KR20130111182A

KR20130111182A - 진공 증착 장치 및 진공 증착 방법

Info

Publication number: KR20130111182A
Application number: KR1020120136372A
Authority: KR
Inventors: 정재훈; 이상우; 유카리 키타니; 료 이자키; 테츄야 타케이
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사; 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
Priority date: 2012-03-29
Filing date: 2012-11-28
Publication date: 2013-10-10
Also published as: JP2013204129A

Abstract

패널의 대형화에도 생산성이 저하되지 않는, 우수한 진공 증착 장치 및 진공 증착 방법을 제공한다.
피증착 기판의 표면에 발광 재료층을 증착 형성하는 진공 증착 장치는, 진공 챔버(10) 내에, 표면에 피증착 기판을 탑재하여 유지하는 냉각 플레이트(13)와, 냉각 플레이트에 의해 유지된 기판(100)의 표면에 장착되는 마스크(30)와, 냉각 플레이트에 의해 유지된 기판의 표면에서, 마스크를 통해, 이동하면서, 기화된 EL 재료를 공급하는 증발원 장치(20)를 구비하고, 마스크는, 표면에 복수의 패턴을 형성한 자성 금속의 마스크 시트(31)를 장력 가한 상태로 프레임(33)에 고정되며, 또한, 냉각 플레이트는, 마스크 시트의 일부를 기판의 표면으로 끌어당기는 마그넷(200)으로서, 증발원 장치의 이동에 동기하여 이동하는 마그넷을 구비하고 있다.

Description

진공 증착 장치 및 진공 증착 방법{VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND VAPOR DEPOSITION METHOD}

본 발명은, 진공 중에서 유기 기판의 표면에 진공 증착에 의해 소정 패턴의 증착막을 형성하는 진공 증착 장치 및 진공 증착 방법에 관한 것으로, 특히, R, G, B의 각 색으로 발색되는 EL 소자의 패턴을 형성하는 대형 EL 디스플레이용 패널을 제조하는데 적합한 진공 증착 장치 및 진공 증착 방법에 관한 것이다.

EL 패널을 형성하는 경우, 유기 기판의 표면에 마스크를 정확하게 밀착한 상태에서 장착할 필요가 있으나, 종래, 예를 들면, 이하의 특허문헌 1에도 이미 알려져 있는 바와 같이, 유기 기판의 지지부재인 홀더부재에 복수의 자력부재(영구자석: 마그넷)를 마련하고, 상기 자력부재에 의해, 자성 금속재로 이루어진 마스크를 유기 기판의 표면에 밀착시키는 진공 증착 장치 및 진공 증착 방법이 개시되어 있다.

[특허문헌1] 일본특허공개 2004-259598호 공보

그러나, 상술한 종래 기술이 되는 진공 증착 장치 및 진공 증착 방법은, 특히, 대형 EL 디스플레이용 패널을 제조하는 경우에는, 반드시 유효한 것은 아니었다.

즉, 일반적으로, 마스크에는, 그 주위에 마련된 프레임의 방향으로 텐션(tension)이 가해진 상태로 장착되어 있으며, 그 결과, 상기 마스크의 표면에는 장력이 작용되고 있다. 패널의 대형화에 따라 이 마스크의 크기가 대형화된 경우, 그 중앙부에서는 어느 정도의 이동의 자유도가 확보되고, 이 때문에 마그넷의 자력에 의해, 유기 기판의 표면으로의 밀착은 가능하다. 그러나, 발명자에 의한 다양한 검토 결과, 프레임 근방의 마스크의 외주부에서는, 상기 자유도가 대폭 제한되기 때문에, 마그넷의 자력에 의한 마스크의 유기 기판의 표면으로의 밀착 효과가 약해진다는 것을 알게 되었다. 한편, 이처럼, 밀착 효과가 약해지면, 마스크와 유기 기판 사이에 간극이 발생하여, 소위, 윤곽부의 흐릿한(ボヤケ) 부분이 증대한다는 현상이 발생하여, 패널의 생산성이 저하되기도 한다.

