CN100554499C - 用于对准托盘和托盘固定器的装置 - Google Patents

Abstract

一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：形成的带有连接孔的垂直定位的托盘，以及具有连接臂以与这些连接孔连接并且防止托盘和托盘固定器弯曲的托盘固定器。该托盘包括能够容纳基板的基板框，并且该托盘固定器与驱动轴连接，以将垂直位置的托盘传送到用于汽相淀积的罩板。多个导引轴的一端可靠接触托盘固定器的后侧，以防止该托盘固定器弯曲。该托盘可以具有磁连接部件，并且该托盘固定器可以具有对应于这些连接部件的支撑部件。这些支撑部件能够在由相应凹槽或突起决定的位置与连接部件磁连接，以对准托盘和托盘固定器。

Description

用于对准托盘和托盘固定器的装置

相关申请的交叉参考

本申请要求于2005年1月5日递交的韩国专利申请No.2005-0000948、No.2005-0000952以及No.2005-0000953的优先权，并受益于这些申请，这里出于各种目的将它们并入作为参考，如同其全文在此陈述。

技术领域

本发明涉及一种托盘和托盘固定器的对准装置，更具体地说，涉及一种托盘和托盘固定器的对准装置，该装置包括具有连接孔的垂直安置的托盘以及具有与该连接孔连接的连接臂的固定板。

背景技术

一般来说，电场发光显示器是一种类型的平板显示器，根据发光层所用的材料，可以将其分为无机电致发光显示器或有机电致发光显示器。由于有机电致发光显示器能够用低电压驱动，而且通常比较轻、薄、视角大且图像显示反应速度快，故而有机电致发光显示器技术得到了重点发展。

有机电致发光显示器的有机电致发光设备包括：层压在基板上的正电极、有机材料层和负电极。有机材料层通过使空穴与电子复合而发光。为了将空穴和电子有效传送到有机发光层，可以在负电极和有机发光层之间插入电子注入层和电子传送层，并在正电极和有机发光层之间插入空穴注入层和空穴传送层。这样，就可以使发光效率提高。

具有上述结构的有机电致发光设备可以通过诸如真空淀积法、离子电镀法或喷镀法等物理汽相淀积法，或者利用气体反应的化学汽相淀积法制备。特别地，对于形成有机电致发光设备的有机材料层来说，又以真空淀积法的运用最为普遍。在真空淀积中，有机材料在真空室内被汽化而形成汽化有机材料，该汽化有机材料随后通过淀积源被喷射并且淀积到基板上。

随着平板显示器逐渐变大，有机电致发光显示器中基板的尺寸也逐渐变大。由于将大基板置于水平位置而用于真空淀积可能会导致基板偏斜以及淀积材料的缺陷，因此开发出这样的汽相淀积系统，在该系统中汽相淀积源沿垂直方向运动进入真空室并将有机汽化材料喷射到位于垂直位置时的基板上。

该汽相淀积系统包括用于使汽相淀积源在垂直方向上运动的驱动轴，并且该驱动轴由驱动设备转动。由于该驱动轴的转动，使得汽相淀积源可以在垂直运动的同时喷射出通过汽化有机材料形成的汽化有机材料。

此外，随着基板逐步变大，垂直对准系统也正在发展，在该垂直对准系统中，基板和罩板在它们被垂直定位时被对准。

该垂直对准系统可以包括基板托盘固定器，该基板托盘固定器往复运动以使基板被固定在垂直位置。具有与基板连接的连接部件的固定板，能够伸出并且被垂直定位。然而，由于该固定板能够被垂直定位，因此可能发生偏移。

此外，由于基板和罩板被垂直定位，因此可以开发出其中能够使竖立的基板和罩板垂直固定和传送的托盘。

另外，为了使基板和罩板竖立，可以开发出托盘固定器，且在该托盘固定器中，当托盘被传送到用于淀积的腔室时，可以使该托盘被垂直安置。

发明内容

本发明提供一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中，基板被紧固到托盘上，而且在托盘中形成多个具有连接突起的连接孔，该托盘在其被垂直定位时被传送；而且托盘固定器包括用于插入该连接孔以在期望的对准位置连接托盘和该托盘固定器的连接臂。

