KR100994490B1

KR100994490B1 - 척 및 이를 이용한 증착장치

Info

Publication number: KR100994490B1
Application number: KR1020080033822A
Authority: KR
Inventors: 안영웅; 정기택; 지종열; 김상열
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2008-04-11
Filing date: 2008-04-11
Publication date: 2010-11-15
Also published as: KR20090108420A

Abstract

본 발명은 척 및 이를 이용한 증착장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 척은 본체;상기 본체의 일측면에 설치되며, 상기 본체의 일측면에 근접한 기판을 정전기력에 의해 지지하는 정전층; 및 상기 본체의 내부에 복수 개로 삽입 설치되며, 상기 기판에 증착될 증착막의 패턴이 형성되고 자성체가 설치된 마스크를 자력에 의해 상기 정전층에 지지되는 상기 기판 위에 근접 지지하는 전자석;을 구비함으로써, 기판의 평탄도를 유지시켜 기판을 지지하고, 기판 위에 마스크를 근접 지지하여, 기판과 마스크의 정렬을 시도하므로 정밀 정렬이 가능하고, 정렬시도의 횟수를 감소할 수 있는 효과가 있다.

Description

척 및 이를 이용한 증착장치{Chuck and deposition apparatus using the same}

본 발명은 척 및 이를 이용한 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 패턴을 증착하기 위해 기판 및 마스크를 지지하는 척 및 이를 이용한 증착장치에 관한 것이다.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되어 왔다. 이에 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등과 같은 평판 표시 장치(Flat Panel Display, FPD)가 연구되어 왔고 그 일부는 이미 실생활에 널리 사용되고 있다.

평면디스플레이(FPD)는 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel) 및 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display) 등이 있다.

이 중에서 유기 발광 표시장치는 유기물 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자와 정공이 재결합하여 여기자(exiton)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생하는 현상을 이용하는 자발광형 디스플레이 장치이다.

이러한 유기 발광 표시장치는 저전압으로 구동이 가능하고, 경량이며, 박형이고, 시야각이 넓을 뿐만 아니라, 응답 속도 또한 빠르다는 장점을 구비하고 있어, 최근 액정표시장치, 플라즈마 디스플레이 패널을 대체할 수 있는 표시장치로 주목받고 있다.

유기 발광 표시장치의 유기 발광 소자는 다이오드 특성을 가져서 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode)라고도 불리우며, 기판상에 적층식으로 형성되는 애노드 전극과 유기막 및 캐소드 전극을 포함한다.

여기서 유기막은 유기 발광층(Emitting layer: EL)을 구비하는데, 이 유기 발광층에서 정공과 전자가 재결합하여 여기자를 형성하고 빛을 발생시킨다. 이때 발광 효율을 보다 높이기 위해서는 정공과 전자를 유기 발광층으로 보다 원활하게 수송해야 한다.

한편, 기판에 유기막을 형성하는 일반적인 방법으로는 진공 증착(evaporation)법, 이온 플레이팅(ion plating)법, 및 스퍼터링(sputtering)법과 같은 물리 기상 증착(PVD)법과, 가스 반응에 의한 화학 기상 증착(CVD)법 등이 있 다.

이 중에서, 유기 발광 소자의 유기막을 포함하는 박막층 형성에는 가스 반응에 의한 화학 기상 증착(CVD)법이 사용되며, 유기물을 이용한 진공 증착장치가 주로 사용된다.

유기물을 이용한 진공 증착장치에는 유기물, 또는 소스물질을 공급하기 위한 별도의 유기물 공급라인이 형성된다. 유기물 공급라인은 유기물을 기체화 하여 이송하기 위한 각종 기계장치, 예를 들어 질량유량밸브, 캐리어가스 히터, 캐니스터, 밸브 등이 마련되며 이들의 유기적인 작동에 의해 유기물을 챔버로 공급한다.

한편, 기판에 증착되는 증착막에 패턴을 형성하기 위해서는, 기판 위에 패턴이 형성된 마스크를 위치시키고, 증착물을 분사시키는 방법이 사용되고 있다. 이때, 기판과 마스크의 정렬 정도에 따라, 증착막의 품질이 결정될 수 있다.

기판과 마스크의 정렬시, 기판의 테두리부 및 모서리부를 기구적으로 지지하면, 기판의 중앙부가 자중에 의해 처지고, 이에 따라 마스크와 기판의 마찰에 의한 기판 및 마스크가 손상되는 문제점이 있다.

