KR101068597B1 - 증발 장치 및 박막 증착 장치 및 이의 원료 제공 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 증발 장치 및 박막 증착 장치 및 이의 원료 제공 방법에 관한 것으로, 내부 공간을 갖는 챔버와, 기판을 고정하고 상기 내부 공간에서 기판을 이동시키는 기판 이송부 및 증착 원료를 상기 기판에 제공하는 다수의 증발 증착부를 포함하되, 상기 증발 증착부 각각은 이의 중심 연장선과 이동하는 상기 기판 표면 사이의 각이 예각이 되도록 배치된 박막 증착 장치와, 이러한 박막 증착 장치의 원료 제공 방법 그리고, 박막 증착 장치에 사용되는 증발 장치에 관한 것이다.

이와 같이 본 발명은 이동하는 기판에 다수의 증발 증착부를 통해 기판에 대하여 경사진 방향으로 기화된 원료를 제공하여 대면적 기판 전면에 박막층을 형성할 수 있고, 원료가 소진된 증발 증착부 만을 선택적으로 제어하여 전체 장치의 가동 중지 없이 원료를 충진시킬 수 있다.

원료공급 장치, OLED, 수직형 금속 증발원, 보정판, 셔터

Description

증발 장치 및 박막 증착 장치 및 이의 원료 제공 방법{Evaporation apparatus and thin film depositing apparatus and method for feeding source of the same}

본 발명은 증발 장치 및 박막 증착 장치 및 이의 원료 제공 방법에 관한 것으로, 다수의 증발(Evaporation) 증착부를 통해 수직하게 세워진 상태에서 이동하는 기판상에 균일한 박막을 증착할 수 있고, 전체 장치의 가동을 중지하지 않고도 원료가 소진된 증발 증착부(즉, 증발 장치)에 원료를 제공할 수 있는 방법에 관한 것이다.

종래에 절연성 기판(예를 들어, 유리 기판)에 Al 막을 형성하기 위해서는 스퍼터와 증발 증착법을 사용하였다. 스퍼터는 이온 또는 중성 입자로 타겟을 때려 타겟의 원자가 튀어 나오게 한다. 그리고, 튀어 나온 원자가 기판에 부착되어 성막된다. 하지만, 유기발광소자(OLED; Organic Light Emitting Device)를 제작하는 경우 스퍼터링시 발생하는 플라즈마에 의해 기판 또는 기판 상에 형성된 유기 소자 또는 유기 박막에 큰 손상을 주는 단점이 있다. 또한, 스퍼터의 타겟을 일정하게 조정하는 것이 어려워 균일한 박막 증착이 어려운 실정이다. 또한, 기판의 사이즈가 증대되는 경우 타겟의 사이즈 또한 증가되어야 하는 단점이 있다.

그리고 증발 증착법의 경우, 원료가 저장된 도가니를 가열하여 이를 기화시킨다. 기화된 원료가 기판에 흡착되어 성막된다. 이러한, 증발 증착법의 경우, 기판 또는 기판 상에 형성된 소자 또는 박막에 손상을 주지 않는 장점이 있다.

그러나, 종래의 증발 증착 장치는 챔버 내에 하나의 도가니가 점형태로 배치되어 있기 때문에 대면적의 기판에 균일한 두께의 박막을 증착하지 못하는 문제가 있었다.

또한, 종래의 증발 증착 장치의 경우, 도가니 내부의 원료가 소진된 경우에는 전체 장치의 가동을 중지시킨 다음, 도가니 내부에 원료를 채워넣었다. 이로인해 공정이 연속적으로 진행되지 못하고, 다수번의 증착 공정 수행후에는 전체 장비의 가동을 중지하여야 한다. 이로인해 공정 수율과 생산성이 낮아지는 문제가 발생하였다.

따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로서, 다수의 증발원을 챔버의 일측면에 배치하고, 기판을 챔버의 일측면에 대하여 수평하게 배치한 상태(즉, 수직하게 세운 상태)에서 기판을 일 방향으로 이동시켜 기판 전면에 균일한 박막을 증착할 수 있는 박막 증착 장치 및 이의 원료 제공 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 원료를 각 증발원에 각기 제공하여 원료 제공으로 인한 장비 중단을 방지할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 박막 증착 장치 및 이의 원료 제공 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명은 내부 공간을 갖는 챔버; 기판을 고정하고 상기 내부 공간에서 기판을 이동시키는 기판 이송부; 및 증착 원료를 상기 기판에 제공하는 다수의 증발 증착부를 포함하되, 상기 증발 증착부 각각은 이의 중심 연장선과 이동하는 상기 기판 표면 사이의 각이 예각이 되도록 배치된 박막 증착 장치를 제공한다.

상기 다수의 증발 증착부는 상기 챔버의 바닥면을 기준으로 상측 방향으로 이격 배치되고, 상기 기판의 중심 영역 대응하는 위치에 적어도 하나의 상기 증발 증착부가 배치되고, 상기 기판의 하측 영역에 적어도 하나의 증발 증착부가 배치될 수 있다.

상기 기판과 상기 다수의 증발 증착부 사이에 고정 배치되고, 그 중심 영역에 수직 방향으로 슬릿 형태의 절개 영역이 마련된 보정판을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 절개 영역의 중심 선 상에 상기 다수의 증발 증착부가 배치될 수 있다.

상기 보정판 상측의 절개 영역의 절개 거리가 상기 보정판 하측의 절개 영역의 절개 거리보다 작은 것이 효과적이다.

상기 다수의 증발 증착부 각각은,상기 원료가 충진된 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 가열수단과, 상기 도가니를 차폐하는 셔터부를 구비하는 도가니부와, 상기 도가니부에 결합되어 회전하는 회전 몸체를 포함하는 것이 효과적이다.

상기 도가니의 재질로 텅스텐(W), 알루미나(Al₂O₃), PBN(Pyrolytic Boron Nitride) 및 그라파이트(Graphite) 중 어느 하나를 사용하는 것이 가능하다. 이중 PBN을 사용하는 것이 가장 효과적이다.

상기 회전 몸체에 결합되어 상기 회전 몸체를 회전시키는 회전부와, 상기 도가니에 원료를 재 충전시키는 원료 충전부를 더 구비할 수 있다.