이에, 본 발명은, 상술한 종래 기술에서의 문제점을 감안하여 달성된 것으로, 특히, 그 표면에는 높은 장력이 작용하고 있는 마스크의 중앙부뿐 아니라, 그 주위의 프레임 근방에서도, 마찬가지로, 마스크를 유기 기판의 표면에 밀착할 수 있게 하고, 이로써, 패널의 대형화에도 생산성이 저하되지 않는, 우수한 진공 증착 장치 및 진공 증착 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 우선, 진공 챔버 내에서 피증착 기판의 표면에 발광 재료층을 증착 형성하는 진공 증착 장치로서, 상기 진공 챔버 내에, 표면에 피증착 기판을 탑재하여 유지하는 냉각 플레이트(cooling plate)와, 상기 냉각 플레이트에 의해 유지된 상기 피증착 기판의 표면에 장착되는 마스크와, 상기 냉각 플레이트에 의해 유지된 상기 피증착 기판의 표면에서, 상기 마스크를 통해, 이동하면서, 기화된 발광 재료를 공급하는 증발원 장치를 구비한 것에 있어서, 상기 마스크는, 그 표면에 복수의 패턴을 형성한 자성 금속의 마스크 시트를, 그 표면에 장력을 가한 상태로 프레임에 고정되어 있으며, 또한, 상기 냉각 플레이트는, 상기 마스크 시트의 일부를 상기 피증착 기판의 표면으로 끌어당기는 마그넷으로서, 상기 증발원 장치의 이동에 동기하여 이동하는 마그넷을 구비하고 있는 진공 증착 장치가 제공된다.

그리고, 본 발명에서는, 상기에 기재한 진공 증착 장치에 있어서, 상기 마그넷은, 상기 냉각 플레이트의 한 변을 따라서 늘린 영구자석과, 상기 영구자석을 이동시키기 위한 이동 기구를 구비하고 있고, 또는, 상기 냉각 플레이트의 표면에서, 그 어느 한 변을 따라 형성된 복수의 전자석과, 상기 복수의 전자석을, 순차적으로, 여자(勵磁)하기 위한 수단을 구비하고 있다. 나아가, 상기 마그넷은, 상기 냉각 플레이트의 표면에서, 그 어느 한 변을 따라서 형성된 복수의 영구자석과, 상기 복수의 영구자석 중 하나를 순차 이동시키기 위한 이동 수단을 구비하고 있다. 그리고, 상기 마그넷의 폭은, 상기 증발원 장치로부터 기화된 발광 재료가 공급되는 범위에 대응하여 결정되고 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따르면, 역시 상기의 목적을 달성하기 위하여, 진공 챔버 내에 있어서 피증착 기판의 표면에 발광 재료층을 증착 형성하는 진공 증착 장치로서, 상기 진공 챔버 내에, 표면에 피증착 기판을 탑재하여 유지하는 냉각 플레이트와, 상기 냉각 플레이트에 의해 유지된 상기 피증착 기판의 표면에 장착되는 마스크와, 상기 냉각 플레이트에 의해 유지된 상기 피증착 기판의 표면에서, 상기 마스크를 통해, 이동하면서, 기화된 발광 재료를 공급하는 증발원 장치를 구비한 것에서의 진공 증착 방법에 있어서, 상기 마스크는, 그 표면에 복수의 패턴을 형성한 자성 금속의 마스크 시트를, 그 표면에 장력을 가한 상태로 프레임에 고정되어 있으며, 또한, 상기 피증착 기판을 상기 냉각 플레이트에 유지하여, 마그넷에 의해 상기 마스크 시트의 일부를 상기 피증착 기판의 표면으로 끌어당김과 함께, 상기 마그넷을, 상기 증발원 장치의 이동에 동기하면서 이동함으로써, 상기 피증착 기판의 표면에 발광 재료층을 증착 형성하는 진공 증착 방법이 제공되고 있다.

상술한 본 발명에 따르면, 높은 장력이 작용되고 있는 마스크의 중앙부뿐 아니라, 그 주위의 프레임 근방에서도, 마스크를 유기 기판의 표면에 밀착하는 것을 가능하게 하고, 이로써, 패널의 대형화에도 생산성이 저하되지 않는, 우수한 진공 증착 장치 및 진공 증착 방법이 제공된다고 하는 우수한 효과가 얻어진다.

