KR101103508B1 - 선형 유기물 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 선형 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 유기물을 지속적으로 공급하며, 유기물의 잔유량을 자동으로 인식하여 부족한 양만큼 자동 공급하여 연속 공정이 가능할 뿐만 아니라 대면적 공정이 가능한 선형 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
Figure R1020090010744
유기물, 선형, 증착, 자동 공급, 대면적

Description

선형 유기물 증착 장치{A linear organic evaporation cell}
본 발명은 선형 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 유기물을 지속적으로 공급하며, 유기물의 잔유량을 자동으로 인식하여 부족한 양만큼 자동 공급하여 연속 공정이 가능할 뿐만 아니라 대면적 공정이 가능한 선형 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
종래의 전자기술은 반도체를 중심으로 하는 무기물을 대상으로 해 왔으나, 최근에는 기능성 유기물을 이용한 유기물이 주목되고 있다.
유기물을 이용하는 이유로서,
① 무기물보다 다양한 반응계·특성이 이용될 수 있다.
② 무기물보다 저에너지로 표면처리가 가능하다는 이점을 들 수 있다.
상기 유기물을 이용한 전자 부픔으로는 유기 메모리 소자, 유기 박막 트랜지스터, 유기발광 다이오우드, 유기 태양전지, 압전센서, 초전센서, 전기절연막 등이 있는데,
이들 중, 상기 유기 발광 다이오우드 소자는 표시 장치로 이용할 수 있는 것으로부터 주목되고 있고, 표시 영역이 대면적이기 때문에 대면적 기판에 균일하게 유기물 박막을 형성할 수 있는 기술이 요구되고 있다.
한편 현재까지 개발된 유기물 박막 형성 방법은 진공증착법(Vacuum Deposition Method), 스퍼터링(sputtering)법, 이온빔 증착(Ion-beam Deposition)법, Pulsed-laser 증착법, 분자선 증착법, 화학기상증착법, 스핀코터(spin coater) 등이 있다.
이때, 상기 진공증착법은 진공 챔버의 하부에 기화기와 그 상부에 기판을 설치하여 유기물 박막을 형성시키는 것이다.
상기 진공증착법을 이용한 유기 증착 장치의 개략적인 구성을 살펴보면 다음과 같다.
우선 진공 챔버에 연결된 진공 펌프가 구비되어 있으며, 이를 이용하여 진공 챔버의 일정한 진공을 유지시킨 후, 진공 챔버 하부에 배치된 하나 이상의 유기물 기화기로부터 유기물을 증발시킨다.
이때, 상기 유기물의 기화기는 원통형상 또는 사각형상의 용기로 그 내부에 유기물을 담고 있다.
상기 기화기의 용기 재료로는 석영, 세라믹 등이 사용되며, 기화기의 주변에는 일정한 패턴의 가열용 히터를 구비하여 상기 기화기의 온도를 상승시켜 상기 유기물을 가열하여 증발시킨다.
그리고 증발된 유기물은 상기 기화기로부터 일정거리가 떨어진 곳에 구비된 기판 상에 흡착, 증착, 재증발 등의 연속적 과정을 거처 기판 위에 고체화되어 유기물 박막 형성시킨다.
이러한 종래의 유기 증착 장치는 일반적으로 점형 유기 증착 장치로 상기 기화기의 용기 내에는 미량의 유기물을 구비하고 있을 이를 모두 증발시킨 후에는 상기 기화기의 용기 내에 유기물을 보충하기 위해 진공 챔버 내부의 진공 상태를 상압 상태로 변환시킨 후 유기물을 보충하고 다시 진공 상태로 변환시켜야 하기 때문에 공정 시간이 증가하고 진공 챔버 내부의 상태가 자주 변화되어 공정 변수의 변화가 발생되어 소자 수율을 떨어뜨리는 단점이 있을 뿐만 아니라 대면적이 불가능할 뿐만 아니라 연속 공정이 불가능하다는 단점 또한 가지고 있다.
