KR20060080468A - 기판트레이홀더용 정렬장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판트레이가 체결되는 기판트레이홀더에 관한 것으로, 이 기판트레이홀더에 포함된 홀더 플레이트의 반듯한 입상인 상태가 지속적으로 유지되도록 된 기판트레이홀더용 정렬장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판트레이와 체결되는 기판트레이홀더에 장착된 이동축이 동작되도록 설치된 구동부와, 상기 기판트레이에 삽입되어 체결되는 체결아암이 형성된 기판트레이홀더의 홀더플레이트가 이동축에 의해 이동되도록 이루어진 체결부와, 상기 홀더플레이트의 휨을 방지하기 위해 홀더에 척력이 제공되도록 배치된 하나 이상의 가이드축이 포함되어 이루어진 가이드부가 포함된 기판트레이홀더의 정렬장치를 제공한다.
본 발명에 따르면, 홀더플레이트의 후면에 다수의 가이드축의 일단이 견고히 접촉되어 홀더플레이트의 휨이 방지되고, 이로 인해 홀더플레이트가 입상인 상태에서 항상 유지될 수 있으며, 정위치의 입상인 상태인 홀더플레이트가 기판트레이와 정확한 체결이 이루어지도록 된 것이다.
발광소자, 기판트레이, 기판트레이홀더, 홀더플레이트

Description

기판트레이홀더용 정렬장치{Device for aligning of substrate tray holder}
도 1은 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 버퍼영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도;
도 2는 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 성막영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도;
도 3은 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치가 개략적으로 도시된 사시도;
도 4는 도 3에 도시된 정렬장치가 개략적으로 도시된 측단면도;
도 5는 도 3에 도시된 정렬장치의 가이드축과 홀더플레이트의 접촉위치에 대한 일 예가 표시된 상태도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100...정렬장치 102...가이드축,
104...연결플레이트 210...홀더플레이트,
212...이동축, 214...구동원,
216...스테이지 230...기판트레이.
본 발명은 기판트레이의 홀더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판트레이홀더의 휨을 방지하기 위한 기판트레이홀더용 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 중의 하나인 전계발광 디스플레이 장치는 발광층으로 사용하는 물질에 따라서 무기전계발광 디스플레이 장치와, 유기전계발광 디스플레이 장치로 구분되고, 유기전계발광 디스플레이 장치는 저전압으로 구동이 가능하고, 경량의 박형이면서 시야각이 넓을 뿐만 아니라 응답속도 또한 빠르다는 장점을 구비하고 있기 때문에 각광을 받고 있다.
이러한 유기전계발광 디스플레이 장치의 유기전계 발광소자는 기판 상에 적층식으로 형성되는 양극, 유기물층 및 음극으로 구성된다. 상기 유기물층은 정공과 전자가 재결합하여 여기자를 형성하고 빛을 방출하는 유기 발광층의 유기물층을 포함하고, 또한 정공과 전자를 유기 발광층으로 원활하게 수송하여 발광효율을 향상시키기 위하여 상기 음극과 유기 발광층 사이에 전자 주입층과 전자 수송층의 유기물층을 개재시키면서 양극과 유기 발광층 사이에 정공 주입층과 전자 수송층의 유기물층을 개재시킨다.
상술된 구조로 이루어진 유기전계 발광소자는 일반적으로, 진공증착법, 이온 플레이팅법 및 스퍼터링법 등과 같은 물리기상 증착법 또는 가스 반응에 의한 화학기상 증착법으로 제작된다. 특히, 유기전계 발광소자의 유기물층을 형성하기 위해 서는 진공챔버 내에서 유기물질을 증발시켜 형성된 유기기상물질을 증착원에서 분사하여 기판에 증착시키는 진공증착법이 널리 사용된다.
