KR102329250B1 - 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 원료 물질을 증착하기 위한 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는, 공정 공간이 형성되는 증착 챔버; 상기 증착 챔버에 연결되는 공급 챔버; 상기 증착 챔버에 연결되는 배출 챔버; 상기 공급 챔버 내부에 수용되는 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이동시키거나 상기 증착 챔버로부터 상기 배출 챔버로 이동시키기 위한 이송 유닛; 상기 증착 챔버의 내부에 설치되어 기판이 안착되는 기판 지지부; 및 상기 기판 지지부에 안착되는 기판에 상기 저장 용기에 저장되는 원료 물질을 분사하기 위한 분사 유닛;을 포함한다.

Description

증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법{DEPOSITION APPARATUS AND DEPOSITION METHOD USING THE SAME}
본 발명은 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 원료 물질을 증착하기 위한 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 소자(OLED: Organic Light Emitted Device)를 제작하는데 있어서 가장 중요한 공정은 유기 박막을 형성하는 공정이며, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.
한편, 이러한 진공 증착은 챔버 내에 글라스(glass)와 같은 기판과 파우더 형태의 원료 물질이 담긴 증발원을 대향 배치하고, 증발원 내에 수용되는 파우더 형태의 원료 물질을 증발시켜 증발된 원료 물질을 기판에 분사함으로써 유기 박막을 형성한다.
증발원은 외형의 형상에 따라 포인트 증발원(point evaporation source)과 선형 증발원(linear evaporation source)으로 구분된다. 여기서, 포인트 증발원과 선형 증발원은 증착 공정의 조건, 기판의 조건 또는 형성될 증착막의 형태 등을 고려하여 그 사용이 결정되나, 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라 포인트 증발원 대신 대면적 기판의 박막 균일도가 확보되는 선형 증발원이 주로 사용된다.
여기서, 증착 공정이 진행됨에 따라 증발원 내의 저장 용기에 수용된 원료 물질의 양이 적정량 이하로 줄어들면 새로운 저장 용기로 교체하여야 한다. 그러나, 새로운 저장 용기로의 교체는 챔버 내의 진공 상태를 해제한 후, 새로운 저장 용기를 장착하고, 다시 챔버 내부를 진공 상태로 조성하여야 하므로 저장 용기의 교체, 충진에 의한 증착 장치의 가동 중지가 불가피하다.
즉, 저장 용기의 교체는 증착을 수행하는 챔버 내에서 이루어지며, 저장 용기의 교체 후 다시 고진공으로 배기할 때까지 상당한 시간이 소요되어 공정 시간이 증가하는 문제점이 있었다. 또한, 원료 물질을 저장 용기 내에 대량으로 수납하는 경우, 원료 물질은 열에 의하여 변성될 수 있으며, 빈번한 저장 용기의 교체는 경제적으로 비효율적이다. 따라서, 대용량의 유기물을 수납하고, 유기물 증착을 위한 새로운 구조의 증착 장치가 요구된다.
KR 10-2010-0034168 A
본 발명은 진공 상태에서 원료 물질이 저장되는 저장 용기를 교체할 수 있는 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법을 제공한다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 공정 공간이 형성되는 증착 챔버; 상기 증착 챔버에 연결되는 공급 챔버; 상기 증착 챔버에 연결되는 배출 챔버; 상기 공급 챔버 내부에 수용되는 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이동시키거나 상기 증착 챔버로부터 상기 배출 챔버로 이동시키기 위한 이송 유닛; 상기 증착 챔버의 내부에 설치되어 기판이 안착되는 기판 지지부; 및 상기 기판 지지부에 안착되는 기판에 상기 저장 용기에 저장되는 원료 물질을 분사하기 위한 분사 유닛;을 포함한다.
상기 공급 챔버 및 배출 챔버는 상기 증착 챔버와 독립적으로 내부 압력이 조절될 수 있다.
상기 이송 유닛은, 상기 저장 용기를 제1 방향으로 이동시키도록 상기 공급 챔버 내부에 설치되는 제1 이송부; 상기 저장 용기를 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키도록 상기 증착 챔버 내부에 설치되는 제2 이송부; 및 상기 저장 용기를 제1 방향으로 이동시키도록 상기 배출 챔버 내부에 설치되는 제3 이송부;를 포함할 수 있다.
상기 저장 용기는 상기 제1 방향 및 제2 방향으로 연장되는 판형의 형상을 가질 수 있다.
상기 분사 유닛은, 저장 용기와 탈부착 가능하고, 상기 제1 방향으로 배열되는 복수 개의 분사 홀이 형성되어 상기 증착 챔버의 내부 공간에 설치되는 노즐;을 포함할 수 있다.
상기 노즐은 상기 제1 방향 및 제2 방향과 교차하는 방향으로 복수 개가 구비될 수 있다.
상기 분사 유닛은, 증착 챔버의 내부 공간에 설치되어, 상기 저장 용기를 가열하기 위한 히터;를 더 포함하고, 상기 히터는 상기 제1 방향 및 제2 방향을 포함하는 면을 따라 형성될 수 있다.
상기 저장 용기는, 상기 원료 물질을 수용하기 위한 내부 공간을 가지며, 상단의 적어도 일부가 개구되는 하우징; 및 상기 하우징의 개구된 상단에 탈부착 가능하도록 결합되는 밀봉 부재;를 포함할 수 있다.
상기 밀봉 부재는 결합부를 포함하고, 상기 공급 챔버 내부에는 상기 결합부에 체결되도록 고정 부재가 설치될 수 있다.
상기 결합부에는 관통 홀이 형성되고, 상기 고정 부재는 상기 관통 홀에 삽입되도록 연장되는 후크를 포함할 수 있다.
상기 결합부는 상기 밀봉 부재의 일 단부에 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 방법은 원료 물질이 충진된 제1 저장 용기를 공급 챔버에 공급하는 과정; 상기 제1 저장 용기가 공급된 공급 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정; 상기 제1 저장 용기를 상기 공급 챔버의 일측에 설치되는 증착 챔버로 이송하는 과정; 상기 제1 저장 용기를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정; 상기 증착 챔버의 일측에 설치되는 배출 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정; 및 원료 물질이 소진된 제1 저장 용기를 상기 배출 챔버로 이송하는 과정;을 포함할 수 있다.
