DE102019003333A1 - Fertigungssystem für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen - Google Patents

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Abstract

Ein Fertigungssystem für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen mit wenigstens einer entlang eines Förderweges angeordneten Fertigungsstation, umfassend eine Solarzellenreinigungsstation, wobei die Solarzellenreinigungsstation dazu eingerichtet ist, eine Dünnschicht-Solarzelle mit zumindest einer Via zu reinigen und durch die Reinigung der Dünnschicht-Solarzelle ein Material, insbesondere einen dielektrischen Fertigungsmaterialrückstand, aus der Via auszutragen.

Description

  • Hintergrund
  • Hier wird ein System zur Fertigung von flexiblen, dünnschichtigen Bauelementen, insbesondere von folienartigen Solarzellen, offenbart, die in der Dünnschichtsolartechnologie zur Anwendung kommen.
  • Solarzellen sind ein wesentlicher Bestandteil von Photovoltaikmodulen. Die Dünnschichtsolartechnologie ermöglicht gegenüber der traditionellen, auf Siliziumwaferscheiben basierenden Solartechnologie eine leichte, dünne und flexible Ausgestaltung von Solarzellen. Die Dünnschicht-Solarzellen erschließen - wegen ihrer vorteilhaften Ausgestaltung - zunehmend neue Anwendungsfelder. Die Bedeutung der Dünnschichtsolartechnologie nimmt somit stetig zu.
  • Dünnschicht-Solarzellen unterscheiden sich von traditionellen, auf Siliziumwafern basierenden Solarzellen vor allem in den Schichtdicken der eingesetzten Materialien. Beispielsweise ist die in Dünnschicht-Solarzellen eingesetzte Absorberschicht im Vergleich zu siliziumbasierten Solarzellen etwa 100-mal dünner und flexibel. Ein derartiger Aufbau hat jedoch Auswirkungen auf das Produktionsverfahren, da die dünnschichtigen, folienartigen Bauelemente, welche den Schichtaufbau der Dünnschicht-Solarzelle bilden, schwerer handhabbar sind.
  • Die geringe Schichtdicke der Bauelemente hat zur Folge, dass die in den Bauelementen vorherrschenden Eigenspannungen eine plastische Verformung verursachen. Eigenspannungen können dabei durch eine Vielzahl von äußeren Einflüssen, wie beispielsweise Temperatur, mechanische Einwirkung, Luftfeuchtigkeit etc., induziert werden. In manchen Fällen können Eigenspannungen ein Einrollen der folienartigen Bauelemente verursachen.
  • Weiterhin beinträchtigen elektrostatische Effekte die Handhabung derartiger Bauteile. Ein hohes Oberflächen-zu-Volumen-Verhältnis sowie eine geringe Masse können beispielsweise ein Aneinanderhaften der zu verarbeitenden Bauelemente bewirken.
  • Diese Effekte erschweren somit den Transport, die Lagerung und die Bereitstellung derartiger Bauelemente.
  • Üblicherweise sind werden Dünnschicht-Solarzellen daher mit speziellen Fertigungssystemen gefertigt, die mehrere Fertigungsstationen umfassen. Die Dünnschicht-Solarzellen bzw. Vor- oder Teilprodukte von Dünnschicht-Solarzellen werden hierbei entlang eines Förderweges an den einzelnen Fertigungsstationen vorbei gefördert, wobei jede der Fertigungsstationen einen oder mehrere Bearbeitungsschritte an den Dünnschicht-Solarzellen bzw. deren Vor- oder Teilprodukten vornimmt.
  • Aus dem Stand der Technik, wie beispielsweise aus der DE 103 45 576 A1 und der DE 20 2008 003 610 U1 , sind Vorrichtungen zum Transportieren von flachen Siliziumwafern bekannt. Die Vorrichtungen umfassen ein mit Öffnungen versehenes Transportband, auf dem die Siliziumwafer angeordnet sind. Um die Haftung der Siliziumwafer am Transportband zu erhöhen, wird ein Unterdruck mittels der Öffnungen auf die Siliziumwafer angewendet.
  • Sollen jedoch mehrere Dünnschicht-Solarzellen zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung verschaltet werden und, zum Beispiel, mittels Unterdruck aneinandergepresst und/oder miteinander verklebt werden, so müssen die Dünnschicht-Solarzellen hierzu zunächst möglichst exakt ausgerichtet werden. Eventuell auftretende Lagefehler der Solarzellen, zum Beispiel auf einem Förderband mit dem die Solarzellen an mehreren Fertigungsstationen vorbeigeführt werden, sollen möglichst korrigiert werden. Die Förderung der Dünnschicht - Solarzellen entlang eines Förderwegs erlaubt jedoch nur eine Positionskorrektur entlang einer ersten Achse, also in einer Richtung parallel zum Förderweg. Dennoch können im Fertigungsprozess auch Fehlpositionierungen der Dünnschicht-Solarzellen entlang einer anderen Achse, welche nicht parallel zum Förderweg verläuft auftreten.
  • Weiter kann es auch während des Fertigungsprozesses der einzelnen Dünnschicht-Solarzellen bis unmittelbar vor deren Zusammenschaltung zu einer mehrere Solarzellen umfassenden Dünnschicht-Solarzellenanordnung zur Beschädigung der einzelnen Zellen kommen. Ein Entfernen der einzelnen beschädigten Solarzellen vor deren Zusammenschaltung mit weiteren Solarzellen zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung ist daher wünschenswert, da ansonsten wäre die komplette gefertigte Dünnschicht-Solarzellenanordnung als fehlerbehaftet zu verwerfen.
  • Schließlich ist es fertigungstechnisch üblich, eine (rückseitige) Metallisierung von Dünnschicht-Solarzellen mit einem auf die Metallisierung aufgebrachten dielektrischen Schutzfilm zu versehen, wobei die Metallisierung zur elektrischen Kontaktierung der einzelnen Dünnschicht-Solarzellen, insbesondere zur Kontaktierung der einzelnen Dünnschicht-Solarzellen miteinander, zumindest stellenweise elektrisch leitfähig freigelegt werden muss. Hierbei treten bei bekannten Freilegungsvorrichtungen, zum Beispiel Laserperforierungsvorrichtungen, welche den dielektrischen Schutzfilm zumindest teilweise perforieren und eine Metallisierung zumindest teilweise zur elektrischen Kontaktierung freilegen, regelmäßig dielektrische Verunreinigungen bzw. Fertigungsmaterialrückstände in den Freilegungen (Vias) auf, welche eine elektrische Kontaktierung der Metallisierung behindern.
  • Aufgabe
  • Hieraus ergibt sich als Aufgabe, ein System zur Fertigung von Dünnschicht-Solarzellen bereitzustellen, das einerseits dazu geeignet ist, möglicherweise auftretende Lagefehler einzelner Solarzellen vor deren Zusammenschaltung zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung zu korrigieren und das andererseits dazu geeignet ist, eine zuverlässige elektrische Kontaktierung der Dünnschicht-Solarzellen zu gewährleisten.
  • Vorgeschlagene Lösung
  • Zur Lösung dieser Aufgabe wird eine Vorrichtung nach dem Anspruch 1 vorgeschlagen. Vorteilhafte Weiterentwicklungen und Ausgestaltungen werden durch auf diesen Anspruch zurückbezogene Ansprüche definiert.
  • Ein Fertigungssystem für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen weist wenigstens eine entlang eines Förderweges angeordnete Fertigungsstation auf. Die Fertigungsstation/en des Fertigungssystems sind jeweils dazu angeordnet und ausgebildet, Dünnschicht-Solarzellen oder Vor- oder Teilprodukte von Dünnschicht-Solarzellen zu bearbeiten. Die Fertigungsstationen sind jeweils dazu angeordnet und ausgebildet, Dünnschicht-Solarzellen oder Vor- oder Teilprodukte von Dünnschicht-Solarzellen zu bearbeiten. Der Förderweg ist hierbei jener Weg, auf dem die Dünnschicht-Solarzellen und/oder die Vor- oder Teilprodukte der Dünnschicht-Solarzellen an den mehreren Fertigungsstationen vorbeigeführt werden. Zum Beispiel können die Dünnschicht-Solarzellen und/oder die Vor- oder Teilprodukte der Dünnschicht-Solarzellen auf einem oder mehreren Förderband/Förderbändern an den mehreren Fertigungsstationen vorbeigeführt werden, sodass die Fertigungsstationen die jeweiligen Dünnschicht-Solarzellen und/oder die Vor- oder Teilprodukte der Dünnschicht-Solarzellen bearbeiten können. Der Förderweg entspricht hierbei dem Verlauf des Förderbandes. Jedoch sind ausdrücklich auch andere Ausführungsformen möglich, bei denen die Dünnschicht-Solarzellen und/oder die Vor- oder Teilprodukte der Dünnschicht-Solarzellen zum Beispiel mit (Vakuum-)Greifern, Schiebern, Haken, Umsetzern oder Saugvorrichtungen über umlaufende Bearbeitungsbänder oder feste Bearbeitungsoberflächen bewegt werden.
  • Das Fertigungssystem weist zumindest eine Solarzellenreinigungsstation auf. Die Solarzellenreinigungsstation ist dazu eingerichtet, eine Dünnschicht-Solarzelle mit zumindest einer Via zu reinigen, wobei durch die Reinigung der Dünnschicht-Solarzelle ein Material, insbesondere ein dielektrischer Fertigungsmaterialrückstand, aus der Via ausgetragen wird.