따라서, 기판의 중앙부가 자중에 의해 처지면, 기판과 마스크의 마찰을 없애기 위해, 기판의 중앙부가 처진 만큼 기판과 마스크의 간격을 벌려야 한다. 이는 기판과 마스크의 정렬상태를 촬영하는 카메라의 초점을 흐리게 하고, 선명한 카메 라의 초점을 얻기 위해 불필요한 정렬 과정을 반복해야하는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판의 평탄도를 유지시켜 기판을 지지하고, 기판 위에 마스크를 근접 지지하는 척 및 이를 이용한 증착장치를 제공함에 그 목적이 있다.

본 발명의 실시예에 따른 척은 본체;상기 본체의 일측면에 설치되며, 상기 본체의 일측면에 근접한 기판을 정전기력에 의해 지지하는 정전층; 및 상기 본체의 내부에 복수 개로 삽입 설치되며, 상기 기판에 증착될 증착막의 패턴이 형성되고 자성체가 설치된 마스크를 자력에 의해 상기 정전층에 지지되는 상기 기판 위에 근접 지지하는 전자석;을 구비한다.

상기 본체는, 상기 정전층에 지지되는 상기 기판을 가열하기 위한 가열부재를 더 구비할 수 있다.

상기 본체는, 상기 기판을 냉각시켜, 상기 증착막을 경화시키기 위한 냉매의 순환 경로를 제공하는 냉각터널이 상기 본체의 내부 일측에 형성될 수 있다.

상기 마스크는 테두리부에 마스크프레임에 결합되어 제공되며, 복수 개의 상기 전자석은, 상기 마스크의 중앙부에 대응되는 위치에 복수 개로 배치되는 제1 전자석; 및 상기 마스크의 테두리부에 대응되는 위치에 복수 개로 배치되는 제2 전자석;으로 구분될 수 있다.

상기 제1 전자석과 상기 제2 전자석은, 자력의 세기가 각각 독립적으로 조절 될 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 증착장치는, 마스크의 패턴에 따라 기판 위에 증착막을 형성하기 위한 처리공간을 제공하는 챔버;증착물을 기화시키고, 기화된 상기 증착물을 상기 처리공간으로 분사시키는 소스공급부;상기 처리공간에 위치하며, 정전기력에 의해 상기 기판을 지지하고, 정전기력에 의해 지지되는 상기 기판 위에 상기 마스크를 자력에 의해 적층시켜 지지하는 척;을 구비할 수 있다.

상기 척은, 본체;상기 본체의 일측면에 설치되며, 상기 본체의 일측면에 근접한 기판을 정전기력에 의해 지지하는 정전층; 및 상기 본체의 내부에 복수 개로 삽입 설치되며, 상기 기판에 증착될 증착막의 패턴이 형성되고 자성체가 설치된 마스크를 자력에 의해 상기 정전층에 지지되는 상기 기판 위에 근접 지지하는 전자석;을 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 척 및 이를 이용한 증착장치는, 기판의 평탄도를 유지시켜 기판을 지지하고, 기판 위에 마스크를 근접 지지하여, 기판과 마스크의 정렬을 시도하므로 정밀 정렬이 가능하고, 정렬시도의 횟수를 감소할 수 있는 효과가 있다.

또한, 기판과 마스크 간 정밀 정렬로 인한, 고품질화 된 증착막을 얻을 수 있는 효과가 있다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 척 및 이를 이용한 증착장치에 대해, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.

본 발명을 설명함에 있어서, 정의되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의 내려진 것으로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 아니 될 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 증착장치를 나타낸 간략도이다. 도 1을 참조하면, 증착장치(100)는 챔버(110), 소스공급부(130), 기판승강부(150), 마스크승강부(170), 정렬부(190) 및 척(200)을 구비한다.

챔버(110)는 내부에 기판(S)에 유기물과 같은 증착물을 증착하기 위한 처리공간(111)을 제공한다. 챔버(110)의 상부에는 처리공간(111)을 비추는 촬영창(113)이 형성되며, 촬영창(113)의 상측에는 기판(S)과 마스크(M)의 정렬상태를 측정하기 위한 카메라(115)가 구비된다.

여기서, 기판(S)과 마스크(M)에는 각각 제1 정렬마크(Sa)와 제2 정렬마크(Ma)가 형성되어 처리공간(111)으로 반입된다. 카메라(115)는 촬영창(113)을 통해 제1 정렬마크(Sa)와 제2 정렬마크(Ma)를 촬영함으로써, 기판(S)과 마스크(M)의 정렬상태를 측정할 수 있도록 한다.

