CN219280006U - 一种蒸镀装置及显示面板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蒸镀装置及显示面板，其中蒸镀装置包括：磁板；掩膜板，位于磁板的一侧，掩膜板包括至少一个用于蒸镀的开口；待镀物在蒸镀时位于磁板与掩膜板之间；其中磁板用于将掩膜板吸附在待镀物远离所述磁板一侧的表面上；蒸镀源，位于掩膜板远离磁板的一侧，待镀物的蒸镀面朝向蒸镀源的一侧；蒸镀屏蔽片，对应于掩膜板的开口设置，蒸镀屏蔽片的面积小于开口的面积，蒸镀屏蔽片用于在蒸镀时屏蔽待镀物的预留空白区，以防止蒸镀材料形成在预留空白区，预留空白区包括盲孔区。通过增设的蒸镀屏蔽片，对待镀物的预留空白区进行遮挡，防止蒸镀材料形成在待镀物的预留空白区，改善了显示面板盲孔区的透过率，从而提升了摄像头的拍照效果。

Description

一种蒸镀装置及显示面板

技术领域

本实用新型实施例涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及显示面板。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器件具有主动发光、色域宽、响应快、对比度高、功耗低、体积小、易于实现柔性显示等诸多优点，具有十分广阔的应用前景。

OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术，蒸镀设备是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，现有OLED器件的制作主要是通过蒸镀设备通过真空蒸镀完成的，但是带有盲孔的显示面板使用传统的通用掩膜板(Common mask)蒸镀时，盲孔区和显示区一样会进行有机膜层蒸镀，导致盲孔区的透过率变低，影响屏下摄像头的拍照效果。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置及显示面板，以改善盲孔区的透过率，提升器件的拍照效果。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，包括：

磁板；

掩膜板，位于所述磁板的一侧，所述掩膜板包括至少一个用于蒸镀的开口；待镀物在蒸镀时位于所述磁板与所述掩膜板之间；其中所述磁板用于将掩膜板吸附在所述待镀物远离所述磁板一侧的表面上；

蒸镀源，位于所述掩膜板远离所述磁板的一侧，所述待镀物的蒸镀面朝向所述蒸镀源的一侧；

蒸镀屏蔽片，对应于所述开口设置，所述蒸镀屏蔽片的面积小于所述开口的面积，所述蒸镀屏蔽片用于在蒸镀时屏蔽待镀物的预留空白区，以防止蒸镀材料形成在所述预留空白区；其中，所述预留空白区包括盲孔区。

可选的，所述蒸镀屏蔽片包括磁性体，所述预留空白区上方的磁板与同一预留空白区下方的磁性体的极性相反，以使得磁性体自对位至所述预留空白区。

可选的，所述磁性体位于所述掩膜板靠近所述蒸镀源的一侧，所述磁板对所述磁性体的磁力等于所述磁性体的重力。

可选的，所述磁性体位于所述掩膜板远离所述蒸镀源的一侧，所述磁板对所述磁性体的磁力大于或等于所述磁性体的重力。

可选的，所述待镀物包括显示面板；所述预留空白区包括所述显示面板的盲孔区；所述蒸镀屏蔽片与所述盲孔区一一对应设置。

可选的，所述显示面板包括有机发光材料层，所述蒸镀源的蒸镀材料包括有机发光材料；

和/或所述显示面板包括阴极层，所述蒸镀源的蒸镀材料还包括金属材料。

可选的，所述磁板包括多个磁力单元，每个磁力单元包括磁性不同的第一磁极和第二磁极；

每一磁力单元的第一磁极指向所述第二磁极的方向平行于所述掩膜板；或者每一磁力单元的第一磁极指向所述第二磁极的方向垂直于所述掩膜板。

可选的，所述蒸镀装置还包括：

蒸镀承载结构，所述蒸镀承载结构用于承载所述待镀物。

可选的，所述蒸镀承载结构包括第一蒸镀承载结构和第二蒸镀承载结构；所述第一蒸镀承载结构和第二蒸镀承载结构位于所述待镀物的相对两侧，所述第一蒸镀承载结构用于承载并固定所述待镀物的第一端，所述第二蒸镀承载结构用于承载并固定所述待镀物与所述第一端相对的第二端