상기 셔터부는 상기 도가니의 일측면에 위치하여 상기 기판의 이동 방향으로 이동하여 상기 도가니의 상부 영역을 차폐하는 제 1 셔터와, 상기 제 1 셔터에 대향하는 상기 도가니의 타측면에 위치하여 상기 기판의 이동 방향으로 이동하여 상기 도가니의 상부 영역을 개방하는 제 2 셔터를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제 1 셔터 및 제 2 셔터는 상기 기판이 해당 상기 증발 증착부 방향으 로 이동할때 각기 상기 도가니를 차폐 및 개방하는 것이 효과적이다.

상기 도가니를 수납하는 수납부를 더 구비하고, 상기 수납부의 외측면에 상기 셔터부가 배치될 수 있다.

상기 기판 이송부는 상기 기판을 상기 챔버의 바닥면에 대하여 수직하게 배치시키는 기판 지지부와, 상기 기판 지지부를 이동시키는 이송부를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 피증착 물체에 원료를 증발시켜 박막을 증착하는 증발 장치에 있어서, 원료가 충진된 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 가열 수단과, 상기 도가니를 차폐하는 셔터부를 구비하는 도가니부; 상기 도가니부에 결합되어 회전하는 회전 몸체; 및 상기 회전 몸체에 결합되어 상기 회전 몸체를 회전시키는 회전부를 구비하는 증발 장치를 제공한다.

상기 회전부는 상기 도가니부의 중심선과 상기 피증착 물체 표면 사이의 각이 예각이 되도록 상기 회전 몸체를 회전 고정시키는 것이 효과적이다.

상기 피증착 물체가 이동하고, 상기 셔터부는, 상기 도가니의 일측면에 위치하여 상기 피증착 물체의 이동 방향으로 이동하여 상기 도가니의 상부 영역을 차폐하는 제 1 셔터와, 상기 제 1 셔터에 대향하는 상기 도가니의 타측면에 위치하여 상기 피증착 물체의 이동 방향으로 이동하여 상기 도가니의 상부 영역을 개방하는 제 2 셔터를 포함하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명에 따른 내측에 충진된 원료를 이용하여 이동하는 기판에 박막을 증착하는 다수의 도가니부와, 상기 다수의 도가니부의 상측 영역을 각기 개폐하 는 제 1 및 제 2 셔터를 포함하는 박막 증착 장치의 원료 제공 방법에 있어서, 원료가 소진된 도가니부를 검출하는 단계; 상기 원료가 소진된 도가니부의 제 1 셔터를 상기 기판의 이동 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 차폐하는 단계; 상기 도가니부를 원료 충전 위치로 이동시키는 단계; 상기 도가니부의 상측 영역을 개방하여 상기 도가니부에 원료를 재 충진시키는 단계; 상기 제 2 셔터를 상기 기판 이동 방향에 대하여 반대 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 차폐하는 단계; 상기 도가니부를 박막 증착 위치로 이동시키는 단계; 및 상기 제 2 셔터를 상기 기판 이동 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 개방하는 단계를 포함하는 박막 증착 장치의 원료 제공 방법을 제공한다.

상기 도가니부를 원료 충전 위치로 이동시키는 단계 전에, 상기 제 2 셔터를 이동시켜 상기 도가니의 상측 영역을 차폐하는 단계를 더 구비하고, 상기 도가니부에 원료를 재 충진시키는 단계는, 상기 제 1 및 제 2 셔터를 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 개방하는 단계와, 상기 도가니부 내측에 원료를 주입하는 단계를 포함하는 것이 가능하다.

상기 도가니부를 박막 증착 위치로 이동시키는 단계 전에, 상기 제 1 셔터를 상기 기판의 이동 방향의 반대 방향으로 이동시키는 단계를 더 포함하는 것이 가능하다.

상기 원료가 소진된 도가니부의 제 1 셔터를 상기 기판의 이동 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 차폐하는 단계와, 상기 제 2 셔터를 상기 기판 이동 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 개방하는 단계는, 상기 기판이 상기 도가니부로 이동할때 수행되는 것이 효과적이다.

상기 도가니부를 원료 충전 위치로 이동시킴은 상기 도가니부의 상측 영역이 상기 기판 반대 방향에 위치하도록 상기 도가니부를 회전시키는 것이고, 상기 도가니부를 박막 증착 위치로 이동시킴은 상기 도가니부의 상측 영역이 상기 기판 방향에 위치하도록 상기 도가니부를 회전시키는 것이 가능하다.

상기 도가니부에 원료를 재 충전시키는 단계 전에, 충진될 원료물질의 양을 정량화하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이 본 발명은 이동하는 기판에 대하여 경사진 방향으로 기화된 원료물질을 제공하고, 기판 상측에 보정판을 배치시킴으로 인해 기판 전면에 균일한 박막층을 증착할 수 있다.

또한, 본 발명은 다수의 증발 증착부를 배치하고, 이중 그 내부의 원료가 소진된 증발 증착부만을 선택적으로 가동 중지 시킨 다음 가동 중지된 증발 증착부에 원료를 재 충전시킴으로 인해 전체 장치의 가동 중지 없이 원료를 재 보충할 수 있다.

또한, 본 발명은 증발 증착부에 2개의 셔터를 배치시켜 일 셔터는 기판의 이동 방향으로 이동하여 원료가 소진된 증발 증착부의 도가니부를 차폐하고, 다른 일 셔터는 기판의 이동 방향으로 원료가 재 충진된 증발 증착부의 도가니부를 개방하여 원료 재충전시 발생할 수 있는 박막의 이상 증착을 방지하고, 파티클 발생을 방 지할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장치의 단면도이고, 도 2는 도 1의 단면에 대하여 수직하게 자른 박막 증착 장치의 개념도이다. 도 3은 일 실시예에 따른 증발 증착부와 기판의 배치를 설명하기 위한 개념도이고, 도 4는 일 실시예에 따른 증발 증착부의 단면도이다. 도 5는 일 실시예에 따른 다수의 증발 증착부의 원료 충진 방법을 설명하기 위한 개념도이다. 도 6 및 도 7은 일 실시예에 따른 원료 충진을 위한 증발 증착부의 개폐 방법을 설명하기 위한 개념도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 박막 증착 장치는 내부 공간을 갖는 챔버(100)와, 기판(1)(즉, 피증착 물체)을 수직하게 고정하고, 내부 공간에서 수직하게 세워진 기판(1)을 이동시키는 기판 이송부(200)와, 중심 연장선과 상기 이동하는 기판(1) 표면 사이의 각이 예각이고, 원료를 기화시켜 상기 기판(1)에 제공하는 다수의 증발 증착부(300)를 포함한다.