챔버(110)의 상부에는 처리공간(111)으로 반입되는 기판(S)과 마스크(M)를 수취하고, 기판(S)과 마스크(M)를 각각 척(200)으로 안내하는 기판승강부(150)와, 마스크승강부(170)가 구비된다. 기판승강부(150)와 마스크승강부(170)는, 챔 버(110)를 관통하는 기판클램프(151)와 마스크클램프(171)를 구비하며, 기판클램프(151)와 마스크클램프(171)를 승강시키는 기판승강펌프(153)와, 마스크승강펌프(173)를 구비한다.

기판클램프(151)와 마스크클램프(171)는, 기판클램프(151)가 기판(S)의 각 변의 중심을 지지하고, 마스크클램프(171)가 마스크(M)의 각 모서리부를 지지하도록 배치되어, 기판(S)과 마스크(M)의 승강에 서로 간섭을 끼치지 않는 것이 바람직하다.

또한, 챔버(110)의 상부에는 카메라(115)의 촬영결과에 따라, 기판(S)과 마스크(M)의 정렬을 수행하기 위한 정렬부(190)가 구비된다. 정렬부(190)는 마스크승강부(170)가 고정되는 정렬판(191)과, 정렬판(191)을 평면 이동시킴으로써, 기판(S)에 대한 마스크(M)의 평면 위치를 조절하는 정렬유닛(193)이 구비된다. 이때, 각 마스크승강펌프(173)는 각 마스크클램프(171)의 승강거리를 개별 조절함으로써, 기판(S)과 마스크(M)의 간격을 조절할 수 있도록 한다.

소스공급부(130)는 증착물을 기화시켜 처리공간(111)으로 공급하며, 기화된 증착물을 처리공간(111)의 상부를 향해 분사시키는 샤워헤드(131)를 구비한다.

한편, 척(200)은 촬영홀(113)과 연통되는 관통홀(201)이 형성되며, 처리공간(211)의 상부에 배치된다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 증착장치에 사용되는 척의 결합관계를 나타낸 분해사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 증착장치에 사용되는 척의 일부를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 증착장치에 사용되는 척 을 도 2에 표기된 I-I'선을 기준으로 절단한 단면도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 척(200)은 본체(210), 전자석(230) 및 정전층(250)을 구비한다. 본체(210)는 내부에 전자석(230)이 삽입되는 안착홈(211)이 형성되는 함체 형상을 가지며, 전자석(230)이 설치된 후, 내부를 밀폐시키는 제1 덮개(213)를 구비한다.

전자석(230)은 복수 개로 마련되어, 안착홈(211)에 삽입되어 설치된다. 이때, 전자석(230)은 안착홈(211)의 배치에 따라 전자석(230)이 고정되는 고정판(231)에 결합되고, 고정판(231)을 본체(210)에 결합시킴으로써 본체(210)에 설치된다. 이러한 고정판(231)은 안착홈(211)에 전자석(230)을 개별 삽입하는 번거로움을 없애, 척(200) 조립의 편의를 제공한다.

여기서, 도시되지 않았지만, 마스크(M)는 내부에 전자석(230)에서 발생되는 자력에 의해 마스크(M)가 부착될 수 있도록, 금속편 또는, 자석이 매립되어 제공될 수 있다. 또한, 마스크(M)는 척(200)에 부착되기 전, 마스크(M)의 테두리부를 지지하는 금속 재질의 마스크프레임(Mb)에 결합되고, 마스크클램프(171)는 마스크프레임(Mb)을 지지함으로써 마스크(M)를 지지한다.(도 1 참조)

따라서, 복수 개의 전자석(230)은, 마스크(M)의 중앙부와 테두리부에 자력을 차등 적용하도록 마련되는 것이 바람직하다. 즉, 전자석(230)은 마스크(M)의 중앙부에 대응되는 위치에 배치되는 제1 전자석(230a)과, 마스크(M)의 테두리부에 대응되는 위치에 배치되는 제2 전자석(230b)으로 구분 될 수 있다.

제1 전자석(230a)은 바(bar) 형상으로 마련되어 본체(210)의 중앙부에 배치 되고, 제2 전자석(230b)은 코인(coin) 형상으로 마련되어 본체(210)의 테두리부에 배치된다. 이때, 제2 전자석(230b)은 마스크프레임(Mb)으로 자력을 제공하며, 제1 전자석(230a)은 마스크(M)로 자력을 제공하므로, 제2 전자석(230b)의 자력이 제1 전자석(230a)의 자력보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.

이때, 제1 전자석(230a)으로 제공되는 전류량과 제2 전자석(230b)으로 제공되는 전류량을 조절함으로써, 제1 전자석(230a)과 제2 전자석(230b)의 자력의 세기는 각각 독립적으로 조절될 수 있다.

