TWI411695B - 沈積有機化合物的裝置及其方法以及具有此裝置的基底處理設施 - Google Patents

Description

沈積有機化合物的裝置及其方法以及具有此裝置的基底處理設施

本發明涉及沈積有機化合物的裝置及其方法以及具有此裝置的基底處理設施。

有機發光二極體(organic light emitting diode，OLED)是一種具有廣視角、高對比度及高回應速度的主動發光顯示器(active light emitting display)。因此，OLED被認為將會取代液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)而成為下一代平面顯示器而日益受人關注。

傳統的OLED領域中，有機化合物是通過蒸發(vaporized)及沈積(disposed)的方式在基底表面形成有機薄膜。所述的沈積製程被用於形成有機薄膜及金屬電極層，例如，有機發光二極體顯示器面板中的有機發光二極體發光層。

現有的沈積有機化合物之裝置包括沈積室及有機蒸發器。所述的沈積室用於提供了在基底表面沈積有機化合物的空間。所述的有機蒸發器用於加熱有機化合物使之蒸發至所述基底表面。所述的有機蒸發器包括預先設置的坩鍋(crucible)，所述的坩鍋提供內部真空沈積室，且具有很好的抗熱及化學穩定性。熱金屬絲(hot wire)被提供在坩鍋的內壁或者外壁，以加熱及蒸發預先設置在所述坩鍋內的有機化合物。

當所述的有機蒸發器將所有的有機化合物蒸發時，就 需要用有機化合物充填所述的有機蒸發器，或者用新的有機蒸發器來代替原來的有機蒸發器。一般來說，需要操作者用手把有機化合物填滿所述的有機蒸發器。這樣的話，操作者需要花費較高的維護費用，且在維護有機蒸發器期間，使用沈積有機化合物之裝置的沈積製程將無法執行。

本發明的示範性實施例涉及一種在基底上沈積有機化合物薄膜的裝置、方法，以及應用此裝置的基底處理設施，所述的裝置包括可自動更換的有機蒸發器，或可以不停止沈積製程。

示範性實施例提供一種用於沈積有機化合物之裝置，包括沈積室；位於所述的沈積室內部的支撐元件，所述的支撐元件支撐基底並使得基底的沈積表面向下；內部設有有機蒸發器的蒸發器安裝部，所述的有機蒸發器用於蒸發有機化合物至所述的基底的沈積表面，所述蒸發器安裝部固定於所述基底的下方；靠近所述的蒸發器安裝部設置的蒸發器替換部，以替換所述的有機蒸發器；以及用於在蒸發器安裝部與蒸發器替換部之間傳輸有機蒸發器之蒸發器傳輸單元。其中，所述之蒸發器傳輸單元可以包括用於引導有機蒸發器運動的引導軌，其中所述有機蒸發器沿所述引導軌而進行直線運動；以及使得所述的有機蒸發器沿引導軌運動的驅動器。其中，所述蒸發器替換部包括：設置在所述蒸發器安裝部一側的備用室，所示備用室中有新的有機蒸發器等待；以及設置在所述蒸發器安裝部另一側的取出室，被所述新的有機蒸發器更換的所述有機蒸發器從所述取出室中取出

根據本發明的實施例，所述之蒸發器傳輸單元可以包括：用於測量有機蒸發器內有機化合物消耗量的傳感部；以及從所述的傳感部接受資料以決定有機蒸發器的更換時間並控制蒸發器傳輸單元來更換有機蒸發器的控制器。

根據本發明的實施例，所述的備用室包括第一關閉元件，所述的第一關閉元件用以打開或關閉入口，而有機蒸發器通過此入口從備用室送入沈積室，且所述取出室包括第二關閉元件，所述的第二關閉元件用以打開或關閉出口，而有機蒸發器通過此出口從沈積室取出並送入取出室。

