KR102246293B1 - 마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착장치 및 증착방법 - Google Patents

마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착장치 및 증착방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 소정의 자기력을 갖는 자성체와, 자성체를 지지하는 마그넷 서포터와, 마그넷 서포터를 지지하며, 하나 이상의 개구부를 구비하는 가이드부와, 개구부를 통과하여 마그넷 서포터에 연결되는 고정부와, 고정부에 연결되어 개구부가 형성되는 방향을 따른 자성체의 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부를 포함하는 마그넷 플레이트 조립체를 개시한다.

Description

마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착장치 및 증착방법{Magnet plate assembly, and apparatus for deposition comprising the same and the method of depositing using the same}
본 발명의 실시예들은 마그넷 플레이트 조립체와, 이를 포함하는 증착장치 및 증착방법에 관한 것이다.
일반적으로 평탄 디스크플레이 중의 하나인 유기 발광 표시 장치는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 저전압으로 구동이 가능하며, 경량의 박형이면서 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.
이러한 발광 소자는 발광층을 형성하는 물질에 따라 무기 발광 소자와 유기 발광 소자로 구분되는데, 유기 발광 소자는 무기 발광 소자에 비해 휘도, 응답속도 등의 특성이 우수하고, 컬러 디스플레이가 가능하다는 장점을 가지고 있어 최근 그 개발이 활발하게 진행되고 있다.
유기 발광 표시 장치는 유기막 및/또는 전극을 진공 증착법에 의해 형성한다. 그러나 유기 발광 표시 장치가 점차 고해상도화 함에 따라 증착 공정시 사용되는 마스크의 오픈슬릿(open slit)의 폭이 점점 좁아지고 있으며 그 산포 또한 점점 더 감소될 것이 요구되어지고 있다.
또한, 고해상도 유기 발광 표시 장치를 제작하기 위해서는 궤도우 현상(shadow effect)을 줄이거나 없애는 것이 필요하다. 그에 따라, 기판과 마스크를 밀착시킨 상태에서 증착 공정을 진행하고 있으며, 기판과 마스크의 밀착도를 향상시키기 위한 기술의 개발이 대두되고 있다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
본 발명의 실시예들은 마그넷 플레이트 조립체와, 이를 포함하는 증착장치 및 증착벙법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 소정의 자기력을 갖는 자성체와, 자성체를 지지하는 마그넷 서포터와, 마그넷 서포터를 지지하며, 하나 이상의 개구부를 구비하는 가이드부와, 개구부를 통과하여 마그넷 서포터에 연결되는 고정부와, 고정부에 연결되어 개구부가 형성되는 방향을 따른 자성체의 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부를 포함하는 마그넷 플레이트 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 마그넷 서포터는 자성체를 수용하는 제1 홈을 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 가이드부는 마그넷 서포터를 수용하는 제2 홈을 더 구비하며, 제2 홈은 마그넷 서포터의 너비보다 더 큰 너비를 갖는 형태일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 가이드부는 구동부를 고정하는 지지대를 더 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 구동부는 리니어 액츄에이터, 캠 또는 나사를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 개구부는 가이드부의 폭 방향 및 길이방향과 상이한 제3 방향으로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 마그넷 서포터는 가이드부에 대하여 가이드부의 폭 방향 및 길이방향과 각각 상이한 상기 제3 방향으로 이동 가능할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 기판 측으로 증착물질을 방사하는 증착원과, 증착원과 기판 사이에 개재되어 증착물질을 통과시켜 기판 상에 증착물질을 증착시키는 마스크와, 기판과 마스크가 접촉하는 면의 반대측 면에 배치되어 마스크에 소정의 자기력을 가하는 본 발명의 일시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체를 포함하는 증착장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 기판과 마그넷 플레이트 조립체 사이에 개재되어 기판을 가압하는 쿨플레이트를 더 구비할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는 챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계와, 기판의 타면에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계와, 구동부를 구동하여 자성체의 배열을 조정하는 단계와, 챔버 내에 구비된 증착원에서 증발된 증착물질이 마스크에 형성된 슬릿을 통해 기판에 증착되는 단계를 포함하는 증착방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 마그넷 플레이트 조립체는 자성체를 