KR101329762B1 - 평면디스플레이용 박막 증착장치 - Google Patents

Abstract

평면디스플레이용 박막 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치는, 평면디스플레이용 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 챔버와, 챔버의 내벽에 배치되며, 증착 공정 시 증착물질이 챔버의 내벽으로 증착되는 것을 저지시키는 실드와, 챔버의 내부에 마련되어 실드를 지지하며, 실드의 교체를 위해 실드가 챔버의 외부 및 내부로 인출 및 인입되는 것을 가이드하는 실드 지지용 가이드유닛을 포함을 포함한다.

Description

평면디스플레이용 박막 증착장치{Glass deposition apparatus for Flat Display}

본 발명은, 평면디스플레이용 박막 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 증착물질이 챔버의 내벽으로 증착되는 것을 저지시키는 실드를 손쉽게 교체할 수 있는 평면디스플레이용 박막 증착장치에 관한 것이다.

평면디스플레이는 개인 휴대단말기를 비롯하여 TV나 컴퓨터의 모니터 등으로 널리 채용된다. 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.

이러한 평면디스플레이 중에서 특히 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.

또한, 유기전계발광표시장치(OLED)는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나누어질 수 있다.

한편, 풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 대형 OLED를 제작하는 방식으로는 FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과 LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 있다.

마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른바 수평식 상향 증착 공법이 적용되고 있다.

이러한 수평식 상향 증착 공법은 챔버 등의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인시킨 후 합착시키고 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.

이러한 OLED의 증착 공정에서 가장 문제되는 사항은 파티클 이슈(Particle Issue)이다.

전술한 바와 같이, OLED는 증착 공정 중에 유기물을 증착하며 이렇게 증착된 유기물에 의해 발광되는 원리로 디스플레이를 구현하기 때문에 유기물 증착 공정 중에 파티클이 발생하게 되면 완제품에 결함의 요소가 되어 큰 문제가 된다.

파티클은 증착공정에서 증착물질이 챔버의 내벽에 달라붙었다가 떨어져 나오면서 발생된다.

이러한 파티클 문제를 해소하기 위해서 증착공정에서 증착물질이 챔버의 내벽에 증착되는 것을 저지시키는 실드를 챔버의 내벽에 착탈 가능하게 결합하고 소정의 주기로 실드를 교체하는 방법을 사용하여 왔다.

그러나 이러한 방법은 사람이 직접 챔버의 내부로 들어가서 실드를 교체해야 하기 때문에 안전성에 문제가 있다. 또한, 수작업으로 사용된 실드의 해체하고 새로운 실드를 설치하기 때문에 생산성이 떨어진다는 문제점이 있다.

특허공개번호 KR 10-2003-0095579 (삼성에스디아이 주식회사), 2003.12.24

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 증착공정에 사용된 실드를 챔버의 외부로 인출한 후에 새로운 실드로 교체하여 다시 챔버의 내부로 인입시킬 수 있는 평면디스플레이용 박막 증착장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 평면디스플레이용 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 챔버와, 상기 챔버의 내벽에 배치되며, 상기 증착 공정 시 증착물질이 상기 챔버의 내벽으로 증착되는 것을 저지시키는 실드와, 상기 챔버의 내부에 마련되어 상기 실드를 지지하며, 상기 실드의 교체를 위해 상기 실드가 상기 챔버의 외부 및 내부로 인출 및 인입되는 것을 가이드하는 실드 지지용 가이드유닛을 포함하는 평면디스플레이용 박막 증착장치를 제공할 수 있다.

상기 실드 지지용 가이드유닛은, 상기 실드를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 가이드유닛일 수 있다.

상기 실드는, 상기 슬라이딩식 가이드유닛에 슬라이딩되는 방향을 따라 상호 분할되는 다수의 단위 실드를 포함할 수 있다.

상기 다수의 단위 실드 중 어느 한 제1 단위 실드에는 삽입돌기가 마련되고, 상기 제1 단위 실드에 이웃된 제2 단위 실드에는 상기 삽입돌기가 삽입되는 삽입홈이 마련될 수 있다.

상기 단위 실드는, 상기 챔버의 중앙 영역에 배치되고, 상호 이웃되어 상기 증착물질이 통과하는 관통공을 형성하는 중앙 실드와, 상기 중앙 실드의 양쪽 사이드에 배치는 한 쌍의 사이드 실드를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.