另一示範性實施例提供一種沈積有機化合物之方法，其包括：在進行沈積製程以於基底上沈積有機化合物時，測量有機蒸發器中有機化合物的量，在所述沈積製程中，所述基底的沈積表面面向下，且所述有機蒸發器固定於所述基底的下方，以蒸發所述有機化合物至所述基底的所述沈積表面；如果有機蒸發器中有機化合物的量少於預設量，更換新的有機蒸發器，其中更換新的有機蒸發器包括：使用構造以引導所述有機蒸發器的運動的引導軌從沈積室取出有機蒸發器至蒸發器安裝部，其中所述有機蒸發器沿所述引導軌而進行直線運動；以及使用所述引導軌從所述之蒸發器安裝部取出新的有機蒸發器至沈積室。其中，有機蒸發器的更換是通過把所述的有機蒸發器取出並送至設置在沈積室旁的取出室，再從放置新有機蒸發器的備用室中取出新的有機蒸發器並送至沈積室來完成的。

根據本發明的實施例，蒸發器安裝部包括：取出室，有機蒸發器自沈積室從取出室取出；備用室，新的有機蒸發器在進入沈積室之前在備用室內等待，替換有機蒸發器 包括：從沈積室取出有機蒸發器至取出室；以及從備用室運送新的有機室至沈積室。

根據本發明的實施例，將有機蒸發器自沈積室取出送至取出室包括以下步驟：調整所述取出室的內壓而與沈積室的製程壓力一樣；打開第一關閉元件，所述的第一關閉元件用以打開與關閉出口，而有機蒸發器通過出口在取出室與沈積室之間傳輸；將有機蒸發器從沈積室送至取出室；以及關閉所述之第一關閉元件。

根據本發明的實施例，將有機蒸發器從備用室送至沈積室包括以下步驟：調整所述備用室的內壓而與沈積室的製程壓力一樣；打開第二關閉元件，所述的第二關閉元件用以打開與關閉入口，而有機蒸發器通過入口在備用室與沈積室之間傳輸；將有機蒸發器從備用室送至沈積室；以及關閉所述之第二關閉元件。

根據本發明的實施例，將有機蒸發器從沈積室送至取出室進一步包括：當有機蒸發器被送至所述取出室外時，將所述取出室的內壓下調至沈積室的製程壓力。

根據本發明的實施例，將有機蒸發器從備用室送至沈積室包括以下步驟：將所述的有機蒸發器或另一有機蒸發器放入備用室；以及下調所述備用室的內壓至沈積室的製程壓力。

根據本發明的實施例，測量有機蒸發器中有機化合物的量是通過測量有機蒸發器的重量變化實現的。

在示範性實施例中，基底處理設施可以包括：用於在基底的沈積表面附加圖案化罩幕的罩幕附加裝置；在所述基底的罩幕附加沈積面上沈積有機化合物的沈積裝置；以及罩幕復原裝置，構造以復原沈積有機化合物的基底上之罩幕，其中所述的沈積裝置包括沈積室；位於所述的沈積室內部的支撐元件，所述的支撐元件支撐基底並使得基底的沈積表面向下；內部設有有機蒸發器的蒸發器安裝部，所述的有機蒸發器用於蒸發有機化合物至所述的基底的沈積表面，所述蒸發器安裝部固定於所述基底的下方；靠近所述的蒸發器安裝部設置的可替換所述的有機蒸發器之蒸發器替換部；以及用於在蒸發器安裝部與蒸發器替換部之間傳輸有機蒸發器之蒸發器傳輸單元。其中，所述的蒸發器傳輸單元進一步包括：構造以引導所述有機蒸發器的運動的引導軌，其中所述有機蒸發器沿所述引導軌而進行直線運動；用於測量有機蒸發器內有機化合物消耗量的傳感部；以及從所述的傳感部接受資料的控制器，所述的控制器決定有機蒸發器的更換時機，並控制蒸發器傳輸單元更換有機蒸發器。其中，所述的蒸發器替換部包括：設置在所述的蒸發器安裝部一側的備用室，所示備用室中有新的有機蒸發器等待；以及設置在所述的蒸發器安裝部另一側的取出室，更換所述的新的有機蒸發器在所述的取出室中進行。

根據本發明的實施例，所述的備用室包括第一關閉元件，所述的第一關閉元件用以打開與關閉入口，而有機蒸發器通過此入口從備用室被送入沈積室，且所述取出室包括第二關閉元件，所述的第二關閉元件用以打開與關閉出 口，而有機蒸發器通過此出口從沈積室被取出並送入取出室。

