 제3 증착부는 상기 각 제3 중간층에 대응되도록 복수개의 제3 개구부가 형성된 제3 마스크 시트를 포함한 제3 마스크 조립체를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 개구부, 상기 제2 개구부 및 상기 제3 개구부 중 적어도 하나의 꼭지점은 모따기될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 개구부, 상기 제2 개구부 또는 상기 제3 개구부 중 2개는 상기 제1 마스크 시트, 상기 제2 마스크 시트 및 상기 제3 마스크 시트 중 하나의 인장 방향에 대해서 틸팅된 상태로 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 기판에 제1 증착물질을 증착시켜 복수개의 제1 중간층을 형성하는 단계와, 상기 디스플레이 기판에 제2 증착물질을 증착시켜 복수개의 제2 중간층을 형성하는 단계와, 상기 디스플레이 기판에 제3 증착물질을 증착시켜 복수개의 제3 중간층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나는 정사각형이고, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 나머지 2개는 직사각형이며, 직사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 나머지 2개는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 일변을 마주도록 배치된 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나의 일부의 중심은 일방향을 따라 직선으로 배열되거나 서펜타인 형태로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나의 일부의 중심은 서펜타인 형태로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 중심을 통과하는 임의의 직선에 대해서 대칭되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나와 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 다른 하나는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 중심을 통과하는 임의의 직선에 대해서 대칭되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나를 마주보는 직사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 나머지 2개는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 일변 또는 일변의 연장선 중 하나로부터의 최단 거리가 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나를 마주보는 직사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 일변 또는 일변의 연장선 중 하나로부터의 최단 거리가 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 중간층은 정사각형이고, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은 직사각형일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 증착물질, 상기 제2 증착물질 및 상기 제3 증착물질은 서로 상이한 유기 발광물질을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층 중 적어도 하나는 꼭지점이 모따기 될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 서로 인접하는 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나의 테두리 일부와 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 다른 하나 중 테두리 일부를 연결한 임의의 외곽선은 정사각형일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 제1 중간층을 제1 부화소를 형성하고, 상기 각 제2 중간층은 제2 부화소를 형성하며, 상기 각 제3 중간층은 제3 부화소를 형성하고, 직사각형인 복수개의 상기 제1 부화소, 복수개의 상기 제2 부화소 또는 복수개의 상기 제3 부화소 중 2개 중 하나의 면적과 직사각형인 복수개의 상기 제1 부화소, 복수개의 상기 제2 부화소 또는 복수개의 상기 제3 부화소 중 2개 중 다른 하나의 면적은 서로 상이할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 캐리어는 이송 시 디스플레이 기판과 마스크 어셈블리의 위치가 어긋나는 것을 방지한다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 인라인 형태로 배열된 챔버를 통하여 다양한 층을 디스플레이 기판에 형성하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 공정을 단순화할 수 있으며, 공정시간을 저감시키는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 부화소 부분을 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 표시 장치의 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 보여주는 측면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 제1 증착부를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 제1 마스크 어셈블리를 보여주는 사시도이다.
도 7은 도 4에 도시된 제2 증착부에서 사용하는 제2 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 8은 도 4에 도시된 제3 증착부에서 사용하는 제3 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소를 보여주는 평면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 제2 중간층을 증착하기 위한 제2 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 11은 도 9에 도시된 제3 중간층을 증착하기 위한 제3 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소를 보여주는 평면도이다.
도 13은 도 12에 도시된 B-B선을 따라 취한 단면도이다.
도 14는 도 12에 도시된 제2 중간층을 증착하기 위한 제2 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 15는 도 12에 도시된 제3 중간층을 증착하기 위한 제3 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소를 보여주는 평면도이다.
도 17은 도 16에 도시된 제1 중간층을 증착하기 위한 제1 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 18은 도 16에 도시된 제2 중간층을 증착하기 위한 제2 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 19는 도 16에 도시된 제3 중간층을 증착하기 위한 제3 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 부화소 부분을 보여주는 단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 표시 장치의 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소를 보여주는 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 표시 영역(DA)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 표시 영역(DA)은 직사각형, 정사각형 또는 원형 등의 형상을 가질 수 있다. 이외에도 표시 영역(DA)은 비정형의 형상을 갖는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 영역(DA)이 직사각형의 형상을 갖는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D) 및 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28-1)을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소 전극(28-1) 및 중간층(28-2) 중 일부를 포함하는 것도 가능하다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로서 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
상기와 같은 중간층(28-2)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(D)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(D) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소를 포함할 수 있다. 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 일 실시예로써 하나의 부화소는 하나의 색을 갖는 빛이 발광하는 영역으로 정의될 수 있다. 다른 실시예로써 하나의 부화소는 화소정의막(29)의 개구된 영역을 통하여 외부로 노출되는 화소 전극(28-1) 부분으로 정의될 수 있다. 이러한 경우 하나의 부화소의 크기를 조절하는 것은 화소정의막(29)의 개구된 영역의 크기를 조절하여 외부로 노출되는 화소 전극(28-1) 부분의 면적을 조절함으로써 달성할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 부화소는 하나의 색을 갖는 빛이 발광하는 영역인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다. 다른 실시예로써 복수의 부화소는 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다. 또 다른 실시에로써 복수의 부화소는 적색, 노란색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다. 이러한 경우 복수의 부화소는 상기에 한정되는 것은 아니며, 서로 상이한 색을 방출하는 부화소를 구비하는 모든 경우를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수의 부화소가 청색, 적색 및 녹색을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
복수의 부화소는 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 또는 제3 부화소(F3) 중 하나는 정사각형일 수 있으며, 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 또는 제3 부화소(F3) 중 다른 두개는 직사각형일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 부화소(F1)가 정사각형이며, 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)가 직사각형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 또는 제3 부화소(F3) 중 하나는 청색 빛을 방출하고, 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 또는 제3 부화소(F3) 중 다른 하나는 적색의 빛을 방출하며, 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 또는 제3 부화소(F3) 중 또 다른 하나는 녹색의 빛을 방출한다. 이러한 경우 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3) 각각의 형상에 따라 청색, 적색 또는 녹색 중 하나의 빛은 정사각형일 수 있으며, 청색, 적색 또는 녹색 중 나머지 빛은 직사각형일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 부화소(F1)는 청색의 빛을 방출하고, 제2 부화소(F2)는 적색의 빛을 방출하며, 제3 부화소(F3)는 녹색의 빛을 방출하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3) 각각의 면적은 다양하게 구성될 수 있다. 이러한 경우 각 부화소의 개구율을 조절 가능하므로 다양한 형태 및 다양한 작동이 가능한 표시 장치(20)의 구현이 가능하다.
상기와 같은 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)는 각각 제1 중간층(28-2A), 제2 중간층(28-2B) 및 제3 중간층(28-2C)을 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 중간층(28-2A), 제2 중간층(28-2B) 및 제3 중간층(28-2C)은 외부 전원이 인가되는 경우 서로 상이한 빛을 발광하는 물질(예를 들면, 유기 발광층)을 포함할 수 있다.
제1 중간층(28-2A), 제2 중간층(28-2B) 및 제3 중간층(28-2C)은 각각 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)의 형상과 대응될 수 있다. 예를 들면, 제1 중간층(28-2A)은 제1 부화소(F1)의 형상인 정사각형에 대응되도록 정사각형 형상을 가질 수 있다. 또한, 제2 중간층(28-2B) 및 제3 중간층(28-2C)은 각각 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)의 형상인 직사각형에 대응되도록 직사각형 형상을 가질 수 있다. 이러한 경우 각 중간층의 평면 상의 면적은 각 부화소의 평면 상의 면적과 서로 동일하거나 상이할 수 있다. 예를 들면, 일 실시예로써 제1 중간층(28-2A)의 평면 상의 면적은 제1 부화소(F1)의 평면 상의 면적과 상이할 수 있으며, 제2 중간층(28-2B)의 평면 상의 면적과 제2 부화소(F2)의 평면 상의 면적은 동일하고 제3 중간층(28-2C)의 평면 상의 면적과 제3 부화소(F3)의 평면 상의 면적은 동일할 수 있다. 다른 실시예로써 제2 중간층(28-2B)의 평면 상의 면적은 제2 부화소(F2)의 평면 상의 면적과 상이할 수 있으며, 제1 중간층(28-2A)의 평면 상의 면적과 제1 부화소(F1)의 평면 상의 면적은 동일하고 제3 중간층(28-2C)의 평면 상의 면적과 제3 부화소(F3)의 평면 상의 면적은 동일할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제3 중간층(28-2C)의 평면 상의 면적은 제3 부화소(F3)의 평면 상의 면적과 상이할 수 있으며, 제2 중간층(28-2B)의 평면 상의 면적과 제2 부화소(F2)의 평면 상의 면적은 동일하고 제1 중간층(28-2A)의 평면 상의 면적과 제1 부화소(F1)의 평면 상의 면적은 동일할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 중간층(28-2A)의 평면 상의 면적은 제1 부화소(F1)의 평면 상의 면적과 동일할 수 있으며, 제2 중간층(28-2B)의 평면 상의 면적과 제2 부화소(F2)의 평면 상의 면적은 서로 상이하고, 제3 중간층(28-2C)의 평면 상의 면적과 제3 부화소(F3)의 평면 상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제2 중간층(28-2B)의 평면 상의 면적은 제2 부화소(F2)의 평면 상의 면적과 동일할 수 있으며, 제1 중간층(28-2A)의 평면 상의 면적과 제1 부화소(F1)의 평면 상의 면적은 서로 상이하고, 제3 중간층(28-2C)의 평면 상의 면적과 제3 부화소(F3)의 평면 상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제3 중간층(28-2C)의 평면 상의 면적은 제3 부화소(F3)의 평면 상의 면적과 동일할 수 있으며, 제1 중간층(28-2A)의 평면 상의 면적과 제1 부화소(F1)의 평면 상의 면적은 서로 상이하고, 제2 중간층(28-2B)의 평면 상의 면적과 제2 부화소(F2)의 평면 상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 중간층(28-2A)의 평면 상의 면적은 제1 부화소(F1)의 평면 상의 면적과 서로 상이할 수 있으며, 제2 중간층(28-2B)의 평면 상의 면적과 제2 부화소(F2)의 평면 상의 면적은 서로 상이하고, 제3 중간층(28-2C)의 평면 상의 면적과 제3 부화소(F3)의 평면 상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 중간층(28-2A)의 평면 상의 면적은 제1 부화소(F1)의 평면 상의 면적과 서로 동일할 수 있으며, 제2 중간층(28-2B)의 평면 상의 면적과 제2 부화소(F2)의 평면 상의 면적은 서로 동일하고, 제3 중간층(28-2C)의 평면 상의 면적과 제3 부화소(F3)의 평면 상의 면적은 서로 동일할 수 있다. 이때, 평면 상의 면적은 표시 장치(20)의 표시 영역(DA)이 형성하는 평면 상에서의 면적일 수 있다. 또는 평면 상의 면적은 이미지가 구현될 때 이미지가 구현되는 면 상에서의 면적일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 각 중간층의 평면 상의 면적과 각 부화소의 평면 상의 면적이 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 각 부화소의 평면 상의 면적은 각 중간층의 평면 상의 면적보다 작을 수 있다. 특히 이러한 경우 각 중간층은 충분한 마진을 제공하면서 증착으로 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있으므로 각 부화소에서 정확한 형상의 빛을 방출하는 것이 가능하다.
한편, 상기와 같은 각 부화소 사이의 관계와 각 중간층 사이의 관계는 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 각 부화소 사이의 관계를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)는 각각 복수개 구비될 수 있다. 복수개의 제1 부화소(F1)는 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나의 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제1 부화소(F1) 중 일부는 제1 방향(예를 들면, 도 1의 X축 방향 또는 Y축 방향 중 하나)으로 서로 이격되도록 배치될 수 있으며, 복수개의 제1 부화소(F1) 중 다른 일부는 제2 방향(예를 들면, 도 1의 X축 방향 또는 Y축 방향 중 다른 하나)으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 복수개의 제1 부화소(F1) 중 제1 방향으로 배열되는 제1 부화소(F1)의 중심은 하나의 직선 상에 배열될 수 있으며, 이러한 직선은 제1 방향과 동일한 방향으로 배치될 수 있다. 또한, 복수개의 제1 부화소(F1) 중 제2 방향으로 배열되는 제1 부화소(F1)의 중심은 하나의 직선 상에 배열될 수 있으며, 이러한 직선은 제2 방향과 동일한 방향으로 배치될 수 있다.
각 제1 부화소(F1)의 제1 변(S1)과 다른 제2 변(S2)은 서로 일정 각도를 형성할 수 있다. 특히 제1 부화소(F1)의 제1 변(S1)과 제2 변(S2)은 서로 지각을 형성할 수 있다. 이때, 제1 변(S1)과 제2 변(S2)은 각각 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나에 대해서 상이한 방향으로 틸팅된 상태로 배치될 수 있다. 따라서 각 제1 부화소(F1)는 제1 방향 또는 제2 방향 중 하나의 방향을 기준으로 마름모 형태로 배열될 수 있으며, 각 제1 부화소(F1)의 각 꼭지점에 인접하는 두변(S1,S2)이 형성하는 각도가 90도일 수 있다.
이러한 경우 하나의 제1 부화소(F1)의 제1 변(S1) 또는 제2 변(S2)에는 하나의 제2 부화소(F2) 및 하나의 제3 부화소(F3)가 제1 부화소(F1)와 마주보도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)는 제1 방향 또는 제2 방향 중 하나에 대해서 틸팅되도록 배치될 수 있다. 특히 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)는 제1 방향 또는 제2 방향 중 하나에 대해서 45도를 형성하도록 틸팅될 수 있다. 예를 들면, 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3) 중 적어도 하나의 단변 및 장변 중 적어도 하나는 제1 방향으로 배열된 복수개의 제1 부화소(F1)의 중심을 연결한 직선에 대해서 45도를 형성할 수 있다.
제2 부화소(F2)와 제3 부화소(F3)는 직사각형 형태일 수 있다. 이때, 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3) 중 적어도 하나의 면적은 제1 부화소(F1)의 면적보다 작을 수 있다. 또한, 하나의 제1 부화소(F1)를 마주보는 제2 부화소(F2)와 제3 부화소(F3) 중 적어도 하나는 제2 부화소(F2)와 제3 부화소(F3)가 마주보는 제1 부화소(F1)의 일변(예를 들면, 제1 변(S1) 또는 제2 변(S2) 또는 이러한 제1 부화소(F1)의 일변의 연장선에 중첩되도록 배치될 수 있다. 즉, 서로 인접하는 제2 부화소(F2)의 적어도 일부와 제3 부화소(F3)의 적어도 일부는 제1 변(S1) 또는 제2 변(S2) 중 하나의 길이 범위 내에 배치될 수 있다. 하나의 제1 부화소(F1)와 마주보는 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3) 중 적어도 하나의 단변 또는 장변은 제1 변(S1) 또는 제2 변(S2)과 평행하게 배치될 수 있다.
