KR102638963B1 - 증착 장치 및 이를 이용한 유기물 증착 방법 - Google Patents

증착 장치 및 이를 이용한 유기물 증착 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 증착 장치 및 이를 이용한 증착방법에 관한 것이고, 상세하게 증착 장치는 마스크 유닛, 상기 마스크 유닛 상에 이격되어 배치되는 제1 플레이트 및 상기 제1 플레이트와 독립적으로 배치되며, 상기 제1 플레이트의 일면을 따라 이동하고 대상 기판 표면의 일부 영역을 가압시키는 엠보 유닛을 포함하되, 상기 제1 플레이트는 상기 제1 플레이트의 일면에 배치되어 상기 엠보 유닛이 체결되는 엠보 고정부를 포함한다.

Description

증착 장치 및 이를 이용한 유기물 증착 방법{DEPOSITION APARATUS AND DEPOSITION METHOD USING THE SAME}
본 발명은 증착 장치 및 이를 이용한 유기물 증착 방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시(organic light emitting display: OLED) 장치는 양극(anode)과 음극(cathode)으로부터 각기 제공되는 정공들과 전자들이 이들 전극들 사이에 위치하는 유기 발광층에서 결합하여 생성되는 광을 사용하여 영상, 문자 등의 정보를 나타낼 수 있는 표시 장치이다.
상기 유기 발광 표시 장치는 고효율 발광을 얻기 위하여 상기 전극들 사이에 유기 발광층과, 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층 및 정공 주입층 등과 같은 중간층을 형성한다.
일반적으로, 상기 유기 발광층 및 상기 중간층은 증착 패턴들을 구비하는 파인 메탈 마스크(fine metal mask FMM)를 포함하는 마스크를 사용하여 형성된다. 그러나, 파인 메탈 마스크가 대면적화 되는 추세이고, 이를 제어하기 위한 쿨 플레이트(Cool plate)가 메탈로 형성되는 경우, 자중에 의한 처짐 현상도 심하게 발생하여 위치에 따라 평탄도가 수백 um 차이가 발생할 수 있다. 다시 말해, 기화된 유기물은 균일하게 평탄면을 유지하지 못한 대상 기판 면에 증착되어 균일한 유기막을 형성하기 어렵다.
이러한 불균일한 증착은 유기 발광 표시 장치 구현 시 얼룩이 발생함으로 직접적인 제품 불량의 원인이 될 수 있다.
게다가, 모델 별로 셀(Cell)의 배치가 다르지만 증착 장치에서의 엠보(Embo)는 동일한 위치로 한정되어 엠보의 위치에 대응되는 셀 모양이 아닌 경우, 증착 불량이 발생할 수 있다. 다시 말해, 대상 기판의 크기를 고려하지 않고 동일한 증착 장치 내에서 다양한 크기의 대상 기판에 유기물을 증착시켜 발생되는 것으로 생각된다. 즉, 하나의 증착 장치로 다양한 셀의 크기를 갖는 대상 기판을 자유로이 구현하는데 한계가 이르렀다.
상기와 같이, 대상 기판의 크기를 고려하여 다양한 대상 기판의 크기 및 셀의 크기에 대응하는 증착 장비 및 증착 장치를 마련하려면 장치마련 비용이 증가할 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 하나의 증착 장치에서 다양한 대상 기판의 크기 및 다양한 셀의 크기에 대응할 수 있는 엠보 유닛을 플레이트 상에 구비함으로써 대상 기판의 굴곡에 대응하여 평탄도를 조절할 수 있어 대상 기판에 불균일한 증착을 개선할 수 있는 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 마스크 유닛, 상기 마스크 유닛 상에 이격되어 배치되는 제1 플레이트 및 상기 제1 플레이트와 독립적으로 배치되며, 상기 제1 플레이트의 일면을 따라 이동하고 대상 기판 표면의 일부 영역을 가압시키는 엠보 유닛; 을 포함하되, 상기 제1 플레이트는 상기 제1 플레이트의 일면에 배치되어 상기 엠보 유닛이 체결되는 엠보 고정부를 포함한다.
상기 엠보 고정부는 서로 인접하여 나란하게 배치된 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하되, 상기 제1 가이드부는 상기 제1 플레이트의 일 표면 상에 위치하는 제1 가이드월과, 상기 제1 가이드월로부터 연장되고 상기 제1 가이드월에서 제1 방향으로 절곡된 제1 가이드 커버를 구비하고, 상기 제2 가이드부는 상기 제1 플레이트의 일 표면 상에 위치하는 제2 가이드월과, 상기 제2 가이드월로부터 연장되고 상기 제2 가이드월에서 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 절곡된 제2 가이드 커버를 구비할 수 있다.
상기 제1 가이드 커버와 상기 제2 가이드 커버는 서로 마주하는 방향으로 상기 제1 플레이트의 일 표면에 대해 평행하게 배치될 수 있다.
상기 제1 가이드부와 제2 가이드부로 하우징된 공간을 통해 상기 엠보 유닛이 상기 엠보 고정부에 체결될 수 있다.
상기 제1 가이드 커버와 상기 제2 가이드 커버는 상호 이격되며, 상기 제1 가이드 커버와 상기 제2 가이드 커버 사이의 거리는 상기 제1 가이드월과 상기 제2 가이드월 사이의 거리보다 작을 수 있다.
상기 엠보 고정부는 이웃한 엠보 고정부와 8 mm 내지 20 mm 간격으로 배치될 수 있다.
상기 엠보 유닛은 상기 제1 플레이트에 일부 접촉되는 몸체부와, 상기 몸체부에서 연장되어 상기 제1 가이드부 및 상기 제2 가이드부에 체결되는 체결부와, 상기 대상 기판의 일면과 접촉하는 평탄제어부와, 상기 제1 플레이트의 표면 상에서 상기 평탄제어부가 상기 대상 기판 방향으로 돌출되도록 하는 지지대 및 탄성부를 포함할 수 있다.
