JP4364196B2 - トレイ用整列システム - Google Patents

Description

本発明はトレイ及びトレイホルダー用整列システムに関し、より詳細には、連結ホールが形成された鉛直状態のトレイと、連結ホールと結合される連結アームが形成されたホルダープレートとを具備し、トレイ及びトレイホルダーの曲がりを防止するためのトレイ及びトレイホルダー用整列システムに関する。

一般に、平板ディスプレイの中の一つである電界発光ディスプレイ装置は発光層として使用する物質によって無機電界発光ディスプレイ装置と、有機電界発光ディスプレイ装置に区分されるが、有機電界発光ディスプレイ装置は低電圧で駆動可能であり、軽量の薄型でありながら視野角が広いだけでなく応答速度もまた速いという長所を具備しているため脚光を浴びている。

このような有機電界発光ディスプレイ装置の有機電界発光素子は、基板上に積層式に形成される陽極、有機物層及び陰極で構成される。前記有機物層は正孔と電子が再結合して励起子を形成して光を放出する有機発光層を含み、また正孔と電子を有機発光層に円滑に輸送して発光效率を高めるために前記陰極と有機発光層の間には電子注入層と電子輸送層が介在し、陽極と有機発光層の間には正孔注入層と電子輸送層が介在する。

上述された構造で構成される有機電界発光素子は、一般的に真空蒸着法、イオンプレイティング法及びスパッタリング法などのような物理気相蒸着法またはガス反応による化学気相蒸着法で製作される。

特に、有機電界発光素子の有機物層を形成するためには、真空チャンバ内で有機物質を蒸発させて形成された有機気相物質を蒸着源から噴射して基板に蒸着させる真空蒸着法が広く使用される。

近年、ディスプレイの大型化に応じて基板が大型化されており、このような大型基板に有機物層を蒸着するために蒸着源が、真空チャンバ内を鉛直上下方向に移動しながら有機気相物質を噴射する蒸着システムが開発された。

このような蒸着システムには、蒸着源を鉛直上下方向に移動させる駆動軸が提供されており、前記駆動軸は駆動手段によって軸回転する。前記駆動軸の回転によって蒸着源は鉛直上下方向に移動しながら有機物質を蒸発させることにより形成される有機気相物質を噴射するようになる。

また、前記蒸着機から噴射された物質が塗布される基板を大面積化しつつ基板の曲がりを除去するために、基板とマスクを鉛直状態で整列させるための鉛直整列システムが研究されている。

前記基板が鉛直状態で固定されて往復移動するように設置された基板トレイホルダーには、前記基板と連結されるために突出形成された連結部材と、基板トレイと同様に鉛直状態で配置されたホルダープレートとが要求される。

また、前記ホルダープレートは鉛直状態なので、このホルダープレートに曲がり現象が生じることが予想される。

したがって、このような鉛直整列システムに適用されるための、曲がり現象を防止するホルダープレートが必要とされる。

また、鉛直状態の基板とマスクが固着されて、鉛直状態で移送されるトレイが必要とされる。

また、基板とマスクが鉛直状態のままで移送されるトレイが必要とされ、このトレイが所定のチャンバに移送されるときに鉛直状態で固定されるようにするためのトレイホルダーが必要とされる。

一方、前記従来のトレイ及びトレイホルダー用整列システムに関する技術を記載した文献としては、下記特許文献１等がある。
米国特許第６，９４１，６４７Ｂ２号明細書

したがって、本発明は前記従来技術の問題を解決するために提案されたもので、その目的は、連結ホールが形成された鉛直状態のトレイと、連結ホールと結合されるための連結アームが形成されたホルダープレートを具備したトレイホルダーとを含んでなり、トレイ及びトレイホルダーの曲がりを防止するためのトレイ及びトレイホルダー用整列システムを提供することである。

前記目的を果たすための本発明によるトレイ用整列システムは、基板及びマスクが固着されることができ、連結突起を具備する複数の連結ホールを含み、鉛直状態で移送されるトレイと、このトレイと連結されるように前記連結ホールに挿入される連結アームであって、前記連結ホールに挿入された状態で前記連結突起と係合し得る連結溝が形成された連結アーム、及び前記連結アームが設けられたホルダープレートを具備したトレイホルダーとを含んでなる。

ここで、前記連結突起と連結溝との係合時に力が一方向に働くように前記連結突起と連結溝には相互に滑り接触する傾斜面が形成されることが望ましく、前記連結突起と連結溝との係合時に働く力を受けるように前記連結突起と連結溝には相互に向き合う鉛直面が形成されることが望ましい。

また、前記基板トレイは少なくとも一つ以上の固定ホルダー部材を具備することを特徴とし、前記固定ホルダー部材は直径が相異なる二つの円柱が重畳した形状で形成された通孔を有することが望ましく、さらに望ましくは、前記通孔は小径通孔が大径通孔の上部に位置するように形成される。

