KR20100122938A - 평평한 이송 물품을 이송하기 위한 하나 이상의 컨베이어 벨트를 가진 컨베이어 벨트 시스템 및 평평한 이송 물품을 이송하기 위한 방법 - Google Patents

평평한 이송 물품을 이송하기 위한 하나 이상의 컨베이어 벨트를 가진 컨베이어 벨트 시스템 및 평평한 이송 물품을 이송하기 위한 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 컨베이어 벨트 시스템(1)의 하나 이상의 컨베이어 벨트(2) 상에서 평평한 이송 물품, 특히 실리콘 웨이퍼와 태양 전지와 같은 기판(3),을 이송하기 위한 방법에 관련된 것으로, 기판(3)은 흡입에 의해 이송 동안 몇몇 주기 이상에서 컨베이어 벨트(2)의 이송 표면(5)상에 고정된다. 컨베이어 벨트(2) 상에 기판(3)들의 안정된 이송과 향상된 미끄럼-방지를 보장하기 위해서, 본 발명에 따라 이송 방향으로 연장된 컨베이어 벨트(2)의 스트랩(8)이 가지는 두 개의 길이방향 변부(7)들 중 적어도 하나 이상을 따라서, 서로에 대해 이격된 복수 개의 위치(9)들에서, 베르누이 효과에 기초한 부압이 압축 공기와 같은 압력 매체(11)의 주입(guidance)에 의해 생성되며, 유동 시스템(4)에 의해 제어되며, 벨트의 길이 방향 변부 상 개별 위치(9)에서 형성되며 개별 위치(9)에서 생성된 부압과 대기압의 압력 차의 결과, 기판(3)들이 접촉면을 포함하는 컨베이어 벨트의 이송 표면(5)상에서 균일한 압력으로 고정된다.

Description

평평한 이송 물품을 이송하기 위한 하나 이상의 컨베이어 벨트를 가진 컨베이어 벨트 시스템 및 평평한 이송 물품을 이송하기 위한 방법{METHOD AND CONVEYOR BELT SYSTEM HAVING AT LEAST ONE CONVEYOR BELT FOR TRANSPORTING FLAT TRANSPORT GOODS}
본 발명은 평평한 이송 물품을 이송하기 위한 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 컨베이어 벨트 시스템이 가지는 하나 이상의 컨베이어 벨트 상에 가령, 실리콘 웨이퍼들과 태양 전지와 같은 기판들을 이송하기 위한 방법에 관한 것이며, 기판들은 흡입에 의해 적어도 주기적으로 이송 동안 컨베이어 벨트의 이송 표면상에 고정된다.
또한 본 발명은 평평한 이송 물품을, 더욱 상세하게는 가령 실리콘 웨이퍼와 태양 전지와 같은 기판을, 이송하기 위한 하나 이상의 컨베이어 벨트와 이송 동안 적어도 순환하게 하나 이상의 컨베이어 벨트의 이송 표면상에서 흡입에 의해 기판을 고정시키는 흡입 장치를 가진 컨베이어 벨트 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 태양 전지의 제조를 위한 실리콘 웨이퍼의 이송은 다수의 벨트들을 구비할 수 있는 컨베이어 벨트 상에서 또는 그리퍼(gripper)로 실행된다. 제조 과정에서 이용되는 기계 때문에, 웨이퍼들의 이송은 순환적으로 일어나며, 이는 빈번하게 컨베이어 벨트와 그리퍼가 가속되거나 감속(braking)되어야만 한다는 것을 의미한다. 일반적으로 컨베이어 벨트 상에 놓인 웨이퍼들은 이송 동안 중력과 마찰 때문에 제자리에서만 유지될 수 있다. 그리퍼를 이용하여 이송된 웨이퍼들의 경우에, 웨이퍼들의 위치는 접촉면 상에서 흡입과 마찰을 통해서만 유지된다. 그러나, 컨베이어 벨트의 가속과 감속이 너무 빨리 발생한다면, 컨베이어 벨트과 그리퍼의 접촉면의 마찰 계수(friction value)를 초과하고, 이로 인해 웨이퍼의 미끄러짐(slipping)이 초래되어, 컨베이어 벨트 또는 그리퍼에 대해 웨이퍼들이 최초 위치를 벗어나게 된다. 또한, 웨이퍼와 컨베이어 벨트 사이의 작은 부착력(adhesion) 때문에, 웨이퍼는 컨베이어 벨트에서 떨어질 수 있다.
컨베이어 벨트 상에서 부착력을 증가시키기 위해서, 상이한 표면을 가진 상이한 재료로 제조된 컨베이어 벨트들이 이용된다. 추가로 컨베이어 벨트 상에서 가령 웨이퍼들 또는 태양 전지와 같은 평평한 이송 제품의 부착력을 증가시키기 위해서, DE 10 2004 050 463으로 공지된 컨베이어 벨트 시스템에서, 컨베이어 벨트들은 벨트들의 표면상에 개구부들을 가지게 설계되며 이 개구부들은 컨베이어 벨트의 표면에 균등하게 분배되며 진공 흡입 장치에 연결된다. 모든 컨베이어 벨트가 이러한 용도로 적합하지 않다는 사실 외에도, 만일 매우 큰 흡입력이 이용되면 웨이퍼가 개구부를 통하여 흡입될 수 있고 손상될 수 있기 때문에, 개별 개구부의 인접한 주변부에서 컨베이어 벨트의 표면상에 위치된 웨이퍼들에만 작용하는 흡입력은 비교적 작게 선택되어야만 한다.