本发明的其它特征将会在随后的描述中进行阐明，并且其中的部分特征将从这些描述中清楚地看到，或者通过实施本发明而获悉。

本发明公开一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：能够容纳基板的托盘；多个在该托盘中形成的连接孔，所述的多个连接孔之一具有连接突起，托盘固定器以及多个与该托盘固定器连接并从该托盘固定器延伸出的连接臂，所述的多个连接臂之一对应于所述的多个连接孔之一并且具有连接凹槽以啮合所述连接突起。此外，该托盘与该托盘固定器连接，并且能够在当连接凹槽与连接突起啮合时而被垂直定位的同时被传送。

本发明还公开一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括能够使托盘连接到其上以使该托盘垂直定位的托盘固定器，以及用于当托盘与托盘固定器相连接时支撑该托盘的支撑部件。

本发明还公开一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括驱动单元，其中托盘固定器与通过驱动源驱动的活动轴的一端连接；包括连接臂的连接件，该连接臂与托盘固定器相连接并能够与垂直定位的托盘连接；以及第一导引轴。此外，该第一导引轴的第一端与该托盘固定器相连接，且该导引轴可以防止托盘固定器弯曲。

应该理解，上面的综述和下面的详述都是示例性和解释性的，并且意在对权利要求所保护的发明作进一步说明。

附图说明

所包括的附图用以进一步帮助理解本发明，并且被并入说明书中构成说明书的一部分，这些附图用于例示本发明的实施例，并与说明书一起用以解释本发明的原理。

图1A示出位于常规真空淀积系统的缓冲区域中的汽相淀积源的示意图。

图1B示出位于常规真空淀积系统的层形成区域中的汽相淀积源的示意图。

图2示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的示意性透视图。

图3A示出根据本发明一实施例的图2中托盘对准装置的局部侧截面视图。

图3B示出根据本发明另一实施例的图2中托盘对准装置的局部侧截面视图。

图3C示出图3B中托盘对准装置的局部侧截面视图。

图4A示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的正视图。

图4B示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的后视图。

图4C示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的侧视图。

图5A示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的固定器固定部件的视图。

图5B示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的辅助连接部件的视图。

图6A示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的基板、基板框以及支撑基板的托盘的视图。

图6B示出根据本发明一实施例的与托盘对准装置的支撑基板的托盘分离的基板的视图。

图6C示出根据本发明一实施例的连接到托盘对准装置的支撑基板的托盘的基板的视图。

图7A示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘和对准板的装配视图。

图7B示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘和对准板的装配侧视图。

图8A示出根据本发明一实施例的容纳对准板的连接臂和支撑部件的托盘的固定器固定部件和连接部件。

图8B示出根据本发明一实施例的托盘对准装置中的对准板的连接臂和支撑部件。

图9示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的示意性侧视图。

图10示出根据如图9所示的本发明一实施例的托盘对准装置的侧视图。

图11示出根据本发明一实施例的托盘固定器对准装置的示意性侧截面视图。

图12示出根据本发明一实施例的图11中的托盘固定器对准装置的导引轴和固定板的接触位置。

具体实施方式

下面将参照示出本发明实施例的附图更加全面地描述本发明。然而，本发明可以通过多种不同形式进行实现，而不应被理解为仅限于这里所阐述的实施例。相反，提供这些实施例是为了公开充分，以及向本领域的技术人员全面传达本发明的范围。在附图中，为了清楚起见，将层和区域的尺寸以及相对尺寸进行了夸大。相同的附图标记表示相同或类似的部件。

