KR101456246B1 - 기판 이송체 교환장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 박막 증착 공정을 위해 기판을 이송하는 기판 이송체의 교체를 용이하게 하고, 물류흐름을 원활히 하는 증착챔버를 위한 기판 이송체 교환장치에 관한 것으로, 증착챔버의 일측에 탈착 가능하며, 일측면에 개구부가 구비된 교환챔버와, 상기 교환챔버의 개구부를 통해 입출되며, 기판 이송체가 안착되는 안착부를 적어도 두 개 이상 구비하여 다수개의 기판 이송체를 수납하는 카세트와, 상기 교환챔버의 양측부에 각각 설치되고 상기 안착부에 안착된 기판 이송체를 순차적으로 상기 교환챔버의 개구부를 통해 증착챔버의 내부로 이송 가능하게 하는 이송수단과, 상기 카세트를 상기 교환챔버에 대해 상하이동 가능하도록 하는 카세트 승하강수단과, 상기 카세트 승하강수단 및 이송수단과 각각 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 하는 제어부와, 상기 카세트가 개구부를 통해 교환챔버에 입출될 때 상기 카세트를 받쳐주면서 이동시키도록 상기 교환챔버의 하면에 설치되는 롤러 어셈블리를 포함함으로써, 기판을 이송하기 위한 기판 이송체의 교체를 용이하게 하고, 다수개의 기판이 적층 수납되는 카세트를 교환챔버 내부에 용이하게 이동시킴으로써, 작업자의 편의성을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 이송체 교환장치{A Apparatus for Exchanging Shuttles}
본 발명은 증착챔버를 위한 기판 이송체 교환장치에 관한 것으로, 특히 유기 박막 증착 공정을 위해 기판을 이송하는 기판 이송체의 교체를 용이하게 하고, 물류흐름을 원활히 하는 증착챔버를 위한 기판 이송체 교환장치에 관한 것이다.
최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광을 받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.
그 중에서, 유기발광소자는 빠른 응답속도, 기존의 액정표시소자보다 낮은 소비 전력 및 경량성인 데다 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 소자로서 각광을 받고 있다.
유기발광소자의 진공증착은 섀도우 마스크(또는 마스크)를 기판과 증발원 사이에 위치시킨 후, 그 마스크를 기판에 합착시켜 수행한다. 이러한 작업 중에 기판의 특정 부위에 증착해야할 물질이 상이한 경우, 마스크를 교체 및 정렬하여 사용하게 되는데, 특히, 천연색 유기발광소자의 경우, 적색, 녹색 및 청색의 세 가지 색을 각각 상이한 위치에 증착해야 하므로 적어도 3개 이상의 마스크를 사용해야 한다.
이러한 증착공정을 실현하는 방법으로는 증착챔버 내에 증발원과 마스크가 고정되고, 기판이 각각의 챔버를 이동하면서 특정의 물질을 증착하는 방법과, 기판과 마스크를 함께 이송하여 특정한 물질을 증착하는 방법 등이 사용된다.
이와 같이 증착공정을 수행하기 위해서는 기판의 로딩/언로딩을 위한 기판 교환이 이루어져야 하는데, 이와 관련된 종래의 기술로서, 한국공개특허 제2011-0029618호에는 기판교환모듈이 기판들을 트레이 상에 로딩/언로딩하는 교환과정에서, 기판들이 적재된 트레이의 진공모듈 내의 입출을 한꺼번에 수행할 수 있도록 구성함으로써 장치의 제조비용은 물론 설치비용을 현저하게 절감할 수 있는 기판처리장치의 기판교환모듈 및 그를 가지는 기판처리장치가 개시되어 있다.
상기 특허문헌에서는 기판교환모듈이 로딩/언로딩 즉, 교환과정을 위한 모듈 및 트레이의 공정모듈 내의 입출을 위한 모듈을 하나의 모듈로 구성함으로써, 장치가 차지하는 면적을 현저하게 감소시켜 설치비용을 대폭 절감할 수 있는 이점이 있으나, 다수개의 기판이 트레이에 적재된 상태로 기판들에 대한 처리를 수행하므로, 기판과 마스크를 함께 이송하여 특정한 물질을 증착하는 공정에는 적용할 수가 없는 단점이 있다.