DE 10 2006 033 296 A1에서 공지된 태양광 모듈(solar module)을 구성하기 위한 시스템은 하나의 이송 면에서 태양광 모듈을 이송하기 위한 에어 쿠션 시스템(air cushion system)을 이용한 이송 시스템을 구비하여, 하나의 처리 영역에서 압력-진공 테이블이 태양광 모듈과 플레이트 사이에서 중압(overpressure)과 진공을 동시에 생성하기 위해 제공되며 항상 태양 모듈은 생성된 에어 쿠션에 의해 플레이트로부터 일정한 거리에서 유지된다.
본 발명의 목적은 안전한(gentle) 방식으로 컨베이어 벨트 상에서 웨이퍼들의 증가된 부착력을 보장함으로써, 관련된 이송 영역에서 웨이퍼의 위치설정에 손상 없이 컨베이어 벨트를 가속시키며 더 높은 속도를 내게 한다. 그러므로 본 발명의 목적은 압력 상태가 비용-효율적인 방식으로 컨베이어 벨트 상에서 기판의 안전한 이송과 향상된 미끄럼-방지(slip-resistance)를 보장하는 컨베이어 벨트 주위의 넓은 영역에서 형성되도록, 도입부에서 설명된 유형의 컨베이어 벨트 시스템과 방법을 형성하는 것이다.
본 발명에 따라서 본 발명의 목적은 이송 방향으로 연장된 컨베이어 벨트 시스템의 벨트가 가지는 두 개의 길이방향 변부들 중 하나 이상을 따라서, 서로에 대해 이격된 복수의 위치들에서 베르누이 효과에 기초한 부압이 유동 가이드(flow guidance)에 의해 형성되며, 압축 공기와 같은 압력 매체(pressure medium)의 유동 시스템에 의해 제어됨으로써 구현되며, 벨트의 길이방향 변부 상에 각각의 위치에서 생성된 부압과 대기압 사이에 압력차로 인하여, 기판들은 접촉면을 포함하는 컨베이어 벨트의 이송 표면상에서 균일한 압력으로 고정된다.
바람직하게는 기판의 이송 동안, 베르누이 효과에 기초한 중압이 생성되는 벨트의 길이방향 변부 상에서 복수 개의 위치들 중 특정 수의 위치들만이 이송 방향으로 기판에 의해 항상 연속적으로 덮혀지며, 베르누이 효과에 기초한 부압을 생성하기 위해 압축된 공기 공급에 의해 제어되어서, 기판의 이송 동안, 개별 기판의 전방 변부에 의해 벨트의 길이방향 변부 상에서 이송 방향으로 다음 위치가 커버링 되자마자, 압축된 공기의 공급을 통해 다음 위치의 제어가 자동으로 활성화되며, 이송되는 동안 기판의 후방 변부에 의해 제거되는 벨트의 길이방향 변부 상 위치에서는 압축 공기의 공급이 중단된다(switch off).
기판들이 연속적으로 순환하는 벨트들을 포함하는 컨베이어 벨트 상에서 이송된다면, 유리하게는 반대 방향으로 이동하는 연속적인 벨트의 하부 지지 표면(lower support surface)의 길이방향 변부를 따라서 뿐만 아니라 연속적인 벨트의 상부 지지 표면의 길이방향 변부를 따라서, 길이방향 변부에서 서로에 대해 이격된 복수의 위치들에서, 베르누이 효과에 기초한 부압이 압력 매체의 유동 가이드를 통하여 생성되고, 이로 인하여 기판들이 관련된 위치에서 생성된 부압과 대기압 사이의 차이에 의해 복수 개의 위치에서 균일한 압력으로 기판들의 접촉면에 고정된다.
기판들이 동일한 방향으로 이동하는 두 개의 평행한 컨베이어 벨트들을 포함한 컨베이어 벨트 시스템에 의해 이송된다면, 두 개의 벨트들의 마주보는 단부 섹션들은 겹쳐지고 서로 일정한 거리에 배열되며, 유리하게는 하부 컨베이어 벨트와 상부 컨베이어 벨트의 길이방향 변부 상 대응되는 위치들에서 부압의 생성이 교대로 발생하여서, 컨베이어 벨트의 이송 표면상에서 이송된 기판들이 컨베이어 벨트 상에 위치되며 흡입에 의해 고정된다.
또한 베르누이 효과에 기초한 부압이 서로에 대해 대응하는 위치들에서 이송 방향으로 구동되는 컨베이어 벨트의 벨트가 가지는 두 개 모두의 길이방향 변부를 따라 생성된다. 바람직하게는 벨트의 길이방향 변부들 각각에 생성되는 베르누이 효과에 기초한 부압이 생성된 위치들 사이의 거리가 동일하게 형성되도록 선택되고 벨트의 개별 길이방향 변부들 상에 관련된 위치에서 베르누이 효과에 기초하여 생성된 부압이 동일한 크기로 형성된다.