상기 슬라이딩식 가이드유닛은, 상기 중앙 실드를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 중앙 가이드부와, 상기 사이드 실드들을 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 사이드 가이드부를 포함할 수 있다.

상기 슬라이딩식 중앙 가이드부는 상기 중앙 실드를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제1 슬라이딩 롤러를 포함하며, 상기 슬라이딩식 사이드 가이드부는 상기 사이드 실드들을 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제2 슬라이딩 롤러를 포함하며, 상기 제1 및 제2 슬라이딩 롤러들은 공용 롤러 지지부재의 양측에 대칭되게 배열될 수 있다.

상기 중앙 실드에는 상기 제1 슬라이딩 롤러들을 부분적으로 감싸면서 상기 제1 슬라이딩 롤러들에 지지되는 제1 롤러 브래킷이 형성되고, 상기 사이드 실드에는 상기 제2 슬라이딩 롤러들을 부분적으로 감싸면서 상기 제2 슬라이딩 롤러들에 지지되는 제2 롤러 브래킷이 형성될 수 있다.

상기 슬라이딩식 사이드 가이드부는, 상기 제2 슬라이딩 롤러들과 이격된 위치에서 상기 사이드 실드들을 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제3 슬라이딩 롤러와, 상기 제3 슬라이딩 롤러들을 지지하는 롤러 지지부재를 포함할 수 있다.

상기 사이드 실드에는, 상기 제3 슬라이딩 롤러들을 부분적으로 감싸면서 상기 제3 슬라이딩 롤러들에 지지되는 제3 롤러 브래킷이 더 형성될 수 있다.

상기 한 쌍의 사이드 실드는 상기 챔버 내에서 상호 대칭되게 배치되는 좌측 실드 및 우측 실드를 포함하며, 상기 챔버에는 상기 중앙 실드, 상기 좌측 실드 및 상기 우측 실드가 각각 개별적으로 출입되는 게이트 도어가 마련될 수 있다.

상기 게이트 도어는, 상기 중앙 실드가 출입되는 중앙 게이트 도어와, 상기 좌측 실드가 출입되는 좌측 게이트 도어와, 상기 우측 실드가 출입되는 우측 게이트 도어를 포함하며, 상기 중앙 게이트 도어와, 상기 좌측 및 우측 게이트 도어는 상기 챔버의 양측벽에서 서로 반대 방향에 마련될 수 있다.

상기 챔버의 내부에는 상기 기판을 향해 상기 증착물질을 제공하는 소스가 마련되되 상기 실드의 하부 영역에 배치되며, 상기 실드에는 상기 소스로부터의 증착물질이 상기 기판으로 향하는 관통공이 이 형성되며, 상기 평면디스플레이용 기판은 OLED일 수 있다.

본 발명의 실시예들은, 증착공정에 사용된 실드를 실드 지지용 출입유닛을 통해 챔버의 외부로 인출한 후에 새로운 실드로 교체하여 다시 챔버의 내부로 인입시킴으로써, 사람이 직접 챔버의 내부로 들어가서 실드를 교체하지 않아 안전하고 생산성이 높은 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치가 도시된 분해사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 챔버의 내부가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 챔버의 내부가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 실드가 도시된 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 중앙 실드가 출입되는 중앙 게이트 도어가 마련되는 챔버의 일측벽이 도시된 정면도이다.
도 6은 도 5의 반대방향에서 챔버를 바라본 후면도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 실드와 실드 지지용 가이드유닛이 도시된 사시도이다.
도 8은 도 7의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 실드가 도시된 사시도이다.
도 10은 도 9의 B-B선에 따른 단면도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 평면디스플레이란 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어떠한 것이 적용되어도 좋다. 다만, 본 실시예에서는 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 평면디스플레이라 간주하기로 한다.

이하, 편의를 위해, OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 단순히 기판이라 하여 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치가 도시된 분해사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 챔버의 내부가 개략적으로 도시된 평면도이며, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 챔버의 내부가 개략적으로 도시된 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 실드가 도시된 사시도이며, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 중앙 실드가 출입되는 중앙 게이트 도어가 마련되는 챔버의 일측벽이 도시된 정면도이고, 도 6은 도 5의 반대방향에서 챔버를 바라본 후면도이며, 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 실드와 실드 지지용 가이드유닛이 도시된 사시도이고, 도 8은 도 7의 A-A선에 따른 단면도이다.