정전층(250)은 기판(S)에 대해 평탄한 면을 가지며, 샤워헤드(131)를 향한 본체(210)의 외벽에 설치된다. 정전층(250)은 정전기를 이용하여, 기판(S)을 부착한다. 즉, 정전층(250)은, 정전층(250)에 '+', '-'를 인가시킴에 따라, 기판(S)에 '-','+'전위가 대전되어, 기판(S)을 끌어 당기는 힘을 발생시키는 것을 이용하여 기판(S)을 부착한다.

이와 같이, 척(200)은 기판클램프(151)로부터 기판(S)을 부착하고, 마스크클램프(171)로부터 마스크(M)를 부착하여, 마스크(M)가 샤워헤드(131) 측을 향하도록 기판(S)과 마스크(M)를 함께 지지한다.

한편, 기판(S) 위에서 증착물의 이동도가 낮아 자유롭게 이동하지 못한다면, 증착막 사이에 빈 공간을 포함하는 다공성 기둥이 형성될 수 있다. 이러한 다공성 기둥의 영향으로 덩어리 물질에 비해 증착막의 조밀도는 낮아지게 된다. 또한, 수분, 열 등에 의해 부착력이 감소되고 균열의 원인이 되어 외부환경에 대한 내구성을 약화시켜 수명이 단축되는 결과 등을 초래한다.

따라서, 본체(210)의 샤워헤드(131)를 향한 내부에는, 기판(S) 위에서 증착물의 이동을 자유롭게 하기 위해 기판(S)을 가열하는 가열부재(270)가 구비된다. 이러한 가열부재(270)로는 열선 코일로 구성될 수 있다.

또한, 본체(210)의 샤워헤드(131)를 향한 내부에는, 증착물을 경화시키기 위해 기판(S)을 냉각시키는 냉매의 순환경로를 제공하는 냉각터널(290)이 구비된다. 냉각터널(290)은, 본체(210)의 샤워헤드(131)를 향한 면의 홈을 형성하고, 본체(210)에 구비되는 제2 덮개(215)를 결합하여 밀폐된다.

이때, 증착물의 냉각방법으로는 공냉식과 수냉식 중 어느 한 방법으로 사용될 수 있다. 증착물의 냉각방법으로 수냉식 냉각방법이 사용된다면, 냉각터널 내에 별도의 관(미도시)이 설치되어, 냉매의 순환경로를 제공하는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 증착장치의 작동에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. 이하에서 언급되는 각각의 요소들은 상술한 설명과 도면을 참조하여 이해하여야 한다.

도 5a 내지 도 5c 는 본 발명의 실시예에 따른 증착장치의 작동상태를 나타낸 작동도이다.

먼저, 도 5a를 참조하면, 처리공간(111)으로 기판(S)과 마스크(M)가 반입되며, 기판(S)은 기판클램프(151)에 수취되고, 마스크(M)는 마스크클램프(171)에 수취된다. 이때, 마스크(M)는 마스크프레임(Mb)에 결합되어 처리공간(111)으로 반입된다.

도 5b를 참조하면, 기판승강부(150)는 기판클램프(151)를 척(200)으로 상승시켜, 기판(S)을 척(200)에 근접시킨다. 기판(S)이 척에 근접되면, 정전층(250)으로 '+', '-'가 인가되고, 기판(S)에 '-','+'전위가 대전된다. 이에 따라, 기판(S)은 정전층(250)에 부착된다. 정전층(250)은 기판(S)에 대해 평탄한 면을 가지므로, 기판(S)은 평탄도를 유지하며 정전층(250)에 부착된다.

도 5c를 참조하면, 정전층(250)에 기판(S)이 부착되면, 마스크승강부(170)는 마스크클램프(171)를 척(200)으로 상승시켜, 마스크(M)를 기판(S)에 근접시킨다. 이때, 카메라(115)는 기판(S)과 마스크(M)의 정렬상태를 측정한다. 즉, 카메라(115)는 촬영홀(113)과 관통홀(201)을 통해 제1 정렬마크(Sa)와 제2 정렬마크(Ma)를 촬영한다.

카메라(115)의 촬영결과에 따라, 정렬부(190)는 정렬판(191)을 평면이동시켜, 기판(S)에 대한 마스크(M)의 평면 위치를 조절하고, 마스크승강펌프(173)는 각 마스크클램프(171)의 상승 거리를 개별 조절함으로써, 기판(S)과 마스크(M)의 거리를 조절한다.