예를 들면, 일 실시예로써 제1 변(S1) 및 제2 변(S2)을 각각 마주보는 서로 다른 제2 부화소(F2)의 단변의 연장선은 서로 교차하거나 제1 변(S1) 및 제2 변(S2)을 각각 마주보는 서로 다른 제2 부화소(F2)의장변의 연장선은 서로 교차할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 변(S1) 및 제2 변(S2)을 각각 마주보는 각 제3 부화소(F3)의 단변의 연장선은 서로 교차하거나 제1 변(S1) 및 제2 변(S2)을 각각 마주보는 각 제3 부화소(F3)의 장변의 연장선은 서로 교차할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2)의 단변의 연장선과 및 제2 변(S2)을 마주보는 제3 부화소(F3)의 단변의 연장선은 서로 교차하거나 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2)의 장변의 연장선과 제2 변(S2)을 마주보는 제3 부화소(F3)의 장변의 연장선이 서로 교차할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2)의 장변의 연장선은 제2 변(S2)을 마주보는 제3 부화소(F3)의 단변의 연장선과 서로 교차하거나 단 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2)의 단변의 연장선은 제2 변(S2)을 마주보는 제3 부화소(F3)의 장변의 연장선과 서로 교차할 수 있다.
상기와 같은 복수개의 제2 부화소(F2)는 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나의 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 일 실시예로써 제1 방향 또는 제2 방향으로 배열되는 복수개의 제2 부화소(F2)의 일부의 중심은 일직선 상에 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 방향 또는 제2 방향 중 하나의 방향으로 배열되는 복수개의 제2 부화소(F2)의 일부의 중심은 일직선 상에 배치되고, 제1 방향 또는 제2 방향 중 다른 하나의 방향으로 배열되는 복수개의 제2 부화소(F2)의 다른 일부의 중심은 제1 방향 또는 제2 방향 중 다른 하나의 방향을 따라 서펜타인(Serpetine, 또는 지그재그) 형태로 배열될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 방향으로 배열되는 복수개의 제2 부화소(F2) 중 일부의 중심은 직선으로 배열되고, 제2 방향으로 배열되는 복수개의 제2 부화소(F2) 중 다른 일부의 중심은 서펜타인 형태로 배열되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
복수개의 제3 부화소(F3)도 제2 부화소(F2)와 유사하게 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나의 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 복수개의 제3 부화소(F3)도 제2 부화소(F2)와 유사하게 배열될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수개의 제3 부화소(F3) 중 제1 방향으로 배열되는 복수개의 제3 부화소(F3) 중 일부의 중심은 직선으로 배열되고, 복수개의 제3 부화소(F3) 중 제2 방향으로 배열되는 복수개의 제3 부화소(F3) 중 다른 일부의 중심은 서펜타인 형태로 배열되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 하나의 제1 부화소(F1)의 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2) 또는 제3 부화소(F3) 중 하나는 제1 부화소(F1)의 제2 변(S2)을 마주보는 제2 부화소(F2) 또는 제3 부화소(F3) 중 하나와 제1 방향으로 배열되는 제1 부화소(F1)의 중심을 연결한 직선(또는 인접하는 두개의 부화소의 중심을 지나면서 제1 방향과 평행한 임의의 직선)에 대해서 서로 대칭되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2)는 제2 변(S2)을 마주보는 제3 부화소(F3)와 상기의 직선을 기준으로 서로 대칭될 수 있다. 또한, 제1 변(S1)을 마주보는 제3 부화소(F3)는 제2 변(S2)을 마주보는 제2 부화소(F2)와 상기의 직선을 기준으로 서로 대칭될 수 있다. 이때, 서로 인접하는 제2 부화소(F2)의 중심 사이의 거리와 서로 인접하는 제3 부화소(F3)의 중심 사이의 거리는 동일할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3) 각각은 제2 변(S2)을 마주보는 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)와 상기의 직선을 기준으로 서로 대칭될 수 있다. 이때, 서로 대칭되도록 배치되는 한쌍의 제2 부화소(F2) 또는 한쌍의 제3 부화소(F3) 중 하나의 중심 사이의 거리는 서로 대칭되도록 배치되는 한쌍의 제2 부화소(F2) 또는 한쌍의 제3 부화소(F3) 중 다른 하나의 중심 사이의 거리보다 작을 수 있다. 이러한 경우 서로 인접하는 한쌍의 제2 부화소(F2)는 서로 인접하는 한쌍의 제3 부화소(F3) 사이에 배치되거나 서로 인접하는 한쌍의 제3 부화소(F3)는 서로 인접하는 한쌍의 제2 부화소(F2) 사이에 배치될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 부화소(F2)는 제3 부화소(F3)와 제1 방향으로 배열되는 제1 부화소(F1)의 중심을 연결한 직선에 대해서 대칭되도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 배치되는 경우 제1 부화소(F1)의 테두리로부터 제2 부화소(F2)까지의 최단거리인 제1 거리(L1)와 제1 부화소(F1)의 테두리로부터 제3 부화소(F3)까지의 최단거리인 제2 거리(L2)는 서로 동일할 수 있다. 이러한 경우 최단거리는 제1 변(S1) 또는 제2 변(S2) 중 하나에 대해서 수직한 방향으로 제1 변(S1) 또는 제2 변(S2)으로부터 제2 부화소(F2)의 일변 또는 제3 부화소(F3)의 일변까지 측정될 수 있다. 또는 다른 실시예는 최단거리는 제1 변(S1) 또는 제2 변(S2) 중 하나의 연장선에 수직한 방향으로 제2 부화소(F2)의 일변 또는 제3 부화소(F3)의 일변까지 측정될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 최단거리는 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)에 대해서 제1 변(S1) 또는 제1 변(S1)의 연장선에서 측정한 거리인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 이때, 상기의 경우 이외에도 다른 실시예로써 최단거리는 제1 부화소(F1)의 중심으로부터 제2 부화소(F2)의 중심까지의 거리 또는 제1 부화소(F1)의 중심으로부터 제3 부화소(F3)의 중심까지의 거리로 측정하는 것도 가능하다. 또 다른 실시에로써 최단거리는 제1 부화소(F1)의 제1 변(S1) 또는 제1 변(S1)의 연장선으로부터 제2 부화소(F2)의 중심까지의 거리 또는 제3 부화소(F3)의 중심까지의 거리로 측정하는 것도 가능하다.
제1 변(S1) 또는 제1 변(S1)의 연장선에서 측정된 제1 거리(L1)와 제2 거리(L2)는 서로 동일할 수 있다. 이때, 제1 거리(L1)는 제1 변(S1) 또는 제1 변(S1)의 연장선 중 하나에서 제2 부화소(F2)의 단변까지의 거리일 수 있으며, 제2 거리(L2)는 제1 변(S1) 또는 제1 변(S1)의 연장선 중 하나에서 제3 부화소(F3)의 단변까지의 거리일 수 있다.
하나의 제1 부화소(F1)의 일변을 마주보는 제2 부화소(F2)의 테두리 일부와 및 제3 부화소(F3)의 일부를 연결한 임의의 외곽선(R)은 정사각형일 수 있다. 예를 들면, 제2 부화소(F2)와 제3 부화소(F3)가 서로 마주보는 제2 부화소(F2)의 일변과 제3 부화소(F3)의 일변을 제외한 제2 부화소(F2)의 나머지 테두리 및 제3 부화소(F3)의 나머지 테두리를 연결하고, 제2 부화소(F2)와 제3 부화소(F3)가 서로 이격된 부분에서 서로 마주보는 제2 부화소(F2)의 꼭지점과 제3 부화소(F3)의 꼭지점을 서로 연결하면 임의의 외곽선(R)을 그릴 수 있다. 이러한 외곽선(R)은 정사각형을 형성함으로써 제2 변(S2) 부분에서 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)를 제1 변(S1)을 마주보는 제2 부화소(F2)와 제3 부화소(F3)의 배치에 대응되도록 미러(mirror) 배치가 가능하다.
상기와 같은 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)를 형성하는 제1 중간층(28-2A), 제2 중간층(28-2B) 및 제3 중간층(28-2C) 각각은 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)와 동일하거나 유사하게 형성되며 배치될 수 있다. 이때, 제1 중간층(28-2A), 제2 중간층(28-2B) 및 제3 중간층(28-2C) 각각의 중심은 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3) 각각의 중심과 동일하거나 상이한 위치에 배치될 수 있다. 이때, 상기에서 설명한 제1 부화소(F1), 제2 부화소(F2) 및 제3 부화소(F3)의 내용은 제1 중간층(28-2A), 제2 중간층(28-2B) 및 제3 중간층(28-2C)에 각각 적용되는 것이 가능하다.
후술할 표시 장치의 제조장치(미도시)는 디스플레이 기판(D)에 다양한 층을 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 표시 장치의 제조장치는 디스플레이 기판(D)에 중간층(28-2) 중 적어도 하나의 층을 형성할 수 있다. 구체적으로 상기 표시 장치의 제조장치는 중간층(28-2) 중 유기 발광층, 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 주입층, 전자 수송층 및 기능층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다. 특히 상기 표시 장치의 제조장치가 디스플레이 기판(D)에 중간층(28-2) 중 적어도 하나의 층을 형성하는 경우 상기 표시 장치의 제조장치는 하나의 층을 복수개의 증착물질을 통하여 제조하거나 복수개의 층을 동시에 제조하는 것도 가능하다. 한편, 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산, 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
상기와 같이 무기층이 복수개 구비되는 경우 무기층은 표시 장치(20)의 가장자리 영역에서 서로 직접 접촉하도록 증착될 수 있으며, 유기층이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 캡핑층(미도시)이 배치될 수 있다. 상기 캡핑층은 대향전극(28-3)보다 낮은 굴절률을 가지며, 상기 유기 발광층을 포함하는 중간층(28-2)에서 발생된 빛이 전반사되어 외부로 방출되지 않는 비율을 감소시켜 광효율을 향상시키는 역할을 할 수 있다.
예시적으로, 상기 캡핑층은 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(Poly(3,4- ethylenedioxythiophene), PEDOT), 4,4'－비스[N-(3-메틸페닐)-N-페닐 아미노]비페닐(TPD), 4,4',4''-트리스[(3-메틸페닐)페닐 아미노]트리페닐아민(m-MTDATA), 1,3,5-트리스[N,N-비스(2-메틸페닐)-아미노]-벤젠(o-MTDAB), 1,3,5-트리스[N,N-비스(3-메틸페닐)-아미노]-벤젠(m-MTDAT), 1,3,5-트리스[N,N-비스(4-메틸페닐)-아미노]-벤젠(p-MTDAB), 4,4'－비스[N,N-비스(3-메틸페닐)-아미노]-디페닐메탄(BPPM), 4,4'－디카르바졸릴-1,1'－비페닐(CBP), 4,4',4''-트리스(N-카르바졸)트리페닐아민(TCTA), 2,2',2''-(1,3,5-벤젠톨릴)트리스-[1-페닐-1H-벤조이미다졸](TPBI), 및 3-(4-비페닐)-4-페닐-5-t-부틸페닐-1,2,4-트리아졸(TAZ)과 같은 유기물을 포함할 수 있다.
또는, 상기 캡핑층은 산화 아연(zinc oxide), 산화 티타늄(titanium oxide), 산화 지르코늄(zirconium oxide), 산화 질소(silicon nitride), 산화 나이오븀(niobium oxide), 산화 탄탈(tantalum oxide), 산화 주석(tin oxide), 산화 니켈(nickel oxide), 질화 인듐(indium nitride), 및 질화 갈륨(gallium nitride)과 같은 무기물을 포함할 수 있다. 물론, 상기 캡핑층을 형성할 수 있는 물질은 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 물질들로 형성될 수 있다.
상기 캡핑층 상에는 커버층(미도시)이 배치될 수 있다. 커버층은 플라즈마 등을 이용한 후속 공정 과정에서 발생할 수 있는 손상으로부터 유기발광소자(OLED)를 보호한다. 커버층은 플루오린화 리튬(LiF; lithium fluoride)을 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치(20)는 차량 등과 같이 사용자를 이동시키는 장치 등에 고정될 수 있다. 이때, 표시 장치(20)는 상기 제1 방향 또는 제2 방향에 대해서 사용자 눈이 바라보는 시선 방향과 0도가 아닌 일정 각도를 형성하도록 상기 장치에 고정될 수 있다. 예를 들면, 표시 장치(20)는 사용자의 눈이 표시 장치(20)를 바라보는 시선 방향과 제1 방향 또는 제2 방향이 90도를 형성하도록 배치할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(20)를 바라보는 시선 방향과 제1 방향이 90도를 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 사용자가 표시 장치(20)를 바라보는 경우 화소정의막(29)의 경사진 부분과 시선 방향에 수직을 형성하지 않으므로 화소정의막(29)의 경사진 부분을 통하여 외부의 광이 반사되어 사용자의 눈으로 입사되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 표시 장치(20)는 각 부화소를 통하여 정밀한 이미지를 구현하는 것이 가능하다.
도 4는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 보여주는 측면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 제1 증착부를 보여주는 단면도이다. 도 6은 도 5에 도시된 제1 마스크 어셈블리를 보여주는 사시도이다. 도 7은 도 4에 도시된 제2 증착부에서 사용하는 제2 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 8은 도 4에 도시된 제3 증착부에서 사용하는 제3 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 4 내지 도 8을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 기판을 로딩하는 장치, 디스플레이 기판(D)을 제조하는 장치, 디스플레이 기판(D)에 중간층(미도시)을 형성하는 장치, 디스플레이 기판(D)에 대향 전극(미도시)을 형성하는 장치, 디스플레이 기판(D)에 박막 봉지층(미도시)을 형성하는 장치, 디스플레이 기판(D)을 언로딩하는 장치 등을 포함할 수 있다. 이때, 일 실시예로써 표시 장치의 제조장치(100)는 상기에서 설명한 장치들이 인라인(In-line) 형태로 서로 연결될 수 있다. 또 다른 실시예로서 표시 장치의 제조장치(100)는 상기에서 설명한 장치들 중 일부만 인라인 형태로 배열되고, 다른 일부는 인라인 형태의 일부와 서로 분리되도록 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 표시 장치의 제조장치(100)는 각 장치가 개별적으로 구분되어 배치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치의 제조장치(100)가 로딩하는 장치, 상기 중간층을 형성하는 장치 및 언로딩하는 장치를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
표시 장치의 제조장치(100)는 로딩부(110), 제1 증착부(120), 제2 증착부(130), 제3 증착부(140) 및 언로딩부(150)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100)는 서로 연결되는 각 장치 사이에 배치되어 각 장치의 공간을 단절시커거나 연결시키는 차폐부(160)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 제1 증착부(120), 제2 증착부(130) 및 제3 증착부(140)는 다양한 순서로 제1 중간층(미도시), 제2 중간층(미도시) 및 제3 중간층(미도시)을 디스플레이 기판(D)에 증착할 수 있다. 예를 들면, 제1 증착부(120)가 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 또는 상기 제3 중간층 중 하나를 디스플레이 기판(D)에 증착하고, 제2 증착부(130)는 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 또는 상기 제3 중간층 중 다른 하나를 디스플레이 기판(D)에 증착하며, 제3 증착부(140)는 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 또는 상기 제3 중간층 중 또 다른 하나를 디스플레이 기판(D)에 증착할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 증착부(120)는 상기 제1 중간층을 디스플레이 기판(D)에 증착하고, 제2 증착부(130)는 상기 제2 중간층을 디스플레이 기판(D)에 증착하며, 제3 증착부(140)는 상기 제3 중간층을 디스플레이 기판(D)에 증착하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 또한, 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층의 형태는 상기 도 1 내지 도 3에서 설명한 제1 부화소(미도시), 제2 부화소(미도시) 및 제3 부화소(미도시)와 동일한 형태 및 배열을 갖는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
로딩부(110)는 외부로부터 디스플레이 기판(D)이 삽입되어 일시적으로 저장될 수 있다. 이때, 로딩부(110)는 디스플레이 기판(D)을 복수개 저장하거나 하나의 디스플레이 기판(D)을 저장할 수 있다. 로딩부(110)에는 내부에 배치된 로봇암 또는 이동 가능한 셔틀 등을 통하여 디스플레이 기판(D)을 외부로부터 공급 받아 제1 증착부(120)로 공급할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 로딩부(110)는 내부의 로봇암을 통하여 디스플레이 기판(D)을 지지하고, 로봇암에서 공급되는 디스플레이 기판(D)은 셔틀에 안착되어 로딩부(110)로부터 제1 증착부(120)로 디스플레이 기판(D)을 공급하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 증착부(120)는 디스플레이 기판(D)에 상기 제1 중간층을 증착시킬 수 있다. 이러한 경우 제1 증착부(120)는 적어도 한 개 이상 구비될 수 있다. 예들 들면, 일 실시예로써 제1 증착부(120)가 한 개 구비되는 경우 하나의 제1 증착부(120)는 상기 제1 중간층의 적어도 하나의 층을 형성할 수 있다. 이때, 하나의 제1 증착부(120)는 디스플레이 기판(D)에 상기 제1 중간층의 하나의 층을 형성하기 위하여 적어도 하나 이상의 제1 증착원(122)을 구비할 수 있다. 특히 제1 증착원(122)이 복수개 구비되어 제1 증착부(120)가 상기 중간층 중 복수개의 층을 형성하는 경우 각 제1 증착원(122)은 교체 가능할 수 있다. 이때, 각 제1 증착원(122)은 서로 상이한 증착물질이 수납될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 증착부(120)가 복수개 구비되는 경우 각 제1 증착부(120)는 상기 제1 중간층의 각 층을 개별적으로 디스플레이 기판(D)에 증착시키는 것이 가능하다. 이때, 각 제1 증착부(120)은 서로 상이한 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시킬 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 증착원(122)은 하나만 구비되고, 제1 증착원(122)은 상기 제1 중간층 중 유기 발광층만을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 증착부(120)는 제1 챔버(121), 제1 증착원(122), 제1 마스크 조립체(123), 제1 기판지지부(124), 제1 마스크지지부(125), 제1 자기력생성부(126) 및 제1 압력조절부(127)를 포함할 수 있다.