상기 엠보 유닛은 상기 지지대와 상기 평탄제어부 사이에 배치되는 가압지지부를 더 포함하며, 상기 지지대는 상기 몸체부와 상기 가압지지부를 연결시켜 상기 제1 플레이트의 표면 상에서 상기 대상 기판의 일면 방향으로 상기 평탄제어부가 돌출되도록 형성될 수 있다.
상기 엠보 유닛의 높이는 100um 내지 300um 범위로 형성될 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는 마스크 유닛, 상기 마스크 유닛 상에 이격되어 배치되는 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트와 독립적으로 배치되며, 상기 제1 플레이트의 일면을 따라 이동하고 상기 대상 기판 표면의 일부 영역을 가압시키는 엠보 유닛 및 상기 제1 플레이트의 일면에 배치되어 상기 엠보 유닛이 체결되는 엠보 고정부를 포함하되, 상기 엠보 고정부는, 상기 제1 플레이트에서 일방향을 따라 배치된 제1 가이드홈, 상기 제1 가이드홈의 측면에서 적어도 어느 한 방향으로 돌출 배치된 제2 가이드홈 및 상기 제2 가이드홈에 일부 연결되어 상기 제2 가이드홈의 진행방향에 대해 상이한 방향으로 배치된 체결홈을 구비한다.
상기 제1 가이드홈과 상기 체결홈의 형성 폭은 동일한 폭으로 형성될 수 있다.
상기 제2 가이드홈은 제1 가이드홈의 형성 폭은 상이한 폭으로 형성될 수 있다.
상기 엠보 유닛는 상기 엠보 고정부에 체결되는 체결부를 구비하되, 상기 체결부는 상이한 길이로 형성되는 제1 측면 및 제2 측면을 구비할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착 방법은 마스크 유닛 상에 대상 기판을 인접 배치시키는 단계, 엠보 유닛을 제1 플레이트의 제1 위치에 배치하고 상기 엠보 유닛을 통해 상기 대상 기판을 가압하는 단계, 상기 마스크 유닛을 통해 상기 대상 기판 상에 유기물을 증착시키는 단계, 상기 유기물 증착의 균일도를 확인하는 단계 및 상기 엠보 유닛을 상기 제1 플레이트의 상기 제1 위치와 상이한 제2 위치에 배치하고 상기 엠보 유닛을 통해 상기 대상 기판을 가압하는 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 하나의 증착 장치에서 다양한 대상 기판의 크기 및 다양한 셀의 크기에 대응할 수 있는 엠보 유닛을 플레이트 상에 구비함으로써 대상 기판의 굴곡에 대응하여 평탄도를 조절할 수 있어 대상 기판에 불균일한 증착을 개선할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 평면도이다.
도 3은 도 2의 A영역의 확대 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 엠보 유닛을 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 엠보 유닛과 엠보 고정부의 체결된 상태을 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엠보 고정부에서 엠보 유닛의 이동 상태를 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 엠보 유닛과 대상 기판의 접촉을 도시한 개략적인 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 엠보 유닛과 셀의 대응관계를 도시한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 엠보 유닛과 셀의 대응관계를 도시한 평면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 엠보 유닛과 셀의 대응관계를 도시한 평면도이다.
도 11 내지 도 13은 본 발명의 비교예를 도시한 평면도이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 대상 기판의 다양한 크기에 따라 엠보 유닛과 셀의 대응관계를 도시한 평면도이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 엠보 유닛 및 엠보 고정부의 단면도들이다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 엠보 고정부의 평면도이다.
도 18a 내지 도 18d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 엠보 고정부에 엠보 유닛이 체결되는 과정을 도시한 사시도들이다.
도 19는 본 발명 실시예에 따른 증착 장치를 이용한 유기물 증착 방법을 도시한 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해서 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 평면도이고, 도 3은 도 2의 A영역의 확대 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 엠보 유닛을 도시한 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(1)은 증착원(10), 마스크 유닛(20), 제1 플레이트(50) 및 제2 플레이트(60)를 포함할 수 있다.
증착원(10)은 도가니 등에 유기물을 넣고, 상기 유기물을 가열하여 기화시켜 소스 가스를 대상 기판(30) 상에 제공할 수 있다. 기화시킨 유기물의 진행 방향 예컨대, 증착원(10)의 상부에는 마스크 유닛(20)이 배치될 수 있다. 대상 기판(30)은 마스크 유닛(20) 상에 근접 배치될 수 있다.
대상 기판(30)은 유리대상 기판 등을 사용할 수도 있지만, 이에 한정되는 것은 아니며 투명한 플라스틱 재질로 형성할 수도 있다. 플라스틱 재질은 절연성 유기물인 폴리에테르술폰(PES, polyethersulphone), 폴리아크릴레이트(PAR, polyacrylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenen napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET,polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP)로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 유기물일 수 있다.
마스크 유닛(20)은 증착원(10)에서 발생된 유기물을 선택적으로 통과시킬 수 있다. 예를 들면, 마스크 유닛(20)은 기화된 유기물이 통과할 수 있는 오픈 영역과 상기 기화된 유기물을 차단하는 차단 영역을 포함할 수 있다. 이에 상기 오픈 영역을 통과한 기화된 유기물은 대상 기판(30)의 표면에 증착될 수 있다. 마스크 유닛(20)은 파인 메탈 마스크 등으로 형성될 수 있다.
마스크 유닛(20)의 상부에는 제1 플레이트(50)가 배치될 수 있다. 대상 기판(30)이 마스크 유닛(20)의 상부에 근접 배치되거나 체결된 경우, 제1 플레이트(50)는 대상 기판(30)의 상부에 배치된다.
제1 플레이트(50) 상에는 자력을 발생시켜 마스크 유닛(20) 및 제1 플레이트(50)에 자력을 제공할 수 있는 제2 플레이트(60)가 구비될 수 있다. 여기서 제1 플레이트(50)는 쿨 플레이트(cool plate)일 수 있으며, 제2 플레이트(60)는 요크 플레이트(yoke plate)일 수 있다.
