KR20150012383A - 박막증착장치 - Google Patents

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KR20150012383A KR1020130087811A KR20130087811A KR20150012383A KR 20150012383 A KR20150012383 A KR 20150012383A KR 1020130087811 A KR1020130087811 A KR 1020130087811A KR 20130087811 A KR20130087811 A KR 20130087811A KR 20150012383 A KR20150012383 A KR 20150012383A
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Abstract

본 발명은 박막증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증발에 의하여 증착을 수행하는 박막증착장치에 관한 것이다.
본 발명은, 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와; 기판처리면이 하측으로 향하도록 기판을 지지하며 박막이 증착되도록 상기 처리공간의 상측에 설치되어 기판을 픽업하는 기판픽업부와; 상기 공정챔버에 설치되어 증발물질이 증발되는 복수의 증발원들을 포함하는 증발원부와; 상기 증발원들 중 적어도 하나에 대응되어 설치되어 해당 증발원의 증발물질의 증발률을 측정하는 센서들과; 상기 해당 증발원에서 증발되는 증발물질의 이동을 가이드하도록 상기 해당 증발원 및 상기 센서 사이에 배치되는 센서가이드를 포함하며, 상기 센서가이드는 일단에서 상기 증발원을 향하는 제1개구부가 형성되고 타단에서 상기 센서를 향하는 제2개구부가 형성되며 상기 제1개구부 및 상기 제2개구부는 서로 연통되며, 상기 제1개구부는 상기 해당 증발원과 인접한 증발원과의 배치방향의 폭이 상기 폭 방향과 수직을 이루는 길이보다 작은 것을 특징으로 하는 박막증착장치를 개시한다.

Description

박막증착장치 {Thin film deposition processing apparatus}
본 발명은 박막증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증발에 의하여 증착을 수행하는 박막증착장치에 관한 것이다.
평판표시소자(Flat Panel Display)는 액정표시소자 (Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이소자(Plasma Display Panel), 유기발광소자 (Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.
이 중에서 유기발광소자는 빠른 응답속도, 기존의 액정표시소자보다 낮은 소비 전력, 고휘도, 경량성 등의 특성이 있으며, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어 초박형으로 만들 수 있는 점 등의 장점을 지니고 있는바, 차세대 디스플레이 소자로서 각광받고 있다.
한편, 평판표시소자의 기판에 박막을 형성하는 일반적인 방법으로는, 증발증착법(Evaporation)과, 이온 플레이팅법(Ion-plating) 및 스퍼터링법(Sputtering)과 같은 물리증착법(PVD)과, 가스반응에 의한 화학기상증착법(CVD) 등이 있다. 이 중에서, 유기발광소자의 유기물층, 무기물층 등과 같은 박막형성에 증발증착법이 사용될 수 있다.
평판표시소자의 기판에 박막을 형성하는 방법 중 증발증착법은 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와, 공정챔버의 하부에 설치되어 증착될 증발물질이 증발되는 증발원을 포함하는 박막증착장치에 의하여 수행된다.
여기서 종래의 박막증착장치는 대면적의 기판에 대한 박막증착공정 수행을 위하여 복수개의 증발원들을 설치하여 기판에 대한 박막증착공정을 수행한다.
한편 종래의 박막증착장치는, 증발률 측정을 위한 센서가 각 증발원들에 대응되어 공정챔버 내에 설치되어 각 증발원들의 증발률을 제어한다.
그러나 종래의 박막증착장치는, 각 증발원에 대한 증발률 측정시 인접한 증발원에서 증발한 증발물질의 간섭이 발생하여 센서가 해당 증발원의 증발률을 정확히 감지할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 해당 증발원의 증발물질의 이동을 가이드하는 센서가이드를 추가로 구비하여 인접한 증발원에 의한 증발률 간섭을 방지함으로써 정확한 증발률 측정이 가능하여 양호한 박막증착이 가능한 박막증착장치를 제공하는 데 있다.