  • Ein Vorteil hierbei ist, dass Rückstände von nichtleitenden Fertigungsmaterialien aus der/den Via/s entfernt werden können, welche eine nachfolgende elektrische Kontaktierung der Dünnschicht-Solarzellen ansonsten erheblich erschweren können. In der betrieblichen Praxis der Dünnschicht-Solarzellenfertigung stellen fehlerhaft und/oder unzureichend hergestellte elektrische Kontaktierungen zwischen den einzelnen Dünnschicht-Solarzellen eine der relativ häufigsten Ursachen für das Verwerfen gefertigter Dünnschicht-Solarzellenanordnungen dar, wobei die unzureichend und/oder fehlerhaft hergestellten elektrischen Kontaktierungen insbesondere durch den Verbleib von nichtleitenden Materialresten in der/den Vias begründet sind. Die weitere Verbesserung bekannter (Laser-)Perforierungsvorrichtungen, welche die Vias in nichtleitende Schichten einer Dünnschicht-Solarzelle einbringen, zur Reduzierung dieses Problems ist aufwendig und schwierig, da einerseits ein zahlenmäßig hoher Durchsatz von Dünnschicht-Solarzellen des Fertigungssystems pro Zeiteinheit nicht negativ beeinträchtigt werden soll und andererseits eine leitende Schicht der Dünnschicht-Solarzellen nicht durch einen möglicherweise zu energieintensiv eingerichteten Laserstrahl beschädigt werden soll. Somit verbleit in der betrieblichen Praxis häufig zumindest ein nichtleitender Fertigungsmaterialrückstand in der/den Via/s mit den beschrieben Nachteilen für eine Leiterkontaktierung. Die Implementierung einer separaten Solarzellenreinigungsstation, welche als selbstständige Fertigungsstation entlang des Förderweges der Dünnschicht-Solarzellen unmittelbar in das Fertigungssystem integriert ist, stellt daher eine erhebliche technisch-praktische Verbesserung des Fertigungssystems dar. Insbesondere wird eine Beeinträchtigung des zahlenmäßigen Durchsatzes des Fertigungssystems von zu fertigenden Dünnschicht-Solarzellen pro Zeiteinheit durch die separate, entlang des Förderweges angeordnete Solarzellenreinigungsstation nicht beeinträchtigt.
  • Die Solarzellenreinigungsstation kann insbesondere einen Lösungsmittelspender und/oder eine mechanische Abtragungsvorrichtung, insbesondere eine Fräs-, Schleif- oder Bürstvorrichtung, und/oder eine Absaugvorrichtung aufweisen.
  • In einer Variante kann die Solarzellenreinigungsstation dazu eingerichtet sein, zunächst ein Lösungsmittel, zum Beispiel Aceton, in die Via/s einer Dünnschicht-Solarzelle einzubringen um möglicherweise vorhandene dielektrische Materialrückstände von einer leitenden Schicht der Dünnschicht-Solarzelle anzulösen. Weiter kann die Solarzellenreinigungsstation dazu eingerichtet sein, das Lösungsmittel mit den an- oder aufgelösten Materialrückständen abzusaugen oder abzuwischen.
  • In einer Ausführungsform kann die Solarzellenreinigungsstation dazu eingerichtet sein, möglicherweise vorhandene dielektrische Materialrückstände von einer leitenden Schicht der Dünnschicht-Solarzelle/n mittels Fräsen, Schleifen oder Bürsten mechanisch abzulösen und die abgelösten Materialrückstände abzusaugen oder abzuwischen.
  • Eine weitere Fertigungsstationen des Fertigungssystems kann eine Ausrichtstation sein, die dazu eingerichtet ist, Lage- und Eigenschaftsfehler der entlang des Förderweges geförderten Dünnschicht-Solarzellen, zum Beispiel mit zumindest einem optisch erfassenden Sensor, insbesondere mit einem Kamerasensor, zu ermitteln und die Dünnschicht-Solarzellen abhängig von diesem Ermitteln zu verwerfen oder auszurichten bzw. zu repositionieren. Ein Verwerfen bezeichnet hierbei das Ausschließen einer Dünnschicht-Solarzelle von einer weiteren Fertigung durch das Fertigungssystem.
  • Zu verwerfende Dünnschicht-Solarzellen können von der Ausrichtstation, zum Beispiel mit einem Greifer, insbesondere mit einem Vakuumgreifer, in eine Ausschussaufnahme gefördert werden. Hierdurch können zum Beispiel aufgrund von Eigenschaftsfehlern zu verwerfende Dünnschicht-Solarzellen von einer weiteren Bearbeitung oder Fertigung ausgeschlossen werden. Ein Vorteil hierbei ist, dass bereits während der Fertigung von Dünnschicht-Solarzellenanordnungen einzelne Dünnschicht-Solarzellen von einer Bearbeitung oder Fertigung ausgeschlossen werden können, sodass ein Verwerfen ganzer Dünnschicht-Solarzellenanordnungen aufgrund einzelner fehlerhafter Dünnschicht-Solarzellen vermieden werden kann.
  • Die Ausrichtstation kann ferner dazu eingerichtet sein, entlang des Förderweges geförderte Dünnschicht-Solarzellen abhängig vom Ermitteln der Lagefehler entlang einer ersten Achse und entlang einer zur ersten Achse orthogonal angeordneten zweiten Achse auszurichten bzw. zu repositionieren. Die erste Achse kann zum Beispiel parallel zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen angeordnet sein. Mit anderen Worten kann beschrieben werden, dass die Ausrichtstation dazu eingerichtet ist, die geförderten Dünnschicht-Solarzellen auf einer Oberfläche, zum Beispiel auf der Oberfläche eines Förderbandes oder eines Bearbeitungstisches auszurichten bzw. zu repositionieren, wobei die Ausrichtung bzw. Repositionierung entlang einer ersten (Bewegungs-) Achse bzw. Richtung und entlang einer zweiten (Bewegungs-)Achse bzw. Richtung vorgenommen werden kann. Die Ausrichtstation kann die Dünnschicht-Solarzellen im einer Bearbeitungsebene ausrichten bzw. Repositionieren.
  • Die Ausrichtstation kann weiter dazu eingerichtet sein, die geförderten Dünnschicht-Solarzellen abhängig vom Ermitteln der Lagefehler um eine zur ersten und zur zweiten Achse orthogonalen dritte Achse zu rotieren. Die dritte Achse verläuft parallel zu einer Flächennormalen der durch die erste und die zweite Achse aufgespannten Ebene.
  • Eine weitere Fertigungsstation kann eine Verschaltungsstation sein, die dazu eingerichtet ist, mehrere Dünnschicht-Solarzellen jeweils teilweise einander überlappend anzuordnen und miteinander zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung zu verschalten. Insbesondere kann die Verschaltungsstation die von der Ausrichtungsstation ausgerichteten bzw. repositionierten Dünnschicht-Solarzellen miteinander zu Dünnschicht-Solarzellenanordnungen zusammenführen. Ein Ausrichten der Dünnschicht-Solarzellen durch die Verschaltungsstation, insbesondere ein Ausrichten der Dünnschicht-Solarzellen in einer Richtung parallel und/oder orthogonal zur Förderrichtung der Dünnschicht-Solarzellen, kann unterbleiben kann oder entbehrlich sein.
  • In einer Ausführungsform kann die Ausrichtstation entlang des Förderwegs der Dünnschicht-Solarzellen vor der Verschaltungsstation angeordnet sein. Insbesondere können die Ausrichtstation und die Verschaltungsstation aufeinanderfolgend entlang des Förderwegs angeordnet sein, wobei keine weiteren Bearbeitungsstationen des Fertigungssystems zwischen der Ausrichtstation und der Verschaltungsstation entlang des Förderwegs angeordnet ist. Ein Vorteil hierbei ist, dass die einzelnen Dünnschicht-Solarzellen durch die Ausrichtstation so angeordnet werden können, dass auf eine Repositionierung der Dünnschicht-Solarzellen durch die Verschaltungsstation zumindest teilweise verzichtet werden kann. Insbesondere kann bei der Verschaltungsstation auf ein Ausrichten der Dünnschicht-Solarzellen in der Förderrichtung verzichtet werden.
  • Die Ausrichtstation kann zur Handhabung der geförderten Dünnschicht-Solarzellen zum Beispiel zumindest einen Greifer, insbesondere einen Vakuumgreifer, aufweisen, der dazu eingerichtet ist, eine Dünnschicht-Solarzelle, zumindest in einem vorbestimmten Bereich, sowohl entlang der ersten Achse als auch entlang der zweiten Achse zu bewegen. Weiter kann der (Vakuum-)Greifer auch dazu eingerichtet sein, eine Dünnschicht-Solarzelle, zumindest in einem vorbestimmten Bereich um die dritte Achse zu rotieren. Der (Vakuum-)Greifer kann mehrere, insbesondere hydraulisch oder elektrisch betriebene, Aktoren, zum Beispiel einen oder mehrere elektrische Linearantriebe, aufweisen.
