KR20220052190A

KR20220052190A - 점 증발원용 도가니 및 점 증발원

Info

Publication number: KR20220052190A
Application number: KR1020200136254A
Authority: KR
Inventors: 이광호
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2020-10-20
Filing date: 2020-10-20
Publication date: 2022-04-27

Abstract

본 발명은 구성 요소간 분리 및 결합이 용이한 점 증발원용 도가니 및 점 증발원을 제공하고자 한다. 본 발명에 의하면 도가니 본체에 내장되는 분사 캡이 상단부에 외측으로 돌출되어 형성된 지지 플랜지를 포함하고, 상기 분사 캡의 지지 플랜지는 상기 도가니 본체 상단의 외주보다 크도록 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

점 증발원용 도가니 및 점 증발원{CRUCIBLE FOR POINT EVAPORATION SOURCE}

본 발명은 점 증발원용 도가니 및 이를 포함하는 점 증발원에 관한 것이다.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두되고 있다. 특히, 제조 공정이 단순하기 때문에 생산 원가를 기존의 액정표시장치보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착법으로 기판 상에 증착된다.

진공열증착법은 진공의 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 유기물이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. 통상적으로, 증발원은 유기물을 수용하는 도가니와, 도가니를 가열하는 히터를 포함하는 구성을 갖는다.

도 1은 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니를 도시하고 있고, 도 2 및 도 3은 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니의 단면을 도시하고 있다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니는, 내부에 증발물질이 수용되며 상단이 개방된 용기 형상의 도가니 본체(10)와, 도가니 본체(10)의 상단에 결합되며 도가니 본체(10)에서 생성되는 기체 상의 증발 입자를 기판을 향하여 분사하는 노즐구가 구비된 분사 캡(20)과, 도가니 본체(10)와 분사 캡(20)사이에 존재하는 베플(30)로 구성된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 이와 같은 점 증발원용 도가니는 도가니 본체(10) 내부에 분사 캡(20)과 베플(30)이 삽입된 형태를 갖는다. 이때, 분사 캡(20)은 도가니 본체(10) 내부에서의 위치가 고정될 수 있도록 도가니 본체(10)에 의하여 지지되는 플랜지(22)를 포함한다.

종래의 분사 캡(20)은 플랜지(22) 길이가 짧기 때문에 유지 보수 작업 등을 위해 분사 캡(20)을 도가니(1)로부터 분리하기 위해서는 별도의 지그가 필요했다. 별도의 지그를 분사홀(24)을 통하여 분사 캡(20) 내부로 집어넣은 후, 분사 캡(20)을 지그로 걸어내는 방식으로 분사 캡(20)을 분리할 수 있었기 때문이다. 이와 같은 종래의 점 증발원용 도가니(1)는 분사 캡(20)을 분리하기가 쉽지 않고 불편한 문제가 있어 이에 대한 개선이 요구되고 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2019-0123599호(2019.11.01.)

따라서 본 발명은 분사 캡의 분리가 용이한 점 증발원용 도가니 및 점 증발원을 제공하고자 한다.

해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 내부에 증발 물질이 수용되는 수용 공간이 마련되고 최상단에 외측으로 돌출되어 형성되는 플랜지부를 포함하는 도가니 본체; 상기 도가니 본체 상단에 결합되며 상기 증발 물질로부터 생성되는 증발 입자를 외부로 토출하는 분사 캡;을 포함하고, 상기 분사 캡은 상기 증발 입자를 외부로 토출하는 노즐구와 상기 분사캡의 상단부에 외측으로 돌출되어 형성된 지지 플랜지를 포함하고, 상기 분사 캡의 지지 플랜지는 상기 도가니 본체의 플랜지부보다 길게 형성되는 점 증발원용 도가니가 제공될 수 있다.

이때, 상기 수용 공간 상부에는 결합 공간이 마련되고, 상기 분사 캡은 상기 결합 공간에 내장되어 상기 도가니 본체에 결합될 수 있다.

또한, 상기 분사 캡의 지지 플랜지는 상기 도가니 본체에 의하여 지지될 수 있다.