도 1은, 본 발명의 일 실시형태가 되는 진공 증착 장치의 내부 구성의 개략을 나타내는 전체 단면도이다.
도 2는, 상기 진공 증착 장치에서의 마스크의 상세 구조를 나타내는 도면이다.
도 3은, 밀착 상태가 상이한 마스크의 미세한 패턴에 의해 얻어지는 발광 재료층의 에지 부분의 단면 형상을 나타내는 확대 단면도이다.
도 4는, 본 발명의 진공 증착 장치에서의 유기 기판 표면에 대한 마스크 시트의 장착 원리를 설명하는 도면이다.
도 5는, 상기 진공 증착 장치에서의 냉각 플레이트와 마그넷의 관계를 설명하는 도면이다.
도 6은, 상기 진공 증착 장치에서의 마그넷의 이동 기구의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 7은, 상기 진공 증착 장치에서의 마그넷의 이동 기구의 다른 일 예를 나타내는 도면이다.
도 8은, 상기 진공 증착 장치에서의 마그넷의 이동 기구의 또 다른 일 예를 나타내는 도면이다.
도 9는, 상기 진공 증착 장치에서의 냉각 플레이트와 마그넷의 관계의 다른 예를 설명하는 도면이다.

이하, 본 발명의 일 실시형태가 되는 진공 증착 장치와, 상기 장치에 의해 실시되는 진공 증착 방법에 대하여, 첨부의 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

우선, 첨부의 도 1은, 본 발명이 되는 진공 증착 장치, 특히, 유기 EL 디바이스 제조 장치에 있어서의, 특히, 유리판 등의 피증착 기판의 표면에 전극 사이에 끼인 발광 재료층(EL층)을 형성하기 위한 장치인, 소위, 성막 장치의 개략 구성을 나타낸 단면도이다. 도면에서, 부호 10은, 진공 챔버를 나타내고, 이 진공 챔버(10)의 내부는, 10^-3~10^-5Pa대의 진공도를 유지한 성막실(11)로서 형성되어 있다. 그리고, 예를 들면, 다른 공정에서 그 표면에 전극을 형성한 후, 피증착 기판인 유기 기판(100)이, 진공 챔버(10)의 일부(본 예에서는, 도면의 왼쪽 하부)에 마련되어 있다. 유리기판은 게이트 밸브(12)를 통해, 성막실(11) 내에 도입되고, 도면에도 나타내는 바와 같이, 냉각 플레이트(13) 상에 탑재됨과 함께, 유지기구(14)에 의해 그 위에 유지된다. 한편, 이 냉각 플레이트(13)의 유기 기판이 탑재되는 면과는 반대측의 면에는, 뒤에서도 상세하게 설명하는 마그넷이나 도시하지 않은 냉각 파이프가 탑재되어 있다. 한편, 이 냉각 플레이트(13) 내에는, 예를 들면, 물 등의 냉매가 흘러, 반대측의 면에 탑재된 기판(100)을 냉각할 수 있도록 되어 있다.

그 반입 후, 성막실(11) 내에서는, 도면에 화살표로 나타내는 바와 같이, 유기 기판(100)은, 냉각 플레이트(13) 상에 유지된 상태로, 이하에 도시하는 이동 기구에 의해, 소정의 위치(본 예에서는, 유기 기판(100)은 냉각 플레이트(13)와 함께 상승하여 직립 상태가 되는 위치)까지 이동된다. 한편, 도면의 부호 16은, 상기 진공 챔버(10)의 일부(상하)에 배치되어, 기판(100)의 배열 상태를 확인하기 위한 얼라인먼트 카메라를 나타내고 있다.

그리고, 도면을 통해서도 분명히 알 수 있는 바와 같이, 상술한 상태에서는, 증발원 장치(20)가, 상기 기판(100)에 대향하여 위치해 있고, 그리고, 여기에서는 도시하지 않은 이동 장치에 의해 상하방향으로 이동하면서, 유기 EL 디바이스의 발광 재료층(EL층)을 형성하기 위한 기화된 (가스상의) EL 재료를 상기 유기 기판(100)의 표면에 공급하고, 이로써, 피증착 기판의 표면에 필요한 EL층을 형성하게 된다. 한편, 도면의 부호 17은, EL 재료의 증착시에 기판(100)의 표면에 배치되는 프레임과 마스크 시트를 포함하는 마스크(이하, 간단히 「마스크(30)」라고 함)를 나타내고 있다.