적당하게 컨베이어 벨트의 벨트가 가지는 길이방향 변부들 또는 길이방향 변부 상 복수 개의 위치들 각각에서 베르누이 효과에 기초한 부압을 생성하기 위한, 유동 시스템에 의해 제어되는 압력 매체의 공급이 컴퓨터에 의해 제어된다.
또한 본 발명의 목적은 도입부에서 정의된 컨베이어 벨트 시스템에 의해 본 발명에 따라 구현되며, 이 컨베이어 벨트 시스템은
- 이송 방향으로 구동하는 컨베이어 벨트의 벨트가 가지는 두 개의 길이방향 변부들 각각을 따라서 배열된 대응되는 위치들에서, 베르누이 흡입 효과를 생성하는 장치의 챔버에 할당된 하나 이상의 유출구가 형성되고,
- 압축된 공기와 같은 압력 매체가 하나 이상의 유입구를 통하여 챔버에 공급되며, 유입구의 횡단면은 챔버의 유출구의 횡단면보다 더 크게 형성되며,
- 기판이 컨베이어 벨트의 길이방향 변부들을 따라서 베르누이식 흡입 장치에 의해 생성된 베르누이 흡입 효과에 의해 야기된 부압과 대기압 사이의 압력 차로 인해 이송 벨트의 이송 표면상에서 균일한 접촉면 압력으로 고정되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는 베르누이식 흡입 장치는 컨베이어 벨트의 벨트가 가지는 길이방향 변부들 각각을 위해 동일하게 형성된 복수 개의 유출구와 복수 개의 챔버들을 구비하여서, 유출구들은 각각 대응되는 위치에서 서로에 대해 동일한 거리에 배열된다. 컨베이어 벨트의 벨트가 가지는 개별 측부를 따라서 복수 개의 챔버와 복수 개의 유출구들이 대응할 수 있으며 두 개의 유출구들이 개별 챔버에 할당될 수 있고, 이 두 개의 유출구들은 서로 대응하는 위치에서 컨베이어 벨트의 벨트가 가지는 두 개의 길이방향 변부 상에 배열된다.
에너지 요구를 감소시키기 위해서, 기판의 이송 동안, 베르누이식 흡입 장치의 유출구가 이송 방향으로 차례로 챔버들에 할당되고, 베르누이식 흡입 장치들의 복수 개의 챔버들 중 오직 특정 개수의 챔버만이 기판들의 이송 동안 언제나 덮혀지고, 베르누이식 흡입 장치에 의해 제어되어서, 기판의 이송 동안, 이송 방향으로 개별 기판의 전방 변부에 의해 이송방향으로 다음 유출구가 커버링 되자마자, 유출구에 할당된 챔버는 자동으로 제어되며, 기판의 이송 동안 문제되는 기판의 후방 변부에 의해 덮혀지지 않은 유출구가 할당된 챔버는 스위치-오프되도록, 본 발명에 따라서 컨베이어 벨트 시스템이 형성된다.
컨베이어 벨트는 롤러 장치(roller arrangemen)에 의해 굴곡된 연속적인 벨트들을 구비할 수 있고, 반대 방향으로 구동되는 연속적인 벨트들의 상부 접촉면과 하부 접촉면에서, 베르누이 흡입 효과는 베르누이식 흡입 장치에 의해 컨베이어 벨트의 연속적인 벨트가 가지는 길이방향 변부들을 따라 생성되어서, 연속적인 벨트의 상부 접촉면과 하부 접촉면은 컨베이어 벨트의 이송 표면을 형성하고, 이 이송 표면상에서 기판들은 베르누이식 흡입 장치에 의해 컨베이어 벨트의 연속적인 벨트가 가지는 길이방향 변부들을 따라 생성된 베르누이 흡입 효과에 의해 야기된 부압과 대기압 사이의 압력 차를 통하여 균일한 압력으로 고정된다.
바람직하게는 동일한 방향으로 이동하는 두 개의 평행한 컨베이어 벨트들이 벨트들의 마주보는 단부들이 겹치게 제공되고 서로에 대해 일정한 거리에 배열되어서, 관련된 베르누이식 흡입 장치의 챔버에 할당되고 상부 컨베이어 벨트와 하부 컨베이어 벨트의 벨트들이 가지는 길이방향 변부들 상에 제공된 대응하는 유출구의 교번적 제어를 통하여, 하부 컨베이어 벨트의 이송 표면상에 기판들이 상부 컨베이어 벨트의 이송 표면에 이송될 수 있고 상기 이송 표면상에 위치될 수 있으며 정 위치(in place)로 고정될 수 있다.
본 발명에 따른 컨베이어 벨트 시스템은 고속에서 이송 표면상에 이송 물품의 안전하고 높은 수준의 부착, 컨베이어 벨트의 가속과 감속을 보장한다. 또한 컨베이어 벨트 주위 베르누이식 흡입 장치에 의해 생성된 압력 상태에 의해서 컨베이어 벨트의 하부 접촉면 상에서 평평한 이송 물품이 이송되게 하여, 예를 들면 웨이퍼가 컨베이어 벨트의 이송 표면상 웨이퍼들의 위치에서 손상 없이 컨베이어 벨트 상에서 고속과 가속으로 "거꾸로(upside down)" 또는 모든 방향으로 이송될 수 있게된다. 추가로, 압축 공기 공급이 벨트 이동과 함께 동시에 적합하게 발생함에 따라, 본 발명에 따른 컨베이어 벨트 시스템에 의해 제조 비용과 에너지 소비가 상당히 절약되게 한다.