지지하는 마그넷 서포터와, 마그넷 서포터를 지지하며, 하나 이상의 개구부를 구비하는 가이드부와, 개구부를 통과하여 마그넷 서포터에 연결되는 고정부를 포함하고, 구동부는 고정부에 연결되어 개구부가 형성되는 방향을 따른 자성체의 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 가이드부는 마그넷 서포터를 수용하는 제1 홈을 더 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 가이드부는 구동부를 고정하는 지지대를 더 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 마그넷 서포터는 자성체를 수용하는 제2 홈을 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 구동부는 리니어 액츄에이터, 캠 또는 나사를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 개구부는 가이드부의 폭 방향 및 길이방향과 상이한 제3 방향으로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 마그넷 서포터는 가이드부에 대하여 가이드부의 폭 방향 및 길이방향과 상이한 제3 방향으로 이동 가능할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계와 기판의 타면에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계 사이에, 쿨플레이트가 마그넷 플레이트 조립체와 기판이 접촉하는 면의 방향으로 이동하여 기판을 가압하는 단계를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 따르면 마그넷 플레이트 조립체와, 이를 포함하는 증착장치 및 증착방법은 마스크에 균일한 자기력을 제공함으로써 기판과 마스크 사이의 간격을 최소화시켜 기판 상에 정밀하게 증착물질을 증착시킬 수 있다.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체의 개략적인 구성을 나타내는 개념도이다.
도 2는 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체의 측면을 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체의 다른 변형예를 나타내는 분해사시도이다.
도 4는 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체의 부분적인 상면을 나타내는 부분상면도이다.
도 5는 도 4에 나타난 마그넷 플레이트 조립체의 다른 변형예를 나타내는 부분상면도이다.
도 6은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체를 포함하는 증착장치의 개략적인 단면을 보여주는 개념도이다.
도 7은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체를 포함하는 증착방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체(10)의 개략적인 구성을 나타내는 개념도이고, 도 2는 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)의 측면을 나타내는 측면도이며, 도 3은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)의 다른 변형예를 나타내는 분해사시도이다.
먼저 도 1 및 도 2를 참조하면, 마그넷 플레이트 조립체(10)는 자성체(100)와, 자성체(100)를 지지하는 마그넷 서포터(200)와, 마그넷 서포터(200)를 지지하며, 하나 이상의 개구부(310)를 구비하는 가이드부(300)와, 개구부(310)를 통과하여 마그넷 서포터(200)에 연결되는 고정부(400)와, 고정부(400)에 연결되어 자성체(100)의 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부(500)를 포함한다.
자성체(100)는 바람직하게는 영구자석일 수 있으며, 영구자석 이외에도 자기력을 발생시킬 수 있는 그 어떤 물체라도 무방하다. 즉, 영구자석 대신 전자석, 정전척 등이 사용될 수도 있다. 이러한 자성체(100)는 N극 또는 S극을 띠는 단일품으로 구성되어 한 방향(도 1에서는 y축 방향)으로 연장될 수 있으며, 도시되지는 않았으나 복수개로 분할되어 N극과 S극이 번갈아가며 배치될 수도 있다.
또한, 도 1은 자성체(100)의 단면이 사각형일 경우를 나타내고 있지만, 이밖에도 자성체(100)는 다각형, 원형 또는 타원형 등 여러가지 형태를 가질 수도 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 당업자라면 상술한 바 외에도 다양한 변형이 가능함을 알 것이다.
마그넷 서포터(200)는 이러한 자성체(100)를 지지하는 역할을 하는 구성요소로써, 바람직하게는 도 1에 나타난 바와 같이 제1 홈(210)을 구비하여 이 제1 홈(210)에 자성체(100)를 수용하는 형태로 배치될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 단순히 자성체(100)의 일면만을 지지하도록 배치될 수도 있다.
다음으로, 가이드부(300)는 마그넷 서포터(200)를 지지하며, 하나 이상의 개구부(310)를 구비한다. 도 3을 참조하면, 가이드부(300)는 도 1에 나타난 바와 같이 마그넷 서포터(200)의 일부분만을 지지할 수도 있으나, 이에 한정되지 않고 마그넷 서포터(200)를 수용하는 제2 홈(320)을 구비하여 마그넷 서포터(200)를 수용하는 형태로 배치될 수도 있다. 다만, 이때에는 제2 홈(320)의 너비는 마그넷 서포터(200)의 너비보다 크며, 이는 제2 홈(320) 내에 마그넷 서포터(200)가 슬라이딩 운동할 수 있는 공간을 마련하기 위함이다.
