JPH0640598A

JPH0640598A - 無接触保持装置及び無接触搬送装置

Info

Publication number: JPH0640598A
Application number: JP4019492A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kitamura; 昂北村
Original assignee: SUTETSUKU KK
Current assignee: SUTETSUKU KK
Priority date: 1991-07-05
Filing date: 1992-01-29
Publication date: 1994-02-15

Abstract

(57)【要約】【目的】可撓性シート状物やパネル状物などの無接触
保持装置と、これらを連続的に、浮上状態で移送するの
に特に適した無接触搬送装置とを開示する。【構成】被搬送物９０の搬送台１は、平板１３に開口す
る開口部１４ａとカップ状凹部とを備え、該カップ状凹
部の内周側面と底面との交差部が弧面をなす多数のチャ
ンバ部材１４を有しており、該チャンバ部材の各々は、
前記開口部の中央付近に向けて気体を吹き出す吹出口１
４ｂと、開口部周縁から前記平面に沿って延長する延長
壁（１３）とを有しており、吹出口の夫々は、気体流路
（３４）を介して送気源（３）に連通している構成を有
し、チャンバ部材からの気流によるベルヌーイ効果とホ
ーバークラフト様の浮上効果とのバランスによって、被
搬送物は、搬送台上を浮上状態で移送される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状物、シート状物な
どを、無接触状態で、保持、搬送する装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来技術】この種の装置としては、例えば、特開昭６
３ー２６７１７８号公報に開示されているが、これは、
上部が閉ざされ、下部が開口している箱状体の上面に空
気送入口を備え、開口している下部内側端を滑らかな円
孤状に形成して、この曲げ部の先にフランジ状折り返し
部を設け、前記空気送入口より空気を送入することによ
り、被搬送物を非接触状態で懸垂するパッドと、該パッ
ドに空気を送る送風装置とを有し、該パッドをロボット
アームに装着して搬送路に沿って移動自在にすることに
より、ハードディスクやシリコンウェハ、フォトマスク
などの無接触搬送を行うものが知られている。

【０００３】これは、パッドの空気送入口から、空気を
吹き出すことにより、エゼクター機構とベンチュリー機
構とにより、パッドの開口部付近に発生する吸引力と、
ホーバークラフトと同様の吹出し空気による反力とによ
って、パネル状の被搬送物を非接触状態でパッドの下側
に保持し、一側から他側へとパッド(保持装置)を移動す
ることにより、パネル状物を非接触で搬送するものであ
る。

【０００４】このような従来装置は、一般に、吸引力に
比して、多量の風量と高い圧力を必要とし、そのため、
騒音の発生が著しく、また、クリーンルーム等における
使用にあたっては、室内に乱流を発生させたり、又、塵
埃発生の要因となるなど、不都合が多い。また、これら
の装置の適用範囲としては、板状物を１枚ずつ、取り上
げて移送するものに限られており、可撓性の大きい印刷
紙やプラスチックシート、大判のパネル状物などを、連
続的に搬送するには、能率的でなく、保持装置が大型化
し、したがって、又、保持装置の移動手段も大型化して
しまう欠点があった。

【０００５】

【発明の目的】本発明は、吸引力に比べて、供給すべき
気体エネルギー量の少ない、板状物の無接触保持装置
と、印刷紙やプラスチックフィルムなどのような可撓性
の大きいシート状物、或は、ガラス板、半導体製造にお
けるシリコンウェハなどの如き、パネル状物などの連続
的な移送に特に適した無接触搬送装置とを開示すること
を目的とするものである。

【０００６】

【発明の構成】本発明の第１の要旨は、カップ状凹部と
該凹部の円形開口部周縁から開口部平面に沿って延設さ
れた延長壁とを備えたチャンバ部材と、このチャンバ部
材の開口部に臨んで位置する板状の保持対象物とチャン
バ部材とによって囲まれる気体室と、該チャンバ部材の
底部中心から前記気体室に気体を噴出すべき気体吹出口
とを備え、前記気体室に生成する正圧と負圧の均衡によ
り保持対象物を前記チャンバ部材に対して無接触で保持
する保持装置において、前記チャンバ部材の内周側面と
底面との交差部が、弧面をなしていることを特徴とする
無接触保持装置にある。

【０００７】本発明の第２の要旨は、上記における無接
触保持装置において、チャンバ部材が、延長壁をなす平
板と、該延長壁に列設された複数のカップ状凹部と、該
凹部の夫々に設けた気体吹出口を前記延長壁の裏面とカ
ップ状凹部の裏面と共に気密に囲む気体分配室と、該気
体分配室に設けられた気体導入口とから構成されている
ことにある。