また、前記トレイホルダーは、前記固定ホルダー部材と結合する固定挿入部材を含んでなることを特徴とする。

ここで、前記固定挿入部材は、前記固定ホルダー部材内に挿入されて前記基板支持トレイを連結・固定することを特徴とし、前記固定挿入部材は、前記固定ホルダー部材内に挿入された後に安着するための溝を具備することを特徴とする。

また、前記基板支持トレイは、一つ以上の補助付着部材をさらに具備し、前記ホルダープレートは、前記補助付着部材と結合する補助支持部材をさらに具備することを特徴とし、前記補助付着部材は、導電性材質、より望ましくは磁性材質から構成され、前記磁性材質から構成される導電性付着部材には少なくとも一つ以上の溝または突出部が形成される。

ここで、前記補助支持部材は磁性材質から形成され、前記基板支持トレイの補助付着部材と対応して固定されることを特徴とする。

また、前記基板支持トレイは、前記基板を収容しながら前記基板支持トレイに収容されるように構成された基板フレームをさらに含んでなることを特徴とし、前記基板フレームは、前記基板を収容するための基板固定片をさらに含んでなることができ、前記基板フレームは、前記基板支持トレイに収容されるためのフレーム固定片をさらに含んでなることができ、前記基板支持トレイは、移送のための移送手段をさらに含んでなるか、前記移送手段による移送を補助するためのガイド手段をさらに含んでなることができる。

また、本発明によるトレイ用整列システムは、鉛直状態が維持されるようにトレイホルダーと相互に連結される基板及びマスクの固着したトレイの曲がりが発生する部位が支持されるように設置された支持部材を含んでなる。

ここで、前記支持部材は駆動源によって伸縮される。

また、前記駆動源は真空チャンバの壁体内面に設置される。

また、前記支持部材はトレイの一面に接触することを特徴とする。

本発明によるトレイホルダー用整列システムは、基板トレイと近接する基板トレイホルダーが先端部に連結された移動軸を作動する駆動源を含む駆動部と、前記移動軸によって移動される基板トレイホルダーに鉛直状態で設置されたホルダープレートに設けられた連結アーム、及び鉛直状態の基板トレイを連結するための連結部と、前記ホルダープレートの曲がりを防止するためにホルダーにチャックの当接力が提供されるように配置された一つ以上のガイド軸を含んでなるガイド部とを含んでなる。

ここで、移動軸とガイド軸は、連結プレートにより相互に連結され、前記ガイド軸は移動軸と同時作動するように移動軸の位置調整のための前記駆動源と連動可能に配置されることができるほか、前記ガイド軸は別途の駆動源によって前記移動軸とは別途に作動するように設置されることもできる。

以上説明したように、本発明によれば、連結突起と連結溝の堅固な連結がなされ、堅固な連結によってトレイの移動及び整列のための調整時に搖れが除去され、安定で精密な基板とマスクの整列がなされることができるという效果がある。

また、トレイホルダーに連結されて鉛直状態で維持されるトレイの曲がり現象が防止され、トレイの曲がり防止によって基板とマスクの正確で精密な整列がなされることができ、整列時の誤差が著しく低減されるという效果がある。

また、基板トレイホルダーの背面に複数のガイド軸の一端が堅く当接することによって基板トレイホルダーの曲がりが防止され、これにより、基板トレイホルダーの鉛直状態が常に維持されることができ、また、所定の位置に鉛直状態で維持される基板トレイホルダーと基板トレイとの正確な連結がなされるという效果がある。

以下、本発明によるトレイ及びトレイホルダー用整列システムを添付された図面を参照して詳しく説明する。図１ａは、一般的な真空蒸着システムのバッファー領域に蒸着源が位置している状態を表す概略図、図１ｂは、一般的な真空蒸着システムの成膜領域に蒸着源が位置している状態を表す概略図である。

図１ａ及び図１ｂを参照すれば、真空蒸着システムの真空チャンバ１０には、有機物層を形成するための基板３０と、基板３０の前面に位置するマスク４０と、マスク４０から所定間隔だけ離された蒸着源２０とが設置される。

マスク４０と基板３０はアラインメントシステム（図示せず）によって整列され、チャック５０に密着された状態で固定される。

マスク４０は、基板３０に形成しようとする有機物層に対応するパターンが形成されているパターン形成部（仮想線で表示）と、マスクフレーム（図示せず）に溶接によって固定される固定部とから構成される。この時、真空チャンバ１０はマスク４０及び基板３０が設置された位置に対応する成膜領域Ｂと、前記成膜領域Ｂ以外の位置に対応するバッファー領域Ａとに区分される。