상기 분사 캡의 지지 플랜지는 상면에서 하면으로 관통하는 분리용 홀을 포함할 수 있다.

상기 분리용 홀을 이용하여 상기 분사 캡을 상기 도가니 본체로부터 분리시킬 수 있도록 구성될 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 의한 점 증발원용 도가니는, 상기 수용 공간의 상단에는 내주를 따라 단턱이 형성되며, 상기 단턱에 지지되도록 상기 도가니 본체와 상기 노즐 캡 사이에 배치되는 베플을 더 포함할 수 있다.

상기 베플은 상기 증발 물질이 상기 분사 캡에 증착되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 의한 점 증발원용 도가니는, 상기 도가니 본체가 상기 플랜지부를 포함하지 않을 수 있다.

본 발명의 실시예에 의하면, 내부에 증발물질이 수용되는 도가니와; 상기 도가니를 감싸도록 설치되어 상기 도가니에 열을 가하는 히터부와; 상기 히터부를 감싸도록 설치되는 히터 하우징과; 내주면이 상기 히터 하우징의 외주면과 이격되어 상기 히터 하우징을 감싸도록 설치되며, 내부에 냉각 유체가 순환되어 상기 도가니를 냉각하는 쿨링 재킷;을 포함하고, 상기 도가니는, 내부에 증발 물질이 수용되는 수용 공간이 마련되고 상단에 외측으로 돌출되어 형성되는 플랜지부를 포함하는 도가니 본체; 상기 도가니 본체 상단에 결합되고 상기 증발 물질이 상기 히터에 의하여 증발되는 때 생성되는 증발 입자를 외부로 토출하고, 상단에 상기 도가니 본체의 플랜지부보다 길게 외측으로 돌출되어 형성되며 복수의 분리용 홀을 포함하는 지지 플랜지를 포함하는 분사 캡; 상기 도가니 본체와 상기 노즐 캡 사이에 배치되고 상기 증발 물질이 상기 분사 캡에 증착되는 것을 방지하는 베플;을 포함하는 점 증발원이 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 분사 캡의 지지 플랜지가 도가니 본체에 포함된 플랜지부보다 길게 형성됨으로써 도가니 본체로부터 분사 캡의 분리 용이성이 향상될 수 있다.

또한, 분사 캡의 지지 플랜지의 상면으로부터 하면으로 관통되는 분리 홀을 포함시켜 분사 캡의 분리 용이성을 더욱 향상시킬 수 있다.

발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니를 도시한 도면이다.
도 2는 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니를 도시한 단면도이다.
도 3은 종래 기술에 따른 점 증발원용 도가니의 분해 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 일부를 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 분해 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 일부를 도시한 상면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 일부를 도시한 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.

명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.

한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 결합 단면도이다. 그리고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용 도가니의 분해 단면도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 증발원은, 내부에 증발 물질이 수용되는 도가니(1)와, 도가니(1)를 감싸도록 설치되어 도가니(1)에 열을 가하는 히터부(2)와, 히터부(2)를 감싸도록 설치되는 히터 하우징(3)과, 내주면이 히터 하우징(3)의 외주면과 이격되어 히터 하우징(3)을 감싸도록 설치되며, 내부에 냉각 유체가 순환되어 도가니(1)를 냉각시킬 수 있는 쿨링 재킷(4)을 포함한다.

히터부(2)는, 도가니(1)를 감싸도록 설치되어 도가니(1)에 열을 가한다. 히터부(2)는, 열선을 포함할 수 있으며, 열선은 히터 하우징(3)의 내부에 배치되는 열선 고정부(미도시)에 나선 또는 지그재그 형태로 권선되어 히터부(2)를 구성할 수 있다. 히터부(2)는 히터 하우징(3)의 전체 길이에 걸쳐 배치될 수 있다. 본 실시예에서는 도가니(1) 상단의 외주면에 대향하여 상부 열선(2A)을 배치하고, 도가니(1)의 하단에 대향하여 하부 열선(2B)을 배치하여 히터부(2)를 구성한 형태를 제시한다.