【０００８】本発明の第３の要旨は、被搬送物の搬送域
に沿って、該搬送域に対面する平面に開口する開口部を
備えた多数のチャンバ部材を列設し、該チャンバ部材の
各々には、前記開口部の中央付近に向けて気体を吹き出
す気体吹出口と、前記開口部周縁から前記平面に沿って
延長する延長壁とが設けられており、この気体吹出口の
夫々は、気体流路を介して送気源に連通していることを
特徴とする浮上式無接触搬送装置にある。更には、上記
搬送装置におけるチャンバ部材の一部、若しくは、すべ
ての延長壁に、その搬送方向側に、チャンバ開口部周縁
から搬送方向に１以上の導気溝が形成されている搬送装
置も本発明の要旨に含まれる。以下、実施例に基づいて
詳細に説明する。

【０００９】

【実施例１】図１〜３は、本発明に係る無接触保持装置
の一例を示すもので、カップ状凹部１００と、この凹部
１００の開口部周縁１０２から、開口部１０１のなす平
面と同一平面をなすように、該周縁１０２から延設され
た延長壁１０３と、カップ状凹部１００の底部１０４の
中心部に、円形の開口部１０１の中心１０５の方向にむ
けて、空気を噴出する空気吹出口１０６とを有するチャ
ンバ部材が、底部に空気導入口をなすダクト取付縁１１
１を備えた箱体から成る空気分配室１１０の上面に開口
する複数（図では４個）の取付穴１１２を気密に閉塞す
る状態で取り付けられて成るものである。

【００１０】上記保持装置において、チャンバ部材の内
周側面と底面１０４との交差部に形成される弧面１０７
の半径ｒは、チャンバ部材の円形開口部の半径Ｒの０.
３倍以上で、且つ、開口部平面から底部中心までの長さ
ｄを越えない範囲であることが、望ましい。従来のカッ
プ状凹部の形状は、図２において、一点鎖線で示すよう
に、ほぼ円筒形に近い形状を有していた。本願発明者
は、この一点鎖線で囲まれる交差部１０９において、空
気吹出口１０６からの噴出気流が、渦流を生じて、中央
の高速気流部に対して、低速の壁を形成し、実質的に、
チャンバ部材の開口面積を狭める役割をなしているもの
と考え、この交差部を弧面によって構成することによ
り、より少ない風量で、同等の吸引力を発現することに
成功したものである。

【００１１】この弧面の半径ｒが、開口部半径Ｒの０.
３倍以下では、エネルギー効率の向上効果（一定風量に
おける吸引力増大効果）は、実用上無視することがで
き、又、それが、カップ状凹部の深さｄ以上に大きくし
ても、吸引力（保持力）は、平衡状態となって、頭打ち
状態となる。又、チャンバ部材の開口部から延設される
延長壁１０３の、開口部中心１０５から放射方向に向か
う長さＬも、吸引力に深く関与しており、本発明者が得
た、半径Ｒと前記Ｌとの比と吸引力との関係を示すグラ
フ（図４参照）から明らかなように、これは、チャンバ
部材開口部の半径の１〜２倍であることが好ましい。

【００１２】

【作用】このような構成から成る上記実施例に係る装置
は、ブロワーから供給される空気が、ダクトを介して空
気分配室１１０に入り、ここから各チャンバ部材の空気
吹出口に分配され、チャンバ部材の開口部に臨んで位置
する液晶パネル等の板状物２００に向かって吹き出す。
このとき、板状物２００とチャンバ部材とが囲む空気室
の空気圧は、板状物をチャンバ部材から遠ざけるように
働く力と、板状物とチャンバ部材との為す隙間から高速
で排出する空気流によって生じる負圧による吸引力との
両方の力を発生し、このバランスによって、板状物は、
本願保持装置から、僅かの間隙を保って、無接触で保持
される。図３では、板状物２００は、保持装置の上面に
保持された例を示したが、逆に保持装置を下向きにし
て、下面に保持しても、上記の作用は変わりはない。上
記保持装置を、適宜な移動手段に取り付ければ、無接触
で、板状物の移送が行える。