또한, 기판의 대면적화에 따른 대형 마스크가 적용되는 경우에는 마스크의 자중으로 인해 해당 공정챔버에 원활하게 이송시키는 것이 매우 곤란하였는바, 이에 대한 대안이 당업계에서 요구되는 실정이다.
한국공개특허 제2011-0029618호
이에 본 출원인은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 본 발명을 안출하게 된 것으로, 본 발명에서는 기판을 이송하기 위한 기판 이송체의 교체를 용이하게 할 수 있도록 하는 증착챔버를 위한 기판 이송체 교환장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 기판의 대면적화에 따른 마스크와 셔틀의 대형화에 적용할 수 있도록 하여, 증착공정 상의 물류흐름을 원활히 할 수 있게 하는 증착챔버를 위한 기판 이송체 교환장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 증착챔버의 일측에 탈착 가능하며, 일측면에 개구부가 구비된 교환챔버와, 상기 교환챔버의 개구부를 통해 입출되며, 기판 이송체가 안착되는 안착부를 적어도 두 개 이상 구비하여 다수개의 기판 이송체를 수납하는 카세트와, 상기 교환챔버의 양측부에 각각 설치되고 상기 안착부에 안착된 기판 이송체를 순차적으로 상기 교환챔버의 개구부를 통해 증착챔버의 내부로 이송 가능하게 하는 이송수단과, 상기 카세트를 상기 교환챔버에 대해 상하이동 가능하도록 하는 카세트 승하강수단과, 상기 카세트 승하강수단 및 이송수단과 각각 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 하는 제어부와, 상기 카세트가 개구부를 통해 교환챔버에 입출될 때 상기 카세트를 받쳐주면서 이동시키도록 상기 교환챔버의 하면에 설치되는 롤러 어셈블리를 포함하는 기판 이송체 교환장치가 제공된다.
상기 카세트 승하강수단은 상기 제어부에 의해 제어되는 승하강 구동모터와, 상기 승하강 구동모터의 출력단에 연결되어 승하강되며 상단이 상기 교환챔버의 내부에 위치하도록 상기 교환챔버를 관통하여 설치되는 구동축과, 상기 구동축의 상단부에 설치되어 상기 교환챔버 내부에서 상기 카세트를 받치는 받침판과, 상기 구동축의 승하강 시 안내하도록 설치되는 복수개의 가이드축을 포함할 수 있다.
또한, 상기 가이드축에 슬라이딩 가능하게 끼워지고 상기 구동축의 하단과 고정되어 상기 구동축의 승하강에 따라 승하강되는 안내판이 설치될 수 있다.
상기 구동축은 상하방향으로 신축 가능한 벨로우즈를 더 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 이송수단은 상기 기판 이송체를 이송하도록 상기 카세트의 양측면에 끼워지는 롤러축을 구비한 롤러부와, 상기 롤러부를 구동시키기 위해 상기 교환챔버의 외벽에 구비되는 이동 구동모터와, 상기 롤러부와 이동 구동모터를 교환챔버의 외벽에서 좌우방향으로 이동시키기 위한 가동로드가 구비되는 에어실린더로 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 롤러부는 상기 롤러축의 단부에 구비되어 상기 기판 이송체가 안착되는 적어도 하나의 구동롤러를 포함할 수 있다.
한편, 상기 카세트는 양측면에 상기 롤러축이 삽입가능한 홀이 수직방향으로 형성될 수 있다.
본 발명에서, 상기 교환챔버의 하부에는 상기 교환챔버를 지지하기 위한 지지컬럼이 구비될 수 있다.
이 경우, 상기 지지컬럼의 하단에는 상기 교환챔버의 위치를 이동시킬 수 있는 바퀴가 구비될 수 있다.
