KR20190078717A - 증착 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

증착 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크와 기판 간의 밀착성을 향상시킬 수 있는 증착 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 마스크를 지지하는 마스크 지지부; 및 상기 마스크 지지부 상에 위치하며, 상기 마스크 지지부를 향해 서로 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공하는 적어도 하나의 제 1 자화부를 포함한다.

Description

증착 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법{DEPOSITING APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING DISPLAY DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 증착 장치에 관한 것으로, 특히 마스크와 기판 간의 밀착성을 향상시킬 수 있는 증착 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 대한 것이다.
최근 평면 디스플레이 분야에서는 비약적인 발전이 이루어지고 있는데, 특히 LCD(Liquid Crystal Display)를 선두로 하여 등장하기 시작한 평면 디스플레이는 CRT(Cathode Ray Tube)를 추월하여, 최근에는 PDP(Plasma Display Panel), VFD(Visual Fluorescent Display), FED(Field Emission Display), LED(Light Emitting Diode), EL(Electroluminescence) 등의 디스플레이 소자가 치열한 각축을 벌이고 있는 상황이며, 각각 시인성, 색감 및 제조공정의 면에서 많은 개선이 이루어져, 그 응용분야를 넓혀가고 있다.
특히, 최근에는 표시장치의 대형화에 따른 공간 점유가 작은 평판 디스플레이 패널로서 유기 발광 표시 장치가 주목되고 있다. 유기 발광 표시 장치는 유기 발광 표시 장치로도 불리는 바, 이 표시 장치는 매우 얇은 두께를 가질 뿐 아니라, 15V 이하의 낮은 전압으로도 구동될 수 있다.
이와 같은 유기 발광 표시 장치의 기판에 각종 금속 패턴 및 절연막 패턴이 위치하는 바, 이들 패턴들은 마스크를 통해 그 기판에 증착된다. 이때, 이 마스크와 기판 간의 밀착성이 매우 중요하다.
본 발명은 마스크와 기판 간의 밀착성을 향상시킬 수 있는 증착 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 증착 장치는, 마스크를 지지하는 마스크 지지부; 및 상기 마스크 지지부 상에 위치하며, 상기 마스크 지지부를 향해 서로 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공하는 적어도 하나의 제 1 자화부를 포함한다.
상기 증착 장치는 제 1 자화부 상에 위치한 복수의 자석들을 더 포함한다.
상기 제 1 자화부는 상기 복수의 자석들의 배열 방향에 평행한 방향을 따라 이동한다.
상기 복수의 자석들은 상반된 극성의 자기력을 제공하는 제 1 자석 및 제 2 자석을 포함한다.
상기 제 1 자석과 제 2 자석은 교번적으로 배열된다.
상기 자화부가 상기 제 1 자석에 대응되게 위치할 때, 상기 제 1 자화부는 상기 제 1 자석과 동일한 극성의 자기력을 제공하며; 상기 제 1 자화부가 상기 제 2 자석에 대응되게 위치할 때, 상기 제 1 자화부는 상기 제 2 자석과 동일한 극성의 자기력을 제공한다.
상기 증착 장치는 상기 제 1 자화부와 마주보게 상기 마스크 지지부의 하측에 위치한 제 2 자화부를 더 포함한다.
상기 제 2 자화부는 상기 마스크 지지부를 향해 서로 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공한다.
상기 제 2 자화부는 상기 복수의 자석들의 배열 방향에 평행한 방향을 따라 이동한다.
상기 제 2 자화부와 상기 제 1 자화부는 서로 마주보며 상기 복수의 자석들의 배열 방향에 평행한 방향을 따라 이동한다.
상기 제 2 자화부가 상기 제 1 자석에 대응되게 위치할 때, 상기 제 2 자화부는 상기 제 1 자석과 반대 극성의 자기력을 제공하며; 상기 제 2 자화부가 상기 제 2 자석에 대응되게 위치할 때, 상기 제 2 자화부는 상기 제 2 자석과 반대의 극성의 자기력을 제공한다.
상기 증착 장치는 상기 제 1 자화부를 사이에 두고 서로 마주보게 위치하며, 상기 제 1 자화부에 연결된 제 1 가이드부 및 제 2 가이드부를 더 포함한다.
상기 제 1 자화부는 전자석을 포함한다.
상기 증착 장치는 상기 마스크 지지부 상의 가압 플레이트; 및 상기 마스크 지지부 하측의 증착원을 더 포함한다.
상기 제 1 자화부의 폭은 어느 하나의 자석의 폭과 동일하거나 더 작다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 증착 장치는 마스크를 지지하는 마스크 지지부; 및 상기 마스크 지지부 상에 교번적으로 배치되어, 서로 상반된 극성의 자기력을 제공하는 제 1 자화부 및 제 2 자화부를 포함한다.
상기 증착 장치는 상기 제 1 자화부 상에 위치한 제 1 자석; 및 상기 제 2 자화부 상에 위치하며, 상기 제 1 자석과 상반된 극성의 자기력을 제공하는 제 2 자석을 더 포함한다.
또한, 상기와 같은 증착 장치를 이용한 표시 장치의 제조 방법은, 마스크 지지부 상에 마스크를 배치하는 단계; 상기 마스크 상에 자화부를 배치하는 단계; 상기 자화부를 이동시켜 상기 마스크를 자화시키는 단계; 상기 자화된 마스크 상에 기판을 배치하는 단계; 및 상기 기판을 가압 플레이트로 가압함과 아울러, 그 가압 플레이트 상의 자석들을 상기 마스크의 각 부분에 대응되게 위치시키는 단계를 포함한다.