제1 챔버(121)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일측이 개구되도록 형성되어 디스플레이 기판(D)이 인출되거나 수납될 수 있다. 이때, 개구된 제1 챔버(121) 부분에는 게이트 밸브 등을 포함하는 차폐부(160)가 배치되어 선택적으로 개폐할 수 있다.
제1 증착원(122)은 상기 제1 중간층 중 적어도 하나의 층을 형성하는 제1 증착물질이 수납될 수 있다. 이때, 제1 증착원(122)은 에너지(예를 들면, 열에너지, 빛에니저, 진동에너지 등)를 가하여 제1 증착물질을 기화시키거나 승화시킬 수 있다.
상기와 같은 제1 증착원(122)은 교체 가능할 수 있다. 이때, 제1 증착원(122)은 수납된 제1 증착물질이 소진되는 경우 새로운 제1 증착원(122)로 교체될 수 있다.
제1 마스크 조립체(123)는 제1 마스크 프레임(123-1), 제1 마스크 시트(123-2) 및 제1 지지프레임(123-3)을 포함할 수 있다.
제1 마스크 프레임(123-1)은 중앙에 개구부가 형성될 수 있다. 이러한 경우 제1 마스크 프레임(123-1)은 창틀과 같은 형태로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 마스크 프레임(123-1)은 중앙에 개구부가 형성되고, 이러한 개구부를 격자 형태로 나누는 별도의 프레임이 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 마스크 프레임(123-1)은 중앙에 하나의 개구부가 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 마스크 시트(123-2)는 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나의 방향으로 인장된 상태로 제1 마스크 프레임(123-1)의 일면에 배치되어 용접 등을 통하여 제1 마스크 프레임(123-1)에 고정될 수 있다. 이때, 제1 마스크 프레임(123-1)에는 제1 마스크 시트(123-2)가 수납되도록 홈이 형성되는 것도 가능하다. 제1 마스크 시트(123-2)는 직사각형 형태로 형성될 수 있으며, 제1 마스크 프레임(123-1)의 일변으로 배치될 수 있다. 또한, 제1 마스크 시트(123-2)는 슬릿 형태로 형성될 수 있다.
상기와 같은 제1 마스크 시트(123-2)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제1 마스크 시트(123-2)는 제1 방향 또는 제2 방향으로 서로 인접하도록 일렬로 배열될 수 있다. 특히 이러한 경우 제1 마스크 시트(123-2)의 장변은 제1 마스크 프레임(123-1)의 장변 또는 단변과 평행하도록 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 마스크 시트(123-2)의 장변이 도 6의 X축 방향으로 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 마스크 시트(123-2)에는 복수개의 제1 개구부(123-4)를 구비할 수 있다. 이때, 복수개의 제1 개구부(123-4)는 제1 방향 및 제2 방향으로 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 특히 각 제1 개구부(123-4)는 제1 마스크 시트(123-2)의 인장 방향으로 꼭지점이 배치된 마름모꼴일 수 있다. 특히 각 제1 개구부(123-4)는 각 꼭지점에 인접한 두변이 형성하는 각도가 90도인 정사각형 형태일 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제1 개구부(123-4) 중 일부의 중심은 제1 마스크 시트(123-2)의 인장방향 및 제1 마스크 시트(123-2)의 인방향과 수직한 방향으로 일렬로 배열될 수 있다. 이때, 복수개의 제1 개구부(123-4)는 상기 도 1 내지 도 3에서 설명한 상기 제1 부화소의 배치에 대응될 수 있다. 상기와 같이 제1 개구부(123-4)가 형성되는 경우 제1 마스크 시트(123-2)가 인장되더라도 제1 마스크 시트(123-2)의 인장 형상은 어느 정도 예측이 가능한 형태가 될 수 있다.
제1 지지프레임(123-3)은 제1 마스크 프레임(123-1)에 배치되어 제1 마스크 프레임(123-1)을 지지할 뿐만 아니라 제1 마스크 시트(123-2)를 지지하는 것도 가능하다. 이때, 제1 지지프레임(123-3)은 격자 형태로 제1 마스크 프레임(123-1)에 배치됨으로써 하니의 표시 장치(미도시)의 표시 영역(미도시)를 정의할 수 있다. 즉, 제1 지지프레임(123-3)은 제1 마스크 프레임(123-1)의 중앙 개구부를 복수개 영역으로 구분함으로써 복수개의 표시 영역을 정의할 수 있다.
제1 기판지지부(124)는 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있다. 이때, 제1 기판지지부(124)는 디스플레이 기판(D)이 안착하여 디스플레이 기판(D)을 지지하거나 디스플레이 기판(D)의 일면을 흡착하거나 부착하여 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판지지부(124)는 제1 챔버(121) 내부에 고정되는 프레임, 바 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 기판지지부(124)는 디스플레이 기판(D)을 파지하는 클램프를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 기판지지부(124)는 점착척이나 정전척을 포함하는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1 기판지지부(124)는 제1 자기력생성부(126)과 일체로 형성될 수 있다. 또 다른 실시예로서 제1 기판지지부(124)는 로딩부(110)에서 디스플레이 기판(D)을 이송시키는 셔틀을 포함하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 기판지지부(124)는 셔틀을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 마스크지지부(125)는 제1 마스크 조립체(123)를 지지할 수 있다. 이때, 제1 마스크지지부(125)는 상기에서 설명한 제1 기판지지부(124)와 동일 또는 유사할 수 있으므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명을 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 제1 마스크지지부(125)가 제1 챔버(121) 내부에 고정되는 프레임을 포함하고, 제1 마스크 조립체(123)는 상기 프레임에 안착하여 지지되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 자기력생성부(126)는 제1 챔버(121)에 배치되어 제1 마스크 프레임(123-1)을 디스플레이 기판(D)에 밀착시킬 수 있다. 이때, 제1 자기력생성부(126)는 전자석을 포함할 수 있다.
제1 압력조절부(127)는 제1 챔버(121)와 연결되어 제1 챔버(121) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 이때, 제1 압력조절부(127)는 제1 챔버(121)와 연결되는 배관과 배관에 배치되는 펌프를 포함할 수 있다.
제2 증착부(130)는 상기 제1 중간층이 형성된 디스플레이 기판(D)에 제2 증착물질을 증착시켜 상기 제2 중간층을 형성할 수 있다. 제2 증착부(130)는 상기에서 설명한 제1 증착부(120)와 유사할 수 있다. 이때, 제2 증착부(130)는 제2 마스크 시트(133-2)를 포함할 수 있다. 제2 마스크 시트(133-2)는 제1 마스크 시트(123-2)와 유사할 수 있다. 이러한 경우 제2 마스크 시트(133-2)는 복수개의 제2 개구부(133-4)를 포함할 수 있다. 복수개의 제2 개구부(133-4)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 일부는 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향(예를 들면, 도 7의 X축 방향)에 대해서 일방향으로 틸팅된 상태일 수 있다. 또한, 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 다른 일부는 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향에 대해서 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 일부와 다른 방향으로 틸팅된 상태일 수 있다. 이러한 경우 서로 인접하는 2개의 제2 개구부(133-4)는 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향을 따라 이격되는 거리가 줄어들거나 늘어날 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제2 개구부(133-4)는 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향에 대해서 0도가 아닌 각도를 갖도록 틸팅될 수 있다. 특히 복수개의 제2 개구부(133-4)는 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성하도록 배치될 수 있다.
일 실시예로써 상기와 같은 복수개의 제2 개구부(133-4)는 일 방향으로 각 제2 개구부(133-4)의 중심이 일직선을 형성할 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제2 개구부(133-4)는 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향 및 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향과 수직한 방향으로 각각 배열되는 제2 개구부(133-4)의 중심이 일직선 상에 배열될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제2 개구부(133-4)는 복수개의 열 및 행으로 배열될 수 있다. 다른 실시예로써 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 일부의 중심은 일직선을 형성하고, 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 다른 일부의 중심은 일직선을 형성하지 않을 수 있다. 예를 들면, 상기와 같은 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향으로 배열되는 일렬의 제2 개구부(133-4)의 중심은 일직선을 형성할 수 있다. 반면, 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향에 수직한 방향으로 배열되는 제2 개구부(133-4)의 중심은 서펜타인 형태(또는 지그재그 형태)로 배열될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 일부의 중심은 일직선을 형성하고, 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 다른 일부의 중심은 일직선을 형성하지 않는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 상기와 같은 복수개의 제2 개구부(133-4)는 직사각형일 수 있다.
상기와 같은 제2 마스크 시트(133-2)는 상기에서 설명한 바와 같이 인장력이 가재해진 상태로 제2 마스크 프레임(미도시)에 고정될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제2 개구부(133-4)가 모두 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향에 대해서 동일한 방향으로 틸팅되면 제2 마스크 시트(133-2)의 변형 시 좌우 또는 전후 사이의 변형 정도가 상이해짐으로써 제2 마스크 시트(133-2)의 변형이 예측 가능 범위를 넘을 수 있다. 특히 상기와 같은 경우 제2 마스크 시트(133-2)의 어느 한쪽은 변형이 많이 발생하고 제2 마스크 시트(133-2)의 다른 한쪽은 변형이 되지 않거나 적게 됨으로써 제2 개구부(133-4)의 형태가 어그러지거나 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 일부와 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 다른 일부의 형상이 상이해지는 문제가 발생할 수 있다. 또한, 사익와 같은 경우 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 일부의 중심이 일렬로 배열되지 않을 수 있다.
그러나 상기와 같이 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 일부와 복수개의 제2 개구부(133-4) 중 다른 일부를 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향에 대해서 서로 다른 방향으로 틸팅시켜 제2 마스크 시트(133-2)에 형성함으로써 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 시 변형 정도를 제2 마스크 시트(133-2) 전체에서 어느 정도 균일하게 유지시킬 수 있다. 특히 서로 인접하는 제2 개구부(133-4)를 제2 마스크 시트(133-2)의 인장방향에 대해서 서로 다른 방향으로 틸팅시킴으로써 제2 마스크 시트(133-2)의 전체에서 균일한 변형을 유도할 수 있다.
제3 증착부(140)는 상기 제1 중간층 및 상기 제2 중간층이 형성된 디스플레이 기판(D)에 제3 증착물질을 증착시켜 상기 제3 중간층을 형성할 수 있다. 이때, 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은 평면 상에서 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 제3 증착부(140)는 제1 증착부(120)와 유사할 수 있다. 이때, 제3 증착부(140)는 복수개의 제3 개구부(143-4)를 포함하는 제3 마스크 시트(143-2)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제3 마스크 시트(143-2)는 제2 마스크 시트(133-2)와 유사할 수 있으며, 제3 개구부(143-4)는 제2 개구부(133-4)와 유사하게 배열될 수 있다. 다만, 제2 마스크 시트(133-2)와 제3 마스크 시트(143-2)를 서로 적층되도록 배치하는 경우 제2 개구부(133-4)와 제3 개구부(143-4)는 서로 중첩되지 않도록 제2 마스크 시트(133-2)와 제3 마스크 시트(143-2)는 제작될 수 있다.
언로딩부(150)는 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층이 형성된 디스플레이 기판(D)을 임시적으로 저장하였다가 외부로 반출하거나 다른 장비로 이송시킬 수 있다. 이때, 언로딩부(150)는 내부에 디스플레이 기판(D)을 이송시키는 로봇암 등을 구비할 수 있다.
상기와 같이 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층이 각각 형성된 디스플레이 기판(D)는 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층 상에 상기 대향 전극을 형성하고, 상기 박막 봉지층을 형성하여 상기 표시 장치로 제조될 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)의 작동을 살펴보면, 표시 장치의 제조장치(100)는 상기에서 설명한 바와 같이 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소를 다양한 순서로 제조할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치의 제조장치(100)가 도 1 내지 도 3에 도시되어 있는 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소 내지 상기 제3 부화소를 순차적으로 제조하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
디스플레이 기판(D)이 로딩부(110)로 이송된 후 로딩부(110)는 디스플레이 기판(D)을 제1 증착부(120)로 이송시킬 수 있다.
제1 증착부(120)는 제1 증착원(122)으로 제1 증착물질을 공급하여 디스플레이 기판(D) 상에 상기 제1 중간층을 형성할 수 있다. 이때, 제1 증착물질은 제1 개구부(123-4)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이러한 경우 상기 제1 중간층은 제1 마스크 시트(123-2)의 인장 방향에 대해서 틸팅된 정사각형 형태를 가질 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 디스플레이 기판(D)은 제1 증착부(120)에서 제2 증착부(130)로 이송된 후 제2 증착부(130)에서 제2 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시킬 수 있다. 이때, 제2 증착부(130)는 제2 마스크 시트(133-2)의 인장 방향에 대해서 서로 다른 방향으로 틸팅되며 서로 인접하는 한쌍의 상기 제2 중간층을 디스플레이 기판(D)에 복수개 형성할 수 있다.
이후 디스플레이 기판(D)은 제2 증착부(130)에서 제3 증착부(140)로 이송될 수 있다. 제3 증착부(140)는 제3 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 공급할 수 있으며, 제3 개구부(143-4)를 통과한 제3 증착물질은 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 제3 증착부(140)는 제3 마스크 시트(143-2)의 인장 방향에 대해서 서로 다른 방향으로 틸팅되며 서로 인접하는 한쌍의 상기 제3 중간층을 디스플레이 기판(D)에 복수개 형성할 수 있다.