본 발명에서, 상기 기판 이송체는 기판을 지지하는 셔틀, 마스크 및 플레이트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 안착부는 카세트의 양측 벽면에 동일한 수평면을 이루도록 설치되는 다수개의 롤러부재로 이루어질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 롤러 어셈블리는 상기 개구부에 대해 직교방향으로 고정설치되는 이동 가이드바와, 상기 이동 가이드바의 내측면에 설치되어 상기 카세트를 받쳐주면서 이동시키도록 하는 수평 이동롤러와, 상기 이동 가이드바의 상면에 설치되어 상기 카세트의 하단 측면을 잡아주면서 이동시키도록 하는 수직 이동롤러를 포함할 수 있다.
상기 이동 가이드바는 상기 챔버의 하면에 양측으로 설치되며, 상기 수평 이동롤러와 수직 이동롤러는 일정간격으로 다수개가 설치될 수 있다.
한편, 상기 교환챔버의 일측부에 펌프포트가 설치될 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명에 의하면, 기판을 이송하기 위한 기판 이송체의 교체를 용이하게 하고, 다수개의 기판이 적층 수납되는 카세트를 교환챔버 내부에 용이하게 이동시킴으로써, 작업자의 편의성을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판의 대면적화에 따른 마스크와 셔틀의 대형화에 적용할 수 있도록 하여, 증착공정 상의 물류흐름을 원활히 할 수 있게 하는 효과가 있다.
또한, 최소의 공간에서 기판 이송체를 교체시키도록 전후 혹은 좌우 방향으로의 이동을 구현할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 이송체 교환장치의 구성을 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트와 이송수단을 나타내는 부분 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송체 교환장치의 부분 종단면도다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송체 교환장치의 이송수단이 가동위치에서 회피위치로 이동되는 것을 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송체 교환장치의 카세트 승하강수단을 이용하여 카세트를 상승시킨 상태를 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 기판 이송체 교환장치의 이송수단을 이용하여 개구부를 통해 증착챔버 내로 이송하는 상태를 보여주는 사시도이다.
이하, 상기한 바와 같은 본 발명의 기판 이송체 교환장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 이송체 교환장치의 구성을 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 카세트와 이송수단을 나타내는 부분 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 기판 이송체 교환장치의 부분 종단면도다.
본 발명에 따른 증착챔버를 위한 기판 이송체 교환장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 크게 교환챔버(10), 카세트(20), 카세트 승하강수단(30), 이송수단(50) 및 제어부(도시되지 않음)로 이루어져 있다.
여기에서, 상기 교환챔버(10)는 적어도 일부분이 증착챔버(도시되지 않음)의 일측에 탈착 가능하게 설치된다. 상기 교환챔버(10)는 일측면에 개구부(12)가 구비되는데, 상기 개구부(12)를 통해 상기 카세트(20)가 반입 및 반출되도록 한다.
한편, 상기 교환챔버(10)의 하부에는 교환챔버(10)를 지지하기 위한 지지컬럼(14)기 적어도 두 개, 바람직하게는 교환챔버(10)의 4개의 모서리에 각각 설치된다.
이 경우, 상기 지지컬럼(14)의 하단에는 상기 교환챔버(10)의 위치를 이동시킬 수 있는 바퀴(16)가 구비될 수 있다.
상기 바퀴(16)로 인해, 작업자가 상기 교환챔버(10)를 증착공정이 수행되는 증착챔버로 이동시킬 수 있으며, 증착공정이 완료하면 상기 증착챔버에서 다른 위치로 교환챔버(10)를 이동시킬 수 있다.
한편, 증착공정이 진행되는 동안 상기 바퀴(16)가 움직이지 않도록 상기 바퀴(16)의 측부에는 고정장치(18)가 구비된다.
상기 고정장치(18)는 공지된 통상의 것이 적용가능 하므로, 본 발명에서는 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기 카세트(20)는 상기 교환챔버(10)에 대해 상하이동 가능하도록 카세트 승하강수단(30)을 매개로 하여 교환챔버(10)의 내부에 배치된다.
상기 카세트(20)는 상기 교환챔버(10)의 개구부(12)를 통해 입출되며, 양측면에 기판 이송체(1)가 안착되는 안착부(22)를 적어도 두 개 이상 구비하여 다수개의 기판 이송체(1)를 수납하는 것이다.