第二方面，本实用新型实施例提供了一种显示面板，包括有机发光材料层和阴极层，由第一方面任一所述的蒸镀装置蒸镀形成。

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置及显示面板，其中蒸镀装置包括：磁板；掩膜板，位于磁板的一侧，掩膜板包括至少一个用于蒸镀的开口；待镀物在蒸镀时位于磁板与所述掩膜板之间；其中磁板用于将掩膜板吸附在待镀物远离所述磁板一侧的表面上；蒸镀源，位于掩膜板远离磁板的一侧，待镀物的蒸镀面朝向蒸镀源的一侧；蒸镀屏蔽片，对应于掩膜板的开口设置，蒸镀屏蔽片的面积小于开口的面积，蒸镀屏蔽片用于在蒸镀时屏蔽待镀物的预留空白区，以防止蒸镀材料形成在预留空白区。本实用新型实施例提供的技术方案通过设置的蒸镀屏蔽片，对待镀物的预留空白区进行遮挡，防止蒸镀材料形成在待镀物的预留空白区，其中待镀物可以为显示面板，预留空白区为显示面板的盲孔区，从而可以改善显示面板盲孔区的透过率，提升了摄像头的拍照效果。

附图说明

图1是现有技术中提供的一种蒸镀装置的立体图；

图2是图1所示结构的侧视图；

图3是本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的局部放大图；

图6是本实用新型实施例提供的一种磁板的结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的另一种磁板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

如背景技术，有机发光二极管显示技术与传统的液晶显示器(LCD，LiquidCrystal Display)显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层，当有电流通过时，有机材料就会发光；具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等优点。近年来，OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀设备是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，现有OLED器件的制作主要是通过蒸镀设备通过真空蒸镀完成。

真空蒸镀是指在高真空环境下对镀膜材料进行加热，使其升华并在基板上成膜。图1是现有技术中提供的一种蒸镀装置的立体图，图2是图1所示结构的侧视图，参考图1-图2，蒸镀设备包括有磁板1(magnet)，其用于吸附掩膜板2(mask)，并将掩膜板2和基板110进行对位贴合，通过蒸镀源3提供蒸镀材料以实现真空蒸镀。显示面板包括显示画面的显示基板以及驱动显示基板的驱动基板。盲孔是一种屏幕开孔的方式，将摄像头元件放置在显示面板的最底层，只对驱动基板进行开孔加工。在制备显示面板的显示基板(110)过程中，使用传统的Common mask蒸镀类似发光材料层等有机膜层时，盲孔区111和周围的显示区一样会进行有机膜层蒸镀，即发光材料层和玻璃表层一样不另开孔，让摄像头设置在发光材料层之下。但是盲孔区111和显示区一样进行有机膜层蒸镀，盲孔区111的有机膜层会导致盲孔区的透过率变低，影响摄像头元件的拍照效果。

鉴于此，本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，图3是本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图，图4是本实用新型实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图，参考图3-图4，包括：

磁板10；

掩膜板20，位于磁板10的一侧，掩膜板20包括至少一个用于蒸镀的开口；待镀物110在蒸镀时位于磁板10与掩膜板20之间；其中磁板10用于将掩膜板20吸附在待镀物110远离磁板10一侧的表面上；

蒸镀源30，位于掩膜板20远离磁板10的一侧，待镀物110的蒸镀面朝向蒸镀源30的一侧；

蒸镀屏蔽片40，对应于开口设置，蒸镀屏蔽片40的面积小于开口的面积，蒸镀屏蔽片40用于在蒸镀时屏蔽待镀物110的预留空白区111，以防止蒸镀材料形成在预留空白区111；其中，预留空白区111包括盲孔区。

具体的，蒸镀装置用以对待镀物110进行镀膜处理。蒸镀装置包括磁板10、掩膜板20、蒸镀源30和蒸镀屏蔽片40。其中掩膜板20位于磁板10的一侧，蒸镀源30位于掩膜板20远离磁板10的一侧。待镀物110在蒸镀时，待镀物110位于磁板10和掩膜板20之间，待镀物110的蒸镀面朝向蒸镀源30所在的一侧。该磁板10用于吸附掩膜板20，将掩膜板20和待镀物110进行对位贴合。例如待镀物110为显示面板100的显示基板，显示基板包括用于发光的发光材料层和电极层等膜层，可以通过蒸镀方式形成。在显示基板(待镀物110)上还包括触控层120，触控层120用于实现显示面板100的触控功能。