도 1 내지 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치는, 기판(P)에 대한 증착 공정이 진행되는 챔버(110)와, 챔버(110)의 내벽에 배치되며, 증착 공정 시 증착물질이 챔버(110)의 내벽으로 증착되는 것을 저지시키는 실드(120)와, 챔버(110)의 내부에 마련되어 실드(120)를 지지하며, 실드(120)의 교체를 위해 실드(120)가 챔버(110)의 외부 및 내부로 인출 및 인입되는 것을 가이드하는 실드 지지용 가이드유닛(130)을 포함한다.

챔버(110)는, 기판(P)에 대한 증착 공정이 진행되는 장소를 이룬다. 이러한 챔버(110)의 내부는 기판(P)에 대한 증착 공정이 신뢰성 있게 진행될 수 있도록 진공 분위기를 형성한다. 따라서 도시하지는 않았지만 챔버(110)의 일측에는 챔버(110) 내의 공기를 흡입하여 챔버(110) 내를 진공 유지시키기 위한 진공 펌프(미도시)가 연결될 수 있다. 또한, 챔버(110)의 일측에는 기판(P)의 출입 통로를 이루는 게이트 밸브(미도시)가 결합된다.

챔버(110)에는, 실드(120)가 챔버(110)의 외부 및 내부로 인출 및 인입되는 게이트 도어(141,142,143)가 마련된다. 이러한 게이트 도어(141,142,143)가 개방되어 실드(120)가 챔버(110)의 외부 및 내부로 인출 및 인입된다.

본 실시예에서 게이트 도어(141,142,143)는 회동에 의해 개방 및 폐쇄되며, 게이트 도어(141,142,143)에는 작동을 위한 손잡이(W1,W2,W3)가 마련된다.

또한, 게이트 도어(141,142,143)를 폐쇄하면 챔버(110)의 내부는 진공 분위기가 되어야 하므로 게이트 도어(141,142,143)에는 밀폐부재(미도시)가 마련된다.

게이트 도어(141,142,143)의 설치위치는 설명의 편의를 위해 후술하기로 한다.

한편, 챔버(110)의 내부에는 증착물질을 제공하는 소스(source, S)가 마련된다. 본 실시예는 소스(S)가 기판(P)의 하측 영역에 이격되어 배치되는 수평형 평면디스플레이용 박막 증착장치에 해당되지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.

기판(P)과 소스(S)의 사이에 마스크(미도시)가 배치된다. 이러한 마스크는, 기판(P)의 표면에 미리 결정된 패턴(pattern)으로 증착을 진행하기 위하여 기판(P)의 표면에 접촉 지지된다. 마스크에는 소스(S)로부터의 증착 물질이 통과되는 다수의 통공(미도시)이 마련된다.

한편, 소스(S)에서 방출된 증착물질은 기판(P) 외에 챔버(110)의 내벽쪽으로 비산될 수 있는데, 이렇게 챔버(110)의 내벽쪽으로 비산된 증착물질이 챔버(110)의 내벽에 부착되는 것을 막는 것이 실드(120)이다. 즉, 실드(120)는 챔버(110)의 내벽에 배치되며, 증착 공정 시 증착물질이 챔버(110)의 내벽으로 증착되는 것을 저지시키는 역할을 한다. 따라서 실드(120)의 하부 영역에 소스(S)가 배치된다.

실드(120)는, 챔버(110)의 중앙 영역에 배치되고 증착물질이 통과되는 관통공(h)을 형성되는 중앙 실드(121)와, 중앙 실드(121)의 양쪽 사이드에 배치되는 한 쌍의 사이드 실드(122,123)를 포함한다.

중앙 실드(121)와 사이드 실드(122,123)의 사이로 증착 공정에서 증착물질이 빠져나가지 않도록, 중앙 실드(121)와 사이드 실드(122,123)는 서로 부분적으로 겹쳐진다.