상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층이 형성된 디스플레이 기판(D)은 언로딩부(150)를 통하여 외부로 반출되거나 다음 단계를 위한 장치(또는 장비)로 공급될 수 있다. 이후 디스플레이 기판(D) 상에 상기 대향 전극 및 상기 박박 봉지층 등을 형성하여 상기 표시 장치의 제조를 완료할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착 패턴을 갖는 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
또한, 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 제조 시 발생할 수 있는 설계 패턴과 실제 증착 패턴 사이의 오차를 최소화하는 것이 가능하다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소를 보여주는 평면도이다. 도 10은 도 9에 도시된 제2 중간층을 증착하기 위한 제2 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 11은 도 9에 도시된 제3 중간층을 증착하기 위한 제3 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 9 내지 도 11을 참고하면, 표시 장치(미도시)는 기판(미도시) 상에서 표시 영역(미도시)과 상기 표시 영역의 외곽에 비표시 영역(미도시)이 정의할 수 있다. 상기 표시 영역에는 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′) 및 제3 부화소(F3′)를 포함하는 복수개의 부화소가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 상기 비표시 영역에는 패드부(미도시)가 배치될 수 있다. 상기 표시 장치는 디스플레이 기판(미도시), 상기 표시 영역에 배치되는 중간층(미표기), 대향 전극(미도시) 및 박막 봉지층(미도시)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′) 및 제3 부화소(F3′)는 서로 상이한 색을 발광할 수 있다. 예를 들면, 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′) 또는 제3 부화소(F3′) 중 하나는 청색을 발광하고, 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′) 또는 제3 부화소(F3′) 중 다른 하나는 적색을 발광하며, 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′) 또는 제3 부화소(F3′) 중 또 다른 하나는 녹색을 발광한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′) 또는 제3 부화소(F3′) 중 하나는 정사각형일 수 있으며, 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′) 또는 제3 부화소(F3′) 중 나머지 2개는 직사각형일 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 부화소(F1′)는 정사각형이면서 적색을 발광하고, 제2 부화소(F2′)는 직사각형이면서 녹색을 발광하며, 제3 부화소(F3′)는 직사각형이면서 청색을 발광하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1′)는 제1 중간층(28-2A′)을 포함하며, 제1 중간층(28-2A′)은 제1 부화소(F1′)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제1 중간층(28-2A′)의 평면 상의 면적은 제1 부화소(F1′)의 평면 상의 면적이상 일 수 있으며, 제1 부화소(F1′)는 제1 중간층(28-2A′) 내부에 배치될 수 있다.
제2 부화소(F2′)는 제2 중간층(28-2B′)을 포함할 수 있다. 또한, 제2 중간층(28-2B′)은 제2 부화소(F2′)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제2 부화소(F2′)는 제2 중간층(28-2B′) 내부에 배치될 수 있다.
제3 부화소(F3′)는 제3 중간층(28-2C′)을 포함할 수 있다. 또한, 제3 중간층(28-2C′)은 제3 부화소(F3′)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제3 부화소(F3′)는 제3 중간층(28-2C′) 내부에 배치될 수 있다.
상기와 같은 제2 부화소(F2′)의 평면 상의 면적과 제3 부화소(F3′)의 평면 상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 제2 부화소(F2′)의 평면 상의 면적 또는 제3 부화소(F3′)의 평면 상의 면적 중 하나는 제2 부화소(F2′)의 평면 상의 면적 또는 제3 부화소(F3′)의 평면 상의 면적 중 다른 하나보다 작을 수 있다. 일 실시예로써 제2 부화소(F2′)의 평면 상의 면적은 제3 부화소(F3′)의 평면 상의 면적보다 작을 수 있다. 다른 실시예로써 제3 부화소(F3′)의 평면 상의 면적은 제2 부화소(F2′)의 평면 상의 면적보다 작을 수 있다. 따라서 각 부화소에서 발광하는 빛의 개구율을 조절하는 것이 가능하다.
상기와 같이 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′) 및 제3 부화소(F3′) 중 적어도 하나의 면적을 조절하는 것은 상기에서 설명한 것과 같이 화소정의막(미도시)이 화소 전극(미도시)을 노출시키는 면적을 조절함으로써 달성할 수 있다. 이때, 제1 부화소(F1′), 제2 부화소(F2′), 제3 부화소(F3′)에 각각 증착되어 형성되는 제1 중간층(28-2A′), 제2 중간층(28-2B′) 및 제3 중간층(28-2C′)의 면적 및 형상은 각 부화소가 서로 중첩되는 것을 방지하도록 각 부화소에 대응되는 면적 및 형상을 가질 수 있다.
상기와 같은 제2 중간층(28-2B′)과 제3 중간층(28-2C′)을 형성하기 위하여 제2 마스크 시트(133-2′)와 제3 마스크 시트(143-2′)를 사용할 수 있다. 이때, 제2 마스크 시트(133-2′)는 복수개의 제2 개구부(133-4′)를 포함할 수 있으며, 제3 마스크 시트(143-2′)는 제3 개구부(143-4′)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 각 제2 개구부(133-4′)의 면적과 각 제3 개구부(143-4′)의 면적은 서로 상이할 수 있다. 특히 각 제2 개구부(133-4′)의 면적과 각 제3 개구부(143-4′)의 면적은 제2 중간층(28-2B′)의 면적 및 제3 중간층(28-2C′)의 면적에 각각 대응될 수 있다. 상기와 같은 각 부화소, 각 중간층 및 각 개구부와의 관계는 본원발명의 모든 실시예에 적용 가능할 수 있다.
상기와 같은 제2 개구부(133-4′) 중 서로 인접하는 2개의 제2 개구부(133-4′)는 제2 마스크 시트(133-2′)의 인장 방향에 대해서 서로 반대 방향으로 틸팅된 상태로 배치될 수 있다. 또한, 제3 개구부(143-4′) 중 서로 인접하는 2개의 제3 개구부(143-4′)는 제3 마스크 시트(143-2′)의 인장 방향에 대해서 서로 반대 방향으로 틸팅된 상태로 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제2 마스크 시트(133-2′) 및 제3 마스크 시트(143-2′)를 인장하는 경우에도 제2 개구부(133-4′) 및 제3 개구부(143-4′)의 형상이 최초와 거의 유사하게 유지될 뿐만 아니라 제2 개구부(133-4′) 및 제3 개구부(143-4′)의 위치가 초기 위치에서 가변할 때 어느 정도 예상 가능한 범위로 이동 가능하므로 향후 제2 증착물질 및 제3 증착물질을 상기 디스플레이 기판에 증착 시 패턴을 보정하는 것이 어느 정도 가능하다.
상기 표시 장치는 차량 등과 같이 사용자를 이동시키는 장치 등에 고정될 수 있다. 이때, 상기 표시 장치는 상기 제1 방향 또는 제2 방향에 대해서 사용자 눈이 바라보는 시선 방향과 0도가 아닌 일정 각도를 형성하도록 상기 장치에 고정될 수 있다. 예를 들면, 상기 표시 장치는 사용자의 눈이 상기 표시 장치를 바라보는 시선 방향과 제1 방향 또는 제2 방향이 90도를 형성하도록 배치할 수 있다.
상기와 같은 경우 사용자가 상기 표시 장치를 바라보는 경우 화소정의막(미도시)의 경사진 부분과 시선 방향에 수직을 형성하지 않으므로 상기 화소정의막의 경사진 부분을 통하여 외부의 광이 반사되어 사용자의 눈으로 입사되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 표시 장치는 각 부화소를 통하여 정밀한 이미지를 구현하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치는 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 제조될 수 있다. 이때, 상기 표시 장치의 제조장치는 상기 도 4 및 도 5에 도시된 것과 유사하게 형성될 수 있다. 이러한 경우 제2 증착부(미도시)와 제3 증착부(미도시)에서는 도 6에 도시된 제1 마스크 조립체(123)을 사용하여 제1 중간층(28-2A′)을 형성하고, 도 10 및 도 11에 도시된 제2 마스트 시트(133-2′) 및 제3 마스크 시트(143-2′)를 사용하여 제2 중간층(28-2B′) 및 제3 중간층(28-2C′)을 상기 디스프렐이 기판에 형성할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(미도시) 및 표시 장치의 제조방법은 각 마스크 시트의 변형을 최소화함으로써 정밀한 증착 패턴을 갖는 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
또한, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 제조 시 발생할 수 있는 설계 패턴과 실제 증착 패턴 사이의 오차를 최소화하는 것이 가능하다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소를 보여주는 평면도이다. 도 13은 도 12에 도시된 B-B선을 따라 취한 단면도이다. 도 14는 도 12에 도시된 제2 중간층을 증착하기 위한 제2 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 15는 도 12에 도시된 제3 중간층을 증착하기 위한 제3 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 12 내지 도 15를 참고하면, 표시 장치(20″)는 기판(21″) 상에서 표시 영역(미도시)과 상기 표시 영역의 외곽에 비표시 영역(미도시)이 정의할 수 있다. 상기 표시 영역에는 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″)를 포함하는 복수개의 부화소가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 상기 비표시 영역에는 패드부(미도시)가 배치될 수 있다. 상기 표시 장치는 디스플레이 기판(D″), 상기 표시 영역에 배치되는 중간층(미표기), 대향 전극(28-3″) 및 박막 봉지층(E″)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 상기 표시 장치(20″)는 기판(21″), 버퍼층(22″), 활성층(23″), 게이트 절연층(24″), 게이트 전극(25″), 층간 절연층(26″), 패시베이션막(27″), 소스 전극(27-1″), 드레인 전극(27-2″), 유기 발광 소자(28″) 및 박막 봉지층(E″)을 포함할 수 있다. 이때, 활성층(23″)은 소스 영역(23-1ㅍ)과 드레인 영역(23-3″)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2″)을 더 포함한다. 또한, 유기 발광 소자(28″)는 화소 전극(28-1″), 상기 중간층 및 대향 전극(28-3″)을 포함한다. 이러한 경우 기판(21″), 버퍼층(22″), 활성층(23″), 게이트 절연층(24″), 게이트 전극(25″), 층간 절연층(26″), 패시베이션막(27″), 소스 전극(27-1″), 드레인 전극(27-2″), 유기 발광 소자(28″) 및 박막 봉지층(E″)은 상기 도 1에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생랴갛기로 한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″)는 서로 상이한 색을 발광할 수 있다. 예를 들면, 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 또는 제3 부화소(F3″) 중 하나는 청색을 발광하고, 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 또는 제3 부화소(F3″) 중 다른 하나는 적색을 발광하며, 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 또는 제3 부화소(F3″) 중 또 다른 하나는 녹색을 발광한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 또는 제3 부화소(F3″) 중 하나는 정사각형일 수 있으며, 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 또는 제3 부화소(F3″) 중 나머지 2개는 직사각형일 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 부화소(F1″)는 정사각형이면서 적색을 발광하고, 제2 부화소(F2″)는 직사각형이면서 녹색을 발광하며, 제3 부화소(F3″)는 직사각형이면서 청색을 발광하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1″)는 제1 중간층(28-2A″)을 포함하며, 제1 중간층(28-2A″)은 제1 부화소(F1″)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제1 중간층(28-2A″)의 평면 상의 면적은 제1 부화소(F1″)의 평면 상의 면적이상 일 수 있으며, 제1 부화소(F1″)는 제1 중간층(28-2A″) 내부에 배치될 수 있다.
제2 부화소(F2″)는 제2 중간층(28-2B″)을 포함할 수 있다. 또한, 제2 중간층(28-2B″)은 제2 부화소(F2″)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제2 부화소(F2″)는 제2 중간층(28-2B″) 내부에 배치될 수 있다.
제3 부화소(F3″)는 제3 중간층(28-2C″)을 포함할 수 있다. 또한, 제3 중간층(28-2C″)은 제3 부화소(F3″)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제3 부화소(F3″)는 제3 중간층(28-2C″) 내부에 배치될 수 있다.
제2 부화소(F2″)는 제2 중간층(28-2B″)을 포함할 수 있다. 또한, 제2 중간층(28-2B″)은 제2 부화소(F2″)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제2 부화소(F2″)는 제2 중간층(28-2B″) 내부에 배치될 수 있다.
제3 부화소(F3″)는 제3 중간층(28-2C″)을 포함할 수 있다. 또한, 제3 중간층(28-2C″)은 제3 부화소(F3″)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제3 부화소(F3″)는 제3 중간층(28-2C″) 내부에 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제2 부화소(F2″)의 평면 상의 면적과 제3 부화소(F3″)의 평면 상의 면적은 다양할 수 있다.
일 실시예로써 제2 부화소(F2″)의 평면 상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제2 부화소(F2″) 중 일부는 복수개의 제2 부화소(F2″) 중 다른 일부와 상기의 면적이 상이할 수 있다. 특히 하나의 제1 부화소(F1″)를 마주보며, 서로 인접하는 한쌍의 제2 부화소(F2″)의 평면 상의 면적은 서로 상이할 수 있다.
또한, 제3 부화소(F3″)의 평면 상의 면적도 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제3 부화소(F3″) 중 일부는 복수개의 제3 부화소(F3″) 중 다른 일부와 상기의 면적이 상이할 수 있다. 특히 하나의 제1 부화소(F1″)를 마주보며, 서로 인접하는 제3 부화소(F3″)의 평면 상의 면적은 서로 상이할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1 부화소(F1″)의 제1 변(S1″) 또는 제2 변(S2″) 중 하나 또는 제1 부화소(F1″)의 제1 변(S1″) 또는 제2 변(S2″) 중 하나의 연장선 중 하나로부터 제1 변(S1″) 또는 제2 변(S2″) 중 하나를 마주보는 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″) 사이의 거리는 서로 상이할 수 있다.
예를 들면, 제1 변(S1″) 또는 제1 변(S1″)의 연장선과 마주보는 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″)는 제1 변(S1″) 또는 제1 변(S1″)의 연장선 중 하나로부터 제2 부화소(F2″)의 단변(또는 일변, 제2 부화소(F2″)의 중심)까지의 최단거리인 제1 거리(L1″)와 제1 변(S1″) 또는 제1 변(S1″)의 연장선 중 하나로부터 제3 부화소(F3″)의 단변(또는 일변, 제3 부화소(F3″)의 중심)까지의 최단거리인 제2 거리(L2″)는 서로 상이할 수 있다. 특히 제1 거리(L1″)는 제2 거리(L2″)보다 길 수 있다.
반면 제2 변(S2″) 또는 제2 변(S2″)의 연장선과 마주보는 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″)는 제2 변(S2″) 또는 제2 변(S2″)의 연장선 중 하나로부터 제2 부화소(F2″)의 단변(또는 일변, 제2 부화소(F2″)의 중심)까지의 최단거리인 제3 거리(L3″)와 제2 변(S2″) 또는 제2 변(S2″)의 연장선 중 하나로부터 제3 부화소(F3″)의 단변(또는 일변, 제3 부화소(F3″)의 중심)까지의 최단거리인 제4 거리(L4″)는 서로 상이할 수 있다. 특히 제3 거리(L3″)는 제4 거리(L4″)보다 짧을 수 있다.