상기 자화부를 이동시켜 상기 마스크를 자화시키는 단계에서, 상기 자화부는 상기 마스크의 모든 부분들을 그 각 부분에 대응되는 자석과 반대의 극성으로 자화한다.
상기 자화부를 이동시켜 상기 마스크를 자화시키는 단계에서, 상기 자화부는 상기 마스크를 향해 서로 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공한다.
본 발명에 따른 표시 장치는 다음과 같은 효과를 제공한다.
본 발명에 따르면, 마스크 상에 기판이 배치되기 전에, 각 단위 마스크의 상부 표면의 모든 부분들이 그 각 부분에 대응되는 자석과 반대의 극성으로 미리 자화된다. 따라서, 가압 공정시 기판과 마스크 간의 밀착성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 증착 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 I-I'를 따라 자른 단면도이고, 그리고 도 3은 도 1의 II-II'를 따라 자른 단면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 증착 장치를 이용한 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 자화부의 자기력을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 전기적으로 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 그에 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 명세서에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제 1 구성 요소가 제 2 또는 제 3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제 2 또는 제 3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 도 1 내지 도 8을 참조로 본 발명에 따른 증착 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 증착 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 I-I'를 따라 자른 단면도이고, 그리고 도 3은 도 1의 II-II'를 따라 자른 단면도이다.
본 발명의 증착 장치(1000)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버(100), 증착원(130), 밀착부(800), 마스크 지지부(301, 302), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 자화부(700), 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)를 포함할 수 있다.
한편, 마스크 지지부(301, 302) 상에 위치한 마스크(500)는 본 발명의 증착 장치(1000)의 구성 요소로서 포함될 수도 있고 포함되지 않을 수도 있다.
챔버(100)는 내부에 증착 공정이 진행되는 작업 공간(111)을 정의한다. 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위한 막 증착 공정은 챔버(100)의 작업 공간(111)에서 진행된다.
전술된 증착원(130), 밀착부(800), 마스크 지지부(301, 302), 자화부(700), 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)는 챔버(100)의 작업 공간(111) 내에 위치할 수 있다.
마스크 지지부(301, 302)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 마주보는 제 1 마스크 지지부(301) 및 제 2 마스크 지지부(302)를 포함할 수 있다. 제 1 마스크 지지부(301) 및 제 2 마스크 지지부(302)는 X축 방향으로 마주본다.
챔버(100)는 서로 마주보는 제 1 측벽(100a) 및 제 2 측벽(100b)을 포함하는 바, 제 1 마스크 지지대(301)는 제 1 측벽(100a)에 위치하며, 제 2 마스크 지지대(302)는 제 2 측벽(100b)에 위치한다.
제 1 마스크 지지부(301)는 제 1 측벽(100a)으로부터 제 2 마스크 지지부(302)를 향해 돌출되며, 제 2 마스크 지지부(302)는 제 2 측벽(100b)으로부터 제 1 마스크 지지부(301)를 향해 돌출된다.
마스크(500)는 마스크 지지부(301, 302) 상에 위치한다. 예를 들어, 마스크(500)의 서로 마주보는 가장자리들 중 일측 가장자리는 제 1 마스크 지지부(301)의 지지면 상에 위치하며, 그 마스크(500)의 서로 마주보는 가장자리들 중 타측 가장자리는 제 2 마스크 지지부(302)의 지지면 상에 위치한다.
마스크(500)의 일측 가장자리는 제 1 마스크 지지부(301)에 의해 지지되며, 그 마스크(500)의 타측 가장자리는 제 2 마스크 지지부(302)에 의해 지지된다. 마스크(500)의 일측 가장자리는 제 1 마스크 지지부(301)의 지지면과 접촉하며, 마스크(500)의 타측 가장자리는 제 2 마스크 지지부(302)의 지지면과 접촉할 수 있다.
마스크(500)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(520) 및 복수의 단위 마스크(510)들을 포함할 수 있다. 전술된 마스크(500)의 일측 가장자리 및 타측 가장자리는 각각 프레임(520)의 일측 가장자리 및 타측 가장자리에 해당한다.
프레임(520)은 개구부(515)를 정의하는 링(ring) 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 프레임(520)은 사각형의 링 형상을 가질 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(510)들은 X축 방향을 따라 프레임(520) 상에 일렬로 배열된다. 각 단위 마스크(510)의 양 가장자리는 프레임(520)에 의해 지지된다. 각 단위 마스크(510)의 양 가장자리를 제외한 부분은 프레임(520)의 개구부(515) 상에 위치한다.
각 단위 마스크(510)는 Y축 방향으로 긴 길이를 갖는 바(bar) 형상을 가질 수 있다.
각 단위 마스크(510)는 복수의 패턴 홀(555)들을 갖는다. 증착원(130)으로부터의 증착 물질은 각 단위 마스크(510)의 패턴 홀(555)들을 통과하여 기판(200) 상에 증착된다.
각 단위 마스크(510)는 금속 재질로 이루어질 수 있다.
기판(200)은 유기 발광 표시 장치의 기판일 수 있다.
기판 이송부(811, 801, 822, 802)는 마스크 지지부(301, 302) 상에 위치한다. 기판 이송부(811, 801, 822, 802)는 Z축 방향 또는 그 Z축 방향의 역방향(이하, -Z축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 기판 이송부(811, 801, 822, 802)는 기판(200)을 이송한다.