중앙 실드(121)는 평판형태로 이루어진다. 한 쌍의 사이드 실드(122,123)는 "ㄱ"자 형태를 갖되, 챔버(110) 내에서 상호 대칭되게 배치되는 좌측 실드(122)와 우측 실드(123)로 이루어진다.

본 실시예에서 중앙 실드(121)에 2개의 관통공(h)이 마련되는데, 이는 하나의 챔버(110)에서 2개의 기판(P)에 대해 증착공정이 수행되는 과정을 예시한 것일 뿐이며, 본 발명이 이러한 구성에 한정되는 것은 아니다.

한편, 앞서 설명한 바와 같이, 챔버(110)에는 중앙 실드(121), 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)가 각각 개별적으로 출입되는 게이트 도어(141,142,143)가 마련된다.

이러한 게이트 도어(141,142,143)는, 중앙 실드(121)가 출입되는 중앙 게이트 도어(141)와, 좌측 실드(122)가 출입되는 좌측 게이트 도어(142)와, 우측 실드(123)가 출입되는 우측 게이트 도어(143)를 포함하며, 중앙 게이트 도어(141)와, 좌측 및 우측 게이트 도어(142,143)는 챔버(110)의 양측벽에서 서로 반대 방향에 마련된다.

따라서 중앙 실드(121), 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)가 출입하는 중앙, 좌측 및 우측 게이트 도어(141,142,143)가 별개로 독립되어 챔버(110)에 마련되고, 중앙 실드(121)가 챔버(110)에서 출입되는 방향과 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)가 챔버(110)에서 출입되는 방향이 챔버(110)를 사이에 두고 서로 반대방향이기 때문에 챔버(110)에서 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)를 출입시키는 작업과정에서 간섭이 발생되지 않아 작업시간이 단축된다.

한편, 실드 지지용 가이드유닛(130)은, 중앙 실드(121), 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 가이드유닛(130)으로 이루어진다.

이러한 슬라이딩식 가이드유닛(130)에 의해 중앙 실드(121), 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)가 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 내부 및 외부로 인출 및 인입된다.

또한, 슬라이딩식 가이드유닛(130)은, 중앙 실드(121), 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)가 서로의 이동과 무관하게 슬라이딩 이동되도록, 독립적으로 구성된다.

따라서 슬라이딩식 가이드유닛(130)은, 중앙 실드(121)를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 중앙 가이드부(131)와, 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 사이드 가이드부(132,133)를 포함한다.

슬라이딩식 중앙 가이드부(131)는 중앙 실드(121)를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제1 슬라이딩 롤러(R1)를 포함한다.

슬라이딩식 사이드 가이드부(132,133)는 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제2 슬라이딩 롤러(R2,R3)를 포함한다.

또한, 제1 및 제2 슬라이딩 롤러(R2,R3)들은 공용 롤러 지지부재(Y1)의 양측에 대칭되게 배열된다.

공용 롤러 지지부재(Y1)는 챔버(110)의 내벽에 결합되는 아암으로 이루어진다. 이러한 공용 롤러 지지부재(Y1)의 양측에 각각 제1 및 제2 슬라이딩 롤러(R1,R2,R3)들이 회전 가능하게 결합된다. 또한, 공용 롤러 지지부재(Y1)는 상호 이격되어 한 쌍으로 마련된다.

한편, 중앙 실드(121)에는 제1 슬라이딩 롤러(R1)들을 부분적으로 감싸면서 제1 슬라이딩 롤러(R1)들에 지지되는 제1 롤러 브래킷(124)이 마련된다. 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)에는 제2 슬라이딩 롤러(R2,R3)들을 부분적으로 감싸면서 제2 슬라이딩 롤러(R2,R3)들에 지지되는 제2 롤러 브래킷(125,126)이 마련된다.

제1 및 제2 롤러 브래킷(124,125,126)이 각각 제1 및 제2 슬라이딩 롤러(R1,R2,R3)들에 지지되기 때문에 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)가 각각 제1 및 제2 슬라이딩 롤러(R1,R2,R3)들을 따라 슬라이딩 이동된다.

또한, 제1 및 제2 롤러 브래킷(124,125,126)은 각각 제1 및 제2 슬라이딩 롤러(R1,R2,R3)들을 부분적으로 감싸기 때문에 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)가 각각 제1 및 제2 슬라이딩 롤러(R1,R2,R3)들에서 이탈되지 않고 슬라이딩 이동된다.