【００１３】

【実施例２】図５は、無接触で保持すべきパネル状物
を、狭い取り出し口から、取り出すのに便利な無接触保
持装置の実施例で、取り出し口の間隔とパネル状物の厚
さとを考慮して定めた偏平箱状の空気分配室１２０の上
面１２２にカップ状凹部１２３、１２３、…が、形成さ
れており、該凹部の中央に、空気吹出口１２４、１２
４、…が穿設されている。カップ状凹部１２３の開口周
縁から一体的に連続する上面１２２は、チャンバ部材の
延長壁として作用する。１２１は、空気分配室１２０の
側面に設けられた空気導入口である。

【００１４】実施例２の装置は、薄型にして、しかも、
十分な保持力を持つ必要性から、深さに比較して、開口
面積の大きいカップ状凹部１２３が必要数だけ設けられ
ており、そのため、保持対称物とチャンバ部材との間の
気流が、近隣のチャンバ部材どうし相互に干渉しあっ
て、吸引力を減殺してしまう恐れがある。これを防止す
るために、チャンバ部材間を仕切る状態で、空気分配室
１２０の上面１２２に、排気溝１２５、…が形成されて
いる。カップ状凹部の列設方向と直角に、空気分配室上
面を横断して設けた、この排気溝によって、チャンバ部
材相互間の気流の干渉が緩和され、吸引力を高める。

【００１５】

【実施例３】図７〜９は、本発明にかかる搬送装置の実
施例を示すもので、本願搬送装置は、搬送台１と、搬送
台を支持する脚部２及び搬送台への空気圧送部３とから
成る。搬送台１は、被搬送物９０の幅より、若干幅広の
間隔で、ほぼ平行を保って並設された一対の板体から成
る案内枠１０、１１間に、少なくとも、風圧等によって
は、変位が生じない一定以上の剛性を備えた金属、プラ
スチック等の平板１３が保持されており、この平板１３
には、該平板表面に円形開口部１４aを有するカップ状
凹部を備えた、多数のチャンバ部材１４、１４、…が設
けられている。平板１３の水平上面が、チャンバ部材の
延長壁となる。チャンバ部材そのものの構成及び作用
は、前記実施例１の場合と同様である。

【００１６】案内手段１０，１１は、搬送方向と直角の
方向に移動可能で、その間隔を調節できる。１５は、横
桟で、この上に、平板１３が固定されている。チャンバ
部材１４の底部中央には、開口部１４aの中心付近に向
けて、空気を吹き出す小径の空気吹出口１４b、１４b、
…が、開口している。この吹出口１４b、１４b、…に
は、空気ホース３１、３１、…の一端が連結している。
これらの空気ホース３１、３１、…の夫々には、空気圧
送部３を構成する分岐管３２、３２、…、流路開閉器３
３、３３、…、蓄圧配気タンク３４、…を辿って、送気
源としてのブロワ３０に連通している。３５、３６は、
ブロワ３０の吸入管及び吐出管に、夫々、取り付けたエ
アフィルタ、３７、３７、…はダクトである。

【００１７】チャンバ部材１４の開口部１４ａの周縁の
周囲には、水平方向に一定以上の平坦部が確保されるこ
とにより、延長壁を形成しており、この延長壁の搬送方
向側が、一定幅だけ、ごく浅く削られることにより、導
気溝１３ａ、１３ａ、…が設けられている。導気溝１３
ａは、図示した例のほか、開口部周縁から搬送方向に設
けられた複数の溝で構成してもよい。導気溝は、すべて
のチャンバ部材に設ける必要は必ずしもなく、図７の実
施例のように、後述する所定の配気単位毎に、交互に配
設してもよい。また、搬送速度に応じて、適宜、間引い
た状態で点在させたものでもよい。流路開閉器３３は、
例えば、搬送物の搬送ピッチが、ランダムな場合に、上
流に設けた配気単位に属するチャンバ部材の上方に設置
した被搬送物検出センサ（例えば近接スイッチ）１６、
１６、…の検出信号に基づいて、隣接する送気単位に属
するチャンバ部材に、当該流路開閉器３３を、被搬送物
が通過するのに十分な一定時間だけ動作させて、空気を
節約するように設定してもよい。

【００１８】チャンバ１４、……は、搬送域上流から下
流に向かって、適当な数毎に、配気単位をなして、異な
る分配管３２，３２，……に連通しており、夫々の分配
管３２，３２，……は、流路開閉器３３としてのダンパ
を介して蓄圧配気タンク３４に接続している。