  • Weiter kann die Ausrichtstation zum Ermitteln von Lage- und Eigenschaftsfehlern der geförderten Dünnschicht-Solarzellen zumindest einen Sensor, insbesondere einen optisch erfassenden Sensor, aufweisen. Zum Beispiel kann die Ausrichtstation zumindest einen bildgebenden Sensor oder auch Kamerasensor aufweisen, der dazu geeignet ist, sowohl Lage- als auch Eigenschaftsfehler der geförderten Dünnschicht-Solarzellen zu ermitteln.
  • In einer Ausführungsform kann die Verschaltungsstation mehrere, insbesondere zwei oder vier, Verschaltungsgreifköpfe aufweisen, die dazu eingerichtet sind, entlang des Förderwegs geförderte Dünnschicht-Solarzellen von, insbesondere zueinander parallelen, Fertigungsspuren der Verschaltungsstation aufzunehmen und in einen Unterdruckbereich der Verschaltungsstation zu fördern.
  • In einer Ausführungsform weist die Verschaltungsstation zwei zueinander parallele Fertigungsspuren mit insgesamt vier Verschaltungsgreifköpfen auf.
  • Die mehreren Verschaltungsgreifköpfe der Ausrichtstation können jeweils gemeinsam bzw. zueinander synchron entlang der ersten Achse beweglich sein. Ferner können die mehreren Verschaltungsgreifköpfe jeweils voneinander unabhängig zumindest entlang der zweiten Achse ausrichtbar und/oder um eine zur ersten und zur zweiten Achse orthogonalen dritten Achse rotierbar sein. Die erste Achse verläuft hierbei parallel zur Förderrichtung der Dünnschicht-Solarzellen, die zweite Achse verläuft hierbei orthogonal zur Förderrichtung der Dünnschicht-Solarzellen und die dritte Achse verläuft hierbei parallel zu einer Flächennormalen einer durch die erste Achse und die zweite Achse definierten/aufgespannten Ebene.
  • Die Verschaltungsstation kann dazu eingerichtet sein, eine Orientierung der von den Verschaltungsgreifköpfen geförderten Dünnschicht-Solarzellen mit einer optisch erfassenden Sensorik, insbesondere mit einer Kamerasensorik, zu erfassen und abhängig von diesem Erfassen die Förderung der Dünnschicht-Solarzellen in den Unterdruckbereich zu steuern.
  • Insbesondere kann die optisch erfassende Sensorik der Verschaltungsstation eine (Unter-) Seite der jeweils durch die Verschaltungsgreifköpfe geförderten Dünnschicht-Solarzellen erfassen und die Korrektur eines Lagefehlers der jeweils durch die Verschaltungsgreifköpfe geförderten Dünnschicht-Solarzellen entlang der zweiten Achse und/oder durch eine Rotation um die dritte Achse initiieren. Mit anderen Worten kann beschrieben werden, dass die Verschaltungsstation eine Rotation der Dünnschicht-Solarzellen um die dritte Achse und/oder eine Verschiebung der Dünnschicht-Solarzellen entlang der zweiten Achse bewirken kann, um festgestellte Lagefehler der geförderten Dünnschicht-Solarzellen zu korrigieren.
  • Die Verschaltungsstation kann in einer Ausführungsform dazu eingerichtet sein, eine Abdeckfolie, insbesondere eine perforierte Abdeckfolie, auf den mehreren teilweise einander überlappenden Dünnschicht-Solarzellen anzuordnen. Die Abdeckfolie kann mit einem Luft-Unterdruck an die mehreren teilweise einander überlappenden Dünnschicht-Solarzellen angepresst werden. Hierdurch können die einzelnen einander teilweise überlappend angeordneten Dünnschicht-Solarzellen aneinander angepresst werden, um eine Dünnschicht-Solarzellenanordnung herzustellen. Der Unterdruck, welcher durch die Verschaltungsstation erzeugt wird, kann zwischen 1 mbar und 12 mbar, bevorzugt 5 mbar betragen.
  • Weiter kann die Verschaltungsstation eine Abdeckfolienbereitstellungsvorrichtung umfassen, die dazu ausgebildet und angeordnet ist, Abdeckfolien bereitzustellen und in einer winklig zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen verlaufenden Nebenförderrichtung zur Verschaltungsstation zu fördern. Die Abdeckfolien können unterdruckdurchlässige, insbesondere perforierte, Kunststofffolien sein.
  • Ein Vorteil der Förderung der Abdeckfolien in einer Richtung winklig zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen ist, dass die Abdeckfolienbereitstellungsvorrichtung raumeffizient neben dem Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen angeordnet werden kann.
  • Optional kann das Fertigungssystem und/oder zumindest eine einzelne Fertigungsstation des Fertigungssystems dazu angeordnet und ausgebildet sein, jeweils zwei oder mehr Dünnschicht-Solarzellen oder deren Vor- oder Teilprodukte zumindest im Wesentlichen zueinander parallel entlang des Förderweges zu fördern. Mit anderen Worten kann beschrieben werden, dass das Fertigungssystem zumindest abschnittsweise mehrere zueinander parallele Förderspuren aufweisen kann, die räumlich und zeitlich parallel mehrere gleichartige Dünnschicht-Solarzellen entlang des Förderwegs fördern. Zum Beispiel können mehrere Dünnschicht-Solarzellen nebeneinander auf einem Förderband angeordnet sein und von dem Förderband entlang des Förderweges gefördert werden. Auch Fertigungssysteme mit mehreren zumindest abschnittsweise zueinander parallel verlaufenden Förderbändern, die zeitlich und räumlich parallel zueinander jeweils eine oder mehrere Dünnschicht-Solarzellen fördern, sind möglich. Ausdrücklich sind auch Ausführungsformen möglich, bei denen die mehreren Dünnschicht-Solarzellen und/oder die Vor- oder Teilprodukte der Dünnschicht-Solarzellen zumindest abschnittsweise zueinander parallel zum Beispiel mit (Vakuum-)Greifern, Schiebern, Haken, Umsetzern oder Saugvorrichtungen über umlaufende Bearbeitungsbänder oder feste Bearbeitungsoberflächen bewegt werden. Die mehreren Dünnschicht-Solarzellen und/oder die Vor- oder Teilprodukte der Dünnschicht-Solarzellen sind insbesondere dann zueinander parallel angeordnet/gefördert, wenn diese jeweils zumindest im Wesentlichen an einer zum Förderweg orthogonal verlaufenden gemeinsamen Ausrichtachse angeordnet sind.
  • Weiter kann das Fertigungssystem dazu angeordnet und ausgebildet sein, jeweils zwei oder mehr Dünnschicht-Solarzellen durch eine oder mehrere entlang des Förderweges angeordnete Fertigungsstationen gleichzeitig zu bearbeiten. Weiter können jeweils zwei oder mehr zueinander parallel angeordnete bzw. parallel zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen geförderte Dünnschicht-Solarzellen durch die Fertigungsstationen des Fertigungssystems bearbeitet werden. Die einzelnen Fertigungsstationen können hierzu insbesondere mehrere zueinander parallelverlaufende und gleichartig ausgestaltete Bearbeitungsspuren für Dünnschicht-Solarzellen oder deren Vor- oder Teilprodukte aufweisen.
  • In einer Ausführungsform kann der zumindest eine Greifer der Ausrichtstation zur Handhabung von zumindest zwei der zumindest im Wesentlichen zueinander parallel geförderten Dünnschicht-Solarzellen ausgebildet sein. Insbesondere kann der Greifer der Ausrichtstation dazu angeordnet und ausgebildet sein, sowohl Dünnschicht-Solarzellen, die auf einer ersten Bearbeitungsspur der Ausrichtstation entlang des Förderwegs gefördert werden, zu verwerfen und/oder auszurichten bzw. zu repositionieren, als auch Dünnschicht-Solarzellen die auf einer ersten Bearbeitungsspur der Ausrichtstation entlang des Förderwegs gefördert werden, zu verwerfen und/oder auszurichten bzw. zu repositionieren. Der Greifer der Ausrichtstation kann somit zur Ausrichtung/Repositionierung von parallel zueinander geförderten Dünnschicht-Solarzellen dienen.
  • Insbesondere in Ausführungsformen, in denen die Verschaltungsstation lediglich zur Korrektur von Lagefehlern einzelner Dünnschicht-Solarzellen entlang einer zweiten Achse und/oder zu einer Rotation einzelner Dünnschicht-Solarzellen um eine dritte Achse eingerichtet ist, ist es besonders vorteilhaft, die entlang des Förderwegs geförderten Dünnschicht-Solarzellen mit dem Greifer der Ausrichtstation zumindest in einer Richtung parallel zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen bzw. entlang der ersten Achse auszurichten, bevor die Dünnschicht-Solarzellen zur Ausrichtstation gefördert werden. Hierdurch kann das Auftreten von Anordnungsfehlern der Dünnschicht-Solarzellen in einer Richtung parallel zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen bzw. entlang der ersten Achse bei der Handhabung der Dünnschicht-Solarzellen durch die Verschaltungsstation vermieden werden.
  • Weiter kann das Fertigungssystem eine oder mehrere weitere Fertigungsstation/en umfassen, zum Beispiel eine Solarzellenbereitstellungsvorrichtung und/oder eine Solarzelleninspektionsstation und/oder eine Laserbearbeitungsstation und/oder eine Klebstoffapplikationsstation und/oder eine Solarzellenerhitzungsstation und/oder eine Feeder-Kontaktierungsstation und/oder eine Abdeckfolienentfernungsstation.