기판 이송부(811, 801, 822, 802)는 서로 마주보는 제 1 이송부(811) 및 제 2 이송부(822), 서로 마주보는 제 1 기판 지지부(801) 및 제 2 기판 지지부(802)를 포함한다.
제 1 기판 지지부(801)는 제 1 이송부(811)에 연결되며, 제 2 기판 지지부(802)는 제 2 이송부(822)에 연결된다. 제 1 기판 지지부(801)는 제 1 이송부(811)로부터 제 2 기판 지지부(802)를 향해 돌출되며, 제 2 기판 지지부(802)는 제 2 이송부(822)로부터 제 1 기판 지지부(801)를 향해 돌출된다.
기판(200)의 서로 마주보는 가장자리들 중 일측 가장자리는 제 1 기판 지지부(801) 상에 위치하며, 그 기판(200)의 서로 마주보는 가장자리들 중 타측 가장자리는 제 2 기판 지지부(802) 상에 위치한다. 기판 이송부(811, 801, 822, 802)가 -Z축 방향으로 이동하여 제 1 및 제 2 기판 지지부(801, 802)의 지지면이 마스크(500)의 상부면보다 더 아래쪽에 위치할 때, 그 기판 이송부(811, 801, 822, 802) 상의 기판(200)은 마스크(500) 상에 놓인다. 이때, 기판(200)과 마스크(500)가 서로 접촉한다.
증착원(130)은 마스크(500)의 하부에 위치한다. 구체적으로, 증착원(130)은 마스크(500)와 챔버(100)의 바닥부(100d) 사이에 위치할 수 있다.
증착원(130)은 증착 물질을 제공한다. 증착원(130)으로부터의 증착 물질은 마스크(500)를 향해 이동한다. 구체적으로, 증착원(130)은 유기 물질이나 전극 물질과 같은 증착 물질을 고온으로 가열하여 증발시키는 바, 그 증발된 증착 물질은 마스크(500)를 향해 공급된다.
증착원(130)은 가이드 축(132)을 따라 Y축 방향 또는 그 Y축 방향의 역방향(이하, -Y축 방향)으로 이동할 수 있다. 이 가이드 축(132)은 구동 모터(134)에 구동될 수 있다. 즉, 이 가이드 축(132)은 구동 모터(134)에 의해 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 예를 들어, 가이드 축(132)이 시계 방향으로 회전할 경우 증착원(130)은 Y축 방향으로 이동할 수 있으며, 그 가이드 축(132)이 반시계 방향으로 회전할 경우 증착원(130)은 -Y축 방향으로 이동할 수 있다.
밀착부(800)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(200) 상에 위치한다. 밀착부(800)는 Z축 방향 ?축 방향으로 이동할 수 있다. 밀착부(800)는 기판(200)을 가압하여 기판(200)과 마스크(500)를 밀착시킨다.
밀착부(800)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 가압 플레이트(810), 기저 플레이트(880), 연결부(840) 및 복수의 자석들(851, 852)을 포함할 수 있다.
가압 플레이트(810)는 기판(200) 상에 위치한다. 가압 플레이트(810)는 그 자체의 무게로 기판(200)을 가압할 수 있도록 일정 수준 이상의 중량을 가질 수 있다. 이 가압 플레이트(810)는 금속 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 가압 플레이트(810)는 텅스텐, 알루미늄, 스테인리스 등의 재질로 이루어질 수 있다.
기저 플레이트(880)는 가압 플레이트(810) 상에 위치한다.
연결부(840)는 가압 플레이트(810)와 기저 플레이트(880)를 서로 연결한다. 연결부(840)는 기저 플레이트(880)의 홀을 관통하여 가압 플레이트(810)의 홈에 연결될 수 있다. 연결부(840)는, 예를 들어, 나사일 수 있다. 기저 플레이트(880)의 홀 및 가압 플레이트(810)의 홈의 내부에는 각각 연결부(840)의 나사선에 대응되는 나사선이 위치할 수 있다.
복수의 자석들(851, 852)은 가압 플레이트(810)와 기저 플레이트(880) 사이에 위치할 수 있다. 이때. 이 복수의 자석들(851, 852)은 기저 플레이트(880)에 부착될 수 있다. 복수의 자석들(851, 852)은, 도 3에 도시된 바와 같이, Y축 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다.
복수의 자석들(851, 852)은 적어도 한 개의 제 1 자석(851) 및 적어도 한 개의 제 2 자석(852)을 포함할 수 있다. 제 1 자석(851)과 제 2 자석(852)은 서로 상반된 극성의 자기력을 제공한다. 예를 들어, 제 1 자석(851)은 N극성의 자기력을 제공하며, 제 2 자석(852)은 S극성의 자기력을 제공할 수 있다. 도 3에서 기호 "N"으로 지시된 자석은 N극성의 자기력을 제공하는 제 1 자석(851)을 의미하며, 기호 "S"로 지시된 자석은 S극성의 자기력을 제공하는 제 2 자석(852)을 의미한다.
제 1 자석(851)과 제 2 자석(852)은 교번적으로 배치될 수 있다. 다시 말하여, 제 1 자석(851) 및 제 2 자석(852)은 Y축 방향을 따라 교번적으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 복수의 자석들(예를 들어, 열 개의 자석들)은 가장 좌측 자석부터 순서대로 제 1 자석(851), 제 2 자석(852), 제 1 자석(851), 제 2 자석(852), 제 1 자석(851) 및 제 2 자석(852), 제 1 자석(851), 제 2 자석(852), 제 1 자석(851) 및 제 2 자석(852)일 수 있다.