본 발명의 목적은 유기물을 연속적으로 공급하여 연속 공정이 가능한 선형 유기물 증착 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 대면적 기판상에 균일한 유기물 박막을 형성할 수 있는 선형 셀을 구비한 선형 유기물 증착 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 고체 유기물을 저장하는 유기물 저장 장치, 상기 유기물 저장 장치로부터 상기 고체 유기물을 공급받아 하기의 기화기로 공급하는 미세 공급 장치, 상기 미세 공급 장치에서 공급된 고체 유기물을 기체 유기물로 증발시키는 기화기, 및 상기 기화기로부터 기체 유기물을 공급받아 노즐들을 통해 상기 기체 유기물을 분사하는 선형 셀을 포함하며; 상기 선형 셀:은 증발통로, 메인 튜브 및 복수 개의 노즐을 구비하되, 상기 증발통로는 상기 기화기와 상기 메인 튜브를 연결하여 상기 기화기로부터 공급되는 기체 유기물을 상기 메인 튜브로 전달하되, 상기 메인 튜브의 일정 위치에 연결되어 있고, 상기 증발통로에는 상기 기화기로부터 상기 메인 튜브로 공급되는 기체 유기물의 양을 조절할 수 있는 압력 밸브가 마련되어 있으며, 상기 노즐들은 상기 메인 튜브에 동일 간격으로 구비되어 있되, 상기 증발통로와 연결되는 지점에서 멀어질 수 록 노즐 내경이 큰 노즐들이 구비되어 있고, 상기 기화기, 증발통로, 메인 튜브 및 노즐에는 각각 기화기 열선, 증발통로 열선, 메인 튜브 열선 및 노즐 열선이 감긴 형태로 구비되어 있되, 상기 기화기 열선, 증발통로 열선, 메인 튜브 열선 및 노즐 열선은 각각 기화기 열선용 제어기, 증발통로 열선용 제어기, 메인 튜브 열선용 제어기 및 노즐 열선용 제어기에 연결되어 각 부분을 별도로 가열할 수 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치를 제공한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 메인 튜브와 증발통로가 연결되는 지점은 상기 메인 튜브의 중간 지점인 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
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바람직한 실시예에 있어서, 상기 기화기 전체와 상기 증발 통로의 일부분을 감싸 상기 기화기와 증발 통로의 열이 방열되는 것을 방지하는 제1케이스를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제1케이스와는 이격되되, 상기 제1케이스를 감싸고 있으며, 외부 표면에는 냉각 라인을 구비하고 있는 제2케이스를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 유기물 저장 장치 또는 미세 공급 장치는 제1잔량 감지 센서를 구비하여 유기물의 잔량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 미세 공급 장치와 기화기 사이에는 투입량 감지 센서를 구비하여 상기 기화기로 공급되는 상기 고체 유기물의 투입량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 기화기는 제2잔량 감지 센서를 구비하여 상기 기화기 내의 고체 유기물의 잔량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 기화기는 압력 센서를 구비하여 상기 기화기 내의 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 유기물 저장 장치는 상기 유기물 저장 장치 내에 저장된 고체 유기물을 교반하는 교반 블레이드를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 증발통로의 내경은 3/8인치이고, 상기 메인 튜브의 내경은 1인치이며, 상기 메인 튜브의 길이는 600mm이고, 상기 노즐들의 내경은 5mm 내지 5.6mm인 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 노즐들은 20개를 구비하고 있으며, 상기 노즐들간의 간격은 30mm인 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치이다.
본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 가진다.
먼저, 본 발명의 선형 유기물 증착 장치는 적어도 수백 시간의 연속 공정이 가능한 선형 유기물 증착 장치를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 선형 유기물 증착 장치는 370×470mm 크기의 2세대 기판 이상의 크기를 가진 기판에 대응하는 선형 셀을 구비하여 대면적 기판에 유기물 박막을 형성할 수 있는 선형 유기물 증착 장치를 얻을 수 있다.
본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.
이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시 예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.
그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기 증착 장치의 개념도이다.
도 1을 참조하여 설명하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기 증착 장치(100)는 크게 유기물 저장 장치(110), 미세 공급 장치(120), 기화기(130) 및 선형 셀(140)을 구비하고 있다.
상기 유기물 저장 장치(110)는 고체 유기물, 특히, 분말 형태의 유기물을 저 장하는 장치이다.
이때, 상기 유기물 저장 장치(110)는 본 발명의 선형 유기 증착 장치(100)에 수백 시간의 공정 시간 동안 유기물을 증착할 수 있을 정도로 다량의 고체 유기물을 저장할 수 있을 정도의 용량을 가진 것이 바람직함으로 적어도 3000cc 이상의 용량을 갖도록 설계되어 있다.
상기 미세 공급 장치(120)는 상기 유기물 저장 장치(110)에 연결되어 상기 유기물 저장 장치(110)로부터 고체 유기물을 공급받아 이후 설명될 기화기(130)로 상기 고체 유기물을 미량/정량으로 공급하도록 설계되어 있다.
