KR101016044B1

KR101016044B1 - 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치

Info

Publication number: KR101016044B1
Application number: KR1020100063450A
Authority: KR
Inventors: 강우성
Original assignee: 강우성
Priority date: 2010-07-01
Filing date: 2010-07-01
Publication date: 2011-02-23

Abstract

본 발명은 오토 리드장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프레임; 상기 프레임 상부에 배열되고, 전후방으로 이동 가능한 주행수단; 상기 주행수단과 연결되고, 반도체 장비의 리드를 업 다운시키기 위한 승하강수단; 및 상기 주행수단 및 승하강수단에 의하여 이송된 상기 리드를 반전시키기 위한 회동수단을 포함하여 이루어져, 주행수단, 승하강수단 및 회동수단에 의하여 리드를 들어 올려 인접한 위치에 마련된 유지보수 작업을 위한 위치로 리드를 이송하고, 리드를 하강시켜 180도 반전시키는 일련의 공정이 완전 자동화로 구현됨으로 작업 효율성이 높아지고, 또한 리드의 정기적인 유지보수 작업이 일련 자동화 공정을 통하여 쉽고 용이하게 이루어질 수 있으며, 아울러 인건비의 절감을 통한 경제성 및 안전사고를 원천적으로 차단할 수 있는 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 제안하고자 한다.

Description

반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치{APPARATUS FOR AUTO-MAINTENANCE}

본 발명은 반도체 장비, 특히 LCD, PDP와 같은 디스플레이 장치의 박막을 처리를 위한 장비에 구비된 리드(또는 뚜껑)를 정기적으로 유지보수를 하게 되는데, 이러한 장비의 리드는 수백kg 이상의 무게를 갖기 때문에 수작업을 통하여 작업을 하는 것이 어렵다는 것을 감안하여, 주행수단, 승하강수단 및 회동수단에 의하여 리드를 들어 올려 인접한 위치에 마련된 유지보수 작업을 위한 위치로 리드를 이송하고, 리드를 하강시켜 180도 반전시키는 일련의 공정이 완전 자동화로 구현됨으로 작업 효율성이 높아지고, 또한 리드의 정기적인 유지보수 작업이 일련 자동화 공정을 통하여 쉽고 용이하게 이루어질 수 있으며, 아울러 인건비의 절감을 통한 경제성 및 안전사고를 원천적으로 차단할 수 있는 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 장비, 특히 LCD, PDP와 같은 디스플레이 장치의 박막을 처리를 위한 장비에 구비된 리드(또는 뚜껑)는 장비 내부에 위치하는 그 내측면을 정기적으로 정비나 청소 및 세척 등과 같은 유지보수 작업을 수행하여야 제품의 품질을 높일 수 있게 된다.

그러나 종래에는 이러한 장비들의 리드를 위한 유지보수장치들이 대부분 수작업으로 수행되거나, 또는 자동화되어 있지 않고,

무엇보다도 이러한 장비들의 리드는 수백kg의 무게와 상당히 큰 사이즈를 갖기 때문에 작업 속도가 더딜 뿐만 아니라,

은 노동력을 필요로 하여 작업 능률이나, 추가적인 비용의 지출이 많다는 문제가 있으며, 또한 안전사고에 대한 위험이 상존하는 문제가 있다.

따라서 반도체 장비의 리드를 정기적은 정비하고, 유지 및 보수를 보다 쉽고 간편하게 진행함과 동시에, 작업 능률이나 비용의 지출 및 안전사고를 미연에 방지할 수 있는 장치에 개발이 절실히 요구되고 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로,

반도체 장비, 특히 LCD, PDP와 같은 디스플레이 장치의 박막을 처리를 위한 장비에 구비된 리드(또는 뚜껑)를 정기적으로 유지보수를 하게 되는데, 이러한 장비의 리드는 수백kg 이상의 무게를 갖기 때문에 수작업을 통하여 작업을 하는 것이 어렵다는 것을 감안하여,

주행수단, 승하강수단 및 회동수단에 의하여 리드를 들어 올려 인접한 위치에 마련된 유지보수 작업을 위한 위치로 리드를 이송하고, 리드를 하강시켜 180도 반전시키는 일련의 공정이 완전 자동화로 구현됨으로 작업 효율성이 높아지고,

또한 리드의 정기적인 유지보수 작업이 일련 자동화 공정을 통하여 쉽고 용이하게 이루어질 수 있으며,

아울러 인건비의 절감을 통한 경제성 및 안전사고를 원천적으로 차단할 수 있는 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 제공하는 것을 하나의 목적으로 한다.