图1A示出位于常规真空淀积系统的缓冲区域中的汽相淀积源的示意图。图1B示出位于常规真空淀积系统的层形成区域中的汽相淀积源的示意图。

参见图1A和图1B，在真空汽相淀积系统的真空室10中安装有：在其上形成有机材料层的基板30，位于基板30前侧的罩板40，以及与罩板40分开的汽相淀积源20。罩板40和基板30通过对准系统(未示出)对准，二者被相邻放置为要么接触，要么彼此分开较小的距离，并且它们中每一个都被固定到卡盘50上。

罩板40包括：在虚线之内所示的图案形成部分，其中形成对应于将要在基板上形成的有机材料层图案的图案；以及通过诸如焊接等加固方法固定到罩板框(未示出)上的固定部分。真空室10可以分为：层形成区域B，该区域B对应于罩板40和基板30的位置；以及缓冲区域A，该区域A对应于非罩板40或者基板30的位置。

汽相淀积源20被沿着由运动设备(未示出)转动的驱动轴安装，并且该汽相淀积源20能够根据驱动轴的转动方向而在真空室内沿垂直方向运动。

下面，将参照附图详细描述根据本发明一实施例的托盘对准装置。

图2示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的示意性透视图。图3A示出根据本发明一实施例的图2中托盘对准装置的局部侧截面视图。图3B示出根据本发明另一实施例的图2中托盘对准装置的局部侧截面视图。图3C示出图3B中托盘对准装置的局部侧截面视图。

如图2至图3C所示，该托盘对准装置包括：在垂直安置时被传送而且其中固定有基板和罩板以及形成有多个具有连接突起111的连接孔110的托盘100，以及具有固定板290和连接臂210的托盘固定器200。连接臂210能够插入连接孔110中，而且在插入之后，在连接臂210中形成的连接凹槽211能够与连接突起111啮合。

如图3A所示，在托盘100和托盘固定器200的连接结构中，连接凹槽211a与连接突起111a连接，其中连接凹槽211a形成为具有沿连接臂210外上侧的近似垂直表面212a和214a。连接突起111a形成为具有对应于在连接凹槽211a中形成的垂直表面212a和214a的近似垂直表面111a和114a。

为了使连接凹槽211a和连接突起111a便于连接，连接凹槽211a的宽度应略大于对应的连接突起111a的宽度。

在托盘100和托盘固定器200的另一较佳实施例中，如图3B和图3C所示，连接臂210具有在其上侧形成的连接凹槽211b，而连接突起111b在连接孔110中形成。

连接突起111b从连接孔110的上部向下伸出，以便通过托盘100的重力而使连接突起111b与连接凹槽211b接合。

此外，连接突起111b包括沿该连接突起111b的一个表面形成的倾斜表面112b，以便使该连接突起111b能够轻松插入连接凹槽211b中。该连接突起111b还可包括沿与倾斜表面112b相对的表面形成的垂直表面114b。

连接凹槽211b包括：沿自身的一个表面形成的倾斜表面212b，以便在连接突起111b的倾斜表面112b上滑行，并与倾斜表面112b接触；以及沿与倾斜表面212b相对的表面形成的垂直表面214b。

连接突起111b和连接凹槽211b分别具有倾斜表面112b和212b，以及垂直表面114b和214b，在连接臂210插入连接孔110之后它们相互啮合。

图4A示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的正视图。图4B示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的后视图。图4C示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的侧视图。

参见图4A到图4C，根据本发明一实施例的托盘对准装置的托盘100包括：在汽相淀积期间于其上淀积材料的基板1；以及至少一个固定器固定部件120。

托盘100包括用以固定基板框130的位置的框固定件134。基板框130包括用于固定基板1的位置的基板固定件132。传送设备174沿托盘100的底边形成，以便在真空室内传送基板1。用于导引传送的导引件172沿托盘100的上侧表面形成。多个固定器固定部件120和多个连接部件150位于该托盘上并且环绕基板框130。该固定器固定部件120具有通孔110。

