TWI428460B - 蒸氣放出裝置、有機薄膜蒸鍍裝置及有機薄膜蒸鍍方法 - Google Patents

Description

蒸氣放出裝置、有機薄膜蒸鍍裝置及有機薄膜蒸蒸鍍方法

本發明，例如係有關於用以形成有機EL元件之發光層的有機薄膜蒸鍍技術。

從先前起，為了形成有機EL元件之發光層，係使用有真空蒸鍍裝置。在此種真空蒸鍍裝置中，為了對於多數之基板而有效率地進行蒸鍍，係提案有一種蒸發源，其係以直線狀而沿著長尺狀之蒸發容器來設置蒸發口，並將此容器設為朝向水平方向。

但是，此種使用有直線狀之容器的蒸發源，由於係有必要使大量之有機材料連續地被蒸發，因此，係產生有蒸發材料之使用效率的降低、或是蒸發材料之經時劣化或分解等的問題。

另一方面，亦提案有如同在以下之專利文獻1中所記載一般的噴淋板型之蒸發源。

[專利文獻1]日本特開2002-249868號公報

本發明，係為考慮有此種先前技術之課題而進行者，其目的，係在於提供一種：在使蒸發材料之使用效率提升的同時，亦能夠防止蒸發材料之經時劣化的有機材料蒸鍍技術。

為了達成上述目的所進行之本發明，係為一種蒸氣放出裝置，其特徵為，具備有：在面內被配列有用以放出有機蒸發材料之蒸氣的複數之放出口，並被構成為可進行加熱之噴淋板型的放出部；和被設置在前述放出部內，而對於該當放出部內供給有機蒸發材料之蒸氣，並具備有以將前述有機蒸發材料之蒸氣吹出附著於前述放出部之內壁的方式而構成之噴出口的供給部；和至少被設置於前述放出部之前述放出口側部位處的冷卻手段。

在本發明中，於前述發明處，前述冷卻手段，係亦能夠以將前述放出部作全體性包覆的方式而被形成。

在本發明中，於前述發明處，前述冷卻手段，係亦能夠在與前述放出部之放出口相對應的部位，而具備有使該當有機蒸發材料之蒸氣通過的蒸氣通過孔。

本發明，於前述發明中，當前述放出部之放出口，係被形成於被設置在該當放出部之噴嘴部的前端部，同時，該當噴嘴部之前端部，係被配置在前述冷卻手段之蒸氣通過孔的內側之位置的情況時，係亦具備有效果。

本發明，當其係為下述一般的情況時，係亦具備有效果：一種有機薄膜蒸鍍裝置，係為在真空中對於蒸鍍對象物而隔著遮罩來蒸鍍有機薄膜之有機薄膜蒸鍍裝置，其特徵為，具備有：可將蒸鍍對象物做搬入之蒸鍍用的真空槽；和被設置在前述真空槽內之蒸氣放出裝置，前述蒸氣放出裝置，係具備有：在面內被配列有用以放出有機蒸發材料之蒸氣的複數之放出口，並被構成為可進行加熱之噴淋板型的放出部；和被設置在前述放出部內，而對於該當放出部內供給有機蒸發材料之蒸氣，並具備有以將前述有機蒸發材料之蒸氣吹出附著於前述放出部之內壁的方式而構成之噴出口的供給部；和至少被設置於前述放出部之前述放出口側部位處的冷卻手段，前述蒸氣放出裝置之放出口，係以與前述遮罩相對向的方式而被配置。

本發明，係亦可為一種有機薄膜蒸鍍方法，係為在真空中對於蒸鍍對象物而隔著遮罩來蒸鍍有機薄膜之有機薄膜蒸鍍方法，其特徵為，具備有：蒸發材料供給工程，係使用於面內被配列有複數之放出口的噴淋板型之放出部，而一面將該當放出部加熱，一面在該當放出部中對於該當放出部之內壁而將有機蒸發材料之蒸氣做吹出附著而作供給，在前述蒸發材料供給工程中，使冷卻手段介於存在於前述放出部與前述遮罩之間，而將從該當放出部而朝向該當遮罩之方向的熱傳達作遮蔽。