【００１９】２０は、被搬送物の左右周縁を駆動するこ
とのできる第二案内手段で、搬送域を挾んで一対あて設
けられている。これは、前記第一案内手段１０，１１の
延長上に列設された垂直軸を有する駆動ロ−ラガイド２
２，２２，……と、脚部２上に固定されたモ−タ２１
と、該モ−タの出力プ−リ２３及び各駆動ロ−ラガイド
２２，２２，……と一体回転する従動プ−リ２４，２
４，……との間に巻回されたベルト２５とから成る。２
６，２６，……はテンションプ−リである。

【００２０】２８は、垂直軸の回りに自由回転可能なロ
−ラガイドで、これを案内手段２０に隣接して、案内手
段２０と同様に、搬送域を挾んで多数列設することによ
り、第三案内手段を構成している。

【００２１】

【作用】このような構成から成る本願無接触搬送装置
は、開口部のなす平面が、被搬送物の搬送方向に向かっ
て、水平方向に対して若干傾斜して下り勾配をなすよう
に設けられている。今、この搬送台１上に、被搬送物９
０が載せられて、上面から、チャンバ部材１４の開口部
に近づくにつれて、ブロワ３０から、各チャンバ部材１
４に供給される空気は、吹出口から、被搬送物にあたっ
て、横方向に拡散される。すると、チャンバ部材１４と
被搬送物とによって囲まれた空間から成る空気室中に
は、ベルヌーイ効果に基く負圧が発生し、被搬送物９０
を吸引する力が生じる。

【００２２】このベルヌーイ効果の発生に伴う負圧領域
を、十分に確保するには、開口部１４aの周縁から横方
向に延長する一定幅以上の延長壁が必要である。実施例
３では、搬送方向に連続する平板１３が搬送方向と直角
の方向にも、開口部１４aの周縁から、一定幅の平面部
が延長壁１３ｂとして残るように、平板１３の幅が定め
られている。被搬送物が上方から更に開口部に接近する
と、横方向への空気の拡散流が次第に妨げられるように
なるので、チャンバ部材内の圧力は上昇して、浮力を与
えるようになる。かくして、被搬送物の重量及び吸引力
と浮力とが釣り合った位置で、被搬送物は空中におい
て、無接触状態で保持される。

【００２３】一方、チャンバ部材１４の延長壁面には、
その搬送方向に導気溝１３ａが設けられているので、被
搬送物９０は、チャンバ部材１４から導気溝１３ａに向
けた方向に駆動される。これは、チャンバ部材１４内の
導気溝１３ａの側の、他の側より大きい空気の拡散が、
チャンバ部材１４内に圧力の不平衡を生じさせ、その結
果として生ずるチャンバ部材１４から導気溝１３ａに向
かって高速に移動する空気流と、被搬送物９０との摩擦
によって生ずるものと思われる。更に、前記したよう
に、搬送台１は、搬送方向に傾いているので、被搬送物
は、これに作用する重力の横方向の分力も受けて、空中
に浮上しつつ滑らかに移送される。そして被搬送物下面
の軌跡は、チャンバ部材に対して、若干の間隔をおいた
平面状と成る。この際、チャンバ部材への空気流の供給
は、センサ１６の検出信号に基づき、ダンパと空気流の
分配管３２，……によって規制される。被搬送物の供給
が非連続的な場合には、配気単位毎に搬送方向に向かっ
て空気供給が交替して行くように作動することは、前述
の通りである。

【００２４】第二案内手段は、必要に応じて駆動ロ−ラ
ガイドの回転速度を加減速することによって、被搬送物
の搬送速度を制御することができる。又、搬送台１がカ
−ブして設けられている部分には、左右の回転速度を変
えて使用することにより、被搬送物の方向変換が円滑に
なる。又、第三案内手段は、第一案内手段に比して被搬
送物との接触抵抗が少なくて駆動力の損失が少ない。上
記実施例３においては、第一、第二、第三案内手段を併
用した例を示したが、勿論、この中の一種又は二種のみ
でもよいことは言うまでもない。

【００２５】

【実施例４】図１０〜１１は、本発明に係る無接触搬送
装置の他の実施例の要部を示すものである。尚、実施例
３と同一の部材には同一の番号を付して説明する。実施
例３と同様の脚部によって支持された搬送台４０は、案
内手段１０、１１と、これを所定の間隔に固定する横桟
１５、１５、…上に、上面に開口部４２、４２、…を有
する、チャンバ部材４１、４１、…が、前記開口部４
２、４２、…が一平面上に含まれる状態で固設されてい
る。各チャンバ部材４１、４１、…の開口部４２の周縁
から、前記開口部４２、４２、…がなす平面に沿って延
長するフランジ状の延長壁４３が延設されている。