그리고 본 발명에 따른 진출입수단은 승하강수단과 리드의 결합 및 분리가 신속하고 정밀도 높아 작업 능률 및 작업 신뢰성을 보장할 수 있으며,

아울러 회동수단에 의한 리드의 반전을 위한 구성이 리드에 구비된 구동롤러가 프레임에서 공회전하는 한 쌍의 가이드롤러에 얹히어 일측 구동롤로에 연결된 구동모터의 구동에 의하여 일정 이상의 무게를 갖는 리드를 반전시키는 것이 쉽고 용이하게 할 수 있는 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 제공하는 것을 또 하나의 목적으로 한다.

더 나아가 회동수단에 의하여 반전된 리드를 위치결정수단이 고정시켜 줌으로써 유지보수 작업 지 작업 안정성 및 작업 편의성을 보장할 수 있는 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 제공하는 것을 또 하나의 목적으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치는 프레임; 상기 프레임 상부에 배열되고, 전후방으로 이동 가능한 주행수단; 상기 주행수단과 연결되고, 반도체 장비의 리드를 업 다운시키기 위한 승하강수단; 및 상기 주행수단 및 승하강수단에 의하여 이송된 상기 리드를 반전시키기 위한 회동수단;을 포함하여 이루어진다.

본 발명에 따른 상기 리드에는 복수의 장착부가 더 구비되고, 상기 승하강수단에는 상기 각 장착부와의 결합 및 분리를 위한 진출입수단이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 상기 리드의 양측부에는 구동롤러가 더 구비되고,

상기 회동수단은 상기 프레임의 일측에 구비되고, 상기 구동롤러와 연결되는 구동모터와, 상기 프레임의 양측부에 각각 한 쌍으로 구비되고, 상기 각 구동롤러가 얹히는 가이드롤러를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 상기 프레임에는 상기 회동수단에 의하여 반전된 리드의 위치 고정을 위한 위치결정수단이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치는 반도체 장비, 특히 LCD, PDP와 같은 디스플레이 장치의 박막을 처리를 위한 장비에 구비된 리드(또는 뚜껑)를 정기적으로 유지보수를 하게 되는데, 이러한 장비의 리드는 수백kg 이상의 무게를 갖기 때문에 수작업을 통하여 작업을 하는 것이 어렵다는 것을 감안하여,

아울러 회동수단에 의한 리드의 반전을 위한 구성이 리드에 구비된 구동롤러가 프레임에서 공회전하는 한 쌍의 가이드롤러에 얹히어 일측 구동롤로에 연결된 구동모터의 구동에 의하여 일정 이상의 무게를 갖는 리드를 반전시키는 것이 쉽고 용이하게 할 수 있게 된다.

더 나아가 회동수단에 의하여 반전된 리드를 위치결정수단이 고정시켜 줌으로써 유지보수 작업 지 작업 안정성 및 작업 편의성을 보장할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 나타내는 정면도,
도 2 내지 도 4는 도 1의 'A', 'B', 'C' 부분을 나타내는 확대도,
도 5는 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 나타내는 측면도 및 작동상태도,
도 6은 도 5의 'D' 부분을 나타내는 확대도,
도 7은 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 나타내는 평면도 및 확대도.

본 발명에 따른 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.

우선 본 명세서상에서 사용되는 방향기준을 첨부된 도 ??를 참조하여 특정하며,

도 5의 지면상에서 우측방향(도 7에서는 지면상에서 아랫방향)을 '전방부'라 하고, 지면상에서 좌측방향(도 7에서는 지면상에서 윗방향)을 '후방부'라고 특정한다.

