KR20130053301A - 이송 로봇의 파티클 누출방지장치 - Google Patents

이송 로봇의 파티클 누출방지장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이송 로봇의 파티클 누출방지장치에 관한 것으로, 본 발명은 본체; 상기 본체에 움직임 가능하게 결합되는 수직 축; 상기 수직 축에 결합되며, 수평으로 위치하는 베이스 부재; 상기 베이스 부재의 상면에 장착되며, 상기 직선 이동부재를 움직이는 제1 구동유닛; 상기 베이스 부재를 따라 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되는 직선 이동부재; 상기 직선 이동부재를 따라 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 이송 대상물이 놓여지며, 센서들이 구비된 물체 이송부재; 및 상기 직선 이동부재에 구비되며, 상기 물체 이송부재를 움직이는 제2 구동유닛을 포함하는 이송 로봇에 있어서, 상기 본체 내부에서 시작되어 상기 수직 축 및 상기 베이스 부재를 관통하는 제1 케이블부와, 상기 제1 케이블부에서 연장되어 상기 베이스 부재의 상측에 위치하는 제2 케이블부와, 상기 제2 케이블부에 연장되어 상기 직선 이동부재의 내부에 위치하는 제3 케이블부와, 상기 제3 케이블부에 연장되어 상기 물체 이송부재의 내부에 위치하는 제4 케이블부를 포함하는 케이블과; 상기 베이스 부재의 상측에 위치하는 부품들의 측면을 감싸는 측면 커버유닛; 상기 베이스 부재의 상면에 위치한 부품들의 상측을 복개하는 복개판;을 포함한다. 이로 인하여 이송 로봇이 기판 또는 글라스 등의 이송 물체를 이송시키는 과정에서 이송 로봇 내부에서 발생될 수 있는 파티클이 외부로 방출되는 것을 최소화한다.

Description

이송 로봇의 파티클 누출방지장치{PARTICLE LEAKAGE PREVENTING APPARATUS OF TRANSFER ROBOT}
본 발명은 이송 로봇의 파티클 누출방지장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시장치(LCD;liquid crystal display)는 컬러 필터층이 구비된 제1 기판과, 구동소자들이 배열된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판을 부착시키는 페이스트(일명, 실런트라고도 함) 패턴과, 상기 제1,2 기판들 사이에 위치하는 액정층을 포함한다.
상기 액정 표시장치는 제조 장비들이 배열된 제조 라인에서 진행된다. 상기 액정 표시장치를 제작하는 과정에서, 기판(또는 글라스)을 다음 공정을 위한 챔버 또는 장비로 이송시킬 때 이송 로봇이 글라스 또는 기판을 이송시킨다.
액정 표시장치의 제작시 생산성을 향상시키기 위하여 기판의 크기가 점점 커지는 추세이다. 이송 로봇이 큰 기판을 이송시키기 위하여 이송 로봇이 움직이는 회전 반경이 크게 되며 이는 이송 로봇의 설치 공간이 더욱더 크게 된다. 따라서, 이송 로봇의 설치 공간을 최소화하기 위하여 대형 기판을 픽업하여 회전할 때 회전 반경을 최소화할 수 있는 이송 로봇이 요구된다. 또한, 이송 로봇이 움직일 때 이송 로봇 내부에서 파티클이 발생될 경우 그 파티클들이 이송 로봇 외부로 누출되면 그 파티클들로 인하여 제품, 즉 액정 표시장치의 불량을 유발시킬 수 있다. 따라서, 이송 로봇이 움직일 때 이송 로봇에서 파티클들이 발생될 경우 그 파티클들이 외부로 누출되는 것을 방지하여야 한다.
본 발명의 목적은 이송 로봇이 기판 또는 글라스 등의 이송 물체를 이송시키는 과정에서 이송 로봇 내부에서 발생될 수 있는 파티클이 외부로 방출되는 것을 최소화하는 이송 로봇의 파티클 누출방지장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본체; 상기 본체에 움직임 가능하게 결합되는 수직 축; 상기 수직 축에 결합되며, 수평으로 위치하는 베이스 부재; 상기 베이스 부재의 상면에 장착되며, 상기 직선 이동부재를 움직이는 제1 구동유닛; 상기 베이스 부재를 따라 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되는 직선 이동부재; 상기 직선 이동부재를 따라 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 이송 대상물이 놓여지며, 센서들이 구비된 물체 이송부재; 및 상기 직선 이동부재에 구비되며, 상기 물체 이송부재를 움직이는 제2 구동유닛을 포함하는 이송 로봇에 있어서, 상기 본체 내부에서 시작되어 상기 수직 축 및 상기 베이스 부재를 관통하는 제1 케이블부와, 상기 제1 케이블부에서 연장되어 상기 베이스 부재의 상측에 위치하는 제2 케이블부와, 상기 제2 케이블부에 연장되어 상기 직선 이동부재의 내부에 위치하는 제3 케이블부와, 상기 제3 케이블부에 연장되어 상기 물체 이송부재의 내부에 위치하는 제4 케이블부를 포함하는 케이블과; 상기 베이스 부재의 상측에 위치하는 부품들의 측면을 감싸는 측면 커버유닛; 상기 베이스 부재의 상면에 위치한 부품들의 상측을 복개하는 복개판;을 포함하는 이송 로봇의 파티클 누출방지장치가 제공된다.
상기 제2 케이블부는 베이스 부재의 상부에 구비된 케이블 베어에 의해 지지되는 것이 바람직하다.