그리고, 도 1에 도시된 바와 같이 박막 증착 장치는 다수의 증발 증착부(300)와 이동하는 기판(1) 사이에 마련된 보정판(400)과, 상기 다수의 증발 증착부(300)에 결합되어 증발 증착부(300)를 각기 회전시키는 회전부(500)와, 다수의 증발 증착부(500)에 각기 원료를 충전하는 다수의 원료 충전부(600)를 더 구비한다.

상기 챔버(100)는 인라인 증착 시스템의 챔버 타입을 사용한다. 물론 이에 한정되지 않고, 독립된 단일 챔버를 사용할 수 있다. 챔버(100)는 다각통 형상으로 제작되는 것이 효과적이다. 그리고, 이 다각통의 측면에는 기판(1)을 제공 받는 기판 유입구와 기판을 배출하는 기판 배출구가 마련될 수 있다. 그리고, 상기 챔버(100)는 기판 이송 챔버, 박막 증착 챔버, 박막 식각 챔버, 버퍼 챔버 및 가열 챔버와 같은 다양한 챔버에 접속될 수도 있다. 또한, 챔버(100)는 내부 공간의 압력을 조절하는 압력 조절 수단을 구비할 수 있다.

기판 이송부(200)는 수직하게 세워진 기판(1)을 챔버(100)의 바닥면에 대하여 수직하게 이동시킨다. 즉, 챔버(100) 바닥면에서 일 방향으로 이동시킨다.

기판 이송부(200)는 기판(1)을 고정 지지하는 기판 지지부(210)와, 상기 기판 지지부(210)를 이동시키는 이송부(220)를 구비한다.

기판 지지부(210)는 도 2에 도시된 바와같이 판 형상으로 제작되는 것이 바람직하다. 그리고, 그 중심 영역에 기판(1)이 위치하는 것이 효과적이다. 물론 기판(1)의 형상에 따라 기판 지지부(210)의 형상이 변화될 수 있다. 여기서, 기판 지지부(210)는 기판(1)의 배면에 밀착되어 기판(1)을 지지한다. 기판 지지부(210)는 챔버(100)의 측벽면에 대하여 수평하게 배치된다. 이를 통해 기판(1)을 챔버(100) 내에서 수직하게 세울 수 있다.

이송부(220)는 기판 지지부(210)의 하측면을 지지함으로 인해 기판(1)이 챔버(100)의 바닥면에 대하여 수직 방향으로 세워질 수 있다. 그리고, 이송부(220)는 기판 지지부(210)를 챔버(100)의 내부 공간에서 일 방향으로 이동시킨다. 즉, 이송부(220)는 라인 형태로 배치되어 라인을 따라 기판 지지부(210)를 이동시킨다. 이러한 이송부(220)로 레일과 모터 또는 컨베이어 그리고, LM 가이드를 사용할 수 있다. 이때, 상기 이송부(220)는 바닥면에 인접 배치되고, 그 상측에 기판(1)이 지지된 기판 지지부(210)가 바닥면에 대하여 수직하게 세워진다.

물론 상술한 설명에 한정되지 않고, 상기 기판 이송부(200)는 다양한 변형이 가능하다. 즉, 기판 지지부(210)는 프레임 형태로 기판(1)을 지지할 수도 있고, 기판 지지부(210)를 이송하는 이송부(220)가 챔버(100)의 상부벽에 설치될 수도 있다. 물론 이송부(220)가 챔버(100)의 측벽면에 설치될 수도 있다. 그리고, 이송부(220)로 진공 중에 기판을 이송할 수 있는 다양한 장치를 사용할 수 있다.

다수의 증발 증착부(300)를 통해 이동하는 기판(1) 상에 박막층을 형성한다.

여기서, 본 실시예에서는 대면적의 기판(1)을 사용한다. 따라서, 다수의 증발 증착부(300)를 사용하더라도 기판(1) 전면에 박막층을 형성하기 어려운 문제가 발생한다. 이에, 다수의 증발 증착부(300)에 의해 박막이 증착되는 영역을 챔버(100) 내측에 형성하고, 상기 증착 영역을 기판(1)이 관통하여 기판(1) 전면에 박막층을 증착할 수 있게 된다.

이를 위해 도 1에 도시된 바와 같이 본 실시예에서는 챔버(100)의 바닥면에서 상측 방향으로 수직하게 배열된 다수의 증발 증착부(300)를 구비한다. 이는 기판(1)이 챔버(100) 내부 공간에서 수직하게 세워져 이동하기 때문이다. 그리고, 도 1에서는 3개의 증발 증착부(300)를 배치하였다. 하지만, 증발 증착부(300)의 개수는 이에 한정되지 않고, 이보다 많을 수도 있고, 적을 수도 있다. 하지만, 적어도 2개 이상의 증발 증착부(300)를 구비하는 것이 효과적이다. 이는 본 실시예에서는 증발 증착부(300)의 원료 소진시 장비 전체의 가동을 중지하지 않고, 소진된 증발 증착부(300) 만의 가동을 중지하여 원료를 추가로 공급하기 때문이다. 이에 관한 구체적인 설명은 후술한다.

본 실시예에서는 다수의 증발 증착부(300)를 기판(1)의 이송 방향에 대하여 수직하게 배치하는 것이 효과적이다. 다수의 증발 증착부(300)가 직선 상에 배치되는 것이 효과적이다. 따라서, 다수의 증발 증착부(300)에 인접한 기판(1) 영역에 박막층이 증착된다. 이때, 기판(1)이 이동하기 때문에 기판(1)의 전 영역이 다수의 증발 증착부(300)에 인접할 수 있게 된다. 이로인해 기판(1) 전면에 박막층이 증착된다.