원료 물질이 충진된 제2 저장 용기를 상기 공급 챔버에 공급하는 과정; 및 상기 제2 저장 용기가 공급된 공급 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정;을 더 포함하고, 상기 제2 저장 용기를 상기 공급 챔버에 공급하는 과정 및 상기 제2 저장 용기가 공급된 공급 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정은, 상기 제1 저장 용기를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정과 동시에 수행될 수 있다.
상기 제2 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이송하는 과정;을 더 포함하고, 상기 제2 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이송하는 과정은, 상기 원료 물질이 소진된 제1 저장 용기를 상기 배출 챔버로 이송하는 과정과 동시에 수행될 수 있다.
상기 배출 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정은, 상기 제1 저장 용기를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정과 동시에 수행될 수 있다.
상기 제1 저장 용기를 공급 챔버에 공급하는 과정에서 상기 제1 저장 용기는 밀봉 부재에 의하여 밀봉된 상태로 공급 챔버에 공급되고, 상기 밀봉 부재는 상기 제1 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이송하는 과정에서 상기 제1 저장 용기로부터 분리될 수 있다.
상기 제1 저장 용기가 공급된 공급 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정 및 상기 배출 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정은, 상기 공급 챔버 및 배출 챔버의 내부 압력을 진공 상태로 조절할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 의하면, 증착 챔버의 일측 및 타측에 각각 내부 압력이 조절되는 공급 챔버 및 배출 챔버를 연결하여 설치하고, 원료 물질이 저장되는 저장 용기를 공급 챔버, 증착 챔버 및 배출 챔버를 따라 이동시켜 진공 상태에서 저장 용기를 용이하게 교체할 수 있다.
또한, 저장 용기가 판형의 형상을 가지도록 형성하여 각 저장 용기가 결합되는 노즐 사이의 간격을 좁힐 수 있으며, 이로부터 증착 효율 및 증착 균일성을 향상시킬 수 있다.
뿐만 아니라, 공급 챔버로부터 증착 챔버로 저장 용기를 이송하는 과정 중에 고정 부재에 의하여 저장 용기를 밀봉하는 밀봉 부재를 자동으로 제거하도록 하여 원료 물질의 변성을 방지하고, 기판을 증착하기 위한 공정을 자동화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치를 개략적으로 나타내는 도면.
도 2는 복수 개의 노즐에 의하여 기판을 증착하는 모습을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 저장 용기의 모습을 나타내는 도면.
도 4는 공급 챔버로부터 증착 챔버로 저장 용기를 이송하는 과정에서 저장 용기의 밀봉 부재가 분리되는 모습을 나타내는 도면.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치를 이용한 증착 방법을 설명하기 위한 도면.
본 발명에 따른 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법은 증착 챔버의 일측 및 타측에 각각 내부 압력이 조절되는 공급 챔버 및 배출 챔버를 설치하고, 원료 물질이 저장되는 저장 용기를 공급 챔버, 증착 챔버 및 배출 챔버를 따라 이동시켜 진공 상태에서 저장 용기를 용이하게 교체할 수 있는 기술적 특징을 제시한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 복수 개의 노즐(720)에 의하여 기판을 증착하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 공정 공간이 형성되는 증착 챔버(100); 상기 증착 챔버(100)에 연결되는 공급 챔버(200); 상기 증착 챔버(100)에 연결되는 배출 챔버(300); 상기 공급 챔버(200) 내부에 수용되는 저장 용기(500)를 상기 증착 챔버(100)로 이동시키거나 상기 증착 챔버(100)로부터 상기 배출 챔버(300)로 이동시키기 위한 이송 유닛; 상기 증착 챔버(100)의 내부에 설치되어 기판이 안착되는 기판 지지부(800); 및 상기 기판 지지부(800)에 안착되는 기판에 상기 저장 용기(500)에 저장되는 원료 물질을 분사하기 위한 분사 유닛;을 포함한다.
증착 챔버(100)는 기판에 원료 물질을 증착시키기 위한 소정의 공간, 즉 공정 공간이 내부에 마련된다. 도시되지는 않았으나, 증착 챔버(100)의 일 측벽에는 기판의 출입을 위한 게이트가 형성될 수 있으며, 증착 챔버(100)의 내부 압력을 조절하기 위한 배기 펌프가 마련될 수 있다. 또한, 도면에서는 공급 챔버(200)가 일체형으로 내부 공간을 형성하는 모습을 도시하였으나, 공급 챔버(200)를 개방된 상부를 가지는 하부 공급 챔버(200)와 하부 공급 챔버(200)의 개방된 상부에 결합되는 챔버 리드(lid)로 분리하여 구성할 수도 있음은 물론이다.
증착 챔버(100)의 내부 공간에는 기판이 안착되는 기판 지지부(800)가 설치된다. 기판 지지부(800)는 증착 챔버(100)의 상부에 마련되며, 증착 챔버(100)의 내부로 인입되는 기판을 지지하고, 원료 물질을 기판에 증착하는 과정에서 지지된 기판을 일 방향으로 이동시킬 수 있다.
기판 지지부(800)는 하부 면에 기판을 지지하는 기판 지지대 및 상기 기판 지지대를 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. 기판 지지대는 기판의 형상과 대응되는 형상으로 형성될 수 있으며, 예를 들어 기판이 원형일 경우에는 기판 지지대는 이와 대응되는 원형 형상으로 형성될 수 있으며, 기판이 다각형일 경우에는 기판 지지대는 이와 대응되는 다각형의 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 기판 지지대에 지지되는 기판은 일 방향으로 연장된 롤-투-롤(Roll-to-Toll) 기판일 수 있다.