根據本發明的實施例，所述的傳感部包括至少一測力計(load cell)。

根據本發明，有機蒸發器可以自動更換。

根據本發明，有機蒸發器的更換可以不停止沈積製程。

圖1是根據本發明的基底處理設施的示意圖，基底處理設施具有用於沈積有機化合物的裝置，圖2是圖1中所示的裝置的結構示意圖。

如圖1所示，基底處理設施1包括多個裝置，例如，負載(loading)裝置2、清潔裝置3、卸載(unloading)裝置4、罩幕附加裝置10、罩幕復原裝置20、以及用於沈積有機化合物之沈積裝置100。因為所述的沈積裝置100的數量是可變的，所以各上述的裝置的數量也是可變的。

其上執行沈積製程的基底S通過負載裝置2送入所述的基底處理設施1。當沈積製程結束後，基底S通過卸載裝置4移出所述的基底處理設施1。由負載裝置2承載的基底S被傳輸至所述的清潔裝置3。所述的清潔裝置3採用離子或者紫外線清潔基底S。清潔後的基底S被依次傳輸至罩幕附加裝置10、沈積裝置100以及罩幕復原裝置20。所述的罩幕附加裝置10在清潔後的基底S附加罩幕圖案(圖未示)。當基底S上的沈積製程結束後，罩幕復 原裝置20從基底S上復原罩幕。所述的有機沈積裝置100在已附加罩幕的基底S的處理表面上沈積有機化合物。

請參閱圖2，所述的沈積裝置100包括沈積室110、有機蒸發器122與124、具有備用室130及取出室140的蒸發器替換部150、蒸發器傳輸單元160、傳感部170以及控制器180。

所述的沈積室110定義了在基底S表面沈積有機化合物的空間。蒸發器安裝部112被設於沈積室110的底面。有機蒸發器122被安裝於蒸發器安裝部112內。蒸發器安裝部112是沈積室110的下部部分，而有機蒸發器122被負載於其中。所述的有機蒸發器122及沈積室110在彼此接合前可以分別製造。沈積室110內側被從外部密封，以在製程中維持真空的狀態。

所述的沈積室110包括設置在有機蒸發器122上部的分區板114。分區板114設置在比基底行進路徑還低的部分。因此，沈積室110的內部被分區板114分成可以傳輸基底的上部以及設置有機蒸發器122的下部。分區板上設置開口114a，而從有機蒸發器122蒸發的有機化合物通過開口114a在基底的沈積表面上沈積。開口114a使得有機化合物沈積在基底的沈積表面的特定區域。

支撐元件118被設置在沈積室110的上部。所述的支撐元件118通過基底入口116a及基底出口116b在沈積室110的外側和內側之間傳輸。當有機化合物沈積在基底S上，所述的支撐元件118以固定的速度將基底S傳輸至沈 積室110的內部。或者，支撐元件118也可是被設置在沈積室110的頂端，以吸收及支撐由基底傳輸單元傳輸至沈積室110的基底S。在一實施例中，基底傳輸單元包括導軌(guide rail)111，導軌111用以引導支撐元件118行進，以及用於沿引傳輸所述支撐元件118的傳輸單元(圖未示)。

罩幕附加裝置10及罩幕復原裝置20被分別鄰近設置在沈積室110的相對兩側。在罩幕附加裝置10內側，圖案化罩幕(圖未示)被附加在基底S上。附加了罩幕的基底S進入沈積室110，從基底S的背面到正面沈積薄膜。沈積了薄膜的基底S進入罩幕復原裝置20。在罩幕復原裝置20內，將罩幕從基底S移除。罩幕的附加、沈積以及移除重複進行，以在基底S形成預設的圖案。

所述的有機蒸發器122在沈積製程中蒸發有機化合物。蒸發過程中，有機蒸發器122設置在沈積室110內的下端來蒸發有機化合物。有機蒸發器122是一種容納和蒸發有機化合物的容器。在容器的上部設置有蒸發孔。蒸發的有機化合物通過蒸發孔排放出去。

所述的有機蒸發器124和有機蒸發器122有著相同的結構。當有機蒸發器122中的有機化合物用完時，有機蒸發器124就替換有機蒸發器122。也就是，有機蒸發器124在備用室130內等待，而當有機蒸發器122使用結束以及有機蒸發器122被取出時，有機蒸發器124被送入沈積室110以替換有機蒸發器122。

