KR101810683B1 - 자석 수단의 교체가 가능한 마스크 고정장치 및 이를 포함하는 증착장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자석 수단의 교체가 가능한 마스크 고정장치 및 이를 포함하는 유기발광소자의 증착장치에 대한 것으로서, 본 발명에 의한 마스크 고정장치에는 자석이 구비되는데 필요에 따라 상기 자석을 교체할 수 있도록 함으로써 마스크 고정장치의 자력을 변화시킬 수 있다.

Description

자석 수단의 교체가 가능한 마스크 고정장치 및 이를 포함하는 증착장치{MASK HOLDING DEVICE CAPABLE OF CHANGING MAGNETIC MEANS AND DEPOSITION EQUIPMENT USING THE SAME}

본 발명은 자석 수단의 교체가 가능한 마스크 고정장치 및 이를 포함하는 유기발광소자의 증착장치에 대한 것으로서, 본 발명에 의한 마스크 고정장치에는 자석이 구비되는데 필요에 따라 상기 자석을 교체할 수 있도록 함으로써 마스크 고정장치의 자력을 변화시킬 수 있다.

반도체 산업과 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), OLED(Organic Light Emitting Display Device) 등과 같은 평판 표시 장치(Flat Panel Display, FPD)가 실생활에 널리 사용되고 있다.

이러한 평판 표시 장치 중 최근 크게 각광받고 있는 상기 유기 발광 표시장치(OLED)는 기판상에 적층식으로 형성되는 애노드 전극과 유기막 및 캐소드 전극을 포함하는데, 상기 유기막에 포함된 유기 발광층(Emitting layer: EL)에서 정공과 전자가 재결합하여 여기자를 형성하고 빛을 발생시킨다.

상기와 같은 유기막을 형성하는 일반적인 방법으로 진공 증착(evaporation)법, 이온 플레이팅(ion plating)법, 및 스퍼터링(sputtering)법과 같은 물리 기상 증착(PVD)법과, 가스 반응에 의한 화학 기상 증착(CVD)법 등이 있다. 이 중에서 유기 발광 소자의 유기막과 같은 박막층의 형성에는 가스 반응에 의한 화학 기상 증착(CVD)법이 많이 사용되고 있으며 이를 위해서 유기물을 이용한 진공 증착장치가 주로 사용된다.

일반적으로 반도체 소자 또는 유기 발광소자 등의 제작과정에 있어서, 기판 위에 박막을 제조하는 경우에는, 기판 홀더에 상기 기판을 부착한 후, 증착원과 상기 기판 사이에 원하는 형태의 개구부를 가진 마스크를 위치시켜, 증착과 같은 여러 가지 방법을 이용하여 상기 기판 위에 일정한 패턴으로 박막을 제작한다.

일반적으로 상기 마스크는 기판과 함께 기판 홀더에 부착되어 챔버에서의 박막 제작에 이용되는데, 그 고정방법으로는 핀이나 클립 등을 이용하는 기계식 고정방법과, 마스크가 약한 자성을 띠는 물질임을 고려하여 영구자석이나 전자석을 이용하여 기판과 마스크를 고정시키는 자기식 고정방법이 있다.

도 1은 종래의 기판과 마스크를 자기식으로 고정한 것을 나타내는 개략도로서, 기판 홀더(100)의 상측에 영구자석이나 전자석 등의 자석수단(200)을 위치시키고, 상기 자석수단(200)의 자력을 이용하여 상기 기판 홀더(100)의 하측에 기판(300)과 마스크(400)를 고정시키는 구조로 되어있다.

도 2는 상기와 같은 고정장치를 사용하는 종래의 증착장치를 나타내는 도면이다.

도 2를 보면, 종래의 증착장치에는 챔버(500)내에 상기 기판 홀더(100), 자석수단(200), 기판(300) 및 마스크(400)가 배치되고, 또한 진공챔버(500) 내부의 저면에는 증착물(31) 등이 담긴 증착원(30)이 배치되며, 기판(300)의 좌우에는 기판 클램프 유닛(310)이 구비되어 있고, 쉐도우 마스크(400)의 좌우에는 마스크 클램프 유닛(410)이 구비되어 있다.