图5A示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的固定器固定部件的视图。

该固定器固定部件120具有沿通孔110内表面的部分形成的突台121。该固定器固定部件120的通孔110具有在邻接托盘100处形成的内径为a的圆周。该通孔110还具有在远离托盘100处形成且由突台121限定的内径为b的圆周。该内径a和内径b可以不相等，而且内径a可以大于内径b，以便突台121可以位于通孔110的上边缘。

图5B示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的辅助连接部件的视图。

如上所述，多个连接部件150被设置在托盘100上基板框130的周围。连接部件150形成为具有附着到托盘100的表面上的板。此外，连接部件150包括从托盘100延伸开的表面，该表面可以包括对应于连接到该连接部件150的相关部件(待在下文描述)的凹入的凹槽或凸出的细小突起。该连接部件150可以由导电材料制成，更具体地说，可以由磁性材料制成。

图6A示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的基板、基板框以及支撑基板的托盘的视图。图6B示出根据本发明一实施例的从托盘对准装置的支撑基板的托盘分离的基板的视图。图6C示出根据本发明一实施例的连接到托盘对准装置的支撑基板的托盘上的基板的视图。

参见图6A到图6C，基板框130与托盘100的前侧连接，而基板1在托盘100的后侧与基板框130连接。基板框130与在托盘100的中间部分形成的开口相连，并且被框支撑件134固定到托盘100上。基板1与在基板框130的中间部分形成的开口相连，并通过基板固定件132固定到基板框130上。

图7A示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘和对准板的装配视图。图7B示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘和对准板的装配侧视图。

参见图7A，托盘100被固定到对准板300上以用于汽相淀积。对准板300包括：用于为邻近荫罩板(未示出)的基板1定位的板卡盘(未示出)，与该板卡盘连接以驱动该板卡盘的驱动单元(未示出)，以及对应于固定器固定部件120并与之连接的固定和插入部件210。连接到对准板300上的托盘100可以包括在其中形成图案的荫罩板(未示出)，该图案被附着到面对汽化材料进入方向且执行汽相淀积的表面上，以便根据在该荫罩板中所形成的图案形成淀积图案。在形成淀积图案之前，固定到托盘100上的基板1和荫罩板被对准。为了实现该对准，对准板300可以使托盘100沿任意方向运动，以使基板1和荫罩板对准。

参见图7B，根据本发明一实施例的托盘对准装置的固定器固定部件120与对准板300的固定和插入部件210相连接，并且托盘100的连接部件150与对准板300的支撑部件250相连接。

连接臂210插入支撑基板的托盘100的固定器固定部件120中与托盘100相连接并且被固定到托盘100上。该固定和插入部件210可以包括用于容纳固定器固定部件120的突台121的凹槽110。

支撑部件250可以由磁性材料制成，而且对应于支撑基板的托盘100的连接部件150以支撑和固定基板1。

图8A示出根据本发明一实施例的容纳连接臂和支撑部件的托盘的固定器固定部件和连接部件。图8B示出根据本发明一实施例的托盘对准装置中的对准板的连接臂和支撑部件。

参见图8A和图8B，定位板300的固定和插入部件210具有类似杆的形状以及在突起方向，即面对托盘100的方向上直径减小的台阶。该固定和插入部件210的直径减小的台阶可以被充分插入固定器固定部件120的通孔110的内径中(见图3A)。另外，该固定和插入部件210的具有较小直径的部分可以具有在其侧形成的半圆形槽。

当支撑基板的托盘100被连接到对准板300上时，固定和插入部件210插入对应于该固定和插入部件210的固定器固定部件120的通孔110中。当该固定和插入部件210的直径减小部分被插入固定器固定部件120的通孔110中时，在固定和插入部件210的直径减小部分上形成的凹槽与形成通孔110内径的表面配合，从而使得形成内径b的表面与该固定和插入部件210的直径减小部分接触。当托盘100连接到对准板300上时，固定和插入部件210插入固定器固定部件120中并与之配合，从而使得托盘100被牢靠地固定和支撑住，并由此实现精确对准。