所述的蒸發器替換部150包括備用室130以及取出室140。備用室130包括外殼132、第一關閉元件134及第一門136。外殼132靠近蒸發器安裝部112設置，並定義有機蒸發器124在其內等待的空間。所述的外殼132從外部被密封，以防止有機蒸發器124被外部的污染物給污染。備用室130的一面上設置有透明窗，以使操作者可以從外部辨識備用室130內部的狀況。

所述的第一關閉元件134可以打開及關閉設置在蒸發器安裝部112及外殼132之間的入口132a。入口132a為允許有機蒸發器124從備用室130進入沈積室110的通道。所述的第一關閉元件134可以是閘式閥或者狹長的開口。第一關閉元件134由設置在沈積室110一側處的關閉元件控制器(圖未示)操控。

第一門136打開和關閉入口132b，入口132b用以引導有機蒸發器124進入備用室130。第一門136的打開和關閉由操作者手控。當操作者把有機蒸發器124引入備用室130時，入口132b被第一門136完全密封，並且備用室130的內部壓力降至預設壓力。所述的第一門136並不限於本文所描述的，其也可以通過控制器180而自動操控，這種情況下面會具體描述。也可以安裝蓋子以代替第一門136來密封入口132b。

與備用室130相似，取出室140包括外殼142、第一關閉元件144及第二門146。外殼142靠近蒸發器安裝部112設置，並定義一定空間，而在此空間中，當沈積室110 中的有機蒸發器用完時，將有機蒸發器取出。所述的外殼142被製造從外部密封。因此，從外殼142拿出的有機蒸發器可以不被外部的污染物給污染。因為被取出的有機蒸發器是被加熱到很高的溫度，所以外殼142的內壁由超耐熱材料製成。取出室140的一側處設置有透明窗，以使操作者可以從外部辨識取出室140內部的狀況。

第二關閉元件144可以打開和關閉設置在蒸發器安裝部112及外殼142之間的出口142a。出口142a是允許有機蒸發器124從取出室140進入沈積室110的通道。所述的第二關閉元件144可以是閘式閥或者狹長的開口。第二關閉元件144由設置在沈積室110一側處的關閉元件控制器操控。

第二門146打開和關閉出口142b，出口142b用以取出有機蒸發器124至取出室140的外側。當操作者把有機蒸發器124取出至取出室140的外部時，出口142b被第二門146完全密封，並且取出室140的內部壓力下降。所述的第二門146並不限於本文所描述的，其也可以通過控制器180而自動操控，這種情況下面會具體描述。也可以安裝用蓋子來代替第二門146以密封出口142b。

本實施方式中，所述的蒸發器替換部150包括兩個室，例如，備用室130及取出室140。但是，所述的蒸發器替換部150可包括一個蒸發器交換室(圖未示)，而有機蒸發器在蒸發器交換室中等待及取出，且可以構造來取出使用過的有機蒸發器，並將新的有機蒸發器送入沈積室 110。然而，這就需要蒸發器替換部150具有前述的可以快速更換有機蒸發器的結構。

所述的蒸發器傳輸單元160包括引導元件162以及驅動器164。引導元件162被製造以引導有機蒸發器，且引導元件162可以是引導軌。例如，有機蒸發器122、124被製造沿設置在沈積室110內的引導元件162行進。引導元件162分別與沈積室110、備用室130及取出室140線性地安裝。因此，有機蒸發器122、124沿引導元件162依次行進到備用室130、沈積室110的蒸發器安裝部112以及取出室140。停止器(圖未示)可以分別安裝在等待室130、蒸發器安裝部112及取出室140的引導元件162上。每一停止器都可以在有機蒸發器的指定的位置停止或者固定。

驅動器164使得有機蒸發器122、124沿引導元件162運動。所述的驅動器164可以包括，例如，電動機(motor)及連接在電動機的複數齒輪。為備用室130及取出室140提供驅動器164，以移動有機蒸發器122、124。如本實施方式所描述的，驅動器164分別設置在備用室130及取出室140中。但是，驅動器164之位置、數量、安裝方式以及結構是可變的。