於本發明之情況時，由於係在放出部內被設置有供給部，並從此供給部之噴出口而對於放出部之內壁來將有機蒸發材料之蒸氣吹出並使其附著，因此，與此放出部之內壁相衝突後之有機蒸發材料的蒸氣，係不會在放出部內析出，而會被反射，並從被配列於面內之複數的放出口而被放出。

其結果，若藉由本發明，則能夠因應於必要而將最適量之有機蒸發材料的蒸氣作供給，藉由此，就算是在長時間地連續進行蒸鍍的情況時，亦能夠防止蒸發材料之經時劣化或是分解。

又，若藉由本發明，則不會使有機材料在放出部內被析出，而能夠對從放出部所放出之蒸氣的溫度作控制。

而且，於本發明之情況中，係至少在放出部之放出口側的部位設置冷卻手段，並在蒸鍍時，將從放出部而朝向遮罩方向的熱傳達作遮蔽，因此，係能夠防止由於蒸鍍時之熱所致的遮罩之變形。

於本發明中，當將冷卻手段以將放出部全體作覆蓋的方式而形成的情況時，由於係可減少從放出部而朝向遮罩方向的熱傳達量，因此，係能夠更確實地防止由於蒸鍍時之熱所致的遮罩之變形。

在本發明中，當冷卻手段係在對應於放出部之放出口的部位處，具備有使該當有機蒸發材料之蒸氣通過的蒸氣通過孔的情況時，則在能夠對於蒸鍍對象物而放出充分之量的有機材料之蒸氣的同時，亦能夠確實地防止由於蒸鍍時之熱所致的遮罩之變形。

於此情況，當前述放出部之放出口，係被形成於被設置在該當放出部之噴嘴部的前端部，同時，此噴嘴部之前端部，係被配置在冷卻手段之蒸氣通過孔的內側之位置的情況時，於蒸鍍時，從放出部之放出口所被放出之有機蒸發材料蒸氣，係不會附著在冷卻手段之蒸氣通過孔的邊緣部，而能夠將一定量之有機材料蒸氣朝向蒸鍍對象物而順暢地作導引。

若藉由本發明，則能夠提供一種：在能夠提升蒸發材料之使用效率的同時，亦能夠防止蒸發材料之經時劣化的有機材料蒸鍍技術。

又，若藉由本發明，則係能夠確實地防止由於蒸鍍時之熱所致的遮罩之變形。

以下，參考圖面，對本發明之實施型態作詳細說明。

圖1，係為展示本實施型態之有機薄膜蒸鍍裝置的重要部分之概略構成立體圖，圖2係為展示同有機薄膜蒸鍍裝置的重要部分之內部構成剖面圖，圖3係為展示同有機薄膜蒸鍍裝置處之放出部的放出口與冷卻手段之蒸氣通過孔間的關係之平面說明圖，圖4係為展示在同有機薄膜蒸鍍裝置中之蒸鍍動作的剖面說明圖。

如圖1以及圖2中所示一般，本實施型態之有機薄膜蒸鍍裝置1，係具備有：具備與未圖示之真空排氣系相連接之蒸氣放出裝置10的真空槽2、和用以在此真空槽2內供給有機蒸發材料之蒸氣的蒸氣供給部3。

本實施型態之蒸氣供給部3，係具備有：複數之供給手段3a、3b、3c；和被連接於各供給手段3a、3b、3c處、並被連接於未圖示之真空排氣系的蒸發室3A、3B、3C。

於此，各供給手段3a、3b、3c，係具備有將用以形成有機EL裝置之有機層的粒子狀之有機蒸發材料各以特定量而供給至各蒸發室3A、3B、3C中的功能。

而後，係成為將在各蒸發室3A、3B、3C中被蒸發所得到的有機蒸發材料之蒸氣經由閥30、31、32、33之切換而經由導入管34來導引至以下之蒸氣放出裝置10處的構成。

另外，從各蒸發室3A、3B、3C而對於蒸氣放出裝置10所進行之有機蒸發材料的蒸氣之供給，係經由將真空槽2內之壓力設為較各蒸發室3A、3B、3C內之壓力為更低而進行之。