히터 하우징(3)은 관 형태를 이루어 히터부(2)를 감싸도록 배치될 수 있다. 히터 하우징(3)은 상단부와 하단부가 개방된 형태의 실린더 형상을 가질 수 있다. 히터 하우징(3)은 반사판 역할을 할 수 있어 내부에 위치한 히터부(2)에서 방출되는 복사열을 도가니(1) 측으로 다시 반사되도록 하여 히터부(2)에서 방출되는 복사열 에너지의 낭비를 최소화할 수 있으며, 복사열 에너지가 도가니(1)를 향해 집중적으로 방출됨으로써 도가니(1) 내의 증발물질의 증발 작용을 보다 촉진하도록 구성될 수 있다.

쿨링 재킷(4)은, 내주면이 히터 하우징(3)의 외주면과 이격되어 히터 하우징(3)을 감싸도록 설치되며, 내부에 냉각유체가 순환될 수 있다. 기판에 대한 증발 입자의 증착을 위해서는 도가니(1)를 가열하게 되는데, 도가니(1)의 가열에 의해 발생하는 열이 증발원의 외측으로 전달되어 기판이나 증착 챔버 내부의 각종 기구에 전달되어 증착 정밀도를 떨어뜨릴 수 있다. 예를 들면, 유기물 재료의 가열 및 증착 공정이 진행되는 동안 증발원의 온도는 대략 섭씨 300도(℃)까지 상승할 수 있다. 이러한 열이 기판이나 마스크에 도달하면 기판이나 마스크에 열팽창이 발생하여 증착의 정밀도가 떨어질 수 있다. 따라서, 증발원의 히터 하우징(3)의 외측에 쿨링 재킷(4)을 두어 증발원에서 발생하는 열이 기판, 마스크 등의 각종 기구에 전달되는 것을 방지하게 된다. 쿨링 재킷(4)의 내부에는 냉각유체가 순환되기 위한 냉각유로(미도시)가 형성되며 냉각유로를 따라 냉각유체가 순환하면서 증발원을 냉각하게 된다. 쿨링 재킷(4)은 냉각을 통해 복사열에 의해 도가니(1)가 과도하게 가열되는 것을 방지하고 도가니(1)를 적절한 온도로 유지시키는 역할을 한다.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 점 증발원용 도가니(1)는 도가니 본체(100)와 분사 캡(200)을 포함한다.

도가니 본체(100)는, 상단이 개방된 용기 형상으로 내부에 증발 물질이 수용되는 수용 공간이 마련된다. 도가니(1)의 외측에 도가니(1)에 열을 가하는 히터부(2)가 배치되기 때문에, 히터부(2)가 도가니 본체(100)를 가열하면 수용 공간에 수용된 증발 물질이 증발되면서 생성되는 기체 상태의 증발 입자가 도가니 본체(100)의 개방된 상단을 통해 분출될 수 있다. 수용 공간의 상부에는 결합 공간이 마련되고, 결합 공간에는 후술할 분사 캡(200)이 내장되어 수용 공간으로부터 분출되는 증발 입자를 증착 대상을 향하여 분사시킬 수 있다.

한편, 도가니 본체(100)는 도가니 본체(100)의 최상단에 외측으로 돌출되어 형성되는 플랜지부(110)를 포함한다. 이는, 도가니(1)를 점 증발원에 삽입하는 경우 플랜지부(110)가 점 증발원의 입구에 지지되면서 도가니가 점 증발원에 안착되도록 하기 위함이다. 또는, 도가니 본체(100)로 삽입되는 분사 캡(200)이 플랜지부(110)에 지지되면서 안착되도록 하기 위함이다.

분사 캡(200)은 도가니 본체(100)가 가열됨으로써 생성되는 증발 입자를 도가니 외부로 토출시키기 위한 것으로서, 도가니 본체(100)의 상단에 위치한 결합 공간에 내장된다. 분사 캡(200)에 의하면 기체 상태의 증발 입자가 일정 방향의 외부로 토출될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면 도가니 본체(100)의 결합 공간이 원통형을 이루고, 분사 캡(100)도 이에 상응하도록 원통형으로 형성되어 서로 나사 결합되도록 구성할 수 있다. 예를 들어, 도가니 본체(100)에 대해 분사 캡(200)을 결합하기 위해, 결합 공간의 내주에 암나사부를 형성하고, 분사 캡(200)의 외주에는 암나사부에 나사 결합되는 수나사부를 형성하여, 분사 캡(200)을 도가니 본체(100)의 결합공간에 나사 결합할 수 있다. 분사 캡(200)을 결합 공간에 나사 결합함으로써 도가니 본체(100)에서 증발 입자가 누출되는 것을 최소화할 수 있다.