상기 챔버(500)는 외부로부터 이물질이 유입되지 않도록 진공 상태가 되도록 내부의 압력이 조절된다. 증착원(30)은 챔버(500)의 저면에 1개 이상 배치될 수 있는데, 상기 증착원(30)에는 증착될 물질인 증착물(31)이 담겨 있다. 상기 증착원(30)의 상부쪽에는 분출구(32)가 있으며, 상기 분출구(32)를 통하여 증착물(31)이 분출되어 기판(300) 상에 증착되도록 한다. 상기 마스크(400)는 기판(300) 하부에 위치하여 증착물질이 기판(300) 상의 원하는 영역에 증착될 수 있도록 한다.

기판(300)의 좌우에 배치된 기판 클램프 유닛(310)과 마스크(400)의 좌우에 배치된 마스크 클램프 유닛(410)은 각각 기판(300)과 마스크(400)의 위치를 조절함과 아울러 기판(300)과 마스크(400)를 정위치시키는 역할을 한다.

이와 같은 유기물 증착장치의 동작과정을 간단히 설명하면, 클램프 유닛(310, 410)에 의해 기판(300)과 마스크(400)가 정위치된 후, 자석수단(200)에 의한 자력이 기판(300)을 경유하여 마스크(400)에 공급된다. 이에 따라, 마스크(400)가 기판(300) 상에 고정된다. 이후, 증착물(31)이 담긴 증착원(30)이 가열됨으로써 증착물(31)이 증발 또는 승화되어 마스크(400)를 통해 노출된 기판(300) 상에 증착된다.

그런데, 이러한 종래의 증착장치는 자석수단(200)이 갖는 자력의 세기가 고정되어 있으므로 마스크와 기판의 크기나 재료에 맞는 적절한 자력으로 마스크(400)를 기판(300)에 고정시킬 수 없는 경우가 생기기도 한다.

최근의 디스플레이가 고해상도화 되고 그 사이즈가 커져 가는 추세로서, 이에 대응하여 마스크 역시 다양화될 수 밖에 없다. 또한 최근에는 작업환경이 변화되면서 마스크의 재질이 다양해지고 있다. 이에 따라 마스크가 기판에 밀착될 수 있도록 하는 최적의 자력은 마스크의 크기, 해상도, 타입(예; 슬릿 타입, 도트 타입, 등), 재질 등에 따라서 차이가 나게 된다. 따라서 마스크의 크기, 해상도, 타입, 재질 등에 따라 적절한 자력을 공급하는 것이 필요하다.

예를 들어, 지나치게 강한 자력으로 마스크(400)를 기판(300)에 접촉시키면 포토레지스트 등에 의하여 기판에 형성되어 있던 배선이나 격벽 등이 자기장의 영향으로 손상될 수 있고, 반면 자력이 필요한 정도보다 약하면 마스크를 기판에 제대로 부착시킬 수가 없게 된다.

종래의 증착 장치에서는 자석수단(200)이 챔버 내 구조물에 부착되어 있어 이를 교체하기 위해서는 챔버의 진공을 해제하고 개방하여 작업해야 하는데, 상기와 같이 챔버의 진공을 해제하고 개방하는 작업은 증착 공정 측면에서 매우 큰 손실이 아닐 수 없다.

따라서, 마스크의 크기, 해상도, 타입, 재질 등에 따라 최적의 자력을 공급하여, 자력에 의하여 마스크의 변형이 발생하지 않도록 하면서 마스크가 기판에 밀착될 수 있도록 하는 자석수단이 필요하다.

이에, 본 발명에서는 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 마스크의 크기, 해상도, 타입, 재질 등에 따라 최적의 자력을 공급할 수 있는 자석 수단을 구비한 마스크 고정장치를 제공하고자 한다.