즉, 상기 미세 공급 장치(120)는 도에서는 도시하고 있지 않지만 기화기(130) 내에 고체 유기물의 양을 측정하는 제2잔량 감지 센서(132)를 통해 상기 기화기(130) 내의 고체 유기물의 잔량을 측정하여, 상기 기화기(130) 내의 고체 유기물이 소진된 것으로 측정되면, 상기 기화기(130)로 유기물을 자동으로 공급하는 역할을 한다.
이때, 상기 미세 공급 장치(120)는 분당 0.3cc 이상을 상기 기화기(130)로 공급할 수 있다.
상기 기화기(130)는 상기 미세 공급 장치(120)로부터 공급받은 고체 유기물을 기체 유기물로 증발, 즉, 기화시키는 장치이다.
상기 선형 셀(140)은 상기 기화기(130)에서 공급받은 기체 유기물을 분사하는 장치이다.
이때, 상기 선형 셀(140)은 증발통로(142), 메인 튜브(144) 및 복수 개의 노즐(146)을 구비하고 있는데, 상기 기화기(130)에서 기화된 기체 유기물은 상기 증발통로(142)을 통해 상기 메인 튜브(144)로 공급되고, 상기 메인 튜브(144)에 연결된 노즐(146)을 통해 분사된다.
이때, 상기 증발통로(142)의 일정 위치에는 상기 증발통로(142)를 통해 상기 메인 튜브(144)로 공급되는 기체 유기물의 양을 조절할 수 있는 압력 밸브(148)를 구비하고 있다.
상기 압력 밸브(148)는 상기 노즐(146)들을 통해 분사되는 기체 유기물의 양을 조절함으로써 본 발명의 선형 유기물 증착 장치(100)의 유기물 성막 속도 등을 조절하는 등의 역할을 한다.
이때, 상기 메인 튜브(144)는 일정 길이 및 일정 내경을 갖는 관형으로 이루어져 있는데, 그 일정 길이는 본 발명의 선형 유기물 증착 장치(100)의 처리 대상물, 즉, 기판의 폭에 대응되는 길이를 갖는다.
한편, 상기 증발통로(142)는 상기 메인 튜브(144)에 연결되되, 상기 메인 튜브(144)의 일정 위치, 바람직하게는 중간 지점에 연결되어 있다.
상기 노즐(146)들은 상기 메인 튜브(144)에 구비되어 있되, 동일 간격으로 구비되어 있다. 또한, 상기 노즐(146)들은 상기 증발통로(142)와 메인 튜브(144)가 연결된 일정 위치에서 멀어질 수록 더 큰 내경을 가지도록 구비되어 있다.
예컨대, 상기 메인 튜브(144)의 길이 및 내경이 각각 600mm 및 1인치, 즉, 25.4mm로 이루어지고, 상기 증발통로(142)가 상기 메인 튜브(144)에 연결되는 지점이 상기 메인 튜브(144)의 중간 지점이라고 한다면, 상기 메인 튜브(144)의 중간 지점에서 가장 가까운 노즐(146)의 내경은 5mm를 갖고, 가장 먼 노즐(146)의 내경은 5.6mm로 구비된다. 따라서, 상기 노즐(146)들의 내경은 5mm 내지 5.6mm을 갖고 있는 것이 바람직하다.
한편, 상기 선형 유기물 증착 장치(100)는 제1잔량 감지 센서(122), 투입량 감지 센서(124), 제2잔량 감지 센서(132) 및 압력 센서(134) 등을 구비하고 있다.
상기 제1잔량 감지 센서(122)는 상기 미세 공급 장치(120)에 구비되어 상기 미세 공급 장치(120) 내의 고체 유기물의 잔량을 측정하는 역할을 한다.
상기 투입량 감지 센서(124)는 상기 미세 공급 장치(120)를 통해 상기 기화기(130)로 투입되는 고체 유기물의 양을 측정하는 역할을 한다.
상기 제2잔량 감지 센서(132)는 상기 기화기(130) 내의 고체 유기물의 양을 측정하는 역할을 하여 상기 기화기(130) 내에 고체 유기물의 잔량이 감소하면 상기 미세 공급 장치(120)를 통해 고체 유기물이 공급되도록 하는 역할을 한다.
