JP2006191038A - トレイ及びトレイホルダー用整列システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板及びマスクが固着されることができ、連結突起を具備する複数の連結ホール110が形成されて鉛直状態で移送されるトレイ100と、このトレイ100と連結されるように前記連結ホール110に挿入され得る連結アーム210であって、前記連結ホール110に挿入された状態で前記連結突起に係合し得る連結溝が形成された連結アーム210、及び前記連結アーム210が設けられたホルダープレート290を含むトレイホルダー200とを含んでなる。
【選択図】図2
Description
100 トレイ、
110 結合ホール、
120 固定ホルダー部材、
130 基板フレーム、
150 補助付着部材、
200 トレイホルダー、
210 連結アーム、
250 補助支持部材、
300 整列プレート、
310 ガイド軸、
350 移動軸、
370 駆動源。
Claims (30)
- 基板及びマスクが固着されることができ、連結突起を具備する複数の連結ホールが形成されて鉛直状態で移送可能なトレイと、
前記トレイと連結されるように前記連結ホールに挿入され得る連結アームであって、前記連結ホールに挿入された状態で前記連結突起と係合し得る連結溝が形成された連結アーム、及び前記連結アームが設けられたホルダープレートを含むトレイホルダーと、を含んでなることを特徴とするトレイ用整列システム。 - 前記連結突起と連結溝との係合時に力が一方向に働くように前記連結突起と連結溝とに相互に滑り接触する傾斜面が形成されたことを特徴とする請求項1に記載のトレイ用整列システム。
- 前記連結突起と連結溝との係合時に働く力を受けるように前記連結突起と連結溝に相互に向き合う鉛直面が形成されたことを特徴とする請求項2に記載のトレイ用整列システム。
- 前記基板トレイは、少なくとも一つ以上の固定ホルダー部材を具備したことを特徴とする請求項1に記載のトレイ用整列システム。
- 前記トレイホルダーは、基板に当接するように構成された平板チャックと、前記平板チャックに連結されて前記平板チャックを移動させるように構成された駆動手段と、前記固定ホルダー部材と結合される固定挿入部材と、を含んでなることを特徴とする請求項1に記載のトレイ用整列システム。
- 前記固定ホルダー部材は、直径が相異なる二つの円柱が重畳した形状で形成された通孔を有することを特徴とする請求項4に記載のトレイ用整列システム。
- 前記通孔は、小径通孔が大径通孔の上部に位置するように形成されたことを特徴とする請求項6に記載のトレイ用整列システム。
- 前記固定挿入部材は、前記固定ホルダー部材内に挿入されて前記基板支持トレイを連結・固定することを特徴とする請求項4〜7のいずれか1項に記載のトレイ用整列システム。
- 前記固定挿入部材は、前記固定ホルダー部材内に挿入された後に安着するための溝を有することを特徴とする請求項8に記載のトレイ用整列システム。
- 前記基板支持トレイは、一つ以上の補助付着部材をさらに具備し、
前記整列プレートは、前記補助付着部材と結合される補助支持部材をさらに具備することを特徴とする請求項4に記載のトレイ用整列システム。 - 前記補助付着部材は、導電性付着部材であることを特徴とする請求項10に記載のトレイ用整列システム。
- 前記導電性付着部材は、磁性材質からなることを特徴とする請求項11に記載のトレイ用整列システム。
- 前記磁性材質からなる導電性付着部材には、少なくとも一つ以上の溝または突出部が形成されることを特徴とする請求項12に記載のトレイ用整列システム。
- 前記補助支持部材は、磁性体で形成され前記基板支持トレイの補助付着部材に固定されることを特徴とする請求項10〜13のうち、いずれか1項に記載のトレイ用整列システム。
- 前記基板支持トレイは、前記基板を収容しながら前記基板支持トレイに収容されるように構成された基板フレームをさらに含むことを特徴とする請求項4または10に記載のトレイ用整列システム。
- 前記基板フレームは、前記基板を収容するように基板固定片をさらに含んでなることを特徴とする請求項15に記載のトレイ用整列システム。
- 前記基板フレームは、前記基板支持トレイに収容されるようにフレーム固定片をさらに含んでなることを特徴とする請求項16に記載のトレイ用整列システム。
- 前記基板支持トレイは、移送のための移送手段をさらに含んでなることを特徴とする請求項17に記載のトレイ用整列システム。
- 前記基板支持トレイは、前記移送手段による移送を補助するためのガイド手段をさらに含んでなることを特徴とする請求項17に記載のトレイ用整列システム。
- 基板及びマスクが固着されたトレイと、前期トレイが鉛直状態で固定されるように前記トレイに連結されるトレイホルダーと、を含んでなるトレイ用整列システムであって、