구체적으로, 본 발명의 실시예에 따른 분사 캡(200)은, 도가니 본체(100) 상단부에 마련된 결합 공간에 삽입되어 내장된다. 따라서, 가열에 따른 증발 물질의 증발 과정에서 증발 입자가 도가니 본체(100)와 분사 캡(200)의 결합 부위에서 누출이 되더라도, 분사 캡(200)이 도가니 본체(100)의 상단 결합 공간에 내장되어 있기 때문에 누출된 증발 입자가 점 증발원 내부에 누출되지 않고 도가니 상단 즉, 분사 캡(200)의 상단으로 분출되어 점 증발원 내부의 오염을 방지할 수 있다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 분사 캡(200)은, 증발 입자를 외부로 토출하는 노즐구(210)와 도가니 본체(100)에 의하여 지지되는 지지 플랜지(220)를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따른 분사 캡(200)의 내벽은, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 분사 캡(200)의 상단에서 일정 거리 하향으로 단면이 축소되는 원뿔대(circular cone) 형상으로 상부 홈이 형성되고, 상부 홈의 하면으로부터 다시 일정 거리 하향되어 원통 형상으로 중앙 홈이 형성된 후 원통 형상의 하면에서 일정 거리 하향으로 단면이 확대되는 원뿔대 형상으로 하부 홈이 형성된 형태로 이루어진다.

노즐구(210)는 분사 캡(200)의 내부에 형성되는 상부 측벽의 형상과 상응하여 노즐구(210)의 하면에서 상단을 향하여 단면이 확대되는 원뿔대 형상으로 형성될 수 있다. 노즐구(210)는 결합 홈(212)에 의하여 분사 캡(200) 내부에 고정될 수 있다.

분사 캡(200)의 상부 측벽과 노즐구(210)의 외주면은 서로 대향하여 이격되어 있고, 분사 캡(200)의 내벽과 노즐구(210)의 외벽에 의하여 형성되는 공간이 증발 입자의 분출 경로를 형성하게 된다. 원뿔대 형상의 분사 캡(200) 상부 측벽과 원뿔대 형상의 노즐구(210)의 외주면이 형성하는 공간은 도가니(1)의 중심에 대하여 경사를 이루게 되고 이러한 경사에 의하여 증발 입자가 확산될 수 있다. 특히나, 결합 홈(212)과 분사 캡(200)의 내벽에 의하여 형성되는 공간은 일정한 높이를 갖게 되며 이 공간을 거치면서 증발 입자가 일정한 방향성을 갖고 도가니 본체(100)로부터 분출될 수 있다.

이때, 분사 캡(200) 상부 측벽의 각도와 노즐구(210) 측벽의 각도를 달리하여 증발 입자의 확산 각도를 조절할 수 있다.

한편, 하부 홈의 하면 외주를 따라서는 도가니 본체(100)의 수용 공간과 연통되는 확산 공간(214)이 마련되는데, 수용 공간에서 생성된 증발 입자가 수용 공간과 확산 공간(214)을 채우고 결합 홈(212)과 분사 캡(200) 내벽에 의하여 형성된 공간을 거치면서 노즐구(210)를 통해 상향으로 확산되면서 외부로 분출될 수 있다.

도 4를 참고하면, 본 실시예는 히터 하우징(3)의 상단부에 상부 열선(2A)을 배치하고 하단부에 하부 열선을 배치하여 히터부(2)를 구성한 형태인데, 분사 캡(200)을 도가니 본체(100)의 상단에 결합하는 경우 분사 캡(200)의 외주면이 상부 열선에 대향하여 배치되게 된다. 이와 같이, 분사 캡(200)을 히터부(2)의 내부에 배치하는 이유는, 히터부(2)의 열이 바로 분사 캡(200)에 전달되도록 함으로써 증발 입자의 증착 과정에서 증발 입자가 분사 캡(200)에 기생 증착되어 노즐구(210)를 막는 클로깅(clogging) 현상을 방지하기 위함이다.