다른 실시예로써 복수개의 제2 부화소(F2″)의 평면 상의 면적은 각각 동일하고, 복수개의 제3 부화소(F3″)의 평면 상의 면적은 각각 동일할 수 있다. 이러한 경우 각 제2 부화소(F2″)의 평면 상의 면적은 각 제3 부화소(F3″)의 평면 상의 면적보다 크거나 작을 수 있다. 상기와 같은 경우 일 실시예로써 제1 변(S1″)과 제2 변(S2″)을 각각 마주보도록 배치되는 한쌍의 제2 부화소(F2″) 사이에 제1 변(S1″)과 제2 변(S2″)을 각각 마주보도록 한쌍의 제3 부화소(F3″)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 변(S1″) 또는 제2 변(S2″)에서 제2 부화소(F2″)의 단변(또는 일변, 제2 부화소(F2″)의 중심)까지의 최단거리는 제1 변(S1″) 또는 제2 변(S2″)에서 제3 부화소(F3″)의 단변(또는 일변, 제3 부화소(F3″)의 중심)까지의 최단거리보다 작을 수 있다. 또한, 다른 실시예로써 제1 변(S1″)과 제2 변(S2″)을 각각 마주보도록 배치되는 한쌍의 제3 부화소(F3″) 사이에 제1 변(S1″)과 제2 변(S2″)을 각각 마주보도록 한쌍의 제2 부화소(F2″)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 변(S1″) 또는 제2 변(S2″)에서 제2 부화소(F2″)의 단변(또는 일변, 제2 부화소(F2″)의 중심)까지의 최단거리는 제1 변(S1″) 또는 제2 변(S2″)에서 제3 부화소(F3″)의 단변(또는 일변, 제3 부화소(F3″)의 중심)까지의 최단거리보다 클 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수개의 제2 부화소(F2″) 중 일부의 평면 상의 면적이 복수개의 제2 부화소(F2″) 중 다른 일부의 평면 상의 면적과 서로 상이하며, 제3 부화소(F3″) 중 일부의 평면 상의 면적이 복수개의 제3 부화소(F3″) 중 다른 일부의 평면 상의 면적과 서로 상이하고, 제1 거리(L1″)와 제2 거리(L2″)가 서로 상이하며, 제3 거리(L3″)와 제4 거리(L4″)가 서로 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 각 부화소 사이에는 스페이서(P″)가 배치될 수 있다. 이때, 스페이서(P″)는 화소정의막(29″) 상에 배치되거나 화소정의막(29″)과 일체로 형성될 수 있다. 스페이서(P″)는 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 스페이서(P″)는 돌기 형태로 형성되어 복수개 구비되며, 복수개의 스페이서(P″)는 화소정의막(29″)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 스페이서(P″)는 서로 인접하는 부화소 사이의 공간에 하나가 구비되는 것도 가능하다. 이때, 스페이서(P″)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 각 마스크 시트가 화소정의막(29″)의 개구 내부로 진입하거나 화소정의막(29″)에 밀착함으로써 디스플레이 기판(D″)에 증착물질을 증착 시 각 마스크 조립체가 디스플레이 기판(D″)의 일부를 손상시키거나 파손시키는 찍힘 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 특히 스페이서(P″)는 각 마스크 조립체를 기판(21″)에 밀착 시 화소정의막(29″)의 개구영역의 끝단과 각 마스크 조립체 사이의 간격을 유지시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기와 같은 경우 하나의 제1 부화소(F1″)를 마주보는 제2 부화소(F2″)와 제3 부화소(F3″) 사이 및 서로 마주보는 제1 부화소(F1″) 사이에 스페이서(P″)가 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 스페이서(P″)는 화소정의막(29″)의 형성 시 화소정의막(29″)과 일체로 동시에 형성하거나 화소정의막(29″)을 형성한 후 화소정의막(29″) 상에 별도로 형성할 수 있다. 이러한 경우 스페이서(P″)는 화소정의막(29″)과 동일하거나 상이한 물질을 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 스페이서(P″)가 화소정의막(P″)과 동일한 물질을 사용하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″)를 제조하기 위하여 디스플레이 기판(D″)을 상기 도 4 및 도 5에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)로 공급할 수 있다.
이러한 경우 제1 증착부(미도시)에서는 제1 증착물질을 디스플레이 기판(D″)에 공급하여 제1 중간층(28-2A″)을 형성하고, 제2 증착부(미도시)는 제2 증착물질을 디스플레이 기판(D″)에 공급하여 제2 중간층(28-2B″)을 형성하며, 제3 증착부(미도시)는 제3 증착물질을 디스플레이 기판(D″)에 공급하여 제3 중간층(28-2C″)을 형성할 수 있다.
이러한 경우 상기 제1 증착부에서 사용하는 제1 마스크 시트(미도시)는 제1 부화소(F1″)의 형상과 대응되도록 형성되는 제1 개구부(미도시)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 하나의 상기 제1 개구부의 평면 상의 면적은 대응되는 하나의 제1 부화소(F1″)의 평면 상의 면적 이상으로 형성될 수 있다. 또한, 하나의 상기 제1 개구부의 평면 상의 면적은 상기 제1 개구부를 통과한 제1 증착물질이 디스플레이 기판(D″)에 증착되어 형성되는 제1 중간층(28-2A″)의 평면 상의 면적 이상으로 형성되는 것도 가능하다. 이때, 서로 대응되는 상기 제1 개구부의 형상, 제1 중간층(28-2A″)의 형상 및 제1 부화소(F1″)의 형상은 정사각형으로 동일할 수 있다.
상기 제2 증착부에서 사용되는 제2 마스크 시트(133-2″)의 제2 개구부(133-4″)도 제2 부화소(F2″)의 형상에 대응되도록 형성될 수 있다. 이때, 제2 개구부(133-4″)는 상기의 제2 부화소(F2″)가 배열된 것과 동일하게 배열될 수 있다. 이러한 경우 제2 개구부(133-4″)의 평면 상의 면적은 제2 부화소(F2″)의 평면 상의 면적 이상일 수 있으며, 제2 증착물질이 디스플레이 기판(D″)에 증착되어 형성되는 제2 중간층(28-2B″)의 평면 상의 면적 이상일 수 있다.
상기 제3 증착부에서 사용되는 제3 마스크 시트(143-2″)의 제3 개구부(143-4″)도 제3 부화소(F3″)의 형상에 대응되도록 형성되며, 제3 개구부(143-4″)의 평면 상의 면적은 제3 부화소(F3″)의 평면 상의 면적 이상일 수 있다. 또한, 제3 개구부(143-4″)의 평면 상의 면적은 제3 중간층(28-2C″)의 평면 상의 면적 이상일 수 있다.
이때, 상기와 같은 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″) 사이의 관계는 상기 도 1 내지 도 3에서 설명한 내용과 유사할 수 있다. 또한, 제1 중간층(28-2A″), 제2 중간층(28-2B″) 및 제3 중간층(28-2C″) 사이의 관계는 제1 부화소(F1″), 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″) 사이의 관계와 동일할 수 있다.
예를 들면, 복수개의 제2 부화소(F2″) 중 일부의 중심은 일 방향으로 일직선에 배치되며, 복수개이 제2 부화소(F2″) 중 다른 일부의 중심은 다른 방향으로 서펜타인 형태로 배열될 수 있다. 또한, 복수개의 제3 부화소(F3″) 중 일부의 중심은 일직선에 배치되며, 복수개이 제3 부화소(F3″) 중 다른 일부의 중심은 다른 방향으로 서펜타인 형태로 배열될 수 있다. 복수개의 제1 부화소(F1″)의 중심은 일 방향과 다른 방향으로 일직선으로 배열될 수 있다.
뿐만 아니라 동일한 제1 부화소(F1″)를 마주보는 제2 부화소(F2″) 및 제3 부화소(F3″)는 제2 마스크 시트(133-2″)의 인장 방향 및 제3 마스크 시트(143-2″)의 인장방향을 중심으로 서로 반대 방향으로 틸팅될 수 있다. 특히 이러한 경우 서로 인접하는 제2 부화소(F2″)는 각각 서로 반대 방향으로 제2 마스크 시트(133-2″)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성할 수 있다. 또한, 제2 마스크 시트(133-2″)에 형성되며, 서로 인접한 제2 개구부(133-4″)도 제2 마스크 시트(133-2″)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성할 수 있다. 인접하는 제3 부화소(F3″)는 각각 서로 반대 방향으로 제3 마스크 시트(143-2″)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성할 수 있다. 또한, 제3 마스크 시트(143-2″)에 형성되며, 서로 인접한 제3 개구부(143-4″)도 제3 마스크 시트(143-2″)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성할 수 있다. 상기와 같은 경우 제2 중간층(28-2B″) 및 제3 중간층(28-2C″)은 각각 제2 개구부(133-4″) 및 제3 개구부(143-4″)에 대응되는 위치의 디스플레이 기판(D″) 상에 배치될 수 있다.
표시 장치(20″)는 차량 등과 같이 사용자를 이동시키는 장치 등에 고정될 수 있다. 이때, 표시 장치(20″)는 상기 제1 방향 또는 제2 방향에 대해서 사용자 눈이 바라보는 시선 방향과 0도가 아닌 일정 각도를 형성하도록 상기 장치에 고정될 수 있다. 예를 들면, 표시 장치(20″)는 사용자의 눈이 표시 장치()를 바라보는 시선 방향과 제1 방향 또는 제2 방향이 90도를 형성하도록 배치할 수 있다.
상기와 같은 경우 사용자가 표시 장치(20″)를 바라보는 경우 화소정의막(29″)의 경사진 부분과 시선 방향에 수직을 형성하지 않으므로 화소정의막(29″)의 경사진 부분을 통하여 외부의 광이 반사되어 사용자의 눈으로 입사되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 표시 장치(20″)는 각 부화소를 통하여 정밀한 이미지를 구현하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착 패턴을 갖는 표시 장치(20″)를 제조하는 것이 가능하다.
또한, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 제조 시 발생할 수 있는 설계 패턴과 실제 증착 패턴 사이의 오차를 최소화하는 것이 가능하다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소를 보여주는 평면도이다. 도 17은 도 16에 도시된 제1 중간층을 증착하기 위한 제1 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 18은 도 16에 도시된 제2 중간층을 증착하기 위한 제2 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 19는 도 16에 도시된 제3 중간층을 증착하기 위한 제3 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 16 내지 도 19를 참고하면, 표시 장치(미도시)는 기판(미도시) 상에서 표시 영역(미도시)과 상기 표시 영역의 외곽에 비표시 영역(미도시)이 정의할 수 있다. 상기 표시 영역에는 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 및 제3 부화소(F3″′)를 포함하는 복수개의 부화소가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(미도시)가 배치될 수 있다. 상기 표시 장치는 디스플레이 기판(미도시), 상기 표시 영역에 배치되는 중간층(미도시), 대향 전극(미도시) 및 박막 봉지층(미도시)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 및 제3 부화소(F3″′)는 서로 상이한 색을 발광할 수 있다. 예를 들면, 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 또는 제3 부화소(F3″′) 중 하나는 청색을 발광하고, 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 또는 제3 부화소(F3″′) 중 다른 하나는 적색을 발광하며, 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 또는 제3 부화소(F3″′) 중 또 다른 하나는 녹색을 발광한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 또는 제3 부화소(F3″′) 중 하나는 정사각형일 수 있으며, 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 또는 제3 부화소(F3″′) 중 나머지 2개는 직사각형일 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 부화소(F1″′)는 정사각형이면서 적색을 발광하고, 제2 부화소(F2″′)는 직사각형이면서 녹색을 발광하며, 제3 부화소(F3″′)는 직사각형이면서 청색을 발광하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1 부화소(F1″′)는 제1 중간층(28-2A″′)을 포함하며, 제1 중간층(28-2A″′)은 제1 부화소(F1″′)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제1 중간층(28-2A″′)의 평면 상의 면적은 제1 부화소(F1″′)의 평면 상의 면적보다 크게 형성될 수 있으며, 제1 부화소(F1″′)는 제1 중간층(28-2A″′) 내부에 배치될 수 있다.
제2 부화소(F2″′)는 제2 중간층(28-2B″′)을 포함할 수 있다. 또한, 제2 중간층(28-2B″′)은 제2 부화소(F2″′)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제2 부화소(F2″′)는 제2 중간층(28-2B″′) 내부에 배치될 수 있다.
제3 부화소(F3″′)는 제3 중간층(28-2C″′)을 포함할 수 있다. 또한, 제3 중간층(28-2C″′)은 제3 부화소(F3″′)의 형상 및 위치에 대응될 수 있다. 이때, 제3 부화소(F3″′)는 제3 중간층(28-2C″′) 내부에 배치될 수 있다.
상기와 같은 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 및 제3 부화소(F3″′)는 상기 도 1 내지 도 3, 도 9 또는 도 12에서 도시된 구조에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있으며, 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 및 제3 부화소(F3″′)는 상기 도 1 내지 도 3, 도 9 또는 도 12에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 배치될 수 있다.
이때, 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 및 제3 부화소(F3″′) 중 적어도 하나는 모시리가 모따기된 상태일 수 있다. 예를 들면, 일 실시예로써 제1 부화소(F1″′)의 꼭지점, 제2 부화소(F2″′)의 꼭지점 또는 제3 부화소(F3″′)의 꼭지점 중 하나는 모따기 될 수 있으며, 제1 부화소(F1″′)의 꼭지점, 제2 부화소(F2″′)의 꼭지점 또는 제3 부화소(F3″′)의 꼭지점 중 나머지 2개는 모따기 되지 않을 수 있다. 다른 실시예로써 제1 부화소(F1″′)의 꼭지점, 제2 부화소(F2″′)의 꼭지점 또는 제3 부화소(F3″′)의 꼭지점 중 2개는 모따기 될 수 있으며, 제1 부화소(F1″′)의 꼭지점, 제2 부화소(F2″′)의 꼭지점 또는 제3 부화소(F3″′)의 꼭지점 중 나머지 하나는 모따기되지 않을 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 부화소(F1″′)의 꼭지점, 제2 부화소(F2″′)의 꼭지점 또는 제3 부화소(F3″′)의 꼭지점 모두 모따기되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 부화소(F1″′)의 꼭지점, 제2 부화소(F2″′)의 꼭지점 또는 제3 부화소(F3″′)의 꼭지점 모두 모따기된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 모따기된 제1 부화소(F1″′)의 꼭지점, 제2 부화소(F2″′)의 꼭지점 또는 제3 부화소(F3″′)의 꼭지점을 형성하기 위하여 제1 마스크 시트(123-2″′)의 제1 개구부(123-4″′)의 꼭지점(또는 모서리), 제2 마스크 시트(133-2″′)의 제2 개구부(133-4″′)의 꼭지점(또는 모서리) 및 제3 마스크 시트(143-2″′)의 제3 개구부(143-4″′)의 꼭지점(또는 모서리)을 모따기 할 수 있다. 이러한 경우 제1 개구부(123-4″′), 제2 개구부(133-4″′) 및 제3 개구부(143-4″′)는 각각 팔각형 형상과 동일하거나 유사할 수 있다. 특히 제1 개구부(123-4″′), 제2 개구부(133-4″′) 및 제3 개구부(143-4″′)에서 모따기 된 부분은 라운드질 수 있으며, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이 직선 형태로 형성되는 것도 가능하다.
상기와 같이 제1 개구부(123-4″′)의 꼭지점, 제2 개구부(133-4″′)의 꼭지점 및 제3 개구부(143-4″′)의 꼭지점이 모따기 되는 경우 제1 마스크 시트(123-2″′), 제2 마스크 시트(133-2″′) 및 제3 마스크 시트(143-2″′)가 각각 인장될 때 제1 개구부(123-4″′)의 꼭지점, 제2 개구부(133-4″′)의 꼭지점 및 제3 개구부(143-4″′)의 꼭지점 부분에 응력이 집중되지 않을 수 있다. 따라서 제1 마스크 시트(123-2″′), 제2 마스크 시트(133-2″′) 및 제3 마스크 시트(143-2″′)를 각각 인장 시 제1 마스크 시트(123-2″′), 제2 마스크 시트(133-2″′) 및 제3 마스크 시트(143-2″′)의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 제1 개구부(123-4″′)의 꼭지점, 제2 개구부(133-4″′)의 꼭지점 및 제3 개구부(143-4″′)의 꼭지점 부분에 제1 증착물질, 제2 증착물질 및 제3 증착물질이 서로 증착되어 막히지 않음으로써 정확한 형상의 제1 중간층(28-2A″′), 제2 중간층(28-2B″′) 및 제3 중간층(28-2C″′)을 형성하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치는 상기의 도 4 및 도 5에 도시된 표시 장치의 제조장치(미도시)와 동일하거나 유사한 형태의 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조될 수 있다.
