KR100984148B1 - 소스량 제어가 가능한 진공증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 소스량이 제어 가능한 진공증착장치에 관한 것이다.
본 발명의 소스량 제어가 가능한 진공증착장치는, 챔버; 상기 챔버 내의 상부에 설치되는 기판; 상기 기판의 직하부에 설치되어 내부에 소스가 채워지는 소스 용기; 상기 소스 용기의 하면에 부착된 질량측정기; 상기 질량측정기에 연결되어 소스 용기의 질량 정보를 수신받는 제어부; 및 상기 제어부에 연결되어 상기 소스 용기의 질량 정보에 의해 상기 제어부에서 생성된 소스 공급신호를 전달받아 상기 소스 용기 내로 소스를 공급하는 소스공급기;를 포함하며, 소스 용기 내의 소스량을 질량측정기를 통해 실시간으로 측정된 정보에 의해서 항상 일정하게 유지시킴에 의해서 기판의 표면에 균일한 두께의 금속 박막이 형성되도록 하는 장점이 있다.
챔버, 소스 용기, 소스, 단열재, 질량측정기, 기판, 제어부, 소스공급기, 챔버 내부조

Description

소스량 제어가 가능한 진공증착장치{Vacuum evaporator}
본 발명은 소스량이 제어 가능한 진공 증착 장치에 관한 것으로서, 보다 자제하게는 챔버 내에 배치된 소스 용기의 질량이 로드셀 또는 전자저울 등의 질량측정기를 통해 측정되어 제어부로 전송되고, 상기 제어부에서 생성된 소스 공급 신호에 의해 소스공급기로부터 적정량의 소스가 공급되도록 함으로써, 소스 용기 내에 균일한 소스량이 유지될 수 있도록 한 소스량 제어가 가능한 진공증착장치에 관한 것이다.
일반적으로, 박막 형성의 대표적인 방법으로는 물리적 방식을 이용하는 PVD(Physical Vapor Deposition) 방식과 화학적 방식을 이용하는 CVD(Chemical Vapour Deposition)로 분류될 수 있다.
상기 PVD 방식의 박막 형성 방법은 CVD 방식에 비해 작업 조건이 깨끗하고, 진공 상태에서 저항열이나 전자빔, 레이져빔 또는 플라즈마를 이용하여 고체 상태의 물질을 기체 상태로 변환시켜 기판에 직접 증착시키는 박막 형성 방법이다.
이러한 PVD 방식의 박막 형성 방법은 진공증착법(evaporation), 스퍼터링법, 이온 플레이팅법 등의 박막 형성 방법으로 분류될 수 있다.
최근에는 진공 기술과 장비 제조 기술의 발달에 의해서 증발 증착 기술이 무반사 코팅, 거울 필터, 선글라스, 장식용 코팅, 음극선 튜브의 제조, 전자 회로의 형성시와 같이 광범위하게 사용되고 있으며, 아래에 설명된 3단계를 거쳐 증착 대상물 표면에 금속 박막이 형성되도록 한다.
금속 박막의 형성 과정은 고상 또는 액상의 증발 재료가 기상으로 천이되고, 소스(source)로부터 기판으로 기상이 이동되며, 기판에서 기상의 응축이 이루어지는 단계를 거쳐 금속 박막 형성이 완성된다.
이와 같은 진공증착법에 의한 증착 장비는 공정이 단순하고 증착 속도가 빠르며, 장비의 가격이 저렴하고 단시간에 두꺼운 박막을 형성할 수 있기 때문에 반도체 공정을 비롯한 전자 부품 제조 공정에서 금속 박막을 형성하는 핵심 장비로 사용되고 있다.
상기와 같이 진공증착법에 사용되는 증착 장비는 열증착기와 전자빔 증착기로 구분되는 데, 상기 열증착기는 발열체에서 생성된 열로 소스를 가열하여 증착이 이루어지도록 하는 방식이며, 전자빔 증착기는 하쓰(hearth)와 같은 소스 용기에 감긴 소스를 가속된 전자빔이 전달하는 전기에너지가 열에너지로 전환되면서 소스의 증발에 의해 증착이 이루어지도록 하는 방식이다.
