KR101179872B1 - Ｏｌｅｄ 디바이스 증착용 증발원 연속 공급장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 재료가 충진된 증발원인 복수의 도가니를 별도의 진공 챔버 내부에 보관함으로써 증발원 교체 시간 동안의 가동 중단 시간을 최소화하여 생산성을 극대화할 수 있도록 하는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는,
증착 챔버;
상기 증착 챔버의 내부에 설치되고, 증발원을 가열하는 가열원을 포함하는 증기 형성 장치; 및
증착 물질을 충진할 수 있는 다수의 증발원을 구비하는 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버를 포함하고.
상기 증착 챔버 및 상기 증기 형성 장치 사이에는 기화물질이 이동할 수 있도록 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관을 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.

Description

ＯＬＥＤ 디바이스 증착용 증발원 연속 공급장치{Continuous supply assembly of thermal evaporation source for OLED device deposition}
본 발명은 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급장치에 관한 것으로, 구체적으로는 증착 재료가 충진된 증발원인 복수의 도가니를 별도의 진공 챔버 내부에 보관함으로써 증발원 교체 시간 동안의 가동 중단 시간을 최소화하여 생산성을 극대화할 수 있도록 하는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급장치에 관한 것이다.
열적 물리적 기상 증착은 증착 재료의 증기로 기판 표면에 발광층을 형성하는 기술로, 증발원 내에 충진된 증착 재료는 기화 온도까지 가열되어 증기가 증발원 외부로 분사되어 코팅될 기판상에서 응축된다. 이러한 증착 공정은 10-7 내지 10-2 Torr 범위의 진공 챔버내에서 진행된다.
증착 공정이 진행됨에 따라 증발원 내부의 증착 재료의 양이 적정량 이하로 줄어들면, 새로운 증발원으로 교체해야 하는데, 증발원을 교체할 때마다 챔버 내의 진공 상태를 해제한 후, 새로운 증발원을 장착하고 다시 챔버 내부를 진공 상태로 조성하여야 하므로 증발원의 교체, 충진에 의한 증착 설비의 가동 중지가 불가피하다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 증발원 내의 증착 재료 충진량을 증가시킬 경우 증착 재료의 과도한 열화로 인한 물질 변성 또는 변질이 유발되는 또 다른 문제점을 갖는다.
또한, 공개특허 제2008-006008호는 다수개의 증발원을 리볼버 내부에 배치하여 다수 개의 증발원들에 수용된 증착 재료가 모두 소진될 때까지 증착 공정을 지속적으로 사용하는 방법을 개시하고 있으나, 증착 중 발생하는 사고에 대한 유지 보수시 증착물질이 대기 중에 노출되어 변성을 초래하기 때문에 증착 재료를 재사용할 수 없으며, 이러한 증착 물질 사용 효율의 저하는 OLED 디바이스 제작에 있어서 패널 제조 단가의 상승을 초래하고 생산성을 악화시킨다는 문제점을 갖는다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 증발원의 교체로 인한 OLED 증착 설비의 가동 정지 시간을 최소화할 수 있는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 증착 재료가 충진된 도가니를 별도의 진공 챔버 내부에 보관함으로써 OLED 증착 설비의 가동 시간을 효율적으로 사용할 수 있도록 하는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는,
증착 챔버(9);
상기 증착 챔버의 내부에 설치되고, 증발원(1a, 1b)을 가열하는 가열원을 포함하는 증기 형성 장치(7); 및
증착 물질을 충진할 수 있는 다수의 증발원(1a, 1b)을 구비하는 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)를 포함하고.
상기 증착 챔버(9) 및 상기 증기 형성 장치(7) 사이에는 기화물질이 이동할 수 있도록 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관(13a, 13b)을 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.