상기 제3 케이블부는 직선 이동부재의 내부에 구비되는 케이블 베어에 의해 지지되는 것이 바람직하다.
상기 직선 이동부재는 설정된 길이를 가지며, 상기 베이스 부재의 양쪽에 각각 위치하는 두 개의 직선 부재들; 및 상기 두 개의 직선 부재들이 설정된 간격을 유지하도록 상기 두 개의 직선 부재들을 연결하는 복수 개의 연결 부재들을 포함하며, 상기 제3 케이블부는 상기 두 개의 직선 부재들 각각 내부에 구비되는 것이 바람직하다.
상기 측면 커버유닛은 상기 베이스 부재의 길이 방향 한쪽 끝부분에 위치하는 지지 블록과, 상기 베이스 부재의 길이 방향 다른 한쪽 끝부분에 위치하는 측면 커버부재와, 상기 베이스 부재의 폭 방향 한쪽 위치하는 제1 커버 테잎과, 상기 베이스 부재의 폭 방향 다른 한쪽에 위치하는 제2 커버 테잎을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 복개판은 상기 베이스 부재의 상면 한쪽에 구비되는 지지 블록과 상기 베이스 부재의 상면 다른 한쪽에 구비되는 측면 커버부재와 상기 제1 구동유닛의 상면에 구비된 보조 중간 지지블록에 의해 지지되는 것이 바람직하다.
본 발명은 상기 제1 구동유닛이 상기 직선 이동부재를 이동시키는 과정에서 상기 제1 구동유닛과 가이드 유닛 등에서 파티클이 발생되면 상기 직선 부재들의 상부를 복개하는 복개판과 측면 커버유닛에 의해 그 파티클이 이송 로봇 외부로 빠져나오는 것을 최소화시키게 된다.
또한, 본 발명은 상기 제어유닛과 센서들, 제1 구동유닛, 제2 구동유닛 등을 연결하는 케이블들이 본체 내부와 측면 커버유닛과 복개판 내부와 직선 이동부재 내부와 물체 이송부재 내부에 위치하게 되므로 이송 로봇의 작동시 케이블들에서 파티클들이 발생될 경우 이송 로봇 외부로 누출되는 것을 최소화시키게 된다.
또한, 본 발명은 상기 제2 구동유닛이 상기 직선 이동부재의 직선 부재들 내부에 위치하게 되므로 상기 제2 구동유닛이 작동할 때 그 제2 구동유닛에서 파티클이 발생되며 그 파티클은 직선 부재 내부에 잔류하게 되므로 그 파티클이 이송 로봇 외부로 빠져나오는 것을 최소화시키게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예가 구비된 이송 로봇를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예가 구비된 이송 로봇를 도시한 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예가 구비된 이송 로봇를 도시한 측면도,
도 4는 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예를 구성하는 측면 커버유닛을 도시한 평면도,
도 5는 본 발명에 따른 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예를 구성하는 직선 부재를 도시한 측단면도,
도 6은 도 4의 B - B 단면도,
도 7은 도 4의 A - A 단면도,
도 8은 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예를 구성하는 보조 지지블록을 도시한 정면도,
도 9는 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예를 구성하는 직선 부재의 정단면도,
도 10, 11는 상기 이송 로봇의 작동 상태를 각각 도시한 평면도.
이하, 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예가 구비된 이송 로봇의 일실시예를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예가 구비된 이송 로봇의 일실시예를 도시한 평면도이다. 도 3은 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예가 구비된 이송 로봇의 일실시예를 도시한 측면도이다. 도 4는 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예를 도시한 평면도이다. 도 5는 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예를 도시한 측단면도이다
도 1, 2, 3, 4, 5를 참조하여, 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예를 설명한다.
먼저, 상기 이송 로봇은 본체(100), 수직 축(200), 베이스 부재(300), 상하 구동유닛(400), 회전 구동유닛(500), 직선 이동부재(600), 제1 구동유닛(700), 물체 이송부재(800), 제2 구동유닛(900)을 포함한다.
본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 일실시예는 상기 본체(100) 내부에서 시작되어 상기 수직 축(200) 및 상기 베이스 부재(300)를 관통하는 제1 케이블부(K1)와, 상기 제1 케이블부(K1)에서 연장되어 상기 베이스 부재(300)의 상측에 위치하는 제2 케이블부(K2)와, 상기 제2 케이블부(K2)에 연장되어 상기 직선 이동부재(600)의 내부에 위치하는 제3 케이블부(K3)와, 상기 제3 케이블부(K3)에 연장되어 상기 물체 이송부재(800)의 내부에 위치하는 제4 케이블부(K4)를 포함하는 케이블(K)과; 상기 제1 구동유닛(700)과 상기 제2 케이블부(K2)의 측면을 감싸는 측면 커버유닛(650); 및 상기 베이스 부재(300)의 상면에 위치한 상기 제1 구동유닛(700)과 제2 케이블부(K2)의 상측을 복개하는 복개판(640);을 포함한다.
상기 본체(100)는 받침판(110)과, 상기 받침판(110)의 상면에 결합되며 상면에 관통구멍이 구비된 본체 케이스(120)를 포함한다. 상기 본체 케이스(120)의 일측에 제어유닛(CB)이 구비된다.
상기 수직 축(200)은 수직으로 위치하도록 상기 본체 케이스(120)의 관통 구멍에 삽입된다. 상기 수직 축(200)은 내부가 관통된 중공 축이다.