【００２６】チャンバ部材４１の底部中央に空気吹出口
４１a、４１a、…が開口しており、この吹出口が、空気
流路としての、空気ホース等を介してブロワに接続して
いる構造は、実施例３と同様である。このようなチャン
バ部材開口部のなす平面上方に、被搬送物９０の搬送方
向に向けて、搬送域に空気を噴射する、噴気ノズルとし
ての空気噴射ノズル４５が、一側の案内枠１１に沿っ
て、適当な間隔をおいて設けられている。空気噴射ノズ
ル４５の噴射角度は、搬送面に対して、平行に近い状態
で、設けられている。４６は空気噴射ノズル４５に接続
する送気配管である。

【００２７】

【作用】実施例３では、被搬送物の駆動は、導気溝１３
ａ，搬送台の傾斜及び、駆動ロ−ラガイドにより、行っ
たが、第二実施例においては、被搬送物は空気噴射ノズ
ル４５からの空気の噴射力を受けて駆動される。勿論、
前記各駆動手段の一以上と併用しても何等差支えない
し、更に、被搬送物の送り出し時に、エアシリンダ等に
より送り操作を加えてもよい。チャンバ部材４１、…
は、略漏斗状の器の上縁にフランジ状の延長壁を設けた
ものを単位として、これを開口部が平面をなすように必
要数だけ配設した構成が、第一実施例のものと異なるの
みで、その他の構成及び機能は全く両者同じである。

【００２８】

【実施例５】図１２は、本発明に係る搬送装置の更に他
の実施例で、前記実施例３，４との相違は、チャンバ部
材の構成部品の相違にある。搬送台１は、搬送物９０の
幅より、若干幅広の間隔で、ほぼ平行を保って並設され
た一対の板体から成る案内枠１０，１１間に、少なくと
も風圧等によっては、変位が生じない一定以上の剛性を
備えた金属平板５０が保持されており、この平板５０に
は、該平板表面に円形開口部１４ａを有するカップ状凹
部をプレス成形することにより、多数のチャンバ部材１
４，１４，……が設けられている。

【００２９】１５は、案内枠１０、１１を、所定の幅に
固定する横桟で、該横桟１５上に平板５０をコ字状に折
り曲げて形成した取付部５３を固定している。チャンバ
部材１４の底部中央には、開口部１４ａの中心付近に向
けて、空気を吹き出す小径の空気吹出口１４ｂ，１４
ｂ、……が、開口して、この吹出口１４ｂ、１４ｂ、…
…には、空気ホ−ス３１、３１、……の一端が連結する
構造、及び、更にこれに接続する空気圧送部の構成は、
前記実施例３，４と全く同様である。このような構成に
よりチャンバ部材等がプレス成形により１工程で形成で
きる。

【００３０】図１３は、本願チャンバ部材を複数用いる
ときに好都合なユニット部材の一例で、箱状の空気分配
室１３０の上面１３１に、所定数のカップ状凹部１３
２、…を空気分配室の長手方向に沿って列設し、分配室
１３０の下面に、空気導入口を為す、ダクト接続部１３
４を設けて成るものである。１３５は、空気吹出口であ
る。これは、そのまま、無接触保持装置として用いるこ
ともでき、更に、これを、搬送装置に用いれば、給気ダ
クトの数を大幅に節約することができる。

【００３１】

【効果】本願発明に係る無接触保持装置は、チャンバ部
材を構成するカップ状凹部の形を、その内周側面と底面
との交差部を弧面を為すように形成することにより、従
来のチャンバ部材と比べて、吸引力に対する所要エネル
ギーが少なくてすみ、しかも、安定した保持効果が得ら
れ、騒音の減少、クリーンルーム対応特性の向上、及
び、省エネルギー効果等が期待できるものである。ま
た、このチャンバ部材を用いて得られる搬送装置は、半
導体ウエ−ハ−等のパネル状のもの、或いは、フィル
ム、紙などのように可撓性を有するものなどを、完全に
無接触状態で、能率よく、連続的に搬送することができ
る。

【００３２】又、送気源としては、ブロワ、圧縮空気な
どの他、必要に応じて、窒素ガスなどを用いてもよく、
更に、搬送台をトンネルで覆って、空気を遮断した状態
で、不活性ガス中を搬送することもでき、様々な用途
に、容易に対応することができる。又、搬送台の上方を
覆うように排気ダクトを設けてチャンバ部材からの空気
を回収すればクリ−ンル−ム内の清浄度を低下させるお
それも少ない。供給空気として、加熱乾燥空気を用いれ
ば、印刷済の紙を搬送途中でインキを乾かして排紙する
ことも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の保持装置の実施例を示す平面方向から
見た説明図である。