상기 두 가지의 진공증착법은 박막 형성 원료인 소스(source)가 발열체인 보 트 또는 도가니 등의 소스 용기에 일정량 담겨져 있는 상태로 증착 공정이 진행된다.
이때, 증착 공정이 진행될수록 소스 용기 내의 소스가 감소하게 됨에 따라 소스 용기 내에 일정한 소스량이 유지될 수 있도록 소스의 재공급이 이루어져야 한다.
만약, 소스의 재공급이 이루어지지 않게 되면, 증착 공정이 진행될수록 소스 용기 내의 소스 수위가 변화됨에 따라 용융 면적이 감소되어 증착 공정의 변동 요인이 발생하게 되고, 상기의 변동 요인에 의해서 증착 대상물의 표면에 증착된 박막의 두께와 균일성에 영향을 미치게 됨으로써 박막 물성의 제어가 어렵게 된다.
한편, 양산용 증착 공정 장비나 대면적 증착 공정 장비의 경우에는 증착 면적이 급격히 증가하여 소스 소모량이 많기 때문에 소스 소모에 의한 변동 요인에 민감하게 반응할 수 밖에 없기 때문에 상기 소스 용기 내에 일정한 소스량을 유지하는 것이 더욱 중요하게 대두되고 있다.
그러나, 현재의 증착 공정 장비는 소스량을 일정하게 유지시킬 수 있는 장치적 구성요소가 없을 뿐만 아니라 작업자에 의한 대략의 예상치 주입되거나 또는 소스 용기에 남아있는 소스량을 육안으로 파악하여 보충분을 채워넣어야 하기 때문에 균일한 박막 두께를 유지하기 위한 정확한 소스량을 유지하기가 어려운 문제점이 지적되고 있다.
또한, 증착 장비의 작동 중에는 소스의 공급이 불가능하기 때문에 증착 장비 내에 소스를 공급하기 위해서는 반드시 증착 공정을 정지시킨 후 소스를 소스 용기에 주입해야 하는 단점이 있다.
따라서, 본 발명은 종래 진공증착장치에서 제기되고 있는 상기 제반 단점과 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 챔버 내의 하부에 배치된 소스 용기의 질량이 그 내부에 포함된 소스를 포함하여 질량측정기를 통해 실시간으로 측정되고, 측정된 질량 정보에 의해 제어부에서 생성된 소스 공급 신호가 소스공급기로 전달되어 소스 용기 내에 소스 공급이 이루어지도록 함으로써, 상기 소스 용기 내의 소스량이 항상 일정하게 유지되도록 하여 균일한 금속 박막이 형성될 수 있도록 한 소스량 제어가 가능한 진공증착장치가 제공됨에 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은, 챔버와, 상기 챔버 내의 상부에 설치되는 기판과, 상기 기판의 직하부에 설치된 소스 용기와, 상기 소스 용기의 하면에 부착된 질량측정기와, 상기 질량측정기에 연결되어 소스 용기의 질량 정보를 수신받는 제어부와, 상기 제어부에 연결되어 상기 소스 용기의 질량 정보에 의한 소스 공급신호를 전달받아 상기 소스 용기 내로 소스를 공급하는 소스공급기를 포함하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치가 제공됨에 의해서 달성된다.
상기 챔버는 내부가 밀폐된 함체형으로 구성되어 내부가 진공 상태로 유지된다.
상기 챔버 내에 설치되는 기판은 표면에 금속 박막을 형성하기 위한 증착 대 상물로서, 반도체 부품 또는 유기전계발광소자 등을 생산하기 위한 웨이퍼나 패널 등으로 구성된다.
또한, 상기 기판의 직하부에 설치된 소스 용기는 발열체로 구성되며, 상기 발열체의 가열 온도에 의해 내부에 채워진 액상의 소스를 기상화시키고, 기상화된 소스 입자는 상기 기판의 표면에 증착된다.