그리고, 본 실시예에서는 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 증발 증착부(300)의 중심 연장선과 이동하는 기판(1) 표면 사이의 이루는 각(θ1)이 예각인 것이 효과적이다. 여기서, 증발 증착부(300) 점 형태의 증착원으로 작용한다.

따라서, 도 3의 점선과 같이 증발 증착부(300)의 중심 연장선과 기판(1) 표면 사이의 각(θ2)이 수직(즉, 90도)인 경우에는 박막 균일도가 일정하지 않은 문 제가 발생한다. 이는 증발 증착부(300)가 점 형태의 증착원으로 작용함으로 인해 증발 증착부(300)의 중심 영역에 대응하는 기판(1) 표면 영역의 박막 층이 더 두껍게 증착되고, 그 주변 영역은 박막층이 얇게 증착되는 문제가 발생한다.

이에 본 실시예에서는 증발 증착부(300)의 중심 연장선과 기판(1) 표면 사이의 이루는 각(θ1)을 90도 이하의 예각으로 설정함으로 인해 박막층의 균일도를 향상시킬 수 있다. 여기서, 상기 예각으로는 30 내지 80도 범위 내인 것이 효과적이다. 물론 이는 증발 증착부(300)의 개수에 따라 가변될 수 있다. 이때, 상기 각도보다 작을 경우에는 기판(1) 상에 증착되는 박막 층의 두께가 얇아지는 단점이 있고, 상기 각도보다 클 경우에는 박막층의 균일도가 감소하는 단점이 있다.

상술한 바와 같이 예각으로 설정함으로 인해 증발 증착부(300)에서 기화된 원료가 기판(1) 표면에 대하여 경사지게 제공된다. 이로 인해 기판(1) 표면 전체에 기화된 원료가 균일하게 제공될 수 있다. 여기서, 증발 증착부(300)의 중심선과 기판(1) 표면 사이의 이루는 각(θ1)을 예각으로 설정하는 경우, 기판(1)의 하측에서 상측 방향으로 기화된 원료가 제공된다. 즉, 앞서 언급한 바와 같이 경사지게 제공된다. 따라서, 기판(1) 위치보다 아래에 증발 증착부(300)가 위치하는 것이 효과적이다. 여기에서는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(1)의 중심 영역에 최상측에 위치한 증발 증착부(300)가 위치하는 것이 효과적이다. 그리고, 최하측에 위치한 증발 증착부(300)가 기판(1)의 하측 영역에 위치하는 것이 바람직하다.

그리고, 본 실시예에서는 기판(1)과 증발 증착부(300) 사이에 기판(1)의 일부 영역을 노출시키는 보정판(400)을 배치시키는 것이 효과적이다.

보정판(400)을 통해 기판(1) 상에 증착되는 박막층의 균일도를 더욱 향상시킬 수 있다.

이는 증발 증착부(300)를 기판(1) 표면에 대하여 예각으로 배치할 경우, 증발 증착부(300)에 의한 증착 범위는 대략 타원 형상이 된다. 이때, 상기 타원 형상의 영역을 기판(1)이 이동하는 경우 타원의 중심 영역이 아닌 가장자리 영역에서 증착되는 박막층의 두께가 균일하지 않을 수 있다. 이에 본 실시예에서는 증발 증착부(300)에 대응하는 기판(1)의 일부 영역만을 개방하는 보정판(400)을 두어 증발 증착부(300)의 증착 범위 중 중심 영역에 해당하는 기판 영역만이 노출되도록 한다. 이를 통해 기판(10) 상의 박막 균일도를 더욱 향상시킬 수 있다.

상기 보정판(400)은 도 2에 도시된 바와 같이 중심 영역에 슬릿 형태의 개구영역(또는 절개 영역)를 갖는다. 이때, 상기 슬릿 형태의 개구영역을 통해 기판(1)이 노출된다.

이러한 슬릿 형태의 개구 영역을 형성하기 위해 보정판(400)은 제 1 보정판과 상기 제 1 보정판에서 이격된 제 2 보정판을 구비할 수도 있다. 이때, 제 1 및 제 2 보정판의 이격 공간이 슬릿 형태의 개구 영역(또는, 절개영역)이 될 수 있다.

이때, 도 2에서와 같이 상기 슬릿 형태의 개구영역은 하측 영역의 면적이 상측 영역의 면적보다 더 넓은 것이 효과적이다. 이는 앞서 언급한 바와 같이 증발 증착부(300)가 기화된 원료를 기판(1)의 하측에서 상측 방향으로 경사지게 기판(1)에 제공하기 때문이다. 이는 기화된 원료가 기판(1)의 상측에 집중될 수 있기 때문이다. 따라서, 상기 보정판(400)을 통해 기판(1)에 제공되는 원료물질의 량을 조절 할 수 있다.

여기서, 슬릿 형태의 개구영역(또는, 절개영역)의 상측 최소 이격 거리를 1로 할 경우, 하측 최대 이격 거리가 1.2 내지 3인 것이 바람직하다. 이는 상기 보정판(400)과 기판(1)의 이격거리, 그리고, 증발 증착부(300)의 개수 및 이의 기울기(기판과의 이루는 각)에 따라 가변될 수 있다. 이때, 상기 이격 거리는 절개 영역의 절개 거리인 것이 바람직하다. 여기서, 절개 거리는 보정판(400)의 절개된 면의 일 점에서 이에 대응하는 절개된 면의 타점까지 수평하게 연장된 선의 길이를 지칭한다. 이는 절개된 개구의 길이일 수도 있다.

본 실시예에서는 상기 보정판(400)은 기판(1)과 증발 증착부(300) 사이 공간에서 고정되는 것이 효과적이다. 그리고, 상기 보정판(400)의 개구부의 중심 선에 대응하는 위치에 상기 다수의 증발 증착부(300)가 배치되는 것이 효과적이다. 이를 통해 보정판(400)에 의해 노출되는 기판(1) 영역은 기판(1)의 이동 방향에 따라 변화될 수 있다.