한편, 슬라이딩식 사이드 가이드부(132,133)는, 제2 슬라이딩 롤러(R2,R3)들과 이격된 위치에서 좌측 및 우측 실드(122,123)를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제3 슬라이딩 롤러(R4,R5)와, 제3 슬라이딩 롤러(R4,R5)들을 지지하는 롤러 지지부재(Y2,Y3)를 포함한다.

롤러 지지부재(Y2,Y3)는 상술한 공용 롤러 지지부재(Y1)와 마찬가지로 챔버(110)의 내벽에 결합되는 아암으로 이루어진다.

또한, 좌측 및 우측 실드(122,123)에는, 제3 슬라이딩 롤러(R4,R5)들을 부분적으로 감싸면서 제3 슬라이딩 롤러(R4,R5)들에 지지되는 제3 롤러 브래킷(127,128)이 마련된다.

결국, 좌측 및 우측 실드(122,123)는, 제2 슬라이딩 롤러(R2,R3)들 및 제3 슬라이딩 롤러(R4,R5)들에 의해 2점 지지되기 때문에, 챔버(110)의 내부에서 안정적으로 지지되고 슬라이딩 이동 가능하다.

이하에서 본 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치의 작동에 대해 설명한다.

기판(P)에 박막을 증착하기 위해 소스(S)는 증착물질을 방출하며, 중앙 실드(121)의 관통공(h)을 관통한 증착물질은 기판(P)에 증착된다. 중앙 실드(121)의 관통공(h)을 통과하지 않은 증착물질은 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)의 내벽에 부착되고, 소정 횟수의 증착 공정이 수행된 후에는 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)가 교체된다.

이러한 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)의 교체는 독립적으로 이루어진다. 즉, 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)를 모두 교체할 수 있으며, 오염 정도에 따라 각각 개별적으로 교체할 수 있다.

본 실시예에서는 설명의 편의를 위해 먼저 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)를 모두 교체하는 것을 설명한다.

중앙 게이트 도어(141)가 개방되어 중앙 실드(121)가 챔버(110)의 외부로 인출된다. 중앙 실드(121)에는 제1 슬라이딩 롤러(R1)들에 지지되는 제1 롤러 브래킷(124)이 마련되기 때문에, 중앙 실드(121)는 제1 슬라이딩 롤러(R1)들을 따라 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 외부로 인출된다.

한편, 좌측 및 우측 실드(122,123)는 좌측 및 우측 게이트 도어(142,143)를 통해 챔버(110)의 외부로 인출된다.

좌측 및 우측 실드(122,123)에는 제2 및 제3 슬라이딩 롤러(R2,R3,R4,R5)들에 지지되는 제2 및 제3 롤러 브래킷(125,126,127,128)이 마련되기 때문에, 좌측 및 우측 실드(122,123)는 제2 및 제3 슬라이딩 롤러(R2,R3,R4,R5)들을 따라 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 외부로 인출된다.

다음, 새로운 중앙, 좌측 및 우측 실드(123)가 중앙, 좌측 및 우측 게이트 도어(141,142,143)를 통해 챔버(110)의 내부로 인입된다.

중앙 실드(121)가 제1 슬라이딩 롤러(R1)들을 따라 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 내부로 인입되고, 좌측 실드(122) 및 우측 실드(123)는 제2 및 제3 슬라이딩 롤러(R2,R3,R4,R5)들을 따라 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 내부로 인입된다.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 증착 공정에 사용된 실드(120)가 실드 지지용가이드유닛(130)을 통해 챔버(110)의 외부로 인출된 후에 새로운 실드(120)로 교체되어 다시 챔버(110)의 내부로 인입됨으로써, 실드(120)를 교체하기 위해 사람이 챔버(110)의 내부로 들어갈 필요가 없어 안전하고 실드(120)의 교체시간이 짧은 장점이 있다.

또한, 실드(120)가 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)로 분리되기 때문에 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)의 오염정도에 따라 별개로 교체할 수 있어 실드(120)의 교체 비용을 절감할 수 있다.

