KR101499522B1 - 트레이 및 이를 포함하는 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 트레이에 대한 세정공정에서 트레이에 결합된 구성요소의 변성 및 마모를 방지할 수 있는 트레이 및 이를 포함하는 증착장치를 제공한다. 챔버 및 상기 챔버 내부에 배치되어 기판을 선형으로 이송시키는 이송유닛을 갖는 증착장치의 트레이는 상기 이송유닛에 결합되어 선형으로 이송되는 지지 플레이트 및 상기 기판이 안착되며, 상기 지지 플레이트 상에 분리 가능하게 적층되는 안착 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에, 본 발명은 트레이의 세정공정이 용이하여 트레이 및 이를 포함하는 장착장치에 대한 유지보수가 용이해질 수 있다.

Description

트레이 및 이를 포함하는 증착장치{TRAY AND DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 트레이 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기발광소자 제조용 트레이 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기발광소자는 다른 평면 표시 장치에 비해 발열 등이 제한적인 이상적인 구조를 가지고 있다. 또한, 유기발광소자는 자체 발광형이라는 장점으로 인하여 산업계에서 그 수요가 증가하고 있다. 이러한, 유기발광소자는 유기물질이 수용된 도가니를 가열하여 유기물질을 기판 상에 박막 형태로 증착시키는 방법으로 제조된다.
한편, 종래의 유기발광소자 제조용 증착장치는 대한민국 등록특허공보 제 10-0780042호(유기전계 발광 디스플레이 소자 증착장치, 2007.11.21)에 개시된 바 있다. 상기 등록특허는 기판에 대한 증착공정이 수행되는 챔버를 포함하고, 상기 챔버의 내부로 기판이 안착된 트레이가 반입되는 것을 특징으로 하는 발명이다.
상기 등록특허는 기판에 대한 증착공정에서 트레이 상에 파티클이 증착될 수 있고, 트레이 상에 증착된 파티클을 세정하기 위해 트레이 전체에 대한 세정공정을 수행하여야 한다.
그러나, 트레이에는 기판에 대한 제조공정에서 요구되는 다양한 구성요소가 결합될 수 있다. 특히, 트레이에는 이송부와 연동되는 이송부재가 결합될 수 있고, 상기 이송부재는 트레이에 대한 세정공정에서 특성이 변성되거나, 마모가 발생될 수 있는 문제점이 있었다. 이에, 트레이에 대한 세정공정에서는 트레이에 결합된 구성요소를 분리하여 트레이에 대한 세정공정을 진행하기 때문에 공정효율이 저하되는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제 10-0780042호(유기전계 발광 디스플레이 소자 증착장치, 2007.11.21)
본 발명의 목적은 트레이에 대한 세정공정에서 트레이에 결합된 구성요소의 변성 및 마모를 방지할 수 있는 트레이 및 이를 포함하는 증착장치를 제공하기 위한 것이다.
전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 챔버 및 상기 챔버 내부에 배치되어 기판을 선형으로 이송시키는 이송유닛을 갖는 증착장치의 트레이는 상기 이송유닛에 결합되어 선형으로 이송되는 지지 플레이트 및 상기 기판이 안착되며, 상기 지지 플레이트 상에 분리 가능하게 적층되는 안착 플레이트를 포함한다.
상기 트레이는 상기 지지 플레이트와 상기 안착 플레이트가 상호 분리 가능하게 결합되도록 상기 지지 플레이트와 상기 안착 플레이트를 상호 결합하는 결합유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 결합유닛은 상기 지지 플레이트 및 상기 안착 플레이트 중 적어도 어느 하나의 일면으로부터 돌출되는 돌출부과, 상기 지지 플레이트 및 상기 안착 플레이트 중 다른 하나의 일면에 함몰되어 상기 돌출부와 결합되는 함몰부를 포함할 수 있다.
상기 결합유닛은 상기 지지 플레이트 및 상기 안착 플레이트에 탈착되며, 상기 지지 플레이트와 상기 안착 플레이트를 결합방향으로 가압하는 가압부를 포함할 수 있다.
상기 지지 플레이트는 스테인리스 강을 포함하는 재질로 마련되고, 상기 안착 플레이트는 알루미늄을 포함하는 재질로 마련될 수 있다.