상술한 바와 같이 증발 증착부(300)는 기판(1)에 대하여 경사지게 배치되고, 기화된 원료를 보정판(400)을 통해 이동하는 기판(1)에 제공하여 기판(1) 표면에 박막층을 형성한다.

증발 증착부(300)는 도 4에 도시된 바와 같이 원료(301)를 기화시키는 도가니부(310)와, 상기 도가니부(310)에 결합되어 회전하는 회전 몸체(320)를 구비한다.

도가니부(310)는 상부가 개방되고 그 내측에 원료가 저장된 도가니(311)와, 상기 도가니(311)를 가열하는 가열 수단(312)과, 도가니(311)를 수납하는 수납부(313)와, 수납부(313)를 개폐하여 상기 도가니(311)를 차폐시키는 셔터부(314)를 구비한다.

여기서, 상기 가열 수단(312)으로 열선을 사용하는 경우, 상기 도가니(311) 내측에 열선이 위치할 수 있고, 열선이 도가니(311) 외측을 감싸는 형상으로 배치될 수도 있다. 이를 통해 가열 수단(312)으로 상기 도가니(311)를 가열하여 도가니(311) 내측의 원료(301)를 가열하여 기화시킨다. 이때, 상기 도가니(311)는 열 전도율이 뛰어난 물질로 제작하는 것이 효과적이다. 또한 금속을 증발 증착할 경우 일반적으로, 텅스텐(W), 알루미나(Al₂O₃), PBN(Pyrolytic Boron Nitride), 그라파이트(Graphite) 중 어느 하나를 사용하나, 알루미늄과 같은 금속을 증발 증착할 경우 알루미늄과 같은 금속과의 반응성을 고려하여 도가니 재질을 선태하는 것이 중요하다. 따라서, 본 실시예에서는 PBN 도가니를 사용하는 것이 바람직하다. 이를 통해 가열 수단(312)의 열이 도가니(311)에 균일하게 제공되어 도가니(311) 내측의 원료를 효과적으로 가열할 수 있다.

그리고, 가열 수단(312)으로부터 발생하는 열 에너지를 기판(10)에 최소한으로 제공하기 위해 가열 수단(312) 외측에 냉각 유로와 같은 냉각 수단을 마련하는 것이 효과적이다.

도가니(311)는 상부가 개방된 통 형상으로 제작된다. 그리고, 통 내측에 원료가 충진되어 있는 것이 효과적이다. 그리고, 상기 도가니(311)를 수납하는 수납 부(313)도 상부가 개방된 통 형상으로 제작되고, 이 통 형상의 수납부(313) 내측에 도가니(311)가 수납되는 것이 바람직하다.

본 실시예에서는 셔터부(314)를 통해 수납부(313)를 개폐한다. 즉, 셔터부(314)를 통해 수납부(313)의 개방된 상측을 차폐하여 도가니(311)에 의해 기화된 원료 물질이 외부로 제공되는 것을 차단할 수 있다.

여기서, 상기 셔터부(314)는 상기 수납부(313)의 일측에 위치하여 기판(1)의 이동 방향으로 이동하여 상기 수납부(313)의 상부 영역을 차폐하는 제 1 셔터(314-1)와, 상기 제 1 셔터(314-1)에 대향하는 수납부(313)의 타측면에 위치하여 기판(1)의 이동 방향으로 이동하여 상기 수납부(313)의 상부 영역을 개방하는 제 2 셔터(314-2)를 구비한다.

물론 본 발명은 이에 한정되지 않고, 상기 수납부(313)를 생략할 경우, 셔터부(314)는 도가니(311)를 직접 개폐할 수도 있다. 즉, 제 1 및 제 2 셔터(314-1, 314-2)가 도가니(311)의 측면에 위치하여 도가니(311)의 상부 영역을 직접 차폐하거나 개방시킬 수 있다. 그러나 도가니(311)는 고온으로 가열되기 때문에 수납부(313)를 사용하는 것이 바람직하다.

본 실시예에서는 셔터부(314)를 통해 원료가 소진된 도가니(311)를 차폐할 수 있다. 또한, 새롭게 원료가 충진된 도가니(311)가 충분한 가열 온도가 될때 까지 차폐한 이후, 개방할 수도 있다.

이를 통해 전체 장치의 가동을 중지하지 않은 상태에서 도가니(311) 내측의 원료를 충전할 수 있다.

물론 장치의 가동을 중지하지 않은 상태에서 도가니(311) 내측에 원료를 충진하기 위해서는 상기 셔터부(314) 이외에 상기 증발 증착부(300)의 회전 몸체(320)를 회전시키는 회전부(500)와, 상기 도가니(311) 내측으로 원료를 충진하는 원료 충진부(600)를 구비한다.

즉, 본 실시예에서는 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이 다수의 증발 증착부(300)를 구비한다. 즉, 이는 도 5에 도시된 바와 같이 3개의 도가니부(310a, 310b, 310c)를 통해 박막 증착을 수행함을 알 수 있다. 이때, 도 5의 (a)에서와 같이 첫번째 증발 증착부(300)의 첫번째 도가니부(310a) 내측의 원료가 소진된 경우에는 첫번째 도가니부(310a)의 셔터부(314a)를 이용하여, 도가니부(310a)를 차폐한다. 이를 통해 원료가 소진된 도가니부(310a)에 의한 이상 박막 증착을 방지할 수 있다. 이때, 도 5의 (a)에서와 같이 두번째와 세번째 도가니부(310b, 310c)는 개방되어 있기 때문에 계속적인 박막 증착 공정을 수행할 수 있다. 물론 이때, 증발 증착부(300)를 통해 증착되는 박막의 두께가 얇아질 수 있으나 이는 기판(1)의 이동속도를 줄이거나, 도가니부(310)가 개방된 증발 증착부(300)의 원료 기화량을 증대시켜 보상할 수 있다.

