JP5658525B2 - 蒸発装置及び蒸着装置 - Google Patents
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Description
有機EL装置は、ガラス基板や透明樹脂フィルムの基材に、有機化合物等で構成される有機EL素子を積層したものである。有機EL素子は、複数の層から成り、真空蒸着法等によって成膜される。真空蒸着法とは、真空に減圧した雰囲気の中で、材料に熱エネルギーを加えて蒸発させ、蒸発した材料を基板上に堆積させる方法である。
本発明の蒸発装置によれば、長時間に亘る蒸着が容易である。
本発明の蒸発装置によれば、簡素な構成とすることができる。
真空室2は、気密性を有している。また、真空室2は、気体排出装置10を備えており、空間9を高真空雰囲気に保つことができる。なお、気体排出装置10は、ダクト11と、バルブ12と、真空ポンプ13とを有している。
図4(a)では、材料供給手段24から材料保持部21a上に供給された粉体の薄膜材料40が、加熱手段22によって加熱される。加熱された薄膜材料40は、蒸気となって、蒸気回収フード25を経由して蒸気通路4に回収される。
図5において、蒸発装置50は、材料保持部51と、加熱手段52と、保持部移動手段53と、材料供給手段24と、蒸気回収フード25と、カメラ26とを有している。
材料保持部51は、6つの材料保持部51a〜51fを有しており、円形の保持部移動手段53上に位置している。
図6(a)では、材料供給手段24から材料保持部51a内に供給された粉体の薄膜材料40が、加熱手段52によって加熱される。
3,50 蒸発装置
21,21a〜21c,51,51a〜51f,61,61a〜61f 材料保持部
22,52 加熱手段
23,53 保持部移動手段
24 材料供給手段
30 長尺体
40 薄膜材料
54 坩堝
Claims (6)
- 薄膜材料を保持する材料保持部を複数有し、
さらに1又は2以上の前記材料保持部が保持する薄膜材料を加熱する加熱手段と、材料保持部に薄膜材料を供給する材料供給手段と、材料保持部を移動させる保持部移動手段を有し、
1又は2以上の材料保持部を使用し、前記1又は2以上の材料保持部に対して材料供給手段によって連続的に又は間欠的に薄膜材料を供給すると共に、当該1又は2以上の材料保持部に供給された薄膜材料を加熱手段によって加熱して蒸発させるものであり、
前記加熱手段は、材料供給手段から前記1又は2以上の材料保持部に供給された薄膜材料を加熱し、
交換時期が訪れることを条件の一つとして保持部移動手段によって前記1又は2以上の材料保持部が移動して、前記加熱手段が前記材料供給手段から他の材料保持部に供給される薄膜材料を加熱することを特徴とする蒸発装置。 - 前記材料保持部は、連続した長尺体の一部であることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置。
- 前記材料保持部は、独立した坩堝であることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置。
- 加熱した材料保持部で生じた薄膜材料の蒸気を集めるための蒸気回収フードを有し、
前記蒸気回収フードは、前記材料保持部を挟んで、加熱手段の上方に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の蒸発装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の蒸発装置を有することを特徴とする蒸着装置。
- 請求項4に記載の蒸発装置を有する蒸着装置であって、
薄膜材料の蒸気を放出する薄膜材料放出部と、蒸気通路を有し、
前記蒸気通路は、蒸発装置から排出される薄膜材料の蒸気が通過する通路であって、その端部は、前記薄膜材料放出部に接続されており、
前記加熱手段によって加熱された薄膜材料は、蒸気となって、蒸気回収フードを経由して蒸気通路に回収され、薄膜材料放出部から放出されることを特徴とする蒸着装置。
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