如圖2所示一般，在真空槽2內，身為蒸鍍對象物之基板20，係和遮罩21成為一體地被搬入。於此，係成為將遮罩21朝向蒸氣放出裝置10側地配置在真空槽2內。

本實施型態之蒸氣放出裝置10，例如，係具備有幾乎為平板形狀的由長方體形狀之筐體所成的放出部11。

此放出部11，例如係為由金屬材料所成者，在與基板20相對向之面，係被設置有複數之放出口12。

本實施型態之情況，係在放出部11之上部的鉛直上方處、亦即是在朝向基板20之方向處，被設置有複數之圓錐梯形狀的噴嘴部13，在各噴嘴部13之前端部處，係被形成有例如圓形之放出口12。

另一方面，在放出部11之內部處，係被設置有供給管(供給部)14。

此供給管14，係被連結於上述之導入管34處，並在放出部11之內部空間中，將例如於圖1中而朝向X軸方向作直線狀延伸之圓筒管狀的本體部14a空出有特定之間隔地作複數設置。

而，在此供給管14之本體部14a處的下側部分，係空出有特定之間隔地而設置有複數之用以將有機蒸發材料之蒸氣導入至放出部1內的噴出口15。

在本實施型態中，各噴出口15，係被配設於供給管14之正下方的位置處，藉由此，各噴出口15係成為被構成為與放出部11之底部(內壁)11a相對向。

又，在放出部11之外表面部處，例如係被設置有電阻加熱型之加熱器16。此加熱器16，係被捲繞於放出部11之外表面部，並被連接於未圖示之電源。

進而，在此加熱器16之周圍處，係被設置有由絕熱材料所成之冷卻手段17。

此冷卻手段17，係以使未圖示之冷卻媒體作循環的方式而被構成。而，冷卻手段17，係經由將放出部11作全體性的覆蓋，而成為使加熱器16之熱不會傳導到遮罩21處。

又，如圖2及圖3所示一般，在冷卻手段17之上(頂)部，係被在對應於放出部11之放出口12的部分處，係被設置有例如圓形之蒸氣通過孔17a，並被構成為能夠確保將蒸發材料之蒸氣順暢地放出。

於本實施型態之情況，蒸氣通過孔17a之口徑，係分別被形成為較放出部11之放出口的口徑為更大。進而，各噴嘴部13之前端部，係被配置在冷卻手段17之各蒸氣通過孔17a的內側，且被配置在不會從各蒸氣通過孔17a而突出的位置處。

而，藉由此種構成，在蒸鍍時，從放出部11之放出口12所放出之有機蒸發材料蒸氣50，係成為不會附著於冷卻手段17之蒸氣通過孔17a的邊緣部。

當在具備有此種構成之本實施型態中，而在基板20上進行有機薄膜之蒸鍍的情況時，係將從各供給手段3a、3b、3c所供給並在各蒸發室3A、3B、3C中所得到之特定量的有機蒸發材料蒸氣50，如圖2以及圖4所示一般地而經由導入管34來導入至供給管14內。

而後，從供給管14之各噴出口15，來朝向加熱中之放出部11內的底部11a而將有機蒸發材料蒸氣50例如噴出至鉛直下方。

其結果，與放出部11之底部11a相衝突的有機蒸發材料蒸氣50，係不會在放出部11之底部11a處析出並殘留，而是被反射並充滿於放出部11內，並藉由此而從複數之放出口12而被放出，而後，經由遮罩21而到達基板20處。

若藉由此種本實施型態，則能夠因應於必要而將最適量之有機蒸發材料的蒸氣作蒸發，藉由此，就算是在長時間地連續進行蒸鍍的情況時，亦能夠防止蒸發材料之經時劣化或是分解。

特別是，在本實施型態中，係在設為使放出部11被作加熱之構成的同時，亦設為從供給管14之噴出口15而對於放出部11之底部11a來將有機蒸發材料蒸氣50吹出附著的構成，因此，能夠不使有機材料在放出部1內析出地來對從放出部11所放出之蒸氣的溫度作控制。

又，在本實施型態中，由於供給管14係被形成為管狀，並被設為從噴出口15而對於放出部11之底部11a壁面來將有機蒸發材料蒸氣50吹出附著的構成，而能夠涵蓋廣範圍地將少量的有機蒸發材料連續性地作供給，因此，能夠使有機蒸發材料蒸氣50在放出部11內均勻地分散。