对准板300的支撑部件250具有足够的面积，以与托盘100的连接部件150接触。支撑部件250可以包括磁力产生器(未示出)，以吸引由导电和磁性材料制成的连接部件150。在淀积完成之后，为了使连接部件150易于从支撑部件250上分离，磁力产生器可以是电磁的。

当托盘100被连接到对准板300上时，连接部件150能够连接到对应于其的支撑部件250上，以便托盘100能够被牢靠地加固和支撑，从而实现精确对准。

另外，在支撑部件250和连接部件150中，在支撑部件250的接触面上以及在连接部件150的接触面上形成的凹槽和突起相互对应，以便在连接托盘100时，使托盘100被导引到凹槽和突起对准的位置上。此外，可以增大托盘100和对准框300之间的接触面积，以形成更加牢固和精确的连接。

下面描述根据本发明一实施例的托盘对准装置的工作原理。

在如图3A所示的托盘对准装置的一实施例中，在连接臂210的外上侧形成的并且具有近似垂直表面212a和214a的连接凹槽211a，与在连接孔110中形成的并且具有近似垂直表面112a和114a的连接突起相连接。

在图3B和图3C所示的托盘对准装置的一实施例中，在托盘固定器200中形成的连接臂210被插入在托盘100中形成的连接孔110，从而使得具有倾斜表面212b的连接凹槽211b与具有倾斜表面112b的连接突起111b连接。

连接凹槽211b的倾斜表面212b和连接突起111b的倾斜表面112b沿彼此滑行，以使连接凹槽211b的垂直表面214b和连接突起111b的垂直表面114b接触。

此外，连接突起111b与连接凹槽211b以最小插入间隙相连接，以便连接突起111b与连接凹槽211b可靠地连接。

下面将参照附图详细描述根据本发明一实施例的托盘对准装置。

图9示出根据本发明一实施例的托盘对准装置的示意性侧视图。图10示出根据如图9所示的本发明一实施例的托盘对准装置的侧视图。

根据本发明一实施例的托盘对准装置包括：与托盘100连接以使该托盘固定且垂直定位的托盘固定器200，以及被定位以防止与该托盘固定器200连接的托盘100在垂直定位时弯曲的支撑部件302。

托盘固定器200包括具有从固定板290延伸开的连接臂210的固定板290。而且，该托盘固定器200能够通过单独的驱动设备驱动而往复运动。

当在垂直位置被传送时，托盘固定器200与托盘100相连接。这是通过将固定板290的连接臂210插入在托盘100中形成的连接孔110来实现连接。

当支撑部件302垂直接触托盘100的侧部时，该支撑部件302沿托盘100的圆周定位。支撑部件302接触该圆周以及托盘100的面对托盘固定器200的侧部。

支撑部件302和托盘100之间的接触位置可以沿该托盘100的最外部形成。

可选地，支撑部件302可以配置为：使其接触托盘的一端位于真空室内，而使其另一端暴露在外。

此外，对准板300可以包括用于延长支撑部件302的长度的驱动源304。

驱动源304可以包括发动机或水压汽缸，以使支撑部件302伸出和缩回，从而选择性地接触托盘100的侧部。驱动源304改变支撑部件302的长度并且能够被固定到真空室的墙体10上。而且，该驱动源304可以根据其外形或位置而被置于真空室的内部或者外部。

下面，描述根据本发明一实施例的托盘对准装置的工作原理。

当托盘100与托盘固定器200连接并垂直定位时，由该附着到真空室10墙体上的驱动源驱动而延伸的支撑部件302的端部接触托盘100的侧部。当托盘100与托盘固定器200连接时，可以通过接触托盘100的支撑部件302来防止由于托盘垂直放置或者受力所导致的托盘100弯曲。另外，每一支撑部件302的长度都可以通过操作驱动源304来改变，以适应托盘100的连接位置，从而使支撑部件302支撑托盘100。