증착 장치(1)은 제1 플레이트(50)와 독립적으로 형성된 엠보 유닛(40)을 더 포함한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(50)는 엠보 고정부(500)를 구비할 수 있다. 그리고, 증착 장치(1)는 엠보 고정부(500)에 체결되는 엠보 유닛(40)을 구비할 수 있다.
엠보 고정부(500)는 엠보 유닛(40)을 고정/결합시키는 구조물로써 제1 플레이트(50) 표면에 레일 형상으로 배치될 수 있다. 여기서 제1 플레이트(50)는 금속으로 형성될 수 있고, 상기 제1 플레이트(50) 상에 배치되는 엠보 고정부(500) 또한 금속 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니고 상이한 재질로 형성될 수도 있다.
엠보 고정부(500)는 격자 형상으로 배치될 수 있으며, 교차 영역에서는 레일 형상의 엠보 고정부(500)가 삭제되어 엠보 유닛(40)이 제1 플레이트(50)의 표면 상에서 상하/좌우 방향으로의 이동을 용이하게 할 수 있다. 그리고 하나의 엠보 고정부(500)와 이웃한 엠보 고정부(500)의 간격 즉, 상하/좌우 방향에 이웃한 엠보 고정부(500)의 간격은 8 내지 20mm일 수 있다.
여기서 엠보 고정부(500)의 간격이 8mm 미만일 경우는, 간격이 좁아짐에 따라 엠보 유닛(40)의 제어가 어려울 수 있고, 좁아진 간격으로 인해 엠보 고정부(500)의 형성이 용이하지 않을 수 있다. 게다가 엠보 고정부(500)의 간격을 형성함에 있어 상기한 간격을 유지하는데 곤란함이 존재할 수 있다.
그리고 엠보 고정부(500)의 간격이 20mm를 초과할 경우는, 엠보 유닛(40)이 셀에 대응되도록 배치되어야 하는데 하나의 셀 크기보다 엠보 고정부(500)의 간격이 더 크게 형성되어 셀뿐만 아니라 셀 이외의 영역까지 지지하게 될 수 있다. 따라서 하나의 셀보다 크게 형성된 엠보 유닛(40)을 정렬시키는데 어려움이 발생하여 엠보 유닛(40)을 자유롭게 배치시키는데 곤란함이 발생될 수 있다.
도 3을 참조하면, 엠보 고정부(500)는 서로 인접하여 나란하게 배치된 제1 가이드부(510)와 제2 가이드부(560)를 포함한다.
제1 가이드부(510)는 제1 플레이트(50)의 일 표면에 대해 상부 방향으로 형성된 제1 가이드월(516)과, 제1 가이드월(516)로부터 연장되고 그로부터 제1 방향으로 절곡되어 형성된 제1 가이드 커버(513)를 포함한다.
여기서 예를 들면, 제1 가이드월(516)은 제1 플레이트(50)의 일 표면에 대해 수직한 방향으로 형성될 수 있으며, 제1 가이드 커버(513)은 제1 플레이트(50) 일 표면에 대해 평행하게 배치될 수 있다.
제2 가이드부(560)는 제1 플레이트(50)의 일 표면에 대해 상부 방향으로 형성된 제2 가이드월(566)과, 제2 가이드월(566)로부터 연장되고 그로부터 제2 방향으로 제2 가이드월(566)에서 절곡되어 형성된 제2 가이드 커버(563)를 포함한다.
여기서 예를 들면, 제2 가이드월(566)은 제1 플레이트(50)의 일 표면에 대해 수직한 방향으로 형성될 수 있으며, 제2 가이드 커버(563)은 제1 플레이트(50) 일 표면에 대해 평행하게 배치될 수 있다.
따라서, 제2 방향은 제1 방향에 반대 방향으로 형성될 수 있다. 이에 제1 가이드 커버(513)와 제2 가이드 커버(563)는 서로 마주하는 방향으로 연장된다. 그리고, 제1 가이드 커버(513)와 제2 가이드 커버(563)는 상호 이격되는데, 이들 사이의 거리는 제1 가이드월(516)과 제2 가이드월(566) 사이의 거리보다 작다.
이와 같이 제1 가이드부(510)의 제1 가이드월(516)과 제1 가이드 커버(513), 인접한 제2 가이드부(560)의 제2 가이드월(566)과 제2 가이드 커버(563)는 함께 하우징된 공간(550)을 정의한다. 상기 하우징된 공간(550)을 통해 엠보 유닛(40)이 엠보 고정부(500)에 체결될 수 있다. 구체적인 예를 들면 엠보 유닛(40)은 제1 플레이트(50)에 체결될 수 있다.
한편, 하우징된 공간(550)은 레일 방향을 따라서는 개방되어 있기 때문에, 엠보 유닛(40)이 하우징된 공간(550) 내에 체결되더라도, 개방된 공간을 따라 상하나 좌우 방향으로 이동할 수 있다.
도 4를 참조하면, 엠보 유닛(40)은 제1 플레이트(50)에 일부 접촉되는 몸체부(412)와, 몸체부(412)에서 연장되어 제1 가이드부(510) 및 제2 가이드부(560)에 체결되는 체결부(414)를 구비하고, 대상 기판(30)의 일면에 접촉되는 평탄제어부(432)를 구비하고, 평탄제어부(432)가 대상 기판(30) 방향으로 돌출되도록 하는 지지대(422) 및 탄성부(424)를 포함한다.
또한, 엠보 유닛(40)은 지지대(422)와 평탄제어부(432) 사이에 배치되는 가압지지부(434)를 더 포함하며, 지지대(422)는 몸체부(412)와 가압지지부(434)를 연결시켜 제1 플레이트(50)의 표면 상에서 대상 기판(30)의 일면 방향으로 상기 평탄제어부(432)가 돌출되도록 형성된다.