또한 본 발명에서는, 영구자석을 사용하면서도 필요에 따라 자력의 세기를 조절할 수 있는 마스크 고정장치를 제공하고자 한다.

본 발명은 또한 영구자석을 사용하되, 상기 영구자석을 용이하게 교체할 수 있는 마스크 고정장치를 제공하고자 한다.

본 발명은 또한 상기와 같은 마스크 고정장치를 구비하는 증착장치를 제공하고자 한다.

본 발명은 또한 증착장치의 진공을 개방하지 않으면서도 영구자석을 교체할 수 있는 증착장치를 제공하고자 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 기판을 지지하기 위한 기판 홀더; 및 상기 기판 홀더에 삽입되는 자석수단;을 포함하는 마스크 고정장치를 제공한다.

여기서, 상기 기판 홀더는 내부에 수납공간이 형성되어 있는 평판 형태로서, 상기 기판 홀더의 측면부 중 적어도 한쪽 부분에는 개방구가 형성되어 있으며, 상기 개방구는 상기 수납공간과 연결되어 있다.

또한 상기 자석 수단은 자석을 배치하기 위한 홈이 구비되어 있는 카세트 수단 및 상기 카세트 수단의 홈에 배치된 자석을 포함한다. 상기 자석수단은 상기 기판 홀더의 개방구를 통하여 상기 기판 홀더의 수납공간에 착탈 가능하게 배치된다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 자석 수단에는 복수개의 영구자석이 배치되어 있으며, 상기 영구자석은 각각 이웃한 자석과 극성이 반대가 되도록 배치한다.

한편, 상기 카세트 수단에 배치된 각각의 자석 역시 착탈 가능하게 배치할 수 있다.

한편 상기 각각의 자석은, N극과 S극을 연결하는 축이 카세트 수단의 평면에 대하여 수직인 방향으로 배치되도록 할 수 있다.

본 발명의 일례에 따르면 상기 카세트 수단의 면적을 기판의 면적과 같거나 더 크게 하여 상기 자석 수단에 의하여 발생하는 자력이 기판에 배치되는 마스크의 전 영역에 걸쳐 영향을 미치도록 할 수 있다.

본 발명은 또한 상기 마스크 고정장치를 포함하는 증착장치를 제공한다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 증착장치는 진공 분위기 형성이 가능하며 기판에 증착막을 형성하기 위한 처리 공간을 제공하는 챔버와, 상기 챔버의 저부에 배치되어 증착물을 저장하고 있으면서, 상기 증착물을 기화시켜 기화된 상기 증착물이 상기 처리 공간으로 분사되도록 하는 증착원과, 기판을 중심으로 마스크의 반대편에 배치되어 자력에 의하여 상기 마스크를 상기 기판에 고정시키는 마스크 고정장치를 포함한다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 챔버 내부에는 외부에서 자석 수단을 유입하거나 외부로 자석 수단을 유출하기 위하여 외부와 연결된 통로가 구비될 수 있다. 자석 수단을 교체할 때에는 상기 통로를 통하여 자석수단을 이동시킬 수 있다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 통로는 상기 기판 홀더의 개방구와 연결되어 있으며, 상기 기판 홀더의 수납공간은 상기 개방구외의 영역에서는 밀폐되도록 한다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 증착 수단은 상기 챔버의 외부에서 유입된 자석 수단을 상기 기판 홀더의 개방구로 이송하기 위한 이송 수단을 더 구비할 수도 있다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 개방구가 형성되어 있는 기판 홀더의 측벽은 챔버의 측벽과 연결되어 있으며, 상기 개방구에 대응되는 챔버의 측벽 부분은 개방되어 있고, 상기 기판 홀더의 수납공간은 상기 개방구외의 영역에서는 밀폐되도록 할 수 있다.