  • Die Solarzellenbereitstellungsvorrichtung kann dazu eingerichtet sein, Dünnschicht-Solarzellen, zum Beispiel mittels eines Zuführungstransportbandes, bereitzustellen.
  • Die Solarzelleninspektionsstation kann dazu eingerichtet sein, Eigenschaftsfehler der entlang des Förderweges geförderten Dünnschicht-Solarzellen zu ermitteln und die Dünnschicht-Solarzellen abhängig von diesem Ermitteln zu verwerfen. Zur Inspektion der Dünnschicht-Solarzellen kann die Inspektionsstation zumindest einen bildgebenden Sensor aufweisen, zum Beispiel einen Kamerasensor. Zur Inspektion können die Dünnschicht-Solarzellen insbesondere mit UV-Licht beleuchtet werden, wobei der zumindest eine bildgebende Sensor auch zur Erfassung von Licht im ultravioletten Wellenlängenbereich geeignet sein kann.
  • Die Laserbearbeitungsstation kann dazu eingerichtet sein, entlang des Förderweges geförderte Dünnschicht-Solarzellen jeweils mit einem Strahl aus Laserlicht teilweise zu perforieren, sodass jeweils zumindest eine Via, welche jeweils zumindest eine dielektrische Schicht der Dünnschicht-Solarzellen durchdringt, hergestellt ist. Mit anderen Worten kann beschrieben werden, dass die Laserbearbeitungsstation dazu eingerichtet ist, zumindest einen Teil einer nichtleitenden Schicht einer Dünnschicht-Solarzelle durch die Einwirkung eines Strahls aus Laserlicht zu entfernen um eine Kontaktierung einer leitenden Schicht der Dünnschicht-Solarzelle zu ermöglichen. Die mittels des Strahls aus Laserlicht hergestellte Ausnehmung in der nichtleitenden Schicht der Dünnschicht-Solarzelle kann als Via bezeichnet werden.
  • In einer Variante des Fertigungssystems kann die Solarzellenbereitstellungsvorrichtung dazu eingerichtet sein, bereits vorperforierte bzw. bereits mit Vias versehene Dünnschicht-Solarzellen bereitzustellen. Diese Variante des Fertigungssystems kann insbesondere ohne eine Laserbearbeitungsstation implementiert werden.
  • Die Klebstoffapplikationsstation kann einen, insbesondere elektrisch nichtleitenden, Klebstoff auf die jeweils entlang des Förderweges geförderten Dünnschicht-Solarzellen auftragen. Der Klebstoff kann zur nachfolgenden Verschaltung bzw. Verbindung der Dünnschicht-Solarzellen zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung durch die Verschaltungsstation dienen. Weiter kann die Klebstoffapplikationsstation einen elektrisch leitenden Leitkleber in jeweils zumindest eine Via der jeweils entlang des Förderweges geförderten Dünnschicht-Solarzellen einfüllen. Der elektrisch leitende Leitkleber kann zur Herstellung einer elektrisch leitenden Kontaktierung zwischen den einzelnen zu verschaltenden Dünnschicht-Solarzellen durch die Verschaltungsstation dienen.
  • Die Solarzellenerhitzungsstation kann insbesondere ein Erhitzungsofen sein. Weiter kann die Solarzellenerhitzungsstation dazu eingerichtet sein, eine durch die Verschaltungsstation hergestellte Dünnschicht-Solarzellenanordnung gemeinsam mit einer Abdeckfolie zu erhitzen. So können insbesondere sowohl ein Klebstoff als auch ein Leitklebstoff, welche auf / zwischen den einzelnen Dünnschicht-Solarzellen der Dünnschicht-Solarzellenanordnung angeordnet sind, verfestigt werden.
  • Die Feeder-Kontaktierungsstation kann dazu eingerichtet sein, Leiterabschnitte (Leiterdrähte) für eine Kontaktierung einer Solarzellenanordnung an eine Verschaltungsstation bereitzustellen.
  • Die Abdeckfolienentfernungsstation kann dazu eingerichtet sein, eine von der Verschaltungsstation auf der Dünnschicht-Solarzellenanordnung angeordnete Abdeckfolie wieder von der Dünnschicht-Solarzellenanordnung zu entfernen.
  • Ein Reinigungsverfahren zum Reinigen einer Dünnschicht-Solarzelle aufweisend zumindest einer Via mittels einer Reinigungsstation zum Beispiels eines Fertigungssystems für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen. Das Reinigungsverfahren umfasst folgende Schritte: Bereitstellen einer Dünnschicht-Solarzelle mit zumindest einer Via; Einbringen eines Lösungsmittels in die Via. Dabei ist das Lösungsmittel dazu bestimmt und geeignet, einen in der Via befindlichen zum Beispiel (elektrisch) nicht leitendene Materialrückstand zumindest teilweise zu verflüssigen. Alternativ oder kumulativ erfolgt ein zumindest teilweises Abtragen des Materialrückstandes in der Via der Dünnschicht-Solarzelle durch ein mechanisches Verfahren, zum Beispiel Hochdruck-Ausblasen, Ausbürsten, Auskratzen, Ausräumen mit einer Räumnadel, oder dergl.; und zumindest teilweises Absaugen und/oder Austragen des Lösungsmittels und/oder des angelösten oder mechanisch abgetragenen Materialrückstands aus der Via.
  • Figurenliste
  • Weitere Merkmale, Eigenschaften, Vorteile und mögliche Abwandlungen werden für einen Fachmann anhand der nachstehenden Beschreibung deutlich, in der auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen ist. Dabei zeigen die Figuren schematisch und beispielhaft jeweils ein Fertigungssystem, Fertigungsstationen eines Fertigungssystems und ein Beispiel für eine Dünnschicht-Solarzelle. Dabei zeigen alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den hier offenbarten Gegenstand. Die Abmessungen und Proportionen der in den Figuren gezeigten Komponenten sind nicht maßstäblich.
    • 1 zeigt ein Beispiel für eine Fertigungsanlage für Dünnschicht-Solarzellen.
    • 2a-2c zeigen schematisch und beispielhaft den Aufbau einer Dünnschicht-Solarzelle.
    • 3 zeigt schematisch und beispielhaft einen Ablauf einer Reinigung einer Dünnschicht-Solarzelle.
    • 4 zeigt schematisch und beispielhaft einen alternativen Ablauf einer Reinigung einer Dünnschicht-Solarzelle.
    • 5 zeigt schematisch und beispielhaft eine Klebstoffapplikationsstation für ein Fertigungssystem für Dünnschicht-Solarzellen.
    • 6 zeigt schematisch und beispielhaft eine Ausrichtstation für ein Fertigungssystem für Dü n nschicht-Solarzellen.
    • 7 zeigt schematisch und beispielhaft eine Ausrichtstation für eine Verschaltungsstation für Dünnschicht-Solarzellen.
    • 8 zeigt schematisch und beispielhaft einen Ablauf einer Verschaltung von mehreren Dünnschicht-Solarzellen zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung.
  • Detailbeschreibung der Figuren
  • 1 zeigt schematisch und beispielhaft ein Fertigungssystem 1000 für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen. Die zunächst unbearbeiteten einzelnen Dünnschicht-Solarzellen werden von einer Solarzellenbereitstellungsvorrichtung (nicht gezeigt) bereitgestellt und anschließend entlang eines Förderweges F von dem Fertigungssystem 1000 gefördert. Die Förderung der Dünnschicht-Solarzellen erfolgt hierbei diskontinuierlich bzw. schrittweise, wobei jeweils zwei einzelne zu fertigende Dünnschicht-Solarzellen zueinander parallel bzw. nebeneinander angeordnet entlang des Förderweges F gefördert werden. Die nebeneinander bzw. jeweils parallel zueinander geförderten Dünnschicht-Solarzellen werden entlang der einzelnen Förderspuren F1 und F2 (siehe nachfolgende Zeichnungen) jeweils räumlich und zeitlich parallel gefördert, wobei die beiden Förderspuren F1 und F2 jeweils zueinander parallel dem Förderweg F folgen.
  • In anderen Ausführungsformen können auch mehrere, insbesondere jeweils vier zueinander parallel bzw. nebeneinander angeordnete Dünnschicht-Solarzellen entlang des Förderwegs gefördert werden.
  • Zunächst erreichen die geförderten Dünnschicht-Solarzellen die Solarzelleninspektionsstation 100, die dazu eingerichtet ist, die Dünnschicht-Solarzellen mit UV-Licht zu beleuchten und mit einem optisch erfassenden Sensor auf Eigenschaftsfehler hin zu untersuchen. Zum Beispiel können die Dünnschicht-Solarzellen die Inspektionsstation durchlaufen, indem sie von der Solarzellenbereitstellungsvorrichtung von einem Bestückkopf ergriffen und von dem Bestückkopf entlang des Förderwegs über die Inspektionsstation hinweg bewegt werden. Die Inspektionsstation kann hierbei eine Unterseite der Solarzellen mit UV-Licht beleuchten und inspizieren.
  • Werden Eigenschaftsfehler der geförderten Dünnschichtsolarzellen festgestellt, so werden diese ausgesondert und von der weiteren Fertigung durch das Fertigungssystem 1000 ausgeschlossen. Dieses geschieht dadurch, dass die eigenschaftsfehlerbehafteten Dünnschicht-Solarzellen entlang eines winklig zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen F verlaufenden Aussonderungspfades A in eine Aussonderungsaufnahme 150 gefördert werden.