도 5의 (a)에서와 같이 첫번째 증발 증착부(300)의 첫번째 도가니부(310a)를 셔터부(314a)로 차폐한 이후 도 1의 점선으로 도시된 바와 같이 도가니부(310a)가 차폐된 증발 증착부(300)를 회전부(500)를 통해 기판(1) 반대 방향으로 회전시킨다. 이는 기판(1)이 인접한 챔버(100)의 일 측면에 대향하는 타 측면에 원료 충진부(600)가 배치되어 있기 때문이다. 이를 통해 원료 충진 시 박막 증착 공정이 방 해 받지 않을 수 있다. 그리고, 회전부(500)는 프레임 형태로 제작된다. 프레임 내측에 다수의 증발 증착부(300)가 배치된다. 그리고, 회전부(500)는 도시되지 않았지만, 증발 증착부(300)의 회전 몸체(320)를 회전시키는 회전 수단을 구비한다. 회전 수단으로는 모터를 사용하는 것이 효과적이다. 그리고, 상기 회전부(500)는 증발 증착부(300)를 기판(1)에 대하여 경사지게 고정시키는 고정수단 또한 구비할 수 있다. 상기 설명에서는 증발 증착부(300)와 회전부(500)를 각기 분리 설명하였지만, 이 둘이 일체로 제작될 수도 있다.

상술한 바와 같이 회전부(500)를 통해 도가니부(310a)가 차폐된 증발 증착부(300)를 기판(1) 반대 방향으로 회전시킨 이후에 원료 충진부(600)를 통해 원료를 충진한다. 이를 위해 도가니부(310a)를 차폐하였던 셔터부(314a)를 이동시켜 도가니부(310a)를 개방한다. 이어서, 원료 충진부(600)의 연장 파이프(610)를 도가니부(310a)까지 연장시켜 원료 저장부(620)의 원료를 도가니부(310a)에 제공한다.

이때, 원료 충진부(600)는 도 1에 도시된 바와 같이 챔버(100) 외측에 마련된 원료 저장부(620)와, 챔버(100)를 관통하여 챔버(100) 내측으로 연장 가능한 연장 파이프(610)를 구비한다. 이때, 원료 충진부(600)는 다수의 증발 증착부(300)에 각기 대응하도록 다수개가 마련된다. 물론 이에 한정되지 않고, 하나의 원료 충진부(600)를 통해 다수개의 증발 증착부(300)에 원료를 리필할 수 있다.

상기와 같이 원료 충진부(600)를 통해 도가니부(310a) 내측에 원료을 충진한 이후, 다시 셔터부(314a)로 도가니부(310a)를 차폐한다. 이는 도가니부(310a)의 회전시 파티클이 발생하는 것을 방지한다. 이어서, 회전부(500)를 통해 증발 증착 부(300)를 기판(1) 방향으로 회전시킨다. 이때, 상기 증발 증착부(300)가 기판(1) 에 대하여 경사지게 배치되도록 한다. 그리고, 증발 증착부(300)의 도가니부(310a)를 가열한다. 이어서, 셔터부(314a)를 개방하여 박막 증착 공정을 수행한다.

또한, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 두번째 도가니부(310b)의 내부 원료가 소진된 경우에도 셔터부(314b)을 통해 도가니부(310b)를 차폐하고, 회전시켜 원료를 보충할 수 있다. 물론 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이 세번째 도가니부(310c)도 원료 소진시 셔터부(314c)를 통해 도가니부(310c)를 차폐하고, 회전시켜 원료를 보충할 수 있다.

상술한 도 5에서와 같이 본 실시예에서는 박막 증착 장치의 가동을 중지하지 않고도 다수의 증발 증착부(300) 각각의 도가니부(310)에 원료(301)를 리필할 수 있다. 이는 일 증발 증착부(300)의 도가니부(310)에 원료가 소진되어 리필 공정을 수행하더라도, 도 5에서 도시된 바와 같이 나머지 증발 증착부(300)에 의해 증착 공정이 지속적으로 수행되기 때문이다.

이와 같이 본 실시예는 각기 도가니부(310)를 갖는 다수의 증발 증착부(300) 중, 원료가 소진된 적어도 하나의 증발 증착부(300) 만의 가동을 중시시킨다(즉, 셔터부(314)를 통해 도가니부(310)를 차폐함). 물론 이때, 적어도 하나의 증발 증착부(300)는 가동 시킨다. 그리고, 가동이 중지된 증발 증착부(300)의 도가니부(310)에 원료를 제공하여 전체 장치의 가동 중단에 의한 생산성 저하를 막을 수 있다.

또한, 본 실시예에서는 기판(1)이 이동하고 있기 때문에 2개의 셔터(314-1, 314-2)를 이용하여 증발 증착부(300) 내의 도가니부(310)를 개폐한다. 이는 도가니부(310)가 차폐되는(즉, 닫히는) 순간과, 개방되는(즉, 열리는) 순간에 기판(1)이 그 상측 영역을 지나갈 경우, 도가니부(310)에서 제공된 원료에 의해 기판(1) 일부 영역에 박막이 증착될 수 있다. 이로인해 박막층의 균일도가 떨어지는 문제가 발생한다.

이에 본 실시예에서는 셔터부(314)의 제 1 셔터(314-1)를 기판(1)의 이동에 맞추어 기판 이동 방향으로 이동시켜 도가니부(310)의 수납부(313)를 최초 차폐한다. 또한, 제 2 셔터(314-2)를 기판(1)의 이동에 맞추어 기판 이동 방향으로 이동시켜 도가니부(310)의 수납부(313)를 최후 개방한다.

이를 도 6 및 도 7을 참조하여 자세히 설명한다.

먼저 수납부(313)(즉, 도가니(311))의 차폐를 설명한다.

도 6의 (a)에 도시된 바와 같이 셔터부(314)의 제 1 및 제 2 셔터(314-1, 314-2)에 의해 도가니(311)가 개방되어 있다. 이때, 도가니(311) 내측의 원료(301)가 일정 범위 이하로 소진될 경우 원료 충진 공정을 수행한다. 이때, 원료가 소진된 도가니(311)의 검출은 별도의 센서를 이용하여 수행할 수 있다.

이때, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이 새로이 박막층이 증착될 기판(1)이 도가니(311) 방향으로 이동하는 경우, 기판(1)의 이동 방향과 함께 제 1 셔터(314-1)를 이동시킨다. 이를 통해 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이 도가니(311)는 제 1 셔터(314-1)에 의해 차폐된다.