傳感部170測量設置在所述的蒸發器安裝部112上的有機蒸發器122內有機化合物消耗量。所述的傳感部170被設置在有機蒸發器122之上，用以測量蒸發密度以及從有機蒸發器蒸發出來的有機化合物的量，從而判斷有機蒸 發器122中所存有的有機化合物的量。此外，傳感部170可以在形成在有機蒸發器122的蒸發孔的上面做直線及往復運動。傳感部170可以是，例如石英水晶微量天平(Quartz-Crystal Microbalance，QCM)裝置，可以測量微結構的振盪頻率的變化(微結構的振盪頻率的變化由微結構質量的增加而引起)，也可以通過頻率的變化測量微結構質量，如使用質量微量天平(mass micro-balancing)技術。

另一實施方式中，傳感部170通過測量有機蒸發器122的重量來判定有機蒸發器122中的有機化合物的消耗量。傳感部170可以測量特定物體的負載，例如測力計(load cell)。也就是說，傳感部170是用來測量有機蒸發器122的負載，且當來自傳感部170的有機蒸發器122的負載小於預設的負載時，控制器180(下文將會詳細描述)控制傳感部170更換有機蒸發器122。傳感部170替有機蒸發器122中存儲的或使用的有機化合物的量提供多種方式和結構。

所述的控制器180控制蒸發器替換部150、蒸發器傳輸單元160以及傳感部170。控制器180從傳感部170接收到有機蒸發器122中使用的有機化合物的數量資料，以判斷更換有機蒸發器122的時間。當控制器180決定更換有機蒸發器122時，所述的有機蒸發器122被取出至取出室140，並且控制蒸發器替換部150及蒸發器傳輸單元160運送有機蒸發器124至沈積室110中。送入沈積室110中的有機蒸發器124通過加熱來蒸發有機化合物，且在基底 S的表面沈積蒸發的有機化合物。控制器180的詳細描述請參閱圖3至圖7。

所述的沈積裝置100的操作步驟及功效下面將會詳細描述。圖3至圖7是圖2中所示的用於沈積有機化合物之裝置的操作及效果圖，圖8是本發明的一種沈積有機化合物的方法流程圖。

請參閱圖8，當沈積有機化合物開始時，基底被放入沈積室110，且有機蒸發器122蒸發有機化合物，以在基底S的沈積表面沈積有機化合物(步驟S10)。請參閱圖3，沈積室110的內部維持在高真空狀態，且基底S通過基底入口116a以不變的速度被送入沈積室110。在基底S被送入沈積室110前，罩幕附加裝置10在基底S的底面附加圖案化罩幕(圖未示)。沈積室110採用罩幕圖案從基底S正面到反面形成薄膜。當基底S被送入沈積室110時，有機蒸發器122加熱並蒸發有機化合物。有機化合物從有機蒸發器122經分區板114被蒸發出來。通過分區板114的有機化合物以恒定的速度分佈並沈積在基底S上。這樣的沈積步驟重複進行。

當沈積步驟進行時，控制器180測量有機蒸發器122中的有機化合物的量(步驟S20)。也就是說，傳感部170測量有機化合物從有機蒸發器內蒸發的量，並將有機化合物蒸發量的資料傳輸給控制器180。控制器180接受資料並判斷有機蒸發器122中的有機化合物的量是否小於預存儲量(步驟S30)。例如，如果有機蒸發器122中的有機化 合物的量是小於預設量，從有機蒸發器122蒸發的有機化合物就會減少。這樣的話，傳感部170測量的有機化合物蒸發量小於有機化合物的預設蒸發量，所述的控制器180更換有機蒸發器122。

如果有機蒸發器122中的有機化合物的量是小於預設量，控制器180從沈積室110取出已經用過的有機蒸發器122，並將取出的有機蒸發器122送入取出室140(步驟S40)。也就是說，請參閱圖4，當開始更換有機蒸發器122時，控制器180控制取出室140的第二關閉元件144打開出口142a。在第二關閉元件144打開之前，需要調整所述取出室140的內壓與沈積室110的製程壓力一致。

當出口142a打開時，控制器180控制引導元件160將有機蒸發器122從沈積室110送入取出室140。當有機蒸發器122送入取出室140時，控制器180關閉第二關閉元件144。因為所述的送入取出室140的有機蒸發器122被加熱至高溫，所以在取出室140中需要一定的時間來冷卻有機蒸發器122。例如，有機蒸發器122可以使用冷卻裝置來冷卻，例如在取出室140設置風扇或者冷氣供給單元，或者可以自然冷卻直至有機蒸發器122的溫度降到預定的溫度。