상기 압력 센서(134)는 상기 기화기(130) 내의 기체 유기물의 압력을 측정하여 기화기(130) 내의 고체 유기물이 증발, 즉, 기화되는 양을 조절하거나, 상기 증발통로(142)를 통해 상기 노즐(146)들로 공급되는 기체 유기물의 압력을 조절하는 자료를 제공하는 역할을 한다.
따라서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기물 증착 장치(100)는 유기물을 연속적으로 공급하여 연속 공정, 적어도 수백 시간의 연속 공정이 가능하며, 370×470mm 크기의 2세대 기판 이상의 크기를 가진 대면적 기판상에 균일한 유기물 박막을 형성할 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기물 증착 장치의 실제 구성도를 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하여 설명하면, 도 2 및 도 3에 개시된 선형 유기물 증착 장치(200)는 도 1을 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기물 증착 장치(100)의 개념도를 실제로 구현한 선형 유기물 증착 장치(200)이다.
상기 선형 유기물 증착 장치(200)는 도 1을 참조하여 설명한 개념도와 마찬가지로 크게 유기물 저장 장치(210), 미세 공급 장치(220), 기화기(230) 및 선형 셀(240)을 구비하고 있다.
상기 유기물 저장 장치(210)는 반지름 150mm 이상, 높이 140mm 이상, 그리고 2473cc 이상의 용량을 갖는 것이 바람직하다. 이는 본 발명의 선형 유기물 증착 장치(200)가 적어도 수백 시간 이상의 연속 공정이 가능하도록 설계되어 있어 고용량의 유기물 저장 장치가 필요하기 때문이다.
또한 상기 유기물 저장 장치(210) 내부에는 상기 유기물 저장 장치(210) 내에 저장된 고체 유기물이 응집되는 것을 방지하고, 공급되는 양의 정확성을 높이기 위한 교반 블레이드(212)를 구비하고 있다. 도에는 도시하고 있지 않지만 상기 교반 블레이드(212)는 동력 부재와 연결되어 있어 상기 교반 블레이드(212)를 회전시킨다.
상기 미세 공급 장치(220)는 상기 유기물 저장 장치(210)로부터 고체 유기물을 공급받아 상기 기화기(230)로 연속적으로 공급하는 장치로 분당 0.3cc 이상의 공급 능력을 구비하고 있다.
한편, 상기 미세 공급 장치(220)에는 공급 모터(222)를 구비하고 있는데, 상기 공급 모터(222)의 회전수를 조절하여 상기 기화기(230)로 공급되는 고체 유기물의 양을 조절할 수 있다.
이때, 상기 미세 공급 장치(220)는 도에서 도시하고 있지 않지만 제1잔량 감지 센서를 구비하여 상기 미세 공급 장치(220) 내에 고체 유기물의 잔량을 측정한다.
상기 미세 공급 장치(200)와 기화기(230)는 연결 통로(224)와 연결되어 있는데, 상기 연결 통로(224)로 상기 미세 공급 장치(200)와 기화기(230)를 연결하는 것으로, 상기 기화기(230)에서 발생된 열이 상기 미세 공급 장치(200) 또는 유기물 저장 장치(210)로 전달되는 것을 방지하기 위해 구비된다. 이와 같은 연결 구조로 인해 상기 미세 공급 장치(200)와 유기물 저장 장치(210)는 100℃ 이하를 유지하여 고체 유기물이 변성되거나 변형되는 것을 방지한다.
또한, 도에서 도시하고 있지 않지만, 상기 미세 공급 장치(220)와 상기 기화기(230)를 연결하는 연결 통로(224)에는 상기 기화기(230)로 공급되는 고체 유기물의 양을 측정하는 투입량 감지 센서를 구비하여 투입량을 측정한다.
상기 기화기(230)는 상기 미세 공급 장치(220)로부터 공급된 고체 유기물을 승화, 즉, 기화시키는 역할을 한다.
이때, 도에서는 도시하고 있지 않지만, 상기 기화기(230) 내부의 압력을 측정하는 압력 센서를 구비하여 상기 기화기(230)에 승화, 즉, 기화된 기체 유기물의 양을 간접적으로 알 수 있는 압력을 측정한다.
상기 기화기(230)의 외벽에는 기화기 열선(262)을 구비하고 있다.
상기 기화기 열선(262)은 상기 기화기(230)를 가열하여 공급된 고체 유기물을 승화, 즉, 기화시키는 열원으로 작용한다.
이때, 상기 기화기 열선(262)은 기화기 열선용 제어기(미도시)와 연결되어 있는데, 상기 기화기 열선용 제어기는 상기 기화기 열선(262)에 입력되는 전류를 조절하여 상기 기화기(230)의 온도를 조절하는 역할을 한다.