상기 베이스 부재(300)는 균일한 폭과 설정된 길이를 갖는 베이스부(310)와, 상기 베이스부(310)의 하면에 구비되는 결합부(320)를 포함한다. 상기 결합부(320)는 베이스부(310)의 하면 중간 부분에 돌출된다. 상기 베이스부(310)와 결합부(320)에 케이블이 관통하는 제1 케이블 통로가 구비됨이 바람직하다. 상기 베이스 부재(300)의 결합부(320)는 베어링에 의해 지지되어 상기 수직 축(200)의 상부에 회전 가능하게 결합된다.
상기 상하 구동유닛(400)이 상기 수직 축(200)을 상하로 이동시킨다. 상기 상하 구동유닛(400)은 상기 수직 축(200)에 연결되어 상기 수직 축(200)의 움직임을 안내하는 축 가이드 유닛(410)과, 상기 수직 축(200)에 연결되어 상기 수직 축(200)을 상하로 움직이는 구동유닛(420)을 포함한다.
상기 회전 구동유닛(500)은 상기 베이스 부재(300)를 회전시킨다. 상기 회전 구동유닛(500)은 상기 수직 축(200) 내부에 구비됨이 바람직하다. 상기 회전 구동유닛(500)은 상기 수직 축(200)의 내벽에 장착되는 모터(510)와, 상기 모터 축과 상기 베이스 부재(300)의 결합부(320)에 각각 결합되는 풀리(520)들과, 상기 풀리(520)들을 연결하는 벨트(530)를 포함한다.
상기 직선 이동부재(600)는 상기 베이스 부재(300)의 길이 방향을 따라 수평방향으로 움직임 가능하게 결합된다. 상기 직선 이동부재(600)는 두 개의 직선 부재(610)들과, 상기 두 개의 직선 부재(610)들이 설정된 간격을 유지하도록 상기 두 개의 직선 부재(610)들을 연결하는 복수 개의 연결 부재(620)들을 포함한다. 상기 직선 부재(610)는 내부에 공간을 갖는 중공 형상이다. 상기 연결 부재(620)는, 도 6에 도시한 바와 같이, 일정 폭과 길이를 갖는 수평부(621)와, 상기 수평부(621)의 양단부 하면에 각각 연장 형성된 수직부(622)들과, 상기 수직부(622)들의 각 내측 단부에 연장 형성되는 연결부(623)를 포함한다. 상기 수직부(622)에 관통 구멍(H)이 구비된다. 상기 수직부(622)들에 각각 연장 형성된 연결부(623)들은 서로 일정 간격을 두고 마주보고 위치한다. 상기 연결부(623)와 수평부(621)는 서로 일정 간격을 두고 위치한다. 상기 수평부(621)의 한쪽 끝부분의 하면과 그 수평부(621)의 한쪽 끝부분에 위치한 수직부(622)의 외측면이 한 개의 직선 부재(610)에 연결되고, 상기 수평부(621)의 다른 한쪽 끝부분의 하면과 그 수평부(621)의 다른 한쪽 끝부분에 위치한 수직부(622)의 외측면이 다른 한 개의 직선 부재(610)에 연결된다. 상기 수직부(622)가 결합되는 직선 부재(610)의 측면에 관통 구멍(H)이 구비된다. 상기 수직부(622)의 관통 구멍(H)과 직선 부재(610)의 측면의 관통 구멍(H)은 케이블(K)이 관통하는 제2 케이블 통로이다.
상기 연결 부재(620)는 네 개인 것이 바람직하다. 상기 네 개의 연결 부재(620)들은 상기 직선 부재(610)의 길이 방향을 기준으로 그 직선 부재(610)의 중간에서부터 한쪽 끝에 걸쳐서 배치된다. 상기 직선 부재(610)의 중간 부분에 위치하는 연결 부재(620)에서부터 직선 부재(610) 한쪽 끝에 위치하는 연결 부재까지 순차적으로 제1,2,3,4 연결 부재라 한다.
상기 베이스 부재(300)와 상기 직선 이동부재(600)의 두 개의 직선 부재(610)는 서로 평행하며, 상기 베이스 부재(300)는 상기 직선 이동부재(600)의 두 개의 직선 부재(610) 사이에 위치한다.
상기 베이스 부재(300)와 상기 직선 이동부재(600)는 가이드 유닛(630)에 의해 연결됨이 바람직하다. 상기 가이드 유닛(630)은 상기 직선 이동부재(600)가 직선으로 움직이는 것을 안내한다.
상기 가이드 유닛(630)은 상기 베이스 부재(300)의 상면에 서로 일정 간격을 두고 결합되는 두 개의 가이드 레일(631)과, 상기 가이드 레일(631)들에 각각 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록(632)들을 포함한다.
상기 두 개의 가이드 레일(631)은 서로 일정 간격을 가지며 상기 베이스 부재(300)의 길이 방향을 따라 놓여진다. 상기 두 개의 가이드 레일(631)들에 각각 네 개의 슬라이딩 블록(632)들이 구비됨이 바람직하다. 한 개의 가이드 레일(631)에 결합된 네 개의 슬라이딩 블록(632)들은 상기 네 개의 연결 부재(620)들에 각각 결합되며, 이때 상기 슬라이딩 블록(632)은 상기 연결 부재(620)의 한쪽 연결부(623)에 결합된다. 그리고 다른 한 개의 가이드 레일(631)에 결합된 네 개의 슬라이딩 블록(632)들은 상기 네 개의 연결 부재(620)에 각각 결합되며, 이때 상기 슬라이딩 블록(632)은 상기 연결 부재(620)의 다른 한쪽 연결부(623)에 결합된다.