복수의 자석들(851, 852)은 각각 전자석일 수 있다. 또 다른 예로서, 복수의 자석들(851, 852)은 각각 영구 자석일 수 있다. 또한, 복수의 자석들 중 몇 개의 자석들은 영구 자석이고 나머지 자석들은 전자석일 수 있다.
이송부(900)는 밀착부(800) 상에 위치한다. 예를 들어, 이송부(900)는 밀착부의 기저 플레이트(880) 상에 위치한다. 이송부(900)는 기저 플레이트(880)에 연결된다.
이송부(900)는 이송 로드(901) 및 이송 본체(902)를 포함할 수 있다.
이송 로드(901)는 기저 플레이트(880)에 연결된다. 이송 로드(901)는 -Z축 방향으로 연장되거나 또는 Z축 방향으로 축소될 수 있다. 이 이송 로드(901)가 연장될 때 이에 연결된 밀착부(800)는 기판(200)을 향해 하강하며, 이 이송 로드(901)가 축소될 때 이에 연결된 밀착부(800)는 챔버(100)의 천정부(100c)를 향해 상승한다.
이송 본체(902)는 이송 로드(901)에 연결되어 이송 로드(901)의 길이를 연장시키거나 축소시킨다.
자화부(700)는 마스크 지지부(301, 302) 상에 위치할 수 있다. 구체적으로, 자화부(700)는 마스크 지지부(301, 302)와 가압 플레이트(810) 사이에 위치할 수 있다.
자화부(700)는 X축 방향으로 긴 길이를 갖는 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 다시 말하여, 자화부(700)는 모든 단위 마스크(510)들과 교차 및 중첩하는 바 형상을 가질 수 있다.
자화부(700)는 제 1 마스크 지지부(301)(또는 제 2 마스크 지지부(302))의 지지면에 평행한 방향을 따라 이동할 수 있다. 도 3에 도시된 예와 같이, 자화부(700)는 자석들(851, 852)의 배열 방향을 따라 이동할 수 있다. 다시 말하여, 자석들(851, 852)은 Y축 방향을 따라 배열되어 있는 바, 이 자화부(700)는 그 Y축 방향 또는 ?축 방향을 따라 이동할 수 있다.
또한, 자화부(700)는 챔버(100)의 바닥부(100d) 또는 챔버(100)의 천정부(100c)를 향해 이동할 수 있다. 다시 말하여, 자화부(700)는 Z축 방향 또는 -Z축 방향으로 이동할 수도 있다.
자화부(700)는 마스크 지지부(301, 302)를 향해 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공한다. 예를 들어, 자화부(700)는 N극성의 자기력을 마스크에 인가한 후, 이어서 S극성의 자기력을 마스크에 인가할 수 있다. 이때, 자화부(700)는 단위 마스크(510)의 길이 방향을 따라 이동하므로, 하나의 단위 마스크(510)는 부분별로 다른 극성의 자기력에 의해 순차적으로 자화된다.
자화부(700)는 그 자화부(700)가 위치한 곳에서의 마주보는 자석과 동일한 극성의 자기력을 발생한다. 예를 들어, 자화부(700)가 N극성의 자기력을 제공하는 제 1 자석(851)에 대응되게 위치한 경우, 자화부(700)는 단위 마스크(510)에 N극성의 자기력을 인가한다. 반면, 자화부(700)가 S극성의 자기력을 제공하는 제 2 자석(852)에 대응되게 위치한 경우, 자화부(700)는 단위 마스크(510)에 S극성의 자기력을 제공한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 자화부(700)의 폭(d1)은 어느 하나의 자석(예를 들어, 851)의 폭(d2)과 동일하거나 이보다 더 작을 수 있다. 자화부(700)의 폭(d1)과 자석(851)의 폭(d2)이 동일할 때 자석들(851, 852)과 단위 마스크(510) 간의 척력 구간이 최소화될 수 있다.
자화부(700)는 가장 좌측의 제 1 자석(851)의 하부부터 가장 우측의 제 1 자석(851)의 하부까지 이동한다.
자화부(700)는 제 1 가이드부(601)와 제 2 가이드부(602) 사이에 위치할 수 있다. 자화부(700)는 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)에 연결되는 바, 그 자화부(700)는 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)를 따라 Y축 방향 또는 ?축 방향으로 이동할 수 있다.
제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)는 X축 방향으로 서로 마주본다.
제 1 가이드부(601)는 제 1 측벽(100a)에 위치하며, 제 2 가이드부(602)는 제 2 측벽(100b)에 위치한다. 구체적으로, 제 1 가이드부(601)는 제 1 측벽(100a)으로부터 제 2 가이드부(602)를 향해 돌출되며, 제 2 가이드부(602)는 제 2 측벽(100b)으로부터 제 1 가이드부(601)를 향해 돌출된다.
제 1 가이드부(601)의 돌출부(60a)는 자화부(700)의 제 1 홈(70a)에 삽입되며, 제 2 가이드부(602)의 돌출부(60b)는 자화부(700)의 제 2 홈(70b)에 삽입된다.