蒸着源２０は移動手段（図示せず）の作動によって軸回転する駆動軸に移動可能に装着され、前記駆動軸の回転方向にしたがって真空チャンバ１０内を鉛直上下方向に移動する。

以下、本発明の好ましい実施形態によるトレイ用整列システムを添付された図面を参照して詳しく説明する。

図２は、本発明の好ましい実施形態によるトレイ用整列システムが概略的に図示された斜視図、図３ａは、図２に図示されたトレイとトレイホルダーの一実施形態による結合状態を示す部分側断面図、図３ｂは、他の実施形態において図２に図示されたトレイとトレイホルダーの他の実施形態による分離状態を示す部分側断面図、図３ｃは、図３ｂのトレイとトレイホルダーの結合状態を示す部分側断面図である。

図２〜図３ｃのように、トレイ用整列システムは、基板及びマスクが固着され、連結突起１１１を具備する複数の連結ホール１１０が形成され、鉛直状態で移送されるトレイ１００と、このトレイ１００と連結されるように前記結合ホール１１０に挿入され得る連結アームであって、前記連結ホールに挿入された状態で前記連結突起１１１と係合し得る連結溝が形成された連結アーム２１０、及び前記連結溝が設けられたホルダープレート２９０を含むトレイホルダー２００とを具備してなる。

前記トレイ１００には、連結突起１１１が形成されるように穿孔された結合ホール１１０が形成され、前記トレイホルダー２００には、前記連結突起１１１と係合し得る連結溝２１１が形成された連結アーム２１０が突出形成される。

このように形成された前記結合ホール１１０に連結アーム２１０の先端部が挿入され、前記連結突起１１１と連結溝２１１が係合されることによりトレイホルダー２００とトレイ１００が連結される。

このようなトレイ１００とトレイホルダー２００の連結構造は、図３ｂ及び図３ｃに図示されたように、連結アーム２１０の外端上部におおよそ鉛直な面２１２ａ、２１４ａを持つように形成された連結溝２１１ａと、前記連結溝２１１ａに形成された前記鉛直な面２１２ａ、２１４ａに対向するおおよそ鉛直な面１１２ａ、１１４ａを持つように形成された連結突起１１１ａが係合されてなる。

また、前記連結溝２１１ａの幅は、連結突起１１１ａが係合されやすいように連結突起１１１ａの幅よりやや広く形成される。

トレイ１００とトレイホルダー２００の他の実施形態においては、図３ｂのように、連結アーム２１０の外端上部に連結溝２１１ｂが形成され、連結ホール１１０に連結突起１１１ｂが形成される。

前記連結突起１１１ｂは、トレイ１００の自重によって連結溝２１１ｂと係合し得るように下向きに突出して形成される。

前記連結溝２１１ｂは、前記連結突起１１１ｂと係合されるようにホルダープレート２９０から突出して形成された連結アーム２１０の外端上部に形成される。

また、前記連結突起１１１ｂは、連結溝２１１ｂとの係合が容易になるように形成された傾斜面１１２ｂと、この傾斜面１１２ｂに対向する位置に鉛直面１１４ｂとを有する。

前記連結溝２１１ｂは、前記連結突起１１１ｂの傾斜面１１２ｂとすべり接触するように形成された傾斜面２１２ｂと、この傾斜面２１２ｂに対向する位置に鉛直面２１４ｂを有する。前記傾斜面１１２ｂ、２１２ｂ及び前記鉛直面１１４ｂ、２１４ｂを有する連結突起１１１ｂ及び連結溝２１１ｂは、一方向に力が働くように係合する。

一方、図４ａは本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイの正面図、図４ｂは本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイの背面図、図４ｃは本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイの側面図である。

図４ａ〜図４ｃを参照すれば、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイ１００は、蒸着物が蒸着される基板１を収容するための少なくとも一つ以上の固定ホルダー部材１２０を具備して構成される。

平板状の基板支持トレイ１００は、基板フレーム１３０が収容されるように構成され、さらに、この基板フレームは、前記基板支持トレイ１００に固定されるようにフレーム固定片１３４を具備して構成されている。

基板支持トレイ１００に収容される基板フレーム１３０は、基板１が収容されるように構成され、さらに、基板１を固定するための基板固定片１３２を具備して構成される。

基板支持トレイ１００の下部には、真空チャンバ内で基板１の移送が可能になるように移送手段１７４が構成されており、基板支持トレイ１００の上部には移送手段１７４による移送を誘導するためのガイド手段１７２が構成される。

固定ホルダー部材１２０及び付着部材１５０は、基板支持トレイ１００の背面上の基板フレーム１３０の外周上に複数個形成されており、前記固定ホルダー部材１２０には通孔１１０が形成されている。

図５ａは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの固定ホルダー部材が図示された図である。

上述したように、固定ホルダー部材１２０は、基板支持トレイ１００の背面上の基板フレーム１３０の外周上に少なくとも一つ形成される。

固定ホルダー部材１２０の基板支持トレイ１００に付着される面の反対側には、外部に突出した段差１２１が形成される。固定ホルダー部材１２０の通孔１１０は、基板支持トレイ１００に付着される側が内径ａの円形となるように形成される。