상기 트레이는 상기 지지 플레이트에 배치되며, 상기 이송유닛과 연동하여 상기 지지 플레이트에 선형 구동력을 제공하는 자성체를 더 포함할 수 있다.
상기 자성체는 복수 개로 마련되어 상기 지지 플레이트의 하부면 테두리 영역에 대향 배치될 수 있다.
상기 자성체는 상기 지지 플레이트의 하부면 중심영역에 배치될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 증착장치는 기판에 대한 증착공정이 수행되는 공정영역 및 상기 공정영역의 하부에 마련되어 상기 기판의 이송을 선형 가이드하는 가이드영역을 구획하는 구획부를 포함하는 챔버 및 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 기판을 선형으로 이송시키는 이송유닛 및 상기 기판이 안착되며 상기 이송유닛에 의해 상기 챔버 내부에서 선형 이송되는 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항의 트레이를 포함한다.
상기 증착장치는 상기 공정영역에 연결되어 상기 공정영역에 진공분위기를 형성하는 진공펌프 및 상기 가이드영역에 연결되어 상기 가이드영역에서 발생되는 파티클을 배기하는 배기펌프를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 트레이 및 이를 포함하는 증착장치는 트레이에 결합된 구성요소를 분리하지 않은 상태로 세정공정이 수행되기 때문에 트레이의 세정공정이 용이하여 트레이 및 이를 포함하는 장착장치에 대한 유지보수가 용이해지는 효과가 있다.
이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 실시예에 따른 증착장치를 나타낸 단면도,
도 2는 본 실시예에 따른 증착장치를 도 1에 표기된 Ⅱ-Ⅱ의 단면도,
도 3은 본 실시예에 따른 증착장치를 도 1에 표기된 Ⅲ-Ⅲ의 단면도,
도 4 내지 도 6은 본 실시예에 따른 트레이를 나타낸 분해 사시도,
도 7은 도 3에 도시된 본 실시예에 따른 증착장치의 변형된 실시예를 나타낸 사시도,
도 8 및 9는 다른 실시예에 따른 트레이를 나타낸 분해 사시도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 트레이 및 이를 포함하는 증착장치를 상세히 설명하도록 한다. 또한 첨부된 도면에서는 구성 요소의 형상을 보다 명확하게 설명하기 위해 과장되게 표현되는 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 구성 요소는 동일한 구성 요소를 의미한다.
도 1은 본 실시예에 따른 증착장치를 나타낸 단면도이고, 도 2는 본 실시예에 따른 증착장치를 도 1에 표기된 Ⅱ-Ⅱ의 단면도이고, 도 3은 본 실시예에 따른 증착장치를 도 1에 표기된 Ⅲ-Ⅲ의 단면도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 증착장치는 챔버(10)를 포함한다.
챔버(10)는 베이스(Base) 상에 지지될 수 있고, 챔버(10) 내부에는 구획부(100)가 배치된다. 구획부(100)는 챔버(10)를 구획하여, 기판(S)에 대한 증착공정이 수행되는 공정영역(200) 및 기판(S)의 이송을 선형 가이드하는 가이드영역(300)을 형성한다.
한편, 공정영역(200)에는 소스부(210), 트레이 이송유닛(230) 및 차폐유닛(250)이 배치될 수 있다.
먼저, 소스부(210)는 챔버(10)의 상측벽에 설치되어 공정영역(200)으로 반입되는 트레이(400)에 안착된 기판(S)을 향해 유기물질을 하향 제공한다. 소스부(210)는 유기물질이 수용되는 도가니를 포함할 수 있으며 유기물질의 반입을 위해 상하 분리 가능하게 마련될 수 있다.
그리고, 트레이 이송유닛(230)은 공정영역(200)으로 반입되는 트레이(400)와 결합되어 트레이(400)가 선형 이송되도록 한다. 예를 들어, 트레이 이송유닛(230)은 구획부(100)의 상단에 배치되어 트레이(400)에 선형 구동력을 제공하는 전자석으로 마련될 수 있다. 여기서, 트레이 이송유닛(230)들은 트레이(400)의 이송방향의 가로 방향에서 상호 대향 배치되어 트레이(400)에 마련된 복수 개의 트레이 자성체(450)와 각각 연결될 수 있다. 이에, 트레이(400)는 트레이 이송유닛(230)과 트레이 자성체(450) 간에 발생되는 자력을 기반으로 공정영역(200)에서 선형 이송될 수 있다.