이때, 이러한 경우 제1 증착부(미도시)에서는 제1 증착물질을 상기 디스플레이 기판에 공급하여 제1 중간층(28-2A″′)을 형성하고, 제2 증착부(미도시)는 제2 증착물질을 상기 디스플레이 기판에 공급하여 제2 중간층(28-2B″′)을 형성하며, 제3 증착부(미도시)는 제3 증착물질을 상기 디스플레이 기판에 공급하여 제3 중간층(28-2C″′)을 형성할 수 있다.
이러한 경우 상기 제1 증착부에서 사용하는 제1 마스크 시트(123-2″′)는 제1 부화소(F1″′)의 형상과 대응되도록 형성되는 제1 개구부(123-4″′)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 하나의 제1 개구부(123-4″′)의 평면 상의 면적은 대응되는 하나의 제1 부화소(F1″′)의 평면 상의 면적 이상으로 형성될 수 있다. 또한, 하나의 제1 개구부(123-4″′)의 평면 상의 면적은 제1 개구부(123-4″′)를 통과한 제1 증착물질이 상기 디스플레이 기판에 증착되어 형성되는 제1 중간층(28-2A″′)의 평면 상의 면적 이상으로 형성되는 것도 가능하다. 이때, 서로 대응되는 제1 개구부(123-4″′)의 형상, 제1 중간층(28-2A″′)의 형상 및 제1 부화소(F1″′)의 형상은 정사각형으로 동일할 수 있다.
상기 제2 증착부에서 사용되는 제2 마스크 시트(133-2″′)의 제2 개구부(133-4″′)도 제2 부화소(F2″′)의 형상에 대응되도록 형성될 수 있다. 이때, 제2 개구부(133-4″′)는 상기의 제2 부화소(F2″′)가 배열된 것과 동일하게 배열될 수 있다. 이러한 경우 제2 개구부(133-4″′)의 평면 상의 면적은 제2 부화소(F2″′)의 평면 상의 면적 이상일 수 있으며, 제2 증착물질이 상기 디스플레이 기판에 증착되어 형성되는 제2 중간층(28-2B″′)의 평면 상의 면적 이상일 수 있다.
상기 제3 증착부에서 사용되는 제3 마스크 시트(143-2″′)의 제3 개구부(143-4″′)도 제3 부화소(F3″′)의 형상에 대응되도록 형성되며, 제3 개구부(143-4″′)의 평면 상의 면적은 제3 부화소(F3″′)의 평면 상의 면적 이상일 수 있다. 또한, 제3 개구부(143-4″′)의 평면 상의 면적은 제3 중간층(28-2C ″′)의 평면 상의 면적 이상일 수 있다.
이때, 상기와 같은 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 및 제3 부화소(F3″′)는 상기 도 1 내지 도 3, 도 9, 도12에서 설명한 내용과 유사할 수 있다. 또한, 제1 중간층(28-2A″′), 제2 중간층(28-2B″′) 및 제3 중간층(28-2C″′) 사이의 관계는 제1 부화소(F1″′), 제2 부화소(F2″′) 및 제3 부화소(F3″′) 사이의 관계와 동일할 수 있다.
예를 들면, 복수개의 제2 부화소(F2″′) 중 일부의 중심은 일 방향으로 일직선에 배치되며, 복수개이 제2 부화소(F2″′) 중 다른 일부의 중심은 다른 방향으로 서펜타인 형태로 배열될 수 있다. 또한, 복수개의 제3 부화소(F3″′) 중 일부의 중심은 일직선에 배치되며, 복수개의 제3 부화소(F3″′) 중 다른 일부의 중심은 다른 방향으로 서펜타인 형태로 배열될 수 있다. 복수개의 제1 부화소(F1″′)의 중심은 일 방향과 다른 방향으로 일직선으로 배열될 수 있다.
뿐만 아니라 동일한 제1 부화소(F1″′)를 마주보는 제2 부화소(F2″′) 및 제3 부화소(F3″′)는 제2 마스크 시트(133-2″′)의 인장 방향 및 제3 마스크 시트(143-2″′)의 인장방향을 중심으로 서로 반대 방향으로 틸팅될 수 있다. 특히 이러한 경우 서로 인접하는 제2 부화소(F2″′)는 각각 서로 반대 방향으로 제2 마스크 시트(133-2″′)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성할 수 있다. 또한, 제2 마스크 시트(133-2″′)에 형성되며, 서로 인접한 제2 개구부(133-4″′)도 제2 마스크 시트(133-2″′)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성할 수 있다. 인접하는 제3 부화소(F3″′)는 각각 서로 반대 방향으로 제3 마스크 시트(143-2″′)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성할 수 있다. 또한, 제3 마스크 시트(143-2″′)에 형성되며, 서로 인접한 제3 개구부(143-4″′)도 제3 마스크 시트(143-2″′)의 인장 방향에 대해서 45도를 형성할 수 있다. 상기와 같은 경우 제2 중간층(28-2B″′) 및 제3 중간층(28-2C″′)은 각각 제2 개구부(133-4″′) 및 제3 개구부(143-4″′)에 대응되는 위치의 상기 디스플레이 기판 상에 배치될 수 있다.
상기 표시 장치는 차량 등과 같이 사용자를 이동시키는 장치 등에 고정될 수 있다. 이때, 상기 표시 장치는 상기 제1 방향 또는 제2 방향에 대해서 사용자 눈이 바라보는 시선 방향과 0도가 아닌 일정 각도를 형성하도록 상기 장치에 고정될 수 있다. 예를 들면, 상기 표시 장치는 사용자의 눈이 상기 표시 장치를 바라보는 시선 방향과 제1 방향 또는 제2 방향이 90도를 형성하도록 배치할 수 있다.
상기와 같은 경우 사용자가 상기 표시 장치를 바라보는 경우 상기 화소정의막의 경사진 부분과 시선 방향에 수직을 형성하지 않으므로 상기 화소정의막의 경사진 부분을 통하여 외부의 광이 반사되어 사용자의 눈으로 입사되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 표시 장치는 각 부화소를 통하여 정밀한 이미지를 구현하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착 패턴을 갖는 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
또한, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 제조 시 발생할 수 있는 설계 패턴과 실제 증착 패턴 사이의 오차를 최소화하는 것이 가능하다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
F1,F1′,F1″,F1″′: 제1 부화소 S1,S1″: 제1 변
F2,F2′,F2″,F2″′: 제2 부화소 S2,S2″: 제2 변
F3,F3′,F3″,F3″′: 제3 부화소 L1,L1″: 제1 거리
L2,L2″: 제2 거리 L4″: 제4 거리
L3″: 제3 거리 20,20″: 표시 장치
28-2A,28-2A′,28-2A″,28-2A″′: 제1 중간층
28-2B,28-2B′,28-2B″,28-2B″′: 제2 중간층
28-2C,28-2C′,28-2C″,28-2C″′: 제3 중간층
100: 표시 장치의 제조장치 123-4,123-4″′: 제1 개구부
110: 로딩부 124: 제1 기판지지부
120: 제1 증착부 125: 제1 마스크지지부
121: 제1 챔버 126: 제1 자기력생성부
122: 제1 증착원 127: 제1 압력조절부
123: 제1 마스크 조립체 130: 제2 증착부
123-1: 제1 마스크 프레임 140: 제3 증착부
123-2,123-2″′: 제1 마스크 시트 150: 언로딩부
123-3: 제1 지지프레임 160: 차폐부
133-2,133-2′,133-2″,133-2″′: 제2 마스크 시트
133-4,133-4′,133-4″,133-4″′: 제2 개구부
143-2,143-2′,143-2″,143-2″′: 제3 마스크 시트
143-4,143-4′,143-4″,143-4″′: 제3 개구부

Claims (59)

  1. 정사각형 형태인 제1 부화소; 및
    상기 제1 부화소의 제1 변 및 제2 변을 각각 바라보도록 배치되며, 직사각형 형태인 제2 부화소; 및
    상기 제1 부화소의 제1 변 및 제2 변을 각각 바라보도록 배치되며, 상기 제2 부화소로부터 이격되며, 직사각형 형태인 제3 부화소;를 포함하고,
    상기 제1 변과 상기 제2 변은 일정 각도로 서로 연결되며,
    상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소는 서로 상이한 색의 빛을 발광하는 표시 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 부화소의 적어도 일부분과 상기 제3 부화소의 적어도 일부분은 상기 제1 변 또는 상기 제2 변 중 하나의 길이 범위 내에 배치되는 표시 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 부화소의 단변은 상기 제1 변 또는 상기 제2 변과 평행한 표시 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제3 부화소의 단변은 상기 제1 변 또는 상기 제2 변과 평행한 표시 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소는 복수개 구비되며, 상기 각 제1 부화소의 중심은 일진선 상에 배치되는 표시 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소 각각은 복수개 구비되며,
    상기 복수개의 제2 부화소 또는 상기 복수개의 제3 부화소 중 하나의 일부의 중심은 일방향으로 일직선 상에 배치되는 표시 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소 각각은 복수개 구비되며,
    상기 복수개의 제2 부화소 또는 상기 복수개의 제3 부화소 중 하나의 일부의 중심은 일방향으로 서펜타인(serpentine) 형태로 배열되는 표시 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소는 제1 방향으로 복수개가 배열되며,
    상기 제1 변을 바라보는 상기 제2 부화소와 상기 제2 변을 바라보는 상기 제2 부화소 또는 상기 제3 부화소는 상기 제1 방향으로 배열된 상기 각 제1 부화소의 중심을 연결한 임의의 직선에 대해서 서로 대칭되도록 배치된 표시 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소의 테두리로부터 상기 제2 부화소까지의 최단 거리인 제1 거리와 상기 제1 부화소의 테두리로부터 상기 제3 부화소까지의 최단 거리인 제2 거리는 서로 동일한 표시 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소의 테두리로부터 상기 제2 부화소까지의 최단 거리인 제1 거리와 상기 제1 부화소의 테두리로부터 상기 제3 부화소까지의 최단 거리인 제2 거리는 서로 상이한 표시 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    하나의 상기 제1 부화소를 마주보도록 배치된 상기 제2 부화소는 상기 제1 부화소의 테두리로부터 서로 다른 상기 제2 부화소까지의 최단 거리가 서로 상이하거나 하나의 상기 제1 부화소를 마주보도록 배치된 상기 제3 부화소는 상기 제1 부화소의 테두리로부터 서로 다른 상기 제3 부화소까지의 최단거리가 서로 상이한 표시 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소는 제1 방향으로 복수개가 배열되며,
    상기 제2 부화소의 장변 또는 상기 제3 부화소의 장변은 상기 제1 방향으로 배열된 상기 각 제1 부화소의 중심을 연결한 임의의 직선에 대해서 45도를 형성하는 표시 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소의 면적은 상기 제2 부화소의 면적 및 상기 제3 부화소의 면적 중 적어도 하나보다 큰 표시 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 부화소의 면적과 상기 제3 부화소의 면적은 서로 상이한 표시 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 부화소의 테두리 중 일부와 상기 제3 부화소의 테두리 중 일부를 연결하는 임의의 외곽선은 정사각형인 표시 장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소 중 적어도 하나의 꼭지점은 모따기된 표시 장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소는 파란색을 발광하고, 상기 제2 부화소 또는 상기 제3 부화소 중 하나는 빨간색을 발광하며, 상기 제2 부화소 또는 상기 제3 부화소 중 다른 하나는 녹색을 발광하는 표시 장치.
  18. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소 및 상기 제3 부화소 중 적어도 하나의 영역을 정의하는 화소정의막; 및
    상기 화소정의막으로부터 돌출되는 스페이서;를 더 포함하는 표시 장치.
  19. 정사각형 형태이면서 서로 이격되도록 배치된 복수개의 제1 중간층; 및
    상기 각 제1 중간층을 바라보도록 배치되며, 직사각형 형태이면서 서로 이격되도록 배치된 복수개의 제2 중간층; 및
    상기 각 제1 중간층을 바라보도록 배치되며, 상기 제2 중간층으로부터 이격되며, 직사각형 형태이면서 서로 이격되도록 배치된 복수개의 제3 중간층;을 포함하고,
    상기 복수개의 제2 중간층 중 일부의 장변의 연장선과 상기 복수개의 제2 중간층 중 다른 일부의 장변의 연장선은 서로 교차하도록 상기 복수개의 제2 중간층이 배치되며,
    상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은 전원 인가 시 서로 상이한 색의 빛을 발광하는 물질을 포함하는 표시 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 복수개의 제3 중간층 중 일부의 장변의 연장선과 상기 복수개의 제3 중간층 중 다른 일부의 장변의 연장선은 서로 교차하도록 상기 복수개의 제3 중간층이 배치되는 표시 장치.
  21. 제 19 항에 있어서,
    상기 각 제2 중간층과 상기 각 제3 중간층은 서로 평행하게 배치된 표시 장치.
  22. 제 19 항에 있어서,
    상기 복수개의 제2 중간층 중 일부의 중심 및 상기 복수개의 제3 중간층 중 적어도 하나의 일부의 중심은 일직선 상에 배치되는 표시 장치.
  23. 제 19 항에 있어서,
    상기 복수개의 제1 중간층 중 동일한 상기 제1 중간층과 마주보는 상기 제2 중간층과 상기 제3 중간층은 상기 제2 중간층과 상기 제3 중간층이 마주보는 상기 제1 중간층의 일변과 중첩되는 임의의 직선으로부터 상기 제2 중간층의 중심까지의 최단거리와 상기 직선으로부터 상기 제3 중간층의 중심까지의 최단거리가 동일한 표시 장치.
  24. 제 19 항에 있어서,
    상기 복수개의 제1 중간층 중 동일한 상기 제1 중간층과 마주보는 상기 제2 중간층과 상기 제3 중간층은 상기 제2 중간층과 상기 제3 중간층이 마주보는 상기 제1 중간층의 일변과 중첩되는 임의의 직선으로부터 상기 제2 중간층의 중심까지의 최단거리와 상기 직선으로부터 상기 제3 중간층의 중심까지의 최단거리가 서로 상이한 표시 장치.
  25. 제 19 항에 있어서,
    상기 복수개의 제2 중간층 중 상기 복수개의 제1 중간층 중 동일한 상기 제1 중간층과 마주보는 상기 각 제2 중간층과 상기 제1 중간층 사이의 최단거리는 서로 상이한 표시 장치.
  26. 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임 상에 인장된 상태로 배치되며, 상기 마스크 프레임의 일변을 따라 순차적으로 배열된 복수개의 마스크 시트;를 포함하고,
    상기 각 마스크 시트는 복수개의 개구부를 포함하고,
    상기 복수개의 개구부 중 일부는 상기 마스크 시트의 인장 방향에 대해서 일 방향으로 틸팅되어 배치되며, 상기 복수개의 개구부 중 다른 일부는 상기 복수개의 개구부 중 일부와 상이한 방향으로 틸팅되어 배치된 마스크 조립체.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 각 개구부는 상기 마스크 시트의 인장 방향에 대해서 45도로 배치되는 마스크 조립체.