掩膜板20为通用金属掩膜板(Common metal mask，CMM)，磁板10用于吸附通用金属掩膜板20，将通用金属掩膜板20和显示基板进行对位贴合。掩膜板20包括至少一个用于蒸镀的开口，开口包括待镀物110的蒸镀面，使得蒸镀源30在蒸镀时，蒸镀材料通过开口形成在待镀物110的蒸镀面上。开口的形状和大小限定了待镀物110的蒸镀面上所镀膜层的形状和大小。

待镀物110的蒸镀面包括预留空白区，预留空白区可以理解为蒸镀面中不需要蒸镀上蒸镀材料的区域。例如待镀物110为显示面板的显示基板，预留空白区可以为显示基板中的盲孔区。蒸镀屏蔽片40对应于掩膜板20的开口设置，蒸镀屏蔽片40的面积小于开口的面积，并且蒸镀屏蔽片40位于显示基板盲孔区部位与蒸镀源30之间。蒸镀屏蔽片40用于在蒸镀过程中，遮挡待镀物110的预留空白区，以防止蒸镀材料形成在预留空白区内。

通过增设的蒸镀屏蔽片40，对待镀物110的预留空白区进行遮挡，可以防止蒸镀材料形成在待镀物110的预留空白区。其中蒸镀屏蔽片40可以位于掩膜板20与待镀物110之间(如图4)，也可以位于掩膜板20与蒸镀源30之间(如图3)。在蒸镀过程中，遮挡待镀物110的预留空白区，防止蒸镀材料形成在预留空白区即可。对于其中待镀物110为显示面板的显示基板，预留空白区为盲孔区，可以在显示区中蒸镀材料时防止蒸镀源30的蒸镀材料蒸镀在显示面板的盲孔区，提高了显示面板盲孔区的透过率，从而提升了摄像头的拍照效果。

本实用新型实施例提供的蒸镀装置包括：磁板；掩膜板，位于磁板的一侧，掩膜板包括至少一个用于蒸镀的开口；待镀物在蒸镀时位于磁板与所述掩膜板之间；其中磁板用于将掩膜板吸附在待镀物远离磁板一侧的表面上；蒸镀源，位于掩膜板远离磁板的一侧，待镀物的蒸镀面朝向蒸镀源的一侧；蒸镀屏蔽片，对应于掩膜板的开口设置，蒸镀屏蔽片的面积小于开口的面积，蒸镀屏蔽片用于在蒸镀时屏蔽待镀物的预留空白区，以防止蒸镀材料形成在预留空白区。本实用新型实施例提供的技术方案通过设置的蒸镀屏蔽片，对待镀物的预留空白区进行遮挡，防止蒸镀材料形成在待镀物的预留空白区，其中待镀物可以为显示面板，预留空白区为显示面板的盲孔区，改善了显示面板盲孔区的透过率，从而提升了摄像头的拍照效果。

可选的，参考图3，作为待镀物110的显示面板的盲孔区为多个；则蒸镀装置所包括的蒸镀屏蔽片40的个数可以为多个；蒸镀屏蔽片40与盲孔区一一对应设置。从而可以实现对每个盲孔区的遮挡，防止蒸镀材料形成在每一盲孔区中。

可选的，参考图3，显示面板包括有机发光材料层，蒸镀源30的蒸镀材料包括有机发光材料；和/或显示面板包括阴极层，蒸镀源30的蒸镀材料还包括金属材料。

具体的，有机发光二极管显示器的发光结构是由在阳极与阴极的一对电极之间夹设多层有机材料层所组成。有机发光二极管显示器的发光机制是利用施加电压于电极时，空穴与电子会分别从阳极与阴极流出并注入到有机发光材料层中，并通过电洞与电子的再结合的能量来激发有机发光材料的分子放出光子而发光。有机材料层包括有机发光材料层，还可以包括位于阳极与有机发光材料层之间的空穴传输层和电子阻挡层中的至少一种，以及位于阴极与有机发光材料层之间的电子传输层和空穴阻挡层中的至少一种。这些膜层的形成同样可以通过本实用新型提供的蒸镀装置形成。另外，阴极通常为共阴极，为整层的金属层，阴极层可以通过本实用新型提供的蒸镀装置形成。从而可以进一步的减少显示面板盲孔区的膜层数量，提高盲孔区的透过率，保证屏下摄像头的摄像效果。

可选的，图5是本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的局部放大图，参考图5，结合图3，蒸镀屏蔽片40包括磁性体，预留空白区111上方的磁板10与同一预留空白区111下方的磁性体的极性相反，以使得磁性体自对位至预留空白区111。