이와 같이 기판(1)이 도가니(311) 방향으로 이동할때 기판(1)의 이동 방향으 로 제 1 셔터(314-1)를 이동시켜 도가니(311)를 차폐한다. 이로인해 도 6의 (a) 내지 (c)에 도시된 바와 같이 기판(1)이 도가니(311)에서 기화된 원료(301)에 노출되지 않을 수 있다. 따라서, 차폐되는 도가니(311)에 의해 기판(1) 일부 영역에 박막층이 형성되는 것을 방지할 수 있다.

이어서, 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이 제 2 서텨(314-2)를 기판(1)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시켜 도가니(311)를 2차 차폐한다.

그리고, 앞서 언급한 바와 같이 상기의 방법으로 도가니(311)를 차폐한 이후에 도가니(311)의 가열을 정지하여 해당 증발 증착부(300)의 가동을 중지한다. 이후, 증발 증착부(300)를 원료 충전부(600) 방향으로 회전시킨다. 이어서, 제 1 및 제 2 셔터(314-1, 314-2)를 개방하여 도가니(311) 내측에 원료를 충진한다.

이때, 도가니(311) 내측에 충진될 원료의 양을 정량화한다. 즉, 도가내(311) 내측의 충진될 원료 물질의 양을 정확하게 측정하여 준비해 놓은 다음, 도가니(311)가 해당 위치에서 개방될 경우, 측정된 양 만큼의 원료 물질을 도가니(311) 내측에 충진한다. 예를 들어 1회 증착시 1g의 원료물질이 사용되는 경우, 100회 공정 수행을 위해서는 300g의 원료물질을 미리 정량화시켜 준비하여야 한다.

그리고, 충진이 완료된 이후에 제 1 및 제 2 셔터(314-1, 314-2)를 차폐한다. 이어서, 증발 증착부(300)를 회전시켜 공정 위치에 도가니(311)를 위치시킨다.

다음으로 도 7을 참조하여 수납부(313)(즉, 도가니(311))의 개방을 설명한다.

도 7의 (a)에 도시된 바와 같이 도가니(311)를 공정 위치에 위치시킨다. 이 때, 기판(1)이 도가니(311) 방향으로 이동한다. 물론 이때, 상기 도가니(311)는 공정 온도까지 가열되는 것이 효과적이다.

이어서, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이 제 1 셔터(314-1)를 기판(1) 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킨다. 이때, 제 2 셔터(314-2)가 도가니(311)를 차폐하고 있다. 이후, 도 7의 (c) 및 도 7의 (d)에 도시된 바와 같이 제 2 셔터(314-2)를 기판(1)의 이동 방향으로 이동시켜 도가니(311)를 개방한다. 이를 통해 도가니(311) 방향으로 이동하는 기판(1)의 앞쪽 영역 부터 새로이 원료(301)가 충진된 도가니(311)에 의해 박막층이 증착될 수 있게 된다.

이와 같이 본 실시예에서는 2개의 셔터(314-1, 314-2)의 개방을 조절하여 원료(301)의 재 충전시 발생하는 기판(1)의 이상 박막 증착을 방지할 수 있다. 이를 통해 원료(301)의 재 충전을 자유롭게 할 수 있으며, 기판(1) 상에 증착되는 박막 층의 균일도를 향상시킬 수 있다.

상술한 설명에서는 도가니(311)의 회전 전에 제 1 및 제 2 셔터(314-1, 314-2) 모두를 이동시켜 도가니(311)를 차폐하였다. 그리고, 원료(301) 충전후에도 제 1 및 제 2 셔터(314-1, 314-2)를 차폐하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 이중 하나의 셔터만을 이용하여 도가니(311)를 차폐할 수 있다.

예를 들어, 원료가 소진된 도가니(311)의 제 1 셔터(314-1)를 이동시켜 도가니(311)를 차폐한다. 이어서, 도가니(311)를 회전시킨다. 이후, 제 1 셔터(314-1)를 이동시켜 도가니(311)를 개방한다. 이어서, 원료(310)를 도가니(311) 내측에 충전시킨다. 이어서, 제 2 셔터(314-2)를 이동시켜 도가니(311)를 차폐한다. 그리고, 상기 도가니(311)를 회전시켜 공정 방향(즉, 기판 방향)에 위치하도록 배치한다. 이어서, 제 2 셔터(314-2)를 이동시켜 도가니(311)를 개방한다. 이를 통해 불필요한 공정 또는 셔터의 움직임을 줄일 수 있다.

본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장치의 단면도.

도 2는 도 1의 단면에 대하여 수직하게 자른 박막 증착 장치의 개념도.

도 3은 일 실시예에 따른 증발 증착부와 기판의 배치를 설명하기 위한 개념도.

도 4는 일 실시예에 따른 증발 증착부의 단면도.

도 5는 일 실시예에 따른 다수의 증발 증착부의 원료 충진 방법을 설명하기 위한 개념도.

도 6 및 도 7은 일 실시예에 따른 원료 충진을 위한 증발 증착부의 개폐 방법을 설명하기 위한 개념도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 기판 100 : 챔버

200 : 기판 이송부 300 : 증발 증착부

310 : 도가니부 311 : 도가니

314 : 셔터부 320 : 회전 몸체

400 : 보정판 500 : 회전부

600 : 원료 충전부

Claims (21)

1. 내부 공간을 갖는 챔버;

   기판을 고정하고 상기 내부 공간에서 기판을 이동시키는 기판 이송부; 및

   증착 원료를 상기 기판에 제공하며, 상기 증착 원료가 충진된 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 가열수단과, 상기 도가니를 차폐하는 셔터부를 구비하는 도가니부와, 상기 도가니부에 결합되어 회전하는 회전 몸체를 포함하는 다수의 증발 증착부;를 포함하며,

   상기 셔터부는 상기 도가니의 일측면에 위치하여 상기 기판의 이동 방향으로 이동하여 상기 도가니의 상부 영역을 차폐하는 제 1 셔터와,

   상기 제 1 셔터에 대향하는 상기 도가니의 타측면에 위치하여 상기 기판의 이동 방향으로 이동하여 상기 도가니의 상부 영역을 개방하는 제 2 셔터를 포함하는 박막 증착 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 다수의 증발 증착부는 상기 챔버의 바닥면을 기준으로 상측 방향으로 이격 배치되고,