한편, 본 실시예에서는 분사 캡(200)의 외형이 원통형으로 형성되어 분사 캡(200)의 외형과 내벽의 모양이 다르게 형성하여 분사 캡(200)의 두께가 다소 두껍도록 구성하였으나, 히터부(2)의 열이 분사 캡(200)으로 더욱 잘 전달될 수 있도록 분사 캡(200)의 외벽을 내벽과 같은 형태로 형성시켜 분사 캡(200)의 두께를 감소시키도록 형성될 수도 있다.

분사 캡(200) 상단의 외주에는 도가니 본체(100)에 의하여 지지될 수 있는 지지 플랜지(220)가 돌출되어 형성될 수 있으며, 본 실시예에 의한 지지 플랜지(220)는 도가니 본체(100)의 플랜지부(110)보다 길게 형성된다.

도가니(1)를 연속적으로 사용하다보면 도가니(1)의 유지 및 보수 작업 등에 의하여 도가니 본체(100)에 삽입된 분사 캡(200)을 분리시켜야 하는 경우가 있다. 분사 캡(200)의 지지 플랜지(220)를 도가니 본체(100)의 플랜지부(110)보다 길게 형성하면 지지 플랜지(220)가 분사 캡(200)의 파지부 역할을 할 수 있으므로 분사 캡(200)을 도가니 본체(100)로부터 매우 용이하게 분리할 수 있다.

또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 지지 플랜지(220)에 상면에서 하면으로 관통하는 분리용 홀(222)을 하나 또는 하나 이상 더 포함시켜 분사 캡(200)의 분리 용이성을 더욱 높일 수 있다. 분리용 홀에 의하면, 도가니 본체(100)에 삽입된 분사 캡(200)을 분리하는 때 분리용 홀에 지그를 걸어 분사 캡(200)을 도가니 본체(100)로부터 분리할 수 있다.

한편, 분사 캡(200)과 도가니 본체(100) 사이에는 상면에서 하면으로 관통하는 복수의 홀(222)이 환 형으로 형성되어 있는 플레이트 형태의 베플(300)이 배치될 수 있다. 베플(300)은 도가니 본체(100)의 결합 공간 하부에 배치되는데, 도가니(1)의 가열에 따라 증발 물질이 기화 또는 승화되는 과정에서 증발 물질이 작은 덩어리 형태로 튀어 도가니(1)의 입구나 기판 상에 증착되는 것을 방지한다.

즉, 도가니 본체(100)의 수용 공간에 수용된 증발 물질이 가열되어 증발되는 증발 입자는 베플(300)에 형성된 홀을 거쳐 도가니(1)의 상단으로 분출되도록 하고, 작은 덩어리 형태로 튀는 입자는 베플(300)에 의하여 외부로 튀는 것이 방지될 수 있다. 베플(300)에 형성되는 홀과 분사 캡(200)의 노즐구(210)가 동일 선상에 위치하지 않아 베플 플레이트(300)의 홀을 통과하는 작은 덩어리 형태의 입자는 분사 캡(200)의 하단에 의해 외부로 튀는 것이 방지될 수 있기 때문이다.

한편, 베플(300)을 도가니 본체(100)에 결합하기 위해, 도가니 본체(100)의 결합 공간에 단턱을 형성할 수 있다. 즉, 도가니 본체(100)의 결합 공간 하단에 베플(300)의 외주를 따라 단턱을 형성하고, 베플(300)이 단턱에 의하여 지지되도록 하여 베플(300)이 도가니 본체(100)의 수용 공간과 분사 캡(200)의 사이에 위치하도록 할 수 있다.