본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는,
제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(9a, 9b)에 보관된 다수의 증발원에 증착 물질을 충진하는 단계;
각각의 상기 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버의 충진된 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b)을 증기 형성 장치(7)의 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관(13a, 13b)에 대응하는 각각의 위치로 이송하는 단계;
상기 제 1 및 제 2 증발원 중 먼저 가열된 증발원의 기화 물질을 기판에 증착하는 단계;및
증착 물질이 소진된 상기 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b) 중 하나를 상기 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버 중 대응하는 하나로 이송하는 단계에 의해 동작한다.
본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는 진공 상태에서 증착 물질을 증발원에 충진 할 수 있고, 먼저 가열된 증발원에 의해 증착 공정이 진행되는 동안, 다른 증발원이 가열되어 대기하게 되므로, 전체적인 증착 공정의 빠르게 진행되며, 증착 물질의 변성도 방지할 수 있다.
도1은 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도2는 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치의 작동 방법을 나타내는 흐름도이다.
본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는 증발원에 증착 물질을 충진하고 가열하기 위한 가동 정지 시간을 최소화하고, 유기물을 대기 중에 노출되지 않도록 하여 증착 물질의 사용 효율을 증대시키고, 생산성을 극대화한다.
도1은 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도2는 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치의 작동 방법을 나타내는 흐름도이다.
본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는,
증착 챔버(9);
상기 증착 챔버(9)의 내부에 설치되고, 증발원(1a, 1b)을 가열하는 가열원을 포함하는 증기 형성 장치(7); 및
증착 물질을 충진할 수 있는 다수의 증발원(1a, 1b)을 구비하는 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)를 포함하고.
상기 증착 챔버(9) 및 상기 증기 형성 장치(7) 사이에는 기화물질이 이동할 수 있도록 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관(13a, 13b)으로 구성된다.
증착 챔버(9), 증착 챔버 내부의 증기 형성 장치(7)와 제 1 증착 물질 보관 챔버(3a) 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(3b)는 진공 펌프에 연결되어 있는데, 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버내에서 증발원인 도가니에 증착 물질을 충진할 경우 진공 중에서 충진할 수 있다.
또한, 증착 챔버(9) 및 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)는 진공/대기압 조절 밸브에 의해 별도로 진공 분위기를 관리할 수 있기 때문에, 증착이 진행되는 도중 증착 챔버(9)에서 문제가 발생하여 유비, 보수가 필요할 경우에는 먼저 도가니를 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)로 이송한 후 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)에 연결된 진공 펌프를 동작시켜 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)를 진공으로 유지한 상태에서, 증착 챔버(9)의 진공 분위기를 해제하여 대기에 노출시킨 후 유지 보수 작업을 실시할 수 있으므로, 도가니 내부에 충진되어 있는 유기 물질의 변성을 방지할 수 있다.
증착 챔버(9)의 내부에는 상부에 기판을 지지할 수 있는 기판 지지부가 상부에 구성된다. 또한, 제 1 기화 물질 유입관(13a) 및 제 2 기화 물질 유입관(13b)의 상부에는 하나의 기화 물질 배출부(8)가 구성되어, 제 1 기화 물질 유입관(13a) 및 제 2 기화 물질 유입관(13b)으로부터 유입된 기화 물질을 기판을 향해 배출할 수 있도록 한다.
증기 형성 장치(7)의 내부에는 제 1 기화 물질 유입관(13a) 및 제 2 기화 물질 유입관(13b)의 하부에 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a, 11b)가 설치되고, 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a, 11b)의 일 측에는 증발원으로부터 배출되는 기화물질의 압력을 감지하는 기화물질 배출 감지 센서(12a, 12b)가 각각 설치된다.
또한, 증착 챔버(9)의 내부에는 각각의 기화 물질 유입관(13a, 13b)과 상기 기화 물질 배출부(8)의 사이에 제 2 기화 물질 배출 밸브(14a, 14b)가 설치된다.
제 1 증착 물질 보관 챔버(3a) 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(3b)에는 증착 물질로 충진 가능한 복수 개의 증발원(1a, 1b)이 각각 보관되어, 제 1 및 제 2 증발원 이송 장치(2a, 2b)에 의해 각각 증발원을 좌/우 선형으로 이송한다.