進而，於本實施型態之情況中，係在放出部11之放出口12側的部位設置冷卻手段17，並在蒸鍍時，將從放出部11而朝向遮罩21方向的熱傳達作遮蔽，因此，係能夠防止由於蒸鍍時之熱所致的遮罩21之變形。

特別是，由於係在將冷卻手段17以覆蓋放出部11之全體的方式而形成的同時，在對應於放出部11之放出口12的部位處，具備有使有機蒸發材料蒸氣50通過的蒸氣通過孔17a，因此，在能夠對於基板20而放出充分之量的有機蒸發材料蒸氣50的同時，亦能夠確實地防止由於蒸鍍時之熱所致的遮罩21之變形。

進而，在本實施型態中，由於係在將放出部11之放出口12形成於噴嘴部13之前端部的同時，將此噴嘴部13之前端部配置在冷卻手段17之蒸氣通過孔17a的內側之位置，因此，於蒸鍍時，從放出部11之放出口12所被放出之有機蒸發材料蒸氣50，係不會附著在冷卻手段17之蒸氣通過孔17a的邊緣部，而能夠將一定量之有機蒸發材料蒸氣50朝向基板20而順暢地作導引。

另外，本發明係並不被限定為上述之實施型態，而可進行各種之變更。

例如，本發明，係並不僅限於用以形成有機EL元件之發光層的真空蒸鍍裝置，而亦可適用於形成各種之有機薄膜的裝置中。

但是，本發明，係為在適用於用以形成有機EL發光元件之發光層的裝置中時，成為最為有效。

又，從膜厚之均一化以及蒸發材料之使用效率的提升之觀點來看，在蒸鍍時，亦可將遮罩21以及基板20與放出部11作相對性之搖動。

特別是，在上述實施型態的情況中，係以例如藉由圖2又或是圖4中所示之驅動機構18來將遮罩21以及基板20在與材料供給部14之本體部14a所延伸之方向相正交的方向上(圖1中之Y軸方向)作搖動為理想。藉由此，能夠進行更為均一之成膜。

接下來，參考圖5，對蒸發室3A～3C與供給手段3a～3c之其中一例作說明。

圖5之符號81，係代表加熱槽81，於此，加熱槽8，係將內部經由隔壁85而作區隔，並藉由被區隔之其中一方而構成蒸發室3A～3C，而藉由另外一方來構成氣體加熱裝置80a。

於此，加熱槽81係被配置在真空槽2之外部，但是，加熱槽81係亦可配置在真空槽2之內部。

在蒸發室3A～3C之內部，係被配置有蒸發裝置94。此蒸發裝置94，係由金屬所形成，身為其之上部表面的蒸發面98，係被設為平滑，並相對於水平方向而傾斜有角度θ(0＜θ＜90°)。

在氣體加熱裝置80a之內部，係被配置有加熱濾網82。此加熱濾網82，係藉由多孔質SiC、網狀SiC或是金屬製網之層積體，或是其他之能夠使氣體透過且就算是被升溫至高溫亦不會分解或是釋放出氣體的材料所構成。

在加熱槽81之側面、底面、表面處，係被配置有加熱器89，並被構成為若是經由加熱電源88而將加熱器89通電並使其發熱，則會使加熱槽81升溫的構成，加熱濾網82與蒸發裝置94，係經由從加熱槽81而來之熱傳導以及輻射而被加熱。亦可在加熱槽81之外部配置感應加熱線圈，並藉由交變磁場，來對加熱濾網82或是蒸發裝置94作感應加熱。

在加熱槽81之內部，係涵蓋氣體加熱裝置80a與蒸發室3A～3C而被配置有連接配管93。隔壁85，係為氣體無法通過之材料，而連接配管93之其中一端，係在蒸發室3A～3C內開口，另外一端，係在氣體加熱裝置80a內開口，氣體加熱裝置80a與蒸發室3A~3C，係經由連接配管93而被連接，氣體加熱裝置80a內之氣體，係通過連接配管93，而成為可移動至蒸發室3A~3C內。

