JP6754365B2 - 大面積基板コーティング装置 - Google Patents
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Description
2枚の互いに隣り合って配置されたガス出口プレートの固定は、螺合によって行うことができ、その場合、螺合される螺子は、ガス出口プレートがオーバーラップする領域を通って締結される。
2枚の隣接するガス出口プレートの直接的なオーバーラップではなく、接続片を設けることもできる。この接続片は、好適には、ガス出口プレートの約半分の材料厚さを有することが好適であり、断面においてそれぞれ切り欠きをもつ2つの突起により形成された同一平面の1つの凹部内に位置し、その凹部はガス分配室の方に向いていることが好適である。
各ガス出口プレートは、少なくとも1つのハンガーにより上向きに固定されることが好適である。そのハンガーは、ガス入口部材の後壁、ハウジングの天井、又は、ハウジングの天井に取り付けられた支持フレームワークに固定することができる。少なくとも幾つかのガス出口プレートは、少なくとも3つのハンガーにより取り付けられる。
各ガス出口プレートは、その全面に亘って実質的に均一に配置されたガス出口孔を有することにより、ガス出口面全体がシャワーヘッドの形態に形成される。
ガス出口プレートを加熱することができる加熱装置を設けることが提示される。各ガス出口プレートがそれぞれに割り当てられた加熱装置を有することができる。加熱装置は、電流を流すことにより加熱されるフィラメントとすることができる。これは、ガス分配室の方に向いたガス出口プレートの広い面の溝に収容することができる。
基板に対する各ガス出口プレートの鉛直位置を調整可能な調整要素が設けられる。この調整要素は、ガス出口面の後壁に配置されることが好適である。それらは、ハンガーの後壁側の上端に設けることができる。調整要素は螺子要素とすることができ、例えば、螺子付きシャフトと協働するナットである。
サセプタが冷却装置を設けられる。これは、サセプタ内に配置された冷却ダクトにより形成される。
ハウジングからプロセスガス又は搬送ガスを出すためのガス出口部材が、真空ポンプに接続されることができ、それによりハウジングを排気可能である。
ハンガーは、ガス状のプレカーサと直接接触できないように配置されていることが好適である。
ガス出口プレートの高さ位置及びその鉛直位置はまた、個別に調整可能であるように設けられる。連続的なガス出口面を形成するために用いられるガス出口プレートは、互いに異なる大きさを有することができる。ガス出口プレートは、長方形の形状を有すると共にエッジを有し、それらのエッジは、隣り合う2枚のガス出口プレートがオーバーラップすることによって互いに結合可能であるように構成されることが好適である。分離ゾーンと一致するオーバーラップゾーンは、ガス出口プレート上において直接隣接して配置された2つのガス出口孔の間の距離よりも短い幅を有する。機械的、特に電気機械的な調整要素を設けることができ、それを用いてハンガーに掛けることにより、サセプタの上方のガス出口プレートの高さを調整することができる。
本発明の変形においては、第2のハンガーが設けられ、それを用いてガス入口部材の後壁を、ハウジングの天井又はハウジングの天井に固定された支持フレームワークのいずれかから吊り下げることができる。
2 ガス入口部材
2’ ガス出口面
3 ヒーター要素
4 ガス供給管
5 ガス分配室
5’ 側壁
6 ガス出口孔
7 プロセスチャンバ
8 基板
9 サセプタ
10 ガス出口プレート
10’、10” 分離ゾーン
11 ガス出口プレート
11’、11” 分離ゾーン
12 ガス出口プレート
12’、12” 分離ゾーン
13 ガス出口プレート
13’、13” 分離ゾーン
14、14’ ガス出口プレート
14” 分離ゾーン
15 ガス出口プレート
15’ 分離ゾーン
16 ガス出口プレート
16’ 分離ゾーン
17 ガス出口プレート
17’ 分離ゾーン
18 ガス出口プレート
18’ 分離ゾーン
19 ガス出口プレート
20、21 ハンガー
22 後壁
23 冷却ダクト
24、25 突起
26 螺子
27 溝
28 接続片
29 支持フレームワーク
30 固定具
31 支持要素
32 調整要素
Claims (8)
- 基板(8)をコーティングするために、均一に分散されたガス出口孔(6)を設けたガス出口面(2’)を具備するガス分配室(5)を有するガス入口部材(2)を備え、ガス分配室(5)に供給されたプロセスガスがガス出口孔を通してプロセスチャンバ(7)に、そして、プロセスチャンバの床に配置された基板(8)に到達することができ、ガス出口面が、共通する面内に位置する複数のガス出口プレート(10、11、12、13、14、15、16、17、18、19)から形成され、ガス出口プレートは、ガス分配室(5)の容積を規定する側壁(5’)から離れて配置された分離ゾーン(10’、10”、11’、11”、12’、12”、13’、13”、14”、15’、16’、17’、18’)の領域にて互いに結合されている装置であって、
隣り合う2枚のガス出口プレート(10〜19)が、分離ゾーン(10’、10”、11’、11”、12’、12”、13’、13”、14”、15’、16’、17’、18’)に沿って蝶番状に互いに変位させられ、かつ、各ガス出口プレート(10〜19)が少なくとも1つのハンガー(20)によりガス入口部材(2)の後壁(22)、ハウジング(1)の天井、又は支持フレームワーク(29)に固定されており、その場合、ハンガー(20)が、プロセスチャンバの床に対するガス出口プレート(10〜19)の鉛直位置を調整するために調整要素(32)を有することを特徴とする装置。 - 隣り合う2枚のガス出口プレート(10〜19)が、分離ゾーン(10’、10”、11’、11”、12’、12”、13’、13”、14”、15’、16’、17’、18’)の領域にてオーバーラップするか又は接続片(28)によりオーバーラップされることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- ガス出口プレート(10〜19)の吊り下げのために少なくとも3つのハンガーが用いられることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- ガス出口プレート(10〜19)を加熱するための加熱装置(3)を特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の装置。
- 調整要素(32)がガス入口部材(2)の後壁(22)に配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の装置。
- ガス出口プレート(10〜19)が、分離ゾーンにて断面における切り欠きをもつ突起(24、25)を有し、それらがオーバーラップするか、又は、接続片(28)によりオーバーラップされることにより、分離ゾーン(10’、10”、11’、11”、12’、12”、13’、13”、14”、15’、16’、17’、18’)で互いに掛合する2枚のガス出口プレート(11〜19)の広い面が同一の平面となるように互いに結合することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の装置。
- 各ガス出口プレート(11、19)がそれぞれ加熱可能な加熱要素(3)を割り当てられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の装置。
- ガス出口プレート(10〜19)のガス出口面が互いに異なる大きさで形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の装置。
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