具体的，蒸镀屏蔽片40包括磁性体，蒸镀屏蔽片40的材料为磁性材料。蒸镀屏蔽片40的形状可以包括长方形、正方形或其它多边形，也可以包括圆形或椭圆形等。优选的，蒸镀屏蔽片40的形状与预留空白区111的形状相同，可以按照预留空白区111的形状进行遮挡，避免蒸镀屏蔽片40对预留空白区111周围的蒸镀效果的影响。预留空白区111上方的磁板10与同一预留空白区111下方的磁性体的极性相反，可以使得磁性体自对位至预留空白区111，并且通过磁板10与磁性体之间的磁力对磁性体起到一定的固定作用，简单可靠，且操作方便。

可选的，图6是本实用新型实施例提供的一种磁板的结构示意图，图7是本实用新型实施例提供的另一种磁板10的结构示意图，参考图6-图7，磁板10包括多个磁力单元11，每个磁力单元11包括磁性不同的第一磁极N和第二磁极S；

每一磁力单元11的第一磁极N指向第二磁极S的方向平行于掩膜板20(如图6)；或者每一磁力单元11的第一磁极N指向第二磁极S的方向垂直于掩膜板20(如图7)。

具体的，磁板10包括多个磁力单元11。此些磁力单元11可依据预设的配置布局进行配置。在一实施例中，此些磁力单元11可以阵列形式排列。各磁力单元11可为矩形磁块，并具有两条相对的第一边与两条相对的第二边。在一些实施例中，各磁力单元11的第一边的长度和其第二边的长度不同，例如磁力单元11可为条状磁块。但本实用新型实施例并非仅限于此，在另一些实施例中，各磁力单元11的第一边的长度亦可和其第二边的长度相同，例如磁力单元11可为方形磁块。

其中，每一磁力单元11的第一磁极N指向第二磁极S的方向平行于掩膜板20。各磁力单元11的第一磁极N可被相邻的磁力单元11以其第二磁极S包围，且各磁力单元11的第二磁极S可被相邻的磁力单元11以其第一磁极N包围。或者，每一磁力单元11的第一磁极N指向第二磁极S的方向垂直于掩膜板20。各磁力单元11的第一磁极N和相邻的磁力单元11的第二磁极S相靠，且各磁力单元11的第二磁极S和相邻的磁力单元11的第一磁极N相靠。可以通过磁力单元11的第一磁极N对蒸镀屏蔽片40施加磁力，也可以通过第二磁极S对蒸镀屏蔽片40施加磁力。通过磁板10与磁性体之间的磁力对磁性体起到一定的自对位作用，简单可靠，且操作方便。

可选的，参考图3，磁性体位于掩膜板20靠近蒸镀源30的一侧，磁板10对磁性体的磁力等于磁性体的重力。

具体的，预留空白区111上方的磁力单元11的极性与同一预留空白区111下方的磁性体的极性相反。例如待镀物110为显示面板，预留空白区111为显示面板中的盲孔区，则位于显示面板中盲孔区的上方的磁力单元11的极性与同一盲孔区下方的磁性体的极性相反。位于显示面板中盲孔区的上方的磁力单元对同一盲孔区下方的磁性体施加的磁力为吸引力。蒸镀源30位于显示面板的下方，磁性体自身的重力的大小等于磁力单元对其施加的磁力的大小，由于磁性体自身的重力的方向与磁力单元对其施加的磁力的方向相反，因此可以使得磁性体在竖直方向受力平衡，定位在盲孔区的下方。需要说明的是，由于每一磁性体之间的磁力较弱，可忽略水平方向力的影响。

可选的，参考图4，磁性体位于掩膜板20远离蒸镀源30的一侧，磁板10对磁性体的磁力大于或等于磁性体的重力。

具体的，磁性体位于掩膜板20远离蒸镀源30的一侧，即在蒸镀过程中，磁性体设置在掩膜板20与待镀显示面板之间。磁板10对磁性体的磁力大于或等于磁性体的重力。若磁板10对磁性体的磁力等于磁性体的重力，同样由于磁性体自身的重力的方向与磁力单元对其施加的磁力的方向相反，因此可以使得磁性体受力平衡，定位在盲孔区的下方。若磁板10对磁性体的磁力大于磁性体的重力，磁板10对磁性体的磁力可以将磁性体吸附在显示面板的盲孔区，使显示面板对磁性体具有一个向下的压力。则此时磁性体受自身的重力，显示面板对磁性体的一个向下的压力，以及磁板10对磁性体一个向上的吸引力；磁性体受自身的重力和显示面板对磁性体的的压力的合力的大小等于磁板10对磁性体一的吸引力的大小，并且磁性体受自身的重力和显示面板对磁性体的压力的合力的方向与磁板10对磁性体的吸引力的方向相反，因此可以使得磁性体在垂直方向上受力平衡，定位在预留空白区111的下方。优选的，磁性体位于掩膜板20远离蒸镀源30的一侧，磁板10对磁性体的磁力大于磁性体的重力，增强磁板对磁性体的吸附力，以避免磁性体脱落。

