KR20180112209A - 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치 - Google Patents

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심용보
박병우
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아이엠에스(주)
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Abstract

본 발명은 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치에 관한 것으로, 내부에 배치된 기판에 증착 물질을 증착시키기 위한 증착 공정이 진행되는 증착 챔버; 상기 증착 챔버의 양쪽에 각각 결합 되고, 증착 챔버의 양쪽에 설치된 게이트를 통해 상기 증착 챔버와 각각 연통 된 소스 챔버; 상기 소스 챔버와 동일한 개수를 갖도록 형성되고, 도가니 내부에 저장된 원료물질을 도가니 외벽에 설치된 도가니 히터로 기화시켜 분배기 및 노즐을 통해 기화된 원료 물질을 기판에 분사시키는 분사유닛; 상기 분사유닛을 상기 증착 챔버 내부에서 상기 소스 챔버로 이송시키거나 상기 소스 챔버에서 증착 챔버로 이송시키는 이송유닛; 및 상기 증착 챔버 내부에 설치되어 상기 도가니에서 기화된 원료 물질이 분배기 및 노즐을 통해 기판으로 분사될 때 분배기 및 노즐을 가열시키는 히터 유닛을 포함한다.

Description

도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치{Thin Film Deposition Apparatus Easy to Separate Crucible}
본 발명은 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치에 관한 것으로, 특히 노즐과 분배기를 가열하는 히터들을 따로 분리하여 증착 챔버 내부에 설치하고, 소스 챔버의 증착원에는 노즐과 분배기의 히터를 제거함으로써 노즐과, 분배기 및 도가니를 쉽게 분해할 수 있는 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 소자(OLED: Organic Light Emitted Device) 제작 시 가장 중요한 공정은 유기 박막을 형성하는 공정이고, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.
이러한 진공 증착은 챔버 내에 글라스(glass)와 같은 기판과 파우더(powder) 형태의 원료 물질이 담긴 포인트 소스(point source) 또는 점 증착원과 같은 증착원을 대향 배치하고, 증착원 내에 담긴 파우더 형태의 원료 물질을 증발시켜 증발된 원료 물질을 분사함으로써 기판의 일면에 유기 박막을 형성한다.
최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 포인트 소스 또는 점 증착원으로 알려진 증착원 대신 대면적 기판의 박막 균일도가 확보되는 선형 증착원이 사용된다.
이러한 선형 증착원은 도가니 내에 원료 물질을 저장하고, 저장된 원료 물질을 증발시켜 기판을 향해 분사하는 서로 이격된 복수의 증발홀을 구비한다.
특히, 이러한 증착을 수행할 경우, 기판은 주로 상부에 걸어놓고 증발소스는 진공기의 바닥부분에 설치하여 증착을 수행하는, 이른바 "상향식 증착" 방법을 주로 쓰고 있다.
하지만, 점점 기판이 대형화되는 추세이고, 이와 같이 대면적 기판에 상향식 증착을 하는 경우, 얇은 기판의 중앙부분이 아래쪽으로 잘 쳐지게 되므로, 기판과 마스크의 얼라인이 틀어지게 되어 기판에 균일한 증착 박막을 얻기가 어려워진다.
이러한 경우, 상부에 걸어놓은 기판이 휘어지는 것을 방지하기 위한 수단들을 갖추어야 하는데, 이에는 기술적 비용이 상당히 많이 들어가는 단점이 있다.
따라서 근자에 들어서는 기판을 바닥에 위치시킨 후에 기판의 상부에서 기판의 상면에 박막을 형성시키고자 하는 "하향식 증착" 방법이 지속적으로 연구되고 있으나 여전히 해결되어야 할 문제점들이 나타나고 있다.
예컨대, 일본특허 출원번호 제1989-168024호나 대한민국특허 출원번호 제2002-0052899호 등을 보면 기판을 하부에 위치시켜 놓고, 기판의 상부에 증착원을 마련한 하향식 증착원에 대해 개시하고 있기는 하지만, 구조적으로 상당히 복잡하여 실질적으로 제품에 적용하기가 쉽지 않다는 문제점이 있다.
또한, 기판이 대면적화됨에 따라 더욱 많은 양의 원료 물질이 필요하게 되었고, 장시간 증착공정을 수행하는 과정에서 도가니를 교체하는 경우가 발생하는데, 도가니를 교체하기 위해서는 증착 챔버를 개방한 후 도가니를 교체하고 나서 다시 진공챔버 내를 진공화한 후, 증착 공정을 수행하여야 한다.