當有機蒸發器122送入取出室140時，控制器180從備用室130取出新的有機蒸發器124並送入沈積室110，以操作新的有機蒸發器124(步驟S50)。請參閱圖5，控制器180控制第一關閉元件134打開入口132a。在第一關閉 元件134打開之前，需要調整所述備用室130的內壓與沈積室110的壓力一致。當入口132a打開時，控制器180控制引導元件160將有機蒸發器124從備用室130送入沈積室110。當有機蒸發器124送入沈積室110時，控制器180操控有機蒸發器124。有機蒸發器124蒸發有機化合物以執行沈積製程。

如果沈積製程由新的有機蒸發器124執行，則控制器180把另一個有機蒸發器送入備用室130(步驟S60)。當有機蒸發器送入備用室130，備用室130的內部壓力下降至與沈積室110的製程壓力一致(步驟S70)。在本實施方式中，要用有機蒸發器122及另一個有機蒸發器。但是，有機蒸發器的數量是可變的。

參閱圖6，在步驟S40中，當送入取出室140的有機蒸發器122冷卻至常溫時，其被從取出室140中取出(步驟S80)。當有機蒸發器122被從取出室140中取出時，控制器調整所述取出室140的內壓與沈積室110的製程壓力一致(步驟S90)。當沈積室110中的有機蒸發器122更換時，這樣做可以防止因為取出室140與沈積室110之間的壓力不一致而引起的沈積室110製程壓力發生變化。操作者將被取出的有機蒸發器122再充填有機化合物。參閱圖7，操作者將再充填的有機蒸發器122放入備用室130。當再充填的有機蒸發器122被放入備用室130時，備用室130的內部壓力降至與沈積室110的製程壓力一致。當再充填的有機蒸發器122被放入沈積室110中時，這樣做可以防 止因為備用室130與沈積室110之間的壓力不一致而引起的沈積室110製程壓力發生變化。

如上所述，有機蒸發器可以是自動連續更換，這樣就減少因為更換有機蒸發器導致有機化合物的沈積製程所停止的時間。因此，當操作者更換有機蒸發器時，可以減少維護成本。

儘管本發明實施方式已經描述了一種用於電致發光裝置中在基底上沈積薄膜的裝置，但其並不限於這些描述。所用的基底可以是另一種用於製造平面顯示器的基底，製程也可以是另一種製程。而且，只要不背離本發明的精神及範圍，很多的更改，變化及替換都是可以的。例如，實施方式中描述的多孔盤(porous plate)的材料、形狀、數量、設置等等都是可變的。

工業應用性

本發明可以應用於所有的基底處理設施。特別地，根據本發明的用於沈積有機化合物的裝置、方法以及基底處理設施可應用於在基底上通過蒸發有機化合物來沈積有機薄膜的裝置。這樣的話，蒸發有機化合物的有機蒸發器可以自動被更換。

已經描述了各種示範性實施例。然而，要理解其範圍並不局限於所公開的實施例。相反，申請權利範圍意圖包括使用目前公知或未來技術及等同物之本領域熟知此技藝者之能力範圍之各種潤飾及變化。因而，申請權利範圍應與最廣泛之解釋一致以便包括所有這樣的潤飾以及類似配 置。