그리고, 차폐유닛(250)은 소스부(210)와 기판(S) 사이에 배치되어 소스부(210)로부터 기판(S)으로 제공되는 유기물질을 선택적으로 가이드한다. 예를 들어, 차폐유닛(250)은 차폐 플레이트(251) 및 차폐부(253)를 포함할 수 있다.
차폐 플레이트(251)는 기판(S)과 소스부(210) 사이에 배치된다. 차폐 플레이트(251)에는 기판(S) 상에 증착되는 유기물질이 통과되는 통과영역(251a) 및 통과영역(251a)에 인접하게 마련되어 유기물질을 차단하는 차단영역(251c)이 형성될 수 있다. 그리고, 차폐부(253)는 가이드영역(300)으로부터 제공되는 선형 구동력을 기반으로 차폐 플레이트(251)와 기판(S) 사이에 이송 가능하게 배치된다. 차폐부(253)는 트레이(400)의 이송에 따라 통과영역(251a)을 통과하는 유기물질을 선택적으로 차폐하여 유기물질이 기판(S) 외측으로 향하는 것을 저지할 수 있다.
그리고, 공정영역(200)에는 진공펌프(270)가 연결된다. 진공펌프(270)는 공정영역(200)을 배기하여 공정영역(200)에 진공 분위기를 형성한다. 여기서, 진공펌프(270)로는 고진공분자 펌프(TMP: Turbo Molecular Pump) 및 드라이 펌프(Dry Pump) 등이 사용될 수 있다.
한편, 가이드영역(300)에는 트레이 가이드유닛(310), 차폐부 이송유닛(330) 및 차폐부 가이드유닛(350)이 배치된다.
먼저, 트레이 가이드유닛(310)은 구획부(100)에 인접하게 배치될 수 있다. 트레이 가이드유닛(310)은 레일 형태로 마련되어 트레이(400) 이송방향을 따라 복수 개로 배치된다. 그리고, 트레이 가이드유닛(310)은 트레이(400)로부터 하향 연장되어 복수개의 트레이 자성체(450) 사이에서 구획부(100)의 가이드슬릿(110)을 관통하는 복수 개의 트레이 가이드부재(411a)와 연결된다.
여기서, 트레이 가이드유닛(310)은 트레이 가이드부재(411a)에 배치되는 복수 개의 트레이 롤러(411c)와 연결될 수 있다. 트레이 가이드유닛(310)과 트레이 롤러(411c)는 상호 선접촉하도록 마련되어 트레이 가이드유닛(310)과 트레이 롤러(411c)의 접촉영역에서 발생되는 파티클을 최소화하며 트레이 조립체(400)가 선형 가이드되도록 한다.
그리고, 차폐부 이송유닛(330)은 공정영역(200)에 배치된 차폐부(253)를 선형 이송시킨다. 예를 들어, 차폐부 이송유닛(330)은 차폐부(253)로부터 하향 연장되어 구획부(100)의 가이드슬릿(110)을 관통하는 차폐부 이송부재(253a)와 연결된다.
여기서, 차폐부 이송유닛(330)들은 차폐부(253) 이송방향의 가로방향에서 상호 대향 배치되는 전자석으로 마련되어 차폐부 이송부재(253a)에 마련된 복수 개의 차폐부 자성체(253c)와 각각 연결될 수 있다. 이에, 차폐부(253)는 차폐부 이송유닛(330)과 차폐부 자성체(253c) 간에 발생되는 자력을 기반으로 공정영역(200)에서 선형 이송된다.
그리고, 차폐부 가이드유닛(350)은 레일 형태로 마련되어 차폐부(253) 이송방향을 따라 복수 개로 배치된다. 차폐부 가이드유닛(350)은 차폐부 이송부재(253a)와 연결되어, 차폐부(253)가 차폐부 이송유닛(330)에 의해 이송될 경우 차폐부(253)의 이송을 선형 가이드할 수 있다. 여기서, 차폐부 가이드유닛(350)은 차폐부 이송부재(253a)에 배치되는 복수 개의 차폐부 롤러(253e)와 연결될 수 있다. 차폐부 가이드유닛(350)과 차폐부 롤러(253e)는 상호 선접촉하도록 마련되어 차폐부 가이드유닛(350)과 차폐부 롤러(253e) 사이에서 발생되는 파티클을 최소화할 수 있다.
