JP4989589B2 - ソースガス供給装置 - Google Patents
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Description
110 ソース物質蒸発部
120 ソース物質
125 ソースガス
130 ヒーター
140 搬送ガス供給部
150 待機チャンバー
160 堆積板
170 加熱部
Claims (7)
- 化学気相蒸着法による薄膜形成に使用されるソースガスを蒸着チャンバーへ供給するソースガス供給装置であって、
ソース物質を気化させてソースガスを生成するソース物質蒸発部と、
前記ソースガスを蒸着チャンバーに搬送するための搬送ガスを供給する搬送ガス供給部と、
前記ソースガスを蒸着チャンバーへ提供する前に待機させる待機チャンバーと、
前記ソース物質蒸発部と前記待機チャンバーとの間に設けられた少なくとも1つの第1の弁と、
前記待機チャンバーと前記蒸着チャンバーとの間に設けられた第2の弁と、
前記搬送ガス供給部と前記待機チャンバーの間に設けられた少なくとも1つの第3の弁と、
前記待機チャンバー内の前記ソースガスを堆積させる堆積板と、
前記堆積板に堆積されなかった前記ソースガス及び前記搬送ガスを前記待機チャンバーから排出するための第4の弁とを含み、
前記ソースガスの前記堆積板への堆積を促進させるために該堆積板を冷却する冷却部により前記堆積板に所定量の前記ソースガスを堆積させた後に、第1の弁を閉じ、第4の弁を開閉することにより前記排出を行い、堆積した前記ソースガスを前記堆積板から分離させるために該堆積板を加熱する加熱部により、堆積された前記ソースガスの分離を行い、第2及び第3の弁を開くことにより前記ソースガスを前記蒸着チャンバーに搬送することを特徴とするソースガス供給装置。 - 請求項1に記載のソースガス供給装置であって、
前記待機チャンバーが、前記堆積板に前記ソースガスが堆積したことによる前記堆積板の表面変化を測定する光センサーをさらに含むことを特徴とするソースガス供給装置。 - 請求項1に記載のソースガス供給装置であって、
前記待機チャンバ−が、前記堆積板に前記ソースガスが堆積したことによる前記堆積板の質量変化を測定する測定部をさらに含むことを特徴とするソースガス供給装置。 - 化学気相蒸着法による薄膜形成に使用されるソースガスを蒸着チャンバーへ供給するソースガス供給装置であって、
ソース物質を気化させてソースガスを生成するソース物質蒸発部と、
前記ソースガスを蒸着チャンバーに搬送するための搬送ガスを供給する搬送ガス供給部と、
前記ソースガスを堆積板上に堆積させるようにした前記堆積板を冷却する冷却部を含む第1チャンバーと、
前記ソース物質蒸発部と前記第1チャンバーとの間に設けられた少なくとも1つの第1の弁と、
前記第1チャンバーで前記堆積板上に堆積させた前記ソースガスを気化させて前記堆積板から分離させるようにした前記堆積板を加熱する加熱部を含む第2チャンバーと、
前記第2チャンバーと前記蒸着チャンバーとの間に設けられた第2の弁と、
前記搬送ガス供給部と前記第1チャンバーとの間に設けられた少なくとも1つの第3の弁と、
前記堆積板に堆積されなかった前記ソースガス及び前記搬送ガスを前記第2チャンバーから排出するための第4の弁と、
前記第1チャンバー及び前記第2チャンバーとの間に、前記堆積板を移送させる移送手段及び前記第1チャンバー及び前記第2チャンバーを分離する解放可能な閉鎖手段とを含み、
前記閉鎖手段を閉鎖状態にして、前記第1チャンバー内の前記堆積板に所定量の前記ソースガスを堆積させた後、前記第1の弁を閉じると共に該閉鎖手段を開放し、前記移送手段を用いることにより前記堆積板を前記第2チャンバーに移送し、前記第4の弁を開閉することにより前記排出を行い、前記閉鎖手段を閉鎖すると共に前記ソースガスの分離を行い、前記第2の弁及び第3の弁を開き、前記閉鎖手段を開放することにより、前記ソースガスを前記蒸着チャンバーに搬送することを特徴とすることを特徴とするソースガス供給装置。 - 請求項4に記載のソースガス供給装置であって、
前記第1チャンバーが、前記堆積板に前記ソースガスが堆積したことによる前記堆積板の表面変化を測定する光センサーをさらに含むことを特徴とするソースガス供給装置。 - 請求項1又は4に記載のソースガス供給装置であって、
前記堆積板の表面積に基づいて前記蒸着チャンバーへ供給するソースガスの量を制御するようにしたことを特徴とするソースガス供給装置。 - 化学気相蒸着法による薄膜形成に使用されるソースガスを搬送ガスにより蒸着チャンバーへ供給するソースガス供給方法であって、
ソース材料を加熱してソースガスを生成するステップと、
前記ソースガスを、待機チャンバー内に流入させ、該待機チャンバー内で冷却部により冷却された堆積板に所定量を堆積させるステップと、
前記堆積板に堆積されなかった前記ソースガス及び搬送ガスを前記待機チャンバーから放出するステップと、
前記待機チャンバー内の加熱部により前記堆積板を加熱し、堆積された前記ソースガスを分離するステップと、
前記待機チャンバー内に搬送ガスを導入し、該待機チャンバー内の前記ソースガスを前記蒸着チャンバーに供給するステップとを有するようにしたことを特徴とする方法。
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