기판 지지대의 내부에는 주변 온도를 제어하는 수단, 예를 들어 저항 발열 히터, 램프 히터 등의 가열 수단 또는 냉각 라인과 같은 냉각 수단이 추가로 마련될 수 있다. 구동부는 기판 지지대의 상부에 연결되며, 원료 물질을 기판에 증착하는 과정에서 기판 지지대를 일 방향으로 이동시켜, 기판 지지대에 의하여 지지되는 기판을 일 방향으로 이동시킬 수 있다. 구동부는 기판 지지대에 전술한 롤-투-롤 기판이 지지되는 경우 기판의 연장 방향을 따라 기판 지지대를 이동시킬 수 있다.
증착 챔버(100)의 내부 공간에는 기판 지지부(800)에 안착되는 기판에 원료 물질을 분사하기 위한 분사 유닛이 설치된다. 분사 유닛은 증착 챔버(100)의 내부 공간에서 일 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 즉, 분사 유닛은 기판 지지부(800)에 의하여 기판이 이동하지 않는 경우 일 방향으로 이동하여 원료 물질을 분사할 수 있으며, 기판 지지부(800)에 의하여 기판이 이동하는 경우에도 기판의 이동 방향과 반대 방향으로 이동하여 원료 물질을 분사할 수 있다. 또한, 원료 물질의 분사 위치를 조절하기 위하여 증착 챔버(100) 내부에서 전 방향으로 이동 가능하게 설치될 수도 있음은 물론이다.
분사 유닛은 원료 물질을 분사하기 위한 노즐(720)을 포함할 수 있으며, 노즐(720)은 기판 지지대에 의하여 지지되어 박막이 증착되는 기판의 일면과 대향하도록 이격 배치되어 설치될 수 있다. 노즐(720)은 저장 용기(500)와 탈부착 가능하고, 기판의 일면과 대향하는 상면에는 복수의 분사 홀(710)이 형성된다. 노즐(720)은 기판의 일면에 증발된 원료 물질, 예를 들어 유기물을 다수의 경로로 균일하게 분배하여 공급할 수 있다. 이를 위하여, 노즐(720)은 저장 용기(500)와 탈부착되는 하부에 저장 용기(500)에 저장된 원료 물질이 공급되는 인입구가 형성되고, 인입구와 분사 홀(710)이 상호 연통되어 증발된 원료 물질이 확산되도록 소정의 확산 공간이 내부에 형성될 수 있다.
인입구는 분사 홀(710)의 배열 방향을 따라 연장되는 노즐(720)의 일측 단부에 형성될 수도 있으나, 저장 용기(500)에 저장된 원료 물질을 균일하게 분배하여 기판에 공급하기 위화여 노즐(720)의 중심부에 형성되는 것이 바람직하다.
분사 유닛은 원료 물질을 가열하기 위한 히터(미도시)를 더 포함할 수 있다. 히터는 증착 챔버(100)로 이동되는 저장 용기(500)를 가열시키도록 증착 챔버(100)의 내부 공간에 설치될 수 있다. 히터는 저장 용기(500)가 노즐(720)에 부착되는 경우, 부착된 저장 용기(500)의 외주면을 둘러싸도록 설치될 수 있으며, 히터는 저장 용기(500)를 가열하여 저장 용기(500)에 저장되는 분말 형태의 원료 물질을 기화시키는 역할을 한다.
공급 챔버(200)는 증착 챔버에 연결되도록 설치된다. 예를 들어, 증착 챔버(100)의 일측에는 증착 챔버(100)와 별도로 내부 압력이 조절되는 공급 챔버(200)가 설치될 수 있다. 공급 챔버(200)는 증착 챔버(100)의 일 측면에 설치될 수 있으며, 공급 챔버(200)의 일면에는 저장 용기(500)의 공급을 위한 게이트가 설치된다. 또한, 공급 챔버(200)와 증착 챔버(100)의 사이에는 저장 용기(500)의 이동을 위하여 제1 게이트(620)가 설치되며, 제1 게이트(620)는 공급 챔버(200)와 증착 챔버(100) 사이를 개방 또는 폐쇄하여 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 저장 용기(500)가 이동하는 이동 경로를 형성한다. 또한, 공급 챔버(200)는 증착 챔버(100)와 별도로 내부 압력이 조절되는 바, 이를 위하여 공급 챔버(200)의 내부 압력을 조절하기 위한 배기 펌프가 공급 챔버(200)에 마련될 수 있다.
공급 챔버(200)는 원료 물질이 저장된 저장 용기(500)를 증착 챔버(100)로 공급하는 역할을 수행하며, 도시되지는 않았으나 원료 물질이 저장된 저장 용기(500)를 예비적으로 가열하거나 냉각할 수 있는 예비 히터 및 냉각 장치 등이 내부에 설치될 수 있음은 물론이다.
배출 챔버(300)는 증착 챔버에 연결되도록 설치된다. 예를 들어, 증착 챔버(100)의 타측에는 증착 챔버(100)와 별도로 내부 압력이 조절되는 배출 챔버(300)가 설치될 수 있다. 배출 챔버(300)는 증착 챔버(100)의 타 측면에 설치될 수 있으며, 배출 챔버(300)의 일면에는 저장 용기(500)의 배출을 위한 게이트가 설치된다. 또한, 증착 챔버(100)와 배출 챔버(300)의 사이에는 저장 용기(500)의 이동을 위하여 제2 게이트(640)가 설치되며, 제2 게이트(640)는 증착 챔버(100)와 배출 챔버(300) 사이를 개방 또는 폐쇄하여 증착 챔버(100)로부터 배출 챔버(300)로 저장 용기(500)가 이동하는 이동 경로를 형성한다. 또한, 배출 챔버(300)는 증착 챔버(100)와 별도로 내부 압력이 조절되는 바, 이를 위하여 배출 챔버(300)의 내부 압력을 조절하기 위한 배기 펌프가 배출 챔버(300)에 마련될 수 있다. 배출 챔버(300)는 원료 물질이 소진된 저장 용기(500)를 증착 챔버(100)로부터 배출하는 역할을 수행한다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 증착 챔버(100)로 원료 물질이 충진된 저장 용기(500)를 공급하는 공급 챔버(200)와 증착 챔버(100)로부터 원료 물질이 소진된 저장 용기(500)를 배출하는 배출 챔버(300)를 증착 챔버(100)의 양측에 별도로 구비한다. 즉, 증착 챔버(100)의 양측에 별도로 구비되는 공급 챔버(200)와 배출 챔버(300)에 의하여 저장 용기(500)의 공급과 배출을 별도로 수행하여, 원료 물질이 충진된 저장 용기(500)의 공급과 원료 물질이 소진된 저장 용기(500)의 배출이 저장 용기(500)의 교체 과정에서 연속적으로 또는 동시에 이루어질 수 있으며, 이에 의하여 저장 용기(500)의 교체 시간을 대폭 감소시킬 수 있게 된다.