본 발명에 따른 마스크 고정장치 및 증착 장치는 자석수단을 포함하며, 상기 자석수단에 배치된 자석을 교체할 수 있기 때문에 마스크의 크기, 해상도, 타입, 재질 등에 따라 최적의 자력을 공급할 수 있다.

본 발명에 의한 증착장치를 이용할 경우 마스크의 크기, 해상도, 타입, 재질 등에 따라 최적의 자력을 공급하여 자력에 의하여 마스크의 변형이 발생하는 것을 방지하면서도 마스크가 기판에 밀착시킬 수 있도록 하여 정밀하고 우수한 증착을 실행할 수 있다.

도 1은 종래의 마스크 고정장치에 의하여 기판과 마스크를 고정하는 것을 보여주는 개략도이다.
도 2는 종래의 증착장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일례에 따른 마스크 고정장치를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일례에 따른 자석 수단을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 일례에 따른 자석 수단을 보여주는 도면이다.
도 6은 자석수단의 일례에 대한 단면도로서, 카세트 수단의 홈에 자석이 배치되어 있는 것을 보여준다.
도 7은 본 발명의 일례에 따른 증착장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 일례에 따른 증착장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.

이하 도면을 참고하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.

도 3은 본 발명의 일례에 따른 마스크 고정장치를 보여주는 도면이다.

도 3에서 보는 바와 같이 본 발명에 따른 마스크 고정장치는 기판을 지지하기 위한 기판 홀더(100) 및 상기 기판 홀더에 삽입되는 자석수단(200)을 포함한다.

도 3에서 보면, 상기 기판 홀더(100)는 내부에 수납공간이 형성되어 있는 평판 형태로서, 상기 기판 홀더의 측면부 중 적어도 한쪽 부분에는 개방구(110)가 형성되어 있어, 상기 개방구를 통하여 상기 수납공간은 외부와 연결될 수 있다.

상기 자석 수단(200)은 자석을 배치하기 위한 홈이 구비되어 있는 카세트 수단(210) 및 상기 카세트 수단의 홈에 배치된 자석(201)을 포함한다.

상기 자석수단(200)은 상기 기판 홀더(100)의 개방구(110)를 통하여 상기 기판 홀더(100)의 수납공간에 배치된다. 이때 상기 자석수단(200)은 상기 기판 홀더의 수납 공간에 착탈 가능하게 배치되어, 필요한 경우 자석수단(200)을 교체할 수 있다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 자석수단(200)에는 복수개의 영구자석이 배치되어 있으며, 상기 영구자석은 각각 이웃한 자석과 극성이 반대가 되도록 배치한다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 카세트 수단(210)에 배치된 자석(201) 역시 착탈 가능하도록 할 수 있다. 이와 같이 자석(201)이 착탈 가능하도록 카세트 수단(210)을 설계함으로써, 자석수단(200)의 자력을 변화시킬 필요가 있을 경우 상기 자석(201)을 교환하는 것에 의하여 자석수단의 자력을 용이하게 변화시킬 수 있다.

도 4 및 도 5에서는 본 발명에 따른 자석수단(200)의 예들을 보여주는 도면으로서, 도 4에서는 길이가 긴 막대자석이 카세트 수단(210)에 배열되어 있는 것을 보여주고 있으며, 도 5에서는 원통형의 자석이 카세트 수단(210)에 배치되어 있는 것을 보여준다.

또한 도 6은 상기 자석수단(200)의 단면도로서, 카세트 수단(210)에 형성된 홈에 자석(201)이 배치되어 있는 것을 알 수 있다.

본 발명의 일례에 따르면, 도 4, 도 5, 도 6에서 보는 바와 같이, 상기 각각의 자석(201)은 N극과 S극을 연결하는 축이 카세트 수단(210)의 평면에 대하여 수직인 방향으로 배치되어 있다.

참고로, 상기 자석수단(210)의 자력을 변경하기 위한 방법으로서 본 발명에서와 같은 착탈 가능한 자석수단 외에 전자석을 사용하는 것을 고려할 수도 있을 것이다. 그러나 전자석을 사용하는 경우 아래와 같은 문제점이 있다.