상기 카세트(20)는 상기 개구부(12)와 마주하는 벽면이 개방되고, 상기 안착부(22)는 카세트(20)의 양측 벽면에 동일한 수평면을 이루도록 설치되는 다수개의 롤러부재로 이루어질 수 있다. 즉, 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 카세트(20)의 양측 벽면에는 다수개의 롤러부재가 설치되어 있으며, 상기 롤러부재는 다수개의 층을 이루도록 수직방향으로 일정간격을 두고 나열되어 상기 안착부(22)에 다수개의 기판 이송체(1)가 적층될 수 있도록 한다.
상기 카세트(20)는 양측면에 수직방향의 홀(24)이 다수개 형성된다. 상기 홀(24)은 후술할 롤러축이 삽입되도록 한 것으로, 상기 홀(24)이 수직방향으로 형성됨으로써, 상기 롤러축이 삽입된 상태에서 카세트(20)의 승강이 가능하게 된다.
한편, 상기 롤러부재는 아이들러 롤러로 구성되어 후술할 이송수단에 의해 기판 이송체(1)가 교환챔버(10)에서 반출되거나 반입될 때 상기 기판 이송체(1)의 이송이 용이하도록 할 수 있다.
본 발명에서, 상기 기판 이송체(1)는 기판을 지지하는 셔틀, 마스크 및 플레이트를 포함할 수 있다. 즉, 본 발명의 기판 이송체 교환장치는 기판과 마스크를 함께 이송하여 증착공정을 수행할 수 있도록 하며, 기판을 지지하는 셔틀과 플레이트를 포함하여 증착공정에 이송되는 기판 이송체(1)를 동시에 이송할 수 있는 것이다.
한편, 상기 이송수단(50)은 상기 교환챔버(10)의 양측부에 각각 설치되어 상기 안착부(22)에 안착된 기판 이송체(1)를 순차적으로 상기 교환챔버(10)의 개구부(12)를 통해 증착챔버의 내부로 이송 가능하게 하는 것으로, 상기 이송수단(50)은 도 2에서 보는 바와 같이, 상기 기판 이송체(1)를 이송하도록 상기 카세트(20)의 양측면에 끼워지는 롤러축(51)을 구비한 롤러부(52)와, 상기 롤러부(52)를 구동시키기 위해 상기 교환챔버(10)의 외벽에 구비되는 이동 구동모터(54)와, 상기 롤러부(52)와 이동 구동모터(54)를 교환챔버(10)의 외벽에서 좌우방향으로 이동시키기 위한 가동로드(도시하지 않음)가 구비되는 에어실린더(56)로 이루어진다.
상기 롤러부(52)는 상기 롤러축(51)의 단부에 구비되어 상기 기판 이송체(1)가 안착되는 적어도 하나의 구동롤러(도시안함)를 포함한다. 즉, 상기 롤러부(52)는 상기 이동 구동모터(54)의 출력축(54a)의 회전에 따라 회전하는 종동축(54b)에 끼워진 회전롤러(53)를 구비할 수 있고, 상기 회전롤러(53)는 도 2에서 보는 바와 같이, 카세트(20)의 양측면에 끼워지는 롤러축(51)을 회전시키게 되어, 교환챔버(10)의 내부에 설치된 구동롤러를 회전시키게 된다.
여기서, 상기 구동롤러는 상기 카세트(20)의 내측에 위치하여 기판 이송체(1)를 안착시킬 수 있도록 구성되며, 상기 구동롤러의 회피위치가 상기 교환챔버(10)의 내벽과 상기 카세트(20)의 외벽 사이의 공간에 설정되도록 배치되는 것도 가능하다.
상기 이동 구동모터(54)는 상기 교환챔버(10)에 대해 그 롤러부(52)와 함께 좌우로 이동 가능하도록 안내수단(65)을 매개로 하여 상기 교환챔버(10)의 해당 외벽의 일측에 구비되고 상기 제어부의 제어를 통해 상기 구동롤러를 회전 가능하게 한다. 상기 안내수단(65)은 상기 이동 구동모터(54)에 고정된 고정편(66)과, 일단이 상기 교환챔버(10)의 대응 측벽에 고정되고 타단이 상기 고정편(66)을 슬라이딩 가능하게 관통하는 가이드바(67)로 이루어진다.