한편, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 의한 도가니(1)를 도시한 것이다. 본 발명의 다른 실시예에 의하면 도가니 본체(100)의 플랜지부(110)를 삭제할 수 있다. 지지 플랜지(220)가 길게 형성됨으로써 종래의 플랜지부(110)의 역할을 분사 캡(200)의 지지 플랜지(220)가 대체할 수 있기 때문이다.

본 발명의 다른 실시예에 의하면 분사 캡(200)과 도가니 본체(100)를 결합한 도가니(1)를 히터부(2)에 삽입하여 배치하는 경우 분사 캡(200)의 지지 플랜지(220)가 히터 하우징(3)의 상단에 지지되면서 설치될 수 있다.

이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은 각각 독립적으로 실시될 수도 있고 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.

1: 점 증발원용 도가니
2: 히터부
3: 히터 하우징
4: 쿨링 재킷
100: 도가니 본체
110: 플랜지부
200: 분사 캡
210: 노즐구
212: 결합 홈
220: 지지 플랜지
222: 분리 홀
300: 베플

Claims

내부에 증발 물질이 수용되는 수용 공간이 마련되고 최상단에 외측으로 돌출되어 형성되는 플랜지부를 포함하는 도가니 본체;
상기 도가니 본체 상단에 결합되며 상기 증발 물질로부터 생성되는 증발 입자를 외부로 토출하는 분사 캡;
을 포함하고,
상기 분사 캡은 상기 증발 입자를 외부로 토출하는 노즐구와 상기 분사캡의 상단부에 외측으로 돌출되어 형성된 지지 플랜지를 포함하고, 상기 분사 캡의 지지 플랜지는 상기 도가니 본체의 플랜지부보다 길게 형성되는 점 증발원용 도가니.
제1항에 있어서,
상기 수용 공간 상부에는 결합 공간이 마련되고,
상기 분사 캡은 상기 결합 공간에 내장되어 상기 도가니 본체에 결합되는 것을 특징으로 하는 점 증발원용 도가니.
제1항에 있어서,
상기 분사 캡의 지지 플랜지는 상기 도가니 본체에 의하여 지지되는 것을 특징으로 하는 점 증발원용 도가니.
제1항에 있어서,
상기 분사 캡의 지지 플랜지는 상면에서 하면으로 관통하는 분리용 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 점 증발원용 도가니.
제4항에 있어서,
상기 분리용 홀을 이용하여 상기 분사 캡을 상기 도가니 본체로부터 분리시킬 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 점 증발원용 도가니.
제2항에 있어서,
상기 도가니 본체는,
상기 수용 공간의 상단에는 내주를 따라 단턱이 형성되며,
상기 단턱에 지지되도록 상기 도가니 본체와 상기 노즐 캡 사이에 배치되는 베플을 더 포함하는 점 증발원용 도가니.
제6항에 있어서,
상기 베플은 상기 증발 물질이 상기 분사 캡에 증착되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 점 증발원용 도가니.
제1항에 있어서,
상기 도가니 본체가 상기 플랜지부를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 점 증발원용 도가니.
내부에 증발물질이 수용되는 도가니와;
상기 도가니를 감싸도록 설치되어 상기 도가니에 열을 가하는 히터부와;
상기 히터부를 감싸도록 설치되는 히터 하우징과;
내주면이 상기 히터 하우징의 외주면과 이격되어 상기 히터 하우징을 감싸도록 설치되며, 내부에 냉각 유체가 순환되어 상기 도가니를 냉각하는 쿨링 재킷;
을 포함하고,
상기 도가니는,
내부에 증발 물질이 수용되는 수용 공간이 마련되고 상단에 외측으로 돌출되어 형성되는 플랜지부를 포함하는 도가니 본체;
상기 도가니 본체 상단에 결합되고 상기 증발 물질이 상기 히터에 의하여 증발되는 때 생성되는 증발 입자를 외부로 토출하고, 상단에 상기 도가니 본체의 플랜지부보다 길게 외측으로 돌출되어 형성되며 복수의 분리용 홀을 포함하는 지지 플랜지를 포함하는 분사 캡;
상기 도가니 본체와 상기 노즐 캡 사이에 배치되고 상기 증발 물질이 상기 분사 캡에 증착되는 것을 방지하는 베플;을 포함하는 점 증발원.