  28. 제 26 항에 있어서,
    상기 복수개의 개구부 중 상기 마스크 시트의 인장 "?향으?* 배열되는 상기 개구부의 중심은 일렬로 배치되는 마스크 조립체.
  29. 제 26 항에 있어서,
    상기 복수개의 개구부 중 상기 마스크 시트의 인장 방향과 수직한 방향으로 배열되는 상기 개구부의 중심은 서펜타인 형태로 배열되는 마스크 조립체.
  30. 제 26 항에 있어서,
    상기 각 개구부는 직사각형인 마스크 조립체.
  31. 제 30 항에 있어서,
    상기 각 개구부의 꼭지점은 모따기된 마스크 조립체.
  32. 디스플레이 기판이 배치되는 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하는 증착원; 및
    상기 증착원에 대향하도록 배치되어 상기 디스플레이 기판에 상기 증착물질을 패턴 형태로 통과시키는 마스크 어셈블리;를 포함하고,
    상기 마스크 어셈블리는,
    마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임 상에 인장된 상태로 배치되며, 상기 마스크 프레임의 일변을 따라 순차적으로 배열된 복수개의 마스크 시트;를 포함하고,
    상기 각 마스크 시트는 복수개의 개구부를 포함하고,
    상기 복수개의 개구부 중 일부는 상기 마스크 시트의 인장 방향에 대해서 일 방향으로 틸팅되어 배치되며, 상기 복수개의 개구부 중 다른 일부는 상기 복수개의 개구부 중 일부와 상이한 방향으로 틸팅되어 배치된 표시 장치의 제조장치.
  33. 제 32 항에 있어서,
    상기 각 개구부는 상기 인장 방향에 대해서 45도를 형성하도록 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  34. 제 32 항에 있어서,
    상기 복수개의 개구부 중 상기 마스크 시트의 인장 "?향으?* 배열되는 상기 개구부의 중심은 일렬로 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  35. 제 32 항에 있어서,
    상기 복수개의 개구부 중 상기 마스크 시트의 인장 방향과 수직한 방향으로 배열되는 상기 개구부의 중심은 서펜타인 형태로 배열되는 표시 장치의 제조장치.
  36. 제 32 항에 있어서,
    상기 각 개구부는 직사각형인 표시 장치의 제조장치.
  37. 제 36 항에 있어서,
    상기 각 개구부의 꼭지점은 모따기된 표시 장치의 제조장치.
  38. 디스플레이 기판에 복수개의 제1 중간층을 형성하는 제1 증착부;
    상기 제1 증착부와 연결되어 상기 디스플레이 기판에 복수개의 제2 중간층을 형성하는 제2 증착부; 및
    상기 제2 증착부에 연결되며, 상기 디스플레이 기판에 복수개의 제3 중간층을 형성하는 제3 증착부;를 포함하고,
    상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나는 정사각형이고, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 2개는 직사각형이며,
    상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 2개는 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나와 마주보도록 배치되고, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 2개는 서로 평행한 표시 장치의 제조장치.
  39. 제 38 항에 있어서,
    상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은 서로 상이한 유기 발광층을 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  40. 제 38 항에 있어서,
    정사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 하나 중 일부는 제1 방향으로 일직선으로 배열되고,
    직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 2개 중 하나의 일부와 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 2개 중 하나의 다른 일부는 제1 방향을 기준으로 서로 다른 방향으로 틸팅된 표시 장치의 제조장치.
  41. 제 38 항에 있어서,
    직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 2개 중 하나의 일부의 중심은 일직선 또는 서펜타인 형태로 배열되는 표시 장치의 제조장치.
  42. 제 38 항에 있어서,
    직사각형이면서 서로 인접하여 배치되는 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 2개의 테두리를 연결한 임의의 외곽선은 정사각형인 표시 장치의 제조장치.
  43. 제 38 항에 있어서,
    상기 각 제1 중간층을 제1 부화소를 형성하고, 상기 각 제2 중간층은 제2 부화소를 형성하며, 상기 각 제3 중간층은 제3 부화소를 형성하고,
    직사각형인 복수개의 상기 제1 부화소, 복수개의 상기 제2 부화소 또는 복수개의 상기 제3 부화소 중 2개 중 하나의 면적과 직사각형인 복수개의 상기 제1 부화소, 복수개의 상기 제2 부화소 또는 복수개의 상기 제3 부화소 중 2개 중 다른 하나의 면적은 서로 상이한 표시 장치의 제조장치.
  44. 제 38 항에 있어서,
    상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 및 상기 각 제3 중간층 중 적어도 하나의 꼭지점은 모따기된 표시 장치의 제조장치.
  45. 제 38 항에 있어서,
    상기 제1 증착부는 상기 각 제1 중간층에 대응되도록 복수개의 제1 개구부가 형성된 제1 마스크 시트를 포함한 제1 마스크 조립체;를 포함하고,
    상기 제2 증착부는 상기 각 제2 중간층에 대응되도록 복수개의 제2 개구부가 형성된 제2 마스크 시트를 포함한 제2 마스크 조립체;를 포함하고,
    상기 제3 증착부는 상기 각 제3 중간층에 대응되도록 복수개의 제3 개구부가 형성된 제3 마스크 시트를 포함한 제3 마스크 조립체;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  46. 제 45 항에 있어서,
    상기 제1 개구부, 상기 제2 개구부 및 상기 제3 개구부 중 적어도 하나의 꼭지점은 모따기된 표시 장치의 제조장치.
  47. 제 45 항에 있어서,
    상기 제1 개구부, 상기 제2 개구부 또는 상기 제3 개구부 중 2개는 상기 제1 마스크 시트, 상기 제2 마스크 시트 및 상기 제3 마스크 시트 중 하나의 인장 방향에 대해서 틸팅된 상태로 배치된 표시 장치의 제조장치.
  48. 디스플레이 기판에 제1 증착물질을 증착시켜 복수개의 제1 중간층을 형성하는 단계;
    상기 디스플레이 기판에 제2 증착물질을 증착시켜 복수개의 제2 중간층을 형성하는 단계; 및
    상기 디스플레이 기판에 제3 증착물질을 증착시켜 복수개의 제3 중간층을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나는 정사각형이고, 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 나머지 2개는 직사각형이며,
    직사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 나머지 2개는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 일변을 마주도록 배치된 표시 장치의 제조방법.
  49. 제 48 항에 있어서,
    직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나의 일부의 중심은 일방향을 따라 직선으로 배열되거나 서펜타인 형태로 배열되는 표시 장치의 제조방법.
  50. 제 48 항에 있어서,
    직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나의 일부의 중심은 서펜타인 형태로 배열되는 표시 장치의 제조방법.
  51. 제 48 항에 있어서,
    직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 중심을 통과하는 임의의 직선에 대해서 대칭되도록 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  52. 제 48 항에 있어서,
    직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나와 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 다른 하나는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 중심을 통과하는 임의의 직선에 대해서 대칭되도록 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  53. 제 48 항에 있어서,
    정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나를 마주보는 직사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 나머지 2개는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 일변 또는 일변의 연장선 중 하나로부터의 최단 거리가 서로 상이한 표시 장치의 제조방법.
  54. 제 48 항에 있어서,
    정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나를 마주보는 직사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나는 정사각형인 상기 각 제1 중간층, 상기 각 제2 중간층 또는 상기 각 제3 중간층 중 하나의 일변 또는 일변의 연장선 중 하나로부터의 최단 거리가 서로 상이한 표시 장치의 제조방법.
  55. 제 48 항에 있어서,
    상기 제1 중간층은 정사각형이고, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은 직사각형인 표시 장치의 제조방법.
  56. 제 48 항에 있어서,
    상기 제1 증착물질, 상기 제2 증착물질 및 상기 제3 증착물질은 서로 상이한 유기 발광물질을 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  57. 제 48 항에 있어서,
    상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층 중 적어도 하나는 꼭지점이 모따기 된 표시 장치의 제조방법.
  58. 제 48 항에 있어서,
    서로 인접하는 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 하나의 테두리 일부와 직사각형인 상기 복수개의 제1 중간층, 상기 복수개의 제2 중간층 또는 상기 복수개의 제3 중간층 중 나머지 2개 중 다른 하나 중 테두리 일부를 연결한 임의의 외곽선은 정사각형인 표시 장치의 제조방법.
  59. 제 48 항에 있어서,
    상기 각 제1 중간층을 제1 부화소를 형성하고, 상기 각 제2 중간층은 제2 부화소를 형성하며, 상기 각 제3 중간층은 제3 부화소를 형성하고,
    직사각형인 복수개의 상기 제1 부화소, 복수개의 상기 제2 부화소 또는 복수개의 상기 제3 부화소 중 2개 중 하나의 면적과 직사각형인 복수개의 상기 제1 부화소, 복수개의 상기 제2 부화소 또는 복수개의 상기 제3 부화소 중 2개 중 다른 하나의 면적은 서로 상이한 표시 장치의 제조방법.
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US16/737,637 US11605675B2 (en) 2019-03-04 2020-01-08 Display device, mask assembly, and apparatus and method of manufacturing the display device
EP20159722.6A EP3706177A1 (en) 2019-03-04 2020-02-27 Display device, mask assembly, and apparatus and method of manufacturing the display device
CN202010143252.5A CN111653587A (zh) 2019-03-04 2020-03-04 显示设备、掩模组件以及制造显示设备的装置和方法
US17/492,183 US11621302B2 (en) 2019-03-04 2021-10-01 Display device, mask assembly, and apparatus and method of manufacturing the display device
US18/295,536 US20230320158A1 (en) 2019-03-04 2023-04-04 Display device, mask assembly, and apparatus and method of manufacturing the display device

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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200106589A (ko) * 2019-03-04 2020-09-15 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20210018588A (ko) * 2019-08-05 2021-02-18 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US20210175299A1 (en) * 2019-12-10 2021-06-10 Samsung Display Co., Ltd. Display device, mask assembly, and apparatus for manufacturing display device
US11557635B2 (en) * 2019-12-10 2023-01-17 Samsung Display Co., Ltd. Display device, mask assembly, and apparatus for manufacturing the display device

Family Cites Families (172)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6950115B2 (en) 2001-05-09 2005-09-27 Clairvoyante, Inc. Color flat panel display sub-pixel arrangements and layouts
US7755652B2 (en) 2002-01-07 2010-07-13 Samsung Electronics Co., Ltd. Color flat panel display sub-pixel rendering and driver configuration for sub-pixel arrangements with split sub-pixels
US20050231447A1 (en) 2004-04-14 2005-10-20 Shuo-Hsiu Hu Pixel arrangement in a display system
TWI359626B (en) 2007-03-22 2012-03-01 Au Optronics Corp Electro-luminescence display
US8330352B2 (en) 2007-11-13 2012-12-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same
US8754913B2 (en) 2010-04-21 2014-06-17 Lg Display Co., Ltd. Subpixel arrangement structure of display device
KR101189025B1 (ko) * 2010-05-31 2012-10-08 삼성디스플레이 주식회사 유기전계발광 표시장치의 화소배열구조
KR101257734B1 (ko) 2010-09-08 2013-04-24 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광 표시장치
US8742309B2 (en) * 2011-01-28 2014-06-03 Aptina Imaging Corporation Imagers with depth sensing capabilities
JPWO2012161225A1 (ja) * 2011-05-24 2014-07-31 ソニー株式会社 固体撮像素子およびカメラシステム
KR101958434B1 (ko) 2011-09-05 2019-03-15 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20130044993A (ko) 2011-10-25 2013-05-03 오수창 건물 환기 덕트의 자동 방화 댐퍼
KR101615332B1 (ko) 2012-03-06 2016-04-26 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 화소 배열 구조
KR102061283B1 (ko) 2012-09-13 2020-01-02 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 화소 배열 구조
US10832616B2 (en) 2012-03-06 2020-11-10 Samsung Display Co., Ltd. Pixel arrangement structure for organic light emitting diode display
JP6263741B2 (ja) 2012-05-09 2018-01-24 株式会社Ｊｏｌｅｄ 発光装置
US20130321675A1 (en) * 2012-05-31 2013-12-05 Apple Inc. Raw scaler with chromatic aberration correction
JP6214077B2 (ja) 2012-07-31 2017-10-18 株式会社Ｊｏｌｅｄ 表示装置、表示装置の製造方法、電子機器および表示装置の駆動方法
KR102048051B1 (ko) 2012-09-04 2019-11-25 삼성디스플레이 주식회사 증착 환경 검사용 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 설비
TWI559524B (zh) 2013-01-15 2016-11-21 友達光電股份有限公司 電激發光顯示面板之畫素結構
US9614191B2 (en) 2013-01-17 2017-04-04 Kateeva, Inc. High resolution organic light-emitting diode devices, displays, and related methods
US9444050B2 (en) 2013-01-17 2016-09-13 Kateeva, Inc. High resolution organic light-emitting diode devices, displays, and related method
JP5849981B2 (ja) 2013-03-25 2016-02-03 ソニー株式会社 表示装置および電子機器
KR102096051B1 (ko) 2013-03-27 2020-04-02 삼성디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 이를 포함하는 유기 발광 표시 장치
KR102106333B1 (ko) 2013-07-08 2020-05-06 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR102190843B1 (ko) * 2013-07-09 2020-12-15 삼성디스플레이 주식회사 단위 화소 및 이를 구비한 유기 발광 표시 장치
KR102119159B1 (ko) 2013-08-14 2020-06-05 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102150080B1 (ko) * 2013-09-12 2020-09-01 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 및 이를 포함하는 표시 장치
KR102127410B1 (ko) 2013-10-10 2020-06-29 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102211965B1 (ko) * 2013-10-18 2021-02-05 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20150053161A (ko) 2013-11-07 2015-05-15 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법
KR102271226B1 (ko) 2013-11-13 2021-06-29 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시패널 및 이를 이용한 유기발광표시장치
JP2017510824A (ja) * 2013-12-20 2017-04-13 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． オートステレオスコピックディスプレイデバイス
US9231032B2 (en) 2013-12-24 2016-01-05 Lg Display Co., Ltd. Organic electroluminescent device and method of fabricating the same
CN104752469B (zh) * 2013-12-31 2018-08-03 昆山国显光电有限公司 一种像素结构及采用该像素结构的有机发光显示器
US9993335B2 (en) * 2014-01-08 2018-06-12 Spy Eye, Llc Variable resolution eye mounted displays
JP6223210B2 (ja) 2014-01-30 2017-11-01 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
JP2015146304A (ja) 2014-02-04 2015-08-13 ソニー株式会社 表示装置、および電子機器
WO2015117273A1 (en) * 2014-02-08 2015-08-13 Cree Huizhou Solid State Lighting Company Limited Smart pixel surface mount device package
US9337241B2 (en) 2014-03-19 2016-05-10 Apple Inc. Pixel patterns for organic light-emitting diode display
TWI545747B (zh) 2014-04-23 2016-08-11 業鑫科技顧問股份有限公司 有機發光二極體面板
JP6369799B2 (ja) 2014-04-23 2018-08-08 Ｔｉａｎｍａ Ｊａｐａｎ株式会社 画素アレイ及び電気光学装置並びに電気機器
US9508778B2 (en) 2014-04-25 2016-11-29 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display
JP6231432B2 (ja) * 2014-05-02 2017-11-15 富士フイルム株式会社 導電性フイルム、それを備える表示装置及び導電性フイルムの評価方法
CN103985738B (zh) * 2014-05-08 2015-06-17 京东方科技集团股份有限公司 像素结构和显示装置
CN104112763B (zh) 2014-06-30 2017-07-04 京东方科技集团股份有限公司 一种像素排列结构、显示装置及其显示方法
CN104269411B (zh) 2014-09-11 2018-07-27 京东方科技集团股份有限公司 显示面板、有机发光二极管显示器和显示装置
CN104299974B (zh) 2014-09-29 2017-02-15 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板、掩膜板、显示装置