구체적으로 몸체부(412)와 체결부(414)는 제1 플레이트(50)의 일면에 접촉하도록 배치된다. 지지대(422)와 탄성부(424)는 제1 플레이트(50)의 일면 상에서 평탄제어부(432)와 가압지지부(434)를 대상 기판(30) 방향으로 돌출시킨다. 평탄제어부(432)와 가압지지부(434)는 대상 기판(30)의 일면에 접촉되어 대상 기판(30)의 요철면을 평탄하게 가압하는 역할을 한다.
더욱 구체적으로 설명하면, 몸체부(412)의 일부는 제1 플레이트(50)의 일 표면에 접촉하도록 배치될 수 있다. 체결부(414)는 몸체부(412)에서 연장되어 제1 및 제2 가이드부(510, 560)와 체결된다. 체결부(414)의 일부는 제1 플레이트(50)의 일 표면에 접촉하게 배치될 수 있고, 체결부(414)의 또 다른 일부는 제1 가이드부(510) 및 제2 가이드부(560)에 접촉되어 배치될 수 있다.
이와 같이, 체결부(414)가 제1 가이드부(510) 및 제2 가이드부(560)에 접촉 배치됨에 따라 엠보 유닛(40)은 엠보 고정부(500)에 고정/지지될 수 있다.
몸체부(412) 및 체결부(414) 상에는 평탄제어부(432) 및 가압지지부(434)가 배치될 수 있다. 평탄제어부(432) 또는 가압지지부(434)는 대상 기판(30)의 일면에 접촉되어 대상 기판(30)의 요철면을 평탄하게 가압해 줄 수 있다.
구체적으로, 평탄제어부(432)는 대상 기판(30)의 요철면을 평탄화시킬 수 있고, 가압지지부(434)는 과도한 가압력이 평탄제어부(432)에 제공되었을 경우, 가압지지부(434)는 대상 기판(30)과 접촉되어 상기한 가압력을 지지해 줌으로써 가압지지부(434)에 연결된 지지대(422)로 가압력이 전달되는 것을 방지할 수 있다.
몸체부(412) 및 체결부(414)와, 평탄제어부(432) 및 가압지지부(434) 사이에는 지지대(422) 및 탄성부(424)가 배치될 수 있다. 지지대(422) 및 탄성부(424)는 제1 플레이트(50)의 표면 상에서 평탄제어부(432) 및 가압지지부(434)가 대상 기판(30) 방향으로 돌출되도록 몸체부(412) 및 체결부(414)와, 평탄제어부(432) 및 가압지지부(434) 사이를 연결시킬 수 있다.
지지대(422)는 몸체부(412)와 가압지지부(434)를 연결시킴으로써 제1 플레이트(50)의 표면 상에서 엠보 유닛(40)이 대상 기판(30)의 일면 방향으로 돌출시킬 수 있다.
탄성부(424)는 대상 기판(30)의 요철면을 가압할 수 있는 탄성력을 전달해 줄 수 있다. 예를 들면, 제2 부(420)의 탄성부(424)는 가압지지부(434) 또는 평탄제어부(432)에 연결되어 대상 기판(30)의 요철면에 가압시킬 경우, 가압지지부(434) 또는 평탄제어부(432)에 가압력이 전달되어 대상 기판(30)의 평탄도를 유지하도록 할 수 있다. 탄성부(424)는 스프링 구조 등으로 형성할 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니고 고무 재질과 같은 탄성력을 지닌 재질이면 사용 가능하다.
한편, 엠보 유닛(40)의 높이는 100um 내지 300um 범위로 형성될 수 있다. 이는 엠보 유닛(40)이 100um 미만일 경우는, 엠보 유닛(40)을 형성하는데 곤란할 수 있고, 엠보 유닛(40)이 300um 초과일 경우는, 대상 기판(30)의 굴곡 형성의 범위에서 벗어나 즉, 엠보 유닛(40)의 사용 가능한 범위에서 벗어난 수치일 수 있다.
따라서, 독립된 엠보 유닛(40)을 제1 플레이트(50) 상에 배치시켜 대상 기판(30)의 굴곡에 대응하여 평탄도를 조절할 수 있어 대상 기판(30)에 불균일한 증착을 방지할 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 엠보 유닛과 엠보 고정부의 체결된 상태을 도시한 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엠보 고정부에서 엠보 유닛의 이동 상태를 도시한 단면도이다.
여기서 용이한 설명을 위해 도 1 내지 도 4를 인용하여 설명하기로 한다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 엠보 유닛(40)의 몸체부(412) 및 체결부(414)는 엠보 고정부(500)에 체결될 수 있다. 구체적으로, 몸체부(412)에서 연장된 체결부(414)는 제1 가이드부(510) 및 제2 가이드부(560)로 형성된 하우징 공간(550)에 배치될 수 있다.
따라서, 체결부(414)는 제1 가이드부(510) 및 제2 가이드부(560)에 고정되어 엠보 유닛(40)은 제1 플레이트(50)의 일 표면의 어느 지점에서 고정/지지될 수 있다.
한편, 엠보 유닛(40)은 체결부(414)가 제1 가이드부(510) 및 제2 가이드부(560)에 고정/지지되어 있기 때문에 이동이 용이하지 않을 수 있다. 그래서 체결부(414)와 제1 가이드부(510) 및 제2 가이드부(560)의 체결력을 약화시키기 위해 체결부(414)를 몸체부(412) 내부로 인입시킬 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 평탄제어부(432)를 가압시키면 체결부(414)가 몸체부(412)의 내부로 인입되도록 할 수 있다.
이와 같이, 체결부(414)가 몸체부(412) 내부로 인입되어 체결부(414)와 제1, 2 가이드부(510, 560)의 체결력을 약화시킬 수 있다. 따라서 체결부(414)와 제1, 2 가이드부(510, 560)의 체결력을 저하시켜 엠보 유닛(40)의 이동성을 향상시켜 엠보 유닛(40)은 제1 플레이트(50) 일 표면 상의 제1, 2 가이드부(510, 560)를 따라 상하/좌우 방향으로 이동할 수 있다.