따라서, 이러한 진공 증착 공정 중 도가니 교체 작업이 수반될 때마다 진공화 작업에 따르는 부수적인 작업이 뒤따르게 되어 여러 가지 노력과 에너지를 소모하게 되며, 챔버를 재 진공화하는 데 상당한 시간이 걸려 전체적인 생산성을 낮추는 문제점이 있다.
특히, OLED 와 같은 디스플레이 소자를 제작하기 위한 증착 공정에서는 가급적 장기간 증착 공정을 연속적으로 수행하여야 그 생산 단가를 낮출 수 있어 가격 경쟁력을 지니는 점을 고려할 때, 증착 공정을 수행하면서 도가니를 새롭게 교체할 수 있다면 생산성 향상으로 제품 가격의 경쟁력을 확보할 수 있게 된다.
따라서, 대면적 기판에 적용하는 하향식 증착을 함과 동시에 공정 중 도가니의 교체가 가능하여 생산성을 높일수 있는 기술이 요구되는 실정이다.
일본 특허출원번호 제1989-168024호 대한민국 특허출원번호 제2002-0052899호
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 노즐과 분배기를 가열하는 히터들을 따로 분리하여 증착 챔버 내부에 설치하고, 소스 챔버의 증착원에는 노즐과 분배기의 히터를 제거함으로써 노즐과, 분배기 및 도가니를 쉽게 분해할 수 있는 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적을 이루기 위해, 본 발명은 내부에 배치된 기판에 증착 물질을 증착시키기 위한 증착 공정이 진행되는 증착 챔버; 상기 증착 챔버의 양쪽에 각각 결합 되고, 증착 챔버의 양쪽에 설치된 게이트를 통해 상기 증착 챔버와 각각 연통 된 소스 챔버; 상기 소스 챔버와 동일한 개수를 갖도록 형성되고, 도가니 내부에 저장된 원료물질을 도가니 외벽에 설치된 도가니 히터로 기화시켜 분배기 및 노즐을 통해 기화된 원료 물질을 기판에 분사시키는 분사유닛; 상기 분사유닛을 상기 증착 챔버 내부에서 상기 소스 챔버로 이송시키거나 상기 소스 챔버에서 증착 챔버로 이송시키는 이송유닛; 및 상기 증착 챔버 내부에 설치되어 상기 도가니에서 기화된 원료 물질이 분배기 및 노즐을 통해 기판으로 분사될 때 분배기 및 노즐을 가열시키는 히터 유닛을 포함한다.
본 발명에서 상기 이송 유닛에 의해 상기 분사유닛이 소스 챔버에서 증착 챔버로 이송될 때 상기 소스 챔버는 증착 챔버와 동일한 공정 조건을 유지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 이송유닛은, 상기 도가니부의 하부에 배치되게 소스 챔버의 내부에 설치된 볼 스크류; 및 상기 볼 스크류에 회전력을 제공하기 위한 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 히터유닛은, 중공 형태로 형성되되 길이 방향으로 개구부가 형성되어 증착 챔버 내부에 설치된 증착원; 상기 증착원 내벽에 설치된 리플렉터와 분배기 히터; 및 상기 개구부 내벽에 설치된 노즐 히터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 개구부는 증착 챔버의 상부를 향하는 상부 방향과 증착 챔버의 하부를 향하는 하부 방향 중 어느 한 방향에 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기 노즐이 설치된 방향에 배치되게 도가니와 도가니 히터로 이루어진 도가니부에 설치되어 상기 노즐에서 분사된 증발 물질이 기판에 증착되는 두께를 측정하는 두께 센서를 더 포함한다.
본 발명에 따르면, 소스 챔버에 배치되는 분사유닛에는 도가니, 도가니 히터, 분배기 및 노즐만 포함되게 구성하고, 분배기와 노즐을 가열하는 히터들은 증착 챔버 내부에만 설치되므로 원료 물질을 보충하기 위한 도가니 교체 작업 시 분배기 주변에 별도의 히터가 없으므로 분배기를 도가니의 상부로 쉽게 분리할 수 있다.
또한, 본 발명은 교체하고자 하는 도가니가 있는 소스 챔버 내부를 진공 챔버와 동일한 공정조건으로 만든 후 도가니를 교체하기 때문에 진공 챔버 내의 진공 상태를 파괴하지 않고 도가니를 교체할 수 있으므로 연속적인 공정이 가능해 전체적인 생산성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 히터 유닛의 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 분사유닛에서 도가니를 분리하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 히터 유닛의 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예의 동작 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우 이외에 그 중간에 다른 구성요소를 사이에 두고 간접적으로 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 "포함"한다는 것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치를 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 히터 유닛의 단면도이며, 도 3a 내지 도 3c는 분사유닛에서 도가니를 분리하는 과정을 나타내는 도면이다.