제 1 및 제 2 가이드부(601, 602)는 챔버(100)의 바닥부(100d) 또는 챔버(100)의 천정부(100c)를 향해 이동할 수 있다. 다시 말하여, 제 1 및 제 2 가이드부(601, 602)는 Z축 방향 또는 -Z축 방향으로 이동할 수도 있다. 이 제 1 및 제 2 가이드부(601, 602)의 이동에 의해 자화부(700)가 Z축 방향 또는 -Z축 방향으로 이동할 수도 있다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 증착 장치를 이용한 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 마스크 지지부(301, 302) 상에 마스크(500)가 놓인다. 그리고, 밀착부(800)는 챔버(100)의 상부 벽을 향해 상승한다. 밀착부(800)가 Z축 방향으로 상승함에 따라 자화부(700)의 이동 경로가 확보될 수 있다.
이어서, 자화부(700)가 Y축 방향을 따라 이동한다. 자화부(700)가 이동함에 따라 그 자화부(700)의 이동 경로 상에 위치한 단위 마스크(510)들이 자화된다. 다시 말하여, 그 자화부(700)와 마주보는 각 단위 마스크(510)의 상부 표면이 자화부(700)로부터 제공된 자기력과 반대의 극성을 갖는 자기력으로 자화된다. 또한, 자화부(700)가 이동함에 따라, 각 단위 마스크(510)의 상부 표면은 영역 별로 순차적으로 자화된다. 이때, 자화부(700)의 이동 중 그 자화부(700)의 자기력의 극성이 각 자석(851, 852)의 위치에 따라 변화하므로, 각 단위 마스크(510)는 영역 별로 서로 다른 극성으로 자화된다.
예를 들어, 자화부(700)가 N극성의 자기력을 발생하는 제 1 자석(851)과 각 단위 마스크(510)의 제 1 영역(A1) 사이에 위치할 때, 자화부(700)는 N극성의 자기력을 각 단위 마스크(510)의 제 1 영역(A1)에 인가한다. 그러면, 각 단위 마스크(510)의 제 1 영역(A1)은 S극성으로 자화된다. 구체적으로, 각 단위 마스크(510)의 상부 표면 중 제 1 영역(A1)에 위치한 상부 표면 부분이 S극성으로 자화된다.
도 4a에 도시된 단위 마스크(510)의 각 상부 표면에 도시된 기호 "S"는 각 제 1 영역(A1)의 상부 표면이 S극성으로 자화되었음을 의미한다.
한편, 자화부(700)가 S극성의 자기력을 발생하는 제 2 자석(852)과 각 단위 마스크(510)의 제 2 영역(A2) 사이에 위치할 때, 자화부(700)는 S극성의 자기력을 각 단위 마스크(510)의 제 2 영역(A2)에 인가한다. 그러면, 각 단위 마스크(510)의 제 2 영역(A2)은 N극성으로 자화된다. 구체적으로, 각 단위 마스크(510)의 상부 표면 중 제 2 영역(A2)에 위치한 상부 표면 부분이 N극성으로 자화된다.
도 4a에 도시된 단위 마스크(510)의 각 상부 표면에 도시된 기호 "N"은 제 2 영역(A2)의 상부 표면이 N극성으로 자화되었음을 의미한다.
이에 따라, 각 단위 마스크(510)의 상부 표면의 모든 부분들이 그 각 부분에 대응되는 자석과 반대의 극성으로 미리 자화될 수 있다.
한편, 단위 마스크(510)의 상부 표면은 자화부(700)에 의해 자화되기 이전에 부분적으로 서로 다른 크기의 자성을 가질 수 있는 바, 이와 같은 경우 자성 크기의 편차로 인해 단위 마스크(510)와 기판(200) 간의 밀착성이 감소될 수 있다. 예를 들어, 자화부(700)에 의해 자화되기 이전의 단위 마스크(510)의 특정 부분은 그 특정 부분에 대응되게 위치한 자석과 동일한 극성을 가질 수 있는 바, 이와 같은 경우 척력에 의해 그 단위 마스크(510)의 특정 부분과 기판(200) 간의 밀착성이 약화될 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크(500) 상에 기판(200)이 배치되기 전에, 자화부(700)에 의해 각 단위 마스크(510)의 상부 표면의 모든 부분들이 그 각 부분에 대응되는 자석과 반대의 극성으로 미리 자화될 수 있다. 다시 말하여, 각 단위 마스크(510)의 상부 표면의 모든 부분들이 자화부(700)에 의해 미리 설정된 극성의 자기력으로 초기화될 수 있다. 따라서, 이후 기판(200)과 마스크(500) 간의 밀착성이 향상될 수 있다.
이후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 자화부(700)는 Y축 방향을 따라 챔버(100)의 가장자리로 이동한다. 이에 따라, 기판 이송부(811, 801, 822, 802)의 이동 경로 및 밀착부(800)의 이동 경로가 확보될 수 있다.
이어서, 도 4c에 도시된 바와 같이, 기판 이송부(811, 801, 822, 802)에 의해 이송된 기판(200)이 자화된 마스크(500) 상에 놓인다.
다음으로, 도 4d에 도시된 바와 같이, 이송부(900)에 의해 밀착부(800)가 기판(200)을 향해 하강하여 기판(200)을 가압한다. 이때, 기판(200)을 사이에 두고 서로 마주보는 제 1 자석(851)과 각 단위 마스크(510)의 제 1 영역(A1)의 상부 표면 부분들이 서로 반대의 극성을 가지므로, 제 1 자석(851)과 제 1 영역(A1)의 상부 표면 간에 강한 인력이 발생한다. 또한, 기판(200)을 사이에 두고 서로 마주보는 제 2 자석(852)과 각 단위 마스크(510)의 제 2 영역(A2)의 상부 표면 부분들이 서로 반대의 극성을 가지므로, 제 2 자석(852)과 제 2 영역(A2)의 상부 표면 간에 강한 인력이 발생한다. 따라서, 자석들(851, 852)과 마스크(500) 사이에 위치한 기판(200)은 그 마스크(500)에 더욱 강하게 부착될 수 있다. 이에 따라, 마스크(500)와 기판(200) 간 밀착성이 향상될 수 있다.