또한 본 발명의 다른 목적은, 해당 증발원의 증발물질의 이동을 가이드하는 센서가이드가 인접한 증발원의 증발물질의 유입을 최소화하는 구조를 구비하여 인접한 증발원에 의한 증발률 간섭을 방지함으로써 정확한 증발률 측정이 가능하여 양호한 박막증착이 가능한 박막증착장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와; 기판처리면이 하측으로 향하도록 기판을 지지하며 박막이 증착되도록 상기 처리공간의 상측에 설치되어 기판을 픽업하는 기판픽업부와; 상기 공정챔버에 설치되어 증발물질이 증발되는 복수의 증발원들을 포함하는 증발원부와; 상기 증발원들 중 적어도 하나에 대응되어 설치되어 해당 증발원의 증발물질의 증발률을 측정하는 센서들과; 상기 해당 증발원에서 증발되는 증발물질의 이동을 가이드하도록 상기 해당 증발원 및 상기 센서 사이에 배치되는 센서가이드를 포함하며, 상기 센서가이드는 일단에서 상기 증발원을 향하는 제1개구부가 형성되고 타단에서 상기 센서를 향하는 제2개구부가 형성되며 상기 제1개구부 및 상기 제2개구부는 서로 연통되며, 상기 제1개구부는 상기 해당 증발원과 인접한 증발원과의 배치방향의 폭이 상기 폭 방향과 수직을 이루는 길이보다 작은 것을 특징으로 하는 박막증착장치를 개시한다.
상기 제1개구부는 상기 제2개구부보다 더 크게 형성될 수 있다.
상기 센서가이드는, 타원뿔대 또는 각뿔대 형상을 가질 수 있다.
상기 제1개구부는, 타원형 또는 다각형 형상을 가질 수 있다.
상기 기판픽업부는, 박막증착공정 수행시 기판을 픽업하여 수평회전시킬 수 있다.
상기 증발원부는, 기판의 수평회전방향으로 간격을 두고 배치되는 복수의 증발원들을 포함할 수 있다.
상기 제1개구부는, 타원형 또는 다각형 형상을 가질 수 있다.
상기 증발원부는 상기 공정챔버 내에서 고정되며, 상기 기판은 증착공정 수행시 선형이동될 수 있다.
상기 증발원부는, 복수의 증발원들이 기판의 이동방향과 수직인 방향으로 배치된 하나 이상의 증발원군이 기판의 이동방향을 따라서 배치될 수 있다.
상기 제1개구부는, 타원형 또는 다각형 형상을 가질 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치는, 증발원 및 센서 사이에 증발원의 증발물질의 이동을 가이드하는 센서가이드를 추가로 구비하여 인접한 증발원에 의한 증발률 간섭을 방지함으로써 정확한 증발률 측정이 가능하여 양호한 박막증착이 가능한 이점이 있다.
특히 상기 센서가이드부는, 각각의 증발원의 증발률을 측정하는 센서가 해당 증발원과 인접한 증발원과의 배치방향에 따라서, 증발원들의 배치방향인 폭이 폭방향과 수직 방향의 길이보다 작게 형성됨으로써 인접한 증발원에 의한 증발률 간섭을 최소화할 수 있다.
구체적인 예를 들면, 복수의 증발원들이 기판의 회전방향으로 배치되고, 기판의 회전에 의하여 박막증착이 이루어지는 박막증착장치에 있어서, 해당 증발원의 증발물질의 이동을 가이드하는 센서가이드가 기판의 회전방향의 폭을 작게 형성함으로써 인접한 증발원에 의한 증발률 간섭을 최소화할 수 있다.
또한 복수의 증발원들이 기판의 회전방향으로 배치되고, 기판의 회전에 의하여 박막증착이 이루어지는 박막증착장치에 있어서, 해당 증발원의 증발물질의 이동을 가이드하는 센서가이드가 기판의 회전방향의 폭을 작게 형성함으로써 인접한 증발원에 의한 증발률 간섭을 최소화할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 박막증착장치는, 해당 증발원의 증발물질의 이동을 가이드하는 센서가이드의 구성에서 증발원을 향하는 개구부를 더 크게 형성하여 증발물질의 유입량을 최대화함으로써 증발률 잠지를 위한 충분한 양의 증발물질이 센서에 도달하도록 함으로써 센서의 감지성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명의 제1실시예에 따른 박막증착장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는, 도 1의 박막증착장치에서 증발원들 및 센서들의 배치를 보여주는 일부 평면도이다.
도 3은, 도 1의 박막증착장치에서 증발원, 센서가이드 및 센서의 배치를 보여주는 일부 단면도이다.