상기 제1 구동유닛(700)은 상기 베이스 부재(300)의 상면에 장착되며, 상기 직선 이동부재(600)를 움직인다. 상기 제1 구동유닛(700)은 두 개의 가이드 레일(631) 사이에 위치하되, 상기 베이스 부재(300)의 한쪽 부분에 장착된다. 상기 제1 구동유닛(700)은 상기 베이스 부재(300)의 상면에 장착되는 모터(710)와, 상기 모터(710)의 모터 축에 연결되는 볼 스크류(720)와, 상기 베이스 부재(300)의 상면 한쪽 끝에 결합되어 상기 볼 스크류(720)의 한쪽 끝을 지지하는 지지 블록(730)과, 상기 볼 스크류(720)에 결합되는 이동 블록(740)을 포함한다. 상기 모터(710)는 상기 베이스 부재(300)의 대략 중간 부분에 위치한다.
상기 이동 블록(740)은, 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 직선 이동부재(600)를 구성하는 네 개의 연결 부재(620)들 중 제1 연결 부재(620)와도 결합된다. 상기 이동 블록(740)이 결합되는 제1 연결 부재(620)는 두 개의 연결부(623)들을 연결하는 연결 고정부(624)가 더 구비되고, 상기 이동 블록(740)은 상기 연결 고정부(624)의 하면에 결합된다.
상기 베이스 부재(300)의 상면 위에 상기 측면 커버유닛(650)이 구비된다. 상기 측면 커버유닛(650)은 상기 베이스 부재(300)의 상면에 위치하는 부품들을 둘러싼다. 상기 베이스 부재(300)의 상면에 위치하는 부품들은 제1 구동유닛(700)을 포함한다. 상기 측면 커버유닛(650)은 상기 제1 구동유닛(700)이 상기 직선 이동부재(600)를 움직일 때 그 제1 구동유닛(700) 및 가이드 유닛(630)에서 발생될 수 있는 파티클이 옆으로 빠져나가는 것을 억제한다.
상기 측면 커버유닛(650)은, 도 4, 6, 7에 도시한 바와 같이, 상기 지지 블록(730), 측면 커버부재(651), 제1 커버 테잎(652), 제2 커버 테잎(653)을 포함한다. 상기 측면 커버부재(651)는 상기 지지 블록(730)과 대면되도록 상기 베이스 부재(300)의 다른 한쪽 끝에 구비된다.
상기 지지 블록(730) 내부에 서로 간격을 두고 제1,2 롤러들(R1)(R2)이 구비된다. 상기 제1,2 롤러들(R1)(R2)은 각각 수직으로 위치하며 회전 가능하게 결합된다. 상기 측면 커버부재(651) 내부에 서로 간격을 두고 제3,4 롤러들(R3)(R4)이 구비된다. 상기 제3,4 롤러들(R3)(R4)은 각각 수직으로 위치하며 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1 롤러(R1)는 제3 롤러(R3)와 대응되고, 제2 롤러(R2)는 제4 롤러(R4)과 대응된다.
상기 제1,2 커버 테잎들(652)(653)은 각각 설정된 길이와 균일한 폭과 일정한 두께를 갖는다. 상기 제1 커버 테잎(652)은 제1 롤러(R1)와 제2 롤러(R3)를 감싸며, 상기 제1 커버 테잎(652)의 한쪽 끝이 제1 연결 부재(620)에 결합된 슬라이딩 블록(632)에 연결되고 다른 한쪽 끝은 제4 연결 부재(620)에 결합된 슬라이딩 블록(632)에 연결된다. 제1 연결 부재는 상기 지지 블록(730)과 가장 인접한 연결 부재이고, 제4 연결 부재는 상기 측면 커버부재(651)와 가장 인접한 연결 부재이다. 상기 제1 커버 테잎(652)의 양끝 연결 부분들은 직선 부재(610)와 인접하도록 바깥쪽에 위치한다. 상기 제2 커버 테잎(653)은 제2 롤러(R2)와 제4 롤러(R4)를 감싸며, 상기 제2 커버 테잎(653)의 한쪽 끝이 제1 연결 부재(620)에 결합된 슬라이딩 블록(632)과 연결되고 다른 한쪽 끝은 제4 연결 부재(620)에 결합된 슬라이딩 블록(632)에 연결된다. 상기 제2 커버 테잎(653)의 양끝 연결 부분은 다른 한 개의 직선 부재(610)와 인접하도록 바깥쪽에 위치한다.
상기 직선 이동부재(600)가 직선 왕복 운동함에 따라 상기 슬라이딩 블록(632)들도 동시에 직선 왕복 운동하게 된다. 상기 슬라이딩 블록(632)들이 지지 블록(730)쪽으로 움직이게 되면 지지 블록(730)과 그 지지 블록(730)에 인접한 슬라이딩 블록(632) 사이의 거리는 짧아지고, 상기 측면 커버부재(651)와 그 측면 커버부재(651)와 인접한 슬라이딩 블록(632) 사이의 거리는 길어지게 된다. 반대로, 상기 슬라이딩 블록(632)들이 측면 커버부재(651)쪽으로 움직이게 되면 상기 지지 블록(730)과 그 지지 블록(730)에 인접한 슬라이딩 블록(632) 사이의 거리는 길어지게 되고, 상기 측면 커버부재(651)와 그 측면 커버부재(651)와 인접한 슬라이딩 블록(632) 사이의 거리는 짧아지게 된다. 이와 같이, 상기 제1,2 커버 테잎(652)(653)이 각각 롤러들을 감싸서 그 양단이 각각 슬라이딩 블록(632)들에 연결되므로 직선 이동부재(600)가 직선 왕복운동할 때 그 직선 이동부재(600)와 함께 제1,2 커버 테잎(652)(653)이 연동되면서 상기 제1,2 커버 테잎(652)(653)이 제1 구동유닛(700)의 양측을 항상 감싸게 된다. 그리고 상기 지지 블록(730)과 측면 커버부재(651)가 제1 구동유닛(700)의 다른 양쪽을 감싸게 된다.