그리고, 가이드영역(300)에는 배기펌프(370)가 연결된다. 배기펌프(370)는 가이드영역(300)에서 발생되는 파티클을 배기하여 파티클이 가이드슬릿(110)을 통해 가이드영역(300)으로부터 공정영역(200)으로 유입되는 것을 저지할 수 있다.
한편, 공정영역(200)과 가이드영역(300)은 상호 공간적으로 분리되어 있으나, 사실 상 구획부(100)에 형성된 복수 개의 가이드슬릿(110)에 의하여 실질적으로는 연통되어 있다. 그러나, 가이드슬릿(110)은 최소 폭으로 형성되어 공정영역(200)과 가이드영역(300) 상호 간의 파티클 교류가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
예를 들어, 가이드슬릿(110)의 폭은 가이드영역(300)에서 발생하는 입자의 평균 자유행로(Mean free path)보다 작게 형성될 수 있다. 여기서, 자유행로는 파티클이 다른 입자 또는 가이드영역(300)의 챔버(10) 내벽에 부딪쳐서 다음 충돌이 일어날 때까지 움직이는 거리를 말하고, 평균자유행로는 입자 전체에 대하여 평균한 것을 말한다.
따라서, 가이드영역(300)의 파티클의 크기가 지름 "d"일 때 단위부피 속에 존재하는 "n"개의 파티클을 포함하는 경우 평균자유행로는 "λ" 는 다음의 수학식 1과 같이 구할 수 있다.
Figure 112013053134824-pat00001
본 실시예에서 파티클의 평균자유행로는 가이드영역(300)의 진공도와 가이드영역(300)에 존재하는 파티클의 크기와 숫자에 따라 달라질 수 있지만 대략 1~3cm 정도로 가이드슬릿(110)의 폭을 형성하면 공정영역(200)과 가이드영역(300) 사이의 파티클 교류를 차단할 수 있다.
한편, 공정영역(200)에서 선형 이송되는 트레이(400)에 대해서는 이하 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 4 내지 도 6은 본 실시예에 따른 트레이를 나타낸 분해 사시도이다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 트레이(400)는 트레이유닛(410), 결합유닛(430), 트레이 자성체(450) 및 커버유닛(470)을 포함할 수 있다.
먼저, 트레이유닛(410)은 상호 분리 가능하게 연결되는 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)를 포함한다.
지지 플레이트(411)는 트레이 이송유닛(230)과 트레이 자성체(450)에 의해 결합되어 트레이 이송유닛(230)으로부터 제공되는 선형 구동력을 기반으로 공정영역(200)에서 선형 이송된다. 또한, 지지 플레이트(411)의 하부면에는 가이드영역(300)의 트레이 가이드유닛(310)과 연결되는 트레이 가이드부재(411a)가 마련된다. 트레이 가이드부재(411a)는 트레이(400) 이송 시 지지 플레이트(411)의 평탄도를 유지시키고, 트레이(400)의 유동이 최소화되도록 한다. 그리고, 안착 플레이트(413) 상에는 기판(S)이 안착된다. 안착 플레이트(413)는 지지 플레이트(411) 상에 적층되어 지지 플레이트(411)에 대해 기판(S)이 지지되도록 한다.
여기서, 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)는 상호 이종재질로 마련될 수 있다. 예를 들어, 지지 플레이트(411)는 스테인리스 강을 포함하는 재질로 마련될 수 있고, 안착 플레이트(413)는 알루미늄을 포함하는 재질로 마련될 수 있다. 이와 같이, 지지 플레이트(411)는 안착 플레이트(413) 보다 높은 강성을 포함하는 재질로 마련되어 지지 플레이트(411) 상에 안착 플레이트(413) 및 대형 기판이 안착되더라도 안착 플레이트(413) 및 대형 기판의 하중에 의해 발생될 수 있는 변형이 최소화될 수 있다.
한편, 결합유닛(430)은 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)가 상호 분리 가능하게 결합한다. 예를 들어, 결합유닛(430)은 적어도 하나의 돌출부(431) 및 함몰부(433)를 포함할 수 있다.