도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치

프레임(10); 상기 프레임(10) 상부에 배열되고, 전후방으로 이동 가능한 주행수단(20); 상기 주행수단(20)과 연결되고, 반도체 장비의 리드(1)를 업 다운시키기 위한 승하강수단(30); 및 상기 주행수단(20) 및 승하강수단(30)에 의하여 이송된 상기 리드(1)를 반전시키기 위한 회동수단(40);을 포함하여 이루어진다.

도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치에서, 상기 프레임(10)은

일측에는 반도체 장비가 고정되고, 타측에는 리드(1)를 위한 유지보수 작업에 필요한 각종 장비들이 구비된다.

본 발명에 따른 프레임(10)은 다수의 수직부재(11)가 직립하여 세워져 배열되고, 상기 수직부재(11)를 지지하기 위해 다수의 수평부재(13)가 연결 고정되어 대략 직육면체의 골격을 형성하게 된다.

그리고 상기 프레임(10)의 상부에 양측에 위치하는 각 수평부재(13)의 상면부에는 가이드레일(15)이 그 길이방향을 따라 구비되어 있어 주행수단(20)이 상기 각 가이드레일(15)을 타고 전후 방향으로 왕복 직선 운동을 하게 된다.

이 경우 일측에 위치하는 수평부재(13)는 상기 프레임(10)의 전방부에서 후방부까지 일직선상에 배열되나, 타측에 위치하는 수평부재(13)는 상기 프레임(10)의 전방부와 후방부에서 동일선상에 배열되지 않는데,

이는 본 발명에 따른 유지보수장치와 다른 작업 공정을 수행하는 장비들과의 배열 구조를 보다 효과적으로 구성하기 위한 필요에 의한 것이다.

아울러 상기 프레임(10)의 전방부에서 그 중간 부분에 위치한 수평부재(13)들에는 반도체 장비를 프레임(10)과 고정시키기 위한 연결블록(17)들이 구비되어, 상기 연결블록(17)에 반도체 장비가 결합되어 고정된다.

또한 상기 프레임(10)의 후방부에서 그 상부 부분에는 프레임(10)의 길이방향을 따라 양측부에 수평부재(13)가 구비되고,

동시에 상기 수평부재(13) 중 일측에 위치하는 수평부재(13) 외측에는 수직부재(11)가 구비되어 상기 수평부재(13)와 수직부재(11)에 회동수단(40)이 장착된다.

도 1, 도 3, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드(1)를 위한 자동 유지보수장치에서, 상기 주행수단(20)은

상기 프레임(10) 상부에 배열되고, 전후방으로 이동하여 리드(1)를 이송시키는 역할을 하게 된다.

본 발명에 따른 주행수단(20)은 주행본체(21)와,

상기 주행본체(21) 양측 하면부에 연결되고, 주행롤러(24)가 구비된 주행체(23)와,

상기 주행본체(21)와 연결되고, 양측으로 구동축(25a)이 구비된 주행모터(25)와,

상기 주행모터(25)의 각 구동축(25a)과 일단부가 연결되고, 상기 주행체(23)의 주행롤러(24)와 타단부가 연결되는 구동샤프트(27)를 포함하여 이루어진다.

즉 상기 주행수단(20)에서 상기 주행본체(21)는 블록형태로 이루어져 승하강수단(30)이 연결되고,

상기 주행체(23)의 주행롤러(24)는 상기 프레임(10)의 가이드레일(15)에 얹히어 상기 구동모터가 회전하는 경우 상기 구동샤프트(27)에 의하여 구동력을 전달받아 회전하여 상기 주행본체(21)를 전후방으로 이동하게 함으로써 승하강수단(30)에 의하여 들어 올리어진 리드(1)를 이송시킬 수 있게 된다.