최근에 디스플레이의 대형화에 부응하여 기판의 크기가 대형화되고 있으며, 이러한 대형 기판에 유기물층을 증착하기 위하여 증착원이 진공챔버 내에서 수직 상하방향으로 이동하면서 유기기상물질을 분사하는 증착시스템이 개발되었다.
이러한 증착시스템에는 증착원을 상하방향으로 이동시키는 구동축이 제공되어 있고, 상기 구동축은 구동수단에 의해서 축회전하게 된다. 구동축의 축회전에 의해서 증착원은 수직 상하방향으로 이동하는 동안 유기물질을 증발시킴으로써 형성되는 유기기상물질을 분사하게 된다.
또한, 상기 증착기에서 분사된 물질이 도포되는 기판이 대면적화되면서 기판의 휨현상이 제거되도록 기판과 마스크가 입상의 상태에서 정렬되도록 이루어진 수직 정렬시스템이 연구되고 있다.
상기 기판이 입상인 상태에서 고정되도록 왕복이동되게 설치된 기판트레이홀더에는 상기 기판과 체결되는 체결부재가 돌출 형성되면서 기판트레이와 동일하게 입상으로 배치된 홀더플레이트가 요구된다.
또한, 상기 홀더플레이트가 입상인 상태이므로 이 홀더플레이트에 휘어지는 현상이 예상된다.
따라서, 이러한 수직 정렬시스템에 적용되면서 휘어지는 현상이 저지된 홀더플레이트가 요구된다.
상기와 같은 요구가 충족되도록 안출된 본 발명은, 기판트레이홀더의 홀더플레이트가 입상에서 지지되도록 하나 이상의 가이드축이 배치되고, 이 가이드축들이 동시 동작되도록 연결플레이트가 설치되며, 연결플레이트와 이동축의 체결 가부에 따라 가이드축과 이동축의 동시 또는 별도 동작하도록 이루어짐으로 인해, 홀더플레이트의 휨현상이 방지됨은 물론, 홀더플레이트의 수직인 상태의 입상이 항상 유지될 수 있고, 기판트레이와의 체결에 대한 정확성이 지속될 수 있도록 된 기판트레이홀더용 정렬장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치는, 기판트레이와 근접되는 기판트레이홀더가 구동원에 의해 작동되는 이동축의 선단부에 체결되도록 이루어진 구동부;와, 상기 이동축에 의해 이동되는 기판트레이홀더에 입상으로 설치된 홀더플레이트의 체결아암과 입상의 기판트레이가 체결되도록 이루어진 체결부;와, 상기 홀더플레이트의 휨을 방지하기 위해 홀더에 척력이 제공되도록 배치된 하나 이상의 가이드축이 포함되어 이루어진 가이드부;가 구비되어 이루어진다.
상기 구동원에 의해 이동축과 가이드축이 연동되도록 이동축과 가이드축이 체결되는 연결플레이트가 더 포함된다.
상기 가이드축들은 이동축과 동시 동작되도록 이동축의 위치조정을 위한 구 동원과 연동되게 배치된다.
상기 가이드축들은 별도의 구동원에 의해 상호 동시 동작되면서 상기 이동축과 별도 동작되도록 설치된다.
이하, 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 버퍼영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도이고, 도 2는 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 성막영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도이다.
도 1을 참조하면, 진공증착 시스템의 진공챔버(10)에는 유기물층을 형성하고자 하는 기판(30)과, 기판(30)의 전방에 위치되는 마스크(40)와, 마스크(40)로부터 소정 간격으로 이격되어 있는 증착원(20)이 설치된다. 마스크(40)와 기판(30)은 얼라인먼트 시스템(미도시)에 의해서 정렬된 상태로 척(50)에 서로 밀착된 상태로 고정된다.
마스크(40)는 기판(30)에 형성하고자 하는 유기물층에 대응하는 패턴이 형성되어 있는 패턴형성부(가상선으로 표시됨)와, 마스크 프레임(미도시)에 용접을 통해서 고정되는 고정부로 구성된다. 이때, 진공챔버(10)는 마스크(40) 및 기판(30)의 설치위치에 대응하는 성막영역(B)과 상기 성막영역(B) 이외의 위치에 대응하는 버퍼영역(A)으로 구분된다.