따라서 제1 플레이트(50) 상에서 독립된 엠보 유닛(40)을 자유로이 어느 한 영역에 배치시킴으로써 대상 기판(30)의 요철면이 형성된 영역에 자유로이 대응시켜 대상 기판(30)의 평탄도를 유지시킬 수 있다. 즉, 셀의 크기 및 대상 기판(30)의 크기에 관계 없이 증착을 용이하게 실시할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 엠보 유닛과 대상 기판의 접촉을 도시한 개략적인 단면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 엠보 유닛과 셀의 대응관계를 도시한 평면도이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 엠보 유닛과 셀의 대응관계를 도시한 평면도이고, 도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 엠보 유닛과 셀의 대응관계를 도시한 평면도이고, 도 11 내지 도 13은 본 발명의 비교예를 도시한 평면도이고, 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 대상 기판의 다양한 크기에 따라 엠보 유닛과 셀의 대응관계를 도시한 평면도이다.
여기서 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 용이한 설명을 위해 도 1 내지 도 6을 인용하여 설명하기로 한다.
도 7을 참조하면, 마스크 유닛(20) 상에 대상 기판(30)이 배치될 수 있다. 마스크 유닛(20)은 오픈 영역과 차단 영역이 배치될 수 있다. 상기 오픈 영역은 대상 기판(30)의 일면이 노출되어 대상 기판(30)의 일면 상에 유기물 등을 증착시킬 수 있다. 상기 차단 영역은 유기물을 차단시켜 유기물 증착을 방지할 수 있다.
상기 오픈 영역에는 대상 기판(30)의 일 표면 상에 유기물 등이 증착되기 때문에 대상 기판(30)의 평탄도가 중요시된다. 이는 대상 기판(30)이 평탄하게 유지되지 않았을 경우, 대상 기판(30)에 증착되는 유기물 등이 증착 두께 또는 증착량 등이 상이하게 증착될 수 있다. 증착 두께 또는 증착량 등이 상이하게 형성된 영역에는 얼룩 영역 등의 불량이 발생할 수 있다.
따라서 대상 기판(30)의 일면에 균일하게 유기물이 증착되기 위해서는 대상 기판(30)의 평면도를 유지시키는 것이 중요하다.
대상 기판(30)의 일 표면에 유기물 등을 증착시켜 셀 영역을 형성할 수 있다. 즉, 상기 오픈 영역은 대상 기판(30)에 형성되는 셀 영역과 동일한 크기로 형성될 수 있다.
대상 기판(30)을 평탄하게 형성하기 위해 대상 기판(30)의 굴곡면에 가압력을 제공하는 엠보 유닛(40)이 배치될 수 있다. 엠보 유닛(40)은 제1 플레이트(50)와 독립적으로 배치될 수 있다. 엠보 유닛(40)은 대상 기판(30)의 굴곡면을 평탄면으로 형성하기 위해 대상 기판(30)의 증착면에 대해 타면에 배치될 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 엠보 유닛(40)과 셀(800)은 일대일 대응시켜 배치시킬 수도 있고, 셀(800)에 다수의 엠보 유닛(40)이 대응되도록 배치시킬 수도 있다.
여기서 도 11 내지 도 13을 참조하여 설명하면, 비교예에 따르면 엠보 유닛(40)이 일정 영역에 고정되어 있기 때문에 셀(800)의 크기 및 셀(800)의 배치에 따라 다양한 형상의 대상 기판(30)을 증착 장치에서 증착 공정을 실시하게 된다.
그러나 비교예에 따른 증착 장치는 엠보 유닛(40)이 고정배치되어 엠보 유닛(40)과 셀(800)이 대응되도록 배치시키기 곤란할 수도 있다.
이에 따라 엠보 유닛(40)에 대응된 셀(800)에는 대상 기판(30)의 평탄도가 유지되어 균일한 증착이 진행되나, 소정의 영역에서는 셀(800)과 엠보 유닛(40)이 오정렬되어 대상 기판(30)의 평탄도를 유지하기 곤란한 영역이 발생할 수 있다.
예를 들면, 도 12에 도시된 바와 같이, 대상 기판(30)의 가장 자리 영역에 대상 기판(30)의 평탄도가 저하되어 유기물이 불균일하게 증착될 수 있다. 이에 따라 대상 기판(30)의 평탄도가 저하된 영역에서는 얼룩 영역(1200)이 발생할 수 있다.
이를 보정하기 위해 고정된 엠보 유닛(40)에 셀(800)을 대응시키는 공정을 진행하지만, 고정된 엠보 유닛(40)으로 인해 셀(800)과 엠보 유닛(40)을 대응시키는데 한계가 존재할 수 있다.
도 10 및 도 14를 참조하면, 본 발명에 실시예에 따른 증착 장치는 다양한 크기의 대상 기판에 대해서도 대응력을 향상시킬 수 있다.
엠보 고정부(500)의 제1, 2 가이드부(510, 560)를 따라 이동할 수 있는 엠보 유닛(40)은 대상 기판(30)의 사이즈 또는 셀(800)의 크기의 변화에도 대응할 수 있다. 다시 말해, 엠보 유닛(40)을 제1 플레이트(50) 상에서 자유로이 이동시킬 수 있음으로 인해 셀(800)의 크기 및 대상 기판(30)의 크기에 관계 없이 셀(800)에 엠보 유닛(40)을 위치시킬 수 있다.
따라서 본 발명의 실시예에 따른 증착 장치는 대상 기판(30)의 크기 및 셀(800)의 크기에 관계 없이 셀(800)에 엠보 유닛(40)을 대응시켜 대상 기판(30)의 평탄도를 유지할 수 있어 얼룩 영역(1200)의 발생을 최소화시킬 수 있다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 엠보 유닛 및 엠보 고정부의 단면도들이다.