蒸發室3A~3C，係被連接於真空排氣系103處，若是將蒸發室3A~3C作真空排氣，則氣體加熱裝置80a內之氣體亦係經由連接配管93而被真空排氣，而能夠將蒸發室3A~3C與氣體加熱裝置80a之內部設為真空氛圍。但是，在蒸氣產生時，係以不會將所產生之蒸氣作排氣的方式，而將蒸發室3A~3C與真空排氣系103遮斷。

在氣體加熱裝置80a處，係被連接有載體氣體供給系84。從載體氣體供給系84，係被供給有由不會與有機材料起反應之Ar或Xe等之稀有氣體所成的載體氣體。(當有機材料蒸氣起反應時，氮氣係並不適合作為載體氣體)。若是從載體氣體供給系84而對氣體加熱裝置80a供給有載體氣體，則載體氣體係通過加熱濾網82之微小孔洞或是網格，而進入連接配管93之內部，並在連接配管93內流動，而被導入至蒸發室3A~3C內。

加熱濾網82，係經由加熱器89而被加熱，而載體氣體，係在通過加熱濾網82的期間中，被加熱至較有機材料之蒸發溫度更高溫且未滿分解溫度的溫度。

供給手段3a~3c，係具備有槽室71與原料供給管72，並在蒸發室3A~2C之上方，被配置有槽室71。

原料供給管72之上端，係被氣密地連接於槽室71之下端，而下端，係被氣密地插入至蒸發室3A~3C之內部。槽室71之內部與蒸發室3A～3C之內部，係經由原料供給管72而被連接，若是將蒸發室3A～3C之內部作真空排氣，則槽室71之內部或是原料供給管72之內部，係亦被作真空排氣。

槽室71係被密閉，當槽室71、原料供給管72、蒸發室3A～3C被排氣時，大氣係不會侵入。

在原料供給管72之內部，係被配置有於側面處被形成有螺紋以及螺溝之旋轉軸76。於此，原料供給管72與旋轉軸76，係被鉛直地配置。

旋轉軸76之螺紋與原料供給管72之內壁面，係相互接觸或者是相互接近而僅存在有些許之空隙，槽室71之內部，係經由螺溝而被連接於蒸發室3A～3C。螺溝之相對於水平方向的傾斜角度，係成為較小，在旋轉軸76為靜止的狀態下，就算是在槽室71之內部配置有較螺溝之大小為更小的粉體，粉體亦不會掉落至蒸發室3A～3C內。

在槽室71之內部，係被配置有上述之有機蒸發材料78。有機蒸發材料78，係為將有機薄膜之母材與發色劑作混合後的粉體，在各供給手段3a～3c之槽室71中，係可配置相異種類(色)之有機蒸發材料78，亦可配置相同種類之有機蒸發材料78。

圖5之符號79，係代表具備有馬達等之旋轉手段，旋轉軸76，係被連接於旋轉手段79處。若是使旋轉手段79動作，則旋轉軸76係以其之中心軸線為中心，而在原料供給管72內並不上升亦不下降地作旋轉。

在旋轉軸76為靜止的狀態下，槽室71內之有機蒸發材料78係並不會移動，但是，若是使旋轉軸76旋轉，則有機蒸發材料78係通過螺溝而進入原料供給管72之內部，並沿著原料供給管72之螺溝而朝向下方移動。

原料供給管72之下端，係被插入至蒸發室3A～3C之內部，並被連接於連接配管93，而構成為將原料供給管72之內部與連接配管93之內部作通連。

螺溝之下端，係在原料供給管72內而被開放，藉由旋轉軸76之旋轉而移動至下方並到達了螺溝之下端的有機蒸發材料78，係從螺溝內而落下至連接配管93之內周面上。

當使旋轉軸76緩慢的旋轉時，有機蒸發材料78之在螺溝內的移動量和旋轉軸76之旋轉量，係為一對一的關係，若是預先求取出旋轉量與落下量之關係，則能夠從原料供給管72來使所期望之量的有機蒸發材料78落下。當使其緩慢旋轉時，係能夠使其一次落下少量地作連續性之落下。

連接配管93，其之在蒸發室3A～2C內之端部位置與有機蒸發材料78所落下之位置之間的部分，係為傾斜，構成端部之開口96，係被設為成為較落下位置而更為下方。故而，在連接配管93之內周面上所落下之有機蒸發材料78，係在連接配管93之內周面處朝向開口96而滑落。