증착원(20)은 이동수단(미도시)의 작동에 의해서 축회전하는 구동축에 이동 가능하게 장착되고, 상기 구동축의 회전방향에 따라서 진공챔버(10) 내에서 수직 상하방향으로 이동한다.
한편, 도 3은 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치가 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 정렬장치가 개략적으로 도시된 측단면도이며, 도 5는 도 3에 도시된 정렬장치의 가이드축과 홀더플레이트의 접촉위치에 대한 일 예가 표시된 상태도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판트레이홀더용 정렬장치(100)는 진공챔버(220) 내에 위치된 홀더플레이트(210)가 외부의 구동원(214)에 의해 동작되도록 설치된 이동축(212)이 관통되게 설치되고, 가이드축(102)의 일단면이 홀더플레이트(10)의 후면과 선택적으로 접촉되도록 이루어진다.
상기 가이드축(102)은 상기 이동축(212)의 위치를 조정하기 위해 이동축(212)이 관통된 스테이지(216)를 관통하여 하나 이상 배치된다.
상기 가이드축(102)은 기판트레이홀더(210)의 테두리부위에 접촉됨이 좋고, 하나 이상의 가이드축(102)이 설치될때, 홀더플레이트(210)의 하측부를 지지하여 빈번히 발생하는 홀더플레이트(10)의 하향 휨을 저지하도록 함이 바람직하다.
또한, 둘 이상의 가이드축(102)이 배치될 경우, 상호 대칭되는 위치에 배치됨이 좋고, 이 대칭되는 위치는 홀더플레이트(210)에 발생되는 휨의 방향에 따라 정해 짐이 좋다.
상기 기판트레이(230)에 표시된 가이드축(102)의 접촉부위(102a)가 도식된 도5에서와 같이, 홀더플레이트(210)의 네 귀퉁이에 배치되어 상부를 지지하는 두 개의 가이드축(102)은 홀더플레이트(210)의 상부가 후방으로 휘어지는 현상을 방지하고, 하부를 지지하는 두 개의 가이드축(102)은 홀더플레이트(210)의 하부가 후방으로 휘어지는 현상을 방지하여 상기 홀더플레이트(210)가 항상 수직 또는 작업에 원하는 각도에서 평평하게 유지될 수 있도록 한다.
상기 가이드축(102)의 일부가 홀더플레이트(210)를 지지하기 위해 진공챔버의 진공을 보전하기 위해 챔버의 외벽(220)에 밀착된 프레임(216)을 관통할 때, 가이드축(102)과 프레임(216)은 상기 이동축(212)의 밀폐방식과 동일한 방식인 페로실(ferro seal)이 이용되어도 좋다.
한편, 둘 이상의 가이드축(102)이 배치될 경우, 가이드축(102)들이 상호 동시 동작이 이루어질 수 있도록 둘 이상의 가이드축(102)의 후단부가 연결플레이트(104)에 의해 동시 체결된다.
이때, 하나 이상의 가이드축(102)이 이동축(212)과 별도 동작이 이루어지도록 상기 이동축(212)을 동작시키는 구동원(214)과는 별도로 다른 구동원(미도시)이 가이드축(102)을 동작시키도록 배치될 수도 있고, 상기 하나 이상의 가이드축(102)이 이동축(212)과 동시 동작이 이루어지도록 상기 이동축(212)을 동작시키는 구동원(214)에 의해 가이드축(102)이 동작될 수 있도록 배치될 수도 있다.