이어서, 증착원(130)으로부터 증착 물질이 제공된다. 이 증착 물질은 각 단위 마스크(510)의 패턴 홀(555)을 통과하여 기판(200)에 증착된다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다.
본 발명의 증착 장치(2000)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 챔버(100), 증착원(130), 밀착부(800), 마스크 지지부(301, 302), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 제 1 자화부(701), 및 제 2 자화부(702), 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)를 포함할 수 있다.
도 5의 증착 장치(2000)는 도 1의 증착 장치(1000)에 비하여 한 개의 자화부(702)를 더 포함한다. 즉, 도 5의 증착 장치(2000)는 제 1 자화부(701) 및 제 2 자화부(702)를 포함한다.
제 1 자화부(701) 및 제 2 자화부(702)는 제 1 가이드부(601)와 제 2 가이드부(602) 사이에 위치한다. 제 1 자화부(701)는 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)에 연결되며, 제 2 자화부(702)는 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)에 연결된다. 제 1 자화부(701) 및 제 2 자화부(702)는 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)를 따라 Y축 방향 또는 ?축 방향으로 이동할 수 있다.
제 1 자화부(701) 및 제 2 자화부(702)는 각각 전술된 자화부(700)와 동일하다. 단, 제 1 자화부(701)의 이동 거리 및 제 2 자화부(702)의 이동 거리는 전술된 자화부(700)의 이동 거리와 다를 수 있다. 예를 들어, 제 1 자화부(701)는 자화부(700)에 비하여 더 짧은 이동 거리를 갖는다. 마찬가지로, 제 2 자화부(702)는 자화부(700)에 비하여 더 짧은 이동 거리를 갖는다.
제 1 자화부(701)는 각 단위 마스크(510)의 면적 중 1/2의 면적을 자화시키며, 제 2 자화부(702)는 각 단위 마스크(510)의 면적 중 나머지 1/2의 면적을 자화시킬 수 있다.
한편, 기판 가압 공정 전에 밀착부(800)의 이동 경로 확보를 위해, 제 1 자화부(701)는 챔버(100)의 일측 가장자리로 이동하고, 제 2 자화부(702)는 챔버(100)의 타측 가장자리로 이동할 수 있다.
도 2의 증착 장치(2000)는 도 1의 증착 장치(1000)에 비하여 더 많은 수의 자화부를 포함하므로 상대적으로 더 빠른 시간 내에 마스크(500)를 자화시킬 수 있다.
도 5의 챔버(100), 증착원(130), 밀착부(800), 마스크 지지부(301, 302), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)는 전술된 도 1의 그것들과 동일하다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다.
본 발명의 증착 장치(3000)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 챔버(100), 증착원(130), 밀착부(800), 마스크 지지부(301, 302), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 복수의 자화부(777)들, 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)를 포함할 수 있다.
도 6의 증착 장치(3000)의 자화부(700)들의 개수는 자석들(851, 852)의 개수와 동일하다. 예를 들어, 증착 장치(3000)는 열 개의 자석들(851, 852)과 열 개의 자화부(777)들을 포함할 수 있다.
각 자화부(777)는 각 자석(851, 852)에 일대일로 대응되게 위치한다.
각 자화부(777)는 제 1 가이드부(601)와 제 2 가이드부(602) 사이에 위치한다. 각 자화부(777)는 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)에 연결된다. 각 자화부(777)는 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)를 따라 Y축 방향 또는 ?축 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 각 자화부(777)는 Z축 또는 ?축 방향으로 이동할 수 있다.
인접한 자화부(777)는 서로 다른 극성의 자기력을 제공할 수 있다. 예를 들어, N극성의 자기력을 발생하는 제 1 자석(851)에 대응되게 위치한 자화부(777)는 N극성의 자기력을 제공하며, S극성의 자기력을 발생하는 제 2 자석(852)에 대응되게 위치한 자화부(777)는 S극성의 자기력을 제공할 수 있다.
도 6의 각 자화부(777)는 고정된 극성의 자기력을 제공할 수 있다. 예를 들어, 제 1 자석(851)에 대응되게 위치한 자화부(777)는 항상 N극성의 자기력을 제공하며, 제 2 자석(852)에 대응되게 위치한 자화부(777)는 항상 S극성의 자기력을 제공할 수 있다.
자화부(777)들 간의 거리(또는 피치)는 자석들(851, 852) 간의 거리에 맞게 조절될 수 있다.
한편, 도 6과 같은 자화부(777)들이 챔버(100)내에 구비될 때, 밀착부(800)의 이동 경로 확보를 위해 챔버(100)는 더 넓은 작업 공간(111)을 가질 수 있다.
도 6의 증착 장치(3000)는 도 1의 증착 장치(1000)에 비하여 더 많은 수의 자화부를 포함하므로 상대적으로 더 빠른 시간 내에 마스크(500)를 자화시킬 수 있다.
도 6의 챔버(100), 증착원(130), 밀착부(800), 마스크 지지부(301, 302), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)는 전술된 도 1의 그것들과 동일하다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다.