CN104319283B (zh) 2014-10-27 2016-03-02 京东方科技集团股份有限公司 一种有机电致发光显示器件、其驱动方法及显示装置
JP6474232B2 (ja) 2014-11-05 2019-02-27 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
KR102386458B1 (ko) 2014-11-17 2022-04-15 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
JP6433266B2 (ja) 2014-11-28 2018-12-05 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
US9459747B2 (en) * 2014-12-11 2016-10-04 Microsoft Technology Licensing, Llc Touch display system with reduced moiré patterns
CN104466007B (zh) * 2014-12-30 2017-05-03 京东方科技集团股份有限公司 一种像素结构及其显示方法、显示装置
CN104465714B (zh) 2014-12-30 2017-04-26 京东方科技集团股份有限公司 一种像素结构及其显示方法、显示装置
JP6654280B2 (ja) * 2015-01-14 2020-02-26 天馬微電子有限公司 画素アレイ及び電気光学装置並びに電気機器並びに画素アレイの駆動方法
KR102369088B1 (ko) 2015-01-29 2022-03-02 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR102525051B1 (ko) 2015-01-30 2023-04-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
JP6516236B2 (ja) * 2015-02-20 2019-05-22 Ｔｉａｎｍａ Ｊａｐａｎ株式会社 電気光学装置
KR102369594B1 (ko) 2015-03-18 2022-03-04 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시패널 및 그 제조방법
TWI585726B (zh) 2015-03-25 2017-06-01 鴻海精密工業股份有限公司 畫素結構
JP2016184097A (ja) * 2015-03-26 2016-10-20 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
JP6307468B2 (ja) * 2015-03-31 2018-04-04 富士フイルム株式会社 導電性フィルム、これを備える表示装置及び導電性フィルムの評価方法
KR102378421B1 (ko) * 2015-03-31 2022-03-25 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 세트 및 이를 이용한 표시 패널의 제조 방법
CN104766563B (zh) 2015-04-23 2016-03-02 京东方科技集团股份有限公司 一种像素结构及显示面板和显示装置
US9887247B2 (en) * 2015-04-30 2018-02-06 Novatek Microelectronics Corp. Sub-pixel arrangement structure of organic light emitting diode display
CN104992959B (zh) 2015-06-04 2018-02-13 信利（惠州）智能显示有限公司 Oled像素排列结构及显示装置
JP2017005111A (ja) * 2015-06-10 2017-01-05 ソニー株式会社 固体撮像装置及び電子機器
US10127868B2 (en) * 2015-06-30 2018-11-13 Amazon Technologies, Inc. Method of controlling subpixels in an array of electrowetting elements
US9746663B2 (en) * 2015-06-30 2017-08-29 Amazon Technologies, Inc. Electrowetting pixel with two electrowetting elements
US9798133B2 (en) * 2015-06-30 2017-10-24 Amazon Technologies, Inc. Electrowetting element with white filter
KR102563399B1 (ko) * 2015-07-13 2023-08-03 도판 인사츠 가부시키가이샤 발색 구조체 및 그 제조 방법
CN106486514B (zh) 2015-08-31 2023-12-01 昆山国显光电有限公司 像素结构以及oled显示面板
DE102015217253A1 (de) * 2015-09-10 2017-03-16 Robert Bosch Gmbh Umfelderfassungseinrichtung für ein Fahrzeug und Verfahren zum Erfassen eines Bilds mittels einer Umfelderfassungseinrichtung
DE112016004235T5 (de) * 2015-09-17 2018-07-19 Semiconductor Components Industries, Llc Pixel mit hohem Dynamikbereich unter Verwendung von Lichttrennung
US10263050B2 (en) 2015-09-18 2019-04-16 Universal Display Corporation Hybrid display
KR102369368B1 (ko) 2015-09-30 2022-03-02 엘지디스플레이 주식회사 영상 처리 회로 및 그를 가지는 표시 장치
CN105355644B (zh) 2015-10-28 2018-05-22 京东方科技集团股份有限公司 一种像素单元及其制作方法、显示装置
CN105242436B (zh) 2015-11-06 2018-08-17 上海天马有机发光显示技术有限公司 一种阵列基板、显示面板及显示装置
KR20170059526A (ko) * 2015-11-20 2017-05-31 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 마스크 프레임 조립체 제조 방법 및 표시 장치 제조 방법
US10573667B2 (en) * 2015-12-11 2020-02-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device
KR101872981B1 (ko) 2015-12-17 2018-08-03 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
KR20170085157A (ko) 2016-01-13 2017-07-24 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102447451B1 (ko) 2016-01-20 2022-09-27 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
CN105445949B (zh) * 2016-01-26 2020-04-28 京东方科技集团股份有限公司 一种三维显示装置
CN105572886B (zh) * 2016-01-26 2018-12-11 京东方科技集团股份有限公司 一种三维显示装置
US11264430B2 (en) * 2016-02-18 2022-03-01 Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Pixel arrangement structure with misaligned repeating units, display substrate, display apparatus and method of fabrication thereof
KR102524534B1 (ko) 2016-02-29 2023-04-24 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
JP2017167403A (ja) * 2016-03-17 2017-09-21 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
CN205487172U (zh) 2016-03-25 2016-08-17 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 显示器
KR101698718B1 (ko) * 2016-04-29 2017-01-20 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
US10110839B2 (en) * 2016-05-03 2018-10-23 Semiconductor Components Industries, Llc Dual-photodiode image pixel
CN105789264A (zh) 2016-05-06 2016-07-20 京东方科技集团股份有限公司 一种曲面显示面板及其制备方法、显示装置
KR102616578B1 (ko) 2016-06-24 2023-12-22 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이의 제조 방법
US9986213B2 (en) * 2016-06-29 2018-05-29 Omnivision Technologies, Inc. Image sensor with big and small pixels and method of manufacture
KR102651858B1 (ko) 2016-07-04 2024-03-28 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 패널
KR20180023139A (ko) 2016-08-24 2018-03-07 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블리
CN206076238U (zh) 2016-09-28 2017-04-05 长春海谱润斯科技有限公司 一种像素结构及有机发光显示面板
KR102567934B1 (ko) 2016-09-30 2023-08-18 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시장치 및 그의 터치감지방법
JP2018072676A (ja) * 2016-11-01 2018-05-10 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
CN106298865B (zh) * 2016-11-16 2019-10-18 京东方科技集团股份有限公司 像素排列结构、有机电致发光器件、显示装置、掩模板
EP3543772B1 (en) * 2016-11-17 2023-09-06 Toppan Printing Co., Ltd. Reflective display apparatus
CN206322697U (zh) 2016-11-21 2017-07-11 昆山国显光电有限公司 像素结构及包含所述像素结构的oled显示面板
KR20180064704A (ko) * 2016-12-06 2018-06-15 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
EP3343544B1 (en) * 2016-12-28 2022-06-15 Vestel Elektronik Sanayi ve Ticaret A.S. Method for a display device
EP3563082B1 (en) * 2016-12-28 2021-05-05 LEIA Inc. Multiview backlighting employing fluorescent multibeam elements
KR102604310B1 (ko) 2016-12-30 2023-11-20 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
JP6878895B2 (ja) * 2017-01-11 2021-06-02 凸版印刷株式会社 表示体、および、表示体の製造方法
KR20180085862A (ko) 2017-01-19 2018-07-30 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102456973B1 (ko) * 2017-01-30 2022-10-21 레이아 인코포레이티드 플라즈몬 멀티빔 요소를 채용한 멀티뷰 백라이팅
FR3063206B1 (fr) * 2017-02-24 2021-08-13 Bilberry Sas Systeme de controle pour epandage agricole
KR102370355B1 (ko) 2017-03-09 2022-03-07 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
CN106884140B (zh) * 2017-04-28 2019-04-30 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜组件及其组装方法
CN206706184U (zh) * 2017-05-12 2017-12-05 京东方科技集团股份有限公司 掩模板以及掩模片
CN107068731B (zh) 2017-06-09 2019-11-19 京东方科技集团股份有限公司 像素排列结构、显示面板、显示装置和掩模板
EP3419053A1 (en) * 2017-06-21 2018-12-26 Life Technologies GmbH Optical component with waveguide based filter
CN107452778B (zh) * 2017-07-25 2020-06-02 京东方科技集团股份有限公司 显示基板、显示装置及其显示方法、掩模板
WO2019026131A1 (ja) 2017-07-31 2019-02-07 シャープ株式会社 表示デバイス
WO2019026132A1 (ja) 2017-07-31 2019-02-07 シャープ株式会社 表示デバイス
JP7171199B2 (ja) * 2017-08-03 2022-11-15 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像装置、及び電子機器
WO2019042013A1 (zh) * 2017-08-31 2019-03-07 昆山国显光电有限公司 像素结构及显示装置
CN207425858U (zh) 2017-08-31 2018-05-29 昆山国显光电有限公司 一种像素结构及oled显示面板
CN109427850B (zh) * 2017-08-31 2020-02-21 昆山国显光电有限公司 像素结构及包含所述像素结构的显示面板
WO2019042048A1 (zh) * 2017-08-31 2019-03-07 昆山国显光电有限公司 像素结构、掩膜版及显示装置
KR102520710B1 (ko) 2017-09-05 2023-04-12 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR102431667B1 (ko) 2017-09-21 2022-08-12 삼성디스플레이 주식회사 헤테로환 화합물, 이를 포함하는 유기 전계 발광 소자 및 유기 전계 발광 표시 장치
US10312279B2 (en) * 2017-10-31 2019-06-04 Semiconductor Components Industries, Llc High dynamic range pixel with in-pixel light shield structures
CN108051943B (zh) 2017-12-29 2020-11-10 上海天马有机发光显示技术有限公司 显示面板及其显示装置
CN109994505A (zh) 2018-01-02 2019-07-09 京东方科技集团股份有限公司 一种像素排布结构及相关装置
CN207966982U (zh) 2018-01-02 2018-10-12 京东方科技集团股份有限公司 一种像素排布结构及相关装置
CN109994509A (zh) 2018-01-02 2019-07-09 京东方科技集团股份有限公司 一种像素排布结构及相关装置
CN113851513A (zh) 2018-01-02 2021-12-28 京东方科技集团股份有限公司 一种显示基板、高精度金属掩模板组及显示装置
US10909901B2 (en) 2018-01-02 2021-02-02 Boe Technology Group Co., Ltd. Pixel arrangement, manufacturing method thereof, display panel, display device and mask
CN109994507B (zh) 2018-01-02 2020-08-04 京东方科技集团股份有限公司 一种像素排布结构及相关装置
CN108231845B (zh) * 2018-01-02 2020-04-24 上海天马有机发光显示技术有限公司 一种显示面板、电子设备
CN108565277B (zh) * 2018-01-04 2021-09-28 上海天马有机发光显示技术有限公司 显示面板及其制作方法
US10504969B2 (en) * 2018-01-30 2019-12-10 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Organic light emitting diode pixel arrangement structure and display panel
CN110133886A (zh) * 2018-02-09 2019-08-16 京东方科技集团股份有限公司 像素排列结构、显示基板和显示装置
CN110137206A (zh) 2018-02-09 2019-08-16 京东方科技集团股份有限公司 一种像素排布结构及相关装置
CN113990912A (zh) * 2018-02-09 2022-01-28 京东方科技集团股份有限公司 像素排列结构、显示基板以及显示装置
US11389903B2 (en) * 2018-03-30 2022-07-19 Apple Inc. Electronic device marked using laser-formed pixels of metal oxides
US11003287B2 (en) * 2018-03-30 2021-05-11 Sharp Kabushiki Kaisha Touch sensor for display with improved viewing angle uniformity
CN108493221B (zh) * 2018-04-17 2020-03-31 京东方科技集团股份有限公司 一种像素排列结构、显示面板、掩膜版组件及蒸镀设备
CA3105023C (en) * 2018-06-25 2023-03-14 Guangdong Oppo Mobile Telecommunications Corp., Ltd. Intra-frame prediction method and device
US10714001B2 (en) * 2018-07-11 2020-07-14 X Display Company Technology Limited Micro-light-emitting-diode displays
CN109037287A (zh) * 2018-07-27 2018-12-18 京东方科技集团股份有限公司 子像素排列结构、掩膜装置、显示面板及显示装置
US10803818B2 (en) * 2018-10-24 2020-10-13 HKC Corporation Limited Pixel architecture, display substrate, and display
JP7311592B2 (ja) * 2018-11-05 2023-07-19 レイア、インコーポレイテッド マルチビューディスプレイおよび方法
KR20200089379A (ko) 2019-01-16 2020-07-27 삼성디스플레이 주식회사 유기발광표시장치
US11156759B2 (en) * 2019-01-29 2021-10-26 Osram Opto Semiconductors Gmbh μ-LED, μ-LED device, display and method for the same
KR20200106589A (ko) * 2019-03-04 2020-09-15 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20200106580A (ko) 2019-03-04 2020-09-15 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20200121957A (ko) 2019-04-16 2020-10-27 삼성디스플레이 주식회사 폴딩 가능한 디스플레이 장치 및 그 제조방법
CN110061044B (zh) 2019-04-30 2021-04-09 上海天马有机发光显示技术有限公司 有机发光显示面板和显示装置
KR20200131691A (ko) 2019-05-14 2020-11-24 엘지디스플레이 주식회사 터치 센서를 가지는 표시 장치
KR20200137079A (ko) 2019-05-28 2020-12-09 삼성디스플레이 주식회사 지문 센서 및 이를 포함하는 표시 장치
KR102639297B1 (ko) * 2019-07-24 2024-02-21 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치
CN110416267B (zh) * 2019-07-29 2022-01-18 京东方科技集团股份有限公司 有机发光显示面板的子像素排布确定方法、装置
KR20210021216A (ko) * 2019-08-16 2021-02-25 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US20210067703A1 (en) * 2019-08-27 2021-03-04 Qualcomm Incorporated Camera phase detection auto focus (pdaf) adaptive to lighting conditions via separate analog gain control
KR20210028296A (ko) 2019-09-03 2021-03-12 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
JP2021044223A (ja) 2019-09-13 2021-03-18 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
KR20210034748A (ko) * 2019-09-20 2021-03-31 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20210042216A (ko) 2019-10-08 2021-04-19 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN110752243B (zh) 2019-10-31 2023-01-10 武汉天马微电子有限公司 一种显示面板、其制作方法及显示装置
KR20210057273A (ko) * 2019-11-11 2021-05-21 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치 및 그 제조방법
KR20210075280A (ko) 2019-12-12 2021-06-23 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20210080674A (ko) * 2019-12-20 2021-07-01 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20210085912A (ko) 2019-12-31 2021-07-08 엘지디스플레이 주식회사 터치 디스플레이 장치
KR20210086898A (ko) * 2019-12-31 2021-07-09 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그 제조방법
KR20210099243A (ko) 2020-02-03 2021-08-12 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
KR20210108535A (ko) * 2020-02-25 2021-09-03 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치

Also Published As

Publication number Publication date
EP3706177A1 (en) 2020-09-09
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US20200286963A1 (en) 2020-09-10

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