또한, 참조부호 330은 구동부(500)를 지지하는 지지대(330)로써, 가이드부(300)에 연결되어 후술할 증착장치(도 6의 참조부호 20)의 내부에서 후술할 구동부(500)를 마그넷 서포터(200)와 가이드부(300)에서 떨어지지 않도록 고정하는 역할을 하는 구성요소이다.
고정부(400)는 개구부(310)를 통과하여 마그넷 서포터(200)에 연결되는 구성요소로써, 후술할 구동부(500)의 구동력을 마그넷 서포터(200)에 전달하여 마그넷 서포터(200)를 이동시킨다.
구동부(500)는 상술한 바와 같이 고정부(400)에 연결되어 마그넷 서포터(200)가 가이드부(300) 상에서 슬라이딩 이동할 수 있도록 구동력을 제공한다. 구동부(500)는 전기적으로 구동력을 발생시킬 수 있는 리니어 액츄에이터와 기계적으로 구동력을 전달하는 캠을 포함할 수 있으며, 사람이 직접 힘을 가할 수 있는 나사의 형태도 가능하다. 이밖에도, 구동부(500)는 구동부(500)와 연결되는 고정부(400)를 이동시켜 결과적으로 마그넷 서포터(200)를 가이드부(300) 상에서 슬라이딩 이동할 수 있도록 구동력을 제공하는 그 어떠한 형태라도 무방하다.
도 4는 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)의 부분적인 상면을 나타내는 부분상면도이다.
도 4를 참조하면, 마그넷 서포터(200)는 구동부(500)에서 가해지는 구동력에 의해 가이드부(300) 상에서 개구부(310)가 형성된 방향을 따라 슬라이딩 이동하게 된다. 따라서, 도 3 및 도 4에 나타나듯이 개구부(310)가 가이드부(300)의 폭 방향으로 형성되어 있을 경우에는 고정부(400)를 통해 구동부(500)와 연결되어 있는 마그넷 서포터(200)는 개구부(310)가 형성되어 있는 방향인 가이드부(300)의 폭 방향(도 4에서 x축 방향)으로 슬라이딩 이동하게 된다.
한편, 도 5는 도 4에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)가 다른 형태의 개구부(310)를 갖는 모습을 나타내는 부분상면도이다.
도 5에 나타난 바와 같이, 만약 개구부(310)가 가이드부(300)의 폭 방향(도 5에서 x축 방향)과 길이방향(도 3에서 y축 방향)을 제외한 제 3방향으로 형성될 경우에는 개구부(310)가 형성된 방향으로 이동하는 고정부(400)의 이동방향에 따라 마그넷 서포터(200) 또한 제 3방향으로 이동하게 된다.
고해상도의 디스플레이 장치를 제작하기 위해서는 유기물, 즉 증착물질의 증착공정 시에 발생하는 쉐도우 현상(shadow effect)을 개선하는 것이 요구된다. 쉐도우 현상은 증착물질이 증착되는 피증착부재인 기판과, 슬릿을 통해 증착물질을 통과시켜 기판에 증착물질을 증착하는 역할을 하는 마스크 사이에 존재하는 간격으로 인해 발생한다. 이러한 쉐도우 현상을 개선하기 위해서는, 기판과 마스크 사이의 간격을 최소화하여, 마스크가 기판에서 들뜨지 않도록 마스크와 기판의 밀착력을 증가시켜야한다.
이를 해결하기 위해, 종래에는 자성체(100)와 같이 자기력을 발생시키는 물질을 가이드부(300)와 같은 구조물에 가이드부(300)의 폭 방향(도 5의 x 축 방향)으로 연속적으로 배치하여, 기판을 사이에 둔채 마스크에 자기력을 가함으로써, 마스크를 기판에 밀착시켰다.