또한, 도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치를 나타내는 도면이고, 도 5는 도 4에 도시된 히터 유닛의 단면도이다.
여기서, 도 1에 도시된 본 발명의 일 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치와 도 4에 도시된 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치는 노즐이 증착 챔버(10)의 하부쪽을 향하는 방향으로 설치(하향식)되거나 노즐이 증착 챔버(10)의 상부쪽을 향하는 방향으로 설치(상향식)되는 것을 제외한 나머지 모든 구성은 동일하므로 도 1을 기준으로 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치는 증착 챔버(10), 소스 챔버(20), 분사유닛(30), 히터유닛(40), 및 이송유닛(50)을 포함하도록 구성된다.
상기 증착 챔버(10)는 원통형 또는 사각 박스 형상으로 형성되며, 내부에는 기판 표면에 증착 물질이 증착될 수 있게 폐쇄된 증착 공간이 마련 된다
또한, 상기 증착 챔버(10)에는 기판의 출입을 위한 게이트(12)와 내부 배기를 위한 배기구(도시하지 않음)가 형성된다.
이때, 배기구는 게이트(12)와 중첩되지 않는 곳에 형성되는 게 바람직하다.
즉, 상기 배기구는 게이트(12)가 형성되지 않은 면에 형성되거나 상기 게이트(12)가 형성된 면에 형성될 경우 게이트(12)의 상부나 하부 중 어느 한 곳에 형성되는 게 바람직하다.
한편, 상기 증착 챔버(10)는 원통형 또는 사각 박스 형상뿐만 아니라 기판의 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수도 있다.
상기 소스 챔버(20)는 상기 증착 챔버(10)의 외측 벽면에 N개(여기서, N은 자연수, 바람직하게 N은 2~20)가 배치되게 결합 되고, 증착 챔버(10)에 형성된 N개의 게이트(12)를 통해 각각 상기 증착 챔버(10)와 연통 된다.
이러한, 소스 챔버(20)는 상기 게이트(12)가 형성된 면을 제외한 나머지 측면 중 어느 하나의 측면에 분사유닛(30)의 출입을 위한 메인 도어(22)가 설치되고, 하부에는 도가니(31) 교체를 위한 서브 도어(24)가 설치된다.
상기 분사유닛(30)은 내부에 저장된 원료물질을 기화시켜 증착 챔버(10) 내부에서 기화된 원료물질(이하, "증발 물질"이라 함)을 분사시키는 것으로, 원료 물질이 저장된 도가니(31)와 상기 도가니(31)의 외벽에 설치되어 상기 도가니(31) 내에 저장된 원료 물질을 예열시키거나 상기 원료 물질이 기화되도록 상기 도가니(31)를 가열시키는 도가니 히터(32)로 구성된 도가니부, 상기 도가니(31)에서 기화된 원료 물질(즉, 증발 물질)을 증착 챔버(10) 내의 일정 영역으로 분배시키기 위해 일 측은 상기 도가니(31)와 결합 되고, 타 측은 증착 챔버(10) 내로 돌출되게 형성된 분배기(33), 상기 분배기(33)의 상부(즉, 상향식 구조)와 하부(즉, 하향식 구조) 중 어느 한 곳에 설치되어 분배기(33)를 통해 공급된 증발 물질을 증착 챔버(10) 내부로 분사시키는 노즐(34) 및 상기 노즐(34)이 설치된 방향에 배치되게 도가니부에 설치되어 상기 노즐(34)에서 분사된 증발 물질이 타겟(예를 들면, 기판)에 증착되는 두께를 측정하는 두께 센서(36)를 포함한다.
이러한, 분사유닛(30)은 소스 챔버(20)의 개수와 동일한 개수를 갖도록 형성된다.
상기 히터유닛(40)은 상기 도가니(31)에서 기화된 원료 물질이 분배기(33)를 통해 노즐(34)에서 증착 챔버(10) 내부로 분사될 때 증발 물질이 분배기(33) 내부나 노즐(34) 내부에서 부착되는 것을 방지하기 위해 상기 분배기(33)와 노즐(34)을 가열시키는 것으로, 중공 형태로 형성되되 길이 방향으로 개구부(41)가 형성되어 증착 챔버(10) 내부에 설치된 증착원(42), 상기 증착원(42) 내벽에 설치된 리플렉터(43) 및 분배기 히터(44), 상기 개구부(41) 내벽에 설치된 노즐 히터(45)를 포함하도록 구성된다.