도 4는, 도 1의 박막증착장치에서 센서가이드 및 센서의 일예를 보여주는 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는, 도 1의 박막증착장치의 센서가이드의 예들을 보여주는 저면도들이다.
도 6a는 본 발명의 제2실시예에 따른 박막증착장치를 보여주는 단면도 이다.
도 6b는 도 6a의 박막증착장치에서 증발원들 및 센서들의 배치를 보여주는 일부 평면도이다.
이하 본 발명에 따른 박막증착장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 박막증착장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 공정챔버(100)와, 기판처리면이 하측을 향하도록 지지하며 박막이 증착되도록 처리공간(S)의 상측에 설치되어 기판을 픽업하는 기판픽업부(200)와, 공정챔버(100)에 설치되어 증발물질이 증발되는 복수의 증발원(310)들을 포함하는 증발원부(300)를 포함한다.
여기서 기판처리의 대상인 기판(10)은 액정표시소자 (Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이소자(Plasma Display Panel), 유기발광소자 (Organic Light Emitting Diodes) 등 기판처리면에 증착물의 증발에 의하여 박막을 형성할 수 있는 부재이면 어떠한 대상도 가능하다.
상기 공정챔버(100)는 기판처리의 수행을 위하여 처리공간(S)을 형성하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 공정챔버(100)는 챔버본체(120)와 서로 탈착가능하게 결합되어 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 탑리드(110)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 기판픽업부(200)는, 기판(10)의 기판처리면에 박막이 증착되도록 처리공간(S)의 상측에 설치되어 기판(10)을 픽업하는 구성으로서, 증발원에 대한 기판의 이동방식(기판의 수평회전, 기판의 수평이동 등)에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판픽업부(200)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(10)을 픽업하여 지지하는 기판지지부(210)와, 기판지지부(210)를 회전시키는 회전구동부(220)를 포함할 수 있다.
상기 기판지지부(210)는, 기판처리면이 증발원부(300)의 증발원(310), 즉 하측을 향하도록 기판(10)을 픽업하기 위한 구성으로서 기판처리면의 배면이 밀착되어 안착되는 지지부(211)와, 기판(10)을 지지부(211)에 밀착시키는 픽업부(212)를 포함할 수 있다.
상기 지지부(211)는, 기판(10)의 배면을 안정적으로 지지할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 픽업부(212)는, 지지부(211)에 밀착시켜 기판(10)을 지지하기 위한 구성으로서 상하이동에 의하여 기판(10)의 수수 및 기판밀착을 수행하는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 증착공정이 기판(10)의 기판처리면에 마스크(20)를 밀착시켜 수행되는 경우, 기판지지부(210)는 마스크(20)의 지지 및 기판(10)에 대한 상대이동을 위한 구성 등을 포함할 수 있다.
또한 상기 기판지지부(210)는, 마스크(20)를 함께 지지하는 경우 기판(10) 및 마스크(20)에 대한 상대위치를 정렬하기 위한 얼라이너부(미도시)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 얼라이너부는 기판(10) 및 마스크(20)에 대한 상대위치를 정렬하기 위한 구성으로서 기판(10) 및 마스크(20) 중 적어도 어느 하나를 수평이동시켜 기판(10) 및 마스크(20)를 정렬할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 회전구동부(220)는, 기판(10)을 수평회전시키기 위한 구성으로, 기판지지부(210)를 회전구동하는 회전모터 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 기판픽업부(200)는, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 기판(10)을 수평회전시키는 대신에 위치가 고정된 증발원부(300)에 대하여 수평이동, 즉 선형이동시키도록 구성될 수 있다.
이때 상기 기판픽업부(200)는, 기판회전부(220) 대신에 도시하지 않았지만 기판(10)을 선형이동시키는 선형이동부(미도시)를 포함할 수 있다.
상기 선형이동부는 기판(10)을 증발원부에 대하여 선형이동시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
한편 상기 공정챔버(100)는 처리공간(S)에서 기판처리의 조건에 맞춰 압력유지 및 배기를 위한 배기관(미도시), 처리공간(S) 내로 가스를 공급하는 가스공급부(미도시) 등 기판처리의 종류에 따라서 다양한 부재, 모듈 등이 설치될 수 있다.