또한, 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)가 인출 및 인입되는 중앙, 좌측 및 우측 게이트 도어(141,142,143)가 독립적으로 마련되고, 중앙 게이트 도어(141)와, 좌측 및 우측 게이트 도어(142,143)는 챔버(110)의 양측벽에서 서로 반대 방향에 마련되기 때문에 중앙, 좌측 및 우측 실드(121,122,123)의 교체과정에서 간섭이 발생되지 않아 교체가 편리하고 교체시간이 절감된다.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치에서 실드(120a)가 도시된 사시도이고, 도 10은 도 9의 B-B선에 따른 단면도이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 실드(120a)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 1 내지 도 8의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 실드(120a)의 구성을 위주로 설명하기로 한다.

본 실시예에서, 실드(120a)는, 슬라이딩식 가이드유닛(130)에 슬라이딩되는 방향을 따라 상호 분할되는 다수의 단위 실드(121a,122a,123a)를 포함한다.

제1 실시예에서 실드(120)의 길이가 챔버(110)의 길이에 상당하기 때문에 실드(120)의 인출 및 인입시 넓은 작업 공간이 필요한 것과 달리, 본 실시예에서 실드(120a)는 분할된 다수의 단위 실드(121a,122a,123a)로 이루어지기 때문에 협소한 장소에서도 교체 작업을 수행할 수 있어 공간 활용도가 높다.

또한, 제1 실시예의 경우 실드(120)의 무게에 의해 작업자가 부담을 느끼는 것과 달리, 본 실시예에서 실드(120a)는 분할된 다수의 단위 실드(121a,122a,123a)로 이루어지고 단위 실드(121a,122a,123a) 하나의 무게는 가볍기 때문에 작업자가 손쉽게 교체 작업을 수행할 수 있다.

또한, 실드(120a)는, 챔버(110)의 중앙 영역에 배치되고, 상호 이웃되어 증착물질이 통과되는 관통공(h)을 형성하는 중앙 단위 실드(121a)와, 중앙 단위 실드(121a)의 양쪽 사이드에 배치는 한 쌍의 사이드 단위 실드(122a,123a)를 포함한다.

한 쌍의 사이드 실드(122a,123a)는 챔버(110) 내에서 상호 대칭되게 배치되는 좌측 단위 실드(122a) 및 우측 단위 실드(123a)를 포함한다.

이러한 중앙, 좌측 및 우측 단위실드(121a,122a,123a)는, 증착물질이 빠져나가는 것을 방지하기 위하여, 이웃한 중앙 단위 실드(121a)끼리, 이웃한 좌측 단위 실드(122a)끼리, 이웃한 우측 단위 실드(123a)끼리 서로 겹쳐진다.

또한, 중앙 단위 실드(121a) 각각에 제1 롤러 브래킷(124)이 마련된다. 따라서 중앙 단위 실드(121a)는 각각은 제1 슬라이딩 롤러(R1)들을 따라 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 외부 및 내부로 인출 및 인입된다.

마찬가지로, 좌측 및 우측 단위 실드(122a,123a) 각각에 제2 및 제3 롤러 브래킷(125,126,127,128)이 마련된다. 따라서 좌측 및 우측 단위 실드(122a,123a) 각각은 제2 및 제3 슬라이딩 롤러(R2,R3,R4,R5)들을 따라 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 외부 및 내부로 인출 및 인입된다.

한편, 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)는 분할되어 마련되기 때문에 챔버(110)의 외부로 인출되기 위해서는, 이웃한 중앙 단위 실드(121a)끼리, 이웃한 좌측 단위 실드(122a)끼리, 이웃한 우측 단위 실드(123a)끼리 착탈 가능하게 결합되어야 한다.

따라서 도 10에 도시된 바와 같이, 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a) 중 어느 하나의 제1 단위 실드(122a3)에는 삽입돌기(d)가 마련되고, 제1 단위 실드(122a3)에 이웃된 제2 단위 실드(122a4)에는 삽입돌기(d)가 삽입되는 삽입홈(e)이 마련된다.

도 10에서는 설명의 편의를 위해 좌측 단위 실드(122a)에 속하는 제1 단위 실드(122a3)의 삽입돌기(d) 및 제2 단위 실드(122a4)의 삽입홈(e)을 도시한 것으로, 이러한 삽입돌기(d) 및 삽입홈(e)은 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a) 모두에 마련된다.