이때, 개구부(41)는 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 증착 챔버(10)의 상부를 향하는 상부 방향(즉, 상향식)과 증착 챔버(10)의 하부를 향하는 하부 방향(즉, 하향식) 중 어느 한 방향에 형성된다.
상기 이송유닛(50)은 상기 분사유닛(30)을 상기 증착 챔버(10) 내부에서 상기 소스 챔버(20)로 이송시키거나 상기 소스 챔버(20)에서 증착 챔버(10)로 이송시키기 위한 것으로, 상기 도가니부의 하부에 배치되게 소스 챔버(20)의 내부에 설치된 볼 스크류(52)와 상기 볼 스크류(52)에 회전력을 제공하기 위한 구동모터(54)로 구성된다.
이와 같은 구성으로 이루어진 박막 증착 장치에서 도가니를 교체하는 방법을 설명하면 다음과 같다.
이하의 설명에서는 상기 증착 챔버(10)의 일 측에 배치된 게이트(12) 및 소스 챔버(20)와 이 소스 챔버(20)를 통해 증착 챔버(10)로 유입되는 분사유닛(30)은 각각 제1 게이트, 제1 소스 챔버 및 제1 분사유닛이라 하고, 상기 증착 챔버(10)의 타 측에 배치된 게이트(12) 및 소스 챔버(20)와 이 소스 챔버(20)를 통해 증착 챔버(10)로 유입되는 분사유닛(30)은 각각 제2 게이트, 제2 소스 챔버 및 제2 분사유닛이라 하기로 한다.
즉, 상기 증착 챔버(10)의 양쪽에 소스 챔버(20)가 각각 설치되고, 각각의 소스 챔버(20) 내부에 분사유닛(30)이 유입된다.
먼저, 증착 챔버(10)의 제1 게이트를 폐쇄 시킨 후 원료 물질이 저장된 도가니(31)를 게이트(12)가 폐쇄된 제1 소스 챔버에 넣는다.
이후, 도가니(31)가 넣어진 제1 소스 챔버 내부가 증착 챔버(10)와 동일한 공정 조건이 되도록 제1 소스 챔버 내부의 공기를 배출하여 진공 분위기를 형성하고, 도가니 히터(32)를 구동시켜 도가니(31)를 가열한다.
이로 인해, 제1 소스 챔버가 진공 상태로 변경될 때 상기 도가니(31) 내부에 저장된 원료 물질이 도가니 히터(32)에 의해 공급된 열에 의해 예열 및 기화된다.
한편, 제1 소스 챔버 내부가 증착 챔버(10)와 동일한 공정 조건으로 변경되면, 상기 게이트(12)를 개방하고, 상기 게이트(12)가 개방될 때 상기 이송유닛(50)에 의해 제1 분사유닛이 제1 소스 챔버에서 증착 챔버(10) 내부로 이송된다.
이때, 제1 분사유닛의 노즐(34)이 개구부(41)에 배치되게 분배기(33)가 증착원(42)에 삽입된다.
이로 인해, 증착원(42) 내부에 설치된 분배기 히터(44)가 분배기(33)를 감싸 분배기(33)를 가열시키고, 상기 개구부(41) 내벽에 형성된 노즐 히터(45)가 노즐(34)을 감싸 노즐(34)을 가열시키게 된다.
한편, 제1 분사유닛이 증착 챔버(10) 내부로 유입된 이후에는 상기 도가니 히터(32)에 의해 상기 도가니(31)에 저장된 원료 물질이 기화되고, 기화된 원료 물질이 분배기(33)를 통해 노즐(34)에서 증착 챔버(10) 내부로 분사된다.
이때, 노즐(34)에서 분사된 증발 물질은 증착 챔버(10) 내부에 설치된 기판(도시하지 않음)에 증착된다.
한편, 상기와 같이 제1 소스 챔버를 통해 기판 증착 공정이 이루어지는 동안 상기 증착 챔버(10)의 타 측에 설치된 게이트(12)는 폐쇄되고, 제2 소스 챔버 내부에서는 원료 물질이 저장된 도가니(31)를 준비한다.
이와 같이 제1 소스 챔버를 통해 기판 증착 공정이 진행될 때 제2 소스 챔버 내부는 상기 증착 챔버(10)와 같은 진공 상태를 유지하지 않아도 되나, 제1 분사유닛의 도가니(31)에 저장된 원료 물질이 소진되기 전에 제2 소스 챔버는 증착 챔버(10)와 동일한 공정 조건으로 변경된다.
소정 시간이 지나 제1 분사유닛의 도가니(31)에 저장된 원료 물질이 소진되면, 이송유닛(50)에 의해 제1 분사유닛이 증착 챔버(10)에서 제1 소스 챔버로 이송되고, 제1 게이트는 폐쇄된다.