실리콘 웨이퍼와 태양 전지와 같은 기판들에 추가하여, 유리, 세라믹, 금속, 나무 또는 플라스틱으로 제조된 그 외 다른 물체 예를 들면, CD, 회로 기판, 디스플레이 및 그와 유사한 것들이 본 발명에 따른 장치 및/또는 컨베이어 벨트 시스템을 이용하여 미끄러짐-방지 방식으로 이송될 수 있다. 게다가, 본 발명에 따른 방법의 이용은 반도체 산업뿐만 아니라 모든 유형의 분류 설비(sorting installation)에서 유리하다.
이제부터 본 발명은 도면을 참조하여 설명될 것이다.
도 1a는 컨베이어 벨트를 포함한 컨베이어 벨트 시스템의 일 실시예에 대한 단면을 위에서 본 도면이다.
도 1b는 도 1a에서 A-A 면을 관통한 단면에 대한 도면이다.
도 2는 두 개의 평행한 컨베이어 벨트를 가진 컨베이어 벨트의 실시예에 대한 선호되는 형태에 대해 대략적으로 도시된 단면의 사시도이며, 이 경우에 개별 컨베이어 벨트의 절반이 베르누이식 흡입 장치의 챔버에 대한 커버링(covering) 없이 도시된다.
도 3은 도 2에 도시된 도 2의 단면과 유사한 사시도이며, 이 도면에서 베르누이식 흡입 장치의 챔버는 완전히 커버링되어서, 베르누이식 흡입 장치의 다수의 유출구에 대한 연속적인 제어를 명확하게 하기 위해 단면도가 두 번 도시되며 각각의 상부에서 웨이퍼들의 위치가 이송 방향으로 서로에 대해 갈라져 나온다(offset).
도 4a는 컨베이어 벨트 시스템의 실시예에 대한 또 다른 형태를 개략적으로 도시한 단면의 측면도이며, 이 실시예에서 두 개의 평행한 컨베이어 벨트의 마주보는 단부 섹션은 일부가 서로 겹쳐지며 웨이퍼들은 베르누이 흡입 효과를 통하여 하나의 컨베이어 벨트에서 다른 컨베이어 벨트로 이송될 수 있다.
도 4b는 도 4a의 A-A 면을 따른 단면도를 나타낸다.
도 1a에서 개략적으로 도시된 컨베이어 벨트 시스템(1)의 실시예의 형태에서 알 수 있는 바와 같이, 이 컨베이어 벨트 시스템은 예를 들면 가령, 실리콘 웨이퍼와 태양 전지와 같은 기판들을 이송하기 위한 컨베이어 벨트(2) 뿐만 아니라 베르누이식 흡입 장치(4)를 구비하고, 이 컨베이어 벨트 시스템은 도 1a에서 A-A 면을 관통한 단면인 도 1b에서 도시된다. 이송 방향(6)으로 구동하는 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 길이방향 변부(7)들 각각을 따라서, 베르누이식 흡입 장치(4)는 상응하는 위치에 챔버(10)의 하나 이상의 유출구(9)를 구비하며, 이 위치로 압축 공기(11)가 도시되진 않지만 압축 공기원에서 유입구(12)를 통하여 공급된다. 유입구(12)의 횡단면은 챔버(10)의 유출구(9)의 횡단면보다 더 크다. 기판(3)들이 압력 차에 의하여 형성된 화살표(19) 방향으로 작용하는 힘을 통하여 컨베이어 벨트(2)의 이송 표면(5)상으로 평평하게 가압되어 고정되며, 이 압력 차는 벨트(8)의 길이방향 변부(7)들을 따라 베르누이식 흡입 장치에 의해 형성된 베르누이 효과(Bernoulli effect)에 의해 야기된 부압(underpressure)과 대기압 사이의 차이다.
도 2와 도 3은 컨베이어 벨트 시스템(1)의 실시예에 대한 에너지-절약과 비용-감소 면에서 선호되는 형태를 나타내며, 이 시스템 내에서 두 개의 평행한 컨베이어 벨트(2)들이 도시된다. 본 실시예에서 베르누이식 흡입 장치(4)는 b 개의 유출구(9)의 수와 a 개의 챔버(10)를 가져서, 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 개별 길이방향 변부들 상에서 a 개로 유출구(9)의 수는 동일하고, 이 유출구(9)들은 대응하는 위치에서 서로 동일한 거리로 배열되며 두 개의 컨베이어 벨트(2)들 각각이 가지는 벨트(8)의 길이 방향 변부 각각을 따라서 a 개의 챔버(10)와 b 개의 유출구(9)가 대응된다.
도 2에서 각각의 컨베이어 벨트(2)의 절반에 베르누이식 흡입 장치의 챔버(10)들에 대한 커버링이 챔버(10)의 배열을 이해하기 쉽도록 생략된다. 도 2에서 두 개의 유출구(9)들이 각각의 챔버(10)에 할당되며, 이 유출구들은 개별 컨베이어 벨트(2)들의 벨트(8)가 가지는 두 개인 길이방향 변부(7)들 상에 서로 대응하는 위치에 배열된다.