그리고, 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 제1 연결 부재(620)의 한쪽 끝과 제2 연결 부재(620)의 한쪽 끝을 연결하는 제1 측면 커버판(P1)이 구비되고, 상기 제1 연결 부재(620)의 다른 한쪽 끝과 제2 연결 부재(620)의 다른 한쪽 끝을 연결하는 제2 측면 커버판(P2)이 구비된다. 상기 제2 연결 부재(620)의 한쪽 끝과 제3 연결 부재(620)의 한쪽 끝을 연결하는 제3 측면 커버판(P3)이 구비되고, 상기 제2 연결 부재(620)의 다른 한쪽 끝과 제3 연결 부재(620)의 다른 한쪽 끝을 연결하는 제4 측면 커버판(P4)이 구비된다. 상기 제3 연결 부재(620)의 한쪽 끝과 제4 연결 부재(620)의 한쪽 끝을 연결하는 제5 측면 커버판(P5)이 구비되고, 상기 제3 연결 부재(620)의 다른 한쪽 끝과 제4 연결 부재(620)의 다른 한쪽 끝을 연결하는 제6 측면 커버판(P6)이 구비된다. 상기 각 측면 커버판은 연결 부재(620)의 연결부(623)에 결합되는 것이 바람직하다. 상기 제1,3,5 측면 커버판들(P1)(P3)(P5)은 동일 선상에 위치하며, 상기 제1 커버 테잎(652)측에 위치한다. 또한 제2,4,6 측면 커버판들(P2)(P4)(P6)도 동일 선상에 위치하며, 상기 제2 커버 테잎(653)측에 위치한다. 상측에서 볼 때, 상기 제1,3,5 측면 커버판들(P1)(P3)(P5)과 제1 커버 테잎(652)은 한 개의 가이드 레일(631)을 둘러싸고, 상기 제2,4,6 측면 커버판들(P2)(P4)(P6)과 제2 커버 테잎(653)은 다른 한 개의 가이드 레일(631)을 둘러싸게 된다.
상기 베이스 부재(300)의 상면에 위치하는 부품들의 위쪽을 복개판(640)이 복개한다. 상기 복개판(640)의 길이와 폭은 상기 베이스 부재(300)의 길이와 폭과 상응하게 형성되는 것이 바람직하다. 상기 복개판(640)은 상기 연결 부재(620)들의 수평부(621)와 연결부(623)들 사이에 위치하며 상기 복개판(640)의 양단은 상기 지지 블록(730)의 상면과 측면 커버부재(651)의 상면에 각각 지지된다. 상기 제1 구동유닛(710)의 모터 상면에, 도 8에 도시한 바와 같이, 디귿자 형상의 보조 지지블록(10)이 결합되고 그 보조 지지블록(10)의 상단이 상기 복개판(640)의 중간 부분을 지지하는 것이 바람직하다. 상기 복개판(640)은 제1 구동유닛(700)이 상기 직선 이동부재(600)를 움직일 때 제1 구동유닛(700), 가이드 유닛(630) 등에서 발생될 수 있는 파티클이 위로 빠져나가는 것을 억제한다.
상기 물체 이송부재(800)는 상기 직선 이동부재(600)에 움직임 가능하게 결합된다. 상기 물체 이송부재(800)는 수평 방향으로 직선 왕복 운동하게 된다. 상기 물체 이송부재(800)에 이송 대상물이 놓여진다. 이하에서, 상기 이송 대상물이 글라스인 경우에 대하여 설명한다.
상기 물체 이송부재(800)는 상기 직선 이동부재(600)의 두 개의 직선 부재(610)들을 가로질러 위치하는 몸체 부재(810)와, 상기 몸체 부재(810)의 하면에 각각 결합되는 두 개의 절곡형 연결부재(820)들과, 상기 몸체 부재(810)의 측면에 연결되는 다수 개의 지지 막대(830)들을 포함한다. 상기 몸체 부재(810)에 다수 개의 센서(S)들이 구비된다. 상기 몸체 부재(810)의 길이는 두 개의 직선 부재(610)들의 양측면 사이의 거리보다 길다. 상기 한 개의 절곡형 연결부재(820)는 한 개의 직선 부재(610)의 측면과 대면되고 한쪽 끝부분이 그 직선 부재(610)의 하면에 움직임 가능하게 연결된다. 상기 다른 한 개의 절곡형 연결부재(820)는 다른 한 개의 직선 부재(610)의 측면과 대면되고 한쪽 끝부분이 그 직선 부재(610)의 하면에 움직임 가능하게 연결된다. 상기 몸체 부재(810)의 내부에 케이블(K)이 삽입되는 통로가 구비되고 두 개의 절곡형 연결부재(820)들 모두 또는 한 개의 절곡형 연결부재(820)에 상기 몸체 부재(810)의 통로와 연결되는 통로가 구비된다. 상기 몸체 부재(810)의 통로와 절곡형 연결부재(820)의 통로는 제3 케이블 통로가 된다. 상기 지지 막대(840)들은 상기 직선 부재(610)들과 나란하다.