그리고 상기 프레임(10)의 가이드레일(15)이 동일선상에 배열되지 않은 측에 위치하는 주행체(23)에는 상기 주행롤러(24)가 2열로 배열되어 주행수단(20)에 의하여 전방부 또는 후방부를 향해 주행하는 경우 해당 가이드레일(15)을 주행할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

또한 상기 가이드레일(15)을 타고 활주하는 주행롤러(24)에는 안내홈(24a)이 형성되어 상기 가이드레일(15)에 삽입되어 안내함으로써 상기 주행롤러(24)가 주행 시 가이드레일(15)에서 이탈하는 것을 방지하여 안정적인 이송 작업을 수행할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

도 1, 도 2, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드(1)를 위한 자동 유지보수장치에서, 상기 승하강수단(30)은

상기 주행수단(20)과 연결되고, 반도체 장비의 리드(1)를 장착하여 리드(1)를 승강시켜 상기 주행수단(20)에 의하여 리드(1)를 이송한 후 하강시켜 리드(1)를 이송할 수 있도록 하는 역할을 하게 된다.

본 발명에 따른 승하강수단(30)은 상기 주행본체(21) 상부에 연결되고, 양측으로 구동축(31a)이 구비된 승하강모터(31)와,

상기 승하강모터(31)의 각 구동축(31a)과 연결되는 제1 연동샤프트(32)와,

상기 주행본체(21)와 연결되고, 상기 승하강모터(31)를 중심으로 네 지점에 배열되는 승하강작동부(33)를 포함하여 이루어진다.

아울러 승하강작동부(33) 중에서 상호 인접한 위치에 배열된 승하강작동부(33)에는 제2 연동샤프트(34)가 각각 구비되어 상기 제1 연동샤프트(32)와 연결되는데,

이때 상기 제1 연동샤프트(32)의 각 단부에는 양면 베벨기어 연결되어 있고,

상기 제2 연동샤프트(34)의 각 단부에는 베벨기어가 연결되며,

상기 제1 연동샤프트(32)의 각 양면 베벨기어와, 이에 치합되는 각 제2 연동샤프트(34)의 베벨기어는 기어박스(5) 내에 내장되어 보호된다.

이 경우 상기 각 제1 연동샤프트(32)의 양면 베벨기어에는 상호 인접한 위치에 구비된 제2 연동샤프트(34)의 베벨기어 치합되되,

상기 제1 연동샤프트(32)의 내측 베벨기어에 하나의 제2 연동샤프트(34)의 베벨기어가 치합되고,

동시에 상기 제1 연동샤프트(32)의 외측 베벨기어에는 또 다른 하나의 제2 연동샤프트(34)의 베벨기어가 치합된다.

따라서 상기 승하강모터(31)가 구동되면서 상기 제1 연동샤프트(32)가 구동력을 양측으로 전달하고,

상기 제1 연동샤프트(32)의 각 양면 베벨기어에 연결된 각 제2 연동샤프트(34)는 동일한 방향으로 회전하여 상기 각 승하강작동부(33)가 동시에 상승 및 하강할 수 있게 된다.

이는 하나의 승하강모터(31)의 구동에 의하여 상기 네 개 지점의 승하강작동부(33)가 동시에 승강 또는 하강할 수 있도록 함으로써 구성요소를 최소화하고, 또한 전력 소모량을 극감하여 비용을 절감할 수 있는 이점을 얻게 된다.

본 발명에 따른 승하강작동부(33)는 상기한 바와 같이 상기 주행본체(21)의 네 개 지점에 배열되는데,

이는 상기 리드(1)의 상면부에는 복수의 장착부(2)가 더 구비되며,

상기 장착부(2)는 상기 리드(1)에 네 개 지점에 위치하게 되므로 상기 리드(1)의 각 장착부(2)에 결합되는 승하강작동부(33)의 개수 역시 상기 장착부(2)에 대응하도록 구성되어야 하기 때문이다.

상기 승하강작동부(33)는 상기한 바와 같이 제2 연동샤프트(34)의 단부에 구비된 피니언기어부(35),

상기 피니언기어와 치합되고, 수직방향으로 배열되는 래크기어부(36)와,

상기 래크기어부(36)와 연결된 연장축(37)과,

상기 연장축(37) 하단부에 연결되고, 상기 장착부(2)에 상응하는 대응장착부(38)를 포함하여 이루어진다.