1‧‧‧基底處理設施

2‧‧‧負載裝置

3‧‧‧清潔裝置

4‧‧‧卸載裝置

10‧‧‧罩幕附加裝置

20‧‧‧罩幕復原裝置

100‧‧‧沈積裝置

110‧‧‧沈積室

111‧‧‧導軌

112‧‧‧蒸發器安裝部

114‧‧‧分區板

114a‧‧‧開口

116a‧‧‧基底入口

116b‧‧‧基底出口

118‧‧‧支撐元件

122、124‧‧‧有機蒸發器

130‧‧‧備用室

132‧‧‧外殼

132a、132b‧‧‧入口

134‧‧‧第一關閉元件

136‧‧‧第一門

140‧‧‧取出室

142‧‧‧外殼

142a、142b‧‧‧出口

144‧‧‧第一關閉元件

146‧‧‧第二門

150‧‧‧蒸發器替換部

160‧‧‧蒸發器傳輸單元

162‧‧‧引導元件

164‧‧‧驅動器

170‧‧‧傳感部

180‧‧‧控制器

S‧‧‧基底

S10~S90‧‧‧步驟

圖1是根據本發明的具有用於沈積有機化合物之裝置的基底處理設施的示意圖。

圖2是圖1中所示的用於沈積有機化合物之裝置的結構示意圖。

圖3至圖7是圖2中所示的用於沈積有機化合物之裝置的操作及效果圖。

圖8是顯示了根據本發明的沈積有機化合物之方法的流程圖。

10‧‧‧罩幕附加裝置

20‧‧‧罩幕復原裝置

100‧‧‧沈積裝置

110‧‧‧沈積室

111‧‧‧導軌

112‧‧‧蒸發器安裝部

114‧‧‧分區板

114a‧‧‧開口

116a‧‧‧基底入口

116b‧‧‧基底出口

118‧‧‧支撐元件

122、124‧‧‧有機蒸發器

130‧‧‧備用室

132‧‧‧外殼

132a、132b‧‧‧入口

134‧‧‧第一關閉元件

136‧‧‧第一門

140‧‧‧取出室

142‧‧‧外殼

142a、142b‧‧‧出口

144‧‧‧第一關閉元件

146‧‧‧第二門

150‧‧‧蒸發器替換部

160‧‧‧蒸發器傳輸單元

162‧‧‧引導元件

164‧‧‧驅動器

170‧‧‧傳感部

180‧‧‧控制器

S‧‧‧基底

Claims (12)