상기 제2 구동유닛(900)은 상기 물체 이송부재(800)를 움직인다.
상기 제2 구동유닛(900)은 상기 직선 이동부재(600)에 구비됨이 바람직하다.
상기 제2 구동유닛(900)은 좌,우측 구동유닛(910)(920)을 포함한다. 상기 좌측 구동유닛(910)은 직선 이동부재(600)를 구성하는 한 개의 직선 부재(610) 내부에 구비된다. 상기 우측 구동유닛(920)은 상기 직선 이동부재(600)를 구성하는 다른 한 개의 직선 부재(610) 내부에 구비된다.
상기 좌측 구동유닛(910)은 상기 직선 부재(610)의 한쪽 끝 내부에 구비되는 두 개의 전방 롤러(R)들과, 상기 직선 부재(610)의 다른 한쪽 끝 내부에 구비되는 두 개의 후방 롤러(R)들과, 상기 전,후방 롤러(R)들을 연결하는 구동 벨트(911)와, 상기 전,후방 롤러(R)들을 회전시키는 모터(912)를 포함한다.
상기 두 개의 전방 롤러(R)들은 상하로 위치하도록 상기 직선 부재(610)에 결합되고, 상기 두 개의 후방 롤러(R)들도 상하로 위치하도록 상기 직선 부재(610)에 결합된다.
상기 구동 벨트(911)는 사각 형상으로 형성된 연결 브라켓(911A)과, 한쪽 끝이 상기 연결 브라켓(911A)의 한쪽에 연결되고 다른 한쪽 끝이 상기 연결 브라켓(911A)의 다른 한쪽에 연결되는 벨트(911B)를 포함한다. 상기 연결 브라켓(911A)은 관통 구멍이 구비된다. 상기 구동 벨트(911)의 내측면에 상기 네 개 롤러(R)들의 외면이 접촉된다. 상기 구동 벨트(911)의 연결 브라켓(911A)은 아래쪽에 위치한다.
상기 모터(912)는 후방 롤러들 중 아래쪽에 위치하는 후방 롤러와 연결되도록 상기 직선 부재(610)에 장착된다.
상기 직선 부재(610)의 하면에, 도 5, 9에 도시한 바와 같이, 길이 방향을 따라 설정된 길이와 균일한 폭을 갖는 개구(611)가 구비된다. 상기 직선 부재(610)의 개구(611)의 폭은 상기 구동 벨트(911)의 폭과 같거나 비슷하다. 상기 직선 부재(610)의 하면쪽에 위치하는 구동 벨트 부분이 상기 직선 부재(610)의 개구(611)를 막게 된다.
상기 구동 벨트(911)의 연결 브라켓(911A)이 직선 부재(610)의 개구(611)측에 위치하며, 상기 연결 브라켓(911A)에 상기 절곡형 연결부재(820)의 한쪽 끝부분이 연결 수단(미도시)에 의해 연결된다. 상기 연결 브라켓(911A) 내부에 절곡형 연결부재(820)의 통로와 연통되는 관통구멍이 구비된다.
상기 우측 구동유닛(920)은 롤러(R)들과, 구동 벨트(921)와, 모터(922)를 포함한다. 상기 롤러(R)들과, 구동 벨트(921)와, 모터(922)는 상기 좌측 구동유닛(910)의 롤러(R)들과, 구동 벨트(911)와, 모터(912)와 같다.
상기 좌,우측 구동유닛(910)(920)의 모터(912)(922)를 동시에 작동시킨다. 상기 좌,우측 구동유닛의 모터(912)(922)를 각각 동시에 전,후방 롤러(R)들을 정방향 또는 역방향으로 회전시킨다. 상기 전,후방 롤러(R)들의 정,역 방향 회전에 따라 상기 구동 벨트들(911)(921)가 정방향 또는 역방향으로 직선 운동한다. 상기 구동 벨트들(911)(921)가 정방향 또는 역방향으로 직선 운동함에 따라 그 구동 벨트들에 연결된 물체 이송부재(800)가 직선 왕복 운동하게 된다.
한편, 상기 본체(100)에 구비된 제어박스(CB)와 물체 이송부재(800)의 센서(S)들과 제1 구동유닛의 모터(710)와, 제2 구동유닛의 모터(912)(922)들은 다수 개의 케이블(K)에 의해 연결된다. 상기 케이블(K)들은 설정된 길이를 가지며 다발로 된 묶음 형태이다. 상기 케이블(K)들이 연결되는 구조는 다음과 같다.