돌출부(431)는 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413) 중 적어도 어느 하나의 일면으로부터 돌출되고, 함몰부(433)는 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413) 중 다른 어느 하나의 일면으로부터 함몰되어 돌출부(431)와 결합될 수 있다. 이에, 결합유닛(430)은 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)가 상호 분리 가능하게 결합함과 동시에 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)의 결합 시 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413) 간의 유동이 최소화되도록 한다.
한편, 돌출부(431)와 함몰부(433)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 다양한 형태로 마련될 수 있으며, 돌출부(431)와 함몰부(433)의 형태는 이에 한정되지 않고 다양하게 변경 실시될 수 있다.
그리고, 트레이 자성체(450)는 트레이 이송유닛(230)과 연동하여 트레이(400)에 선형 구동력을 제공한다. 예를 들어, 트레이 자성체(450)는 지지 플레이트(411)의 하부면에서 상호 대향하도록 배치될 수 있다. 여기서, 트레이 자성체(450)는 트레이(400) 이송방향의 가로방향에서 지지 플레이트(411)의 테두리영역에 배치될 수 있다. 이때, 대향된 트레이 자성체(450) 사이에는 트레이 가이드부재(411a)가 배치될 수 있다.
그리고, 커버유닛(470)은 가이드슬릿(110)을 통해 가이드영역(300)으로부터 공정영역(200)으로 유입될 수 있는 파티클이 기판(S)과 소스부(210) 사이로 유입되는 것을 저지한다. 예를 들어, 커버유닛(470)은 지지 플레이트(411)의 테두리 영역에 상호 대향 배치되는 트레이 자성체(450)와, 대향 배치된 트레이 자성체(450) 내측에 배치되는 트레이 가이드부재(411a) 사이에서 각각 하향 연장된다.
이때, 커버유닛(470)의 각각의 자유단은 구획부(100)의 상단에 인접하게 배치될 수 있다. 이에, 트레이 가이드부재(411a)가 관통되는 가이드슬릿(110)을 통해 파티클이 공정영역(200)으로 유입될 경우, 파티클이 트레이(400) 하측으로부터 기판(S)과 소스부(210) 사이로 유입되는 것을 저지할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 다른 실시예에 따른 트레이 및 이를 포함하는 증착장치를 상세히 설명하도록 한다. 이하의 설명에서 상술된 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략하도록 한다. 따라서, 이하의 설명에서 상세한 설명이 생략된 구성 요소에 대해서는 상술된 설명을 참조하여 이해할 수 있을 것이다.
도 7은 도 3에 도시된 본 실시예에 따른 증착장치의 변형된 실시예를 나타낸 사시도이다.
본 실시예에 따른 트레이 이송유닛(230, 도 3참조)과 비교하여 다른 실시예에 따른 트레이 이송유닛(730)은 트레이(400)와 구획부(100) 사이에서 트레이(400) 중심 영역에 배치되는 단일의 레일 형태로 마련될 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 다른 실시예에 따른 트레이 이송유닛(730)은 구획부(100)의 상단에서 트레이(400) 중심영역에 대응되는 레일형태로 배치될 수 있다. 여기서, 트레이(400)에 마련되는 트레이 자성체(450)는 트레이 이송유닛(730)과 대응되도록 안착 플레이트(413)의 하부면 중심영역에 배치되어 자력을 기반으로 트레이(400)가 선형 이송되도록 할 수 있다.
또한, 트레이 가이드부재(411a)는 트레이 자성체(450)의 외측에서 상호 마주하도록 배치되어 가이드영역(300)에 배치된 트레이 가이드유닛(310)과 연동될 수 있다. 그리고, 커버유닛(470)는 지지 플레이트(411)의 테두리 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 커버유닛(470)은 트레이(400)의 이송방향에 가로 방향에서 상호 대향하게 배치되어 가이드영역(300)으로부터 공정영역(200)으로 유입될 수 있는 파티클이 트레이(400) 하측으로부터 기판(S)과 소스부(210) 사이로 유입되는 것을 저지할 수 있다.
도 8 및 9는 다른 실시예에 따른 트레이를 나타낸 분해 사시도이다.
본 실시예에 따른 결합유닛(430, 도 4 내지 도 6참조)과 비교하여 다른 실시예에 따른 결합유닛(830)은 트레이유닛(410)에 탈착되며 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)를 결합방향으로 가압하는 가압부(831)를 포함할 수 있다.