또한, 증착 챔버(100), 공급 챔버(200) 및 배출 챔버(300)는 각각 원통형 또는 사각 박스의 형상으로 형성되어 증착 챔버(100)의 양측, 예를 들어 증착 챔버(100)의 양 측면에 설치될 수도 있으나, 도 1에 도시된 바와 같이 증착 챔버(100), 공급 챔버(200) 및 배출 챔버(300)가 결합된 전체 형상이 원통형 또는 사각 박스의 형상을 가지도록 형성될 수 있다. 이 경우, 원통형 또는 사각 박스의 형상으로 형성되는 전체 챔버의 내부 공간을 독립적으로 구획하여 증착 챔버(100), 공급 챔버(200) 및 배출 챔버(300)를 각각 형성할 수 있으며, 이에 의하여 전체 장치의 레이아웃을 감소시킬 수 있으며, 공급 챔버(200), 증착 챔버(100) 및 배출 챔버(300)를 이동하는 저장 용기(500)의 이동 경로를 최소화시킬 수 있게 된다.
이송 유닛은 공급 챔버(200) 내부에 수용되는 저장 용기(500)를 증착 챔버(100)로 이동시키거나 증착 챔버(100)로부터 배출 챔버(300)로 이동시킨다. 예를 들어, 이송 유닛은 저장 용기(500)를 공급 챔버(200), 증착 챔버(100) 및 배출 챔버(300)를 따라 순차적으로 이동시킬 수 있다. 즉, 원료 물질이 충진된 저장 용기(500)가 외부로부터 공급 챔버(200)의 내부에 공급되면, 이송 유닛은 원료 물질이 충진된 저장 용기(500)를 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 공급한다. 이송 유닛은 원료 물질이 충진된 저장 용기(500)를 증착 챔버(100)의 내부에서 노즐(720)에 부착시키며, 노즐(720)에 부착되어 증착 공정이 수행된 후 원료 물질이 소진된 저장 용기(500)를 노즐(720)로부터 탈착시킨다. 또한, 이송 유닛은 노즐(720)로부터 탈착되어 원료 물질이 소진된 저장 용기(500)를 증착 챔버(100)로부터 배출 챔버(300)로 배출한다.
이를 위하여, 이송 유닛은 저장 용기(500)를 제1 방향으로 이동시키도록 공급 챔버(200) 내부에 설치되는 제1 이송부(410); 저장 용기(500)를 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키도록 증착 챔버(100) 내부에 설치되는 제2 이송부(420); 및 저장 용기(500)를 제1 방향으로 이동시키도록 배출 챔버(300) 내부에 설치되는 제3 이송부(430);를 포함할 수 있다. 여기서, 제1 방향 및 제2 방향은 일 방향 및 이와 교차하는 다양한 방향으로 정의될 수 있으나, 도면에 도시된 바와 같이 제1 방향을 수평 방향인 X축 방향으로 결정하고, 제2 방향을 제1 방향에 교차하는 수직 방향인 Y축 방향으로 결정하는 경우에 상부로 원료 물질을 증착시키는 증착 장치에서 효율적으로 저장 용기(500)를 이동시킬 수 있게 된다. 이하에서는, 제1 방향을 X축 방향으로 하고, 제2 방향을 Y축 방향으로 하는 실시 예를 예로써 설명하기로 한다.
제1 이송부(410)는 저장 용기(500)를 수평 방향 즉, X축 방향으로 이동시켜 저장 용기(500)를 공급 챔버(200) 내에서 증착 챔버(100)를 향하여 이동시킨다. 제2 이송부(420)는 공급 챔버(200)로부터 공급된 저장 용기(500)를 수평 방향 즉, X축 방향으로 이동시켜 노즐(720)의 중심부에 위치시키고, 원료 물질이 충진된 저장 용기(500)를 수직 방향 즉, Y축 방향으로 상부로 이동시켜 노즐(720)에 부착시킨다. 또한, 제2 이송부(420)는 증착 공정이 진행되어 원료 물질이 소진된 저장 용기(500)를 수직 방향 즉, Y축 방향으로 하부로 이동시켜 노즐(720)로부터 탈착시키고, 배출 챔버(300)를 향하여 수평 방향 즉, X축 방향으로 이동시킨다. 제3 이송부(430)는 저장 용기(500)를 수평 방향 즉, X축 방향으로 이동시켜 배출 챔버(300) 내에서 증착 챔버(100)로부터 이동시킨다. 결국, 저장 용기(500)는 제1 이송부(410) 및 제2 이송부(420)에 의하여 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 공급될 수 있으며, 제2 이송부(420)에 의하여 노즐(720)에 탈부착되며, 제2 이송부(420) 및 제3 이송부(430)에 의하여 증착 챔버(100)로부터 배출 챔버(300)로 배출될 수 있게 된다. 각 이송부는 X축 방향으로의 이동을 위하여 LM 가이드 또는 롤러로 구성될 수 있으며, Y축 방향으로의 이동을 위하여 LM 가이드 또는 실린더로 구성될 수 있다.