여기서 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 용이한 설명을 위해 도 1 내지 도 6을 인용하여 설명하기로 한다.
도 15를 참조하면, 엠보 고정부(500-1)를 제1 플레이트(50) 상에 배치시킬 수 있다. 여기서 엠보 고정부(500-1)는 "T" 형상으로 배치시킬 수 있다.
엠보 고정부(500-1)는 제1 플레이트(50)의 표면에 대해 상부 방향으로 배치된 제1 가이드부(510-1) 및 제2 가이드부(560-1)를 포함할 수 있다.
제1 가이드부(510-1)는 제1 플레이트(50)의 일 표면에 대해 수직한 방향으로 형성된 제1 가이드월(516-1)과, 제1 가이드월(516-1)로부터 연장되고 그로부터 제1 방향 및 제 2방향으로 절곡되어 제1 플레이트(50) 일 표면에 대해 평행하게 배치된 제1 가이드 커버(513-1)를 포함한다.
제2 가이드부(560-1)는 제1 플레이트(50)의 일 표면에 대해 수직한 방향으로 형성된 제2 가이드월(566-1)과, 제2 가이드월(566-1)로부터 연장되고 그로부터 제1 방향 및 제2 방향으로 제2 가이드월(566-1)에서 절곡되어 제1 플레이트(50) 일 표면에 대해 평행하게 배치된 제2 가이드 커버(563-1)를 포함한다.
여기서 제1 가이드 커버(513-1)및 제2 가이드 커버(563-1)가 상기 제1 방향 및 제2 방향 각각 절곡되어 상기 제1 가이드월(516-1) 및 상기 제2 가이드월(566-1)에 대해 제1, 2 가이드 커버(513-1, 563-1)가 이루는 형상이 "T" 형상으로 배치될 수 있다.
이와 같이, 엠보 고정부(500-1)를 "T" 형상으로 배치시킴으로써 인접한 엠보 고정부(500-1)로 인해 하우징된 공간 (550)을 지속적으로 형성할 수 있다. 다시 말해, 도 2에서와 같이, 한 쌍의 엠보 고정부(500)로 형성된 하우징된 공간 (550)이 일정하게 정해진 반면, 본 실시예에서는 하우징된 공간(550)이 지속적으로 형성되어 어느 영역에도 구애 받지 않고 자유로이 원하는 위치를 선택할 수 있다. 즉, 제1, 2 가이드부(510, 560)가 일정한 간격으로 배치된 반면, 본 실시예에서는 일정 간격을 임의로 선택할 수 있는 장점이 존재한다.
도 16을 참조하면, 엠보 고정부(500-2)의 제1, 2 가이드 커버(513-2. 563-2)의 단부가 라운딩 형상으로 형성될 수 있다. 이는 엠보 고정부(500-2)를 따라 엠보 유닛(40)이 이동됨에 따라 엠보 유닛(40)과 엠보 고정부(500-2) 간에 마찰이 발생될 수 있다. 마찰로 인해 부수물이 떨어져 나갈 수도 있고, 마찰에 의한 엠보 고정부(500-2)의 파손이 발생할 수도 있다.
이에 엠보 고정부(500-2)의 제1, 2 가이드 커버(513-2. 563-2)의 단부를 라운딩 처리하여 엠보 유닛(40)과 엠보 고정부(500-2)의 마찰을 최소화시켜 엠보 유닛(40)과 엠보 고정부(500-2)의 마모를 방지할 수 있다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 엠보 고정부의 평면도이고, 도 18a 내지 도 18d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 엠보 고정부에 엠보 유닛이 체결되는 과정을 도시한 사시도들이다.
여기서 중복 설명을 회피하고, 용이한 설명을 위해 도 1 내지 도 6을 인용하여 설명하기로 한다.
도 17을 참조하면, 제1 플레이트(50)에는 엠보 고정홈(501)이 구비될 수 있다, 엠보 고정홈(501)은 제1 가이드홈(515), 제2 가이드홈(525) 및 체결홈(535)을 포함할 수 있다.
제1 가이드홈(515)은 제1 플레이트(50)의 표면에 가로 방향을 따라 홈이 형성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니고 세로 방향의 표면에 형성될 수도 있다.
제2 가이드홈(525)은 제1 가이드홈(515)의 진행방향에 수직한 방향으로 홈이 형성될 수 있다. 제2 가이드홈(525)은 제1 가이드홈(515)의 두께보다 얇은 두께로 형성될 수 있다.
체결홈(535)은 제1 가이드홈(515)과 평행한 방향으로 형성될 수 있다. 체결홈(535)은 제1 가이드홈(515)과 동일한 두께로 형성될 수 있고, 일정한 간격으로 배치될 수 있다.
도 18a을 참조하면, 엠보 고정부(501)의 단부에 엠보 유닛(40-1)을 인입시킬 수 있다. 먼저 엠보 유닛(40-1)은 체결부(410-1), 지지대(420-1), 평탄제어부(430-1)를 포함할 수 있다. 체결부(410-1)는 제1 플레이트(50)의 일면에 접촉하도록 배치된다. 지지대(420-1)는 제1 플레이트(50)의 일면 상에서 평탄제어부(430-1)를 대상 기판(30) 방향으로 돌출시킨다. 평탄제어부(430-1)는 대상 기판(30)의 일면에 접촉되어 대상 기판(30)의 요철면을 평탄하게 가압하는 역할을 한다.
체결부(410-1)는 엠보 고정홈(501)에 인입되는 영역이고, 평탄제어부(430-1)는 대상 기판(30)의 평탄도를 향상시키기 위해 대상 기판(30)과 접촉하는 영역이다. 지지대(420-1)는 제1 플레이트(501)의 일면에서 평탄제어부(430-1) 가 대상 기판(30)의 일면 방향으로 돌출되도록 지지하는 역할을 할 수 있다.