하지만, 이렇게 일정한 간격으로 일열이 동일한 극성을 띠는 자성체(100)가 가이드부(300)의 폭 방향으로 연속적으로 배치될 경우에는, 자성체(100)가 이루는 자기력은 자성체(100)의 배열에 따라 정해지게 되었다. 한번 자성체(100)가 가이드부(300)에 고정되어 증착공정에 쓰이게 되면 추후에 자성체(100)의 배열을 변경하기 어려웠으므로, 따라서 자성체(100)를 한번 배열하게 되면 그것을 교체하기까지는 증착공정 시 자기력의 세기나 분포를 변경시키는 것이 어려웠다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 일시예의 마그넷 플레이트 조립체(10)는 마그넷 서포터(200)에 구동력을 제공하는 구동부(500)와 구동부(500)의 구동력을 마그넷 서포터(200)에 전달하는 고정부(400)를 더 구비하였다.
이렇게 가이드부(300) 상에서 마그넷 서포터(200)를 슬라이딩 이동가능하도록 구동부(500)와 구동부(500)의 구동력을 마그넷 서포터(200)에 전달하는 고정부(400)를 마그넷 플레이트 조립체(10)에 구비하게 되면, 마그넷 서포터(200)에 의해 지지되는 자성체(100)를 가이드부(300) 상에서 가이드부(300)의 폭 방향 또는 비스듬한 방향으로도 슬라이딩 이동시킬 수 있게된다.
바람직하게는, 이러한 자성체(100)를 가이드부(300)의 폭 방향(도 5의 x 축 방향)으로 복수개 배치하게 되면 소정의 자기력을 형성할 수 있게 되는데, 이때 구동부(500)의 구동력을 이용하여 자성체(100)를 가이드부(300) 상에서 슬라이딩 이동시키게 되면, 자성체(100)에 의해 형성되는 자기력의 세기나 분포를 변경시킬 수 있게 되고, 결과적으로 균일한 자기력을 형성하는 것이 가능해진다. 이를통해, 마스크와 기판의 밀착력을 증가시킬 수 있으며, 결과적으로는 증착공정 시 발생하는 쉐도우 현상을 개선할 수 있게 되는 것이다.
도 6은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체(10)를 포함하는 증착장치(20)의 개략적인 단면을 보여주는 개념도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 증착장치(20)는, 기판측으로 증착물질을 방사하는 증착원(600)과, 증착원(600)과 기판(S)사이에 개재되어 증착물질을 통과시켜 기판(S) 상에 증착물질을 증착시키는 마스크(700)와, 기판(S)과 마스크(700)가 접촉하는 면의 반대측 면에 배치되어 마스크(700)에 소정의 자기력을 가하는 본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체(10)를 포함할 수 있다.
또한, 증착장치(20)는 기판(S)과 마그넷 플레이트 조립체(10) 사이에 개재되어 자중으로 기판(S)을 가압하는 쿨플레이트(800)를 더 구비할 수 있다. 이러한 쿨플레이트(800)는 마그넷 플레이트 조립체(10)가 기판(S) 쪽으로 이동하여 마스크(700)에 자기력을 가하기 이전에, 기판(S)과 마스크(700)의 밀착력을 향상시키는 역할을 수행한다.
도 7은 도 1에 나타난 마그넷 플레이트 조립체를 포함하는 증착방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마그넷 플레이트 조립체(10)를 포함하는 증착방법은 다음과 같다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 챔버(900) 내에서 기판(S)의 일면에 마스크(700)를 배치한다(S701). 그 다음 기판(S)의 타면에 마그넷 플레이트 조립체(10)를 배치한다(S702). 그리고 구동부(500)를 구동하여 자성체(100)의 배열을 조정하여 마스크(700)에 가해지는 자기력을 제어한다(S703). 그 뒤, 챔버(900) 내에 구비된 증착원(600)에서 증발된 증착물질이 마스크(700)에 형성된 슬릿(미도시)을 통해 기판(S)에 증착된다(S704).