또한 상기 공정챔버(100)는 기판(10)의 입출을 위한 하나 이상의 게이트(121)가 형성될 수 있다.
또한 상기 공정챔버(100)는, 반송챔버(미도시) 등으로부터 기판(10)이 도입 또는 배출시 증발물질이 증발되어 기판(10)에 증착되는 것을 방지하기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 증발차단부(130)가 설치될 수 있다.
상기 증발차단부(130)는, 반송챔버(미도시) 등으로부터 기판(10)이 도입 또는 배출시 증발물질이 증발되어 기판(10)에 증착되는 것을 방지하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 증발차단부(130)는, 증발물질이 증발되는 증발원부(300)가 설치된 공간과 격리하도록 공정챔버(100)에 설치되며 증발물질이 통과하는 개구부(141)가 형성된 공간구획부(140)와, 이동에 의하여 공간구획부(140)의 개구부(141)를 개폐하여 기판(10)에 대한 박막증착 또는 증발물질의 차단 기능을 수행하는 셔터플레이트(130)을 포함할 수 있다.
상기 셔터플레이트(130)는, 이동에 의하여 공간구획부(140)의 개구부(141)를 개폐하는 구성으로서 서로 대향되어 한 쌍으로 배치되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 증발원부(300)는 증발물질을 가열에 의하여 증발시키기 위한 구성으로서, 공정챔버(100) 내에 설치되어 증발물질이 증발되는 복수의 증발원(310)들을 포함한다.
여기서 상기 증발원부(300)를 구성하는 복수의 증발원(310)들은, 증발물질이 담기는 도가니와, 도가니 주변에 설치되어 도가니에 담긴 증발물질을 가열하는 히터를 포함하는 등 다양하게 구성될 수 있다. 또한 상기 증발원(310)은, 하나의 도가니로 구성되거나 복수의 도가니들이 하나의 집합체로 리니어 소소로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 증발원부(300)에 의하여 증발되는 증발물질은, 증착공정의 목적에 따라서, OLED의 유기층을 형성하는 유기물, 전극층을 형성하는 Al, Ag, Mg, LiQ 등의 금속물질 등 다양한 물질이 사용될 수 있다.
상기 증발원부(300)는, 대면적 기판(10)에 대한 박막증착공정 수행을 위하여 복수개의 증발원(310)들로서 설치되며 기판(10)에 대한 상대이동에 따라서 다양한 배치가 가능하다.
일예로서, 상기 증발원부(300)는, 기판(10)이 수평회전되는 경우, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 처리공간(S)에 기판(10)의 회전중심을 기준으로 복수의 증발원(310)들이 기판의 회전방향을 따라서 배치될 수 있다.
또한 상기 증발원부(300)는, 기판(10)이 증착공정 수행시 고정된 상태이거나 수평이동, 즉 선형이동되는 경우, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 복수의 증발원(310)들이 기판(10)의 이동방향과 수직인 방향으로 배치된 하나 이상의 증발원군(301, 302)이 기판(10)의 이동방향을 따라서 배치될 수 있다.
한편 상기 증발원부(300)의 증발원(310)들은 증발물질의 소진여부에 대한 확인, 증착공정 수행에 적절한 수치의 증발률에 도달하였는지 여부, 미리 설정된 범위 내의 증발률이 유지되는지 여부 등을 확인할 필요가 있다.
따라서 상기 박막증착장치는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 증발원(310)들 중 적어도 하나에 대응되어 배치되며 해당 증발원(310)에 대한 증발물질의 증발률을 측정하는 센서(410)들과; 해당 증발원(310)에서 증발되는 증발물질의 이동을 가이드하도록 해당 증발원(310) 및 센서(410) 사이에 배치되는 센서가이드(420)들을 추가로 포함한다.
상기 센서(410)는, 시간당 표면에 증착물의 증착되는 증착 두께를 측정하는 센서 등 증착물의 증발률을 측정할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다. 그리고 상기 센서(410)는, 증발원(310) 모두 또는 일부에 대응되어 설치될 수 있다.
한편 상기 센서(410)는, 장시간의 사용을 위하여 측정시에만 증착물의 증기에 노출되는 것이 바람직한바, 공정챔버(100)는 센서(410)가 측정시에만 증착물의 증기에 노출되고 비측정시에는 증착물의 증기에 노출되는 것을 방지하기 위한 증기차단부(미도시)가 더 설치될 수 있다.