また、固定ホルダー部材１２０の基板支持トレイ１００に付着される面の反対側に形成された（すなわち、基板支持トレイ１００から外部に突出した）段差１２１の内径はｂであり、通孔１１０は、基板支持トレイ１００との付着面側の内径ａの部分と、段差１２１側の内径ｂの部分とが重畳された形状を成しており、内径ａの部分は固定ホルダー部材１２０を貫通している。

内径ａと内径ｂは異なる大きさとされることが望ましく、さらに望ましくは、内径ａが内径ｂより大きくされ、内径ｂが内径ａの上部に配置される。

図５ｂは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの補助付着部材を示す。

上述したように、補助付着部材１５０は基板支持トレイ１００の背面上の基板フレーム１３０の外周部に複数個形成される。この補助付着部材１５０は、基板支持トレイ１００に付着する部分が平面をなす平板で構成されており、この平面には基板支持トレイ１００に堅く付着するための追加的な構成がさらになされる。

また、この補助付着部材１５０は、基板支持トレイ１００との付着面と、それに対向する基板支持トレイ１００から外部に突出した面からなる平板で構成され、付着する部材（後述する）に符合するように陰刻の溝または陽刻の微小突出部をさらに含んで構成されうる。

望ましくは、補助付着部材１５０は導電性材質から形成され、さらに望ましくは、この導電性材質から形成される補助付着部材１５０は磁性材質から形成される。

図６ａは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイの基板、基板フレーム及び基板支持トレイが図示された図、図６ｂは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイから基板が取り外された状態が図示された図、図６ｃは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイに基板が装着された状態が図示された図である。

図６ａ〜図６ｃを参照すれば、基板フレーム１３０は基板支持トレイ１００の前面側から結合され、基板１は基板支持トレイ１００の背面側で基板フレーム１３０に結合される。

基板フレーム１３０は、基板支持トレイ１００の中央部に形成された開口部に結合され、フレーム支持片１３４によって基板支持トレイ１００に固定される。

以後、基板１は基板フレーム１３０に形成された開口部に結合され、基板固定片１３２によって基板フレーム１３０に固定される。基板支持トレイ１００に基板フレーム１３０及び基板１が結合されて基板１を固定する基板支持トレイ１００が完成される。

図７ａは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイと整列プレートとの連結状態が図示された図、図７ｂは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイと整列プレートとの連結状態が図示された側面図である。

図７ａを参照すれば、基板支持トレイ１００は真空蒸着のために整列プレート３００に取り付けられる。整列プレート３００は、基板１をシャドウマスクに当接するように構成された平板チャック（図示せず）と、前記平板チャックに連結されて前記平板チャックを移動させるように構成された駆動手段（図示せず）とを具備してなる。

整列プレート３００に取り付けられた基板支持トレイ１００には、蒸着物質が噴射される方向にパターンが形成されたシャドウマスク（図示せず）が付着されて蒸着がなされることで、前記シャドウマスクに形成されたパターンに応じた蒸着パターンが形成される。

このような蒸着パターンが形成される前に、基板支持トレイ１００に装着された基板１と前記シャドウマスクとが整列される。

このような整列のために整列プレート３００は、基板１が装着された基板支持トレイ１００を前記シャドウマスクと整列させるように、基板支持トレイ１００を多方向に動かすことができるように構成される。

図７ｂを参照すれば、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの固定ホルダー部材１２０は、整列プレート３００の固定挿入部材２１０に対応して係合し、基板支持トレイ１００の補助付着部材１５０は整列プレート３００の補助支持部材２５０に対応して結合する。

固定挿入部材２１０は、基板支持トレイ１００の固定ホルダー部材１２０内に挿入されて基板支持トレイ１００を連結及び固定するように構成され、固定ホルダー部材１２０には、固定挿入部材２１０が挿入された後に安着されるようにするためのホール１１０が形成されることが望ましい。

補助支持部材２５０は、磁性材質で形成されて基板支持トレイ１００の補助付着部材１５０に対応して固定されるように構成される。

図８ａは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムにおいて、基板支持トレイの固定ホルダー部材及び補助付着部材が、整列プレートの挿入部材及び補助支持部材とそれぞれ結合することが示された図、図８ｂは、本発明の実施形態によるトレイ用整列システムにおいて、基板支持トレイの固定ホルダー部材及び補助付着部材とそれぞれ結合する整列プレートの挿入部材及び補助支持部材が示された図である。

図８ａ及び図８ｂを参照すれば、整列プレート３００の挿入部材２１０は、棒状で構成されており、突出方向、すなわち、基板支持トレイ１００の方向により小さい直径を持つ段差を成している。

挿入部材２１０のより小さい直径を持つ部分は、固定ホルダー部材１２０の通孔１１０の内径ａの部分（図３ａ参照）に挿入されることができるように形成される。また、挿入部材２１０のより小さい直径を持つ部分は、その円柱側面上の一側に断面が略の半円形状の溝が形成されている。