图11示出根据本发明一实施例的托盘固定器对准装置的示意性侧截面视图。图12示出根据本发明一实施例的图11中托盘固定器对准装置的导引轴和固定板的接触位置。

下面，将参照附图详细描述根据本发明一实施例的托盘固定器对准装置。

如图11和图12所示，该托盘固定器对准装置包括活动轴350，该轴350贯穿托盘固定器200，以使得该定位于真空室内的托盘固定器200可以通过外部驱动源370驱动。导引轴310的一端可以选择性地接触托盘固定器200的后侧。

至少一根导引轴310贯穿该活动轴350所贯穿的台架390，以调节该活动轴350的位置。

导引轴310可以接触托盘固定器200的圆周。另外，可以设置一个或者多个导引轴310来支撑托盘固定器200的下部，以便减少或防止该托盘固定器200向下弯曲。

此外，可以在托盘固定器200周围的对称位置上安装两个或更多的导引轴310。该对称位置可以根据托盘固定器200的弯曲方向来确定。

如图12所示，标记在基板托盘100上的导引轴310的接触部分310a布置在托盘固定器200的四个角上，以便用于支撑托盘固定器200上侧的两根导引轴310可以防止托盘固定器200的上侧弯曲，以及用于支撑托盘固定器200下侧的两根导引轴310可以防止托盘固定器200弯曲，从而使得托盘固定器200能够保持大体垂直的状态或者处于所期望的倾斜角度。

导引轴310和活动轴350贯穿台架390。

其中导引轴310贯穿与真空室10的外墙壁接触并维持真空室的真空状态的框390，以支撑托盘固定器200，导引轴310和该框390可以利用磁流体进行密封，该磁流体还能用于在活动轴350周围密封真空室。

其中可以设置两个或者更多导引轴310来接触托盘固定器200，导引轴310在真空室外的端部可以与连接板330连接，以便实现导引轴310的同步操作。

可以由独立的活动轴350驱动一个或多个导引轴310，其中可以安装不同于该用于驱动活动轴350的驱动源370的单独的驱动源(未示出)，以驱动导引轴310。相反，可以由该用于驱动活动轴350的驱动源370驱动一个或者多个导引轴310。在这种方式下，一个或多个导引轴310的驱动与该活动轴350的驱动同步。

当导引轴310与该活动轴350同步时，导引轴310和活动轴350被连接到连接板330上，以便该活动轴350的运动能够与该由驱动源370驱动的导引轴310的运动同步。

其中导引轴310和活动轴350独立运行，仅导引轴310被连接到连接板330上并由单独的驱动源(未示出)驱动。

下面，将简要描述根据本发明一实施例的托盘固定器对准装置。

通过使该由驱动源370驱动的活动轴350运动，使得托盘固定器200与该活动轴350协同运动，并可与基板托盘100连接。

那时，可以由一个或多个被定位以接触托盘固定器200后侧的导引轴310支撑该托盘固定器200。该导引轴310的后侧可以与连接板330连接，以便使导引轴310的运动同步，而且可以根据连接板330是否与活动轴350连接，可以使导引轴310与托盘固定器200同步或独立地被驱动。

根据本发明，连接突起可以与连接凹槽可靠地连接，并且由于该连接，使得基板和罩板能够被稳定和精确地对准。

另外，可以防止与托盘固定器连接并且垂直放置的托盘弯曲，而且由于防止了托盘弯曲，使得基板和罩板能够被稳定且精确地对准，从而可以大大减少由于未对准所造成的误差。

此外，每个导引轴的一端都可以牢靠地接触托盘固定器的后侧，以防止托盘固定器弯曲，由于防止了托盘固定器弯曲，因此托盘固定器能够被垂直定位并可与托盘精确连接。

本领域的技术人员将会清楚：在不背离本发明的精神和范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变换。因此，本发明意在覆盖所附权利要求及其等价替换范围内对本发明所作的各种修改和变换。

Claims (27)