상기 증기차단부는, 센서(410)가 측정시에만 증착물의 증기에 노출시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며 센서(410)를 처리공간(S) 내부에서 격리한 상태를 유지하고 있다가 처리공간(S) 내에서 증착물의 증발률을 측정할 수 있도록 제어부(미도시)의 제어에 의하여 센서(410)를 개방시키는 셔터부(미도시)로 구성될 수 있다.
상기 셔터부는 센서(410)가 증착물의 증기에 지속적으로 노출되는 경우 증발률의 측정시간에 제한을 받는바 센서(410)를 증기로부터 차단한 상태를 유지하고 미리 설정된 측정시점에 맞춰 증착물의 증기에 지속적으로 노출시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면 상기 셔터부는 개구부가 형성되며 내부에 센서(410)가 수용되는 하우징(미도시)과, 하우징과 결합되어 개구부를 개방하거나 폐쇄하는 차단부재(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 센서가이드(420)는, 해당 증발원(310)에서 증발되는 증발물질의 이동을 가이드하도록 해당 증발원(310) 및 센서(410) 사이에 배치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 센서가이드(420)는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 일단에서 증발원(310)을 향하는 제1개구부(421)가 형성되고 타단에서 센서(410)를 향하는 제2개구부(422)가 형성되고 제1개구부(421) 및 제2개구부(422)가 서로 연통되어 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 센서가이드(420)는, 해당 증발원(310)에서 증발되는 증발물질의 이동을 가이드할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며 중공형의 원기둥, 타원기둥, 다각기둥 등 다양한 구조를 가질 수 있다.
이때 상기 센서가이드(420)는, 충분한 양의 증발물질이 센서(410)에 도달할 수 있도록 충분한 길이 및 횡단면적을 가진다.
한편 상기 증발원(310)을 향하는 센서가이드(420)의 제1개구부(421)가 너무 크게 형성되면 해당 증발원(310)에 인접한 증발원(310)에서 증발되는 증발물질이 유입되어 해당 증발원(310)의 증발률의 측정에 영향을 미치는 문제점이 있다.
이에 상기 제1개구부(421)는, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 해당 증발원(310)에 인접한 증발원(310)과의 배치방향의 폭(W2)이 폭 방향과 수직을 이루는 길이(W1)보다 작은 것이 바람직하다.
구체적으로, 도 1 및 도 2에 도시된 제1실시예의 박막증착장치와 같이 기판(10)이 수평회전되는 경우 상기 증발원(310)들이 기판(10)의 회전방향의 폭(W2) 방향으로 배치되며 그에 대응되는 센서(410)들 또한 기판(10)의 회전방향의 폭(W2) 방향으로 배치된다, 그리고 상기 제1개구부(421)는, 해당 증발원(310)에 인접한 증발원(310)의 배치방향, 즉 제1개구부(421)가 기판(10)의 회전방향의 폭(W2)이 폭방향과 수직방향의 길이(W1)보다 작게 형성된다.
또한 상기 제1개구부(421)는, 도 6a 및 도 6b에 도시된 제2실시예의 박막증착장치와 같이, 기판(10)의 이동방향과 수직인 방향으로 복수의 증발원(310)들이 배치된 하나 이상의 증발원군(301, 302)이 기판(10)의 이동방향으로 배치된 경우에도 해당 증발원(310)에 인접한 증발원(310)과의 배치방향의 폭(W2)이 폭방향과 수직방향의 길이(W1)보다 작게 형성된다.
여기서 센서(410)는 도 6b에 도시된 바와 같이, 각 증발원군(301, 302)에 대응되어 설치된다.
이에, 상기 센서가이드부(420)의 제1개구부(421)는, 도 6b에 도시된 바와 같이, 결합되는 해당 증발원(310)에 인접한 증발원(310)과의 배치방향의 폭(W2)이 폭방향과 수직방향의 길이(W1)보다 작게 형성된다.
한편 상기 제1개구부(421)는, 상기와 같은 조건을 만족하는 형상으로서 타원, 직사각형, 사다리꼴 등 다양한 형상이 가능하다. 여기서 상기 제1개구부(422)는, 타원, 직사각형, 사다리꼴에 국한되지 않고 결합되는 센서(410)의 형상에 대응되어 원형, 직사각형 등의 형상을 가질 수 있다.