또한, 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는, 각각의 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)의 증발원을 전/후, 좌/우로 이송하여 증기 형성 장치(7)의 제 1 및 제 2 기화물질 유입관(13a, 13b)의 각각의 대응하는 위치로 이송하는 증발원 공급 장치(4a, 4b)를 포함한다.
또한, 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는, 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관(13a, 13b)의 각각의 대응하는 위치로 이송된 증발원(1a, 1b)을 각각의 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a, 11b)의 일단에 장착하거나, 반대로 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a, 11b)로부터 분리할 수 있도록 하는 증발원 탈/부착 장치(도면에 미도시)를 포함한다.
이러한 제 1 및 제 2 증발원 이송 장치(2a, 2b),제 1 및 제 2 증발원 공급 장치(4a, 4b)와 증발원 탈/부착 장치는 진공 또는 대기압 상태에서 동작할 수 있다.
또한, 증기 형성 장치(7) 및 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)에는 진공 상태/대기압 상태로 조절할 수 있는 진공/대기압 조절 밸브(10a, 10b)가 각각 설치되어, 증발원에 증착 물질을 충진할 경우와 증발원을 제 1 및 제 2 증발원 이송 장치(2a, 2b),제 1 및 제 2 증발원 공급 장치(4a, 4b)에 의해 이송할 경우 및 증발원 탈/부착 장치에 장착할 경우 대기압 상태로 조절하고, 증발원(1a, 1b)에 증착물질을 충진하거나, 증기 형성 장치(7) 내의 증발원을 가열, 증착하는 경우 진공 펌프에 의해 진공 상태를 유지하게 한다.
이하, 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치 동작을 설명한다.
본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는,
제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)에 보관된 다수의 증발원에 증착 물질을 충진하는 단계;
각각의 상기 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버의 충진된 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b)을 증기 형성 장치(7)의 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관(13a, 13b)에 대응하는 각각의 위치로 이송하는 단계;
상기 제 1 및 제 2 증발원 중 먼저 가열된 증발원의 기화 물질을 기판에 증착하는 단계;및
증착 물질이 소진된 상기 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b) 중 하나를 상기 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버 중 대응하는 하나로 이송하는 단계에 의해 동작한다.
충진된 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b)을 증기 형성 장치의 제 1 및 제 2 기화물질 유입관에 대응하는 위치로 이송하는 단계는,
충진된 증발원(1a, 1b)을 각각의 증발원 이송 장치(2a, 2b)에 의해 선형 이동하는 단계; 및
선형 이동된 각각의 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b)을 각각의 제 1 및 제 2 증발원 공급 장치(4a, 4b)에 의해 증기 형성 장치의 제 1 및 제 2 기화물질 유입관에 대응하는 위치로 이송하는 단계를 포함한다.
또한, 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b) 중 먼저 가열된 증발원의 기화 물질을 기판에 증착하는 단계는
증기 형성 장치(7)의 가열원에 전기를 공급하여 제 1 및 제 2 증발원 중 하나를 가열하는 단계;
제 1 및 제 2 증발원 중에서 먼저 가열된 제 1 증발원(1a)을 대응하는 제 1 기화 물질 유입관(13a)에 증발원 탈/부착 장치에 의해 장착하는 단계;
먼저 가열된 제 1 증발원(1a)에 대응하는 제 1 기화 물질 유입관(13a)의 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a) 및 제 2 기화 물질 배출 밸브(14a)를 열어, 대응하는 제 1 기화 물질 배출 감지 센서(12a)에서 감지된 값에 따라, 제 1 증발원(1a)의 기화 물질의 증착 속도를 제어하면서 기판에 증착하는 단계; 및
증착 물질이 소진된 제 1 증발원(1a)을 증발원 탈/부착 장치에 의해 상기 제 1 기화 물질 유입관(13a)으로부터 분리하는 단계를 더 포함한다.