前記トレイホルダーには、鉛直状態のトレイの曲がりが発生する部位が支持されるように支持部材が設置されたことを特徴とするトレイ用整列システム。 - 前記支持部材は、駆動源によって伸縮されることを特徴とする請求項20に記載のトレイ用整列システム。
- 前記駆動源は、真空チャンバの壁体内面に設置されたことを特徴とする請求項20に記載のトレイ用整列システム。
- 前記支持部材は、トレイの一面と接触することを特徴とする請求項20に記載のトレイ用整列システム。
- トレイと近接するトレイホルダーが先端部に連結された移動軸を作動する駆動部と、前記移動軸によって移動される前記トレイホルダーに鉛直状態で設置されたホルダープレートに設けられた連結アーム、及び鉛直状態の前記トレイを連結するための連結部と、前記ホルダープレートの曲がりを防止するために前記トレイホルダーにチャックの当接力が提供されるように配置された一つ以上のガイド軸を含んでなるガイド部と、を含んでなることを特徴とするトレイホルダー用整列システム。
- 前記ガイド軸は、基板トレイホルダーの上下端部にそれぞれ一つ以上配置されたことを特徴とする請求項24に記載のトレイホルダー用整列システム。
- 前記移動軸及びガイド軸は、連結プレートにより互いに連結され、前記駆動源によって互いに連動可能に作動することを特徴とする請求項24または25に記載のトレイホルダー用整列システム。
- 前記移動軸及びガイド軸は、同時に作動し、同一の距離を移動することを特徴とする請求項26に記載のトレイホルダー用整列システム。
- 前記ガイド軸は、移動軸の位置調整のためのステージと連動し得るように配置されたことを特徴とする請求項26に記載のトレイホルダー用整列システム。
- 前記ガイド軸は、別途の駆動源によって作動し、前記移動軸とは別に作動するように設置されたことを特徴とする請求項24、25、または28に記載のトレイホルダー用整列システム。
- 前記ガイド軸には、
真空チャンバの真空を保全するための部材を通過しても真空チャンバの真空が維持されるようにフェロシールが装着されたことを特徴とする請求項24または25に記載のトレイホルダー用整列システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050000948A KR100639003B1 (ko) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 기판트레이홀더용 정렬장치 |
KR1020050000952A KR100703544B1 (ko) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 트레이의 정렬장치 |
KR1020050000953A KR100671657B1 (ko) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 트레이의 휨 방지장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006191038A true JP2006191038A (ja) | 2006-07-20 |
JP4364196B2 JP4364196B2 (ja) | 2009-11-11 |
Family
ID=36797862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005370955A Active JP4364196B2 (ja) | 2005-01-05 | 2005-12-22 | トレイ用整列システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7744328B2 (ja) |
JP (1) | JP4364196B2 (ja) |
TW (1) | TWI275545B (ja) |
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2006
- 2006-01-04 TW TW095100276A patent/TWI275545B/zh active
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Also Published As
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---|---|
TW200630288A (en) | 2006-09-01 |
US7744328B2 (en) | 2010-06-29 |
JP4364196B2 (ja) | 2009-11-11 |
US20060196802A1 (en) | 2006-09-07 |
TWI275545B (en) | 2007-03-11 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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