저장 용기(500)는 원료 물질, 예를 들어 유기물을 수용하여 저장하기 위한 내부 공간을 가지며, 상단의 적어도 일부가 개구되는 하우징(501)을 포함한다. 여기서, 저장 용기(500)는 원료 물질을 저장하기 위한 도가니를 포함할 수 있다. 또한, 저장 용기(500)는 제1 방향 즉, X축 방향 및 제2 방향 즉, Y축 방향으로 연장되는 판형의 형상을 가질 수 있다. 저장 용기(500)를 제1 방향 및 제2 방향으로 연장되는 판형의 형상으로 형성함으로써 공급 챔버(200) 및 배출 챔버(300)의 내부 공간을 최소화할 수 있으며, 공급 챔버(200)와 증착 챔버(100) 사이의 제1 게이트(620) 및 증착 챔버(100)와 배출 챔버(300) 사이의 제2 게이트(640)는 슬릿 밸브일 수 있다.
또한, 상기와 같이 저장 용기(500)를 직육면체 또는 타원 기둥 등의 판형의 형상을 가지도록 구성하는 경우 증착 챔버(100) 내부에 복수 개의 노즐(720)이 설치되는 경우 노즐(720)간의 간격을 좁힐 수 있게 된다. 도 2에 도시된 바와 같이 노즐(720)은 제1 방향 즉, X축 방향 및 제2 방향 즉, Y축 방향과 교차하는 Z축 방향으로 복수 개가 구비될 수 있는데, 저장 용기(500)를 Z축 방향으로의 두께가 얇은 판형의 형상으로 형성함으로써 노즐(720) 간의 간격을 좁힐 수 있게 되어 이로부터 증착 효율 및 증착 균일성(homogeneity)을 향상시킬 수 있다.
여기서, 전술한 노즐(720)의 분사 홀(710)은 제1 방향 즉, X축 방향으로 배열될 수 있으며, 저장 용기(500)의 X축 방향으로의 길이(d1)는 노즐(720)의 양단에 위치하는 분사 홀(710) 사이의 거리(d2)보다 짧게 형성하여 노즐(720)과 저장 용기(500)가 T형의 증발원의 형태를 가지도록 구성할 수 있다. 이와 같이 노즐(720)과 저장 용기(500)가 T형의 증발원의 형태를 가지는 경우 저장 용기(500)에 저장된 원료 물질의 잔여량을 감소시킬 수 있으며, 저장 용기(500)에 저장된 원료 물질을 균일하게 분배하여 분사시킬 수 있게 된다.
또한, 상기와 같이 저장 용기(500)를 제1 방향 즉, X축 방향 및 제2 방향 즉, Y축 방향으로 연장되는 판형의 형상을 가지도록 구성하는 경우 증착 챔버(100)의 내부에 설치되는 히터는 제1 방향 및 제2 방향을 포함하는 면을 따라 형성될 수 있다. 즉, 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 저장 용기(500)를 이동시키고, 증착 챔버(100)로부터 배출 챔버(300)로 저장 용기(500)를 이동시킴에 있어서, 히터에 의한 간섭 발생을 방지하기 위하여 증착 챔버(100)의 내부에 설치되는 히터를 X축 방향 및 Y축 방향을 포함하는 면, 즉 Z축에 수직한 면을 따라 형성시키고, X축 또는 Y축 방향에 수직한 면에는 히터가 설치되지 않도록 구성할 수 있다. 이러한 경우에도 저장 용기(500)는 X축 방향과 Y축 방향으로 연장되는 판형의 형상을 가지므로 히터에 의하여 넓은 면적을 가지는 면만을 가열시킴으로써 원료 물질을 증발시키는데 있어 전혀 문제가 발생하지 않는다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 저장 용기(500)의 모습을 나타내는 도면이고, 도 4는 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 저장 용기(500)를 이송하는 과정에서 저장 용기(500)의 밀봉 부재(505)가 분리되는 모습을 나타내는 도면이다.
전술한 바와 같이 저장 용기(500)는 원료 물질을 수용하기 위한 내부 공간을 가지며, 상단의 적어도 일부가 개구되는 하우징(501)을 포함한다. 여기서, 저장 용기(500)는 원료 물질의 변성을 방지하기 위하여 하우징(501)의 개구된 상단에 탈부착 가능하도록 결합되는 밀봉 부재(505)를 더 포함할 수 있으며, 저장 용기(500)는 밀봉 부재(505)가 부착된 채로 공급 챔버(200) 내에 공급될 수 있다. 이에, 증착 챔버(100) 내에서 저장 용기(500)가 노즐(720)에 부착되어 원료 물질의 증발에 의한 증착 공정이 수행되기 위하여는 하우징(501)으로부터 밀봉 부재(505)를 제거할 필요가 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는, 하우징(501)으로부터 밀봉 부재(505)를 자동으로 제거하기 위하여 밀봉 부재(505)는 결합부(506)를 포함하고, 공급 챔버(200) 내부에는 상기 결합부(506)에 체결되도록 고정 부재(900)가 설치될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이 밀봉 부재(505)는 하우징(501)의 개구된 상단에 결합되는 바, 결합부(506)는 밀봉 부재(505)의 일부를 제1 방향에 교차하는 방향, 예를 들어 상부로 돌출시켜 형성할 수 있다. 또한, 고정 부재(900)는 공급 챔버(200) 내부에 설치되어 제1 방향에 교차하는 방향으로 돌출 형성된 밀봉 부재(505)를 파지한다. 여기서, 고정 부재(900)는 밀봉 부재(505)를 파지하기 위한 집게 등의 다양한 구성으로 이루어질 수 있으나, 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로의 이동 중에 하우징(501)으로부터 밀봉 부재(505)를 용이하게 탈착시키기 위하여 밀봉 부재(505)의 결합부(506)에는 관통 홀(507)을 형성하고, 고정 부재(900)는 상기 관통 홀(507)에 삽입되도록 연장되는 후크를 포함하는 것으로 구성할 수 있다. 즉, 밀봉 부재(505)의 일부를 제1 방향에 교차하는 방향으로 돌출시켜 결합부(506)를 형성하고, 결합부(506)에 제1 방향을 따라 관통 홀(507)을 형성할 수 있다. 또한, 고정 부재(900)는 관통 홀(507)에 삽입되도록 제1 방향으로 연장되는 후크일 수 있다. 여기서, 결합부(506)는 밀봉 부재(505)의 일 단부, 즉, 밀봉 부재(505)의 증착 챔버(100)를 향하는 일 단부에 형성되는 것이 저장 용기(500)의 이동에 따라 하우징(501)으로부터 연속적으로 탈착됨에 있어 보다 용이할 수 있다. 이를 위하여 밀봉 부재(505)는 연성을 가지는 재질로 형성될 수 있으며, 메탈 시트 또는 폴리머 시트로 형성될 수 있다.