1、一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：

能够容纳基板的托盘；

多个在该托盘中形成的连接孔，所述多个连接孔之一具有连接突起；

托盘固定器；以及

多个与该托盘固定器连接并从该托盘固定器伸出的连接臂，所述多个连接臂之一与所述多个连接孔之一对应并具有连接凹槽以啮合该连接突起，

其中该托盘与该托盘固定器连接并且能够当该连接凹槽与连接突起啮合时被垂直放置地进行传送。

2.如权利要求1所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该连接突起具有倾斜表面，且该连接凹槽具有倾斜表面，以在该连接凹槽与该连接突起啮合时与该连接突起的倾斜表面接触。

3、如权利要求2所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该连接突起进一步具有垂直表面，且该连接凹槽进一步具有垂直表面，以在该连接凹槽与该连接突起啮合时与该连接突起垂直表面接触。

4、如权利要求1所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，进一步包括：

在该托盘中形成的固定器固定部件。

5、如权利要求4所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该托盘固定器包括：

用于使该托盘定位的卡盘；

与该卡盘连接以驱动该卡盘的驱动单元；以及

对应于该固定器固定部件的固定和插入部件，

其中该固定和插入部件与该固定器固定部件连接，以使该托盘和该托盘固定器连接。

6、如权利要求4所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该固定器固定部件包括通过使两个具有不同直径的环交叠所形成的通孔。

7、如权利要求6所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中具有较小直径的环位于具有较大直径的环上。

8、如权利要求5所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该固定和插入部件具有用于使该固定和插入部件与该固定器固定部件相连接的凹槽。

9、如权利要求5所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该托盘进一步包括连接部件，该托盘固定器进一步包括对应于该连接部件的支撑部件，并且当该托盘与该托盘固定器连接时，该连接部件与该支撑部件连接。

10、如权利要求9所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该连接部件包括导电材料。

11、如权利要求10所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该导电材料包括磁性材料。

12、如权利要求11所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该连接部件包括至少一个凹槽或突起。

13、如权利要求12所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该支撑部件由磁性材料制成，并且能够与所述连接部件磁连接。

14、如权利要求4所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该托盘包括：

用于容纳和支撑基板的基板框，该托盘能够容纳和支撑该基板框。

15、如权利要求14所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该基板框进一步包括：

用于容纳和支撑该基板的基板固定件。

16、如权利要求15所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该基板框进一步包括：

用于使该基板框与托盘连接的框固定件。

17、如权利要求16所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该托盘进一步包括：

用于传送位于垂直位置时的托盘的传送设备。

18、如权利要求17所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该托盘进一步包括：

沿该托盘的上侧表面安置的导引设备。

19、一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：

托盘能够连接到其上以垂直定位该托盘的托盘固定器；以及

用于当该托盘与该托盘固定器相连接时支撑该托盘的支撑部件。

20、如权利要求19所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该支撑部件通过驱动源向该托盘延伸。

21、如权利要求20所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该驱动源被沿真空室的墙体的内表面安置。

22、一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：

驱动单元，其中托盘固定器与通过驱动源驱动的活动轴的一端连接；

包括连接臂的连接件，该连接臂与该托盘固定器连接并且能够与垂直安置的托盘连接；以及

第一导引轴，

其中该第一导引轴的第一端与该托盘固定器相连接，且该导引轴可防止托盘固定器弯曲。

23、如权利要求22所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，进一步包括：

第二导引轴；

其中所述第一导引轴被安置在该托盘固定器的上部，且该第二导引轴定位在该托盘固定器的下部。

24、如权利要求23所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，进一步包括：

与该活动轴、第一导引轴和第二导引轴连接的连接板。

25、如权利要求24所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该驱动源同时驱动所述活动轴、第一导引轴和第二导引轴移动相同的距离。

26、如权利要求24所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中该第一导引轴由单独的驱动源同时驱动，且被独立于所述活动轴而驱动。

27、如权利要求22所述的用于对准托盘和托盘固定器的装置，进一步包括：

流体磁密封剂，

其中该第一导引轴穿过所述真空室的墙壁，且该流体磁密封剂被放置以使该真空室保持真空。

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