도 3은 컨베이어 벨트 시스템(1)의 선호되는 실시예 형태를 나타내며, 이 시스템은 a 개의 챔버(10)를 가진 베르누이식 흡입 장치(4)를 가지며, 유출구(9)는 개별 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 각각의 길이방향 변부(7)를 따라 이송방향에서 차례로 챔버들에 할당되며, 오직 c개의 특정 수 챔버들만이 기판(3)들의 이송 동안 항상 기판(3)에 의해 덮혀지며, 베르누이식 흡입 장치(4)에 의해 제어된다. 기판(3)의 이송 동안, 이송 방향(6)에서 개별 기판(3)의 전방 변부(13)에 의해 이송 방향에서 다음 유출구(9)가 커버링 되자마자, 이 유출구(9)에 할당된 챔버(10)는 자동으로 제어되며, 기판의 이송 동안 기판(3)의 후방 변부(14)에 의해 덮혀지지 않은 문제의(in question) 인접 유출구(9)에 할당된 챔버가 스위치-오프된다.
도 4a와 도 4b는 컨베이어 벨트 시스템의 실시예에 대한 추가적인 형상을 나타내며, 도 4a에서 도시된 바와 같이, 동일한 이동 방향(6)을 가진 두 개의 평행한 컨베이어 벨트(2)들이 이들의 마주보는 단부 섹션(17 및 18)들에서 겹쳐지고 컨베이어 벨트들의 상부 상에서 일정한 거리로 배열된다.
도 4b에서 도시된 바와 같이, 도 4b는 도 4a 내에서 A-A면을 따라 두 개의 컨베이어 벨트(2)들의 겹쳐진 단부 섹션(17, 18)들을 관통한 단면을 나타내며, 컨베이어 벨트(2)의 상부의 벨트와 하부의 벨트(8)가 가지는 대응하는 길이방향 변부(7)들 상에 대응하는 유출구(9)들에 대한 교번적 제어(alternate controlling)를 통하여 및 이로 인하여 야기된 베르누이 흡입 효과를 통하여, 기판들이 하부 컨베이어 벨트(2)가 가지는 이송 표면(5) 상에 있는 기판(3)들이 상부 컨베이어 벨트(2)의 이송 표면(5)으로 이송될 수 있도록, 베르누이식 흡입 장치(4)는 개별 컨베이어 벨트(2)에 할당되며, 기판들은 벨트 상에 위치되고 정 위치에 고정된다. 힘이 화살표 방향(19)으로 가해진다.
1: 컨베이어 벨트 시스템(conveyor belt system)
2: 컨베이어 벨트(conveyor belt)
3: 이송 물품(transport goods), 기판(substrate)들, 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)들, 태양 전지(solar cell)들
4: 흡입 장치(suction system), 유동 장치(flow system)
5: 이송 표면(transport surface)
6: 이송 방향(transport direction)
7: 길이방향 변부(longitudinal edge)들
8: 벨트(belt)
9: 유출구(outflow opening)들, 위치(position)들
10: 챔버(chamber)
11: 압력 유체(pressure fluid), 압축 공기(compressed air)
12: 유입구(inflow opening)
13: 기판의 전방 변부
14: 기판의 후방 변부
15: 컨베이어 벨트의 상부 접촉면
16: 컨베이어 벨트의 하부 접촉면
17: 상부 컨베이어 벨트의 단부 섹션
18: 하부 컨베이어 벨트의 단부 섹션
19: 가해진 힘의 방향
a: 복수 개의 챔버 수
b: 유출구의 수
c: 유출구의 특정 수

Claims (14)

  1. 기판들이 흡입에 의해 이송 동안 적어도 순환적으로 컨베이어 벨트의 이송 표면상에 고정되고, 컨베이어 벨트 시스템이 가지는 하나 이상의 컨베이어 벨트 상에 평평한 이송 물품, 가령 실리콘 웨이퍼와 태양 전지와 같은 특히 기판들을 이송하기 위한 방법에 있어서,
    이송 방향으로 연장된 컨베이어 벨트 시스템의 벨트가 가지는 두 개의 길이 방향 변부들 중 하나 이상을 따라, 서로에 대해 이격된 복수 개의 위치들에서, 베르누이 효과에 기초한 부압이 유동 가이드에 의해 생성되며, 압축 공기와 같은 압력 매체의 유동 시스템에 의해 제어되며, 벨트의 길이방향 변부들 상에 개별 위치에서 생성된 부압과 대기압의 압력차의 결과로 인해서, 기판들이 접촉면을 포함하는 컨베이어 벨트의 이송 표면상에서 균일한 압력으로 고정되는 것을 특징으로 하는 이송방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 기판의 이송 동안, 베르누이 효과에 기초한 부압이 생성되는 벨트의 길이방향 변부에 복수 개의 위치들 중 특정 개수의 위치들만이 베르누이 효과에 기초한 부압을 생성하도록 압축된 공기 공급에 의해 제어되며, 이 특정 개수의 위치들은 기판들의 이송 동안 기판들에 의해 항상 연속적으로 덮혀지며, 이로 인하여 기판의 이송 동안, 개별 기판의 전방 변부에 의해 이송 방향으로 벨트의 길이 방향 변부 상의 위치들이 커버링 되자마자, 다음 위치가 압축된 공기의 공급으로 자동으로 제어되며, 기판들의 이송 동안 문제되는 기판의 후방 변부들에 의해 덮히지 않은 길이방향 변부 상에 있는 위치에서, 압축된 공기 공급이 중단되는 것을 특징으로 하는 이송방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 방법에서 기판들은 순환하는 연속적인 벨트를 포함한 컨베이어 벨트 상에서 이송되며,