상기 케이블(K)들은, 도 3, 5, 6, 9에 도시한 바와 같이, 상기 제어박스(CB)에 연결되어 상기 수직 축(200) 및 상기 베이스 부재(300)를 관통하는 제1 케이블부(K1)와, 상기 제1 케이블부(K1)에서 연장되어 상기 베이스 부재(300)의 상측에 위치하는 제2 케이블부(K2)와, 상기 제2 케이블부(K2)에 연장되어 상기 직선 이동부재(600)의 내부에 위치하는 제3 케이블부(K3)와, 상기 제3 케이블부(K3)에 연장되어 상기 물체 이송부재(800)의 내부에 위치하는 제4 케이블부(K4)를 포함한다. 상기 제1 케이블부(K1)는 제어박스(CB)에서 상기 베이스 부재(300)의 상면에 이르는 케이블(K)들의 길이 방향으로 일부분이다. 상기 제1 케이블부(K1)는 제1 케이블 통로를 관통한다. 상기 제2 케이블부(K2)는 상기 베이스 부재(300)의 상면에 위치하는 케이블들의 길이 방향으로 일부분이다. 상기 베이스 부재(300)의 상면에 상기 제2 케이블부(K2)를 지지하는 제1 케이블 베어(E1)가 구비됨이 바람직하다. 상기 제1 케이블 베어(E1)는 유연성이 있어 휘어짐 가능하며 유자 형태로 형성된다. 상기 제1 케이블 베어(E1)의 한쪽 끝은 상기 제1 구동유닛(700)과 일정 거리를 두고 상기 베이스 부재(300)의 상면에 고정된다. 상기 제2 케이블부(K2)와 제1 케이블 베어(E1)는 측면 커버유닛(650) 내부에 위치하며 또한 복개판(640)의 아래에 위치한다. 상기 제3 케이블부(K3)는 제2 케이블부(K2)에서 두 개의 묶음으로 나누어져 두 개의 직선 부재(610) 내부에 각각 위치하는 케이블(K)들의 길이 방향으로 일부분이다. 상기 두 개의 제3 케이블부(K3)들 중 하나는 한 개의 직선 부재(610)에 구비된 제2 케이블 통로를 관통하고 다른 한 개의 제3 케이블부(K3)는 다른 한 개의 직선 부재(610)에 구비된 제2 케이블 통로를 관통한다. 제3 케이블부(K3)의 일부 케이블은 제2 구동유닛의 모터(912)(922)에 연결된다. 상기 직선 부재(610)의 내벽에 디귿자 형상의 고정 브라켓(10)이 구비된다. 상기 고정 브라켓(10)과 상기 구동 벨트(911)의 연결 브라켓(911A)에 유연성을 갖는 제2 케이블 베어(E2)가 연결되며 상기 제3 케이블부(K3)는 상기 제2 케이블 베어(E2)에 의해 지지된다. 상기 제4 케이블부(K4)는 물체 이송부재(800)의 내부에 위치하는 케이블(K)들의 길이 방향으로 일부분이다. 상기 제4 케이블부(K4)는 상기 연결 브라켓(911A)의 관통 구멍과 제3 케이블 통로를 관통한다. 상기 제4 케이블부(K4)의 끝은 물체 이송부재(800)에 구비된 센서(S)들에 연결된다.
상기 케이블(K)들은 이송 로봇의 외부로 노출되지 않으므로 이송 로봇의 움직임과 함께 케이블(K)들이 움직일 때 케이블(K)들에서 이물질이 발생하게 될 경우 그 이물질들이 이송 로봇 외부로 빠져나오는 것을 억제한다.
한편, 이송 로봇의 내부에 버큠을 이용한 파티클 제거장치를 구비하여 이송 로봇 내부에서 파티클이 발생될 경우 그 발생된 파티클을 파티클 제거장치를 이용하여 제거한다.
이하, 본 발명에 따른 이송 로봇의 파티클 누출방지장치의 작용 효과를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 이송 로봇의 작동을 설명하면, 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(700)이 상기 직선 이동부재(600)를 적재 케이스쪽으로 이동시킨다. 상기 물체 이송부재(800)가 상기 직선 이동부재(600)에 장착되므로 상기 직선 이동부재(600)의 움직임에 따라 상기 물체 이송부재(800)가 상기 직선 이동부재(600)와 함께 움직인다. 상기 제2 구동유닛(900)이 상기 물체 이송부재(800)를 이송시킬 글라스 아래쪽으로 이동시킨다. 이때, 상기 물체 이송부재(800)는 상기 직선 이동부재(600)를 따라 움직인다. 상기 물체 이송부재(800)가 상기 글라스의 하면을 받치도록 상기 상하 구동유닛(400)이 상기 수직 축(200)을 위쪽으로 이동시킨다. 상기 물체 이송부재(800)의 지지 막대(840)들 위에 상기 글라스가 놓여진다. 상기 물체 이송부재(800)가 상기 직선 이동부재(600)의 중간 부분에 위치하도록 상기 제2 구동유닛(900)이 상기 물체 이송부재(800)를 이동시킨다. 그리고 상기 직선 이동부재(600)의 중간 부분이 수직 축(200)의 상부에 위치하도록 상기 제1 구동유닛(700)이 상기 직선 이동부재(600)를 이동시킨다. 상기 물체 이송부재(800)에 놓인 글라스를 장비에 놓을 수 있도록, 도 11에 도시한 바와 같이, 상기 회전 구동유닛(500)이 상기 베이스 부재(300)을 설정된 각도로 회전시킨다. 상기 제1 구동유닛(700)이 상기 직선 이동부재(600)를 장비쪽으로 이동시킨다. 그리고 상기 제2 구동유닛(900)이 상기 물체 이송부재(800)를 장비쪽으로 이동시킨다. 상기 물체 이송부재(800)의 지지 막대(840)들위에 놓여진 글라스가 장비에 놓여지도록 상기 상하 구동유닛(400)이 상기 수직 축(200)을 아래쪽으로 움직인다. 상기 글라스가 장비에 놓여진다.
상기 물체 이송부재(800)가 상기 직선 이동부재(600)의 중간 부분에 위치하도록 상기 제2 구동유닛(900)이 상기 물체 이송부재(800)를 이동시킨다. 그리고 상기 직선 이동부재(600)의 중간 부분이 수직 축(200)의 상부에 위치하도록 상기 제1 구동유닛(700)이 상기 직선 이동부재(600)를 이동시킨다. 그리고 상기 물체 이송부재(800)가 적재 케이스를 향하도록 상기 본체(100)의 회전 구동유닛이 상기 수직 축(200)을 설정된 각도로 회전시킨다.