이러한 삽입돌기(d)와 삽입홈(e)은 중앙 단위 실드(121a)끼리, 좌측 단위 실드(122a)끼리, 우측 단위 실드(123a)끼리 서로 겹치는 부위에 마련된다.

이하에서 본 실시예에 따른 평면디스플레이용 박막 증착장치의 작동에 대해 설명한다.

중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)의 교체는 독립적으로 이루어진다. 즉, 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)를 모두 교체할 수 있으며, 오염 정도에 따라 각각 개별적으로 교체할 수 있다.

본 실시예에서는 설명의 편의를 위해 먼저 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)를 모두 교체하는 것을 설명한다.

중앙 게이트 도어(141)가 개방되어 중앙 단위 실드(121a)가 챔버(110)의 외부로 인출된다. 중앙 단위 실드(121a)에는 제1 슬라이딩 롤러(R1)들에 지지되는 제1 롤러 브래킷(124)이 마련되기 때문에, 중앙 단위 실드(121a)는 제1 슬라이딩 롤러(R1)들을 따라 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 외부로 인출된다.

이때, 중앙 단위 실드(121a)의 삽입돌기(d)가 이웃한 중앙 단위 실드(121a)의 삽입홈(e)에 삽입되어 있기 때문에, 중앙 단위 실드(121a)를 당기면 중앙 단위 실드(121a) 전체가 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 외부로 인출된다.

한편, 좌측 및 우측 실드(122,123)는 좌측 및 우측 게이트 도어(142,143)를 통해 챔버(110)의 외부로 인출된다.

좌측 및 우측 단위 실드(122a,123a)의 경우도 마찬가지로, 좌측 및 우측 단위 실드(122a,123a)의 삽입돌기(d)가 이웃한 좌측 및 우측 단위 실드(122a,123a)의 삽입홈(e)에 삽입되어 있기 때문에 좌측 단위 실드(122a)를 당기면 좌측 단위 실드(122a) 전체가 슬라이딩 이동되어 챔버(110)의 외부로 인출된다. 이러한 슬라이딩 이동은 우측 단위 실드(123a) 또한 마찬가지다.

인출과정에서 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)의 삽입돌기(d)가 이웃한 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)의 삽입홈(e)에서 삽입 해제됨으로써 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)를 각각의 단위 실드로 따로 수거할 수 있다.

다음, 새로운 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)가 중앙, 좌측 및 우측 게이트 도어(141,142,143)를 통해 챔버(110)의 내부로 인입된다.

이때, 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)의 삽입돌기(d)가 이웃한 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)의 삽입홈(e)에 삽입되어 중앙, 좌측 및 우측 단위 실드(121a,122a,123a)가 챔버(110)의 내부로 인입된다.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 증착 공정에 사용된 실드(120a)가 다수의 단위 실드(121a,122a,123a)로 이루어지기 때문에, 오염이 심한 실드(120a)만을 별도로 교체할 수 있어 교체 비용이 절감된다.

또한, 실드(120a)는 다수의 단위 실드(121a,122a,123a)로 이루어지기 때문에 협소한 장소에서도 교체 작업을 수행할 수 있어 공간 활용도가 높다.

또한, 단위 실드(121a,122a,123a) 단품의 무게는 가볍기 때문에 작업자가 손쉽게 교체 작업을 수행할 수 있다.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

110: 챔버 120,120a: 실드
121: 중앙 실드 122: 좌측 실드
123: 우측 실드 124: 제1 롤러 브래킷
125,126: 제2 롤러 브래킷 127,128: 제3 롤러 브래킷
121a: 중앙 단위 실드 122a: 좌측 단위 실드
123a: 우측 단위 실드 130: 슬라이딩식 가이드유닛
141: 중앙 게이트 도어 142: 좌측 게이트 도어
143: 우측 게이트 도어 R1: 제1 슬라이딩 롤러
R2,R3: 제2 슬라이딩 롤러 R4,R5: 제3 슬라이딩 롤러
P: 기판 Y1: 공용 롤러 지지부재
Y2,Y3: 롤러 지지부재 h: 관통공
d: 삽입돌기 e: 삽입홈
S: 소스