상기 에어실린더(56)는 가동로드가 상기 이동 구동모터(54)의 몸체부분에 고정된다. 상기 에어실린더(56)와 제어부는 공지된 기술의 스위칭 밸브블록(도시되지 않음)을 매개로 하여 전기적으로 연결된다. 또한, 상기 스위칭 밸브블록은 해당 공급호스(도시되지 않음)를 매개로 하여 작동유체공급원(예컨대, 에어콤프레셔)과 연결되어 상기 에어실린더(56)로 일정압력의 공기를 공급할 수 있게 한다.
본 발명에서, 상기 구동롤러는 복수개로 설치되어 기판 이송체(1)를 안정적으로 안착할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같은 상기 이송수단(50)은 상기 교환챔버(10)의 양측부에 각각 설치되어 해당 안착부(22)에 안치된 기판 이송체(1)를 순차적으로 상기 교환챔버(10)의 개구부(12)를 통해 증착챔버(도시되지 않음)의 내부로 또는 그로부터 원래의 위치로 이송 가능하게 한다.
한편, 상기 카세트 승하강수단(30)은 상기 카세트(20)를 상기 교환챔버(10)에 대해 상하이동 가능하도록 하는 것으로, 상기 제어부에 의해 제어되는 승하강 구동모터(도시안함)와, 상기 승하강 구동모터의 출력단에 연결되어 승하강되며 상단이 상기 교환챔버(10)의 내부에 위치하도록 상기 교환챔버(10)를 관통하여 설치되는 구동축(32)과, 상기 구동축(32)의 상단부에 설치되어 상기 교환챔버(10) 내부에서 상기 카세트(20)를 받치는 받침판(34)과, 상기 구동축(32)의 승하강 시 안내하도록 설치되는 복수개의 가이드축(36)을 포함할 수 있다.
한편, 상기 카세트 승하강수단(30)의 구동모터와 구동축(32)으로 인한 승하강구조는 에어실린더로 대체되는 것이 가능하다.
상기 가이드축(36)은 그 상단이 상기 받침판(34)의 코너부에 고정되고, 하단은 안내판(38)에 슬라이딩 가능하게 끼워지는데, 상기 안내판(38)은 상기 가이드축(36)에 슬라이딩 가능하게 끼워지고 상기 구동축(32)의 하단과 고정되어 상기 구동축(32)의 승하강에 따라 승하강될 수 있다.
상기 구동축(32)은 상기 받침판(34)의 중앙부분에 설치되는 것이 바람직하며, 상하방향으로 신축 가능한 벨로우즈를 더 구비할 수 있다.
한편, 상기 제어부는 상기 카세트 승하강수단(30) 및 이송수단(50)과 각각 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 한다. 즉, 상기 카세트 승하강수단(30) 및 이송수단(50)을 통해 기판 이송체(1)를 일정 이동경로를 따라 이송 가능하게 하는 작동프로그램이 기억된 마이콤(도시되지 않음)과, 이 마이콤에 전기적으로 연결되어 해당 이송체의 이동에 대한 정보를 알리는 액정표시부(도시되지 않음)와, 상기 마이콤과 전기적으로 연결되고 외부전원과의 연결 또는 차단을 가능하게 하며, 해당 기판 이송체의 이동경로를 재조정 가능하게 하는 키입력부(도시되지 않음)로 이루어질 수 있다.
본 발명에서는, 상기 카세트(20)가 개구부(12)를 통해 교환챔버(10)에 입출될 때 상기 카세트(20)를 받쳐주면서 이동시키도록 상기 교환챔버(10)의 하면에 롤러 어셈블리(60)가 설치된다.
상기 롤러 어셈블리(60)는 상기 개구부(12)에 대해 직교방향으로 고정설치되는 이동 가이드바(61)와, 상기 이동 가이드바(61)의 내측면에 설치되어 상기 카세트(20)를 받쳐주면서 이동시키도록 하는 수평 이동롤러(62)와, 상기 이동 가이드바(61)의 상면에 설치되어 상기 카세트(20)의 하단 측면을 잡아주면서 이동시키도록 하는 수직 이동롤러(64)를 포함한다.