  • Die nicht als fehlerbehaftet ermittelten Dünnschicht-Solarzellen werden weiter entlang des Förderweges zu einer Laserbearbeitungsstation 200 gefördert, welche mittels eines Strahls aus Laserlicht Ausnehmungen bzw. Vias in zumindest einer nichtleitenden Schicht der geförderten Dünnschicht-Solarzellen herstellen, welche eine spätere elektrische Kontaktierung einer von der zumindest einen nichtleitenden Schicht abgedeckten leitenden Schicht ermöglichen. Die Laserbearbeitungsstation 200 ist nicht in allen Ausführungsformen des Fertigungssystems 1000 notwendig. Insbesondere können auch Ausführungsformen des Fertigungssystems 1000 implementiert werden, bei welchen bereits vorperforierte Dünnschicht-Solarzellen, welche bereits vorbereitete Vias zur elektrischen Kontaktierung aufweisen, durch die Solarzellenbereitstellungsvorrichtung bereitgestellt werden.
  • Die mit den Vias versehenen Dünnschicht-Solarzellen werden anschließend entlang des Förderweges F zur Solarzellenreinigungsstation 300 gefördert, welche möglicherweise in den Vias verbliebene nichtleitende Materialrückstände entfernt, die eine spätere Kontaktierung der geförderten Dünnschicht-Solarzellen negativ beeinflussen könnten. Zur detaillierten Beschreibung der Solarzellenreinigung sei auf die 2 und die 3 sowie die zugehörige Figurenbeschreibung verwiesen.
  • Nach Abschluss der Reinigung werden die Dünnschicht-Solarzellen anschließend entlang des Förderweges F zur Klebstoffapplikationsstation 400 gefördert, welche einen Klebstoff auf einer Oberfläche der jeweiligen geförderten Dünnschicht-Solarzellen anordnet und einen Leitklebstoff in den Vias der jeweiligen geförderten Dünnschicht-Solarzellen anordnet. Zur detaillierten Beschreibung der Klebstoffapplikationsstation 400 sei auf die 5 sowie auf die zugehörige Figurenbeschreibung verwiesen.
  • Nachdem die Klebstoffe auf die geförderten Dünnschicht-Solarzellen appliziert wurden, werden diese weiter zur Ausrichtstation 500 gefördert, welche die Dünnschicht-Solarzellen auf Lagefehler untersucht und gegebenenfalls repositioniert. Weiter untersucht die Ausrichtungsstation 500 die geförderten Dünnschicht-Solarzellen auf, gegebenenfalls erst während der Handhabung der Dünnschicht-Solarzellen durch das Fertigungssystem 1000 verursachte, Eigenschaftsfehler und schließt die als fehlerhaft bewerteten Dünnschicht-Solarzellen von einer weiteren Fertigung durch das Fertigungssystem 1000 aus. Dieses geschieht, indem die eigenschaftsfehlerbehafteten Dünnschicht-Solarzellen entlang eines winklig zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen F verlaufenden zweiten Aussonderungspfades A' in eine zweite Aussonderungsaufnahme 550 gefördert werden. Zur detaillierten Beschreibung der Ausrichtstation 500 sei auf die 6 sowie die zugehörige Figurenbeschreibung verwiesen.
  • Die durch die Ausrichtstation 500 ausgerichteten Dünnschicht-Solarzellen werden anschließend weiter zur Verschaltungsstation 600 gefördert. Die Verschaltungsstation 600 verschaltet die einzelnen geförderten Dünnschicht-Solarzellen zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung. Von einer Feeder-Kontaktierungsstation 800 werden hierfür Leiterabschnitte (Leiterdrähte) an die Verschaltungsstation 600 bereitgestellt. Weiter wird von einer Abdeckfolienbereitstellungsvorrichtung 650 zumindest eine Abdeckfolie bereitgestellt, welche mit einem Unterdruckverfahren an die mehreren jeweils einander überlappend angeordneten Dünnschicht-Solarzellen angepresst wird, sodass diese miteinander zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung fixiert und verklebt bzw. verschaltet werden. Zur detaillierten Beschreibung der Verschaltungsstation 600 sei auf die 7 und die 8 sowie die zugehörige Figurenbeschreibung verwiesen.
  • Die miteinander verklebten bzw. miteinander verschalteten Dünnschicht-Solarzellen werden anschließend gemeinsam mit der Abdeckfolie zu einer Solarzellenerhitzungsstation 700 gefördert. Die Solarzellenerhitzungsstation 700 kann insbesondere ein Ofen sein, welcher die durch die Verschaltungsstation 600 hergestellte Dünnschicht-Solarzellenanordnung erhitzt. Hierdurch werden sowohl der Klebstoff zur Verbindung der Dünnschicht-Solarzellen als auch der Leitklebstoff zur elektrischen Kontaktierung der Dünnschicht-Solarzellen angetrocknet. Weiter anschließend werden die Dünnschicht-Solarzellenanordnungen zu einer Abdeckfolienentfernungsstation 900 gefördert, welche die von der Verschaltungsstation 600 auf den Dünnschicht-Solarzellen angeordneten Folie/n entfernt bzw. von den Dünnschicht-Solarzellenanordnungen ablöst.
  • 2 zeigt schematisch und beispielhaft eine Dünnschicht-Solarzelle 10, die durch das Fertigungssystem 1000 gehandhabt werden kann. 2a zeigt hierbei eine Frontansicht der Dünnschicht-Solarzelle 10 und 2b zeigt eine Rückansicht der Dünnschicht-Solarzelle 10. Weiter zeigt 2c eine Querschnittsansicht der Solarzelle 10 entlang der in den 2a und 2b gezeigten Schnittachse X - X'.
  • 2a zeigt eine Frontansicht einer Dünnschicht-Solarzelle 10 mit einem Kontaktierungsbereich 12 und einem Solarzellengrid 14.
  • 2b zeigt die Rückansicht derselben Dünnschicht-Solarzelle 10. Die Dünnschicht-Solarzelle 10 weist mehrere Vias 18 auf, die eine elektrische Kontaktierung der Solarzelle mit dem Kontaktierungsbereich einer weiteren Solarzelle ermöglichen. Weiter ist ein Klebstoff 16 auf die gezeigte Dünnschicht-Solarzelle 10 appliziert. Die Applizierung des Klebstoffs 16 kann durch die Klebstoffapplikationsstation 400 des Fertigungssystems 1000 geschehen.
  • 2c zeigt eine Querschnittsansicht der Dünnschicht-Solarzelle 10. Die beispielhaft gezeigte Dünnschicht-Solarzelle 10 hat eine transparente Leitschicht L1, welche auf einer Absorberschicht L2 angeordnet ist. Auf der der Absorberschicht L2 abgewandten Oberfläche der transparenten Leitschicht L1 ist das ebenfalls in 2a gezeigte Solarzellengrid 14 angeordnet. Die Absorberschicht L2 ist auf einer elektrisch leitfähigen Metallisierungsschicht L3, welche zum Beispiel eine Kupferschicht sein kann, angeordnet.
  • Auf der der Absorberschicht L2 abgewandten Oberfläche der elektrisch leitfähigen Metallisierungsschicht L3 sind eine Klebstoffschicht L4 und ein Schutzfilm L5 angeordnet, wobei der Schutzfilm L5 mit der Klebstoffschicht L4 an der elektrisch leitfähigen Metallisierungsschicht L3 befestigt ist. Sowohl der Schutzfilm L5 als auch die Klebstoffschicht L4 sind nicht elektrisch leitend. Um dennoch eine elektrische Kontaktierung der elektrisch leitfähigen Kupferschicht L3 zu ermöglichen, ist eine Via bzw. Ausnehmung 18 in die Klebstoffschicht L4 und in den Schutzfilm L5 eingebracht, welche die Klebstoffschicht L4 und den Schutzfilm L5 durchdringt und die elektrisch leitfähige Metallisierungsschicht L3 zumindest teilweise freilegt, sodass diese elektrisch kontaktiert werden kann.
  • Die Via bzw. Ausnehmung 18 kann zum Beispiel mit der Laserbearbeitungsstation 200 gefertigt werden. Alternativ können auch Dünnschicht-Solarzellen mit bereits vorgefertigten Vias bzw. Ausnehmungen durch das Fertigungssystem 1000 bereitgestellt werden. Sowohl bei einer Fertigung der Dünnschicht-Solarzellen mit einer Laserbearbeitungsstation als auch bei Dünnschicht-Solarzellen mit vorgefertigten Vias können jedoch nichtleitende Materialrückstände und/oder Verunreinigungen in den Vias verbleiben bzw. vorhanden sein. Diese Materialrückstände und/oder Verunreinigungen können eine spätere Kontaktierung der Dünnschicht-Solarzellen miteinander erschweren oder verhindern. Um diesem entgegenzuwirken, werden die Dünnschicht-Solarzellen durch die Solarzellenreinigungsstation 300 gereinigt. wie in der 3 oder der 4 gezeigt.
  • 3 zeigt den Ablauf einer ersten Variante der Reinigung von Dünnschicht-Solarzellen 10 durch die Reinigungsstation 300.