이어서, 첨부의 도 2(A) 및 (B)에는, 상기 마스크(30)의 상세 구조를 나타내고 있다. 한편, 이 마스크를 구성하는 마스크 시트(31)는, 예를 들면, 통상, 인바(invar)라 불리는 자성 금속재에 의해 시트 형상으로 형성된 부재이고, 이들 도면을 통해서도 분명히 알 수 있는 바와 같이, 그 표면에는, 예를 들면, 펀칭에 의해, 도트 형상의 미세한 패턴(32)이 다수 형성되어 있다. 한편, 패턴의 전사 정밀도를 높이기 위해서는, 상기 마스크 시트(31)의 두께를 가능한 한 얇게 하는 것이 바람직하고, 이에 따라, 상기 마스크 시트(31)는 매우 얇은 금속판으로 구성되기 때문에, 그 외주부에는, 그 형태를 유지하기 위해(보형성을 지니게 하기 위해), 금속제 보강틀인 프레임(33)이 장착되어 있다. 그리고, 일반적으로, 이 마스크 시트(31)는, 그 주위에 마련된 프레임에 대하여 텐션이 가해진 상태로 장착되어 있으며, 그 결과, 상기 마스크 시트의 표면에는 장력이 작용하고 있다.

그러나, 상술한 바와 같이, 제조되는 패널의 대형화에 수반하여 이 마스크 시트의 크기가 대형화된 경우(예를 들면, 1300mm×500mm 정도), 냉각 플레이트(13) 전체에 마그넷을 배치하여 자력에 의해 유기 기판(100)의 표면에 마스크 시트(31)를 밀착시키고자 한 경우, 상기 마스크 시트의 중앙부(도면에서는, C로 나타냄)에서는 어느 정도의 이동의 자유도가 확보되므로, 마그넷의 자력에 의한 마스크 시트(31)의 유기 기판(100) 표면에 대한 밀착 상태는 양호하였지만, 프레임(33)의 근방인 주변부(도면에서는, P로 나타냄)에서는, 마스크 시트(31)의 자유도가 대폭 제한되어, 이에 따라, 마그넷의 자력에 의한 마스크 시트(31)의 유기 기판(100)의 표면에 대한 밀착 상태는 저하된다.

그 결과, 진공 증착에 의해 미세한 패턴(32)에 의해 얻어진 발광 재료층(EL층)은, 특히, 마스크 시트의 중앙부(C)에서는, 첨부된 도 3(A)에 나타내는 바와 같이, 패턴의 에지 부분이 가파르게 상승하여(윤곽부의 막두께 불균일 폭 d= 수 ㎛정도), 양호한 EL층(110)이 얻어진다. 한편, 마스크 시트의 주변부(P)에서는, 마스크 시트(31)의 유기 기판(100)의 표면에 대한 밀착 상태의 저하로 인해, 첨부한 도 3(B)에 나타내는 바와 같이, 형성된 EL층(110)의 패턴의 에지에 부분이 가파르게 상승하지 않는, 즉, 상승이 완만한 윤곽부의 막두께 불균일부의 폭이 넓어진다(윤곽부의 막두께 불균일 폭 d' = 수십 ㎛정도). 한편, 이처럼 막두께 불균일부의 폭이 넓어진 경우, 당해 부분에서의 발광 강도가 증가함으로써 열화가 현져해지고, 이로 인해, 고화질의 영상이 얻어지지 않는 등의 문제를 발생시키게 된다.

따라서, 본 발명에서는, 첨부된 도 4에도 나타내는 바와 같이, 냉각 플레이트(13)의 전체가 아닌, 그 일부에, 보다 구체적으로는, 도 4 및 도 5(A)와 (B)에 나타내는 바와 같이, 마그넷(200)을 마스크 시트의 길이의 약 1/5~1/6 정도의 폭(W)= 약 300mm이고, 가로방향으로 연장한, 그 이면에 장착한다. 그리고, 상기 마그넷(200)을, 도면에 화살표로도 나타내는 바와 같이, 상하로 이동시킨 결과, 상기 마스크 시트(31)의 자유도가 이동함으로써, 상기 마스크 시트의 중앙부뿐만 아니라, 마그넷(200)의 이동에 따라서, 상기 마그넷과 그 주변부에서, 국소적으로, 유기 기판(100)의 표면에, 양호한 밀착 상태로 장착할 수 있게 되는 것을 확인하였다. 한편, 이 마그넷은, 영구자석이 바람직하다.

즉, 본 발명에서는, 상기 인식에 기초하여, 특히, 유기 EL 디바이스 제조 장치와 같이, 증발원 장치(20)를 유기 기판(100)의 표면에 대하여 이동하면서 증착하는 경우, 상기 증발원 장치(20)의 이동에 맞추어 마그넷(200)을 이동함으로써, 순차적으로, 냉각 플레이트(13) 상의 증착이 이루어지고 있는 부분(즉, 마그넷(200)과 그 주변부)에서, 마스크 시트(31)를 유기 기판(100)의 표면에 양호한 상태로 밀착함으로써, 최종적으로, 유기 기판(100)의 표면 전체에 걸쳐, 양호한, 즉, 패턴의 에지에 부분이 가파르게 상승된 (샤프한) 발광 재료층(EL층)의 형성(상기 도 3(A)를 참조)을 가능하게 하는 것이다.