아울러, 챔버(900) 내에서 기판(S)의 일면에 마스크(700)를 배치하는 단계와 기판(S)의 타면에 마그넷 플레이트 조립체(10)를 배치하는 단계 사이에, 쿨플레이트(800)가 마그넷 플레이트 조립체(10)와 기판(S)이 접촉하는 면의 방향으로 이동하여 기판(S)을 가압하는 단계(S701a)를 더 포함할 수도 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 마그넷 플레이트 조립체 330: 지지대
20: 증착장치 400: 고정부
100: 자성체 500: 구동부
200: 마그넷 서포터 600: 증착원
210: 제1 홈 700: 마스크
300: 가이드부 800: 쿨플레이트
310: 개구부 900:챔버
320: 제2 홈 S: 기판

Claims (18)

  1. 소정의 자기력을 갖는 자성체;
    상기 자성체를 지지하는 마그넷 서포터;
    상기 마그넷 서포터를 지지하며, 하나 이상의 개구부를 구비하는 가이드부;
    상기 개구부를 통과하여 상기 마그넷 서포터에 연결되는 고정부; 및
    상기 고정부에 연결되어 상기 개구부가 형성되는 방향을 따른 상기 자성체의 상기 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부;를 포함하는, 마그넷 플레이트 조립체.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 마그넷 서포터는 상기 자성체를 수용하는 제1 홈을 구비하는, 마그넷 플레이트 조립체.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 마그넷 서포터를 수용하는 제2 홈을 더 구비하며,
    상기 제2 홈은 상기 마그넷 서포터의 너비보다 더 큰 너비를 갖는, 마그넷 플레이트 조립체.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 구동부를 고정하는 지지대를 더 구비하는, 마그넷 플레이트 조립체.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 구동부는 리니어 액츄에이터, 캠 또는 나사를 포함하는, 마그넷 플레이트 조립체.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 가이드부의 폭 방향 및 길이방향과 상이한 제3 방향으로 형성되는, 마그넷 플레이트 조립체.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 마그넷 서포터는 상기 가이드부에 대하여 상기 가이드부의 상기 폭 방향 및 상기 길이방향과 각각 상이한 상기 제3 방향으로 이동 가능한, 마그넷 플레이트 조립체.
  8. 기판 측으로 증착물질을 방사하는 증착원;
    상기 증착원과 상기 기판 사이에 개재되어 상기 증착물질을 통과시켜 상기 기판 상에 증착물질을 증착시키는 마스크; 및
    상기 기판과 상기 마스크가 접촉하는 면의 반대측 면에 배치되어 상기 마스크에 소정의 자기력을 가하는 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항의 마그넷 플레이트 조립체;를 포함하는, 증착장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 기판과 상기 마그넷 플레이트 조립체 사이에 개재되어 상기 기판을 가압하는 쿨플레이트를 더 구비하는, 증착장치.
  10. 챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계;
    상기 기판의 타면 방향에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계;
    구동부를 구동하여 자성체의 배열을 조정하는 단계; 및
    상기 챔버 내에 구비된 증착원에서 증발된 증착물질이 상기 마스크에 형성된 슬릿을 통해 상기 기판에 증착되는 단계;를 포함하되,
    상기 마그넷 플레이트 조립체는,
    상기 자성체를 지지하는 마그넷 서포터;
    상기 마그넷 서포터를 지지하며, 하나 이상의 개구부를 구비하는 가이드부; 및
    상기 개구부를 통과하여 상기 마그넷 서포터에 연결되는 고정부;를 포함하고,
    상기 구동부는 상기 고정부에 연결되어 상기 개구부가 형성되는 방향을 따른 상기 자성체의 상기 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 증착방법.
  11. 삭제
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 마그넷 서포터를 수용하는 제1 홈을 더 구비하는, 증착방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 구동부를 고정하는 지지대를 더 구비하는, 증착방법.
  14. 제 10항에 있어서,
    상기 마그넷 서포터는 상기 자성체를 수용하는 제2 홈을 구비하는, 증착방법.
  15. 제 10항에 있어서,
    상기 구동부는 리니어 액츄에이터, 캠 또는 나사를 포함하는, 증착방법.
  16. 제 10항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 가이드부의 폭 방향 및 길이방향과 상이한 제3 방향으로 형성되는, 증착방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 마그넷 서포터는 상기 가이드부에 대하여 상기 가이드부의 상기 폭 방향 및 상기 길이방향과 상이한 상기 제3 방향으로 이동 가능한, 증착방법.
  18. 제 10항에 있어서,
    상기 챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계와 상기 기판의 타면 방향에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계 사이에,
    쿨플레이트가 상기 마그넷 플레이트 조립체와 상기 기판이 접촉하는 면의 방향으로 이동하여 상기 기판을 가압하는 단계를 더 포함하는, 증착방법.
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