    반대 방향으로 이동하는 연속적인 벨트의 하부 접촉면을 가지는 길이방향 변부을 따라서 뿐만 아니라 연속적인 벨트의 상부 표면을 가지는 길이방향 변부를 따라서, 길이방향 변부 상에서 서로 일정한 거리에 위치된 복수 개의 위치들에서, 베르누이 효과에 기초하며 압력 유체의 유동 가이드를 통하여 야기된 부압이 생성되며, 기판들이 관련된 위치에서 생성된 부압과 대기압의 압력 차를 통하여 복수 개의 위치들에서 관련된 방향으로 연속적인 벨트의 하부 접촉 면상에서뿐만 아니라 기판들이 상부 접촉 면상에서 가압되어 평평하게 고정되는 것을 특징으로 하는 이송방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 방법에서 기판들이 동일한 방향으로 이동하는 두 개의 평행한 컨베이어 벨트들을 포함한 컨베이어 벨트 시스템에 의해 이송되어서, 두 개의 컨베이어 벨트들이 가지는 마주보는 단부 섹션들이 겹쳐지고 서로에 대해 일정한 거리에 배열되며,
    상부 컨베이어 벨트와 하부 컨베이어 벨트의 벨트들이 가지는 길이방향 변부들 상에 대응되는 위치들 각각에서 부압이 교번적으로 생성됨으로써, 하부 컨베이어 벨트의 이송 표면상에서 이송된 기판들이 상부 컨베이어 벨트의 마주보는 이송 표면으로 이송되며, 기판들이 이송된 표면상에 위치되고 흡입에 의해 정 위치에 고정되는 것을 특징으로 하는 이송방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 이송 방향으로 구동하는 컨베이어 벨트의 벨트가 가지는 두 개의 길이방향 변부들을 따라서, 베르누이 효과에 기초한 부압이 서로 대응하는 위치들에 생성되는 것을 특징으로 하는 이송방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 베르누이 효과에 기초한 부압이 벨트의 길이방향 변부들 각각에 생성되는 위치들 사이의 거리는 동일한 것을 특징으로 하는 이송방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 베르누이 효과에 기초하며 벨트의 길이방향 변부들 각각에 있는 개별 위치에서 생성된 부압은 동일한 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 이송방법.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 베르누이 효과에 기초한 부압을 생성하기 위한, 유동 시스템에 의해 조절되는 압축된 공기의 공급이 컨베이어 벨트의 벨트가 가지는 길이방향 변부들 또는 길이방향 변부 상에 복수 개의 위치들 모두에서 컴퓨터-제어 방식으로 발생되는 것을 특징으로 하는 이송방법.
  9. 평평한 이송 물품, 특히 실리콘 웨이퍼와 태양 전지와 같은 기판(3)을 이송하기 위한 하나 이상의 컨베이어 벨트(2) 및 흡입 장치(4)를 포함하며, 상기 기판(3)이 이송 동안 적어도 주기적으로 하나 이상의 컨베이어 벨트(2)의 이송 표면(5)상에서 흡입에 의해 고정되는 컨베이어 벨트 시스템(1)에 있어서,
    - 이송 방향(6)으로 구동하는 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 두 개의 길이방향 변부(7)들 각각을 따라서 대응하는 위치가 배열되며, 베르누이 흡입 효과가 생성되는 상기 흡입 장치(4)의 하나 이상의 챔버(10)가 가지는 하나 이상의 유출구(9)가 형성되고,
    - 압축 공기와 같은 압력 유체(11)가 하나 이상의 유입구(12)를 통하여 챔버(10)로 공급되며, 유입구의 횡단면은 챔버(10)의 유출구(9)의 횡단면보다 더 크게 형성되며,
    - 상기 기판(3)은 컨베이버 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 길이방향 변부(7)들을 따라서 베르누이식 흡입 장치(4)에 의해 생성된 베르누이 효과에 의해 야기된 부압과 대기압 사이의 압력 차에 의해 컨베이어 벨트(2)의 이송 표면(5)상에 균일한 압력으로 고정되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트 시스템.
  10. 제 9 항에 있어서, 베르누이식 흡입 장치(4)는 복수 개(a 개)의 챔버(10)와 복수 개(b 개)의 유출구를 가지며, 이 챔버들과 유출구들은 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 각각의 길이방향 변부(7)들에 대해 동일하게 형성되어서, 유출구(9)들이 대응하는 위치에서 서로 동일하게 이격하여 배열되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 두 개의 길이방향 변부(7)들 각각을 따라서 복수 개의 챔버(10)와 복수 개의 유출구(9)가 대응되며,
    서로에 대응하는 위치들에서 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 두 개의 길이방향 변부(7)들 상에 배열된 두 개의 유출구(9)가 하나의 챔버(10)에 할당되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트 시스템.