그리고 상기 피니언기어부(35)와 래크기어부(36)는 상기 주행본체(21)에 형성된 지지체(21a)와 연결된 기어박스(5) 내에 내장되고,

상기 기어박스(5) 상부에 연결되고, 상기 래크기어부(36)가 수용되는 관 형태의 보호관(6)과, 상기 연장축(37)의 외측을 감싸는 자바라(7)와 같은 보호부재를 도입하여

상기 래크기어부(36)와 연장축(37)이 외부로 노출되는 것을 방지함으로서 먼지나 기타 이물질 등의 침투를 차단하여 작동신뢰성을 보장할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

따라서 상기 승하강작동부(33)는 승하강모터(31)의 구동으로 각 제1 연동샤프트(32)가 회전을 하게 되고,

이때 양방향으로 구비된 각 제1 연동샤프트(32)에는 직교하는 형태로 두 개의 제2 연동샤프트(34)가 베벨기어에 의하여 연결되어 있어 연동하여 회전하게 되며,

동시에 상기 피니언기어부(35)가 회전하게 되고, 이때 상기 피니언기어부(35)에 치합된 래크기어부(36)가 작동하여 상승 또는 하강하게 된다.

한편 본 발명에 따른 승하강수단(30)에는 상기 리드(1)의 각 장착부(2)와 승상강작동부의 대응장착부(38)와의 결합 및 분리 작업을 신속하고 정확하게 수행할 수 있는 진출입수단(50)이 더 구비되어

리드(1)의 이송이나, 또는 이송 후 작업이 단속 없이 이루어질 수 있도록 함으로써 작업 연속성 및 신속성을 보장할 수 있게 된다.

우선 상기 리드(1)의 각 장착부(2)는 돌기 형태로 이루어지고, 이에 대응하는 승하강작동부의 대응장착부(38)는 돌기 형태의 장착부(2)를 수용할 수 있는 홈 형태로 이루어지고,

상기 각 장착부(2)와 대응장착부(38)에는 상호 결합된 후 동일선상에 배열되어 연통하는 삽입공(2a)과, 대응삽입공(38a)이 각각 형성되며,

아울러 상기 승하강작동부(33)의 대응장착부(38) 상부에는 고정플레이트(39)가 연결되어 있다.

본 발명에 따른 진출입수단(50)은 상기 고정플레이트(39)와 연결되고, 수용부(51a)를 갖는 몸체(51)와,

상기 몸체(51)의 수용부(51a)에 구비되는 작동실린더(53)와,

상기 작동실린더(53)의 피스톤과 연결되고, 작동실린더(53)의 작동으로 진출입하는 삽입핀(55)을 포함하여 이루어진다.

즉 상기 리드(1)를 승하강수단(30)이 승강하기 위해 승하강작동부(33)의 대응장착부(38)가 하강하여 상기 리드(1)의 장착부(2)와 결합되면

상기 장착부(2)와 대응장착부(38)의 삽입공(2a)과 대응삽입공(38a)은 그 중심축이 동일선상에 놓이게 되고,

이때 상기 진출입수단(50)의 작동실린더(53)가 작동하게 되면 상기 삽입핀(55)이 삽입공(2a)과 대응삽입공(38a)에 관통 삽입되어 상기 리드(1)의 장착부(2)와 승하강작동부(33)의 대응장착부(38)를 결합시키게 된다.

이 상태에서 상기 승하강수단(30)이 작동하여 상승하여 상기 리드(1)를 들어 올리게 되고,

이때 일정한 높이에서 상기 승하강수단(30)은 작동을 멈추고, 상기 주행수단(20)이 작동하여 상기 리드(1)를 이송시키게 된다.

그리고 후방부에 위치하는 프레임(10)까지 리드(1)를 이송한 후, 상기 승하강수단(30)이 작동하여 리드(1)를 내려놓게 되면,

상기 진출입수단(50)이 작동하여 상기 삽입핀(55)을 상기 장착부(2) 및 대응장착부(38)의 삽입공(2a) 및 대응삽입공(38a)에서 배출시켜 상기 장착부(2)와 대응장착부(38)의 결합을 해제시키게 된다.

도 1, 도 4, 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드(1)를 위한 자동 유지보수장치에서, 상기 회동수단(40)은

상기 주행수단(20) 및 승하강수단(30)에 의하여 이송된 상기 리드(1)를 반전시켜 그 내측부의 정비 및 유지보수를 위한 작업이 쉽고 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 역할을 하게 된다.