여기서 제1 가이드홈(515)에 인입되는 체결부(410-1)는 제1 측면(415)과 제2 측면(417)을 구비하며, 제1 측면(415)과 제2 측면(417)의 길이는 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면 제2 측면(417)은 제1 측면(415)의 길이보다 길게 형성될 수 있다.
제1 측면(415)을 제1 가이드홈(515)에 인입시키면 엠보 유닛(501)은 제1 가이드홈(515)을 따라 이동시킬 수 있다. 제1 가이드홈(515)을 따라 복수의 제2 가이드홈(525)이 배치되어 있어 선택적으로 엠보 유닛(501)을 제2 가이드홈(525) 중 어느 하나에 인입시킬 수 있다.
제2 가이드홈(525)과 제1 가이드홈(515)의 형성 폭은 상이한 폭으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 가이드홈(525)은 제1 가이드홈(515)보다 얇은 두께로 형성되어 있다. 즉, 제2 측면(417)은 제1 가이드홈(515)과 동일한 두께로 형성되어 있고, 제2 가이드홈(525)은 제1 측면(415)의 두께와 동일한 두께로 형성될 수 있다.
도 18b를 참조하면, 엠보 유닛(501)을 제1 가이드홈(515)을 따라 이동시키고, 선택된 제2 가이드홈(525)에 위치시킬 수 있다. 복수의 제2 가이드홈(525) 중 선택된 제2 가이드홈(525)은 대상 기판(30)의 굴곡이 발생된 영역일 수 있다.
도 18c를 참조하면, 선택된 제2 가이드홈(525) 방향으로 엠보 유닛(40-1)을 인입시킬 수 있다. 엠보 유닛(501)의 제1측(417)은 제2 가이드홈(525)과 동일한 두께로 형성되어 엠보 유닛(40-1)의 제1 측면(417)의 일측은 체결홈(535)까지 인입될 수 있다.
도 18d를 참조하면, 엠보 유닛(40-1)의 일부가 체결홈(535)까지 인입되면, 엠보 유닛(40-1)을 회전시켜 체결홈(535)에 체결부(410-1)를 안착시킨다.
여기서 엠보 유닛(40-1)을 회전시킬 경우, 체결부(410-1)의 길이에 따른 회전 공차를 계산하여 체결홈(535)의 폭을 결정할 수 있다. 이와 같이, 체결홈(535)에 체결부(410-1)를 안착시키면 체결홈(535) 및 체결부(410-1)에 의해 엠보 유닛(40-1)은 고정/지지될 수 있다.
따라서 제1 플레이트(50) 상에서 독립된 엠보 유닛(40-1)을 자유로이 어느 한 영역에 배치시킴으로써 대상 기판(30)의 요철면이 형성된 영역에 자유로이 대응시켜 대상 기판(30)의 평탄도를 유지시킬 수 있어 셀의 크기 및 대상 기판(30)의 크기에 관계 없이 증착을 용이하게 실시할 수 있다.
도 19는 본 발명의 실시예에 따른 증착 장치를 이용한 유기물 증착 방법을 도시한 순서도이다.
여기서 도 19는 중복 설명 회피와 용이한 설명을 위해 도 1 내지 도 6을 인용하여 설명하기로 한다.
도 19를 참조하면, 마스크 유닛(20) 상에 대상 기판(30)을 인접 배치시키는 단계, 엠보 유닛(40)을 제1 플레이트(50)의 제1 위치에 배치하고 엠보 유닛(40)을 통해 대상 기판(40)을 가압하는 단계, 상기 마스크 유닛을 통해 상기 대상 기판 상에 유기물을 증착시키는 단계를 거쳐 임의로 증착을 실시한다.
여기서 엠보 유닛(40)을 통해 대상 기판(40)을 가압하는 단계에서는 상기 제1 위치가 증착 균일도 저하된 영역인지 미정인 상태일 수 있다. 따라서 상기 제1 위치는 임의로 영역으로 간주할 수 있다.
다음으로 대상 기판의 표면에 증착된 유기물 패턴의 정보를 확인한다. 상기 증착된 유기물 패턴의 정보를 확인하는 단계는 상기 유기물 증착의 균일도를 확인하는 단계일 수 있다. 여기서 상기 유기물 증착의 균일도가 저하된 영역을 선별할 수 있다.
다음으로 엠보 유닛(40)을 제1 플레이트(50)의 상기 제1 위치와 상이한 제2 위치에 배치할 수 있다. 상기 제2 위치는 상기 유기물 증착의 균일도가 저하된 영역일 수 있다.
다음으로 엠보 유닛(40)을 상기 제2 위치로 이동시키고 상기 대상 기판을 가압하는 단계를 실시할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 증착 장치(1)을 이용한 증착 방법에 따라 하나의 증착 장치로 대상 기판의 크기 및 셀의 크기에 관계 없이 자유도를 가짐으로써 대상 기판 및 셀의 크기에 따른 제약을 개선할 수 있고, 증착 불량을 방지할 수 있다.
또한, 대상 기판 및 셀의 크기 변화에 따른 엠보 유닛의 배치의 자유도를 제어함으로써 안정적인 유기물 증착을 구현할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1: 증착 장치
10: 증착원 20: 마스크 유닛
30: 대상 기판 40: 엠보 유닛
50: 제1 플레이트 60: 제2 플레이트
500: 엠보 고정부

Claims (14)

  1. 마스크 유닛;
    상기 마스크 유닛 상에 이격되어 배치되는 제1 플레이트; 및
    상기 제1 플레이트와 독립적으로 배치되며, 대상 기판 표면의 일부 영역을 가압시키는 엠보 유닛; 을 포함하되,
    상기 제1 플레이트는 상기 제1 플레이트의 일면에 레일 형상으로 배치되어 상기 엠보 유닛이 체결되는 엠보 고정부를 포함하며,
    상기 엠보 유닛은 상기 엠보 고정부를 따라 상기 제1 플레이트의 상기 일면 상에서 이동하도록 구성되는 증착 장치.