이때, 상기 소스 용기는 하부에 결합된 질량측정기에 의해서 내부에 소스가 담겨진 상태로 질량이 측정되며, 질량 변동이 없는 소스 용기 내에서 소스의 기상화에 의해 변동되는 질량 변화량, 즉 소스 소모량이 실시간으로 측정된다.
여기서, 상기 소스 용기와 질량측정기 사이에는 단열재가 개재됨에 의해서 발열체로 이루어진 소스 용기의 발열열이 단열재에 의해 차단되어 질량측정기로 열전달이 이루어지지 않도록 한다.
또한, 상기 질량측정기는 소스 용기를 포함한 내부 소스의 질량 변화를 실시간으로 측정할 수 있는 로드셀 또는 전자저울 등으로 구성된다.
한편, 상기 질량측정기를 통해 측정된 소스 용기의 질량 변화량은 실시간으로 측정되어 제어부로 송신되고, 상기 제어부는 질량측정기에서 수신된 질량 정보에 의해 소스 공급신호를 생성시켜 상기 챔버의 내부 또는 외부에 설치된 소스공급기로 송신한다.
상기 소스공급기는 소스가 와이어 형태로 권취된 와이어 공급기 또는 분말 형태로 주입되는 파우더 공급기로 구성될 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 진공증착장치는 소스 용기 내에 채워진 액상의 소스가 증발되어 그 직상부에 설치된 기판의 표면에 증착에 의한 금속 박막이 형성되는 과정에서, 상기 소스가 증발됨에 의한 소스 소모량이 소스 용기에 결합된 질량측정기를 통해 실시간으로 측정되고, 상기 질량측정기의 측정 정보에 의해 제어부에서 생성되는 소스 공급신호가 소스공급기에 전달되어 상기 소스 용기로 소정의 소스가 공급되도록 함으로써, 상기 소스 용기 내에 항상 균일한 소스량이 유지되도록 함에 따라 그 직상부에 위치한 기판의 표면에 일정한 두께로 금속 박막이 형성되도록 함에 기술적 특징이 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 소스량 제어가 가능한 진공증착장치는 챔버 내부에 설치된 소스 용기 내의 소스량을 질량측정기를 통해 실시간으로 측정된 정보에 의해서 항상 일정하게 유지시킴에 의해서 기판의 표면에 균일한 두께의 금속 박막이 형성되도록 하는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 상기 질량측정기에 의해 실시간으로 측정된 정보에 의해서 챔버 내, 외부에 설치된 소스공급기를 통해 소진된 양만큼의 소스가 와이어 형태 또는 파우더 형태로 직접 공급됨으로써, 진공증착 설비의 중단없이 소스가 공급될 수 있는 이점이 있다.
본 발명에 따른 소스량 제어가 가능한 진공증착장치의 상기 목적에 대한 기술적 구성을 비롯한 작용효과에 관한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 도면을 참조한 아래의 상세한 설명에 의해서 명확하게 이해될 것이다.
먼저, 도 1은 본 발명에 따른 진공증착장치의 제일실시예 구성도로서, 도시된 바와 같이 본 발명의 진공증착장치는 크게 챔버(100)와, 챔버(100) 내부에 설치된 증착 대상물의 직하부에 설치되는 소스 용기(110) 및 상기 소스 용기(110) 하부에 결합된 질량측정기(120)로 구성된다.
상기 소스 용기(110) 내에는 주로 액상으로 이루어진 소스(111)가 일정량 채워지며, 상기 액상의 소스(111)가 챔버(100) 내부에서 가열 또는 전자빔 등의 가열 요인에 의해 증발되고, 증발된 입자들은 상기 소스 용기(110) 직상부에 설치된 증착 대상물인 기판(130)의 표면에 증착됨에 따라 기판(130) 표면에 금속 박막이 형성되도록 한다.
상기 챔버(100)는 내부 공간이 진공 상태로 유지되는 함체형으로 구성되며, 상기 챔버(100)의 내부 공간의 상, 하부에는 각각 증착 대상물인 기판(130)과 증착 원료인 소스(111)가 일정량 채워진 소스 용기(110)가 설치된다.
상기 소스 용기(110)는 발열체로 구성되는 바, 자체 발열이 가능한 재질로 구성되거나 벽체 상에 열선이 내장되어 발열될 수 있도록 할 수 있다.