  12. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 기판(3)의 이송 동안 베르누이식 흡입 장치(4)가 가지는 복수 개(a 개)의 챔버(10)들 중 특정 개수(c 개)의 챔버(10)들만이 기판(3)의 이송 동안 항상 기판(3)에 의해 덮혀지며, 베르누이식 흡입 장치(4)에 의해 제어되고, 상기 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 길이방향의 변부(7)들 각각을 따라 이송 방향(6)으로 유출구(9)가 차례로 할당되어서, 기판(3)의 이송 동안 이송 방향(6)으로 개별 기판(3)의 전방 변부(13)에 의해 이송 방향(6)으로 다음 유출구(9)가 커버링 되지마자, 상기 유출구(9)에 할당된 챔버(10)가 자동으로 제어되며, 기판의 이송 동안 문제되는 기판(3)의 후방 변부(14)에 의해 덮혀지지 않은 유출구(9)가 할당된 챔버(10)는 스위치 오프되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트 시스템.
  13. 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 컨베이어 벨트(2)는 순환하는 연속적인 벨트(8)를 가지며, 반대편 방향으로 이동하는 연속적인 벨트의 하부 접촉면(16) 뿐만 아니라 상부 접촉면(15) 상에서, 베르누이 흡입 효과는 컨베이어 벨트(2)의 연속적인 벨트(8)가 가지는 길이방향 변부를 따라서 베르누이식 흡입 장치(4)에 의해 생성되며, 상기 하부 접촉면과 상부 접촉면의 이동 방향에서 연속적인 벨트(8)의 하부 접촉면(16) 뿐만 아니라 상부 접촉면(15)이 컨베이어 벨트의 이송 표면(5)을 형성하며, 상기 이송 표면상에 기판(3)이 베르누이식 흡입 장치(4)에 의해 컨베이어 벨트(2)의 연속적인 벨트(8)가 가지는 길이방향 변부(7)를 따라 생성된 베르누이 효과에 기인한 부압과 대기압의 압력 차로 인해 균일한 압력으로 고정되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트 시스템.
  14. 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 동일한 방향(6)으로 이동하는 두 개의 평행한 컨베이어 벨트(2)가 이들의 마주보는 단부 섹션(17, 18)서 겹쳐지고 서로에 대해 일정한 거리에 배열되어서, 관련된 베르누이식 흡입 장치(4)의 챔버(10)에 할당되며 하부 컨베이어 벨트와 상부 컨베이어 벨트(2)의 벨트(8)가 가지는 길이방향 변부(7)들 상에 제공되는 대응되는 유출구(9)의 교번적 제어를 통하여, 하부 컨베이어 벨트(2)의 이송 표면(5)상 기판들이 상부 컨베이어 벨트(2)의 이송 표면(5)으로 이송될 수 있고 이송 표면상에 위치되며 정 위치에 고정되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트 시스템.
KR1020107021437A 2008-03-16 2009-01-26 평평한 이송 물품을 이송하기 위한 하나 이상의 컨베이어 벨트를 가진 컨베이어 벨트 시스템 및 평평한 이송 물품을 이송하기 위한 방법 KR20100122938A (ko)

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Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008041250A1 (de) * 2008-08-13 2010-02-25 Ers Electronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum thermischen Bearbeiten von Kunststoffscheiben, insbesondere Moldwafern
IT1395196B1 (it) * 2009-07-29 2012-09-05 Skg S R L Centro di lavoro verticale per lastre piane di vetro
US10094785B2 (en) 2011-05-17 2018-10-09 Gii Acquisition, Llc Method and system for optically inspecting headed manufactured parts
WO2016018509A1 (en) * 2014-08-01 2016-02-04 Gii Acquisition, Llc Dba General Inspection, Llc High speed method and system for inspecting a stream of parts
US9228957B2 (en) 2013-05-24 2016-01-05 Gii Acquisition, Llc High speed method and system for inspecting a stream of parts
US10088431B2 (en) 2011-05-17 2018-10-02 Gii Acquisition, Llc Method and system for optically inspecting headed manufactured parts
TW201332871A (zh) * 2011-12-07 2013-08-16 Intevac Inc 高載量太陽能晶圓裝載裝置
KR101809001B1 (ko) * 2012-04-03 2017-12-13 가부시키가이샤 니콘 반송 장치, 및 전자 디바이스 형성 방법
US9486840B2 (en) 2013-05-24 2016-11-08 Gii Acquisition, Llc High-speed, triangulation-based, 3-D method and system for inspecting manufactured parts and sorting the inspected parts
US10207297B2 (en) 2013-05-24 2019-02-19 GII Inspection, LLC Method and system for inspecting a manufactured part at an inspection station
US9539619B2 (en) 2013-05-24 2017-01-10 Gii Acquisition, Llc High speed method and system for inspecting a stream of parts at a pair of inspection stations
CN103587953A (zh) * 2013-10-18 2014-02-19 易兵 一种玻璃运输的导向装置
PT107381B (pt) * 2013-12-23 2018-07-04 Inst Superior Tecnico Processo de oligomerização catalítica utilizando um reactor catalítico para a oligomerização de olefinas em c4-c7
US10300510B2 (en) * 2014-08-01 2019-05-28 General Inspection Llc High speed method and system for inspecting a stream of parts
DE202015002724U1 (de) 2015-04-14 2015-05-06 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Bereitstellen und Bevorraten von folienartigen Bauelementen
CN107546142B (zh) * 2016-06-28 2024-03-29 南京卓胜自动化设备有限公司 一种连续型硅片或电池片检测分类装置
DE102016214093A1 (de) * 2016-07-29 2018-02-01 Asys Automatisierungssysteme Gmbh Vorrichtung zum Greifen und Transportieren von Substraten