또한, 상기 증발통로(242)에도 상기 증발통로(242)의 외벽을 감싸는 형태로 증발통로 열선(264)이 구비되어 있을 뿐만 아니라, 상기 메인 튜브(244) 및 노즐(246)들의 외벽을 각각 감싸는 형태로 메인 튜브 열선(266) 및 노즐 열선(268)도 구비되어 있는데, 상기 증발통로 열선(264), 메인 튜브 열선(266) 및 노즐 열선(268)들은 각 부분을 통과하는 기체 유기물이 내벽에 응축되는 것을 방지할 뿐만 아니라 상기 노즐(246)들을 통해 분사되는 기체 유기물의 온도가 일정하게 하기 위해 구비된다.
상기 증발통로(242), 메인 튜브(244) 및 노즐(246)들의 외벽들을 각각 감싸는 형태로 구비된 증발통로 열선(264), 메인 튜브 열선(266) 및 노즐 열선(268)들은 각각 증발통로 열선용 제어기(미도시), 메인 튜브 열선용 제어기(미도시) 및 노즐 열선용 제어기(미도시)에 연결되어 각각 입력 전류를 달리하여 각각의 온도를 조절할 수 있다.
한편, 상기 기화기(230)는 이중 케이스(250)로 보호되는데, 상기 이중 케이스(250) 중 안쪽의 제1케이스(252)는 상기 기화기(230) 전체와 상기 증발통로(242) 의 일부분(이때, 상기 제1케이스(252)는 상기 증발통로(242)의 대부분을 덮는 것이 바람직하다)을 감싸는 형태로 구비되어, 상기 기화기(230) 및 증발통로(242)의 기화기 열선(262) 및 증발통로 열선(264)에서 발생된 열이 외부로 방열되는 것을 방지할 뿐만 아니라 복사열을 반사시키기 위해 구비되며, 3중 스테인레스로 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 기화기(230)에는 상기 제1케이스(252)와는 이격되어 일정 공간을 구비하도록 배치되며, 상기 제1케이스(252)를 감싸고 있으며, 외부 표면에는 냉각 라인(270)을 구비하고 있는 제2케이스(254)를 구비하고 있다.
상기 제2케이스(254)는 상기 제2케이스(254) 내부에 구비된 기화기(230) 및 증발통로(242)에서 발생된 열이 외부로 방출되거나, 특히, 상기 유기물 저장 장치(210) 또는 미세 공급 장치(220)로 전달되는 것을 방지하는 역할을 한다.
상기 증발통로(242)의 일정 위치, 바람직하게는 상기 제1케이스(252)에 의해 감싸지는 증발통로(242)의 일정 위치에 압력 밸브(248)를 구비하고 있다.
상기 압력 밸브(248)는 상기 기화기(230)에서 기화된 기체 유기물이 상기 메인 튜브(244)로 공급되는 양을 조절하거나, 온/오프(On/Off) 동작을 하여 상기 기체 유기물을 차단하거나 공급하는 역할을 한다.
이때, 상기 압력 밸브(248)는 밸브 제어기(236)에 의해 조절되는데, 상기 밸브 제어기(236)는 모터 등의 엑추에이터를 구비하여 상기 엑추에이터의 동작에 의해 작동한다.
이때, 상기 증발통로(242)는 그 내경이 약 9.5mm, 정확하게는 3/8인치인 것 이 바람직하고, 상기 메인 튜브(244)는 그 내경이 약 25.4mm, 정확하게는 1인치인 것이 바람직하다. 상기 노즐(246)들은 상기 증발통로(242)와 메인 튜브(244)와 연결되는 부분, 정확하게는 상기 메인 튜브(242)의 중간 지점으로부터의 이격 거리, 즉, 멀어질 수 록 내경이 큰 노즐(246)들이 구비되는데, 이에 대한 자세한 설명은 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기물 증착 장치의 선형 셀을 도시한 정면도이다.
도 4를 참조하여 설명하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기물 증착 장치(200)의 선형 셀(240)은 증발통로(242), 메인 튜브(244) 및 복수 개의 노즐(246)을 구비하고 있는데, 상기 증발통로(242) 및 메인 튜브(244)는 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한 바와 동일함으로 생략한다.
상기 노즐(246)들은 상기 메인 튜브(244)의 길이가 600mm인 경우, 20개가 구비될 수 있으며, 일정 간격, 즉, 30mm 간격으로 구비된다.