본 발명의 증착 장치(4000)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 챔버(100), 증착원(130), 밀착부(800), 마스크 지지부(301, 302), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 상부 자화부(771), 및 하부 자화부(772), 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)를 포함할 수 있다.
상부 자화부(771)는 전술된 도 1의 자화부(700)와 동일하다.
상부 자화부(771)는 단위 마스크(510)의 상부 표면을 자화시키며, 하부 자화부(772)는 단위 마스크(510)의 하부 표면을 자화시킨다.
하부 자화부(772)는 마스크 지지부(301, 302)를 사이에 두고 상부 자화부(771)와 서로 마주보게 위치한다. 하부 자화부(772)는 마스크 지지부(301, 302)의 하부에 위치할 수 있다. 구체적으로, 하부 자화부(772)는 마스크 지지부(301, 302)와 증착원(130) 사이에 위치할 수 있다.
하부 자화부(772)는 X축 방향으로 긴 길이를 갖는 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 다시 말하여, 하부 자화부(772)는 모든 단위 마스크(510)들과 교차 및 중첩하는 바 형상을 가질 수 있다.
하부 자화부(772)는 제 1 마스크 지지부(301)(또는 제 2 마스크 지지부(302))의 지지면에 평행한 방향을 따라 이동할 수 있다. 하부 자화부(772)는 자석들(851, 852)의 배열 방향을 따라 이동할 수 있다. 다시 말하여, 하부 자화부(772)는 Y축 방향 또는 ?축 방향을 따라 이동할 수 있다.
하부 자화부(772)와 상부 자화부(771)는 서로 마주본 상태로 함께 이동한다. 하부 자화부(772)와 상부 자화부(771)는 동일한 속도로 이동한다.
하부 자화부(772)는 마스크 지지부(301, 302)를 향해 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공한다. 예를 들어, 하부 자화부(772)는 S극성의 자기력을 마스크(500)에 인가한 후, 이어서 N극성의 자기력을 마스크(500)에 인가할 수 있다. 이때, 하부 자화부(772)는 단위 마스크(510)의 길이 방향을 따라 이동하므로, 하나의 단위 마스크(510)의 하부 표면은 부분별로 다른 극성의 자기력에 의해 자화된다.
하부 자화부(772)는 그 하부 자화부(772)가 위치한 곳에서의 마주보는 자석과 반대의 극성의 자기력을 발생한다. 따라서, 하부 자화부(772)와 상부 자화부(771)는 서로 상반된 극성의 자기력을 제공한다. 예를 들어, 상부 자화부(771)와 하부 자화부(772)가 N극성의 자기력을 발생하는 제 1 자석(851)에 대응되게 위치할 때, 상부 자화부(771)는 N극성의 자기력을 단위 마스크(510)의 상부 표면에 제공하는 반면, 하부 자화부(772)는 S극성의 자기력을 단위 그 마스크(510)의 하부 표면에 제공한다. 또 다른 예로서, 상부 자화부(771)와 하부 자화부(772)가 S극성의 자기력을 발생하는 제 2 자석(852)에 대응되게 위치할 때, 상부 자화부(771)는 S극성의 자기력을 단위 마스크(510)의 상부 표면에 제공하는 반면, 하부 자화부(772)는 N극성의 자기력을 그 단위 마스크(510)의 하부 표면에 제공한다. 따라서, 단위 마스크(510)의 서로 마주보는 상부 표면과 하부 표면은 서로 반대의 극성으로 자화된다. 다시 말하여, 단위 마스크(510)의 동일 영역에 위치한 상부 표면과 하부 표면은 서로 반대의 극성으로 자화된다. 이에 따라, 상부 표면이 더 정확하게 해당 극성의 자기력으로 자화될 수 있다.
하부 자화부(772)는 가장 좌측의 제 1 자석(851)의 하부부터 가장 우측의 제 1 자석(851)의 하부까지 이동한다. 하부 자화부(772)는 Z축 방향 또는 ?축 방향으로 이동할 수 있다.
도시되지 않았지만, 하부 자화부(772)는 서로 마주보는 제 3 가이드부 및 제 4 가이드부 사이에 위치하여, 이 제 3 가이드부 및 제 4 가이드부를 따라 Y축 또는 ?축 방향으로 이동할 수 있다. 제 3 가이드부 및 제 4 가이드부는 전술된 제 1 가이드부(601) 및 제 2 가이드부(602)와 각각 동일하다. 단, 제 3 가이드부 및 제 4 가이드부는 마스크 지지부(301, 302)의 하부에 위치한다. 제 3 가이드부 및 제 4 가이드부는 제 1 측벽(100a) 및 제 2 측벽(100b)에 각각 설치될 수 있다.
또한, 하부 자화부(772)는 Z축 방향 또는 ?축 방향으로 이동할 수 있다.
한편, 전술된 모든 실시예의 증착 장치에서 증착원(130), 밀착부(800), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 가이드 축(132) 및 구동 모터(134)는 전술된 챔버(100)(이하, 제 1 챔버(100))로부터 제거될 수 있다. 대신, 이 증착원(130), 밀착부(800), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 가이드 축(132) 및 구동 모터(134)는 다른 별개의 챔버(이하, 제 2 챔버) 내에 배치될 수 있다. 이와 같은 경우, 전술된 제 1 챔버(100)에서는 마스크(500)의 자화 공정이 수행되며, 그 자화된 마스크(500)는 별개의 이송 수단에 의해 제 2 챔버로 이동된다. 제 2 챔버에서는 밀착부(800)에 의한 물리적 및 자기적 가압 공정이 이루어진다.