먼저, 가압부(831)는 도 8에 도시된 바와 같이, 체결나사로 마련될 수 있다. 여기서, 가압부(831)는 지지 플레이트(411) 상에 안착된 안착 플레이트(413)를 관통하여 지지 플레이트(411)에 형성된 체결 홀(833)에 체결된다. 여기서, 가압부(831)는 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)의 테두리영역에 복수 개로 배치되어 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)가 결합방향으로 가압되도록 할 수 있다. 가압부(831)는 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)가 상호 분리 가능하게 결합함과 동시에 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)의 결합 시 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413) 간의 유동이 최소화되도록 할 수 있다.
또한, 가압부(831)는 도 9에 도시된 바와 같이, 체결클립으로 마련될 수 있다. 여기서, 가압부(831)는 상호 연결된 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)의 측벽의 각각에 형성된 체결 홀(833)에 삽입되어 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)가 결합방향으로 가압되도록 한다. 이에, 가압부(831)는 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)가 상호 분리 가능하게 결합함과 동시에 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413) 결합 시 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413) 간의 유동이 최소화되도록 할 수 있다.
상기와 같이, 트레이(400)의 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)는 상호 분리 가능하게 결합되어 트레이의 세정공정이 용이해지는 이점이 있다. 예를 들어, 트레이(400)는 상호 분리 가능하게 마련되는 지지 플레이트(411) 및 안착 플레이트(413)에 의해 트레이 자성체(450)와 연결된 지지 플레이트(411)의 세정 작업없이 안착 플레이트(413)의 세정만으로 트레이(400) 상에 증착된 유기물질을 제거할 수 있는 바, 트레이 및 이를 포함하는 증착장치의 유지보수가 용이해질 수 있는 이점이 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
10 : 챔버 100 : 구획부
200 : 공정영역 300 : 가이드영역
400 : 트레이 조립체 410 : 트레이 유닛
430 : 결합유닛 450 : 트레이 자성체
470 : 커버유닛

Claims (10)

  1. 챔버 및 상기 챔버 내부에 배치되어 기판을 선형으로 이송시키는 이송유닛을 갖는 증착장치의 트레이에 있어서,
    상기 이송유닛에 결합되어 선형으로 이송되는 지지 플레이트;
    상기 기판이 안착되며, 상기 지지 플레이트 상에 분리 가능하게 적층되는 안착 플레이트; 및
    상기 지지 플레이트와 상기 안착 플레이트가 상호 분리 가능하게 결합되도록 상기 지지 플레이트와 상기 안착 플레이트를 상호 결합하는 결합유닛를 포함하고,
    상기 결합유닛은 상기 지지 플레이트 및 상기 안착 플레이트에 탈착되며 상기 지지 플레이트와 상기 안착 플레이트를 결합방향으로 가압하는 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 결합유닛은,
    상기 지지 플레이트 및 상기 안착 플레이트 중 적어도 어느 하나의 일면으로부터 돌출되는 돌출부과, 상기 지지 플레이트 및 상기 안착 플레이트 중 다른 하나의 일면에 함몰되어 상기 돌출부와 결합되는 함몰부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 플레이트는 스테인리스 강을 포함하는 재질로 마련되고,
    상기 안착 플레이트는 알루미늄을 포함하는 재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 트레이.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 플레이트에 배치되며, 상기 이송유닛과 연동하여 상기 지지 플레이트에 선형 구동력을 제공하는 자성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 자성체는 복수 개로 마련되어 상기 지지 플레이트의 하부면 테두리 영역에 대향 배치되는 것을 특징으로 하는 트레이.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 자성체는 상기 지지 플레이트의 하부면 중심영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 트레이.
  9. 기판에 대한 증착공정이 수행되는 공정영역 및 상기 공정영역의 하부에 마련되어 상기 기판의 이송을 선형 가이드하는 가이드영역을 구획하는 구획부를 포함하는 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되어 상기 기판을 선형으로 이송시키는 이송유닛; 및
    상기 기판이 안착되며 상기 이송유닛에 의해 상기 챔버 내부에서 선형 이송되는 제 1항, 제 3항, 제 5항 내지 제 8항 중 어느 한 항의 트레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 공정영역에 연결되어 상기 공정영역에 진공분위기를 형성하는 진공펌프; 및
    상기 가이드영역에 연결되어 상기 가이드영역에서 발생되는 파티클을 배기하는 배기펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
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