도 4를 참조하여, 밀봉 부재(505)가 탈착되어 분리되는 과정을 보다 상세히 설명하면, 먼저 저장 용기(500)는 도 4 (a)에 도시된 바와 같이 하우징(501)의 상단에 밀봉 부재(505)가 부착된 채로 공급 챔버(200) 내부에 공급된다. 여기서, 제1 이송부(410)에 의하여 저장 용기(500)가 이동함에 따라 밀봉 부재(505)의 결합부(506)는 공급 챔버(200) 내부에 설치된 고정 부재(900)에 체결되게 된다. 이후, 저장 용기(500)는 제1 방향 즉, X축 방향으로 이동하게 되며, 도 4 (b)에 도시된 바와 같이 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 저장 용기(500)가 공급되는 과정에서 하우징(501)의 상단으로부터 분리되어 공급 챔버(200) 내부에 잔류하게 된다. 잔류되는 밀봉 부재(505)는 원료 물질이 충진된 새로운 저장 용기(500)가 공급 챔버(200)에 공급될 때 제거될 수 있다.
또한, 저장 용기(500)는 분사 유닛, 즉 노즐(720)의 정확한 위치에 부착되기 위하여 정렬부를 포함할 수 있다. 정렬부에 의하여 저장 용기(500)는 예를 들어 도 4 (b)에 점선으로 도시된 바와 같이, 노즐(720) 중심부에 정확하게 부착될 수 있다. 이 경우, 정렬부는 저장 용기(500)의 부착 위치를 안내하도록 노즐에 형성되는 홈에 삽입되도록 저장 용기(500)의 상부면에 돌출 형성되는 얼라인 핀을 포함할 수 있다.
이하에서, 전술한 증착 장치를 이용하여 진공 상태에서 저장 용기(500)가 교체되어 기판을 증착할 수 있는 증착 방법에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치를 이용한 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 방법은 원료 물질이 충진된 제1 저장 용기(500)를 공급 챔버(200)에 공급하는 과정; 상기 제1 저장 용기(500)가 공급된 공급 챔버(200)의 내부 압력을 조절하는 과정; 상기 제1 저장 용기(500)를 상기 공급 챔버(200)의 일측에 설치되는 증착 챔버(100)로 이송하는 과정; 상기 제1 저장 용기(500)를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정; 상기 증착 챔버(100)의 일측에 설치되는 배출 챔버(300)의 내부 압력을 조절하는 과정; 및 원료 물질이 소진된 제1 저장 용기(500)를 상기 배출 챔버(300)로 이송하는 과정;을 포함한다.
먼저, 원료 물질이 충진된 제1 저장 용기(500)를 공급 챔버(200)에 공급하는 과정은, 원료 물질이 충진된 제1 저장 용기(500)를 외부로부터 공급 챔버(200)에 공급한다. 여기서, 제1 저장 용기(500)를 외부로부터 공급 챔버(200)에 공급하는 과정에서 제1 저장 용기(500)는 원료 물질의 변성을 방지하기 위하여 밀봉 부재(505)에 의하여 밀봉된 상태로 공급될 수 있다. 밀봉 부재(505)는 하우징(501)의 개구된 상부에 탈부착 가능하도록 결합되고, 밀봉 부재(505)는 관통 홀(507)이 형성되는 결합부(506)가 일 단부에 형성될 수 있음은 전술한 바와 같다.
제1 저장 용기(500)가 공급된 공급 챔버(200)의 내부 압력을 조절하는 과정은, 외부로부터 제1 저장 용기(500)의 공급에 의하여 비진공 상태인 대기 상태의 공급 챔버(200)의 내부 압력을 진공 상태로 조절한다. 이는 공급 챔버(200)의 배기 펌프를 조절하여 이루어질 수 있으며, 진공 상태로 유지되는 증착 챔버(100)와는 별도로 내부 압력이 조절되어 이루어진다.
제1 저장 용기(500)를 공급 챔버(200)의 일측에 설치되는 증착 챔버(100)로 이송하는 과정은, 도 5에 도시된 바와 같이 제1 이송부(410)에 의하여 제1 저장 용기(500)를 제1 방향으로 이동시켜 증착 챔버(100)로 이송시킨다. 여기서, 제1 게이트(620)는 개방되어 제1 저장 용기(500)가 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 이송되며, 공급 챔버(200) 및 증착 챔버(100)는 진공 상태가 유지된다. 또한, 전술한 바와 같이 제1 저장 용기(500)는 밀봉 부재(505)에 의하여 밀봉된 상태로 공급될 수 있는 바, 하우징(501)에 부착된 밀봉 부재(505)는 제1 저장 용기(500)를 증착 챔버(100)로 이송하는 과정에서 공급 챔버(200) 내부에 설치되는 고정 부재(900)에 의하여 제1 저장 용기(500)로부터 분리된다. 하우징(501)에 부착된 밀봉 부재(505)가 제1 저장 용기(500)를 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 이송하는 과정에서 분리되어 제거되는 과정에 대하여는 전술한 내용과 동일한 바, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
제1 저장 용기(500)를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정은, 도 6에 도시된 바와 같이 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 이송된 제1 저장 용기(500)를 제2 이송부(420)에 의하여 노즐(720)의 중심부에 배치시키고, 상부로 이동시켜 노즐(720)에 부착시킨다. 이후, 노즐(720)에 부착된 제1 저장 용기(500)의 외측에 설치되는 히터에 의하여 제1 저장 용기(500)를 가열시켜 제1 저장 용기(500)에 충진된 원료 물질을 기화시켜 기판에 제공하여 증착 공정을 수행하게 된다. 또한, 증착 공정이 완료되면, 도 7에 도시된 바와 같이 제1 저장 용기(500)는 제2 이송부(420)에 의하여 노즐(720)로부터 탈착되게 된다.