  2. 마스크 유닛;
    상기 마스크 유닛 상에 이격되어 배치되는 제1 플레이트; 및
    상기 제1 플레이트와 독립적으로 배치되며, 상기 제1 플레이트의 일면을 따라 이동하고 대상 기판 표면의 일부 영역을 가압시키는 엠보 유닛; 을 포함하되,
    상기 제1 플레이트는 상기 제1 플레이트의 일면에 배치되어 상기 엠보 유닛이 체결되는 엠보 고정부를 포함하고,
    상기 엠보 고정부는 서로 인접하여 나란하게 배치된 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하되,
    상기 제1 가이드부는 상기 제1 플레이트의 일 표면 상에 위치하는 제1 가이드월과, 상기 제1 가이드월로부터 연장되고 상기 제1 가이드월에서 제1 방향으로 절곡된 제1 가이드 커버를 구비하고,
    상기 제2 가이드부는 상기 제1 플레이트의 일 표면 상에 위치하는 제2 가이드월과, 상기 제2 가이드월로부터 연장되고 상기 제2 가이드월에서 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 절곡된 제2 가이드 커버를 구비하는 증착 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1 가이드 커버와 상기 제2 가이드 커버는 서로 마주하는 방향으로 상기 제1 플레이트의 일 표면에 대해 평행하게 배치되는 증착 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 제1 가이드부와 제2 가이드부로 하우징된 공간을 통해 상기 엠보 유닛이 상기 엠보 고정부에 체결되는 증착 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 제1 가이드 커버와 상기 제2 가이드 커버는 상호 이격되며, 상기 제1 가이드 커버와 상기 제2 가이드 커버 사이의 거리는 상기 제1 가이드월과 상기 제2 가이드월 사이의 거리보다 작은 증착 장치.
  6. 마스크 유닛;
    상기 마스크 유닛 상에 이격되어 배치되는 제1 플레이트; 및
    상기 제1 플레이트와 독립적으로 배치되며, 상기 제1 플레이트의 일면을 따라 이동하고 대상 기판 표면의 일부 영역을 가압시키는 엠보 유닛; 을 포함하되,
    상기 제1 플레이트는 상기 제1 플레이트의 일면에 배치되어 상기 엠보 유닛이 체결되는 엠보 고정부를 포함하고,
    상기 엠보 고정부는 이웃한 엠보 고정부와 8 mm 내지 20 mm 간격으로 배치되는 증착 장치.
  7. 제 2항에 있어서,
    상기 엠보 유닛은
    상기 제1 플레이트에 일부 접촉되는 몸체부와,
    상기 몸체부에서 연장되어 상기 제1 가이드부 및 상기 제2 가이드부에 체결되는 체결부와,
    상기 대상 기판의 일면과 접촉하는 평탄제어부와,
    상기 제1 플레이트의 표면 상에서 상기 평탄제어부가 상기 대상 기판 방향으로 돌출되도록 하는 지지대 및 탄성부를 포함하는 증착 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 엠보 유닛은
    상기 지지대와 상기 평탄제어부 사이에 배치되는 가압지지부를 더 포함하며, 상기 지지대는 상기 몸체부와 상기 가압지지부를 연결시켜 상기 제1 플레이트의 표면 상에서 상기 대상 기판의 일면 방향으로 상기 평탄제어부가 돌출되도록 형성되는 증착 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 엠보 유닛의 높이는 100um 내지 300um 범위로 형성되는 증착 장치.
  10. 마스크 유닛;
    상기 마스크 유닛 상에 이격되어 배치되는 제1 플레이트;
    상기 제1 플레이트와 독립적으로 배치되며, 상기 제1 플레이트의 일면을 따라 이동하고 대상 기판 표면의 일부 영역을 가압시키는 엠보 유닛; 및
    상기 제1 플레이트의 일면에 배치되어 상기 엠보 유닛이 체결되는 엠보 고정부를 포함하되,
    상기 엠보 고정부는,
    상기 제1 플레이트에서 일방향을 따라 배치된 제1 가이드홈;
    상기 제1 가이드홈의 측면에서 적어도 어느 한 방향으로 돌출 배치된 제2 가이드홈; 및
    상기 제2 가이드홈에 일부 연결되어 상기 제2 가이드홈의 진행방향에 대해 상이한 방향으로 배치된 체결홈을 구비하는 증착 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제1 가이드홈과 상기 체결홈의 형성 폭은 동일한 폭으로 형성되는 증착 장치.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 제2 가이드홈은 제1 가이드홈의 형성 폭은 상이한 폭으로 형성되는 증착 장치.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 엠보 유닛는 상기 엠보 고정부에 체결되는 체결부를 구비하되,
    상기 체결부는 상이한 길이로 형성되는 제1 측면 및 제2 측면을 구비하는 증착 장치.
  14. 마스크 유닛 상에 대상 기판을 인접 배치시키는 단계;
    엠보 유닛을 제1 플레이트의 제1 위치에 배치하고 상기 엠보 유닛을 통해 상기 대상 기판을 가압하는 단계;
    상기 마스크 유닛을 통해 상기 대상 기판 상에 유기물을 증착시키는 단계;
    상기 유기물 증착의 균일도를 확인하는 단계; 및
    상기 제1 플레이트의 일면에 레일 형상으로 배치된 엠보 고정부를 따라 상기 엠보 유닛을 상기 제1 플레이트의 상기 제1 위치와 상이한 제2 위치에 배치하고 상기 엠보 유닛을 통해 상기 대상 기판을 가압하는 단계를 포함하되,
    상기 엠보 유닛은 상기 제1 플레이트의 상기 제1 위치와 상기 제2 위치가 위치하는 평면에 놓이고, 상기 평면 상에서 이동 가능한 유기물 증착 방법.
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