【図２】図１のＢ−Ｂ断面図である。

【図３】図１のＣ−Ｃ断面図である。

【図４】本願チャンバ部材の延長壁の吸引力に及ぼす効
果を示すグラフである。

【図５】本願保持装置の他の実施例を示す平面方向から
見た説明図である。

【図６】図５の保持装置の側面図である。

【図７】本発明に係る搬送装置の実施例を平面方向から
見た説明図である。

【図８】図７の実施例を側面方向から見た説明図であ
る。

【図９】図７の実施例を、正面から見た説明図である。

【図１０】本発明に係る搬送装置の他の実施例の要部を
平面方向から見た説明図である。

【図１１】図１０のＡーＡ断面から見た説明図である。

【図１２】本発明に係る搬送装置の更に他の実施例の要
部の断面を示す説明図である。

【図１３】複数のチャンバ部材をユニット化した例を示
す説明図である。

【符号の説明】

１搬送台２脚部３空気圧送部１０，１１第一案内手段１３ａ導気溝１４，４１，５３チャンバ部材１４a 開口部１４b，吹出口３０ブロワ３２分配管３３流路開閉器３４蓄圧配気タンク４５空気噴射ノズル９０被搬送物１００カップ状凹部１０７弧面１１０，１２０，１３０空気分配室１３４ダクト取付部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カップ状凹部と該凹部の円形開口部周縁か
ら開口部平面に沿って延設された延長壁とを備えたチャ
ンバ部材と、該チャンバ部材の前記開口部に臨んで位置
する板状の保持対象物と前記チャンバ部材とによって囲
まれる気体室と、該チャンバ部材の底部中心から前記気
体室に気体を噴出すべき気体吹出口とを備え、前記気体
室に形成される正圧と負圧の均衡により保持対象物を前
記チャンバ部材に対して無接触で保持する保持装置にお
いて、前記チャンバ部材の内周側面と底面との交差部
が、弧面をなしていることを特徴とする無接触保持装
置。
【請求項２】チャンバ部材の内周側面と底面との交差部
に形成されている弧面の半径は、チャンバ部材の円形開
口部の半径の０．３倍以上で、且つ、開口部平面から底
部中心までの長さを越えない範囲である請求項１に記載
の無接触保持装置。
【請求項３】チャンバ部材の開口部から延設される延長
壁の放射方向の長さが、チャンバ部材開口部の半径の１
〜２倍である請求項１又は２に記載の無接触保持装置。
【請求項４】チャンバ部材が、延長壁をなす平板と、該
延長壁に列設された複数のカップ状凹部と、該凹部の夫
々に設けた気体吹出口を前記延長壁の裏面とカップ状凹
部の裏面と共に気密に囲む気体分配室と、該気体分配室
に設けられた気体導入口とから構成されている請求項１
〜３項のいずれかに記載の無接触保持装置。
【請求項５】延長壁上に、カップ状凹部のなす列の伸
長方向と直角に排気溝が、該列を横切って設けられてい
る請求項４に記載の無接触保持装置。
【請求項６】被搬送物の搬送域に沿って、該搬送域に対
面する平面に開口する開口部を備えた多数のチャンバ部
材を列設し、該チャンバ部材の各々には、前記開口部の
中央付近に向けて気体を吹き出す吹出口と、前記開口部
周縁から前記平面に沿って延長する延長壁とが設けられ
ており、該吹出口の夫々は、気体流路を介して送気源に
連通していることを特徴とする無接触搬送装置。
【請求項７】一部の、若しくは、すべてのチャンバ部
材の延長壁上に、搬送方向側にチャンバ部材開口部周縁
から搬送方向に向かって１以上の導気溝が形成されてい
る請求項６に記載の無接触搬送装置。
【請求項８】搬送域に対面する平面に沿って１以上の板
状体が設けられており、チャンバ部材の開口部が、該板
状体に開口している請求項６又は７の搬送装置。
【請求項９】円形のチャンバ開口部周縁に延長された
延長壁が、該周縁から、フランジ状に、略同一幅をなし
て設けられている請求項６又は７の搬送装置。
【請求項１０】被搬送物が、シート状若しくは平板
状物であり、該被搬送物の搬送域に沿って、搬送方向に
気体を噴き出す噴気手段が設けられている請求項６〜９
のいずれかに記載の搬送装置。