開口96，係被配置在蒸發裝置94之蒸發面98的正上方，到達了開口96之有機蒸發材料78，係從開口96而落下至蒸發面98上。

從蒸發面98上所落下之有機蒸發材料78，係散佈在蒸發面98上。由於蒸發面98係傾斜，因此，有機蒸發材料78係在擴散後的狀態下而從蒸發面98上滑落。

落下至蒸發面98上之有機蒸發材料78，在室溫下雖係為粉體，但是，若是被加熱至蒸發溫度以上，則係會蒸發，並產生有機蒸發材料蒸氣50。蒸發裝置94，係經由加熱器89而預先被升溫至較有機蒸發材料78之蒸發溫度為更高溫，在蒸發面98上，由於係被供給有在從蒸發面98上滑落並到達下端之前(亦即是，在滑落期間中)便能夠全部作蒸發之量的有機蒸發材料78，因此，有機蒸發材料78，係在被散佈於蒸發面98上之後便立即開始蒸發，並一面滑落一面被蒸發，而並不會到達下端，便從蒸發面98上而消滅。

當在蒸發面98上而使有機蒸發材料78落下時，雖係進行有真空槽內之真空排氣，但是，在蒸發室3A～3C與真空排氣系103之間的閥係被關閉，而成為不會使經由有機蒸發材料78之蒸發而在蒸發室3A～3C內所產生的有機蒸發材料蒸氣50並不通過供給管14而被作真空排氣。

蒸發室3A～3C與供給管14，係經由導入管34而被連接。當在蒸發面98上而使有機蒸發材料78落下時，係從落下前起便對氣體加熱裝置80a供給載體氣體，並使被加熱後之載體氣體被導入至蒸發室3A~3C內。

若是將被加熱後之載體氣體所流動的連接配管93之開口96朝向蒸發面98之有機蒸發材料78所蒸發的部分，並對該部分吹出附著被加熱後之載體氣體，則有機蒸發材料蒸氣50與被加熱後之載體氣體，係在蒸發室3A~3C中被均一地混合，而該混合氣體，係通過導入管34而被導入至蒸氣放出裝置10中。

藉由對從載體氣體供給系84而對於氣體加熱裝置80a所供給之載體氣體的流量作控制，供給管14之內部壓力，係被設為能夠在供給管14之內部而形成混合氣體(載體氣體與有機材料蒸氣之混合氣體)的黏性流之大小，供給管14之各本體部14a的內部，係從根部起直到前端為止而被略為相等壓力之混合氣體所充滿。

又，真空槽2之內部係繼續被直接真空排氣，供給管14之周圍的壓力，係成為較供給管14之內部壓力為更低壓。其結果，從各噴出孔15，係分別以相等之流速而被放出有混合氣體，有機蒸發材料蒸氣50，係通過冷卻手段17之蒸氣通過孔17a與遮罩21之貫通孔，而以均一之單位面積密度而到達基板20之表面。

藉由導入載體氣體，就算是在有機蒸發材料蒸氣50之導入量為少的情況時，亦能夠將供給管14內之壓力，設為能夠在從本體部14a之前端起直到根部的部分之間而從噴出孔15來均一地放出蒸氣的壓力。

又，就算是在使有機蒸發材料蒸氣50之產生量變化的情況時，藉由對載體氣體之導入量作改變，亦成為能夠對供給管14內之壓力作調整。故而，係成為能夠改變有機蒸發材料蒸氣50之產生量、亦即是成為能夠對成膜速度作調整。

由於從各本體部14a之根部起直到前端為止，在基板表面處係到達有等量之有機材料蒸氣，因此，係可以得到不存在有偏差的有機薄膜。

1．．．有機薄膜蒸鍍裝置

2．．．真空槽

3．．．蒸氣供給部

3a、3b、3c．．．供給手段

10．．．蒸氣放出裝置

11．．．放出部

12．．．放出口

14．．．供給管(供給部)

14a．．．本體部

15．．．噴出口

16．．．加熱器

17．．．冷卻手段

17a．．．蒸氣通過孔

20．．．基板(蒸鍍對象物)