  • Wie schematisch in der 3 gezeigt, befindet sich in einer Via 18 einer Solarzelle 10 ein nichtleitender Materialrückstand R, der eine elektrische Kontaktierung der Metallisierungsschicht L3 der Dünnschicht-Solarzelle 10 (in der 3 aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht gezeigt) zumindest erschwert. (S A1)
  • Daher wird von der Solarzellenreinigungsstation 300 zunächst ein acetonhaltiges Lösungsmittel in die Via 18 eingebracht, welches den nichtleitenden Materialrückstand R anlöst. (S A2)
  • Nachfolgend wird das Lösungsmittel mit dem angelösten Materialrückstand R durch, zum Beispiel durch ein Auswisch- oder Absaugverfahren, aus der Via 18 der Dünnschicht-Solarzelle 10 entfernt. (S A3)
  • Es verbleibt somit eine Dünnschicht-Solarzelle 10 mit zumindest einer Via 18, aus welcher ein nichtleitender Materialrückstand R zumindest im Wesentlichen entfernt wurde. (S A4)
  • 4 zeigt den Ablauf einer zweiten Variante der Reinigung von Dünnschicht-Solarzellen 10 durch die Reinigungsstation 300.
  • Wie schematisch in der 4 gezeigt befindet sich in einer Via 18 einer Solarzelle 10 ein nichtleitender Materialrückstand R, der eine elektrische Kontaktierung der Metallisierungsschicht L3 der Dünnschicht-Solarzelle 10 (in der 4 aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht gezeigt) zumindest erschwert. (S B1)
  • Gemäß der in der 4 schematisch gezeigten Variante des Reinigungsverfahrens wird der Materialrückstand R durch die Solarzellenreinigungsstation 300 durch ein mechanisches Fräsverfahren von der Oberfläche der elektrisch leitenden Metallisierungsschicht L3 abgelöst. (S B2)
  • Anschließend wird der mechanisch abgelöste Materialrückstand R durch die Solarzellenreinigungsstation 300 abgesaugt. Alternativ kann der Materialrückstand R auch mit einem Bürstverfahren ausgebürstet bzw. entfernt werden. (S B3)
  • Es verbleibt somit eine Dünnschicht-Solarzelle 10 mit zumindest einer Via 18, aus welcher ein nichtleitender Materialrückstand R zumindest im Wesentlichen entfernt wurde. (S B4) Die Solarzellenreinigungsstation 300 kann dazu eingerichtet sein, jeweils mehrere parallel zueinander geförderte Dünnschicht-Solarzellen 10 gleichzeitig zu reinigen. Hierzu kann die Solarzellenreinigungsstation mehrere zueinander parallele Fertigungsspuren entlang der Förderrichtung umfassen, welche jeweils eine oder mehrere Lösungsmittelspender und/oder mechanische Abtragungsvorrichtungen, insbesondere Fräs-, Schleif- oder Bürstvorrichtungen, aufweisen.
  • Zum Beispiel kann eine erste Gruppe aus mehreren entlang der Förderrichtung der Dünnschicht-Solarzellen angeordneten Lösungsmittelspendern und/oder mechanische Abtragungsvorrichtungen eine erste Gruppe aus Dünnschicht-Solarzellen reinigen und eine zweite Gruppe aus mehreren entlang der Förderrichtung der Dünnschicht-Solarzellen angeordneten Lösungsmittelspendern und/oder mechanische Abtragungsvorrichtungen kann eine zweite Gruppe aus Dünnschicht-Solarzellen reinigen, welche parallel zur ersten Gruppen von Dünnschicht-Solarzellen gefördert werden.
  • 5 zeigt schematisch und beispielhaft den Aufbau der auch in 1 gezeigten Klebstoffapplikationsstation 400. Die gezeigte Klebstoffapplikationsvorrichtung 400 ist dazu eingerichtet, jeweils zwei parallel zueinander geförderte Dünnschicht-Solarzellen gleichzeitig zu bearbeiten. Hierzu verfügt die Klebstoffapplikationsstation 400 über zwei zueinander parallele Fertigungsspuren F1 und F2, auf denen jeweils parallel zueinander zwei Dünnschicht-Solarzellen entlang des Förderweges F gefördert werden.
  • Die Klebstoffapplikationsstation 400 umfasst zwei zumindest in einer orthogonal zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen F verlaufenden Richtung Y bewegliche Dosiervorrichtungen 410, 412 für nichtleitenden Klebstoff. In anderen Ausführungsformen (nicht gezeigt) können die Dosiervorrichtungen für den nichtleitenden Klebstoff auch in einer parallel zum Förderweg F der Dünnschicht-Solarzellen verlaufenden Richtung X beweglich sein. Die Dosiervorrichtungen 410, 412 sind dazu eingerichtet, jeweils einen nichtleitenden Klebstoff 16 (siehe 2) auf die geförderten Dünnschicht-Solarzellen zu applizieren.
  • Anschließend werden die Dünnschicht-Solarzellen entlang des Förderweges F bzw. den parallelen Förderspuren F1 und F2 folgend in einen Vortrocknungsbereich 420 gefördert. Der Vortrocknungsbereich 420 ist dazu eingerichtet, den von den Dosiervorrichtungen 410, 412 auf die Dünnschicht-Solarzellen applizierten Klebstoff mittels UV-Licht vorzutrocknen. Hierbei wird der nichtleitende Klebstoff zumindest bis zu einem vorbestimmten Grad an die geförderten Dünnschicht-Solarzellen angetrocknet.
  • Weiter dem Förderweg F bzw. den zueinander parallelen Förderspuren F1, F2 folgend, werden die Dünnschicht-Solarzellen anschließend in den Arbeitsbereich zweier Leitkleberdosiervorrichtungen 430, 432 gefördert, die jeweils dazu ausgebildet und angeordnet sind, einen elektrisch leitfähigen Leitklebstoff in die Vias 18 (siehe 2) der geförderten Dünnschicht-Solarzellen einzubringen. Die Leitkleberdosiervorrichtungen 430, 432 sind in einer orthogonal zum Förderweg F der Dünnschicht-Solarzellen verlaufenden Richtung Y und in einer orthogonal zum Förderweg F der Dünnschicht-Solarzellen und zur Richtung Y verlaufenden Richtung Z beweglich. In anderen Ausführungsformen (nicht gezeigt) können die Leitkleberdosiervorrichtungen auch in einer parallel zum Förderweg F der Dünnschicht-Solarzellen verlaufenden Richtung X beweglich sein.
  • Optional kann die Applikation des Klebstoffs und/oder des Leitklebstoffs durch die Klebstoffapplikationsvorrichtung 400 durch eine optisch erfassende Sensorik, insbesondere durch eine Kamerasensorik, überwacht werden.
  • 6 zeigt schematisch und beispielhaft den Aufbau der in 1 gezeigten Ausrichtstation 500. Die gezeigte Ausrichtstation 500 ist dazu eingerichtet, jeweils zwei zueinander parallel geförderte Dünnschicht-Solarzellen zu bearbeiten. Hierzu verfügt die Ausrichtstation 500 über zwei zueinander parallele Fertigungsspuren F1 und F2, auf denen jeweils parallel zueinander zwei Dünnschicht-Solarzellen entlang des Förderweges F gefördert werden. In anderen Ausführungsformen kann die Ausrichtstation 500 weitere Fertigungsspuren, zum Beispiel insgesamt vier Fertigungsspuren, umfassen.
  • Die Ausrichtstation 500 umfasst einen optisch erfassenden Kamerasensor 510, 512 für jede Fertigungsspur F1, F2. Die Kamerasensoren 510, 512 sind dazu eingerichtet, sowohl Lageals auch Eigenschaftsfehler der geförderten Dünnschicht-Solarzellen zu ermitteln. Wird ein Lagefehler einer Dünnschicht-Solarzelle festgestellt, so wird die entsprechende Dünnschicht-Solarzelle durch den Vakuumgreifer 520 repositioniert um den Lagefehler zu eliminieren.
  • Der Vakuumgreifer 520 ist dazu eingerichtet, eine Dünnschicht-Solarzelle mittels Unterdruck anzuheben und in einer zum Förderweg F der Dünnschicht-Solarzellen parallelen Richtung X und in einer zum Förderweg F orthogonalen Richtung Y zu bewegen bzw. zu repositionieren. Weiter ist der Vakuumgreifer 520 dazu eigerichtet, die geförderten Dünnschicht-Solarzellen im Bedarfsfall um eine zum Förderweg F und zur orthogonal zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen F verlaufenden Richtung Y orthogonal verlaufende Rotationsachse Z zu rotieren, um die durch die Kamerasensoren 510, 512 festgestellten Lagefehler der Dünnschicht-Solarzellen zu korrigieren.
  • Stellt einer der Kamerasensoren 510, 512 einen Eigenschaftsfehler einer geförderten Dünnschicht-Solarzelle fest, so veranlasst die Ausrichtstation 500, dass der Vakuumgreifer 520 die fehlerbehaftete Dünnschicht-Solarzelle entlang eines winklig zum Förderweg F der Dünnschicht-Solarzellen verlaufenden zweiten Aussonderungspfades A' in eine der Ausrichtstation 500 zugeordnete zweite Aussonderungsaufnahme 550 fördert. Hierdurch können zum Beispiel auch beschädigte Dünnschicht-Solarzellen von einer weiteren Fertigung ausgeschlossen werden, deren Beschädigung erst während des Fertigungsprozesses aufgetreten ist.