상기 이동 가이드바(61)는 상기 챔버(10)의 하면에 양측으로 설치되며, 상기 수평 이동롤러(62)와 수직 이동롤러(64)는 일정간격으로 다수개가 설치될 수 있다.
이와 같은 롤러 어셈블리(60)로 인해 카세트(20)를 챔버(10) 내부로 이동시킬 때 작업자의 불편함을 크게 감소시킬 수 있다.
즉, 상기 교환챔버(10)의 하면에 롤러 어셈블리(60)가 없을 경우, 카세트(20)를 챔버(10) 내부로 이동시키기가 어렵고, 더욱이 카세트(20)를 챔버(10) 내부에 정위치로 위치시키기는 더더욱 어려운 바, 카세트(20)의 위치가 일측으로 편향되게 위치하거나 각도가 틀어지게 위치하는 경우, 기판 이송체(1)의 이송에 문제가 발생할 수 있으므로, 카세트(20)의 챔버(10) 내 위치는 매우 중요한 것이다.
본 발명에서는 상기 카세트(20)를 받쳐주면서 이동시키도록 하는 수평 이동롤러(62)와, 상기 카세트(20)의 하단 측면을 잡아주면서 이동시키도록 하는 수직 이동롤러(64)가 이동 가이드바(61)에 설치됨으로써, 상기 카세트(20)가 이동할 때 상기 수평 이동롤러(62)에 카세트(20)가 받쳐지면서 상기 수평 이동롤러(62)의 회전에 의해 카세트(20)의 이송이 원활하게 이루어질 수 있으므로, 작업자의 편의성을 매우 향상시킬 수 있다.
아울러, 카세트(20)가 챔버(10) 내부로 반입할 때 상기 수직 이동롤러(64)가 카세트(20)의 하단 측면에 접하여 카세트(20)의 위치를 잡아주기 때문에, 카세트(20)의 위치가 편향되거나 각도가 기울어지는 것을 방지하여 정위치로 카세트(20)를 위치시킬 수 있는 것이다.
한편, 상기 교환챔버(10)의 일측부에는 챔버(10) 내 진공분위기를 만들기 위한 펌프포트(11)가 설치될 수 있다.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 증착챔버를 위한 기판 이송체 교환장치의 바람직한 작동과정을 도 4 내지 도 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에 따른 기판 이송체 교환장치의 카세트(20)의 각 안착부(22)에 기판이송체(1)를 안치시킨다.
이후, 기판 이송체(1)가 안치된 상기 카세트(20)를 교환챔버(10) 내부에 위치시킨다.
물론, 상기 카세트(20)를 챔버(10) 내부에 위치시킨 후 카세트(20)의 각 안착부(22)에 기판이송체(1)를 안치시킬 수도 있다.
이후, 기판 이송체 교환장치의 교환챔버(10)의 개구부(12)를 증착챔버의 일측에 부착시키고 나서 상기 펌프포트(11)를 통해 교환챔버(10) 내부를 진공화한다.
이후, 상기 교환챔버(10)의 각 이송수단(50)의 이동 구동모터(54)를 통해 각 롤러부(52)를 카세트(20)의 내벽측으로 후퇴시킨 후, 카세트 승하강수단(30)을 이용하여 상기 카세트(20)을 상승시킨다(도 5 참조).
이후, 상기 이송수단(50)의 에어실린더(56)가 이동 구동모터(54)를 전진시켜 각 롤러부(52)를 전진시킨다. 이어서, 이동 구동모터(54)를 통해 롤러부(52)가 가동되어 구동롤러를 회전시킴으로써, 해당 안착부(22) 상의 기판 이송체(1)를 증착챔버로 이송한다(도 6 참조).
상기 증착챔버에 이송된 기판 이송체(1)는 도가니로부터 유기물이 증발 또는 승화되어 마스크의 패턴에 대응하는 형태로 기판에 일정모양의 유기박막이 형성된다.
이후, 상기 증착챔버로부터 교환챔버(10)의 개구부(12)를 통해 카세트(20)의 해당 안착부(11)로 사용된 기판 이송체(1)를 회수한다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서의 단순 치환, 변형 및 변경은 당 분야에서의 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이다.