21．．．遮罩

50．．．有機蒸發材料蒸氣

[圖1]展示本發明之有機薄膜蒸鍍裝置的重要部分之概略構成立體圖。

[圖2]展示同有機薄膜蒸鍍裝置的重要部分之內部構成剖面圖。

[圖3]展示同有機薄膜蒸鍍裝置處之放出部的放出口與冷卻手段之蒸氣通過孔間的關係之平面說明圖。

[圖4]展示在同有機薄膜蒸鍍裝置中之蒸鍍動作的剖面說明圖。

[圖5]展示蒸發室與供給手段之內部構成剖面圖。

2．．．真空槽

10．．．蒸氣放出裝置

11．．．放出部

11a．．．底部

12．．．放出口

13．．．噴嘴部

14．．．供給管(供給部)

14a．．．本體部

15．．．噴出口

16．．．加熱器

17．．．冷卻手段

17a．．．蒸氣通過孔

18．．．驅動機構

20．．．基板(蒸鍍對象物)

21．．．遮罩

34．．．導入管

50．．．有機蒸發材料蒸氣

Claims (6)

1. 一種蒸氣放出裝置，其特徵為，具備有：在面內被配列有用以放出有機蒸發材料之蒸氣的複數之放出口，並被構成為可進行加熱之噴淋板型的放出部；和被設置在前述放出部內，而對於該當放出部內供給有機蒸發材料之蒸氣，並具備有以將前述有機蒸發材料之蒸氣吹出附著於前述放出部之內壁的方式而構成之噴出口的供給部；和以將前述放出部作全體性包覆的方式而被形成的冷卻手段。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之蒸氣放出裝置，其中，前述放出部，係具備有複數之圓錐台形之噴嘴，前述放出部，係被設置在前述噴嘴部之前端處，在前述冷卻手段處，係被設置有複數之蒸氣通過孔，前述噴嘴部之前端部，係被配置在前述蒸氣通過孔之內側且不會從前述蒸氣通過孔所突出的位置處。
3. 如申請專利範圍第2項所記載之蒸氣放出裝置，其中，前述冷卻手段，係在與前述放出部之放出口相對應的部位，而具備有使該當有機蒸發材料之蒸氣通過的蒸氣通過孔。
4. 如申請專利範圍第3項所記載之蒸氣放出裝置，其中，前述放出部之放出口，係被形成於被設置在該當放出 部之噴嘴部的前端部，同時，該當噴嘴部之前端部，係被配置在前述冷卻手段之蒸氣通過孔的內側之位置。
5. 一種有機薄膜蒸鍍裝置，係為在真空中對於蒸鍍對象物而隔著遮罩來蒸鍍有機薄膜之有機薄膜蒸鍍裝置，其特徵為，具備有：可將蒸鍍對象物做搬入之蒸鍍用的真空槽；和被設置在前述真空槽內之蒸氣放出裝置，前述蒸氣放出裝置，係具備有：在面內被配列有用以放出有機蒸發材料之蒸氣的複數之放出口，並被構成為可進行加熱之噴淋板型的放出部；和被設置在前述放出部內，而對於該當放出部內供給有機蒸發材料之蒸氣，並具備有以將前述有機蒸發材料之蒸氣吹出附著於前述放出部之內壁的方式而構成之噴出口的供給部；和以將前述放出部作全體性包覆的方式而被形成的冷卻手段，前述蒸氣放出裝置之放出口，係以與前述遮罩相對向的方式而被配置。
6. 一種有機薄膜蒸鍍方法，係為在真空中對於蒸鍍對象物而隔著遮罩來蒸鍍有機薄膜之有機薄膜蒸鍍方法，其特徵為，具備有：蒸發材料供給工程，係使用於面內被配列有複數之放出口的噴淋板型之放出部，而一面將該當放出部加熱，一面在該當放出部中對於該當放出部之內壁而將有機蒸發材 料之蒸氣做吹出附著而作供給，在前述蒸發材料供給工程中，使以將前述放出部作全體性包覆的方式而被形成的冷卻手段中介存在於前述放出部與前述遮罩之間，而將從該當放出部而朝向該當遮罩之方向的熱傳達作遮蔽。