상기와 같이, 상기 제1개구부(421)가 해당 증발원(310)에 인접한 증발원(310)과의 배치방향의 폭(W2)이 폭방향과 수직방향의 길이(W1)보다 작게 형성되면 인접한 증발원(310)에 대한 거리가 감소함으로써 인접한 증발원(310)에서 증발하는 증발물질이 유입되는 것을 최소화하게 되어 센서(410)의 증발률 측정시 그 간섭을 최소화하여 보다 정밀한 증발률 측정이 가능하다.
한편 상기 센서가이드(420) 내로 유입되는 증발물질은 불규칙 운동에 의하여 센서(410)에 도달하게 되므로 센서가이드(420)가 길게 형성된 경우 충분한 양의 증발물질이 도달하지 못하여 센서(410)가 증발률 측정이 불가능하거나 증발률이 부정확하게 측정될 수 있다.
따라서, 상기 센서가이드(420)는, 제1개구부(421)가 제2개구부(422)보다 더 크게 형성됨이 바람직하다.
이때 상기 센서가이드(420)는, 제1개구부(421)가 제2개구부(422)보다 더 크게 형성될 수 있는 구조이면 어떠한 구조도 가능하며, 원뿔대, 타원뿔대 또는 각뿔대 형상을 가질 수 있다.
여기서 상기 센서가이드(420)는, 뿔대형상에 더하여 기둥형상이 조합될 수 있음은 물론이다.
한편 상기 센서(410) 및 센서가이드(420) 사이에는 제2개구부(422)에서 분출되는 증발물질의 양을 조절하기 위하여 쵸크부가 설치될 수 있다.
상기 쵸크부는, 과도한 양의 증발물질(420)이 센서(410)에 도달하는 것을 방지하기 위한 구성으로서 제2개구부(422)의 일부를 폐쇄함으로써 센서(410)에 도달하는 증발물질의 양을 조절하는 쵸크부재와, 쵸크부재가 제2개구부(422)의 차단면적을 조절하기 위하여 쵸크부재를 이동시키는 이동부를 포함하여 구성될 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10 : 기판
100 : 공정챔버 200 : 기판회전부
300 : 증발원부 310 : 증발원

Claims (10)

  1. 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와;
    기판처리면이 하측으로 향하도록 기판을 지지하며 박막이 증착되도록 상기 처리공간의 상측에 설치되어 기판을 픽업하는 기판픽업부와;
    상기 공정챔버에 설치되어 증발물질이 증발되는 복수의 증발원들을 포함하는 증발원부와;
    상기 각 증발원들 중 적어도 하나에 대응되어 설치되어 해당 증발원의 증발물질의 증발률을 측정하는 센서들과;
    상기 해당 증발원에서 증발되는 증발물질의 이동을 가이드하도록 상기 해당 증발원 및 상기 센서 사이에 배치되는 센서가이드를 포함하며,
    상기 센서가이드는 일단에서 상기 증발원을 향하는 제1개구부가 형성되고 타단에서 상기 센서를 향하는 제2개구부가 형성되며 상기 제1개구부 및 상기 제2개구부는 서로 연통되며,
    상기 제1개구부는 상기 해당 증발원과 인접한 증발원과의 배치방향의 폭이 상기 폭 방향과 수직을 이루는 길이보다 작은 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1개구부는 상기 제2개구부보다 더 크게 형성된 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 센서가이드는, 타원뿔대 또는 각뿔대 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1개구부는, 타원형 또는 다각형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 기판픽업부는, 박막증착공정 수행시 기판을 픽업하여 수평회전시키는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 증발원부는, 기판의 수평회전방향으로 간격을 두고 배치되는 복수의 증발원들을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 제1개구부는, 타원형 또는 다각형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 증발원부는 상기 공정챔버 내에서 고정되며,
    상기 기판은 증착공정 수행시 선형이동되는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 증발원부는, 복수의 증발원들이 기판의 이동방향과 수직인 방향으로 배치된 하나 이상의 증발원군이 기판의 이동방향을 따라서 배치된 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1개구부는, 타원형 또는 다각형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20180127790A (ko) * 2017-05-22 2018-11-30 조현일 대면적 기판 박막코팅장치

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