基板支持トレイ１００が整列プレート３００に取り付けられる時、挿入部材２１０はそれに対応する固定ホルダー部材１２０の通孔１１０に挿入される。挿入部材２１０の先端部が固定ホルダー部材１２０の通孔１１０の内径ａの部分に挿入された後、挿入部材２１０のより小さい直径を持つ部分に形成された溝が通孔１１０の内径ａの部分が成す円柱側面に係合し、また、通孔１１０の内径ｂの部分が成す円柱側面が、挿入部材２１０のより小さい直径を持つ部分の円柱側面上の溝が形成されない部位の一部に係合するようになる。

挿入部材２１０のより小さい直径を持つ部分に形成された溝の軸方向の幅は、通孔１１０の内径ａの部分が成す円柱側面が持つ厚さと対応するように構成される。基板支持トレイ１００が整列プレート３００に取り付けられる時、挿入部材２１０が固定ホルダー部材１２０に挿入された後に係合されることによって、基板支持トレイ１００を安定に固定・支持することができ、高精密な整列が可能になる。

整列プレート３００の補助支持部材２５０は、基板支持トレイ１００の補助付着部材１５０と当接するのに十分な面積を持って構成される。補助支持部材２５０は、導電性を有する磁性材質で構成された補助付着部材１５０を磁力で引き寄せることができるように磁力発生源（図示せず）を含んで構成される。この時、蒸着工程終了後に補助付着部材１５０を補助支持部材２５０から容易に分離するために前記磁力発生源は電磁石であることが望ましい。

基板支持トレイ１００が整列プレート３００に取り付けられる時、補助付着部材１５０がこれに対応する補助支持部材２５０に付着されることで、基板支持トレイ１００を安定に固定・支持することができ、高精密な整列が可能になる。

また、補助支持部材２５０及び補助付着部材１５０には、それぞれの凹部及び凸部が相互に符合するように形成され、この凹部及び凸部は付着時にガイドの役割を果たすこともでき、また、接触面積が増加させ、さらに堅固で正確に付着させることもできる。

以下、本発明の望ましい実施形態によるトレイ用整列システムの作用を簡単に説明する。

図３ａに図示されたトレイ用整列システムの一実施形態によれば、連結アーム２１０の外端上部におおよそ鉛直な面２１２ａ、２１４ａを持つように形成された連結溝２１１ａと、前記結合ホール１１０の内面におおよそ鉛直な面１１２ａ、１１４ａを持つように形成された連結突起１１１とが係合される。

図３ｂ及び図３ｃに図示されたトレイ用整列システムの他の実施形態によれば、トレイホルダー２００に形成された連結アーム２１０がトレイ１００に形成された結合ホール１１０に挿入されて連結溝２１１ｂと連結突起１１１ｂがと係合する。

前記連結溝２１１ｂの傾斜面２１２ｂと連結突起１１１ｂの傾斜面１１２ｂとが互いに滑り接触し、連結溝２１１ｂの鉛直面２１４ｂと連結突起１１１ｂの鉛直面１１４ｂとが互いに接触する。

この時、前記連結溝２１１ｂの傾斜面２１２ｂと連結突起１１１ｂの傾斜面１１２ｂとが相互に滑り接触するときに一方向に力が発生し、前記連結溝２１１ｂの垂直面２１４ｂと連結突起１１１ｂの垂直面１１４ｂとが互いに接触するときに一方向に発生した力が極力阻止される。

また、連結突起１１１ｂと連結溝２１１ｂとの係合により遊隔が阻止され、堅く連結される。

以下、本発明の他の実施形態によるトレイ用整列システムを添付された図を参照して詳しく説明する。

図９は本発明の他の実施形態によるトレイ用整列システムが概略的に図示された側面図であり、図１０は、図９に図示されたトレイ用整列システムの使用状態を示す側面図である。

本発明の他の実施形態によるトレイ用整列システムは、トレイ１００が鉛直状態で維持されるようにトレイ１００と連結されるトレイホルダー２００と、このトレイホルダー２００と連結されて鉛直状態が維持されるトレイ１００の曲がりが発生する部位が支持されるように設置された支持部材３０２とを具備してなる。

前記トレイホルダー２００は、突出形成された連結アーム２１０を持つホルダープレート２９０を含んでなる。また、このトレイホルダー２００は別途の駆動源３７０によって往復移動するように設置される。

前記トレイホルダー２００は、鉛直状態で移送されたトレイ１００と連結され、この連結は前記ホルダープレート２９０の連結アーム２１０がトレイ１００に形成された結合ホール１１０に挿入されて係合されることによってなされる。

前記支持部材３０２は、真空チャンバ内に鉛直状態で配置されたトレイ１００の背面上の枠部位に接触するように設置される。

前記支持部材３０２は、トレイ１００のトレイホルダー２００側の平面上の枠部位に接触する。

この時、支持部材３０２とトレイ１００の接触位置は、トレイ１００の最外郭とされることが望ましい。これはトレイ１００の曲がり程度が最大である部位が最外郭であるためである。