전자석을 사용하는 경우 전류가 흐르게 되는데, 상기 전류가 흐름에 따라 열이 발생하게 된다. 상기 전류가 흐름으로 인해 발생되는 열에 의하여 증착용 챔버 내부의 온도가 상승하는 것을 막기 위해서는 전자석의 전류코일 주변에 냉각수단을 배치하여야 한다. 그런데 냉각수단을 흐르는 유체는 대기와 연통되어 있으므로 냉각수단 주변을 실링(sealing)을 하여야 하고, 또한 냉각수단이 진공 챔버 내에도 배치되기 때문에 변형 방지를 위해 두껍게 강성 설계를 하여야 한다. 이러한 사항들을 고려하여 설계되는 전자석과 냉각수단의 무게는 약 130 kg이상이 되어 그 무게 때문에 기판이 손상될 우려가 있다.

또한, 전자석 제작을 위해서는 코어 주변에 코일을 감게 되는데, 이 때, 발열 등의 문제로 인하여 코일간의 최소 간격은 20~30 mm 이상으로 하여야 한다. 상기 간격이 결국 자석 사이의 간격인 착자 간격이 되는데, 착자 간격이 20 mm 이상이 되면 균일한 자력선을 얻기 어렵다는 문제점이 있다. 반면 영구자석을 사용할 경우 착자 간격이 10mm 정도가 가능하여 자력선의 균일도를 확보하는데 유리하다.

또한, 전자석의 경우 일단 코일을 감고 나면 그 간격을 변화시키는 것은 불가능하게 되어 처음 설치한 간격대로 사용할 수 밖에 없다. 즉, 전자석을 사용할 경우 자력 피크(peak)값에 대한 가변성은 있으나, 자력 분포에 대한 가변성이 전혀 없어 오히려 불리하다.

이에 본 발명에서는 전자석을 사용하는 대신 영구자석을 사용하고, 상기 영구자석(201)을 카세트 수단(210)에 장착함으로써, 증착 장치에서 자석 수단을 용이하게 교체할 수 있도록 한 것이다.

한편, 효율적인 마스크 고정을 위해서, 상기 카세트 수단(210)의 면적은 기판(300)의 면적과 같거나 더 크게 할 수 있다. 상기와 같은 카세트 수단의 전체에 걸쳐 자석이 배치된다면 상기 자석에 의하여 형성되는 자력이 마스크 수단의 전 영역에 미쳐서 상기 마스크 수단을 안정적으로 고정할 수 있을 것이다.

도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 증착 장치의 예들을 보여준다. 상기 도 7 및 도 8에 개시된 증착 장치는 본 발명에 따른 마스크 고정 장치를 포함한다.

구체적으로, 본 발명의 일례에 따른 증착장치는 진공 분위기 형성이 가능하며 기판에 증착막을 형성하기 위한 처리 공간을 제공하는 챔버(500), 상기 챔버의 저부에 배치되어 증착물(31)을 저장하고 있으면서 상기 증착물을 기화시켜 기화된 증착물이 상기 처리 공간으로 분사되도록 하는 증착원(30) 및 기판을 중심으로 마스크의 반대편에 배치되어 자력에 의하여 상기 마스크를 상기 기판에 고정시키는 마스크 고정장치를 포함한다.

상기 마스크 고정장치 도 3에 도시된 바와 같이 기판을 지지하기 위한 기판 홀더(100) 및 상기 기판 홀더에 삽입되는 자석수단(200)을 포함한다.