可选的，磁力单元11可以为电磁铁，从而可以实现对磁力单元磁极以及磁性的控制。在蒸镀前，可以通过将承载有磁性体(蒸镀屏蔽片40)的托盘设置于待镀物110与蒸镀源30之间，通过给电磁铁通电，使磁力单元11具有磁性，利用磁力单元11的磁性实现对磁性体(蒸镀屏蔽片40)的对位与固定，拿开托盘，再进行蒸镀。当完成蒸镀工艺后，可以断开对电磁铁通电，使得磁性体(蒸镀屏蔽片40)脱落至托盘中。

可选的，蒸镀装置还包括：蒸镀承载结构，蒸镀承载结构用于承载待镀物110。

具体的，蒸镀承载结构包括第一蒸镀承载结构和第二蒸镀承载结构；第一蒸镀承载结构和第二蒸镀承载结构位于待镀物110的相对两侧，第一蒸镀承载结构用于承载并固定所述待镀物110的第一端，第二蒸镀承载结构用于承载并固定所述待镀物110与所述第一端相对的第二端。

本实用新型实施例还提供了一种显示面板，显示面板包括有机发光材料层和阴极层，有机发光材料层和/或阴极层由上述任意实施例所述的蒸镀装置蒸镀形成。具有相同的技术效果，这里不再赘述。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

磁板；

掩膜板，位于所述磁板的一侧，所述掩膜板包括至少一个用于蒸镀的开口；待镀物在蒸镀时位于所述磁板与所述掩膜板之间；其中所述磁板用于将掩膜板吸附在所述待镀物远离所述磁板一侧的表面上；

蒸镀源，位于所述掩膜板远离所述磁板的一侧，所述待镀物的蒸镀面朝向所述蒸镀源的一侧；

蒸镀屏蔽片，对应于所述开口设置，所述蒸镀屏蔽片的面积小于所述开口的面积，所述蒸镀屏蔽片用于在蒸镀时屏蔽待镀物的预留空白区，以防止蒸镀材料形成在所述预留空白区；其中，所述预留空白区包括盲孔区。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀屏蔽片包括磁性体，所述预留空白区上方的磁板与同一预留空白区下方的磁性体的极性相反，以使得磁性体自对位至所述预留空白区。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述磁性体位于所述掩膜板靠近所述蒸镀源的一侧，所述磁板对所述磁性体的磁力等于所述磁性体的重力。

4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述磁性体位于所述掩膜板远离所述蒸镀源的一侧，所述磁板对所述磁性体的磁力大于或等于所述磁性体的重力。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述待镀物包括显示面板；所述预留空白区包括所述显示面板的盲孔区；所述蒸镀屏蔽片与所述盲孔区一一对应设置。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述显示面板包括有机发光材料层，所述蒸镀源的蒸镀材料包括有机发光材料；

和/或所述显示面板包括阴极层，所述蒸镀源的蒸镀材料还包括金属材料。

7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述磁板包括多个磁力单元，每个磁力单元包括磁性不同的第一磁极和第二磁极；

每一磁力单元的第一磁极指向所述第二磁极的方向平行于所述掩膜板；或者每一磁力单元的第一磁极指向所述第二磁极的方向垂直于所述掩膜板。

8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：

蒸镀承载结构，所述蒸镀承载结构用于承载所述待镀物。

9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀承载结构包括第一蒸镀承载结构和第二蒸镀承载结构；所述第一蒸镀承载结构和第二蒸镀承载结构位于所述待镀物的相对两侧，所述第一蒸镀承载结构用于承载并固定所述待镀物的第一端，所述第二蒸镀承载结构用于承载并固定所述待镀物与所述第一端相对的第二端。

10.一种显示面板，其特征在于，包括有机发光材料层和阴极层，由权利要求1-9任一所述的蒸镀装置蒸镀形成。

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