또한, 상기 소스 용기(110)는 내부에 채워진 소스(111)의 질량을 포함하는 소스 용기(110)의 질량이 측정 가능한 질량측정기(120)가 부착된다.
상기 질량측정기(120)는 로드셀 또는 전자저울 등으로 구성 가능하며, 상기 질량측정기(120)와 소스 용기(110)의 하면 사이에 단열재(112)가 개재됨으로써, 발열체로 구성된 소스 용기(110)의 발열열이 질량측정기(120)에 직접적으로 전달되지 않도록 함이 바람직하다.
그리고, 상기 소스 용기(110)와 질량측정기(120) 및 상기 소스 용기(110)와 질량측정기(120) 사이에 개재된 단열재(112)는 챔버 내부조(160)에 둘러싸여 있음에 따라 상기 질량측정기(120)가 챔버(100) 내부의 요인에 의한 영향을 최소화될 수 있도록 한다.
상기 기판(130)은 반도체 부품이나 유기전계 발광소자를 포함한 모든 전자부품을 생산하기 위한 웨이퍼나 패널, 박판 또는 필름 등으로 구성되고, 상기 소스 용기(110) 내에 일정량 채워진 소스(111)가 소스 용기(110)의 발열에 의해서 기체 상태로 증발되어 상기 소스 용기(110) 직상부의 기판(130) 표면에 증착된다.
이때, 상기 소스(111)의 기상(氣像)화에 의해 소스 용기(110) 내의 소스(111)가 소진되면서 소스량의 변동이 발생하게 되는 데, 상기 소스량의 변동량은 상기 소스 용기(110) 하부에 부착된 질량측정기(120)에 의해 실시간으로 측정된다.
즉, 상기 소스 용기(110)에 소스(111)가 채워진 상태로 질량측정기(120)에 의해 소스 용기(110)의 질량이 측정됨으로써, 소스 용기(110)의 자체의 일정한 질량을 고려하여 질량측정기(120)에 측정된 질량의 변동치에 의해 소스 용기(110) 내의 소스(111)에 대한 질량 변화량, 즉 소스 소모량이 측정된다.
한편, 상기 질량측정기(120)는 챔버(100) 외부에 설치된 제어부(140)와 연결 된다. 상기 제어부(140)는 질량측정기(120)로부터 수신되는 소스 용기(110)의 질량 변화량에 대한 정보, 즉 소스(111) 소진에 의한 소모량 측정 정보를 실시간으로 전달받는다.
상기 소스 용기(110) 내의 소스(111) 소모량에 대한 측정 정보는 제어부(140)에서 소스 공급신호로 변환되어 상기 챔버(100) 내부 또는 외부에 설치된 소스공급기(150)로 전달되고, 상기 소스공급기(150)는 상기 제어부(140)의 소스 공급신호에 의해 소스 용기(110) 내부로 소스 원료를 공급한다.
즉, 상기 제어부(140)를 통해 소스 질량을 포함한 소스 용기(110)의 질량이 설정되고, 증착 품질이 저하되지 않는 정도의 소스 변동량이 설정된 상태에서 상기 소스 용기(110)의 무게가 질량측정기(120)를 통해 실시간으로 측정됨에 있어, 일정량의 소스 변동량이 발생되면 소스 공급신호를 소스공급기(150)에 인가하여 최초 설정된 소스량에 이를 때까지 소스공급기(150)를 통해 소스(111)를 보충하게 된다.
따라서, 상기 소스 용기(110) 내에 채워진 소스(111)는 제어부(140)를 통해 설정되는 소스 변동량 정도에 따라 항상 균일한 소스량이 유지될 수 있도록 한다.
이때, 상기 소스공급기(150)는 고체의 소스가 와이어 형태로 권취된 와이어 공급기 형태 또는 분말 형태로 주입되는 파우더 공급기 형태로 구성될 수 있다.