본 발명에 따른 회동수단(40)은 상기 프레임(10)의 일측에 구비되고, 상기 리드(1)의 구름롤러(3)와 연결되는 회동모터(41)와,

상기 프레임(10)의 양측부에 각각 한 쌍으로 구비되고, 상기 각 구름롤러(3)가 얹히는 가이드롤러(45)를 포함하여 이루어진다.

본 발명에 따른 회동수단(40)에서 상기 회동모터(41)는 상기 프레임(10)의 후방부에 배열되고, 그 상부 부분에 위치하는 수평부재(13)의 일측에 구비된 수직부재(11)의 상단부에 고정되며,

상기 가이드롤러(45)는 상기 프레임(10)의 후방부 상부 부분에 위치하는 양측 수평부재(13)에 공회전 가능하도록 구비된다.

아울러 상기 구름롤러(3)에는 그 외주면에는 환형의 수 또는 암가이드부가 형성되고,

상기 가이드롤러(45)에는 상기 구름롤러(3)의 각 가이드부에 대응하는 환형의 암 또는 수가이드부가 구비되며,

아울러 상기 구름롤러(3) 단부면에는 수 또는 암고정부가 형성되고, 상기 회동모터(41)에 구비된 회동축(43) 단부면에는 상기 구름롤러(3)의 각 고정부에 대응하는 암 또는 수고정부가 형성된다.

다만 첨부된 도 4 및 도 7에는 상기 구름롤러(3)의 가이드부는 수가이드부(3a)이고, 상기 가이드롤러(45)의 가이드부는 암가이드부(45a)로 도시되어 있으며,

상기 구름롤러(3)의 고정부는 수고정부(3b)이고, 상기 회동축(43)의 고정부(43a)는 암고정부(43a)로 도시되어 있으므로 이하에서는 이를 기준으로 설명하겠으나,

이는 상기한 바와 같이 반대의 경우에도 동일한 기능 및 효과를 얻을 수 있음을 밝힌다.

즉 상기 리드(1)의 구름롤러(3)가 가이드롤러(45)에 얹히는 경우 상기 구름롤러(3)는 한 쌍의 가이드롤러(45) 사이에 놓이게 되고,

이때 상기 구름롤러(3)의 수가이드부(3a)(즉, 환형의 가이드돌기(3a))가 상기 각 가이드롤러(45)의 암가이드부(45a)(즉, 환형의 가이드홈(45a))에 삽입되어 지지됨으로써 구동 시 상호간의 이탈을 방지하게 되어 작업의 안정성 및 작동 신뢰성을 보장할 수 있게 된다.

그리고 상기 리드(1)의 구름롤러(3)가 상기 가이드롤러(45)에 얹히게 되면,

상기 회동모터(41)의 회동축(43)이 인출되어 상기 회동축(43)의 암고정부(43a)(즉, 고정홈(43a))와 상기 구름롤러(3)의 수고정부(3a)(즉, 고정돌기(3a))가 결합되어 고정됨으로써

상기 회동모터(41)의 구동력에 의하여 상기 리드(1)의 구름롤러(3)가 공회전하는 가이드롤러(45)에 지지를 받으면서 회전하여 상기 리드(1)를 180도로 반전시킬 수 있게 된다.

이때 상기 고정돌기(3a)와 고정홈(43a)에는 상호 결합 후 헛도는 경우 회동모터(41)의 구동력이 전달되지 않는 것을 방지하기 위한 공회전방지부(47)가 구비되는 것이 바람직하고,

상기 공회전방지부(47)는 다양한 형태로 구현이 가능한데,

우선 상기 고정돌기(3a)와 고정홈(43a)에는 각각 키홈이 형성되어 각 키홈에 키가 삽입되는 방식과,

상기 고정돌기(3a)의 외측면과, 상기 고정홈(43a)의 내측면에 상호 치합 가능한 기어 형태를 도입하는 것도 가능하다.