위와 같은 작동들이 반복적으로 진행되면서 상기 적재 케이스에 적재된 글라스들을 장비로 이송시킨다.
상기 제1 구동유닛(700)이 상기 직선 이동부재(600)를 이동시키는 과정에서 상기 제1 구동유닛(700)과 가이드 유닛(630) 등에서 파티클이 발생되면 상기 직선 부재(610)들의 상부를 복개하는 복개판(640)과 측면 커버유닛(650)에 의해 그 파티클이 이송 로봇 외부로 빠져나오는 것을 최소화시키게 된다.
상기 제어유닛(CB)과 센서들, 제1 구동유닛(700), 제2 구동유닛(900) 등을 연결하는 케이블(K)들이 본체(100) 내부와 측면 커버유닛(650)와 복개판(640) 내부와 직선 이동부재(600) 내부와 물체 이송부재(800) 내부에 위치하게 되므로 이송 로봇의 작동시 케이블(K)들에서 파티클들이 발생될 경우 이송 로봇 외부로 누출되는 것을 최소화시키게 된다.
또한, 상기 제2 구동유닛(900)이 상기 직선 이동부재(600)의 직선 부재(610)들 내부에 위치하게 되므로 상기 제2 구동유닛(900)이 작동할 때 그 제2 구동유닛(900)에서 파티클이 발생되며 그 파티클은 직선 부재(610) 내부에 잔류하게 되므로 그 파티클이 이송 로봇 외부로 빠져나오는 것을 최소화시키게 된다.
이와 같이 본 발명은 이송 로봇 작동시 이송 로봇 내부에서 파티클이 발생될 경우 그 파티클이 이송 로봇 외부로 누출되는 것을 최소화하게 되므로 파티클로 인한 제품의 불량을 최소화한다.
100; 본체 300; 베이스 부재
600; 직선 이동부재 450; 측면 커버유닛
K1; 제1 케이블부 K2; 제2 케이블부
K3; 제3 케이블부 K4; 제4 케이블부

Claims (6)

  1. 본체; 상기 본체에 움직임 가능하게 결합되는 수직 축; 상기 수직 축에 결합되며, 수평으로 위치하는 베이스 부재; 상기 베이스 부재의 상면에 장착되며, 상기 직선 이동부재를 움직이는 제1 구동유닛; 상기 베이스 부재를 따라 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되는 직선 이동부재; 상기 직선 이동부재를 따라 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 이송 대상물이 놓여지며, 센서들이 구비된 물체 이송부재; 및 상기 직선 이동부재에 구비되며, 상기 물체 이송부재를 움직이는 제2 구동유닛을 포함하는 이송 로봇에 있어서,
    상기 본체 내부에서 시작되어 상기 수직 축 및 상기 베이스 부재를 관통하는 제1 케이블부와, 상기 제1 케이블부에서 연장되어 상기 베이스 부재의 상측에 위치하는 제2 케이블부와, 상기 제2 케이블부에 연장되어 상기 직선 이동부재의 내부에 위치하는 제3 케이블부와, 상기 제3 케이블부에 연장되어 상기 물체 이송부재의 내부에 위치하는 제4 케이블부를 포함하는 케이블과;
    상기 베이스 부재의 상측에 위치한 부품들의 측면을 감싸는 측면 커버유닛;
    상기 베이스 부재의 상면에 위치한 부품들의 상측을 복개하는 복개판;을 포함하는 이송 로봇의 파티클 누출방지장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스 부재의 상부에 상기 제2 케이블부를 지지하는 케이블 베어가 구비된 것을 특징으로 하는 이송 로봇의 파티클 누출방지장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 직선 이동부재의 내부에 상기 제3 케이블부를 지지하는 케이블 베어가 구비된 것을 특징으로 하는 이송 로봇의 파티클 누출방지장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 직선 이동부재는 설정된 길이를 가지며, 상기 베이스 부재의 양쪽에 각각 위치하는 두 개의 직선 부재들; 및 상기 두 개의 직선 부재들이 설정된 간격을 유지하도록 상기 두 개의 직선 부재들을 연결하는 복수 개의 연결 부재들을 포함하며, 상기 제3 케이블부는 상기 두 개의 직선 부재들 각각 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 로봇의 파티클 누출방지장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 측면 커버유닛은 상기 베이스 부재의 길이 방향 한쪽 끝부분에 위치하는 지지 블록과, 상기 베이스 부재의 길이 방향 다른 한쪽 끝부분에 위치하는 측면 커버부재와, 상기 베이스 부재의 폭 방향 한쪽에 위치하여 상기 베이스 부재의 상측 한쪽 측면을 커버하는 제1 커버 테잎과, 상기 베이스 부재의 폭 방향 다른 한쪽에 위치하여 상기 베이스 부재의 상측 다른 한쪽 측면을 커버하는 제2 커버 테잎을 포함하는 이송 로봇의 파티클 누출방지장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 복개판은 상기 베이스 부재의 상면 한쪽에 구비되는 지지 블록과 상기 베이스 부재의 상면 다른 한쪽에 구비되는 측면 커버부재와 상기 제1 구동유닛의 상면에 구비된 보조 지지블록에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 이송 로봇의 파티클 누출방지장치.

KR1020110119053A 2011-11-15 2011-11-15 이송 로봇의 파티클 누출방지장치 KR101334690B1 (ko)

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