또한, 제2 게이트는 개방되고, 상기 이송유닛(50)에 의해 제2 소스 챔버에서 증착 챔버(10)로 제2 분사유닛이 이송되며, 제2 분사유닛의 도가니(31)에 저장된 원료 물질이 기화되어 분배기(33) 및 노즐(34)을 통해 기판으로 분사된다.
이때, 제1 분사유닛이 증착 챔버(10)에서 제1 소스 챔버로 이송되는 동작과 제2 분사유닛이 제2 소스 챔버에서 증착 챔버(10)로 이송되는 동작은 순차적으로 이루어지거나 동시에 이루어질 수 있다.
한편, 제2 분사유닛(30)을 통해 기판 증착 공정이 이루어질 때 제1 소스 챔버(20)의 진공 상태를 해제시키고, 도가니(31)에 원료 물질을 충진 한다.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치는 소스 챔버(20)에 배치되는 분사유닛(30)에는 도가니(31), 도가니 히터(32), 분배기(33) 및 노즐(34)만 포함하도록 구성되고, 상기 분배기(33)와 노즐(34)을 가열하는 히터들은 증착 챔버(10) 내부에만 설치되므로 도 3a 내지 도 3c와 같이 원료 물질을 보충하기 위한 도가니(31) 교체 작업 시 분배기(33) 주변에 별도의 히터가 없으므로 도가니(31)의 상부로 쉽게 분리할 수 있게 된다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치는 교체하고자 하는 도가니(31)가 있는 소스 챔버(20) 내부를 증착 챔버(10)와 동일한 공정조건으로 만든 후 도가니(31)를 교체하기 때문에 증착 챔버(10) 내의 진공 상태를 파괴하지 않고 도가니(31)를 교체할 수 있으므로 연속적인 공정이 가능해 전체적인 생산성을 높일 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 관해서 설명하였으나, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형과 모방이 가능함은 물론이다. 따라서, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져선 안 되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10: 증착 챔버 12: 게이트
20: 소스 챔버 22: 메인 도어
24: 서브 도어 30: 분사유닛
31: 도가니 32: 도가니 히터
33: 분배기 34: 노즐
36: 두께 센서 40: 히터유닛
41: 개구부 42: 증착원
43: 리플렉터 44: 분배기 히터
45: 노즐 히터 50: 이송유닛
52: 볼 스크류 54: 구동모터

Claims (6)

  1. 내부에 배치된 기판에 증착 물질을 증착시키기 위한 증착 공정이 진행되는 증착 챔버;
    상기 증착 챔버의 양쪽에 각각 결합 되고, 증착 챔버의 양쪽에 설치된 게이트를 통해 상기 증착 챔버와 각각 연통 된 소스 챔버;
    상기 소스 챔버와 동일한 개수를 갖도록 형성되고, 도가니 내부에 저장된 원료물질을 도가니 외벽에 설치된 도가니 히터로 기화시켜 분배기 및 노즐을 통해 기화된 원료 물질을 기판에 분사시키는 분사유닛;
    상기 분사유닛을 상기 증착 챔버 내부에서 상기 소스 챔버로 이송시키거나 상기 소스 챔버에서 증착 챔버로 이송시키는 이송유닛;
    상기 증착 챔버 내부에 설치되어 상기 도가니에서 기화된 원료 물질이 분배기 및 노즐을 통해 기판으로 분사될 때 분배기 및 노즐을 가열시키는 히터 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송 유닛에 의해 상기 분사유닛이 소스 챔버에서 증착 챔버로 이송될 때 상기 소스 챔버는 증착 챔버와 동일한 공정 조건을 유지하는 것을 특징으로 하는 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송유닛은
    상기 도가니부의 하부에 배치되게 소스 챔버의 내부에 설치된 볼 스크류 및
    상기 볼 스크류에 회전력을 제공하기 위한 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 히터유닛은
    중공 형태로 형성되되 길이 방향으로 개구부가 형성되어 증착 챔버 내부에 설치된 증착원;
    상기 증착원 내벽에 설치된 리플렉터와 분배기 히터; 및
    상기 개구부 내벽에 설치된 노즐 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 개구부는 증착 챔버의 상부를 향하는 상부 방향과 증착 챔버의 하부를 향하는 하부 방향 중 어느 한 방향에 형성된 것을 특징으로 하는 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 노즐이 설치된 방향에 배치되게 도가니와 도가니 히터로 이루어진 도가니부에 설치되어 상기 노즐에서 분사된 증발 물질이 기판에 증착되는 두께를 측정하는 두께 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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