다음, 도 2는 본 발명에 따른 진공증착장치의 제이실시예 구성도로서, 도시된 바와 같이 본 실시예의 진공증착장치는, 사각함체의 챔버(100) 내의 상, 하부에 기판(130)과 소스 용기(110)가 설치되고, 상기 소스 용기(110)가 챔버 내부조(160) 에 둘러싸여 단열재(112)에 의해 지지되며, 상기 단열재(112) 하단부에 소스 용기(110)의 무게를 측정하기 위한 질량측정기(120)가 결합된 구조이다.
이때, 상기 소스 용기(110)와 이를 둘러싸고 있는 챔버 내부조(160)를 지지하는 단열재(112)는 챔버(100)의 벽체를 관통하여 챔버 내부조(160)의 하면에 수직 결합되고, 상기 단열재(112)의 하단부에 결합되는 질량측정기(120)는 챔버(100)의 외부에 배치된다.
상기 챔버(100) 외부에 결합된 질량측정기(120)는 일실시예와 마찬가지로 소스공급기(150)와 연결된 제어부(140)로 소스 용기(110)의 소스 소모량 정보를 전달한다.
이와 같은 기술적 구성을 갖는 본 실시예는 소스 용기(110)와 그 내부에 채워진 소스(111)의 질량 변동량을 실시간으로 측정하는 질량측정기(120)가 챔버(100)의 외부에 배치됨으로써, 상기 질량측정기(120)가 발열체인 소스 용기(110)의 발열로부터 자유롭기 때문에 열적 영향에 의한 질량 측정의 오차를 줄일 수 있다.
본 실시예에서 상기 제일실시예의 구성과 중복되는 기술적 구성에 대해서는 구체적인 설명을 생략하였으며, 동일한 기술적 구성 요소에 대해서는 동일한 명칭과 부호를 부여하였다.
한편, 도 3은 본 발명에 따른 진공증착장치의 제삼실시예 구성도로서, 도시된 바와 같이 본 실시예의 진공증착장치는 사각함체의 챔버(100) 내의 상, 하부에 기판(130)과 소스 용기(110)가 설치됨에 있어, 상기 소스 용기(110)가 설치되는 챔버(100)의 내부 공간이 가로 격벽(101)에 의해서 구분된 구조이다.
상기 가로 격벽(101)은 내측 주연부가 소스 용기(110)의 개구부 상단에 밀착 결합되며, 상기 소스 용기(110)는 제이실시예와 마찬가지로 상기 챔버(100)의 외부에 설치된 질량측정기(120) 상부에 수직 결합된 단열재(112)에 의해 지지된다.
이때, 상기 챔버(100) 외부에 결합된 질량측정기(120)는 일실시예와 마찬가지로 소스공급기(150)와 연결된 제어부(140)로 소스 용기(110)의 소스 소모량 정보를 전달한다.
이와 같은 기술적 구성을 갖는 본 실시예는 제일시예와 제이실시예와는 달리 챔버(100) 내의 가로 격벽(101)에 의해서 구분된 공간 내에 소스 용기(110)가 설치됨에 따라 상기 소스 용기(110) 또는 챔버 내부조(160)의 외벽에 쌓이게 되는 소스가 가로 격벽(101)의 상면에 쌓이게 되고, 이에 따라 소스 용기(110)의 질량 변화를 최소화할 수 있다.
즉, 상기 소스 용기(110) 내에서 기상화되었으나 상부의 기판(130) 표면에 증착되지 못한 소스(111)가 소스 용기(110) 또는 챔버 내부조(160)의 외부에 부착되는 것을 방지함으로써, 소스 용기(110) 내의 소스 소모량 측정시 외부 요인에 의한 측정 오차 발생을 최소화하기 위함이다.
본 실시예에서 상기 제일실시예의 구성과 중복되는 기술적 구성에 대해서는 구체적인 설명을 생략하였으며, 동일한 기술적 구성 요소에 대해서는 동일한 명칭과 부호를 부여하였다.