  • Da der Vakuumgreifer 520 lediglich im Falle von durch die Kamerasensoren 510, 512 festgestellten Lage- oder Eigenschaftsfehlern zum Einsatz gelangt, genügt es im gezeigten Beispiel, einen einzigen Vakuumgreifer 520 zur Handhabung von auf zwei parallelen Förderspuren geförderten Dünnschicht-Solarzellen zu implementieren. Ist dennoch eine Repositionierung und/oder ein verwerfen von zwei parallel geförderten Dünnschicht-Solarzellen notwendig, so kann der Vakuumgreifer 520 die parallel geförderten Dünnschicht-Solarzellen nacheinander handhaben.
  • Optional kann die Ausrichtstation 500 weitere optisch erfassende Sensoren (nicht gezeigt), insbesondere Kamerasensoren umfassen, die dazu eingerichtet sind, die durch den Vakuumgreifer repositionierten bzw. ausgerichteten Dünnschicht-Solarzellen erneut auf Lagefehler zu untersuchen. Mit anderen Worten kann beschrieben werden, dass die weiteren optisch erfassenden Sensoren der Ausrichtstation eine Erfolgskontrolle der durch den Vakuumgreifer vorgenommenen Repositionierungen vornehmen können.
  • 7 und 8 zeigen schematisch und beispielhaft den Aufbau der in 1 gezeigten Verschaltungsstation 600 und den Ablauf einer Verschaltung von einzelnen Dünnschicht-Solarzellen zu einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung.
  • Die gezeigte Verschaltungsstation 600 ist dazu eingerichtet, jeweils zwei zueinander parallel geförderte Dünnschicht-Solarzellen zu handhaben und einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung hinzuzufügen. Hierzu verfügt auch die gezeigte Verschaltungsstation über zwei zumindest im Wesentlichen zueinander parallele Fertigungsspuren F1 und F2, auf denen jeweils parallel zueinander zwei Dünnschicht-Solarzellen entlang des Förderweges F gefördert werden. In anderen Ausführungsformen kann die Verschaltungsstation 600 weitere Fertigungsspuren, zum Beispiel insgesamt vier Fertigungsspuren, umfassen.
  • Für jede der Fertigungsspuren F1, F2 weist die Verschaltungsstation 600 zumindest einen Verschaltungsgreifkopf 612, 614 auf, welcher dazu eingerichtet ist, die jeweils geförderten Dünnschicht-Solarzellen aufzunehmen und in einem Verschaltungsbereich/Unterdruckbereich 610 einander teilweise überlappend zu anzuordnen. Die Verschaltungsgreifköpfe 612, 614 können optional als Vakuumgreifer ausgestaltet sein. In anderen Ausführungsformen (nicht gezeigt) können auch je zwei Verschaltungsgreifköpfe einer Fertigungsspur zugeordnet sein, sodass jeweils vier Dünnschicht-Solarzellen durch die Verschaltungsstation gehandhabt werden können.
  • Die Verschaltungsgreifköpfe 612, 614 sind jeweils gemeinsam bzw. synchron in einer ersten Richtung X parallel zum Förderweg F der Dünnschicht-Solarzellen beweglich. Ferner sind die Verschaltungsgreifköpfe 612, 614 jeweils unabhängig voneinander in einer zweiten Richtung Y orthogonal zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen beweglich und um eine zur ersten Richtung X und zur zweiten Richtung Y orthogonale Achse Z rotierbar. Mit anderen Worten kann beschrieben werden, dass die Achse Z parallel zu einer Flächennormalen der durch die erste Richtung X und die zweite Richtung Y aufgespannten Ebene verläuft.
  • Da die Verschaltungsgreifköpfe 612, 614 nur gemeinsam bzw. zueinander synchron in der ersten Richtung X beweglich sind, ist es vorteilhaft, die Dünnschicht-Solarzellen zumindest in der ersten Richtung X, also in der Richtung parallel zum Förderweg, bereits durch die vorangehende Ausrichtstation 500 auszurichten, um Anordnungsfehler der einzelnen Dünnschicht-Solarzellen bei der Herstellung der Dünnschicht-Solarzellenanordnungen zu vermeiden.
  • In einer Weiterentwicklung der Verschaltungsstation (nicht gezeigt) kann eine optisch erfassende Sensorik, insbesondere eine Kameraanordnung, die durch die Verschaltungsgreifköpfe in den Verschaltungsbereich/Unterdruckbereich geförderten Dünnschicht-Solarzellen erfassen und möglicherweise vorhandene Lagefehler feststellen, um diese mittels der Verschaltungsgreifköpfe, zum Beispiel in der zweiten Richtung Y, zu korrigieren und/oder bei einer Verschaltung der einzelnen Dünnschicht-Solarzellen zu berücksichtigen.
  • Von der Abdeckfolienbereitstellungsvorrichtung 650 (siehe 1) wird wenigstens eine Abdeckfolie bereitgestellt und über die zueinander zumindest im Wesentlichen parallelen Nebenförderspuren N1, N2 in der Nebenförderrichtung F zur Verschaltungsstation 600 gefördert.
    Die Verschaltungsstation 600 ordnet die von der Abdeckfolienbereitstellungsvorrichtung 650 bereitgestellte/n Abdeckfolie/n auf den zu fertigenden Dünnschicht-Solarzellenanordnungen an. Optional kann die Abdeckfolienbereitstellungsvorrichtung 650 die Abdeckfolie/n auch als quasi-endloses Rollenmaterial bzw. als quasi endlose Folie bereitstellen, wobei die Verschaltungsstation 600 dazu eingerichtet ist, mehrere Dünnschicht-Solarzellenanordnungen mit der/den bereitgestellten quasi endlosen Abdeckfolie/n abzudecken.
  • Die Dünnschicht- Solarzellenanordnungen werden anschließend mit den auf ihnen angeordneten Abdeckfolien in einen Unterdruckbereich 610 gefördert. Die Verschaltungsstation 600 ist dazu eingerichtet, die mit der/den Abdeckfolien abgedeckten Dünnschicht-Solarzellenanordnungen mit einem Unterdruck zu beaufschlagen bzw. die abgedeckten Dünnschicht-Solarzellenanordnungen einer Unterdruckumgebung auszusetzen, wobei entweder die Abdeckfolie/n und/oder die Fertigungsspuren F1, F2 unterdruckdurchlässig ausgestaltet sind.
  • 8 verdeutlicht den Ablauf einer Verschaltung von Solarzellenanordnungen durch die Verschaltungsstation 600.
  • Auf einer zum Beispiel als Förderband ausgestalteten Förderspur der Verschaltungsstation 600 werden mehrere Dünnschicht-Solarzellen 10, 10', 10" einander teilweise überlappend angeordnet, wobei die mit Leitkleber aufgefüllten Vias einer Dünnschicht-Solarzelle jeweils mit einem Kontaktierungsbereich einer weiteren Dünnschicht-Solarzelle überlappend angeordnet werden. Ferner werden die einander teilweise überlappenden Dünnschicht-Solarzellen von der Verschaltungsstation so angeordnet, dass der von der Klebstoffapplikationsstation 600 auf die Dünnschicht-Solarzellen aufgebrachte Klebstoff eine Haftverbindung zwischen den jeweils einander überlappend angeordneten Dünnschichtsolarzellen herstellt. (S C1)
  • Anschließend wird von der Verschaltungsstation 600 eine von der Abdeckfolienbereitstellungsvorrichtung 650 bereitgestellte Abdeckfolie 660 auf den mehreren einander überlappenden Dünnschicht-Solarzellen 10, 10', 10" angeordnet. Im gezeigten Beispiel ist die Abdeckfolie 660 eine perforierte unterdruckdurchlässige Kunststofffolie. Alternativ kann auch ein perforiertes unterdruckdurchlässiges Abdeckband, welches während einer Erhitzung der Dünnschicht-Solarzellenanordnung in einer Solarzellenerhitzungsstation formstabil bleibt bzw. thermisch nicht verformt wird, bereitgestellt werden. (S C2)
  • Nachdem die Abdeckfolie auf den mehreren einander überlappenden Dünnschicht-Solarzellen 10, 10', 10" angeordnet wurde, wird diese mittels einer Unterdruckbeaufschlagung an die Dünnschicht-Solarzellen angepresst. Dieses bewirkt, dass auch die jeweiligen Dünnschicht-Solarzellen der zur fertigenden Dünnschicht-Solarzellenanordnung aneinander angepresst werden, sodass die durch den Klebstoff und den Leitklebstoff hergestellten Haftverbindungen verfestigt werden. Ferner wird bewirkt, dass die aus den einzelnen Dünnschicht-Solarzellen gebildete Dünnschicht-Solarzellenanordnung ihre räumliche Anordnung/Positionierung während des Transports der Dünnschicht-Solarzellenanordnung in die nachfolgende Bearbeitungsstation beibehält. (S C3)
  • Die Trocknung und/oder zumindest im Wesentlichen vollständige Aushärtung der Klebstoffe wird durch das Erhitzen der Dünnschicht-Solarzellenanordnungen durch die nachfolgende Solarzellenerhitzungsstation 700 erreicht, wobei die Abdeckfolie während der Erhitzung auf den geförderten Dünnschicht-Solarzellenanordnungen bzw. auf den mehreren teilweise einander überlappenden Dünnschicht-Solarzellen 10, 10', 10" verbleibt.