또한, 제 1 증발원(1a)의 기화 물질의 증착 속도를 제어하면서 기판에 증착하는 단계는,
상기 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b) 중에서 먼저 가열된 제 1 증발원(1a)의 기화 물질이 증착되는 동안 나머지 제 2 증발원(1b)을 가열하는 단계를 더 포함한다.
또한, 증착 물질이 소진된 제 1 증발원(1a)을 증발원 탈/부착 장치에 의해 상기 제 1 기화 물질 유입관(13a)으로부터 분리하는 단계는,
상기 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b) 중에서 먼저 가열된 제 1 증발원(1a)의 기화 물질이 소진된 경우, 상기 제 1 기화 물질 유입관(13a)의 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a) 및 제 2 기화 물질 배출 밸브(14a)를 닫고, 가열된 나머지 제 2 증발원(1b)을 대응하는 제 2 기화 물질 유입관에 증발원 탈/부착 장치에 의해 장착하는 단계;
상기 제 2 기화 물질 유입관(13b)의 제 1 기화 물질 배출 밸브(11b) 및 제 2 기화 물질 배출 밸브(14b)를 열어, 제 2 기화 물질 배출 감지 센서(12b)에서 감지된 값에 따라 상기 제 2 증발원(1b)의 기화 물질의 증착 속도를 제어하면서 기판에 증착하는 단계; 및
상기 제 2 증발원의 기화 물질이 소진된 경우, 상기 제 1 기화 물질 유입관(13b)의 제 1 기화 물질 배출 밸브(11b) 및 제 2 기화 물질 배출 밸브(14b)를 닫고, 상기 제 2 증발원(1b)을 상기 제 2 기화 물질 유입관으로부터 증발원 탈/부착 장치에 의해 분리하는 단계를 더 포함한다.
또한, 기화 물질이 소진된 상기 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b)을 각각의 상기 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)로 이송하는 단계는,
기화 물질이 소진된 상기 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b)을 상기 증기 형성 장치(7)로부터 상기 제 1 및 제 2 증발원 공급 장치(4a, 4b)에 의해 제 1 및 제 2 증발원 이송 장치(2a, 2b)로 이송시키는 단계; 및
상기 제 1 및 제 2 증발원 이송 장치(2a, 2b)의 선형 이동에 의해 상기 제 1 및 제 2 증발원(1a, 1b)을 각각의 상기 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(3a, 3b)로 이송하는 단계를 더 포함한다.
본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치의 동작 방법을 설명하면, 예를 들어, 제 1 기화 물질 유입관(13a) 하부의 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a) 및 제 2 기화 물질 배출 밸브(14a)가 열리면, 가열된 제 1 증발원(1a)의 출구로부터 기화 물질 유입관(13a)을 따라 분출된 기화 물질은 기화 물질 배출부(8)를 통해 증착 챔버(9) 내의 기판에 도달하여 증착된다.
이때 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a)의 일측에 설치되는 기화물질 배출 감지 센서(12a)에 의해 제 1 증발원(1a)의 기화 물질 배출 속도가 조절되며, 제 1 증발원(1a)의 기화 물질 배출 속도에 의해 계산된 가능한 증착 시간에 따라 제 2 증발원(1b)이 가열되고 제 2 기화 물질 유입관(13b)에 장착된 후, 제 1 증발원(1a)의 기화 물질이 소진된 경우, 제 1 기화 물질 유입관(13a) 하부의 제 1 기화 물질 배출 밸브(11a) 및 제 2 기화 물질 배출 밸브(14a)가 닫힌다.
다음으로, 2 기화 물질 유입관(13b) 하부의 제 1 기화 물질 배출 밸브(11b) 및 제 2 기화 물질 배출 밸브(14b)가 열리면, 가열된 제 2 증발원(1b)의 출구로부터 기화 물질 유입관(13b)을 따라 분출된 기화 물질은 기화 물질 배출부(8)를 통해 증착 챔버(9) 내의 기판에 도달하여 증착된다.