기판(S)과 마스크(M)의 정렬이 수행되면, 전자석(230)으로 전류가 공급된다. 전류의 공급에 따라, 전자석(230)으로부터 자력이 발생되며, 마스크(M)는 기판(S) 위에 적층된다.

이때, 제2 전자석(230b)은 마스크프레임(Mb)에 대응되는 위치에 배치되므로, 마스크(M)에 결합되는 마스크프레임(Mb)을 함께 부착하기 위해 제1 전자석(230a)보다 더 큰 자력을 필요로 한다. 따라서, 제2 전자석(230b)으로 공급되는 전류량은 제1 전자석(230a)으로 공급되는 전류량 보다 더 크게 공급된다.

이와 같이, 제2 전자석(230b)으로 공급되는 전류량을 제1 전자석(230a)으로 공급되는 전류량 보다 더 크게 공급함으로써, 마스크(M)의 평탄도를 유지시키며, 기판(S) 위에 마스크(M)를 적층시킬 수 있다.

기판(S)이 정전층(250)에 부착되고, 마스크(M)가 기판(S) 상에 적층되면, 소스공급부(130)는 증착물을 기화시키고, 샤워헤드(131)를 통해 증착물을 기판(S) 측으로 분사시킨다. 이때, 기판(S)은 기화된 증착물이 기판(S) 위에서 자유롭게 이동될 수 있도록 가열되고 있는 것이 바람직하다.

마스크(M)의 패턴에 따라 기판(S)에 증착물이 증착되면, 냉각터널(290)로 냉매가 공급된다. 냉각터널(290)을 따라 냉매가 순환되면, 기판(S) 위에 증착된 증착물은 경화되어 증착막이 완성된다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 청구 범위에 정의된 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 앞으로의 실시예들의 변경은 본 발명의 기술을 벗어날 수 없을 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 증착장치를 나타낸 간략도이다

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 증착장치에 사용되는 척의 결합관계를 나타낸 분해사시도이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 증착장치에 사용되는 척의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 증착장치에 사용되는 척을 도 2에 표기된 I-I'선을 기준으로 절단한 단면도이다.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 증착장치의 작동상태를 나타낸 작동도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

100 : 증착장치 200 : 척

210 : 본체 230 : 전자석

250 : 정전층

Claims

본체;

상기 본체의 일측면에 설치되며, 상기 본체의 일측면에 근접한 기판을 정전기력에 의해 지지하는 정전층;및

상기 본체의 내부에 복수 개로 삽입 설치되며, 상기 기판에 증착될 증착막의 패턴이 형성되고 자성체가 설치된 마스크를 자력에 의해 상기 정전층에 지지되는 상기 기판 위에 근접 지지하는 전자석;을 구비하는 것을 특징으로 하는 척.
제1 항에 있어서, 상기 본체는,

상기 정전층에 지지되는 상기 기판을 가열하기 위한 가열부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 척.
제2 항에 있어서, 상기 본체는,

상기 기판을 냉각시켜, 상기 증착막을 경화시키기 위한 냉매의 순환 경로를 제공하는 냉각터널이 상기 본체의 내부 일측에 형성되는 것을 특징으로 하는 척.
제1 항에 있어서,

상기 마스크는 테두리부에 마스크프레임에 결합되어 제공되며,

복수 개의 상기 전자석은,

상기 마스크의 중앙부에 대응되는 위치에 복수 개로 배치되는 제1 전자석;및

상기 마스크의 테두리부에 대응되는 위치에 복수 개로 배치되는 제2 전자석;으로 구분되는 것을 특징으로 하는 척.
제4 항에 있어서, 상기 제1 전자석과 상기 제2 전자석은,

자력의 세기가 각각 독립적으로 조절되는 것을 특징으로 하는 척.
마스크의 패턴에 따라 기판 위에 증착막을 형성하기 위한 처리공간을 제공하는 챔버;

증착물을 기화시키고, 기화된 상기 증착물을 상기 처리공간으로 분사시키는 소스공급부;

상기 처리공간에 위치하며, 정전기력에 의해 상기 기판을 지지하고, 정전기력에 의해 지지되는 상기 기판 위에 상기 마스크를 자력에 의해 적층시켜 지지하는 척;을 포함하되,

상기 척은

본체;

상기 본체의 일측면에 설치되며, 상기 본체의 일측면에 근접한 상기 기판을 정전기력에 의해 지지하는 정전층;및

상기 본체의 내부에 복수 개로 삽입 설치되며, 상기 기판에 증착될 상기 증착막의 패턴이 형성되고 자성체가 설치된 상기 마스크를 자력에 의해 상기 정전층에 지지되는 상기 기판 위에 근접 지지하는 전자석;을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
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