一方、前記支持部材３０２は、片方の先端部が真空チャンバ内部でトレイ１００と接触して配置され、他の先端部は大気中に露出するように配置されることもできる。また、前記整列プレート３００は、前記支持部材３０２の長さの伸縮のための駆動源３０４をさらに含んでなる。

前記駆動源３０４は、モーター、シリンダなどを含んでなり、前記支持部材３０２を伸長または収縮させながら前記トレイ１００の裏面と選択的に接触させる。前記駆動源３０４は支持部材３０２の長さを可変させるためのもので、真空チャンバの壁体１０の内面に付着される。

また、前記駆動源３０４は支持部材３０２の形状及び位置などに応じて真空チャンバの内部に位置することも、外部に位置することもできる。

以下、本発明の他の実施形態によるトレイ用整列システムの作用を簡単に説明する。トレイホルダー２００にトレイ１００が連結されて鉛直状態が維持されれば、真空チャンバの壁体１０内面に付着された駆動源３０４によって長さが伸縮される支持部材３０２の一端がトレイ１００の背面に接触し、この支持部材３０２がトレイ１００に提供する当接力によって持続的に鉛直状態に置かれたトレイ１００に発生する曲がり現象がトレイ１００と接触する支持部材３０２によって阻止される。

また、前記支持部材３０２の長さが可変される場合、別途の駆動源３０４によって支持部材３０２が伸長されてトレイ１００の背面に接触してトレイ１００が支持される。前記支持部材３０２の長さの可変は、トレイ１００とトレイホルダー２００が連結された状態でトレイ１００の位置が変わることがあるので、それに対応するためであり、トレイ１００の曲がりが最小化するような鉛直状態を維持するために、支持部材３０２から提供されるチャックの当接力をトレイ１００の連結位置及び鉛直状態に符合させるためである。

以下、本発明の望ましい実施形態によるトレイホルダー用整列システムを添付された図面を参照して詳しく説明する。

図１１は、本発明の望ましい実施形態によるトレイホルダー用整列システムを概略的に示す側断面図であり、図１２は、図１１に図示されたトレイホルダー用整列システムのガイド軸とホルダープレートとの接触位置の一例を示す図である。

図１１及び図１２に図示されたように、トレイホルダー用整列システムには、真空チャンバ１０内に配置されたトレイホルダー２００を外部の駆動源３７０によって動作させるために設置された移動軸３５０がトレイホルダーを貫通するように設置され、また、ガイド軸３１０の一端面はトレイホルダー２００の背面と選択的に接触する。

前記ガイド軸３１０は、前記移動軸３５０の位置を調整するための移動軸３５０が貫通したステージ３９０を貫通して一つ以上配置される。

前記ガイド軸３１０は、基板トレイホルダー２００の枠部位に接触することが望ましく、二つ以上のガイド軸３１０が設置される場合、少なくとも一つのガイド軸は、トレイホルダー２００の下部を支持し、頻繁に発生するトレイホルダー２００の下部の曲がりを阻止することが望ましい。

また、二つ以上のガイド軸３１０が配置される場合、上下及び／または左右対称の位置に配置されることが望ましく、その位置は、トレイホルダー２００に発生する曲がりの方向に応じて決定されることが望ましい。

前記トレイホルダー２００と前記ガイド軸３１０との接触部位３１０ａが図示された図１２のように、前記ガイド軸はトレイホルダー２００上の４隅に配置され、トレイホルダー２００の上部を支持する二つのガイド軸３１０は、トレイホルダー２００の上部が後方に曲がる現象を防止し、下部を支持する二つのガイド軸３１０は、トレイホルダー２００の下部が後方に曲がる現象を防止し、トレイホルダー２００が常に鉛直、または作業に好適な角度で平坦に維持されるようにする。

前記ガイド軸３１０の一部は、トレイホルダー２００を支持するためにチャンバの外壁１０に密着されたフレーム３９０を貫通するが、ガイド軸３１０とフレーム３９０は、真空チャンバ中の真空を保全するために、前記移動軸３５０の密着方式と同じ方式であるフェロシール（ｆｅｒｒｏ ｓｅａｌ）を用いて密着されても良い。

一方、二つ以上のガイド軸３１０が配置される場合、ガイド軸３１０が同時に作動するように二つ以上のガイド軸３１０の端部が連結プレート３３０によって連結される。

また、一つ以上のガイド軸３１０が移動軸３５０とは別途作動するように、前記移動軸３５０を作動させる駆動源３７０とは別にガイド軸３１０を作動させるための他の駆動源（図示せず）を配置することができるほか、前記一つ以上のガイド軸３１０が移動軸３５０と同時に作動するように前記移動軸３５０を作動させる駆動源３７０によってガイド軸３１０が作動させることもできる。