상기에서 설명한 바와 같이, 상기 기판 홀더(100)는 내부에 수납공간이 형성되어 있는 평판 형태로서, 상기 기판 홀더의 측면부 중 적어도 한쪽 부분에는 개방구(110)가 형성되어 있으며, 상기 개방구는 상기 수납공간과 연결되어 있다. 상기 자석 수단(200)은 자석을 배치하기 위한 홈이 구비되어 있는 카세트 수단(210) 및 상기 카세트 수단(210)의 홈에 착탈 가능하게 배치된 자석(201)을 포함한다. 여기서 상기 자석수단(200)은 상기 기판 홀더(100)의 개방구(110)를 통하여 상기 기판 홀더(100)의 수납공간에 착탈 가능하게 배치된다.

상기 증착장치의 진공챔버(500)내에는, 기판 홀더(100), 자석수단(200)이 구비되어 있으며, 증착을 위해서 기판(300)과 쉐도우 마스크(400)가 진공챔버 내로 유입되고, 진공챔버(500) 내부의 저면에는 증착물(31) 등이 담긴 증착원(30)이 배치된다.

또한 상기 기판(300)의 좌우에는 기판 클램프 유닛(310)이 구비되어 있고, 쉐도우 마스크(400)의 좌우에는 마스크 클램프 유닛(410)이 구비되어 있다. 상기 기판 클램프 유닛(310)과 마스크 클램프 유닛(410)은 증착을 위하여 기판(300)과 마스크(400)의 위치를 조절함과 아울러 기판(300)과 마스크(400)를 정위치시키는 역할을 한다.

상기 증착장치의 동작과정을 살펴보면, 클램프 유닛(310, 410)에 의해 기판(300)과 마스크(400)가 정위치 된 후, 자석수단(200)의 자력이 기판(300)을 경유하여 마스크(400)에 제공되면 마스크(400)가 기판(300) 상에 고정된다. 이후, 증착물(31)이 담긴 증착원(30)을 가열함으로써 증착물(31)이 증발 또는 승화되어 마스크(400)를 통해 노출된 기판(300) 상에 증착된다.

이 때 상기 진공챔버(500)는 외부로부터 이물질이 유입되지 않도록 진공 상태가 되며, 내부의 압력이 조절된다. 상기 증착원(30)은 진공챔버(500)의 저면에 1개 이상 배치될 수 있는데, 상기 증착원(30)에는 증착될 물질들이 담겨 있다. 상기 증착원(30)용 용기에는 상부쪽에 분출구(32)가 있으며, 이 분출구(32)를 통하여 증착물이 챔버의 처리공간으로 분출되어 기판(300) 상에 증착물(31)이 증착된다. 상기 마스크(400)는 기판(300) 하부에 위치하여 증착물질이 기판(300) 상의 원하는 영역에 증착될 수 있도록 한다.

한편, 기판의 크기와 종류에 따라 마스크의 크기 및 재질 역시 달라지게 되고 그에 따라 마스크가 기판에 밀착시킬 수 있도록 할 수 있는 최적 자력이 달라진다. 마스크마다 그에 적합한 최적의 자력이 서로 다르기 때문에, 이에 대응하여 마스크가 달라질 때마다 그에 적합한 자력을 부여할 수 있도록 하는데 있어 본 발명의 증착장치가 유리하다.

일반적으로 증착과정에서 챔버는 진공을 유지한다.

만약 자석수단(200)이 챔버 내 구조물에 고정되어, 상기 자석수단(200)의 자력을 바꾸기 위해서는 챔버의 진공을 해제하고 개방하여 자석수단을 교체하는 작업을 해야한다면 이는 큰 손실이 아닐 수 없다. 왜냐하면 챔버의 진공을 해제하고 개방한 후 증착을 위하여 챔버를 다시 진공으로 만드는 작업은 시간과 비용이 매우 크게 소모되는 작업이기 때문이다.

이에 본 발명에서는 자석수단(200)을 기판 홀더(100) 내부에 배치하고, 챔버의 진공을 해제함이 없이도 자석수단(200)을 용이하게 교체할 수 있도록 함으로써, 종래 챔버의 진공을 해제하여 자석수단을 교체한 후 다시 챔버를 진공으로 만드는 일련의 작업을 거치지 않아도 된다.