제 2 챔버 내의 증착원(130), 밀착부(800), 기판 이송부(811, 801, 822, 802), 가이드 축(132) 및 구동 모터(134)는 도 2의 그것들과 같이 배치될 수 있다. 또한, 제 2 챔버는 내부에 도 1에 도시된 바와 같은 마스크 지지부(301, 302)를 포함하는 바, 제 1 챔버(100)로부터 이송된 마스크(500)는 제 2 챔버의 마스크 지지부 상에 위치할 수 있다.
도 8은 본 발명의 자화부의 자기력을 설명하기 위한 도면이다.
도 8의 X축은 자기장의 방향을 의미하며, 그 도 8의 Y축은 자기력을 의미한다.
도 8의 제 1 곡선(C1)은 일반적인 영구 자석의 자기력 크기를 나타낸 것이며, 제 2 곡선(C2)은 본 발명의 자화부에 의해 인가되는 자기력의 크기를 나타낸 것이다.
도 8의 1사분에 나타난 바와 같이, 본 발명의 자화부에 의해 인가되는 N극성의 자기력은 일반적인 영구 자석보다 더 크다. 또한, 도 8의 3사분면에 나타난 바와 같이, 본 발명의 자화부에 의해 인가되는 S극성의 자기력은 일반적인 영구 자석보다 더 크다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
700: 자화부 301: 제 1 마스크 지지부
302: 제 2 마스크 지지부 500: 마스크
510: 단위 마스크 520: 프레임
601: 제 1 가이드부 602: 제 2 가이드부
60a, 60b: 돌출부 555: 패턴 홀

Claims (20)

  1. 마스크를 지지하는 마스크 지지부; 및
    상기 마스크 지지부 상에 위치하며, 상기 마스크 지지부를 향해 서로 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공하는 적어도 하나의 제 1 자화부를 포함하는 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 자화부 상에 위치한 복수의 자석들을 더 포함하는 증착 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 자화부는 상기 복수의 자석들의 배열 방향에 평행한 방향을 따라 이동하는 증착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 자석들은 상반된 극성의 자기력을 제공하는 제 1 자석 및 제 2 자석을 포함하는 증착 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 자석과 제 2 자석은 교번적으로 배열된 증착 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 자화부가 상기 제 1 자석에 대응되게 위치할 때, 상기 제 1 자화부는 상기 제 1 자석과 동일한 극성의 자기력을 제공하며;
    상기 제 1 자화부가 상기 제 2 자석에 대응되게 위치할 때, 상기 제 1 자화부는 상기 제 2 자석과 동일한 극성의 자기력을 제공하는 증착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 자화부와 마주보게 상기 마스크 지지부의 하측에 위치한 제 2 자화부를 더 포함하는 증착 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 자화부는 상기 마스크 지지부를 향해 서로 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공하는 증착 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 2 자화부는 상기 복수의 자석들의 배열 방향에 평행한 방향을 따라 이동하는 증착 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 2 자화부와 상기 제 1 자화부는 서로 마주보며 상기 복수의 자석들의 배열 방향에 평행한 방향을 따라 이동하는 증착 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 자화부가 상기 제 1 자석에 대응되게 위치할 때, 상기 제 2 자화부는 상기 제 1 자석과 반대 극성의 자기력을 제공하며;
    상기 제 2 자화부가 상기 제 2 자석에 대응되게 위치할 때, 상기 제 2 자화부는 상기 제 2 자석과 반대의 극성의 자기력을 제공하는 증착 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 자화부를 사이에 두고 서로 마주보게 위치하며, 상기 제 1 자화부에 연결된 제 1 가이드부 및 제 2 가이드부를 더 포함하는 증착 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 자화부는 전자석을 포함하는 증착 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 지지부 상의 가압 플레이트; 및
    상기 마스크 지지부 하측의 증착원을 더 포함하는 증착 장치.
  15. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 자화부의 폭은 어느 하나의 자석의 폭과 동일하거나 더 작은 증착 장치.
  16. 마스크를 지지하는 마스크 지지부; 및
    상기 마스크 지지부 상에 교번적으로 배치되어, 서로 상반된 극성의 자기력을 제공하는 제 1 자화부 및 제 2 자화부를 포함하는 증착 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 자화부 상에 위치한 제 1 자석; 및
    상기 제 2 자화부 상에 위치하며, 상기 제 1 자석과 상반된 극성의 자기력을 제공하는 제 2 자석을 더 포함하는 증착 장치.
  18. 마스크 지지부 상에 마스크를 배치하는 단계;
    상기 마스크 상에 자화부를 배치하는 단계;
    상기 자화부를 이동시켜 상기 마스크를 자화시키는 단계;
    상기 자화된 마스크 상에 기판을 배치하는 단계; 및
    상기 기판을 가압 플레이트로 가압함과 아울러, 그 가압 플레이트 상의 자석들을 상기 마스크의 각 부분에 대응되게 위치시키는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 자화부를 이동시켜 상기 마스크를 자화시키는 단계에서, 상기 자화부는 상기 마스크의 모든 부분들을 그 각 부분에 대응되는 자석과 반대의 극성으로 자화하는 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 자화부를 이동시켜 상기 마스크를 자화시키는 단계에서, 상기 자화부는 상기 마스크를 향해 서로 상반된 극성의 자기력을 교번적으로 제공하는 표시 장치의 제조 방법.









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