ここで、前記連結プレート３３０は、ガイド軸３１０と移動軸３５０とが別途作動する場合は、ガイド軸３１０のみに連結されて配置された別途の駆動源（図示せず）によってガイド軸３１０が作動し、ガイド軸３１０と移動軸３５０とが同時に作動する場合は、ガイド軸３１０と移動軸３５０の両方に連結されるように配置された駆動源３７０によって移動軸３５０とガイド軸３１０が同時に作動するようにすることが望ましい。

一方、前記一つ以上のガイド軸３１０と移動軸３５０は、別途作動または同時作動とは無関係にステージ３９０を貫通するように配置される。

以下、本発明の望ましい実施形態によるトレイホルダー用整列システムの作用について説明する。

駆動源３７０によって作動する移動軸３５０によってトレイホルダー２００が移動されながら基板トレイ１００と選択的に連結される。

この時、前記トレイホルダー２００の背面に接触するように配置された一つ以上のガイド軸３１０がトレイホルダー２００を支持する。二つ以上のガイド軸３１０は端部が連結プレート３３０に連結されることにより同時に作動し、前記連結プレート３３０と移動軸３５０との連結の有無に応じてガイド軸３１０と移動軸３５０が別途または同時に作動する。

また、前記ガイド軸３１０と移動軸３５０が別途作動する場合、連結プレート３３０は二つ以上のガイド軸３１０の端部のみを連結するように配置され、ガイド軸３１０は別途の駆動源（図示せず）によって作動する。また、ガイド軸３１０と移動軸３５０の同時に作動する場合、ガイド軸３１０と移動軸３５０が同時に連結されるように整列プレート３００に配置され、駆動源３７０によって移動軸３５０とガイド軸３１０が同時に作動するようにすることがよい。

前記ガイド軸３１０の一部がトレイホルダー２００を支持するためにフレーム３９０を貫通する場合、ガイド軸３１０とフレーム３９０には、このフレーム３９０を貫通する移動軸３５０とフレーム３９０との密着方式と同じ方式であるフェロシールが装着されても良い。

本発明は添付された図面に図示された実施形態を参照して説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であると理解される。

一般的な真空蒸着システムのバッファー領域に蒸着源が位置している状態を表す概略図である。 一般的な真空蒸着システムの成膜領域に蒸着源が位置している状態を表す概略図である。 本発明の望ましい実施形態によるトレイ用整列システムが概略的に図示された斜視図である。 図２に図示されたトレイとトレイホルダーの一実施形態による連結状態が示された部分側断面図である。 図２に図示されたトレイとトレイホルダーの他の実施形態による分離状態が示された部分側断面図である。 図３ｂのトレイとトレイホルダーの連結状態が図示された部分側断面図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイの正面図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイの背面図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイの側面図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの固定ホルダー部材が示された図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの補助付着部材が示された図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイにおいて、基板、基板フレーム及び基板支持トレイが示された図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイにおいて、基板が取り外された状態が示された図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイに基板が装着された状態が示された図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイと整列プレートの連結状態が示された図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムの基板支持トレイと整列プレートの連結状態が図示された側面図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムにおいて、基板支持トレイの固定ホルダー部材及び補助付着部材が、整列プレートの挿入部材及び補助支持部材とそれぞれ結合することが示された図である。 本発明の実施形態によるトレイ用整列システムにおいて、基板支持トレイの固定ホルダー部材及び補助付着部材とそれぞれ結合する整列プレートの挿入部材及び補助支持部材が図示された図である。 本発明の他の実施形態によるトレイ用整列システムが概略的に示された側面図である。 図９に示されたトレイ用整列システムの使用状態が図示された側面図である。 本発明の望ましい実施形態によるトレイホルダー用整列システムが概略的に示された側断面図である。 図１１に図示されたトレイホルダー用整列システムのガイド軸とホルダープレートの接触位置の一例が示された図である。

符号の説明

１ 基板、
１００ トレイ、
１１０ 結合ホール、
１２０ 固定ホルダー部材、
１３０ 基板フレーム、
１５０ 補助付着部材、
２００ トレイホルダー、
２１０ 連結アーム、
２５０ 補助支持部材、
３００ 整列プレート、
３１０ ガイド軸、
３５０ 移動軸、
３７０ 駆動源。

Claims (26)