이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이나, 이러한 치환, 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 진공증착장치의 제일실시예 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 진공증착장치의 제이실시예 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 진공증착장치의 제삼실시예 구성도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100. 챔버 110. 소스 용기
111. 소스 112. 단열재
120. 질량측정기 130. 기판
140. 제어부 150. 소스공급기
160. 챔버 내부조

Claims (14)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내 상부에 배치되는 기판;
    상기 챔버 내부에서 상기 기판의 하부에 설치되며, 내부에 소스가 채워지는 소스 용기;
    상기 챔버 내부에서 상기 소스 용기의 하부에 배치된 질량측정기;
    상기 질량측정기에 연결되어 상기 소스 용기의 질량 정보를 수신받는 제어부;
    상기 소스 용기의 질량 정보에 의해 상기 제어부에서 생성된 소스 공급신호를 전달받아 상기 소스 용기 내로 소스를 공급하는 소스공급기;
    상기 소스 용기와 상기 질량측정기 사이에 배치된 단열재; 및
    상기 챔버 내부에서, 상기 소스 용기의 개구부를 제외한 나머지 부분, 상기 질량측정기 및 상기 단열재를 둘러싸는 챔버 내부조;
    를 포함하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는, 내부가 밀폐되어 진공 상태로 유지되는 함체형으로 구성된 것을 특징으로 하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 소스 용기는, 자체 발열 또는 벽체에 열선이 내장된 발열체로 구성되어 내부에 채워진 소스가 발열열에 의해 증발되도록 한 것을 특징으로 하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 질량측정기는, 상기 소스 용기 내의 소스 질량 변동량을 실시간으로 측정할 수 있는 로드셀 또는 전자저울 등으로 구성된 것을 특징으로 하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 소스공급기는, 소스가 와이어 형태로 권취된 와이어 공급기 또는 분말 형태로 주입되는 파우더 공급기로 구성되는 것을 특징으로 하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  7. 제1항 또는 제5항에 있어서,
    상기 질량측정기를 통해 측정된 소스 용기 내의 소스에 대한 질량 변화량이 실시간으로 측정되어 제어부로 송신되고, 상기 제어부는 질량측정기에서 수신된 질량 변화량 정보에 의해 소스 공급신호를 생성시켜 소스공급기로 송신하여 소스 공급이 이루어지는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 소스공급기는, 상기 챔버의 내부 또는 외부에 설치된 것을 특징으로 하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  9. 삭제
  10. 챔버;
    상기 챔버 내 상부에 배치되는 기판;
    상기 챔버 내부에서 상기 기판의 하부에 설치되며, 내부에 소스가 채워지는 소스 용기;
    상기 챔버 외부에 배치되며, 상기 소스 용기의 질량을 측정하는 질량측정기;
    상기 질량측정기에 연결되어 상기 소스 용기의 질량 정보를 수신받는 제어부;
    상기 소스 용기의 질량 정보에 의해 상기 제어부에서 생성된 소스 공급신호를 전달받아 상기 소스 용기 내로 소스를 공급하는 소스공급기; 및
    상기 챔버의 벽체를 관통하며, 일단이 상기 소스 용기에 결합되고 타단이 상기 질량측정기에 결합된 단열재;
    를 포함하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 챔버;
    상기 챔버 내 상부에 배치되는 기판;
    상기 챔버 내부에 배치되며, 내부에 소스가 채워지는 소스 용기;
    상기 챔버 외부에 배치되며, 상기 소스 용기의 질량을 측정하는 질량측정기;
    상기 질량측정기에 연결되어 상기 소스 용기의 질량 정보를 수신받는 제어부; 및
    상기 소스 용기의 질량 정보에 의해 상기 제어부에서 생성된 소스 공급신호를 전달받아 상기 소스 용기 내로 소스를 공급하는 소스공급기;
    상기 챔버의 벽체를 관통하며, 일단이 상기 소스 용기에 결합되고 타단이 상기 질량측정기에 결합된 단열재; 및
    상기 기판과 상기 소스 용기 사이에서 상기 챔버 내부 공간을 가로로 구획하며, 상기 소스 용기의 개구부를 노출시키는 가로 격벽;
    을 포함하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 가로 격벽의 내측 주연부는 상기 소스 용기의 상기 개구부 상단에 밀착된 것을 특징으로 하는 소스량 제어가 가능한 진공증착장치.
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