도 7에 의한 본 발명의 일례에 따른 증착수단에는, 상기 챔버에 외부에서 자석 수단을 유입하거나 외부로 자석 수단을 유출하기 위한 통로(520)가 구비되어 있다.

여기서, 상기 통로(520)는 상기 기판 홀더의 개방구와 연결되어 있으며, 상기 기판 홀더(100)의 수납공간은 상기 개방구(110)외의 영역에서 밀폐되어 있다. 그에 따라 챔버의 다른 곳은 진공이 유지될 수 있다.

한편 상기 통로(520)와 연결되는 챔버의 측벽에는 개패부(510)가 형성되어 있다. 상기 개폐부는 자석수단(200)을 유입할 때와 유출할 때는 열리고 다른 때는 닫혀 있도록 할 수 있다.

상기와 같이 개폐부(510) 및 통로(520)를 구비하여 기판 홀더(100) 내부의 수납 공간이 외부와 연결될 수 있도록 함으로써, 챔버의 진공에 영향을 미치지 않으면서도 자석 수단(200)을 교체할 수 있다.

본 발명의 일례에 따르면, 챔버 외부에서 유입된 자석 수단(200)을 상기 기판 홀더(100)의 개구부(110)로 이송한 후 기판 홀더(100)의 수납공간에 배치하기 위하여 별도의 이송 수단을 구비할 수도 있다. 이러한 이송수단은 그 종류가 특별히 제한되는 것은 아니며, 예를 들어 로봇팔을 이용할 수 있다.

본 발명의 다른 일례에 따르면, 도 8에서 보는 바와 같이, 상기 개방구(110)가 형성되어 있는 기판 홀더(100)의 측벽이 챔버(500)의 측벽과 연결되도록 구성하고, 상기 개방구(110)에 대응되는 챔버의 측벽 부분이 개방되도록 하며, 상기 기판 홀더의 수납공간은 상기 개방구외의 영역에서 밀폐되도록 할 수 있다. 이 때, 상기 개방구(110)에 대응되는 챔버의 측벽 부분에는 개폐부(510)를 형성할 수 있다. 상기 개폐부(510)는 자석수단(200)을 유입할 때와 유출할 때는 열리고 다른 때는 닫혀 있도록 할 수 있다.

본 발명의 일례에 따르면 상기 자석 수단(200)에는 복수개의 영구자석이 배치되어 있으며, 상기 영구자석은 각각 이웃한 자석과 극성이 반대로 배치되도록 한다.

본 발명의 일례에 따르면 상기 카세트 수단(210)에 배치된 자석(201)도 역시 착탈 가능하도록 함으로써 자석 수단(200)의 자력을 용이하게 조절할 수 있다.

상기 카세트 수단(210)에 배치된 각각의 자석은 N극과 S극을 연결하는 축이 카세트 수단의 평면에 대하여 수직인 방향으로 배치되도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 카세트 수단의 면적은 기판의 면적과 같거나 더 크게 할 수 있다. 상기와 같은 카세트 수단의 전체에 걸쳐 자석이 배치된다면 상기 자석에 의하여 형성되는 자력이 마스크 수단의 전 영역에 미쳐서 상기 마스크 수단을 안정적으로 고정할 수 있을 것이다.

100: 기판 홀더 110: 개구부
200: 자석수단 201: 영구자석
210: 카세트 수단 300: 기판
310: 기판 클램프 유닛 400: 마스크
410: 마스크 클램프 유닛 500: 챔버
510: 개폐부 520: 통로
30: 증착원 31: 증착물
32: 분출구

Claims (14)