1. 基板及びマスクが固着されることができ、各々の内壁上に連結突起が下向きに突出形成された複数の連結ホールを有し、前記基板及びマスクを鉛直状態で移送可能なトレイと、
   前記トレイと連結されるように前記連結ホールに挿入され得る連結アームであって、前記連結ホールに挿入された状態で前記連結突起と係合し得る連結溝が外端上部に形成された連結アーム、及び前記連結アームが設けられたホルダープレートを含むトレイホルダーと、を含んでなり、
   前記連結突起と前記連結溝には、前記連結突起と前記連結溝の係合時に力が一方向に働くように、互いに滑り接触する傾斜面がそれぞれ形成され、
   前記連結突起と前記連結溝には、前記連結突起と前記連結溝の係合時に働く力を受けるように、互いに対向する鉛直面がそれぞれ形成されたことを特徴とするトレイ用整列システム。
2. 前記連結ホールは、前記トレイに固定された固定ホルダー部材に形成された通孔であることを特徴とする請求項１に記載のトレイ用整列システム。
3. 前記トレイホルダーは、前記基板をチャックするように構成された平板チャックと、前記基板が前記マスクに当接するように前記平板チャックを移動させるように構成された駆動手段と、を含んでなることを特徴とする請求項１に記載のトレイ用整列システム。
4. 前記連結ホールは、前記固定ホルダー部材に形成された、直径が相異なる二つの円柱が重畳した形状をなす通孔であることを特徴とする請求項２に記載のトレイ用整列システム。
5. 前記連結ホールは、直径が小さい方の前記円柱が、直径が大きい方の前記円柱の上部に位置するように形成されたことを特徴とする請求項４に記載のトレイ用整列システム。
6. 前記トレイには、一つ以上の補助付着部材が付着され、
   前記トレイホルダーには、前記補助付着部材と結合されて前記トレイを支持することで前記補助付着部材とともに前記連結突起と前記連結溝の係合による前記トレイと前記トレイホルダーの連結を補助する補助支持部材が形成されることを特徴とする請求項１に記載のトレイ用整列システム。
7. 前記補助付着部材は、導電性部材であることを特徴とする請求項６に記載のトレイ用整列システム。
8. 前記導電性部材は、磁性材質からなることを特徴とする請求項７に記載のトレイ用整列システム。
9. 前記補助付着部材には、少なくとも一つ以上の溝または突出部が形成され、前記補助支持部材には、前記補助付着部材に対応する少なくとも一つ以上の突出部または溝が形成されることを特徴とする請求項６に記載のトレイ用整列システム。
10. 前記補助支持部材は、磁性材質からなることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のトレイ用整列システム。
11. 前記トレイは、前記基板を収容しながら前記トレイに収容されるように構成された基板フレームをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のトレイ用整列システム。
12. 前記基板フレームは、前記基板を収容するように基板固定片をさらに含んでなることを特徴とする請求項１１に記載のトレイ用整列システム。
13. 前記基板フレームは、前記トレイに収容されるようにフレーム固定片をさらに含んでなることを特徴とする請求項１２に記載のトレイ用整列システム。
14. 前記トレイを移送するための移送手段をさらに含んでなることを特徴とする請求項１に記載のトレイ用整列システム。
15. 前記移送手段により移送される前記トレイを誘導するためのガイド手段をさらに含んでなることを特徴とする請求項１４に記載のトレイ用整列システム。
16. 前記トレイホルダーには、鉛直状態のトレイの曲がりが発生する部位が支持されるように支持部材が設置されたことを特徴とする請求項１に記載のトレイ用整列システム。
17. 前記支持部材は、駆動源によって伸縮されることを特徴とする請求項１６に記載のトレイ用整列システム。
18. 前記トレイ用整列システムは、真空チャンバ内に設置され、
    前記駆動源は、前記真空チャンバの壁体内面に設置されたことを特徴とする請求項１７に記載のトレイ用整列システム。
19. 前記支持部材は、トレイの一面と接触することを特徴とする請求項１６に記載のトレイ用整列システム。
20. 前記トレイホルダーが先端部に連結された移動軸を作動する駆動部と、
    前記ホルダープレートの曲がりが防止されるように、前記移動軸に沿って移動される前記トレイホルダーを誘導するための一つ以上のガイド軸を含んでなるガイド部と、をさらに含んでなることを特徴とする請求項１に記載のトレイ用整列システム。
21. 前記ガイド軸は、基板トレイホルダーの上下端部にそれぞれ一つ以上配置されたことを特徴とする請求項２０に記載のトレイ用整列システム。
22. 前記移動軸及びガイド軸は、連結プレートにより互いに連結され、前記駆動部によって互いに連動可能に作動することを特徴とする請求項２０または２１に記載のトレイ用整列システム。
23. 前記移動軸及びガイド軸は、同時に作動し、同一の距離を移動することを特徴とする請求項２２に記載のトレイ用整列システム。
24. 前記ガイド軸は、移動軸の位置調整のためのステージと連動し得るように配置されたことを特徴とする請求項２２に記載のトレイ用整列システム。
25. 前記ガイド軸は、前記駆動部とは別の駆動源によって作動することを特徴とする請求項２０、２１、２４のいずれか１項に記載のトレイ用整列システム。
26. 前記トレイ用整列システムは真空チャンバ内に配置され、
    前記ガイド軸には、前記真空チャンバ内の真空状態を保持するためのフェロシールが装着されたことを特徴とする請求項２０または２１に記載のトレイ用整列システム。

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