제1 저장 용기(500)를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정 중에 원료 물질이 충진된 제2 저장 용기(510)를 공급하는 과정이 동시에 수행될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 방법은 원료 물질이 충진된 제2 저장 용기(510)를 상기 공급 챔버(200)에 공급하는 과정 및 상기 제2 저장 용기(510)가 공급된 공급 챔버(200)의 내부 압력을 진공 상태로 조절하는 과정을 더 포함하고, 제2 저장 용기(510)를 상기 공급 챔버(200)에 공급하는 과정 및 상기 제2 저장 용기(510)가 공급된 공급 챔버(200)의 내부 압력을 조절하는 과정은, 상기 제1 저장 용기(500)를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정과 동시에 수행될 수 있다. 여기서, 제1 저장 용기(500)로부터 분리되어 공급 챔버(200) 내에 잔류되는 밀봉 부재(505)는 제2 저장 용기(510)을 공급하는 과정에서 제거될 수 있다.
증착 챔버(100)의 일측에 설치되는 배출 챔버(300)의 내부 압력을 조절하는 과정은 배출 챔버(300)의 내부 압력을 진공 상태로 조절한다. 이는 배출 챔버(300)의 배기 펌프를 조절하여 이루어질 수 있으며, 진공 상태로 유지되는 증착 챔버(100)와는 별도로 내부 압력이 조절되어 이루어진다. 또한, 배출 챔버(300)의 내부 압력을 조절하는 과정은 제1 저장 용기(500)를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정 이후에 이루어질 수도 있으나, 제1 저장 용기(500)를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정과 동시에 이루어질 수도 있다. 이와 같이 제1 저장 용기(500)를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정과 동시에 배출 챔버(300)의 내부 압력을 진공 상태로 조절하는 경우 증착 공정이 완료되는 즉시, 원료 물질이 소진된 제1 저장 용기(500)를 증착 챔버(100)로부터 배출 챔버(300)로 이송시킬 수 있게 된다.
원료 물질이 소진된 제1 저장 용기(500)를 배출 챔버(300)로 이송하는 과정은 도 8에 도시된 바와 같이 제3 이송부(430)에 의하여 제1 저장 용기(500)를 제1 방향으로 이동시켜 배출 챔버(300)로 이송시킨다. 여기서, 제2 게이트(640)는 개방되어 제1 저장 용기(500)가 증착 챔버(100)로부터 배출 챔버(300)로 이송되며, 증착 챔버(100) 및 배출 챔버(300)는 진공 상태가 유지된다. 또한, 전술한 바와 같이 제1 저장 용기(500)를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정 중에 원료 물질이 충진된 제2 저장 용기(510)를 공급하는 과정이 동시에 수행되는 경우, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 방법은 제2 저장 용기(510)를 상기 증착 챔버(100)로 이송하는 과정을 더 포함하고, 상기 제2 저장 용기(510)를 상기 증착 챔버(100)로 이송하는 과정은, 상기 원료 물질이 소진된 제1 저장 용기(500)를 상기 배출 챔버(300)로 이송하는 과정과 동시에 수행될 수 있다. 즉, 진공 상태로 조절된 공급 챔버(200), 증착 챔버(100) 및 배출 챔버(300)에 대하여 제1 게이트(620) 및 제2 게이트(640)가 동시에 개방되어, 증착 챔버(100)에 대하여 원료 물질이 소진된 제1 저장 용기(500)의 배출과 원료 물질이 충진된 제2 저장 용기(510)의 공급이 동시에 이루어질 수 있게 된다.
이후, 도 9에 도시된 바와 같이 배출 챔버(300)에 위치한 원료 물질이 소진된 제1 저장 용기(500)는 배출 챔버(300)의 외부로 배출된다. 이 과정에서 배출 챔버(300)의 진공은 깨지게 되며, 제2 저장 용기(510)가 증착 챔버(100)로부터 배출 챔버(300)로 이송되기 전에 배출 챔버(300)의 내부 압력은 다시 조절된다. 또한, 제2 저장 용기(510)는 노즐(720)에 부착되어 증착 공정이 계속 수행되게 되며, 이때 원료 물질이 충진된 제3 저장 용기(520)가 공급 챔버(200) 내부로 공급되어 연속적인 증착 공정이 이루어지게 된다.
이와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 의하면, 증착 챔버(100)의 일측 및 타측에 각각 내부 압력이 조절되는 공급 챔버(200) 및 배출 챔버(300)를 설치하고, 원료 물질이 저장되는 저장 용기를 공급 챔버(200), 증착 챔버(100) 및 배출 챔버(300)를 따라 이동시켜 진공 상태에서 저장 용기를 용이하게 교체할 수 있다.
또한, 저장 용기가 판형의 형상을 가지도록 형성하여 각 저장 용기가 결합되는 노즐(720) 사이의 간격을 좁힐 수 있으며, 이로부터 증착 효율 및 증착 균일성을 향상시킬 수 있다.
뿐만 아니라, 공급 챔버(200)로부터 증착 챔버(100)로 저장 용기를 이송하는 과정 중에 고정 부재(900)에 의하여 저장 용기를 밀봉하는 밀봉 부재(505)를 자동으로 제거하도록 하여 원료 물질의 변성을 방지하고, 기판을 증착하기 위한 공정을 자동화할 수 있다.
상기에서, 본 발명의 바람직한 실시 예가 특정 용어들을 사용하여 설명 및 도시되었지만 그러한 용어는 오로지 본 발명을 명확하게 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명의 실시 예 및 기술된 용어는 다음의 청구범위의 기술적 사상 및 범위로부터 이탈되지 않고서 여러 가지 변경 및 변화가 가해질 수 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같이 변형된 실시 예들은 본 발명의 사상 및 범위로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 되며, 본 발명의 청구범위 안에 속한다고 해야 할 것이다.