여기서, 상기 연결플레이트(104)는 가이드축(102)과 이동축(212)의 별도 동작이 이루어질 경우 가이드축(102)들만 연결되도록 배치되어 별도의 구동원(미도시)에 의해 가이드축(102)이 작동되고, 가이드축(102)과 이동축(212)의 동시 동작이 이루어질 경우 가이드축(102)과 이동축(212)이 동시에 연결되도록 배치되어 구 동원(214)에 의해 이동축(212)과 가이드축(102)이 동시 동작되게 함이 좋다.
한편, 상기 하나 이상의 가이드축(102)과 이동축(212)은 별도 동작 또는 동시 동작과는 무관하게 스테이지(216)에 관통되게 배치된다.
이하, 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치에 관한 작용을 간략히 설명한다.
구동원(214)에 의해 동작되는 이동축(212)에 의해 홀더플레이트(210)가 이동되면서 기판트레이(230)와 선택적으로 체결된다.
이 때, 상기 홀더플레이트(210)의 후면과 접촉하도록 배치된 하나 이상의 가이드축(102)가 홀더플레이트(210)를 지지하게 된다. 둘 이상의 가이드축(102)의 후미가 연결플레이트(104)에 체결되어 상기 가이드축(102)들이 동시 동작되며, 상기 연결플레이트(104)와 이동축(212)의 체결 여부에 따라 가이드축(102)과 이동축(212)이 별도 또는 동시 동작된다.
또한, 상기 가이드축(102)과 이동축(212)의 별도 동작이 이루어질 경우 둘 이상의 가이드축(102)의 후미가 연결플레이트(104)로 체결되어 가이드축(102)들만 연결되도록 배치되어 별도의 구동원(미도시)에 의해 가이드축(102)이 작동되고, 가이드축(102)과 이동축(212)의 동시 동작이 이루어질 경우 가이드축(102)과 이동축(212)이 동시에 연결되도록 연결플레이트(104)로 배치되어 구동원(214)에 의해 이동축(212)과 가이드축(102)이 동시 동작되게 함이 좋다.
상기 가이드축(102)의 일부가 홀더플레이트(210)를 지지하기 위해 프레임 (216)을 관통할 때, 가이드축(102)과 프레임(216)에는 이 프레임(216)을 관통하는 이동축(212)과 프레임(216)에 밀폐를 위해 장착된 페로실이 장착되어도 좋다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 기판트레이홀더의 후면에 다수의 가이드축의 일단이 견고히 접촉되어 기판트레이홀더의 휨이 방지되고, 이로 인해 기판트레이홀더가 입상인 상태에서 항상 유지될 수 있으며, 정위치의 입상인 상태인 기판트레이홀더가 기판트레이와 정확한 체결이 이루어질 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 기판트레이와 근접되는 기판트레이홀더가 구동원에 의해 작동되는 이동축의 선단부에 체결되도록 이루어진 구동부;
    상기 이동축에 의해 이동되는 기판트레이홀더에 입상으로 설치된 홀더플레이트의 체결아암과 입상의 기판트레이가 체결되도록 이루어진 체결부;
    상기 홀더플레이트의 휨을 방지하기 위해 홀더에 척력이 제공되도록 배치된 하나 이상의 가이드축이 포함되어 이루어진 가이드부;
    가 구비되어 이루어진 기판트레이홀더용 정렬장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드축은 기판트레이홀더의 상ㆍ하단부에 각각 하나 이상 배치된 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 구동원에 의해 이동축과 가이드축이 연동되도록 이동축과 가이드축이 체결되는 연결플레이트가 더 포함되어 이루어진 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 이동축과 가이드축은 동시 동작 및 동일 거리로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 가이드축은 이동축의 위치조정을 위한 스테이지와 연동되게 배치된 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.
  6. 제1항 또는 제2항 또는 제5항에 있어서,
    상기 가이드축들은 별도의 구동원에 의해 상호 동시 동작되면서 상기 이동축과 별도 동작되도록 설치된 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 가이드축이 진공챔버의 진공을 보전하기 위한 부재를 통과하면서 진공챔버의 진공이 유지되도록 페로실이 장착된 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.
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