제 2 증발원(1b)의 기화 물질이 배출되는 동안, 이미 증착 물질이 소진된 제 1 증발원(1a)은 제 1 증발원 탈/부착 장치에 의해 제 1 기화 물질 유입관(13a)으로부터 분리되고, 제 1 및 제 2 증발원 공급 장치(4a) 및 제 1 증발원 이송 장치(2a)에 의해 제 1 증착 물질 보관 챔버(3a)에 이송된 후 증착 물질로 재충진된다.
이와 같이, 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는 제 1 증착 물질 보관 챔버(3a) 및 제 2 증착 물질 보관 챔버(3b)에 보관된 증발원(1a, 1b)에 진공 상태에서 증착 물질을 충진한 후, 각각의 증발원 이송 장치 및 증발원 공급 장치에 의해 증기 형성 장치 내부로 이송되고, 먼저 가열된 증발원이 대응하는 기화 물질 유입관과 기화 물질 배출부를 통해 기화 물질을 기판을 향해 분출하는 동안, 제 1 기화 물질 배출 밸브에 설치된 기화 물질 배출 감지 센서에 의해 분출 속도가 조절되고, 기화 물질 유입관의 증기 형성 장치 내의 다른 증발원이 가열되어 대기 상태에 있게 된다. 증착 물질이 소진된 증발원이 기화 물질 유입관으로부터 분리되면, 대기 중인 다른 가열된 증발원이 대응하는 기화 물질 유입관에 부착되어 증착 공정을 수행하게 된다.
따라서, 본 발명에 따르는 OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치는 진공 상태에서 증착 물질을 증발원에 충진 할 수 있고, 먼저 가열된 증발원에 의해 증착 공정이 진행되는 동안, 다른 증발원이 가열되어 대기하게 되므로, 전체적인 증착 공정의 빠르게 진행되며, 증착 물질의 변성도 방지할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사항을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이런 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (15)

  1. 증착 챔버;
    상기 증착 챔버의 내부에 설치되고, 증발원을 가열하는 가열원을 포함하는 증기 형성 장치; 및
    증착 물질을 충진할 수 있는 다수의 증발원과, 상기 증발원을 좌/우 선형으로 이송하는 증발원 이송 장치를 각각 구비하는 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버;
    상기 증착 챔버 및 상기 증기 형성 장치 사이에 형성되는 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관;
    상기 각각의 증착 물질 보관 챔버의 증발원을 전/후, 좌/우로 이송하여 상기 증기 형성 장치의 제 1 및 제 2 기화물질 유입관에 대응하는 위치로 이송하는 증발원 공급 장치; 및
    상기 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관에 대응하는 위치로 이송된 증발원을 각각의 제 1 기화 물질 배출 밸브의 일단에 장착하고, 상기 제 1 기화 물질 배출 밸브로부터 분리할 수 있도록 하는 증발원 탈/부착 장치를 포함하고,
    상기 증기 형성 장치와 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버에는 상기 증기 형성 장치와 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버를 진공상태/대기압 상태로 조절할 수 있는 진공/대기압 조절 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는
    OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증착 챔버, 상기 증기 형성 장치, 제 1 및 제 2 증착 물질 보관 챔버는 진공 펌프에 연결되는 것을 특징으로 하는
    OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 증착 챔버는
    내부의 상부에 기판을 지지할 수 있는 기판 지지부;및
    상기 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관의 상부에 구성되는 하나의 기화 물질 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는
    OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 증기 형성 장치는
    상기 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관의 하부에 각각 설치되는 제 1 기화 물질 배출 밸브; 및
    상기 제 1 기화 물질 배출 밸브의 일 측에 설치되어 배출되는 기화물질의 압력을 감지하는 기화물질 배출 감지 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는
    OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 증발원 이송 장치, 상기 증발원 공급 장치 및 상기 증발원 탈/부착 장치는 진공 또는 대기압 상태에서 구동되는 것을 특징으로 하는
    OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 증착 챔버는 상기 제 1 및 제 2 기화 물질 유입관과 기화 물질 배출부의 사이에 설치되는 제 2 기화 물질 배출 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는
    OLED 디바이스 증착용 증발원 연속 공급 장치.
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