100: 증착 챔버 200: 공급 챔버
300: 배출 챔버 410: 제1 이송부
420: 제2 이송부 430: 제3 이송부
500: 저장 용기 500: 하우징
505: 밀봉 부재 506: 결합부
507: 관통 홀 620: 제1 게이트
640: 제2 게이트 710: 분사 홀
720: 노즐 800: 기판 지지부
900: 고정 부재

Claims (17)

  1. 공정 공간이 형성되는 증착 챔버;
    상기 증착 챔버에 연결되는 공급 챔버;
    상기 증착 챔버에 연결되는 배출 챔버;
    상기 공급 챔버 내부에 수용되어 밀봉 부재가 부착된 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이동시키거나 상기 증착 챔버로부터 상기 저장 용기를 상기 배출 챔버로 이동시키기 위한 이송 유닛;
    상기 증착 챔버의 내부에 설치되어 기판이 안착되는 기판 지지부; 및
    상기 기판 지지부에 안착되는 기판에 상기 저장 용기에 저장되는 원료 물질을 분사하기 위한 분사 유닛;을 포함하고,
    상기 공급 챔버 내부에는, 상기 이송 유닛이 상기 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이동시키는 중에 상기 저장 용기로부터 상기 밀봉 부재를 분리시키기 위한 고정 부재가 설치되는 증착 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 공급 챔버 및 배출 챔버는 상기 증착 챔버와 독립적으로 내부 압력이 조절되는 증착 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송 유닛은,
    상기 저장 용기를 제1 방향으로 이동시키도록 상기 공급 챔버 내부에 설치되는 제1 이송부;
    상기 저장 용기를 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키도록 상기 증착 챔버 내부에 설치되는 제2 이송부; 및
    상기 저장 용기를 제1 방향으로 이동시키도록 상기 배출 챔버 내부에 설치되는 제3 이송부;를 포함하는 증착 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 저장 용기는 상기 제1 방향 및 제2 방향으로 연장되는 판형의 형상을 가지는 증착 장치.
  5. ◈청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    청구항 3에 있어서,
    상기 분사 유닛은,
    상기 저장 용기와 탈부착 가능하고, 상기 제1 방향으로 배열되는 복수 개의 분사 홀이 형성되어 상기 증착 챔버의 내부 공간에 설치되는 노즐;을 포함하는 증착 장치.
  6. ◈청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    청구항 5에 있어서,
    상기 노즐은 상기 제1 방향 및 제2 방향과 교차하는 방향으로 복수 개가 구비되는 증착 장치.
  7. ◈청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    청구항 3에 있어서,
    상기 분사 유닛은,
    상기 증착 챔버의 내부 공간에 설치되어, 상기 저장 용기를 가열하기 위한 히터;를 더 포함하고,
    상기 히터는 상기 제1 방향 및 제2 방향을 포함하는 면을 따라 형성되는 증착 장치.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 저장 용기는,
    상기 원료 물질을 수용하기 위한 내부 공간을 가지며, 상단의 적어도 일부가 개구되는 하우징;을 포함하고,
    상기 밀봉 부재는 상기 하우징의 개구된 상단에 탈부착 가능하도록 결합되는 증착 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 밀봉 부재는 상기 고정 부재에 체결되기 위한 결합부를 포함하는 증착 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 결합부에는 관통 홀이 형성되고,
    상기 고정 부재는 상기 관통 홀에 삽입되도록 연장되는 후크를 포함하는 증착 장치.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 결합부는 상기 밀봉 부재의 일 단부에 형성되는 증착 장치.
  12. 원료 물질이 충진된 제1 저장 용기를 공급 챔버에 공급하는 과정;
    상기 제1 저장 용기가 공급된 공급 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정;
    상기 제1 저장 용기를 상기 공급 챔버의 일측에 설치되는 증착 챔버로 이송하는 과정;
    상기 제1 저장 용기를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정;
    상기 증착 챔버의 일측에 설치되는 배출 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정; 및
    원료 물질이 소진된 제1 저장 용기를 상기 배출 챔버로 이송하는 과정;을 포함하고,
    상기 제1 저장 용기를 공급 챔버에 공급하는 과정에서 상기 제1 저장 용기는 밀봉 부재에 의하여 밀봉된 상태로 공급 챔버에 공급되고,
    상기 제1 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이송하는 과정에서, 상기 밀봉 부재는 상기 공급 챔버 내부에 설치된 고정 부재에 의하여 상기 제1 저장 용기로부터 분리되는 증착 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    원료 물질이 충진된 제2 저장 용기를 상기 공급 챔버에 공급하는 과정; 및
    상기 제2 저장 용기가 공급된 공급 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정;을 더 포함하고,
    상기 제2 저장 용기를 상기 공급 챔버에 공급하는 과정 및 상기 제2 저장 용기가 공급된 공급 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정은, 상기 제1 저장 용기를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정과 동시에 수행되는 증착 방법.
  14. ◈청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    청구항 13에 있어서,
    상기 제2 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이송하는 과정;을 더 포함하고,
    상기 제2 저장 용기를 상기 증착 챔버로 이송하는 과정은, 상기 원료 물질이 소진된 제1 저장 용기를 상기 배출 챔버로 이송하는 과정과 동시에 수행되는 증착 방법.
  15. ◈청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    청구항 12에 있어서,
    상기 배출 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정은, 상기 제1 저장 용기를 가열하여 원료 물질을 기판에 제공하는 과정과 동시에 수행되는 증착 방법.
  16. 삭제
  17. 청구항 12에 있어서,
    상기 제1 저장 용기가 공급된 공급 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정 및 상기 배출 챔버의 내부 압력을 조절하는 과정은, 상기 공급 챔버 및 배출 챔버의 내부 압력을 진공 상태로 조절하는 증착 방법.
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