또한, 상기 마그넷(200)의 폭(W)에 대해서는, 일 예로서, 대략 300mm로 설명하였지만, 상기 설명으로부터도 분명히 알 수 있는 바와 같이(상기 도 4를 참조), 상기 증발원 장치(20)로부터의 기화된 (가스상의) EL 재료가 그 개구부로부터 확산되어 유기 기판(100) 표면에 도착하는 범위보다 조금 크게 설정하는 것이 바람직할 것이다.

또한, 상기 마그넷(200)의 이동에 대해서는, 예를 들면, 첨부한 도 6에도 나타내는 바와 같이, 상기 냉각 플레이트(13)의 내부에, 미리, 상기 마그넷(영구자석)(200)을 유지하는 유지부재(210)와 함께, 그 양단에 마련한 전동 모터(211, 211)의 회전에 따라 상하로 이동하는 볼 스크류(212, 212) 등의 이동 기구를 마련해 두고, 상기 증발원 장치(20)의 상하의 이동에 동기하여, 상기 마그넷(200)을 이동하면 된다.

또는, 첨부된 도 7에도 나타내는 바와 같이, 상기 냉각 플레이트(13)의 내부에, 복수의 전자 마그넷 블록(예를 들면, 상기 마그넷(200)의 크기에 대응하도록)으로 분할함과 함께, 각 블록에 전자 코일(220)을 마련해 두고, 그리고, 예를 들면, 로터리 스위치(221)의 접점을 전환함으로써, 상기 증발원 장치(20)의 상하의 이동에 동기하도록, 순차적으로, 자력을 발생하는 블록을 이동시킴에 따라서도, 상기와 마찬가지로, 상기 증발원 장치(20)의 이동 위치에 맞춰 자력을 발생시킴으로써, 마스크 시트(31)를 유기 기판(100)의 표면에 양호한 상태로 밀착할 수 있게 하고, 이로써, 유기 기판(100)의 표면 전체에 걸쳐, 패턴의 에지에 부분이 가파르게 상승된 양호한 발광 재료층(EL층)의 형성을 가능하게 할 수 있다.

나아가, 첨부한 도 8에도 나타내는 바와 같이, 상기 냉각 플레이트(13)의 내부에, 복수로 분할된 영구자석(230)(각 영구자석은 상기 마그넷(200)의 크기에 대응됨)을 마련함과 함께, 각 영구자석(230)의 바닥면에는 피에조(piezo) 소자(231)를 마련해 둔다. 이러한 구성에 있어서, 상기 증발원 장치(20)의 상하의 이동에 동기하도록, 순차적으로, 피에조 소자(231)에 고전압을 인가하는 것에 따르면, 피에조 소자(231)의 신장에 의해, 도면에도 나타내는 바와 같이, 복수로 분할된 영구자석(230)이, 순차적으로, 도면의 상측으로 이동한다. 즉, 냉각 플레이트(13)를 구성하는 복수의 영구자석(230)이, 순차적으로, 상기 마스크 시트(31)를 흡인함으로써, 상기 마스크 시트를 유기 기판(100)의 표면에 밀착한다. 이에 따라서도, 상기와 마찬가지로, 마스크 시트(31)를 유기 기판(100)의 표면에 양호한 상태로 밀착할 수 있게 하고, 이로써, 유기 기판(100)의 표면 전체에 걸쳐, 패턴의 에지에 부분이 가파르게 상승된 양호한 발광 재료층(EL층)의 형성을 가능하게 할 수 있다.

또한, 상술한 예에서는, 마그넷(200)을, 냉각 플레이트(13)의 일부에, 즉, 가로방향으로 연장되어, 그 이면에 장착한 구성에 대하여 설명하였지만, 본 발명은, 이것으로만 한정되지 않으며, 예를 들면, 첨부의 도 9에도 나타내는 바와 같이, 상기 마그넷(200)을, 세로방향으로 연장되어, 그 이면에 장착할 수도 있다. 또한, 상기에서는, 성막실(11) 내에서, 유기 기판(100)은, 냉각 플레이트(13) 상에 유지된 상태에서, 상승하여 직립 상태가 되는 경우에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이것으로만 한정되지 않고, 예를 들면, 유기 기판(100)은 냉각 플레이트(13)와 함께 수평으로 배치된 상태에서 증착 작업이 행해지는 경우에도, 적용할 수 있을 것이다.