이때, 도 4에서 도시하고 있는 바와 같이 상기 증발통로(242)가 상기 메인 튜브(244)의 중간 지점에 연결됨으로 상기 메인 튜브(244)의 일측 영역에는 10개의 노즐(246)들이 구비되며, 상기 메인 튜브(244)에서 멀어질 수록 그 내경은 커지게 된다. 도 4에서는 상기 중간 지점에서 가장 가까운 노즐(246)들로부터 그 내경이 5mm 내지 5.6mm, 각각은 5mm, 5mm, 5mm, 5mm, 5.1mm, 5.1mm, 5.1mm, 5.2mm, 5.3mm 및 5.6mm인 것으로 도시하고 있다. 이때, 상기 메인 튜브(244)의 길이가 600mm 이상인 경우의 노즐(246)들의 내경으로, 상기 메인 튜브(244)의 길이가 달라지면, 상 기 노즐(246)들의 내경이 달라지는 것은 당연하다.
이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기 증착 장치의 개념도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기물 증착 장치의 실제 구성도를 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 선형 유기물 증착 장치의 선형 셀을 도시한 정면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110 : 유기물 저장 장치 120 : 미세 공급 장치
130 : 기화기 140 : 선형 셀

Claims (14)

  1. 고체 유기물을 저장하는 유기물 저장 장치,
    상기 유기물 저장 장치로부터 상기 고체 유기물을 공급받아 하기의 기화기로 공급하는 미세 공급 장치,
    상기 미세 공급 장치에서 공급된 고체 유기물을 기체 유기물로 증발시키는 기화기, 및
    상기 기화기로부터 기체 유기물을 공급받아 노즐들을 통해 상기 기체 유기물을 분사하는 선형 셀을 포함하며;
    상기 선형 셀:은
    증발통로, 메인 튜브 및 복수 개의 노즐을 구비하되,
    상기 증발통로는 상기 기화기와 상기 메인 튜브를 연결하여 상기 기화기로부터 공급되는 기체 유기물을 상기 메인 튜브로 전달하되, 상기 메인 튜브의 일정 위치에 연결되어 있고, 상기 증발통로에는 상기 기화기로부터 상기 메인 튜브로 공급되는 기체 유기물의 양을 조절할 수 있는 압력 밸브가 마련되어 있으며,
    상기 노즐들은 상기 메인 튜브에 동일 간격으로 구비되어 있되, 상기 증발통로와 연결되는 지점에서 멀어질 수 록 노즐 내경이 큰 노즐들이 구비되어 있고,
    상기 기화기, 증발통로, 메인 튜브 및 노즐에는 각각 기화기 열선, 증발통로 열선, 메인 튜브 열선 및 노즐 열선이 감긴 형태로 구비되어 있되,
    상기 기화기 열선, 증발통로 열선, 메인 튜브 열선 및 노즐 열선은 각각 기화기 열선용 제어기, 증발통로 열선용 제어기, 메인 튜브 열선용 제어기 및 노즐 열선용 제어기에 연결되어 각 부분을 별도로 가열할 수 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인 튜브와 증발통로가 연결되는 지점은 상기 메인 튜브의 중간 지점인 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기 전체와 상기 증발 통로의 일부분을 감싸 상기 기화기와 증발 통로의 열이 방열되는 것을 방지하는 제1케이스를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1케이스와는 이격되되, 상기 제1케이스를 감싸고 있으며, 외부 표면에는 냉각 라인을 구비하고 있는 제2케이스를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기물 저장 장치 또는 미세 공급 장치는 제1잔량 감지 센서를 구비하여 유기물의 잔량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 공급 장치와 기화기 사이에는 투입량 감지 센서를 구비하여 상기 기화기로 공급되는 상기 고체 유기물의 투입량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기는 제2잔량 감지 센서를 구비하여 상기 기화기 내의 고체 유기물의 잔량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기는 압력 센서를 구비하여 상기 기화기 내의 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기물 저장 장치는 상기 유기물 저장 장치 내에 저장된 고체 유기물을 교반하는 교반 블레이드를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 증발통로의 내경은 3/8인치이고, 상기 메인 튜브의 내경은 1인치이며, 상기 메인 튜브의 길이는 600mm이고, 상기 노즐들의 내경은 5mm 내지 5.6mm인 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐들은 20개를 구비하고 있으며, 상기 노즐들간의 간격은 30mm인 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치.
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