따라서 상기 주행수단(20)에 의하여 전방부에서 후방부로 이송된 리드(1)가 상기 승하강수단(30)에 의하여 하강하면 상기 리드(1)의 각 구름롤러(3)는 상기 각 가이드롤러(45)에 얹히고,

이때 상기 리드(1)의 구름롤러(3)가 회동모터(41)의 회동축(43)과 결합되어 구동모터의 구동 시 리드(1)가 180도 반전되어 리드(1)의 내측부가 상부 방향을 향하도록 배열되어 리드(1)의 정비 및 유지부수작업을 쉽고 용이하게 할 수 있게 된다.

한편 상기 회동수단(40)에 의하여 상기 리드(1)가 반전되는 경우 상기 리드(1)는 일정한 사이즈를 갖기 때문에 상기 리드(1)의 회전 공간을 확보하게 위해

상기 주행수단(20)과 승하강수단(30)은 리드(1)를 하강시킨 후, 전방부로 이동하여 상기 리드(1)의 회전 공간을 확보할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

도 1 및 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 장비의 리드(1)를 위한 자동 유지보수장치에서, 상기 위치결정수단(60)은

상기 프레임(10)에 구비되고, 상기 회동수단(40)에 의하여 반전된 리드(1)를 위치 고정시켜 작업 시 리드(1)를 안정적으로 지지하는 역할을 하게 된다.

본 발명에 따른 위치결정수단(60)은 상기 프레임(10)의 후방부 상부 부분에 위치하는 수평부재(13)에 복수로 연결된 실린더(61)와,

상기 실린더(61)의 실린더로드(61a)와 연결되는 위치결정봉(63)을 포함하여 이루어진다.

그리고 상기 리드(1)의 양측면부에는 상기 위치결정봉(63)에 대응하는 위치결정홈(4)이 형성되어 상기 실린더(61)의 구동에 의하여 위치결정봉(63)이 상기 리드(1)의 위치결정홈(4)에 삽입되어 상기 리드(1)의 위치를 고정시키게 된다.

즉 본 발명에 따른 위치결정수단(60)은 상기 주행수단(20)과 승하강수단(30)에 의하여 이송된 리드(1)가 하강하는 경우와,

상기 회동수단(40)에 의하여 리드(1)가 180도 반전되는 경우에는 위치결정봉(63)이 후퇴해 있다가 리드(1)가 반전되고, 그 이후에 상기 위치결정수단(60)의 실린더(61)가 작동하여 상기 위치결정봉(63)이 상기 리드(1)의 위치결정홈(4)에 삽입되어 위치를 고정시키게 된다.

따라서 상기 위치결정수단(60)이 상기 리드(1)를 안정적으로 지지하여 유지보수를 위한 작업 시 리드(1)가 흔들리거나 또는 반전된 상태에 다시 회전하는 것을 방지함으로써

작업이 안정적으로 이루어져 작업 편의성 및 작업 신속성을 보장할 수 있고,

아울러 리드(1)의 거치 상태가 불안정한 경우 발생할 수 있는 안전사고를 미연에 방지할 수 있게 된다.

더 나아가 본 발명에 따른 주행수단 및 승하강수단에는 센서(70)가 구비되어 작동범위나 작동상태를 감시 및 제어하고,

아울러 첨부된 도면에는 도시되지 않았지만 상기 구동샤프트, 제1 및 제2 연동샤프트에는 각각 축을 감싸는 보호부재가 구비되며,

또한 각 모터의 구동축, 샤프트의 연결 부분에는 조인트가 구비되어 있는 것이 바람직하다.

이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 반도체 장비의 리드를 위한 자동 유지보수장치를 설명함에 있어 특정 형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