또한, 상기에서, 마스크를 구성하는 마스크 시트(31)에는, 도트 형상의 미세한 패턴(32)이 다수 형성되어 있는 것으로 설명하였지만, 이 패턴(32)은, 반드시 도트 형상일 필요는 없으며, 그 밖에, 예를 들면 슬릿 형상일 수도 있고, 상기와 마찬가지로, 양호한 발광 재료층(EL층)의 형성을 가능하게 할 수 있다는 것은 당업자에게 있어 자명하다.

10: 진공 챔버
11: 성막실
20: 증발원 장치
100: 유기 기판
110: 발광 재료층(EL층)
13: 냉각 플레이트
30: 마스크
31: 마스크 시트
32: 패턴
33: 프레임
200: 마그넷
211: 전동 모터
212: 볼 스크류
220: 전자 코일
221: 로터리 스위치
230: 영구자석
231: 피에조 소자.

Claims

진공 챔버 내에서 피증착 기판의 표면에 소정의 재료를 증착 형성하는 진공 증착 장치로서, 상기 진공 챔버 내에, 표면에 피증착 기판을 탑재하여 유지하는 냉각 플레이트와, 상기 냉각 플레이트에 의해 유지된 상기 피증착 기판의 표면에 유지되는 마스크와, 상기 냉각 플레이트에 의해 유지된 상기 피증착 기판의 표면에서, 상기 마스크를 통해, 상기 냉각 플레이트에 대하여 상대적으로 이동하면서, 기화된 재료를 공급하는 증발원 장치를 구비한 것에 있어서, 상기 마스크는, 복수의 관통한 패턴을 형성한 자성 금속의 마스크 시트를, 장력을 가한 상태로 프레임에 고정되어 있으며, 또한, 상기 냉각 플레이트는, 상기 마스크 시트의 일부를 상기 피증착 기판의 표면으로 끌어당기는 마그넷으로서, 상기 증발원 장치에 동기하여 상기 냉각 플레이트에 대하여 상대적으로 이동하는 마그넷을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
상기 제1항에 있어서,
상기 마그넷은, 상기 냉각 플레이트의 한 변을 따라서 늘린 영구자석과, 상기 영구자석을 이동하기 위한 이동 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
상기 제1항에 있어서,
상기 마그넷은, 상기 냉각 플레이트의 내부에서, 그 어느 한 변을 따라서 긴 방향을 가지며, 냉각 플레이트 전체면에 배치된 복수의 전자석과, 상기 복수의 전자석을, 개별적으로, 여자하기 위한 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
상기 제1항에 있어서,
상기 마그넷은, 상기 냉각 플레이트의 내부에서, 그 어느 일변을 따르는 길이방향을 가지며, 냉각 플레이트 전체면에 배치된 복수의 영구자석과, 상기 복수의 영구자석을 개별적으로 순차 이동하기 위한 이동 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
상기 제1항에 있어서,
상기 마그넷의 폭은, 상기 증발원 장치로부터 기화된 발광 재료가 공급되는 보다 넓게 결정되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
진공 챔버 내에서 피증착 기판의 표면에 소정의 재료층을 증착 형성하는 진공 증착 장치로서, 상기 진공 챔버 내에, 표면에 피증착 기판을 탑재하여 유지하는 냉각 플레이트와, 상기 냉각 플레이트에 의해 유지된 상기 피증착 기판의 표면에 유지되는 마스크와, 상기 냉각 플레이트에 의해 유지된 상기 피증착 기판의 표면에서, 상기 마스크를 통해, 상기 냉각 플레이트에 대하여 상대적으로 이동하면서 기화된 발광 재료를 공급하는 증발원 장치를 구비한 것에서의 진공 증착 방법에 있어서, 상기 마스크는, 복수의 관통한 패턴을 형성한 자성 금속의 마스크 시트를, 장력을 가한 상태로 프레임에 고정되어 있으며, 또한, 상기 피증착 기판을 상기 냉각 플레이트에 유지하여, 마그넷에 의해 상기 마스크 시트의 일부를 상기 피증착 기판의 표면으로 끌어당김과 함께, 상기 마그넷을, 상기 증발원 장치에 동기하면서 상기 냉각 플레이트에 대하여 상대적으로 이동함으로써, 상기 피증착 기판의 표면에 발광 재료층을 증착 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 방법.