1. 기판을 지지하기 위한 기판 홀더; 및
   상기 기판 홀더에 삽입되는 자석 수단;을 포함하며,
   여기서, 상기 기판 홀더는 내부에 수납공간이 형성되어 있는 평판 형태로서, 상기 기판 홀더의 측면부 중 적어도 한쪽 부분에는 개방구가 형성되어 있으며, 상기 개방구는 상기 수납공간과 연결되어 있고,
   상기 자석 수단은 자석을 배치하기 위한 홈이 구비되어 있는 카세트 수단 및 상기 카세트 수단의 홈에 배치된 자석을 포함하며,
   상기 자석수단은 상기 기판 홀더의 개방구를 통하여 상기 기판 홀더의 수납공간에 착탈 가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 고정장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 자석 수단에는 복수개의 영구자석이 배치되어 있으며, 상기 영구자석은 각각 이웃한 자석과 극성이 반대가 되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 고정장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 카세트 수단에 배치된 자석은 착탈 가능한 것임을 특징으로 하는 마스크 고정장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 각각의 자석은 각각 N극과 S극을 연결하는 축이 카세트 수단의 평면에 대하여 수직인 방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 고정장치.
5. 제 1항에 있어서, 상기 카세트 수단의 면적은 기판의 면적과 같거나 더 큰 것을 특징으로 하는 마스크 고정장치.
6. 진공 분위기 형성이 가능하며, 기판에 증착막을 형성하기 위한 처리 공간을 제공하는 챔버;
   상기 챔버의 저부에 배치되어 증착물을 저장하고 있으면서, 상기 증착물을 기화시켜 기화된 상기 증착물이 상기 처리 공간으로 분사되도록 하는 증착원;
   기판을 중심으로 마스크의 반대편에 배치되어 자력에 의하여 상기 마스크를 상기 기판에 고정시키는 마스크 고정장치를 포함하며,
   상기 마스크 고정장치는, 기판을 지지하기 위한 기판 홀더; 및 상기 기판 홀더에 삽입되는 자석수단;을 포함하고,
   여기서, 상기 기판 홀더는 내부에 수납공간이 형성되어 있는 평판 형태로서, 상기 기판 홀더의 측면부 중 적어도 한쪽 부분에는 개방구가 형성되어 있으며, 상기 개방구는 상기 수납공간과 연결되어 있고,
   상기 자석 수단은 자석을 배치하기 위한 홈이 구비되어 있는 카세트 수단 및 상기 카세트 수단의 홈에 착탈 가능하게 배치된 자석을 포함하며,
   상기 자석수단은 상기 기판 홀더의 개방구를 통하여 상기 기판 홀더의 수납공간에 착탈 가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
7. 제 6항에 있어서, 상기 자석 수단에는 복수개의 영구자석이 배치되어 있으며, 상기 영구자석은 각각 이웃한 자석과 극성이 반대가 되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 증착장치.
8. 삭제
9. 제 6항에 있어서, 상기 각각의 자석은 N극과 S극은 카세트 수단의 평면에 대하여 수직인 방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 증착장치.
10. 제 6항에 있어서, 상기 카세트 수단의 면적은 기판의 면적과 같거나 더 큰 것을 특징으로 하는 증착장치.
11. 제 6항에 있어서, 상기 챔버 내부에는 외부에서 자석 수단을 유입하거나 외부로 자석 수단을 유출하기 위한 통로가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 증착장치.
12. 제 11항에 있어서, 상기 통로는 상기 기판 홀더의 개방구와 연결되어 있으며, 상기 기판 홀더의 수납공간은 상기 개방구외의 영역에서는 밀폐되어 있는 것을 특징으로 하는 증착장치.
13. 제 6항에 있어서, 챔버 외부에서 유입된 자석 수단을 상기 기판 홀더의 개방구로 이송하기 위한 이송 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
14. 제 6항에 있어서, 상기 개방구가 형성되어 있는 기판 홀더의 측벽은 챔버의 측벽과 연결되어 있으며, 상기 개방구에 대응되는 챔버의 측벽 부분은 개방되어 있으며, 상기 기판 홀더의 수납공간은 상기 개방구외의 영역에서 밀폐되어 있는 것을 특징으로 하는 증착장치.

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