P : 반도체 장비
1 : 리드 2 : 장착부
2a : 삽입공 3 : 구름롤러
3a : 수가이드부(가이드돌기) 3b : 수고정부(고정돌기)
4 : 위치결정홈 5 : 기어박스
6 : 보호관 7 : 자바라
10 : 프레임 11 : 수직부재
13 : 수평부재 15 : 가이드레일
17 : 연결블록
20 : 주행수단 21 : 주행본체
21a : 지지체 23 : 주행체
24 : 주행롤러 24a : 안내홈
25 : 주행모터 25a : 구동축
27 : 구동샤프트
30 : 승하강수단 31 : 승하강모터
31a : 구동축 32 : 제1 연동샤프트
33 : 승하강작동부 34 : 제2 연동샤프트
35 : 피니언기어부 36 : 래크기어부
37 : 연장축 38 : 대응장착부
38a : 대응삽입공 39 : 고정플레이트
40 : 회동수단 41 : 회동모터
43 : 회동축 43a : 암고정부(고정홈)
45 : 가이드롤러 45a : 암가이드부(가이드홈)
47 : 공회전방지부
50 : 진출입수단 51 : 몸체
51a : 수용부 53 : 작동실린더
55 : 삽입핀
60 : 위치결정수단 61 : 실린더
61a : 실린더로드 63 : 위치결정봉
70 : 센서

Claims

프레임;
상기 프레임 상부에 배열되고, 전후방으로 이동 가능한 주행수단;
상기 주행수단과 연결되고, 반도체 장비의 리드를 업 다운시키기 위한 승하강수단; 및
상기 주행수단 및 승하강수단에 의하여 이송된 상기 리드를 반전시키기 위한 회동수단;을 포함하여 이루어지며,
상기 주행수단은
주행본체와,
상기 주행본체 양측 하면부에 연결되고, 주행롤러가 구비된 주행체와,
상기 주행본체와 연결되고, 양측으로 구동축이 구비된 주행모터와,
상기 주행모터의 각 구동축과 일단부가 연결되고, 상기 주행체의 주행롤러와 타단부가 연결되는 구동샤프트를 포함하여 이루어지고,
상기 승하강수단은
상기 주행본체 상부에 연결되고, 양측으로 구동축이 구비된 승하강모터와,
상기 승하강모터의 각 구동축과 연결되는 제1 연동샤프트와,
상기 주행본체와 연결되고, 상기 승하강모터를 중심으로 네 지점에 배열되는 승하강작동부와,
상기 각 승하강작동부에 구비되고, 상기 각 제1 연동샤프트의 단부에 직교하는 형태로 연결되는 제2 연동샤프트를 포함하여 이루어지며,
상기 각 제1 연동샤프트의 단부에는 양면 베벨기어가 연결되고,
상기 제2 연동샤프트의 각 단부에는 상기 각 양면 베벨기어와 치합되는 베벨기어가 구비되며,
상기 리드에는 복수의 장착부가 더 구비되고,
상기 승하강작동부의 하단부에는 상기 각 장착부에 상응하는 대응장착부가 구비되며,
상기 승하강수단에는 상기 장착부와 상기 대응장착부를 결합 및 분리를 위한 진출입수단이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 리드를 위한 유지보수장치.
제 1 항에 있어서,
상기 승하강작동부의 대응장착부 상부에는 고정플레이트가 연결되고,
상기 진출입수단은
상기 고정플레이트와 연결되고, 수용부를 갖는 몸체와,
상기 몸체의 수용부에 구비되는 작동실린더와,
상기 작동실린더의 피스톤과 연결되고, 작동실린더의 작동으로 진출입하는 삽입핀을 포함하여 이루어지고,
상기 리드의 각 장착부와 상기 승하강작동부의 각 대응장착부에는 상호 결합된 후 동일선상에 배열되어 연통하는 삽입공과, 대응삽입공이 각각 구비되어 있어,
상기 삽입핀이 상기 삽입공 및 대응삽입공을 진출입하여 상기 장착부와 대응장착부를 결합 및 분리가능하게 하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 리드를 위한 유지보수장치.
제 1 항에 있어서,
상기 리드의 양측부에는 구동롤러가 더 구비되고,
상기 회동수단은
상기 프레임의 일측에 구비되고, 상기 구동롤러와 연결되는 구동모터와,
상기 프레임의 양측부에 각각 한 쌍으로 구비되고, 상기 각 구동롤러가 얹히는 가이드롤러를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 리드를 위한 유지보수장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프레임에는 상기 회동수단에 의하여 반전된 리드의 위치 고정을 위한 위치결정수단이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 리드를 위한 유지보수장치.