   상기 기판의 중심 영역 대응하는 위치에 적어도 하나의 상기 증발 증착부가 배치되고, 상기 기판의 하측 영역에 적어도 하나의 증발 증착부가 배치된 박막 증착 장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 기판과 상기 다수의 증발 증착부 사이에 고정 배치되고,

   그 중심 영역에 수직 방향으로 슬릿 형태의 절개 영역이 마련된 보정판을 포함하는 박막 증착 장치.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 절개 영역의 중심 선 상에 상기 다수의 증발 증착부가 배치된 박막 증착 장치.
5. 청구항 3에 있어서,

   상기 보정판 상측의 절개 영역의 절개 거리가 상기 보정판 하측의 절개 영역의 절개 거리보다 작은 박막 증착 장치.
6. 삭제
7. 청구항 1에 있어서,

   상기 도가니의 재질로 텅스텐(W), 알루미나(Al₂O₃), PBN(Pyrolytic Boron Nitride) 및 그라파이트(Graphite) 중 어느 하나를 사용하는 박막 증착 장치.
8. 청구항 1에 있어서,

   상기 회전 몸체에 결합되어 상기 회전 몸체를 회전시키는 회전부와,

   상기 도가니에 원료를 재 충전시키는 원료 충전부를 구비하는 박막 증착 장치.
9. 삭제
10. 청구항 1에 있어서,

    상기 제 1 셔터 및 제 2 셔터는 상기 기판이 해당 상기 증발 증착부 방향으로 이동할때 각기 상기 도가니를 차폐 및 개방하는 박막 증착 장치.
11. 청구항 1에 있어서,

    상기 도가니를 수납하는 수납부를 더 구비하고,

    상기 수납부의 외측면에 상기 셔터부가 배치된 박막 증착 장치.
12. 청구항 1에 있어서,

    상기 기판 이송부는 상기 기판을 상기 챔버의 바닥면에 대하여 수직하게 배 치시키는 기판 지지부와, 상기 기판 지지부를 이동시키는 이송부를 포함하는 박막 증착 장치.
13. 피증착 물체에 원료를 증발시켜 박막을 증착하는 증발 장치에 있어서,

    원료가 충진된 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 가열 수단과, 상기 도가니를 차폐하는 셔터부를 구비하는 도가니부;

    상기 도가니부에 결합되어 회전하는 회전 몸체; 및

    상기 회전 몸체에 결합되어 상기 회전 몸체를 회전시키는 회전부를 구비하며,

    상기 셔터부는, 상기 도가니의 일측면에 위치하여 상기 피증착 물체의 이동 방향으로 이동하여 상기 도가니의 상부 영역을 차폐하는 제 1 셔터와, 상기 제 1 셔터에 대향하는 상기 도가니의 타측면에 위치하여 상기 피증착 물체의 이동 방향으로 이동하여 상기 도가니의 상부 영역을 개방하는 제 2 셔터를 포함하는 증발 장치.
14. 청구항 13에 있어서,

    상기 회전부는 상기 도가니부의 중심선과 상기 피증착 물체 표면 사이의 각이 예각이 되도록 상기 회전 몸체를 회전 고정시키는 증발 장치.
15. 삭제
16. 내측에 충진된 원료를 이용하여 이동하는 기판에 박막을 증착하는 다수의 도가니부와, 상기 다수의 도가니부의 상측 영역을 각기 개폐하는 제 1 및 제 2 셔터를 포함하는 박막 증착 장치의 원료 제공 방법에 있어서,

    원료가 소진된 도가니부를 검출하는 단계;

    상기 원료가 소진된 도가니부의 제 1 셔터를 상기 기판의 이동 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 차폐하는 단계;

    상기 도가니부를 원료 충전 위치로 이동시키는 단계;

    상기 도가니부의 상측 영역을 개방하여 상기 도가니부에 원료를 재 충진시키는 단계;

    상기 제 2 셔터를 상기 기판 이동 방향에 대하여 반대 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 차폐하는 단계;

    상기 도가니부를 박막 증착 위치로 이동시키는 단계; 및

    상기 제 2 셔터를 상기 기판 이동 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 개방하는 단계를 포함하는 박막 증착 장치의 원료 제공 방법.
17. 청구항 16에 있어서, 상기 도가니부를 원료 충전 위치로 이동시키는 단계 전에,

    상기 제 2 셔터를 이동시켜 상기 도가니의 상측 영역을 차폐하는 단계를 더 구비하고,

    상기 도가니부에 원료를 재 충진시키는 단계는,

    상기 제 1 및 제 2 셔터를 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 개방하는 단계와, 상기 도가니부 내측에 원료를 주입하는 단계를 포함하는 박막 증착 장치의 원료 제공 방법.
18. 청구항 16에 있어서, 상기 도가니부를 박막 증착 위치로 이동시키는 단계 전에,

    상기 제 1 셔터를 상기 기판의 이동 방향의 반대 방향으로 이동시키는 단계를 더 포함하는 박막 증착 장치의 원료 제공 방법.
19. 청구항 16에 있어서,

    상기 원료가 소진된 도가니부의 제 1 셔터를 상기 기판의 이동 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 차폐하는 단계와, 상기 제 2 셔터를 상기 기판 이동 방향으로 이동시켜 상기 도가니부의 상측 영역을 개방하는 단계는,

    상기 기판이 상기 도가니부로 이동할때 수행되는 박막 증착 장치의 원료 제공 방법.
20. 청구항 16에 있어서,

    상기 도가니부를 원료 충전 위치로 이동시킴은 상기 도가니부의 상측 영역이 상기 기판 반대 방향에 위치하도록 상기 도가니부를 회전시키는 것이고,

    상기 도가니부를 박막 증착 위치로 이동시킴은 상기 도가니부의 상측 영역이 상기 기판 방향에 위치하도록 상기 도가니부를 회전시키는 것인 박막 증착 장치의 원료 제공 방법.
21. 청구항 16에 있어서, 상기 도가니부에 원료를 재 충전시키는 단계 전에,

    충진될 원료물질의 양을 정량화하는 단계를 더 포함하는 박막 증착 장치의 원료물질 제공 방법.

Images