  • Da die Dünnschicht-Solarzellen jeweils bereits durch die vorangehende Ausrichtstation 500 ausgerichtet wurden, kann auf eine Ausrichtung der Dünnschicht-Solarzellen durch die Verschaltungsstation 600 verzichtet werden. Da eine Repositionierung einzelner Dünnschicht-Solarzellen in einer Richtung parallel zum Förderweg F der Dünnschicht-Solarzellen bei Fertigungssystemen mit mehreren Förderspuren nur schwierig realisierbar ist, insbesondere weil hierfür ein ansonsten synchroner Gleichlauf von mehreren gleichartig ausgestalteten Bearbeitungs- oder Transportwerkzeugen unterschiedlicher Förderspuren unterbrochen und/oder desynchronisiert werden müsste, ist eine vorangehende Ausrichtung der einzelnen Dünnschicht-Solarzellen mit einem Vakuumreifer, zumindest in einer Richtung parallel zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen, besonders vorteilhaft.
  • Es versteht sich, dass die zuvor erläuterten beispielhaften Ausführungsformen nicht abschließend sind und den hier offenbarten Gegenstand nicht beschränken. Insbesondere ist für den Fachmann ersichtlich, dass er die beschriebenen Merkmale beliebig miteinander kombinieren kann und/oder verschiedene Merkmale weglassen kann, ohne dabei von dem hier offenbarten Gegenstand abzuweichen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 10345576 A1 [0008]
    • DE 202008003610 U1 [0008]

Claims (12)

  1. Ein Fertigungssystem (1000) für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen (11) mit wenigstens einer entlang eines Förderweges (F) angeordneten Fertigungsstation, umfassend: eine Solarzellenreinigungsstation (300), wobei die Solarzellenreinigungsstation (300) dazu eingerichtet ist, eine Dünnschicht-Solarzelle (10) mit zumindest einer Via (18) zu reinigen und durch die Reinigung der Dünnschicht-Solarzelle (10) ein Material, insbesondere einen dielektrischen Fertigungsmaterialrückstand, aus der Via (18) auszutragen.
  2. Fertigungssystem (1000) nach Anspruch 1, wobei die Solarzellenreinigungsstation (300) einen Lösungsmittelspender und/oder eine mechanische Abtragungsvorrichtung, insbesondere eine Fräs-, Schleif- oder Bürstvorrichtung, und/oder eine Absaugvorrichtung aufweist.
  3. Fertigungssystem (1000) nach Anspruch 1 oder 2, weiter umfassend: eine Ausrichtstation (500), die dazu eingerichtet ist, Lage- und Eigenschaftsfehler von entlang des Förderweges (F) geförderten Dünnschicht-Solarzellen (10) zu ermitteln und die Dünnschicht-Solarzellen (10) abhängig von diesem Ermitteln zu verwerfen oder entlang einer ersten Achse (X) oder entlang einer zur ersten Achse (X) orthogonal angeordneten zweiten Achse (Y) auszurichten oder um eine zur ersten und zur zweiten Achse (X, Y) orthogonale dritte Achse (Z) zu rotieren, und/oder eine Verschaltungsstation (600), die dazu eingerichtet ist, jeweils mehrere Dünnschicht-Solarzellen (10, 10, 10") jeweils teilweise einander überlappend anzuordnen und miteinander zu Dünnschicht-Solarzellenanordnungen (11) zu verschalten.
  4. Fertigungssystem (1000) nach Anspruch 3, wobei die Ausrichtstation (500) zur Handhabung der geförderten Dünnschicht-Solarzellen (10) zumindest einen Greifer (520), insbesondere einen Vakuumgreifer, aufweist, der dazu eingerichtet ist, eine Dünnschicht-Solarzelle (10) sowohl entlang der ersten Achse (X) als auch entlang der zweiten Achse (Y) zu bewegen, und eine Dünnschicht-Solarzelle (10) um die dritte Achse (Z) zu rotieren; und/oder die Ausrichtstation (500) zum Ermitteln von Lage- und Eigenschaftsfehlern der geförderten Dünnschicht-Solarzellen (10) zumindest einen Sensor (510, 512), insbesondere einen optisch erfassenden Sensor, aufweist.
  5. Fertigungssystem (1000) nach Anspruch 3 oder 4, wobei die Verschaltungsstation (600) ferner dazu eingerichtet ist, eine Abdeckfolie (660), insbesondere eine perforierte Abdeckfolie, auf den mehreren teilweise einander überlappenden Dünnschicht-Solarzellen (10, 10, 10") anzuordnen, und die Abdeckfolie (660) mit einem Luft-Unterdruck an die mehreren teilweise einander überlappenden Dünnschicht-Solarzellen (10, 10, 10") anzupressen.
  6. Fertigungssystem (1000) nach Anspruch 5, weiter umfassend eine Abdeckfolienbereitstellungsvorrichtung (650), die dazu ausgebildet und angeordnet ist, Abdeckfolien (660) bereit zu stellen und in einer winklig zum Förderweg der Dünnschicht-Solarzellen (F) verlaufenden Nebenförderrichtung (N) zur Verschaltungsstation (600) zu fördern.
  7. Fertigungssystem (1000) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, weiter umfassend eine Solarzellenbereitstellungsvorrichtung; und/oder eine Solarzelleninspektionsstation (100); und/oder eine Laserbearbeitungsstation (200); und/oder eine Klebstoffapplikationsstation (400); und/oder eine Solarzellenerhitzungsstation (700); und/oder eine Feeder-Kontaktierungsstation (800); und/oder eine Abdeckfolienentfernungsstation (900).
  8. Fertigungssystem (1000) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei zumindest eine der Fertigungsstation des Fertigungssystems dazu angeordnet und ausgebildet ist, jeweils zwei oder mehr Dünnschicht-Solarzellen (10) zumindest im Wesentlichen parallel zueinander entlang des Förderweges (F) zu fördern, und/oder jeweils zwei oder mehr Dünnschicht-Solarzellen (10) durch eine oder mehrere entlang des Förderweges (F) angeordneten Fertigungsstationen gleichzeitig zu bearbeiten, und/oder der zumindest eine Greifer (520) der Ausrichtstation (500) zur Handhabung von zumindest zwei der zumindest im Wesentlichen zueinander parallel geförderten Dünnschicht-Solarzellen (10) ausgebildet ist.
  9. Fertigungssystem (1000) nach Anspruch 7 oder Anspruch 8, wobei die Solarzelleninspektionsstation (100) dazu eingerichtet ist, Eigenschaftsfehler der entlang des Förderweges (F) geförderten Dünnschicht-Solarzellen (10) zu ermitteln und die Dünnschicht-Solarzellen (10) abhängig von diesem Ermitteln zu verwerfen.
  10. Fertigungssystem (1000) nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei die Laserbearbeitungsstation (200) dazu eingerichtet ist, entlang des Förderweges (F) geförderte Dünnschicht-Solarzellen (10) jeweils mit einem Strahl aus Laserlicht teilweise zu perforieren, sodass jeweils zumindest eine Via (18), welche zumindest eine dielektrische Schicht (L4, L5) der Dünnschicht-Solarzellen (10) durchdringt, hegestellt ist.
  11. Fertigungssystem (1000) nach einem der Ansprüche 3 bis 10, wobei die Verschaltungsstation (600) mehrere Verschaltungsgreifköpfe (612, 614) aufweist, die dazu eingerichtet sind, entlang des Förderwegs (F) geförderte Dünnschicht-Solarzellen (10) von den Fertigungsspuren aufzunehmen und in einen Unterdruckbereich (610) der Verschaltungsstation (600) zu fördern, wobei jeder der mehreren Verschaltungsgreifköpfe (612, 614) zumindest entlang der zweiten Achse (Y) ausrichtbar und/oder um die zur ersten und zur zweiten Achse (X, Y) orthogonale dritte Achse (Z) rotierbar ist, und/oder wobei die Verschaltungsstation (600) dazu eingerichtet ist, eine Orientierung der von den Verschaltungsgreifköpfen (612, 614) geförderten Dünnschicht-Solarzellen (10) mit einer optisch erfassenden Sensorik, insbesondere mit einer Kamerasensorik, zu erfassen und abhängig von diesem Erfassen die Förderung der Dünnschicht-Solarzellen (10) in den Unterdruckbereich (610) zu steuern.
  12. Ein Reinigungsverfahren zum Reinigen einer Dünnschicht-Solarzelle (10) aufweisend zumindest einer Via (18), mittels einer Reinigungsstation (300) eines Fertigungssystems (1000) für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen, umfassend folgende Schritte: - Bereitstellen einer Dünnschicht-Solarzelle (10) mit zumindest einer Via (18); - Einbringen eines Lösungsmittels in die Via (18), wobei das Lösungsmittel dazu geeignet ist, einen in der Via (18) befindlichen, Materialrückstand (R) zumindest teilweise zu verflüssigen, und/oder - zumindest teilweises Abtragen des Materialrückstandes (R) in der Via (18) der Dünnschicht-Solarzelle (10) durch ein mechanisches Verfahren; - zumindest teilweises Absaugen und/oder Austragen des Lösungsmittels und/oder des angelösten oder mechanisch abgetragenen Materialrückstands (R) aus der Via (18).
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