1. 一種用於在基底上沈積有機化合物之裝置，包括：沈積室；支撐元件，所述支撐元件設於所述沈積室內部，且支撐所述基底以使得所述基底的沈積表面面向下；蒸發器安裝部，內部安裝有機蒸發器，以蒸發所述有機化合物至所述基底的所述沈積表面，所述蒸發器安裝部固定於所述基底的下方；蒸發器替換部，靠近所述蒸發器安裝部設置，以替換所述有機蒸發器；以及蒸發器傳輸單元，構造以在所述蒸發器安裝部與所述蒸發器替換部之間傳輸所述有機蒸發器；其中所述蒸發器傳輸單元包括：構造以引導所述有機蒸發器的運動的引導軌，其中所述有機蒸發器沿所述引導軌而進行直線運動；以及允許所述有機蒸發器沿所述引導軌運動的驅動器，以及其中所述蒸發器替換部包括：設置在所述蒸發器安裝部一側的備用室，所示備用室中有新的有機蒸發器等待；以及設置在所述蒸發器安裝部另一側的取出室，被所述新的有機蒸發器更換的所述有機蒸發器從所述取出室中取出。
2. 如申請專利範圍第1項所述之用於在基底上沈積有機化合物之裝置，其中所述蒸發器傳輸單元進一步包括：構造以測量所述有機蒸發器內的所述有機化合物消耗量的傳感部；以及控制器，從所述傳感部接受資料，以決定所述有機蒸發器的更換時機，並控制所述蒸發器傳輸單元以更換所述有機蒸發器。
3. 如申請專利範圍第2項所述之用於在基底上沈積有機化合物之裝置，其中所述傳感部包括至少一測力計。
4. 如申請專利範圍第1項所述之用於在基底上沈積有機化合物之裝置，其中所述備用室包括第一關閉元件，所述第一關閉元件構造以打開與關閉入口，所述有機蒸發器通過所述入口從所述備用室送入所述沈積室；其中，所述取出室包括第二關閉元件，所述第二關閉元件構造以打開與關閉出口，所述有機蒸發器通過所述出口從沈積室取出並送入所述取出室。
5. 一種用於在基底上沈積有機化合物之方法，包括：在執行於所述基底上沈積所述有機化合物之沈積製程中，測量存儲於有機蒸發器中的所述有機化合物的量，在所述沈積製程中，所述基底的沈積表面面向下，且所述有機蒸發器固定於所述基底的下方，以蒸發所述有機化合物至所述基底的所述沈積表面；以及 如果存儲於所述有機蒸發器中的所述有機化合物的量少於所述有機化合物的預設量，以新的有機蒸發器更換所述有機蒸發器，其中更換所述有機蒸發器包括：使用構造以引導所述有機蒸發器的運動的引導軌從沈積室取出所述有機蒸發器至蒸發器安裝部，其中所述有機蒸發器沿所述引導軌而進行直線運動，以及；使用所述引導軌從所述蒸發器安裝部取出所述新的有機蒸發器運送至所述沈積室，以及其中所述有機蒸發器的更換是通過把所述有機蒸發器取出並送至設置在所述沈積室旁的取出室，再從有所述新的有機蒸發器等待的備用室中取出所述新的有機蒸發器並送至所述沈積室來完成的。
6. 如申請專利範圍第5項所述之用於在基底上沈積有機化合物之方法，其中把所述有機蒸發器從所述沈積室送取出並送至所述取出室包括：調整所述取出室的內壓與所述沈積室的製程壓力一樣；打開第一關閉元件，所述第一關閉元件構造以打開與關閉出口，所述有機蒸發器通過所述出口在所述沈積室與所述取出室之間傳輸；從所述沈積室傳輸所述有機蒸發器至所述取出室，以及；關閉所述第一關閉元件。
7. 如申請專利範圍第5項所述之用於在基底上沈積有機化合物之方法，其中從所述備用室中傳送所述有機蒸發器至所述沈積室包括：調整所述備用室的內壓與所述沈積室的製程壓力一樣；打開第二關閉元件，所述第一關閉元件構造以打開與關閉入口，所述有機蒸發器通過所述入口在所述備用室與所述沈積室之間傳輸；從所述備用室傳輸所述有機蒸發器至所述沈積室，以及；關閉所述第二關閉元件。
8. 如申請專利範圍第6項所述之用於在基底上沈積有機化合物之方法，其中把所述有機蒸發器從所述沈積室取出至所述取出室進一步包括：當所述有機蒸發器被拉至所述取出室外部時，降低所述取出室的內壓至所述沈積室的製程壓力。
9. 如申請專利範圍第7項所述之用於在基底上沈積有機化合物之方法，其中從所述備用室取出所述有機蒸發器並送至所述沈積室包括：將所述有機蒸發器或另一有機蒸發器放入所述備用室，以及；降低所述備用室的內壓至所述沈積室的製程壓力。
10. 如申請專利範圍第5項所述之用於在基底上沈積有機化合物之方法，其中測量存儲於所述有機蒸發器中的 所述有機化合物的量是通過測量所述有機蒸發器的重量變化來實現的。
11. 一種基底處理設施，包括：構造以附加圖案化罩幕到基底的沈積表面的罩幕附加裝置；構造以在所述基底的已附加所述罩幕的所述沈積表面上沈積有機化合物的沈積裝置，以及；構造以從所述基底復原所述罩幕的罩幕復原裝置，在所述基底上沈積有所述有機化合物，其中所述沈積裝置包括：沈積室；支撐元件，設於所述沈積室內部，並支撐所述基底以使得所述基底的所述沈積表面面向下；蒸發器安裝部，內部設有所述有機蒸發器，以蒸發所述有機化合物至所述基底的所述沈積表面，所述蒸發器安裝部固定於所述基底的下方；靠近所述蒸發器安裝部設置以替換所述有機蒸發器之蒸發器替換部，以及；蒸發器傳輸單元，構造以在所述蒸發器安裝部與所述蒸發器替換部之間傳輸所述有機蒸發器，其中所述蒸發器傳輸單元進一步包括：構造以引導所述有機蒸發器的運動的引導軌，其中所述有機蒸發器沿所述引導軌而進行直線運動； 構造以測量所述有機蒸發器的所述有機化合物消耗量的傳感部，以及；控制器，從所述傳感部接受資料，以決定所述有機蒸發器的更換時機，並控制所述蒸發器傳輸單元以更換所述有機蒸發器，以及其中所述蒸發器替換部包括：設置在所述蒸發器安裝部一側的備用室，所述備用室中有新的有機蒸發器等待，以及；設置在所述蒸發器安裝部另一側的所述取出室，所述新的有機蒸發器從所述取出室取出。
12. 如申請專利範圍第11項所述之基底處理設施，其中所述備用室包括第一關閉元件，所述的第一關閉元件構造以打開與關閉入口，所述有機蒸發器通過所述入口從所述備用室送入所述沈積室，且其中，所述取出室包括第二關閉元件，所述第二關閉元件構造以打開與關閉出口，所述有機蒸發器通過所述出口從所述沈積室取出並送入所述取出室。