1 : 기판 이송체 10 : 교환챔버
12 : 개구부 20 : 카세트
22 : 안착부 24 : 홀
30 : 카세트 승하강수단 32 : 구동축
34 : 받침판 50 : 이송수단
51 : 롤러축 53 : 회전롤러
54 : 이동 구동모터 56 : 에어실린더
60 : 롤러 어셈블리 61 : 이동 가이드바
62 : 수평 이동롤러 64 : 수직 이동롤러
65 : 안내수단

Claims (14)

  1. 증착챔버의 일측에 탈착 가능하며, 일측면에 개구부가 구비된 교환챔버;
    상기 교환챔버의 개구부를 통해 입출되며, 기판 이송체가 안착되는 안착부를 적어도 두 개 이상 구비하여 다수개의 기판 이송체를 수납하는 카세트;
    상기 교환챔버의 양측부에 각각 설치되고 상기 안착부에 안착된 기판 이송체를 순차적으로 상기 교환챔버의 개구부를 통해 증착챔버의 내부로 이송 가능하게 하는 이송수단;
    상기 카세트를 상기 교환챔버에 대해 상하이동 가능하도록 하는 카세트 승하강수단;
    상기 카세트 승하강수단 및 이송수단과 각각 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 하는 제어부; 및
    상기 카세트가 개구부를 통해 교환챔버에 입출될 때 상기 카세트를 받쳐주면서 이동시키도록 상기 교환챔버의 하면에 설치되는 롤러 어셈블리;
    를 포함하며,
    상기 안착부는 카세트의 양측 벽면에 동일한 수평면을 이루도록 설치되는 다수개의 롤러부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 카세트 승하강수단은 상기 제어부에 의해 제어되는 승하강 구동모터와,
    상기 승하강 구동모터의 출력단에 연결되어 승하강되며 상단이 상기 교환챔버의 내부에 위치하도록 상기 교환챔버를 관통하여 설치되는 구동축과,
    상기 구동축의 상단부에 설치되어 상기 교환챔버 내부에서 상기 카세트를 받치는 받침판과,
    상기 구동축의 승하강 시 안내하도록 설치되는 복수개의 가이드축을 포함하는 기판 이송체 교환장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 가이드축에 슬라이딩 가능하게 끼워지고 상기 구동축의 하단과 고정되어 상기 구동축의 승하강에 따라 승하강되는 안내판이 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 구동축은 상하방향으로 신축 가능한 벨로우즈를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송수단은 상기 기판 이송체를 이송하도록 상기 카세트의 양측면에 끼워지는 롤러축을 구비한 롤러부와,
    상기 롤러부를 구동시키기 위해 상기 교환챔버의 외벽에 구비되는 이동 구동모터와,
    상기 롤러부와 이동 구동모터를 교환챔버의 외벽에서 좌우방향으로 이동시키기 위한 가동로드가 구비되는 에어실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 롤러부는 상기 롤러축의 단부에 구비되어 상기 기판 이송체가 안착되는 적어도 하나의 구동롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 카세트는 양측면에 상기 롤러축이 삽입가능한 홀이 수직방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 교환챔버의 하부에는 상기 교환챔버를 지지하기 위한 지지컬럼이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 지지컬럼의 하단에는 상기 교환챔버의 위치를 이동시킬 수 있는 바퀴가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 이송체는 기판을 지지하는 셔틀, 마스크 및 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  11. 삭제
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 롤러 어셈블리는 상기 개구부에 대해 직교방향으로 고정설치되는 이동 가이드바;
    상기 이동 가이드바의 내측면에 설치되어 상기 카세트를 받쳐주면서 이동시키도록 하는 수평 이동롤러; 및
    상기 이동 가이드바의 상면에 설치되어 상기 카세트의 하단 측면을 잡아주면서 이동시키도록 하는 수직 이동롤러;
    를 포함하는 기판 이송체 교환장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 이동 가이드바는 상기 교환챔버의 하면에 양측으로 설치되며,
    상기 수평 이동롤러와 수직 이동롤러는 일정간격으로 다수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 교환챔버의 일측부에 펌프포트가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송체 교환장치.
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