Claims (13)

1. 평면디스플레이용 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 챔버;
   상기 챔버의 내벽에 배치되며, 상기 증착 공정 시 증착물질이 상기 챔버의 내벽으로 증착되는 것을 저지시키는 실드; 및
   상기 챔버의 내부에 마련되어 상기 실드를 지지하며, 상기 실드의 교체를 위해 상기 실드가 상기 챔버의 외부 및 내부로 인출 및 인입되는 것을 가이드하는 실드 지지용 가이드유닛;을 포함하되,
   상기 실드는,
   상기 챔버의 중앙 영역에 배치되고, 상호 이웃되어 상기 증착물질이 통과하는 관통공을 형성하는 중앙 실드; 및
   상기 중앙 실드의 양쪽 사이드에 배치되는 한 쌍의 사이드 실드를 포함하고,
   상기 실드 지지용 가이드유닛은 상기 실드를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 가이드유닛으로 마련되며,
   상기 슬라이딩식 가이드유닛은,
   상기 중앙 실드를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 중앙 가이드부; 및
   상기 사이드 실드들을 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 슬라이딩식 사이드 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 실드는,
   상기 슬라이딩식 가이드유닛에 슬라이딩되는 방향을 따라 상호 분할되는 다수의 단위 실드를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 다수의 단위 실드 중 어느 한 제1 단위 실드에는 삽입돌기가 마련되고, 상기 제1 단위 실드에 이웃된 제2 단위 실드에는 상기 삽입돌기가 삽입되는 삽입홈이 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
5. 삭제
6. 삭제
7. 제1항 또는 제3항에 있어서,
   상기 슬라이딩식 중앙 가이드부는 상기 중앙 실드를 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제1 슬라이딩 롤러를 포함하며,
   상기 슬라이딩식 사이드 가이드부는 상기 사이드 실드들을 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제2 슬라이딩 롤러를 포함하며,
   상기 제1 및 제2 슬라이딩 롤러들은 공용 롤러 지지부재의 양측에 대칭되게 배열되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 중앙 실드에는 상기 제1 슬라이딩 롤러들을 부분적으로 감싸면서 상기 제1 슬라이딩 롤러들에 지지되는 제1 롤러 브래킷이 형성되고,
   상기 사이드 실드에는 상기 제2 슬라이딩 롤러들을 부분적으로 감싸면서 상기 제2 슬라이딩 롤러들에 지지되는 제2 롤러 브래킷이 형성되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
9. 제7항에 있어서,
   상기 슬라이딩식 사이드 가이드부는,
   상기 제2 슬라이딩 롤러들과 이격된 위치에서 상기 사이드 실드들을 슬라이딩 이동 가능하게 지지하는 다수의 제3 슬라이딩 롤러; 및
   상기 제3 슬라이딩 롤러들을 지지하는 롤러 지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
10. 제9항에 있어서,
    상기 사이드 실드에는,
    상기 제3 슬라이딩 롤러들을 부분적으로 감싸면서 상기 제3 슬라이딩 롤러들에 지지되는 제3 롤러 브래킷이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
11. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 한 쌍의 사이드 실드는 상기 챔버 내에서 상호 대칭되게 배치되는 좌측 실드 및 우측 실드를 포함하며,
    상기 챔버에는 상기 중앙 실드, 상기 좌측 실드 및 상기 우측 실드가 각각 개별적으로 출입되는 게이트 도어가 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
12. 제11항에 있어서,
    상기 게이트 도어는,
    상기 중앙 실드가 출입되는 중앙 게이트 도어;
    상기 좌측 실드가 출입되는 좌측 게이트 도어; 및
    상기 우측 실드가 출입되는 우측 게이트 도어를 포함하며,
    상기 중앙 게이트 도어와, 상기 좌측 및 우측 게이트 도어는 상기 챔버의 양측벽에서 서로 반대 방향에 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.
13. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에는 상기 기판을 향해 상기 증착물질을 제공하는 소스가 마련되되 상기 실드의 하부 영역에 배치되며,
    상기 실드에는 상기 소스로부터의 증착물질이 상기 기판으로 향하는 관통공이 이 형성되며,
    상기 평면디스플레이용 기판은 OLED인 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 박막 증착장치.

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