DE102016214095A1 (de) * 2016-07-29 2018-02-01 Asys Automatisierungssysteme Gmbh Vorrichtung zum Greifen und Transportieren von Substraten
DE102018106544B3 (de) * 2018-03-20 2019-06-27 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Transport einer Anordnung flexibler Schaltungssubstrate während der Herstellung eines Verbunds daraus
CN108820704B (zh) * 2018-05-10 2020-01-17 深圳市志凌伟业技术股份有限公司 一种设置于传送带上防止产品划伤的承载板
CN108749013B (zh) * 2018-05-10 2020-02-07 重庆佑威电子有限公司 一种自定位的多层贴合机
CN108638202B (zh) * 2018-05-10 2020-02-07 重庆佑威电子有限公司 绝缘片成型设备
JP7075814B2 (ja) * 2018-05-21 2022-05-26 株式会社荏原製作所 基板保持装置、基板研磨装置、弾性部材および基板保持装置の製造方法
CN109671659A (zh) * 2018-12-24 2019-04-23 苏州沃特维自动化系统有限公司 电池片连续悬浮上料系统
WO2020187426A1 (en) * 2019-03-21 2020-09-24 Mouvent Ag Inkjet printing machine for printing individual sheets
DE102019003333A1 (de) 2019-05-10 2020-11-12 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Fertigungssystem für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen
CN111977375B (zh) * 2019-05-21 2022-01-18 晶彩科技股份有限公司 薄板输送装置及其方法
CN113666110A (zh) * 2021-08-04 2021-11-19 上海君诺包装技术有限公司 一种药板传送装置
CN114733795A (zh) * 2022-05-09 2022-07-12 苏州天准科技股份有限公司 碎料检测剔除装置、检测剔除方法和分选系统
CN116534565A (zh) * 2023-07-07 2023-08-04 光子(深圳)精密科技有限公司 一种高速分料设备

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2128953B (en) * 1982-10-28 1986-04-09 Bishopbarn Ltd Conveyor with suction means for holding articles in contact therewith
US4589398A (en) * 1984-02-27 1986-05-20 Pate Ronald C Combustion initiation system employing hard discharge ignition
IT1224629B (it) * 1988-05-24 1990-10-04 Simimpianti Srl Rispettivamente lo scaricamento di dispositivo per il caricamento una pressa per il trattamento dipannelli.
US5127511A (en) * 1991-01-31 1992-07-07 Philip Morris Incorporated Methods and apparatus for feeding and assembling cylindrical articles from bulk at high speed
US6102191A (en) * 1996-04-15 2000-08-15 Tridelta Magnetsysteme Gmbh Device for transporting flat, especially plate-like objects
ATE189797T1 (de) * 1996-04-15 2000-03-15 Tridelta Magnetsysteme Gmbh Vorrichtung zum transport von flachen, insbesondere plattenförmigen gegenständen
US5878868A (en) * 1996-05-06 1999-03-09 Ikegami Tsushinki Co., Ltd. Object inspection apparatus
DE19727361C5 (de) * 1997-06-27 2004-02-05 Wemhöner Fördertechnik GmbH & Co KG Fördervorrichtung
US6008476A (en) * 1997-08-04 1999-12-28 Motorola, Inc. Apparatus for indexing and affixing components to a substrate
US6510940B1 (en) * 1999-03-22 2003-01-28 Ascor, Inc. Vacuum assisted walking beam apparatus
US6227541B1 (en) * 1999-07-01 2001-05-08 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Multiple conveyor assembly and method for rotating and placing a strip of material on a substrate
DE19942498B4 (de) * 1999-09-06 2008-02-07 Nsm Magnettechnik Gmbh & Co. Kg Bandfördereinrichtung für den insbesondere hängenden Transport von Transportgütern mittels Unterdruck
DE10062011B4 (de) * 2000-12-13 2005-02-24 Infineon Technologies Ag Halteeinrichtung
DE10104510B4 (de) * 2001-01-31 2005-06-23 Neuhäuser GmbH Vorrichtung zum Transport von Werkstücken
ES2227364T3 (es) * 2001-06-15 2005-04-01 Ltg Mailander Gmbh Dispositivo para el transporte y apilado de procutos, especialmente en forma de planchas, y procedimiento correspondiente.
US7296792B2 (en) * 2004-01-19 2007-11-20 Marquip, Llc Self-valving vacuum distribution for a belt-driven sheet conveyor
NL1025595C2 (nl) * 2004-02-12 2005-08-15 Beiler Beheer Bv Werkwijze en inrichting voor het transporteren van een vel.
US7866662B2 (en) * 2004-11-12 2011-01-11 Osi Machinerie Inc. Synchronized vacuum belt feeder
JP4413789B2 (ja) * 2005-01-24 2010-02-10 東京エレクトロン株式会社 ステージ装置および塗布処理装置
FI120446B (fi) * 2007-08-29 2009-10-30 Raute Oyj Imuhihnakuljetin

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